JPH06201864A - 外部取付空冷集塵機能付冷却ユニット - Google Patents
外部取付空冷集塵機能付冷却ユニットInfo
- Publication number
- JPH06201864A JPH06201864A JP36143992A JP36143992A JPH06201864A JP H06201864 A JPH06201864 A JP H06201864A JP 36143992 A JP36143992 A JP 36143992A JP 36143992 A JP36143992 A JP 36143992A JP H06201864 A JPH06201864 A JP H06201864A
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- JP
- Japan
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- cooling
- cooling unit
- heat
- air
- collecting function
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Abstract
(57)【要約】
【目的】装置機器の発熱部に容易に外部から取付可能
で、ユニットの数を変えることにより発熱量の変化に対
応できるようにする。 【構成】着脱自在の放熱板２と、放熱板２を収容する放
熱板カバー１と、吸気側軸流ファン３と、吸気ダクト８
と、吸気ダクト８に接続されフイルター６を保持するリ
テーナー７と、フィルターガード５と、排気側軸流ファ
ン４及び排気ダクト９からなり、装置機器の水平または
垂直な発熱部１２を冷却する冷却ユニット１３を形成
し、冷却ユニット１３の数を変えることにより発熱量の
変化に対応できて、冷却すべき装置機器に取付け冷却効
果を高める。
で、ユニットの数を変えることにより発熱量の変化に対
応できるようにする。 【構成】着脱自在の放熱板２と、放熱板２を収容する放
熱板カバー１と、吸気側軸流ファン３と、吸気ダクト８
と、吸気ダクト８に接続されフイルター６を保持するリ
テーナー７と、フィルターガード５と、排気側軸流ファ
ン４及び排気ダクト９からなり、装置機器の水平または
垂直な発熱部１２を冷却する冷却ユニット１３を形成
し、冷却ユニット１３の数を変えることにより発熱量の
変化に対応できて、冷却すべき装置機器に取付け冷却効
果を高める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置また
は設備機器などの主冷却ユニット、または冷却補助、ま
たは冷却機器の停止による臨時の冷却ユニットに関す
る。
は設備機器などの主冷却ユニット、または冷却補助、ま
たは冷却機器の停止による臨時の冷却ユニットに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置及び設備機器は、それぞ
れ固有の冷却機構を持っている。しかし、誤操作，設計
ミス，環境の不備により規定以上の発熱を生じることが
多々ある。また、発生した熱により近傍の設備、計測機
器に与える影響も大きい。これらの装置または設備機器
の冷却が不充分の場合には、冷却機構を検討して再設計
するか、または冷却ユニットの運転時間の見直し、また
は空調機器を改善するなど、コスト的、時間的にも大が
かりな手数を要した。
れ固有の冷却機構を持っている。しかし、誤操作，設計
ミス，環境の不備により規定以上の発熱を生じることが
多々ある。また、発生した熱により近傍の設備、計測機
器に与える影響も大きい。これらの装置または設備機器
の冷却が不充分の場合には、冷却機構を検討して再設計
するか、または冷却ユニットの運転時間の見直し、また
は空調機器を改善するなど、コスト的、時間的にも大が
