JPH06213819A

JPH06213819A - 表面検査装置

Info

Publication number: JPH06213819A
Application number: JP802893A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Goya; 義教合屋; Kenji Aizawa; 健治相沢; Fumio Tanaka; 文雄田中
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1993-01-21
Filing date: 1993-01-21
Publication date: 1994-08-05

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、光ガイド部の光伝達特性を改善
し、かつ光ガイドに対する入射光の位置等によらず感度
を一定にし、さらに光学的歪を抑えることを目的とす
る。【構成】被検査対象３からの反射光を受光する光ガイ
ド７は屈折率が空気よりも大きい透明光学材料で形成
し、光ガイド７の円柱面底部には入射光を当該光ガイド
７内で拡散させる拡散反射面８を離散的に配置し、光ガ
イド７の前面には当該光ガイド７への入射光を拡散反射
面８に集光する集光レンズ９を設けたことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば鉄、アルミニウ
ム、ステンレス、又は紙、フィルム等の金属、非金属を
問わずそれらのシート状又はディスク状の物体の表面を
検査する表面検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の表面検査装置としては、例えば図
９に示すようなものがある。同図において、２１はレー
ザ発振器、２２はレーザスポット調整器、２３はモータ
２５によって高速で回転されるポリゴンミラー（回転多
面鏡）、２４は放物柱面鏡、２７は被検査対象２６の表
面からの走査レーザ光の反射光を受光する円柱状の光ガ
イド、２８はこの光ガイド２７の円柱面底部に設けられ
た帯状の拡散反射面であって、通常、酸化マグネシウム
等の拡散性の高い物質の塗布、もしくは図１０に示すよ
うに反射面の角度を垂直入射光３１に対する正反射光
（０次回折光）が光ガイド２７内で全反射を起す条件に
選択した階段状反射面３２によって形成されている。こ
の階段状反射面３２は、プリズム３２ａの表面に反射材
料３２ｂを塗布することにより形成されている。そし
て、レーザ発振器２１からのレーザ光は、レーザスポッ
ト調整器２２によって被検査対象２６表面上でのスポッ
トサイズが調整され、ポリゴンミラー２３及び放物柱面
鏡２４からなる光走査手段により被検査対象２６表面の
Ｐ→Ｑ方向の走査光に変換される。レーザ光のスポット
サイズは、走査周期、被検査対象２６の移動速度、検出
限界における表面変化の大きさ等によって適宜決定され
る。被検査対象２６の表面で反射して光ガイド２７に入
射した反射レーザ光は拡散反射面２８によって拡散さ
れ、さらに光ガイド２７の表面による反射を繰返して光
ガイド２７内を伝搬し、その一端に導かれる。２９は光
ガイド２７の一端に設けた干渉フィルタであって所定の
波長の光のみを光電変換器３０に導くものである。光電
変換器３０は例えば光電子増倍管等からなり、入射光量
を電気信号に変換する。変換された電気信号は予め決め
られた手順に従い電気的に処理されて被検査対象２６の
表面状態が検出される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の表面検
査装置は、特に光ガイド２７の光伝達特性において以下
に述べるような問題を有している。即ち、（イ）従来の
光ガイド２７は、図１１（ａ）にその側面図を示すよう
に、走査点（Ｐ−Ｑ）からの反射光を十分に収束せず、
従って光ガイド２７の円柱面底部に設けた拡散反射面２
８はかなり広幅のものが必要となる。（ロ）図１１
（ｂ）は、この光ガイド２７の導光特性を示す図である
が、図示のように拡散反射面２８で反射された光のう
ち、臨界角以下の光の殆んどは光ガイド２７の外部へ発
散３３され、一方臨界角以上の少量の光のみが全反射３
４され、これを繰返して光ガイド２７の端部に達するの
みであるので受光量の損失が大きい。図１１（ｂ）中の
円３５は入射光３１の反射パターンを示している。
（ハ）図１１（ｃ）に示す光ガイド２７側面の伝達特性
から明らかなように、拡散反射面２８で散乱される光の
うち、入射光口に反射される光のうち、光３６のよう
に、前記（イ）の理由から拡散反射面２８がかなり広い
幅をもっているので、再び拡散反射面２８に帰るものが
多くなり、光ガイド２７端部に達するような有効な拡散
が生じる可能性が少なくなる。そしてスキュー光（入射
方向以外の反射光）３７が光ガイド２７内を伝達される
が、図１２に示すように、拡散反射面２８を幅方向に比
較的広くとり、かつ光ガイド２７の円柱面底部の長さ方
向全体にとると、光ガイド２７内を伝達されて干渉フィ
ルタ２９及び光電変換器３０に到る間に数十回の反射で
幅広で長い拡散反射面２８に帰ってきてしまい、光ガイ
ド２７端部の光電変換器３０より遠方の位置で光ガイド
に入射した光ほど、光電変換器３０に入力する信号量が
低下する。また、これによって、例えば全く同じ形態の
疵が疵信号３８の位置と疵信号３９の位置に出た場合、
波高値Ｂ，Ｂ’の比に従って疵信号値もＡ，Ａ’と変化
するため（Ａ：Ｂ＝Ａ’：Ｂ’）、感度の差を生じてそ
の補正が必要となる。また、光伝達特性を向上させるた
めに、前記図１０に示した階段状反射面３２を用いる
と、（ニ）光ガイド２７に入射した光は、この階段状反
射面３２によって特定方向にビーム状に反射される。さ
らに、この階段状反射面３２の角度を適宜に設定するこ
とにより、ビーム状の反射光は光ガイド２７内で全反射
を繰返して光ガイド端部の光電変換器３０まで伝達され
る。しかし、階段状反射面３２による方式は、入射光が
受光端側から入射されたときには光の大部分が受光端と
逆側に伝搬されてしまい、受光端側における光量はかな
り低いものとなってしまう。これを避けるためには、受
光端の逆側に反射鏡を設置する必要がある。また指向性
が強いため、階段状の凹凸の境界点において加工精度に
よっては光学的な歪を生み出す結果となる。

