JPH06212406A - アーク放電真空蒸着装置 - Google Patents
アーク放電真空蒸着装置Info
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- JPH06212406A JPH06212406A JP658893A JP658893A JPH06212406A JP H06212406 A JPH06212406 A JP H06212406A JP 658893 A JP658893 A JP 658893A JP 658893 A JP658893 A JP 658893A JP H06212406 A JPH06212406 A JP H06212406A
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- arc
- forming
- metal
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 アーク放電を生じる負電極２のアーク発生面
２ａから負電極２を構成する成膜金属を蒸発させて被膜
を形成する際に、アーク発生面２ａに対する飛び出し角
度が垂直に近づく程、小径化した金属粒子が発生する。
負電極２の周囲には、アーク発生面２ａに対向して形成
された開口部６ａを有するカバー６が設けられている。 【効果】 アーク発生面２ａとカバー６の開口部６ａの
周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角度でもって飛
び出した金属粒子のみが開口部６ａを介してカバー６の
外部に飛散し、この外部に飛散した金属粒子が成膜対象
物３に付着することになる。従って、小さな径のドロッ
プレットのみが成膜対象物３に発生することになり、結
果として成膜対象物３の面粗度が向上する。
２ａから負電極２を構成する成膜金属を蒸発させて被膜
を形成する際に、アーク発生面２ａに対する飛び出し角
度が垂直に近づく程、小径化した金属粒子が発生する。
負電極２の周囲には、アーク発生面２ａに対向して形成
された開口部６ａを有するカバー６が設けられている。 【効果】 アーク発生面２ａとカバー６の開口部６ａの
周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角度でもって飛
び出した金属粒子のみが開口部６ａを介してカバー６の
外部に飛散し、この外部に飛散した金属粒子が成膜対象
物３に付着することになる。従って、小さな径のドロッ
プレットのみが成膜対象物３に発生することになり、結
果として成膜対象物３の面粗度が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、成膜対象物の表面の改
質等に適用されるアーク放電真空蒸着装置に関するもの
である。
質等に適用されるアーク放電真空蒸着装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】例えばドリルやエンドミル等の切削工具
は、金属等の加工対象物よりも大きな硬度を有する必要
があるため、通常、表面に硬質金属等からなる被膜が形
成されるようになっている。この被膜の形成には、アー
ク放電真空蒸着装置が多用されており、従来のアーク放
電真空蒸着装置は、図２に示すように、プロセスガスを
導入可能であると共に真空排気が可能な真空容器３１内
に、硬質金属等の成膜金属からなる負電極３２と切削工
具等の成膜対象物３３とを配設し、真空容器３１および
負電極３２にアーク電圧を印加させるようになってい
る。
は、金属等の加工対象物よりも大きな硬度を有する必要
があるため、通常、表面に硬質金属等からなる被膜が形
成されるようになっている。この被膜の形成には、アー
ク放電真空蒸着装置が多用されており、従来のアーク放
電真空蒸着装置は、図２に示すように、プロセスガスを
導入可能であると共に真空排気が可能な真空容器３１内
に、硬質金属等の成膜金属からなる負電極３２と切削工
具等の成膜対象物３３とを配設し、真空容器３１および
負電極３２にアーク電圧を印加させるようになってい
る。
【０００３】これにより、従来のアーク放電真空蒸着装
置は、真空容器３１と負電極３２との間にアーク放電を
生じさせることにより負電極３２を構成する成膜金属を
蒸発させ、この蒸発した成膜金属をバイアス電圧が印加
された成膜対象物３３に付着させることによって、成膜
金属の被膜を形成させるようになっている。
置は、真空容器３１と負電極３２との間にアーク放電を
生じさせることにより負電極３２を構成する成膜金属を