かりな手数を要した。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来は一旦冷却装置を
設置しても、冷却性能が充分でない場合には、初めから
設計をやり直さねばならないので手間がかかるという問
題があった。
設置しても、冷却性能が充分でない場合には、初めから
設計をやり直さねばならないので手間がかかるという問
題があった。
【０００４】この発明は、装置機器の発熱部に容易に外
部から取付可能で、ユニットの数を変えることにより発
熱量の変化に対応できる外部取付空冷集塵機能付冷却ユ
ニットを提供することを目的とする。
部から取付可能で、ユニットの数を変えることにより発
熱量の変化に対応できる外部取付空冷集塵機能付冷却ユ
ニットを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】着脱自在の放熱板と、こ
の放熱板を収容する放熱板カバーと、この放熱板カバー
内の前記放熱板の吸気側に配置された吸気側軸流ファン
と、吸気ダクトと、この吸気ダクトに接続されフイルタ
ーを保持するリテーナーと、前記フイルターと前記吸気
側軸流ファンとの間に挿入されたフイルターガードと、
前記放熱板カバーに接続された排気側軸流ファン及び排
気ダクトとからなり、装置機器の水平または垂直な発熱
部に取付ける冷却ユニットを形成したことによって、上
記目的を達成する。
の放熱板を収容する放熱板カバーと、この放熱板カバー
内の前記放熱板の吸気側に配置された吸気側軸流ファン
と、吸気ダクトと、この吸気ダクトに接続されフイルタ
ーを保持するリテーナーと、前記フイルターと前記吸気
側軸流ファンとの間に挿入されたフイルターガードと、
前記放熱板カバーに接続された排気側軸流ファン及び排
気ダクトとからなり、装置機器の水平または垂直な発熱
部に取付ける冷却ユニットを形成したことによって、上
記目的を達成する。
【０００６】また、放熱板は、平らな基板と、この基板
上に突出し断面が櫛歯状の平行な複数の冷却フィンとか
ら構成すれば、平らな発熱部を冷却する上に好適であ
る。
上に突出し断面が櫛歯状の平行な複数の冷却フィンとか
ら構成すれば、平らな発熱部を冷却する上に好適であ
る。
【０００７】また、放熱板は、直交する基板と、この基
板上に突出し断面が互いに直角方向に対向する複数の冷
却フィンを備えれば、直角方向の発熱部を同時に冷却す
る上に好適である。
板上に突出し断面が互いに直角方向に対向する複数の冷
却フィンを備えれば、直角方向の発熱部を同時に冷却す
る上に好適である。
【０００８】さらに、放熱板は、直交する基板と、この
一方の基板上に突出し断面が櫛歯状の平行な長い複数の
冷却フィンと、他方の基板上に前記冷却フィンと直角方
向に突出し断面が櫛歯状の平行な短い冷却フィンとを備
えれば、互いに直交し一方が他方より発熱量が大きい発
熱部を冷却する上に好適である。
一方の基板上に突出し断面が櫛歯状の平行な長い複数の
冷却フィンと、他方の基板上に前記冷却フィンと直角方
向に突出し断面が櫛歯状の平行な短い冷却フィンとを備
えれば、互いに直交し一方が他方より発熱量が大きい発
熱部を冷却する上に好適である。
【０００９】
【作用】この発明においては、吸気ダクと、フイルター
と、着脱自在の放熱板と、放熱板カバーと、吸気側軸流
ファンと、排気側軸流ファンと、排気ダクトとから冷却
ユニットを構成し、冷却すべき装置機器の発熱状態に合
わせて放熱板を選定し、放熱板カバー内に収容し、この
冷却ユニットを発熱部に水平または垂直に取付け、軸流
ファンにより空気を吸い込んでフイルターで集塵すると
ともに、放熱板で発熱部の熱を放散させることができ
る。また、放熱効果を確認の上で、不足のときは冷却ユ
ニットを増やし、過剰のときは冷却ユニットを減らせば
よい。
と、着脱自在の放熱板と、放熱板カバーと、吸気側軸流