【０００４】図１３は、光ガイド２７への入射光３１角
度による反射パターンの違いを示している。図１３
（ａ）は光ガイド２７に対し入射光３１を鉛直方向から
投光した場合の反射パターンの例を示し、図１３（ｂ）
は光ガイド２７に対して入射光３１をやや斜め方向から
投光した場合の反射パターンを示している。反射パター
ン３５は拡散反射面２８に、酸化マグネシウム等の拡散
性の高い物質を塗布したものを用いた場合であり、反射
パターン４０は階段状反射面を用いた場合のものであ
る。αは臨界角を示し、反射パターン３５及び４０の中
で、この臨界角αを越えた角度で反射した光成分のみが
光ガイド２７内で全反射を繰返し、光電変換器へ伝搬す
る。図１４は、光ガイド２７に対し、入射位置の違いに
よる上記各拡散反射面毎の光電変換器受光面３０ａにお
ける反射光量を比較した実験結果であり、図１５は、光
ガイド２７に対し、入射角度θの違いによる各拡散反射
面毎の光電変換器受光面３０ａにおける反射光量を比較
した実験結果を示している。上記の両実験結果から、階
段状反射面を用いた光ガイドの場合（特性４１ａ）は、
入射位置によらず反射光量を大きくとれる反面、入射角
度によって反射光量のばらつきが大きくなり、拡散性物
質を用いた光ガイドの場合（特性４１ｂ）に対し、一長
一短となっていることが分る。上述のように、従来の表
面検査装置は、特に光ガイドの構成において種々の問題
を有していて検査能力が劣るという問題があった。

【０００５】そこで、本発明は、光ガイド部の光伝達特
性を大幅に改善し、かつ光ガイドに対する入射光の位置
等によらず感度をほぼ一定に保ち、さらに光学的歪を抑
えることができて優れた検査能力を有する表面検査装置
を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、第１に、被検査対象の表面に光を走査
し、その反射光を円柱状の光ガイドで受光して当該光ガ
イド内を伝搬させ、前記光ガイドの端部に設けた光電変
換部で前記受光信号を電気信号に変換し、該電気信号に
基づいて前記被検査対象の表面状態を検査する表面検査
装置において、前記光ガイドは屈折率が空気よりも大き
い透明光学材料で形成し、該光ガイドの円柱面底部に
は、入射光を当該光ガイド内で拡散させる拡散反射面を
離散的に配置し、前記光ガイドの前面には、当該光ガイ
ドへの入射光を前記拡散反射面に集光する集光レンズを
設けてなることを要旨とする。