蒸発させ、この蒸発した成膜金属をバイアス電圧が印加
された成膜対象物３３に付着させることによって、成膜
金属の被膜を形成させるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、成膜対象物
３３は、例えば切削工具により切削された加工対象物の
切削面が平滑である程、仕上げ等の後工程を簡単化でき
ると共に製品の品質を向上させることができるため、被
膜の面粗度を向上させることが望まれている。
３３は、例えば切削工具により切削された加工対象物の
切削面が平滑である程、仕上げ等の後工程を簡単化でき
ると共に製品の品質を向上させることができるため、被
膜の面粗度を向上させることが望まれている。
【０００５】しかしながら、負電極３２である成膜金属
が蒸発すると、この蒸発と共に、蒸発した成膜金属の集
合体である金属粒子が負電極３２から飛散し、この金属
粒子が成膜対象物３３に付着して面粗度に関係するドロ
ップレットを発生させることになる。このドロップレッ
トの径は、金属粒子の粒子径により決定されるものであ
り、金属粒子の粒子径は、負電極３２から蒸発する際の
飛び出し角度に応じて異なることが知られている。即
ち、例えば図３に示すように、金属粒子は、負電極３２
のアーク発生面に対する飛び出し角度が垂直に近づく
程、小径化することが知られている。
が蒸発すると、この蒸発と共に、蒸発した成膜金属の集
合体である金属粒子が負電極３２から飛散し、この金属
粒子が成膜対象物３３に付着して面粗度に関係するドロ
ップレットを発生させることになる。このドロップレッ
トの径は、金属粒子の粒子径により決定されるものであ
り、金属粒子の粒子径は、負電極３２から蒸発する際の
飛び出し角度に応じて異なることが知られている。即
ち、例えば図３に示すように、金属粒子は、負電極３２
のアーク発生面に対する飛び出し角度が垂直に近づく
程、小径化することが知られている。
【０００６】従って、上記従来のアーク放電真空蒸着装
置では、負電極３２から様々な粒子径でもって金属粒子
が飛散し、大きな粒子径の金属粒子が成膜対象物３３に
付着することによる大きな径のドロップレットの発生に
よって、被膜の面粗度を向上させるという要望に応える
ことができないという問題がある。
置では、負電極３２から様々な粒子径でもって金属粒子
が飛散し、大きな粒子径の金属粒子が成膜対象物３３に
付着することによる大きな径のドロップレットの発生に
よって、被膜の面粗度を向上させるという要望に応える
ことができないという問題がある。
【０００７】従って、本発明においては、成膜対象物３
３に形成された被膜の面粗度を向上させることができる
アーク放電真空蒸着装置を提供することを目的としてい
る。
３に形成された被膜の面粗度を向上させることができる
アーク放電真空蒸着装置を提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のアーク放電真空
蒸着装置は、上記課題を解決するために、アーク放電を
生じる成膜金属のアーク発生面から上記成膜金属を蒸発
させて成膜対象物に被膜を形成させる際に、上記アーク
発生面に対する飛び出し角度が垂直に近づく程、小径化
する上記成膜金属の金属粒子が成膜対象物に付着するも
のであり、下記の特徴を有している。
蒸着装置は、上記課題を解決するために、アーク放電を
生じる成膜金属のアーク発生面から上記成膜金属を蒸発
させて成膜対象物に被膜を形成させる際に、上記アーク
発生面に対する飛び出し角度が垂直に近づく程、小径化
する上記成膜金属の金属粒子が成膜対象物に付着するも
のであり、下記の特徴を有している。
【０００９】即ち、上記成膜金属の周囲には、アーク発
生面に対向して形成された開口部を有するカバー手段が
設けられていることを特徴としている。
生面に対向して形成された開口部を有するカバー手段が
設けられていることを特徴としている。
【００１０】
【作用】上記の構成によれば、アーク発生面とカバー手
段の開口部の周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角
度でもって飛び出した金属粒子が開口部を介してカバー
手段の外部に飛散することになる。この際、金属粒子の
飛び出し角度がアーク発生面に対して垂直に近づく程、
金属粒子が小径化したものになっている。従って、カバ
ー手段の外部に飛散する金属粒子は、カバー手段の開口
部によって所定の粒子径以下のものに限定されることに
なり、この金属粒子が付着した成膜対象物は、小さな径
のドロップレットのみが発生するため、被膜の面粗度が
向上することになる。