ファンと、排気側軸流ファンと、排気ダクトとから冷却
ユニットを構成し、冷却すべき装置機器の発熱状態に合
わせて放熱板を選定し、放熱板カバー内に収容し、この
冷却ユニットを発熱部に水平または垂直に取付け、軸流
ファンにより空気を吸い込んでフイルターで集塵すると
ともに、放熱板で発熱部の熱を放散させることができ
る。また、放熱効果を確認の上で、不足のときは冷却ユ
ニットを増やし、過剰のときは冷却ユニットを減らせば
よい。
【００１０】
【実施例】実施例１ 図１はこの発明の平面を冷却する外部取付空冷集塵機能
付冷却ユニットの実施例を示す正面図、図２は図１のII
−II断面図、図３は図２のIII −III 断面図である。図
１において、外部取付空冷集塵機能付冷却ユニットは、
放熱板カバー１と、この放熱板カバー１に収容され着脱
自在の放熱板２と、放熱板カバー１内の放熱板２の吸気
側に配置された吸気側軸流ファン３と、吸気ダクト８
と、吸気ダクト８に接続されフイルター６を保持するリ
テーナー７と、、フイルター６と吸気側軸流ファン３と
の間に挿入されたフイルターガード５と、放熱板カバー
１に接続された排気側軸流ファン４及び排気ダクト９と
から構成されている。図１の例は水平に設置されている
が、垂直に設置することもできる。吸気ダクト８及び排
気ダクト９はともに断熱，耐熱に優れた樹脂製とし、可
撓性なので吸気配管，排気配管の取り付けが容易であ
る。
付冷却ユニットの実施例を示す正面図、図２は図１のII
−II断面図、図３は図２のIII −III 断面図である。図
１において、外部取付空冷集塵機能付冷却ユニットは、
放熱板カバー１と、この放熱板カバー１に収容され着脱
自在の放熱板２と、放熱板カバー１内の放熱板２の吸気
側に配置された吸気側軸流ファン３と、吸気ダクト８
と、吸気ダクト８に接続されフイルター６を保持するリ
テーナー７と、、フイルター６と吸気側軸流ファン３と
の間に挿入されたフイルターガード５と、放熱板カバー
１に接続された排気側軸流ファン４及び排気ダクト９と
から構成されている。図１の例は水平に設置されている
が、垂直に設置することもできる。吸気ダクト８及び排
気ダクト９はともに断熱，耐熱に優れた樹脂製とし、可
撓性なので吸気配管，排気配管の取り付けが容易であ
る。
【００１１】図２において、放熱板は平らな基板２ａ上
に断面が櫛歯状の平行な冷却ユニット２ｂを備え発熱部
１２の熱を放熱板の冷却フィン２ｂを通過する風に放熱
させる。放熱板２と冷却板１との間にシール１０を挿入
し、互いに取付ボルト１１で締付けている。 図３にお
いて、吸気ダクト８から吸い込まれた空気は、フイルタ
ー６を通って吸気側軸流ファン３により吸引され、放熱
板カバー１内を流通する。そのとき放熱板２から発熱部
１２の熱を放散させ、発熱部１２を冷却する。
に断面が櫛歯状の平行な冷却ユニット２ｂを備え発熱部
１２の熱を放熱板の冷却フィン２ｂを通過する風に放熱
させる。放熱板２と冷却板１との間にシール１０を挿入
し、互いに取付ボルト１１で締付けている。 図３にお
いて、吸気ダクト８から吸い込まれた空気は、フイルタ
ー６を通って吸気側軸流ファン３により吸引され、放熱
板カバー１内を流通する。そのとき放熱板２から発熱部
１２の熱を放散させ、発熱部１２を冷却する。
【００１２】図４は図２の冷却ユニットに用いる放熱板
の実施例を示す断面図である。発熱部１２は水平であ
り、冷却板２は平らな基板２ａとこの基板２ａ上に突出
し断面が櫛歯状の平行な冷却フィン２ｂを備え、ユニッ
ト１３は発熱部１２上に水平に設置されている。図２は
図４の放熱板２を内蔵している。
の実施例を示す断面図である。発熱部１２は水平であ
り、冷却板２は平らな基板２ａとこの基板２ａ上に突出
し断面が櫛歯状の平行な冷却フィン２ｂを備え、ユニッ
ト１３は発熱部１２上に水平に設置されている。図２は
図４の放熱板２を内蔵している。