【０００７】第２に、被検査対象の表面に光を走査し、
その反射光を円柱状の光ガイドで受光して当該光ガイド
内を伝搬させ、前記光ガイドの端部に設けた光電変換部
で前記受光信号を電気信号に変換し、該電気信号に基づ
いて前記被検査対象の表面状態を検査する表面検査装置
において、前記光ガイドは屈折率が空気よりも大きい透
明光学材料で形成し、該光ガイドの円柱面底部には、入
射光が当該光ガイド内で特定方向に反射を起す条件に選
択した帯状の階段状プリズムを配置し、該階段状プリズ
ムの裏面部には高拡散性物質で形成した拡散面を設けて
なることを要旨とする。第３に、上記第２の構成におい
て、前記階段状プリズムは、前記光ガイドの長手方向に
直交する方向の筋状の凹凸を持つ構造としてなることを
要旨とする。

【０００８】

【作用】上記構成において、第１に、被検査対象からの
反射光は、集光レンズを通過することによって離散的に
配置された拡散反射面に収束される。これにより拡散反
射面の大きさは集光レンズの収差を見込んだとしても従
来よりかなり小さくすることが可能となる。従って、入
射光口に反射される光のうち、再び拡散反射面に帰る光
は大幅に減り、光電変換部が設けられた光ガイド端部に
達する効率な拡散光が生じ易くなる。また、拡散反射で
生じたスキュー光に関しても拡散反射面が小さくかつ離
散的に配置されているため、光ガイド内で反射を繰返し
ている間に再び拡散反射面に帰ってくる可能性は殆んど
なくなる。上記より、光ガイド端部の光電変換部より遠
方の位置で光ガイドに入射した光も光電変換部近傍の位
置で光ガイドに入射した光と殆んど同じく光電変換部に
達し、光電変換部に入力する信号量がほぼ同一となり、
光ガイドの光伝達特性が大幅に改善される。即ち、光ガ
イドに対する疵信号の入力位置にかかわらずほぼ同一の
感度が得られることになり、優れた検査能力が得られ
る。

【０００９】第２に、光ガイドに入射して階段状プリズ
ムに達した光の大部分は、特定方向にビーム状に反射さ
れる。光ガイドは屈折率が空気よりも大きい材料で形成
されているため、階段状プリズムの反射面の角度を適宜
に設定することにより、ビーム状の反射光は光ガイド内
で全反射を繰返して光ガイド端部の光電変換部に伝達さ
れる。また階段状プリズムを透過した光は、その裏面部
に形成された高拡散性物質からなる拡散面により指向性
が抑えられて拡散反射し、再び光ガイドへ入射する。こ
の入射光のうち、臨界角より大きな角度で光ガイド内面
に到達した光は、反射を繰返し、光ガイド端部の光電変
換部に伝達される。このとき、拡散面で指向性が抑えら
れることにより、光ガイドへの入射角による感度むらが
小さくされ、光学的歪の発生が抑えられる。このよう
に、階段状プリズムによる絶対的な光量を保持しつつ、
入射角による損失分を拡散面の拡散反射で補なうこと
で、光ガイド外へ漏れる光は殆んどなく、光ガイドへの
入射光量はほぼそのまま保持されながら光電変換部に入
力する。従って、光ガイドの光伝達特性が大幅に改善さ
れ、優れた検査能力が得られる。