段の開口部の周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角
度でもって飛び出した金属粒子が開口部を介してカバー
手段の外部に飛散することになる。この際、金属粒子の
飛び出し角度がアーク発生面に対して垂直に近づく程、
金属粒子が小径化したものになっている。従って、カバ
ー手段の外部に飛散する金属粒子は、カバー手段の開口
部によって所定の粒子径以下のものに限定されることに
なり、この金属粒子が付着した成膜対象物は、小さな径
のドロップレットのみが発生するため、被膜の面粗度が
向上することになる。
【００１１】
【実施例】本発明の一実施例を図１に基づいて説明すれ
ば、以下の通りである。
ば、以下の通りである。
【００１２】本実施例に係るアーク放電真空蒸着装置
は、図１に示すように、真空排気が可能な真空容器１を
有しており、Ｎ2 ガス等のプロセスガスが導入されるよ
うになっている。真空容器１内には、成膜対象物３・３
の被膜の形成に用いられる成膜金属からなる負電極２が
設けられている。尚、この成膜金属には、例えばＴｉや
Ｃｒ等の硬質金属が挙げられる。上記の負電極２には、
アーク電源４の負極側が接続されており、アーク電源４
の正極側は、上述の真空容器１に接続されていると共
に、アーク放電を開始させるトリガ電極５に接続されて
いる。
は、図１に示すように、真空排気が可能な真空容器１を
有しており、Ｎ2 ガス等のプロセスガスが導入されるよ
うになっている。真空容器１内には、成膜対象物３・３
の被膜の形成に用いられる成膜金属からなる負電極２が
設けられている。尚、この成膜金属には、例えばＴｉや
Ｃｒ等の硬質金属が挙げられる。上記の負電極２には、
アーク電源４の負極側が接続されており、アーク電源４
の正極側は、上述の真空容器１に接続されていると共
に、アーク放電を開始させるトリガ電極５に接続されて
いる。
【００１３】上記のトリガ電極５は、負電極２における
アーク発生面２ａの前方に設けられており、負電極２へ
の接触が可能になっている。また、トリガ電極５および
負電極２の周囲には、導電性を有したカバー６（カバー
手段）が設けられている。そして、カバー６は、トリガ
電極５によりアーク放電が開始された後、負電極２のア
ーク発生面２ａとでアーク放電を生じさせることによっ
て、アーク発生面２ａから負電極２を構成する金属を蒸
発させるようになっている。
アーク発生面２ａの前方に設けられており、負電極２へ
の接触が可能になっている。また、トリガ電極５および
負電極２の周囲には、導電性を有したカバー６（カバー
手段）が設けられている。そして、カバー６は、トリガ
電極５によりアーク放電が開始された後、負電極２のア
ーク発生面２ａとでアーク放電を生じさせることによっ
て、アーク発生面２ａから負電極２を構成する金属を蒸
発させるようになっている。
【００１４】上記のアーク発生面２ａに対向する位置関
係にあるカバー６の頂部には、開口部６ａが形成されて
いる。この開口部６ａは、負電極２から飛び出した金属
粒子をカバー６の外部に飛散させるようになっている。
この開口部６ａの位置および大きさは、開口部６ａの周
縁Ｂと負電極２のアーク発生面２ａにおける中心点Ａと
を結ぶ直線がアーク発生面２ａに対して所定角度θでも
って交錯するように設定されている。これにより、開口
部６ａからカバー６の外部に飛散する金属粒子は、アー
ク発生面２ａから飛び出す際の飛び出し角度が略所定角
度θよりも大きなものに限定されるようになっている。
係にあるカバー６の頂部には、開口部６ａが形成されて
いる。この開口部６ａは、負電極２から飛び出した金属
粒子をカバー６の外部に飛散させるようになっている。
この開口部６ａの位置および大きさは、開口部６ａの周
縁Ｂと負電極２のアーク発生面２ａにおける中心点Ａと
を結ぶ直線がアーク発生面２ａに対して所定角度θでも
って交錯するように設定されている。これにより、開口
部６ａからカバー６の外部に飛散する金属粒子は、アー
ク発生面２ａから飛び出す際の飛び出し角度が略所定角
度θよりも大きなものに限定されるようになっている。
【００１５】尚、上記の所定角度θは、４５度であるこ
とが望ましい。また、開口部６ａの位置および大きさ
は、開口部６ａの周縁Ｂと負電極２のアーク発生面２ａ
における中心点Ａとを結ぶ直線がアーク発生面２ａに対
して所定角度θでもって交錯するように設定されている
が、これに限定されるものではない。但し、このように
設定することによって、カバー６の外部に飛散する金属
粒子の粒子径を考慮したカバー６の設計が容易になると
いう利点がある。
とが望ましい。また、開口部６ａの位置および大きさ