【００１３】実施例２ 図５は直交する基板上に断面が互いに直角方向に対向す
る冷却フィンを備えた放熱板の実施例を示す断面図であ
る。図５の例は、発熱部１２が互いに直角方向に配置さ
れ、かつ両方の発熱量が等しい場合に適用される。冷却
板２は直交する基板２ａ，２ａと、この基板２ａ，２ａ
上に突出し断面が互いに直角方向に対向する複数の冷却
フィン２ｂを備えている。発熱部１２は水平面と垂直面
と両方にあり、かつ両方の発熱量が等しい場合に適用さ
れる。
る冷却フィンを備えた放熱板の実施例を示す断面図であ
る。図５の例は、発熱部１２が互いに直角方向に配置さ
れ、かつ両方の発熱量が等しい場合に適用される。冷却
板２は直交する基板２ａ，２ａと、この基板２ａ，２ａ
上に突出し断面が互いに直角方向に対向する複数の冷却
フィン２ｂを備えている。発熱部１２は水平面と垂直面
と両方にあり、かつ両方の発熱量が等しい場合に適用さ
れる。
【００１４】実施例３ 図６は基板が直交し、水平な基板上に長い平行な複数の
冷却フィンと、垂直な基板上に平行な複数の短い冷却フ
ィンを有する放熱板の実施例を示す断面図である。図６
の例は、発熱部１２が互いに直角方向に配置され水平な
発熱部の発熱量が垂直な発熱部の発熱量より大きい場合
に適用される。冷却板２は直交する基板２ａ，２ａと、
水平方向の基板１２上に突出し断面が櫛歯状の平行な長
い複数の冷却フィン２ｂと、垂直な基板１２上に突出
し、水平基板１２上の冷却フィン２ｂと直角方向の平行
な複数の冷却フィン２ｂとを備えた。
冷却フィンと、垂直な基板上に平行な複数の短い冷却フ
ィンを有する放熱板の実施例を示す断面図である。図６
の例は、発熱部１２が互いに直角方向に配置され水平な
発熱部の発熱量が垂直な発熱部の発熱量より大きい場合
に適用される。冷却板２は直交する基板２ａ，２ａと、
水平方向の基板１２上に突出し断面が櫛歯状の平行な長
い複数の冷却フィン２ｂと、垂直な基板１２上に突出
し、水平基板１２上の冷却フィン２ｂと直角方向の平行
な複数の冷却フィン２ｂとを備えた。
【００１５】実施例４ 図７は基板が直交し、垂直な基板上に長い平行な複数の
冷却フィンと、水平な基板上に平行な複数の短い冷却フ
ィンを有する放熱板の実施例を示す断面図である。図７
の例は、発熱部１２が互いに直角方向に配置され、垂直
な発熱部の発熱量が水平な発熱部の発熱量よりも大きい
場合に適用される。冷却板２は、直交する基板２ａ上に
突出し、断面が櫛歯状の平行な長い複数の冷却フィン２
ｂと、水平な基板１２上に突出し、垂直な基板１２上の
冷却フィン２ｂと直角方向の短い複数の冷却フィン２ｂ
とを備えた。放熱面，放熱具合により図４，図５，図
６，図７の放熱板２の中から適当な放熱板２を選び、放
熱量を算出して放熱板の表面積を決定する。
冷却フィンと、水平な基板上に平行な複数の短い冷却フ
ィンを有する放熱板の実施例を示す断面図である。図７
の例は、発熱部１２が互いに直角方向に配置され、垂直
な発熱部の発熱量が水平な発熱部の発熱量よりも大きい
場合に適用される。冷却板２は、直交する基板２ａ上に
突出し、断面が櫛歯状の平行な長い複数の冷却フィン２
ｂと、水平な基板１２上に突出し、垂直な基板１２上の
冷却フィン２ｂと直角方向の短い複数の冷却フィン２ｂ
とを備えた。放熱面，放熱具合により図４，図５，図
６，図７の放熱板２の中から適当な放熱板２を選び、放
熱量を算出して放熱板の表面積を決定する。
【００１６】以下この発明の冷却ユニットの配置につい
て説明する。図８はこの発明の冷却ユニットの配置を示
す建屋内部の側面図である。図８の左側は冷却すべき装
置機器１４に冷却ユニット１３を垂直に取り付け、工場
内外の冷気を吸気ダクト１５を通じて冷却ユニット１３
に取り入れ、指向性をもたせた排気ダクト１６から工場
天井に向けて暖気を放出する。天井には換気ファン１７
または換気窓１８があり、放出された暖気を屋外に排気