【００１０】第３に、階段状プリズムは、光ガイドの長
手方向に直交する方向の筋状の凹凸を持つ構造とするこ
とにより、その光ガイド長手方向断面形状の角度成分に
或る幅を持つことになり、入射方向の選択性が少なくな
る。これにより光ガイドへの入射角による感度むらが一
層小さくされ、また光学的歪の発生がより確実に抑えら
れる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１ないし図４は、本発明の第１実施例を示す図
である。まず、図１を用いて表面検査装置の全体構成を
説明する。同図において、１は例えば波長６３３μｍの
レーザ光を発振するＨｅ−Ｎｅレーザのようなレーザ発
振器、２は、例えば前記図９に示したレーザスポット調
整器、ポリゴンミラー、モータ及び放物柱面鏡等からな
る走査光学系であり、シート状或いはディスク状の被検
査対象３の表面をレーザ光によって走査するようになっ
ている。４は屈折率が空気よりも大きい透明光学材料か
らなる円柱状の光ガイドを中心とする受光部であって、
被検査対象３によるレーザ光の反射光を受光し、その一
端に取付けた光電変換素子（光電変換部）５へ反射光を
導くものである。後述するように、本実施例では光ガイ
ドの円柱面底部に例えば酸化マグネシウム等の拡散性の
高い物質を塗布した拡散反射面が設けられており、入射
した光がその拡散反射面で均一に散乱するように構成さ
れている。この拡散反射面は、大きさが小さくかつ離散
的に配置されている。また受光部４には、入射光を拡散
反射面に収束するための集光レンズが光ガイドの前面
（入射側）に設けられている。光電変換素子５は光電子
増倍管等からなり、入力した反射光情報を電気信号に変
換し、例えばマイクロコンピュータからなる認識手段６
にこの電気信号を入力する。光電変換素子５にはその前
面に光フィルタが設置され、特定の波長の光のみが入力
するようにされている。認識手段６では予めプログラム
された手順に従って信号を処理し、被検査対象３の表面
状態、例えば欠陥の存在を認識する。

【００１２】次に、本実施例を特徴付ける受光部４の構
成、特に光ガイドについて説明する。まず、この光ガイ
ドの特徴としている点から述べる。（イ）光ガイドの円
柱面底部に拡散反射面を離散的に設置し、かつ各拡散反
射面に被検査対象からの反射光が集光するように、光ガ
イドの前面（入射側）に集光レンズを設け、これによっ
て拡散反射面の大きさを小さくする。その結果、入射光
口に反射される光のうち再び拡散反射面に帰る光を大幅
に減少させ、光ガイドの端部に達する有効な拡散を生じ
易くする。また拡散反射で生じたスキュー光に関して
も、拡散反射面が小さくかつ離散的に配置されているた
め、光ガイド内で反射を繰返している間に再び拡散反射
面に帰ってくる可能性は殆んどなくなり、光ガイド端部
の光電変換素子に達する光エネルギーの損失を防ぐ。
（ロ）上記（イ）の理由により、光ガイド端部の光電変
換素子より遠方の位置で光ガイドに入射した光も、光ガ
イド端部近傍の位置で入射した光と殆んど同じく光電変
換素子に達し、光電変換素子に入力する光信号量もほぼ
同一となる。従って、光ガイドに対する疵信号の入力位
置にかかわらずほぼ同一の感度を得る。

【００１３】図２を用いて、上述の特徴を備えた光ガイ
ドを説明する。同図において、７は例えば６３３μｍの
光に対する屈折率が１．４９で空気よりも大きいアクリ
ル材料で形成された円柱状の光ガイドであり、その円柱
面底部には拡散反射面８が離散的に配置されている。光
ガイド７の前面には集光レンズアレイ９が設置されてい
る。ここに例えば凸レンズを取付けることによって、被
検査対象３上のレーザ光の走査線ＰＱからの反射光を拡
散反射面８に集光するようになっている。このとき、仕
切板１０により、隣合うレンズ系からの光の進入を防い
でいる。図３は、光ガイド７、拡散反射面８、集光レン
ズ９及び走査線ＰＱの位置関係と集光レンズ９による集
光特性を説明するための図である。図示のように、集光
レンズ９は走査線ＰＱの像を当該集光レンズ及び光ガイ
ド７による屈折によって、拡散反射面８の位置に結像す
るように配置されている。