は、開口部６ａの周縁Ｂと負電極２のアーク発生面２ａ
における中心点Ａとを結ぶ直線がアーク発生面２ａに対
して所定角度θでもって交錯するように設定されている
が、これに限定されるものではない。但し、このように
設定することによって、カバー６の外部に飛散する金属
粒子の粒子径を考慮したカバー６の設計が容易になると
いう利点がある。
【００１６】上記のカバー６の外部に位置する真空容器
１内には、切削工具等の複数の成膜対象物３・３が設け
られるようになっている。これらの成膜対象物３・３
は、矢符方向に回転可能な取り付け具７に固設されるよ
うになっており、取り付け具７は、洗浄工程時や成膜工
程時に成膜対象物３・３を旋回させるようになってい
る。また、取り付け具７には、バイアス電源８の負極側
が接続されており、バイアス電源８は、取り付け具７を
介して成膜対象物３・３に負のバイアス電圧を印加する
ようになっている。
１内には、切削工具等の複数の成膜対象物３・３が設け
られるようになっている。これらの成膜対象物３・３
は、矢符方向に回転可能な取り付け具７に固設されるよ
うになっており、取り付け具７は、洗浄工程時や成膜工
程時に成膜対象物３・３を旋回させるようになってい
る。また、取り付け具７には、バイアス電源８の負極側
が接続されており、バイアス電源８は、取り付け具７を
介して成膜対象物３・３に負のバイアス電圧を印加する
ようになっている。
【００１７】上記の構成において、アーク放電真空蒸着
装置の動作について説明する。
装置の動作について説明する。
【００１８】先ず、成膜対象物３・３が真空容器１内に
搬入され、取り付け具７に装着されることになる。そし
て、真空容器１内が図示しない真空ポンプにより１０-5
〜１０-6 Torr 程度に真空排気された後、必要に応じて
所望の洗浄ガスが真空容器１内に導入されることにな
る。
搬入され、取り付け具７に装着されることになる。そし
て、真空容器１内が図示しない真空ポンプにより１０-5
〜１０-6 Torr 程度に真空排気された後、必要に応じて
所望の洗浄ガスが真空容器１内に導入されることにな
る。
【００１９】次いで、バイアス電源８からのバイアス電
圧（−１０００Ｖ程度）が取り付け具７を介して成膜対
象物３・３に印加されることになり、成膜対象物３・３
の表面が真空容器１内に存在する洗浄ガスのイオンとの
衝突により洗浄されることになる。この後、真空容器１
内に導入された洗浄ガスが真空排気により外部に排出さ
れ、真空容器１内の真空度が１０-5〜１０-6 Torr 程度
に達したときに、Ｎ2ガス等のプロセスガスが導入され
ることになる。
圧（−１０００Ｖ程度）が取り付け具７を介して成膜対
象物３・３に印加されることになり、成膜対象物３・３
の表面が真空容器１内に存在する洗浄ガスのイオンとの
衝突により洗浄されることになる。この後、真空容器１
内に導入された洗浄ガスが真空排気により外部に排出さ
れ、真空容器１内の真空度が１０-5〜１０-6 Torr 程度
に達したときに、Ｎ2ガス等のプロセスガスが導入され
ることになる。
【００２０】次に、バイアス電源８からのバイアス電圧
が−２００Ｖ程度に調整された後、トリガ電極５が負電
極２のアーク発生面２ａに接触されることになると共
に、アーク電源４からアーク電圧がトリガ電極５および
真空容器１と負電極２とに印加されることになる。そし
て、トリガ電極５がアーク発生面２ａから離反されるこ
とによりアーク放電が開始されることによって、アーク
放電がアーク発生面２ａとカバー６の内面および真空容
器１の隔壁との間において持続されることになる。
が−２００Ｖ程度に調整された後、トリガ電極５が負電
極２のアーク発生面２ａに接触されることになると共
に、アーク電源４からアーク電圧がトリガ電極５および
真空容器１と負電極２とに印加されることになる。そし
て、トリガ電極５がアーク発生面２ａから離反されるこ
とによりアーク放電が開始されることによって、アーク
放電がアーク発生面２ａとカバー６の内面および真空容
器１の隔壁との間において持続されることになる。
【００２１】上記のアーク放電は、アーク発生面２ａか
ら負電極２を構成する成膜金属を蒸発させることにな
り、この蒸発した成膜金属は、プロセスガスとによって
例えばＴｉＮ等の被膜を成膜対象物３・３に形成させる
ことになる。
ら負電極２を構成する成膜金属を蒸発させることにな
り、この蒸発した成膜金属は、プロセスガスとによって
例えばＴｉＮ等の被膜を成膜対象物３・３に形成させる
ことになる。
【００２２】また、上記のアーク放電は、成膜金属を蒸
発させると共に、アーク発生面に対する飛び出し角度が