する。図８の右側は、工場内外の冷気が風量不足になら
ないように吸気側補助ファン１９及び排気側補助ファン
２０により暖気を屋外へ排気する。
て説明する。図８はこの発明の冷却ユニットの配置を示
す建屋内部の側面図である。図８の左側は冷却すべき装
置機器１４に冷却ユニット１３を垂直に取り付け、工場
内外の冷気を吸気ダクト１５を通じて冷却ユニット１３
に取り入れ、指向性をもたせた排気ダクト１６から工場
天井に向けて暖気を放出する。天井には換気ファン１７
または換気窓１８があり、放出された暖気を屋外に排気
する。図８の右側は、工場内外の冷気が風量不足になら
ないように吸気側補助ファン１９及び排気側補助ファン
２０により暖気を屋外へ排気する。
【００１７】図９はこの発明の冷却ユニットの他の配置
を示す建屋内部の側面図である。図９の例は、冷却ユニ
ット１３を冷却すべき装置機器１４に垂直に取り付け、
冷気を吸気ダクト１５を通じて冷却ユニット１３に取り
入れ、排気ダクト１６を直接工場外壁２１まで延長さ
せ、工場外壁２１から屋外へ排気する。その際、冷気の
取入箇所及び放出箇所をあらかじめ定める。全体のレイ
アウトは、冷却すべき装置機器１４を取り巻く環境に合
わせた通風設備及び要求される室内冷却温度の保持度合
いに従って定める。
を示す建屋内部の側面図である。図９の例は、冷却ユニ
ット１３を冷却すべき装置機器１４に垂直に取り付け、
冷気を吸気ダクト１５を通じて冷却ユニット１３に取り
入れ、排気ダクト１６を直接工場外壁２１まで延長さ
せ、工場外壁２１から屋外へ排気する。その際、冷気の
取入箇所及び放出箇所をあらかじめ定める。全体のレイ
アウトは、冷却すべき装置機器１４を取り巻く環境に合
わせた通風設備及び要求される室内冷却温度の保持度合
いに従って定める。
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、着脱自在の放熱板を
収容する放熱板カバーと、この冷却板カバーの吸気側に
接続された吸気ダクト及び吸気側軸流ファンと、フィル
ターと、排気側に接続された排気ダクトと排気側軸流フ
ァンとから冷却ユニットを形成し、この冷却ユニットを
冷却すべき装置機器の水平または垂直な発熱部に接触さ
せ、水平または垂直に設置し、軸流ファンにより空気を
吸い込んでフィルターで集塵するとともに、放熱板で発
熱部の熱を放散させることができる。放熱が不足のとき
は冷却ユニットを増やし、放熱が過剰のときは、従来の
ような面倒な冷却機構の再検討の必要がなく、冷却ユニ
ットを減らすことにより解決できる。また、冷却すべき
装置機器の形状，配置に合わせて放熱板を選定すること
により冷却効果を高めることができる。
収容する放熱板カバーと、この冷却板カバーの吸気側に
接続された吸気ダクト及び吸気側軸流ファンと、フィル
ターと、排気側に接続された排気ダクトと排気側軸流フ
ァンとから冷却ユニットを形成し、この冷却ユニットを
冷却すべき装置機器の水平または垂直な発熱部に接触さ
せ、水平または垂直に設置し、軸流ファンにより空気を
吸い込んでフィルターで集塵するとともに、放熱板で発
熱部の熱を放散させることができる。放熱が不足のとき
は冷却ユニットを増やし、放熱が過剰のときは、従来の
ような面倒な冷却機構の再検討の必要がなく、冷却ユニ
ットを減らすことにより解決できる。また、冷却すべき
装置機器の形状，配置に合わせて放熱板を選定すること
により冷却効果を高めることができる。
【図１】この発明の実施例１による外部取付空冷集塵機
能付冷却ユニットの正面図である。
能付冷却ユニットの正面図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】図２のIII −III 断面図である。
【図４】図２の冷却ユニットに用いる放熱板の縦断面図
である。
である。
【図５】この発明の実施例２を示す放熱板の縦断面図で