【００１４】次いで、図４を用いて、上述のように構成
された表面検査装置の作用を説明する。被検査対象３か
らの反射光は、集光レンズ９によって光ガイド７の円柱
面底部に離散的に配置された拡散反射面８に集光され
る。このとき、仕切板１０により隣合うレンズ系からの
光の進入が防止される。拡散反射面８により光は拡散さ
れ、スキュー光が光ガイド７内を伝達され、干渉フィル
タ１１を通して光電変換素子５に入射する。この光伝達
過程において、拡散反射面８は集光レンズ９の収差を見
込んだとしても従来よりかなり小さくすることができ、
かつ離散的に配置されているので、一度拡散反射面８に
当った光が再び拡散反射面８に帰る可能性は殆んどなく
なる。上記により、全く同じ形態の疵が疵信号１２の位
置と疵信号１３の位置に出た場合、波高値Ｂ、疵信号値
Ａは殆んど同じとなり、光ガイド７に対する入射光位置
による感度の差は殆んどなくなって補正する必要がなく
なる。以上のように、本実施例は、光ガイド７による光
の伝達効率は大幅に向上し、光ガイド７に対する入射光
位置によらず、感度はほぼ一定となる。

【００１５】次に、図５ないし図７には、本発明の第２
実施例を示す。本実施例の表面検査装置の全体構成は、
前記図１に示した第１実施例のものと同様である。そし
て、本実施例では、光ガイドの部分が次のように構成さ
れている。即ち、光ガイド７の円柱面底部には、入射光
が光ガイド７内で特定方向に反射を起す条件に選択され
た帯状の階段状プリズム１５とその裏面部に塗布された
酸化マグネシウム等の拡散性の高い物質からなる拡散面
１６とで構成された拡散反射面１４が設けられている。
階段状プリズム１５の各反射面の角度は、垂直入射光３
１が適当なスキュー角で反射され、再び階段状プリズム
１５に戻ることがないように光ガイド７の軸に垂直でな
く少し傾けて設定されている。そして、光ガイド７に入
射して階段状プリズム１５に達した光の大部分は特定方
向にビーム状に反射され、階段状プリズム１５を通過し
た光は拡散面１６で拡散されながら光ガイド７内へ帰還
されるようになっている。光ガイド７の前面には、入射
光を拡散反射面１４に収束するため、光ガイド７の長手
方向全体にわたる大きさの集光レンズ１７を設けてもよ
い。

【００１６】次いで、本実施例、特に光ガイド部の作
用、効果について述べる。（イ）階段状プリズム１５の
構造を、ビームが光ガイド７の内面で全反射を起す条件
に設定することにより、ビーム状反射光が光ガイド７外
へ逃げることによる反射エネルギーの損失を防ぐことが
可能となる。（ロ）階段状プリズム１５の裏面部は、鏡
面反射材料ではなく、拡散性の高い物質を塗布した拡散
面１６とすることにより、指向性を抑え、入射光角度に
よる感度むらを小さくし、光学的歪の発生を抑えること
が可能となる。（ハ）光ガイド７の前面に集光レンズ１
７を設けて入射光を拡散反射面１４に収束させることに
より、拡散反射面１４の幅を細くすることが可能とな
る。その結果、光ガイド７内を伝達されるスキュー光が
再び拡散反射面１４に入力する可能性を減少させ、それ
による光エネルギーの損失を防ぐことが可能となる。

【００１７】図８には、本発明の第３実施例を示す。本
実施例は、上記第２実施例における光ガイド部の変形例
に相当する。本実施例では、階段状プリズムの表面にさ
らに細かいピッチで筋状の凹凸１８が付けられ、その裏
面に反射材料１９が塗布されている。このような構造の
拡散反射面としても、第２実施例のものと同様に、入射
光を光ガイド７内で特定方向にビーム状に反射させると
ともに指向性を弱めることが可能となる。上記の階段状
プリズムの裏面には、反射材料１９の塗布に代えて、拡
散性材料の塗布又は金属反射材を設けてもよい。なお、
上述の各実施例の表面検査装置は、光ディスク、磁気デ
ィスク、半導体ウェーハ等の表面の微細な変化を検査す
る装置にも適用することができる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１に、光ガイドの円柱面底部には入射光を当該光ガイ
ド内で拡散させる拡散反射面を離散的に配置し、光ガイ
ドの前面には当該光ガイドへの入射光を拡散反射面に集
光する集光レンズを設けたため、拡散反射面の大きさを
小さくすることができて拡散反射で生じた光のうち再び
拡散反射面に帰る光が大幅に減り、光ガイド部の光伝達
特性を大幅に改善することができるとともに光ガイドに
対する入射光の位置等によらず感度をほぼ一定に保つこ
とができ、検査能力を高めることができる。