垂直に近づく程、小径化する金属粒子を生成させること
になる。この際、金属粒子が飛び出す方向には、開口部
６ａが形成されたカバー６が設けられており、このカバ
ー６の開口部６ａの位置および大きさは、開口部６ａの
周縁Ｂと負電極２のアーク発生面２ａにおける中心点Ａ
とを結ぶ直線がアーク発生面２ａに対して所定角度θで
もって交錯するように設定されている。
発させると共に、アーク発生面に対する飛び出し角度が
垂直に近づく程、小径化する金属粒子を生成させること
になる。この際、金属粒子が飛び出す方向には、開口部
６ａが形成されたカバー６が設けられており、このカバ
ー６の開口部６ａの位置および大きさは、開口部６ａの
周縁Ｂと負電極２のアーク発生面２ａにおける中心点Ａ
とを結ぶ直線がアーク発生面２ａに対して所定角度θで
もって交錯するように設定されている。
【００２３】従って、アーク発生面２ａに対する金属粒
子の飛び出し角度が略所定角度θ以下の場合には、金属
粒子がカバー６の内壁に衝突することによりカバー６の
外部に飛散することがない。一方、アーク発生面２ａに
対する金属粒子の飛び出し角度が略所定角度θよりも大
きい場合には、金属粒子がカバー６の開口部６ａからカ
バー６の外部に飛散することになる。これにより、成膜
対象物３・３には、アーク発生面２ａに対する飛び出し
角度が略所定角度θよりも大きい金属粒子の粒子径以下
の金属粒子のみが付着することになる。
子の飛び出し角度が略所定角度θ以下の場合には、金属
粒子がカバー６の内壁に衝突することによりカバー６の
外部に飛散することがない。一方、アーク発生面２ａに
対する金属粒子の飛び出し角度が略所定角度θよりも大
きい場合には、金属粒子がカバー６の開口部６ａからカ
バー６の外部に飛散することになる。これにより、成膜
対象物３・３には、アーク発生面２ａに対する飛び出し
角度が略所定角度θよりも大きい金属粒子の粒子径以下
の金属粒子のみが付着することになる。
【００２４】このように、本実施例のアーク放電真空蒸
着装置は、負電極２のアーク発生面２ａに対向する開口
部６ａが形成されたカバー６を負電極２の周囲に設ける
ようになっている。これにより、アーク発生面２ａと開
口部６ａの周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角度
でもって飛び出した金属粒子が開口部６ａを介してカバ
ー６の外部に飛散することになり、この外部に飛散した
金属粒子によりドロップレットが形成されることにな
る。従って、金属粒子の飛び出し角度がアーク発生面２
ａに対して垂直に近づく程、金属粒子が小径化するた
め、成膜対象物３・３には、小さな径のドロップレット
のみが発生することになり、結果として面粗度の向上し
た被膜が形成されることになる。
着装置は、負電極２のアーク発生面２ａに対向する開口
部６ａが形成されたカバー６を負電極２の周囲に設ける
ようになっている。これにより、アーク発生面２ａと開
口部６ａの周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角度
でもって飛び出した金属粒子が開口部６ａを介してカバ
ー６の外部に飛散することになり、この外部に飛散した
金属粒子によりドロップレットが形成されることにな
る。従って、金属粒子の飛び出し角度がアーク発生面２
ａに対して垂直に近づく程、金属粒子が小径化するた
め、成膜対象物３・３には、小さな径のドロップレット
のみが発生することになり、結果として面粗度の向上し
た被膜が形成されることになる。
【００２５】
【発明の効果】本発明のアーク放電真空蒸着装置は、以
上のように、アーク放電を生じる成膜金属のアーク発生
面から上記成膜金属を蒸発させて成膜対象物に被膜を形
成させる際に、上記アーク発生面に対する飛び出し角度
が垂直に近づく程、小径化する上記成膜金属の金属粒子
が成膜対象物に付着するものである。そして、上記成膜
金属の周囲には、アーク発生面に対向して形成された開
口部を有するカバー手段が設けられている構成である。
上のように、アーク放電を生じる成膜金属のアーク発生
面から上記成膜金属を蒸発させて成膜対象物に被膜を形
成させる際に、上記アーク発生面に対する飛び出し角度
が垂直に近づく程、小径化する上記成膜金属の金属粒子
が成膜対象物に付着するものである。そして、上記成膜
金属の周囲には、アーク発生面に対向して形成された開
口部を有するカバー手段が設けられている構成である。
【００２６】これにより、アーク発生面とカバー手段の
開口部の周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角度で