ある。
ある。
【図６】この発明の実施例３を示す放熱板の縦断面図で
ある。
ある。
【図７】この発明の実施例４を示す放熱板の縦断面図で
ある。
ある。
【図８】この発明の外部取付空冷集塵機能付冷却ユニッ
トの配置を示す建屋内部の側面図である。
トの配置を示す建屋内部の側面図である。
【図９】この発明の外部取付空冷集塵機能付冷却ユニッ
トの他の配置を示す建屋内部の側面図である。
トの他の配置を示す建屋内部の側面図である。
１ 放熱板カバー ２ 放熱板 ２ａ 基板 ２ｂ 冷却フィン ３ 吸気側軸流ファン ４ 排気側軸流ファン ５ フィルターガード ６ フィルタ ７ リテーナー ８ 吸気ダクト ９ 排気ダクト １２ 発熱部 １３ 冷却ユニット １４ 装置機器
Claims (4)
- 【請求項１】着脱自在の放熱板と、この放熱板を収容す
る放熱板カバーと、この放熱板カバー内の前記放熱板の
吸気側に配置された吸気側軸流ファンと、吸気ダクト
と、この吸気ダクトに接続されフイルターを保持するリ
テーナーと、前記フイルターと前記吸気側軸流ファンと
の間に挿入されたフイルターガードと、前記放熱板カバ
ーに接続された排気側軸流ファン及び排気ダクトとから
なり、装置機器の水平または垂直な発熱部に取付ける冷
却ユニットを形成したことを特徴とする外部取付空冷集
塵機能付冷却ユニット。 - 【請求項２】請求項１記載の外部取付空冷集塵機能付冷
却ユニットにおいて、放熱板は、平らな基板と、この基
板上に突出し断面が櫛歯状の平行な複数の冷却フィンと
からなることを特徴とする外部取付空冷集塵機能付冷却
ユニット。 - 【請求項３】請求項１記載の外部取付空冷集塵機能付冷
却ユニットにおいて、放熱板は、直交する基板と、この
基板上に突出し断面が互いに直角方向に対向する複数の
冷却フィンを備えたことを特徴とする外部取付空冷集塵
機能付冷却ユニット。 - 【請求項４】請求項１記載の外部取付空冷集塵機能付冷
却ユニットにおいて、放熱板は、直交する基板と、この
一方の基板上に突出し断面が櫛歯状の平行な長い複数の
冷却フィンと、他方の基板上に前記冷却フィンと直角方
向に突出し断面が櫛歯状の平行な短い冷却フィンとを備
えたことを特徴とする外部取付空冷集塵機能付冷却ユニ
ット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36143992A JPH06201864A (ja) | 1992-12-29 | 1992-12-29 | 外部取付空冷集塵機能付冷却ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36143992A JPH06201864A (ja) | 1992-12-29 | 1992-12-29 | 外部取付空冷集塵機能付冷却ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201864A true JPH06201864A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=18473589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36143992A Pending JPH06201864A (ja) | 1992-12-29 | 1992-12-29 | 外部取付空冷集塵機能付冷却ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201864A (ja) |
-
1992
- 1992-12-29 JP JP36143992A patent/JPH06201864A/ja active Pending
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