【００１９】第２に、光ガイドの円柱面底部には入射光
が当該光ガイド内で特定方向に反射を起す条件に選択し
た帯状の階段状プリズムを配置し、該階段状プリズムの
裏面部には高拡散性物質で形成した拡散面を設けたた
め、階段状プリズムからのビーム状の反射光を光ガイド
内で全反射を繰返して光ガイド端部の光電変換部に伝達
させることができて光ガイド部の光伝達特性を大幅に改
善することができる。また階段状プリズムを透過した光
は指向性が抑えられて再び光ガイド内に拡散反射される
ので、光ガイドへの入射角による感度むら及び光学的歪
の発生を抑えることができる。

【００２０】第３に、上記の階段状プリズムは、光ガイ
ドの長手方向に直交する方向の筋状の凹凸を持つ構造と
したため、光ガイド長手方向断面形状の角度成分に或る
幅を持たせることができて入射方向の選択性が少なくな
り、光ガイドへの入射角による感度むらを一層小さくす
ることができるとともに、光学的歪の発生をより確実に
抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表面検査装置の第１実施例を示す
ブロック図である。

【図２】上記第１実施例における光ガイド部を示す斜視
図である。

【図３】上記第１実施例における光ガイド部の作用を説
明するための図である。

【図４】上記第１実施例における光ガイド部の作用及び
効果を説明するための図である。

【図５】本発明の第２実施例における光ガイド部を示す
斜視図である。

【図６】上記第２実施例における拡散反射面の部分を示
す側面図である。

【図７】上記第２実施例における拡散反射面を構成する
階段状プリズムの構造を拡大して示す図である。

【図８】本発明の第３実施例における光ガイド部の構成
を示す図である。

【図９】従来の表面検査装置の斜視図である。

【図１０】上記従来例における拡散反射面部分の一構成
例を示す図である。

【図１１】上記従来例における光ガイド部の作用を説明
するための図である。

【図１２】上記従来例において光ガイドに対し疵信号が
異なる位置に入力した場合の問題点を説明するための図
である。

【図１３】上記従来例において光ガイドへの入射角によ
る反射パターンの違いを説明するための図である。

【図１４】上記従来例において光ガイドへの入射位置に
よる光電変換器受光面への入射光量を説明するための図
である。

【図１５】上記従来例において光ガイドへの入射角によ
る光電変換器受光面への入射光量を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１レーザ発振器３被検査対象５光電変換素子（光電変換部）７光ガイド８，１４拡散反射面９集光レンズ１５階段状プリズム１６拡散面１８筋状の凹凸

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査対象の表面に光を走査し、その反
射光を円柱状の光ガイドで受光して当該光ガイド内を伝
搬させ、前記光ガイドの端部に設けた光電変換部で前記
受光信号を電気信号に変換し、該電気信号に基づいて前
記被検査対象の表面状態を検査する表面検査装置におい
て、前記光ガイドは屈折率が空気よりも大きい透明光学
材料で形成し、該光ガイドの円柱面底部には、入射光を
当該光ガイド内で拡散させる拡散反射面を離散的に配置
し、前記光ガイドの前面には、当該光ガイドへの入射光
を前記拡散反射面に集光する集光レンズを設けてなるこ
とを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】被検査対象の表面に光を走査し、その反
射光を円柱状の光ガイドで受光して当該光ガイド内を伝
搬させ、前記光ガイドの端部に設けた光電変換部で前記
受光信号を電気信号に変換し、該電気信号に基づいて前
記被検査対象の表面状態を検査する表面検査装置におい
て、前記光ガイドは屈折率が空気よりも大きい透明光学
材料で形成し、該光ガイドの円柱面底部には、入射光が
当該光ガイド内で特定方向に反射を起す条件に選択した
帯状の階段状プリズムを配置し、該階段状プリズムの裏
面部には高拡散性物質で形成した拡散面を設けてなるこ
とを特徴とする表面検査装置。
【請求項３】前記階段状プリズムは、前記光ガイドの
長手方向に直交する方向の筋状の凹凸を持つ構造として
なることを特徴とする請求項２記載の表面検査装置。