もって飛び出した金属粒子が開口部を介してカバー手段
の外部に飛散し、この外部に飛散した金属粒子のみが成
膜対象物に付着するため、小さな径のドロップレットの
みが成膜対象物に発生することになり、結果として成膜
対象物の面粗度が向上するという効果を奏する。
開口部の周縁との成す角度よりも大きな飛び出し角度で
もって飛び出した金属粒子が開口部を介してカバー手段
の外部に飛散し、この外部に飛散した金属粒子のみが成
膜対象物に付着するため、小さな径のドロップレットの
みが成膜対象物に発生することになり、結果として成膜
対象物の面粗度が向上するという効果を奏する。
【図１】本発明を示すものであり、アーク放電真空蒸着
装置の概略図である。
装置の概略図である。
【図２】従来例を示すものであり、アーク放電真空蒸着
装置の概略図である。
装置の概略図である。
【図３】飛び出し角度とドロップレットの最大径との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
１ 真空容器 ２ 負電極 ２ａ アーク発生面 ３ 成膜対象物 ４ アーク電源 ５ トリガ電極 ６ カバー（カバー手段） ６ａ 開口部 ７ 取り付け具 ８ バイアス電源
Claims (1)
- 【請求項１】アーク放電を生じる成膜金属のアーク発生
面から上記成膜金属を蒸発させて成膜対象物に被膜を形
成させる際に、上記アーク発生面に対する飛び出し角度
が垂直に近づく程、小径化する上記成膜金属の金属粒子
が成膜対象物に付着するアーク放電真空蒸着装置におい
て、 上記成膜金属の周囲には、アーク発生面に対向して形成
された開口部を有するカバー手段が設けられていること
を特徴とするアーク放電真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP658893A JPH06212406A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | アーク放電真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP658893A JPH06212406A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | アーク放電真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06212406A true JPH06212406A (ja) | 1994-08-02 |
Family
ID=11642494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP658893A Pending JPH06212406A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | アーク放電真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06212406A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4341559A1 (de) * | 1992-12-28 | 1994-06-30 | Hyundai Motor Co Ltd | Anti-Roll-System für Fahrzeuge |
| JP2016528391A (ja) * | 2013-08-20 | 2016-09-15 | エムディーエス コーティング テクノロジーズ コーポレーション | マクロ粒子を含む皮膜及びその皮膜を形成する陰極アークプロセス |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP658893A patent/JPH06212406A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4341559A1 (de) * | 1992-12-28 | 1994-06-30 | Hyundai Motor Co Ltd | Anti-Roll-System für Fahrzeuge |
| DE4341559C2 (de) * | 1992-12-28 | 2001-11-29 | Hyundai Motor Co Ltd | Anti-Roll-System für Fahrzeuge |
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