JPH06201467A - Spectral light amount varying device - Google Patents
Spectral light amount varying deviceInfo
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- JPH06201467A JPH06201467A JP231393A JP231393A JPH06201467A JP H06201467 A JPH06201467 A JP H06201467A JP 231393 A JP231393 A JP 231393A JP 231393 A JP231393 A JP 231393A JP H06201467 A JPH06201467 A JP H06201467A
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、各種の光を用いて観察
或いは試験等を行う分光光量可変装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectroscopic light quantity varying device for observing or testing using various kinds of light.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の分光光量可変装置において、光量
を自動的に制御する装置としては、図４に示す例の様
に、光学系の一部にハーフミラー等のビームスプリッタ
ー５を組込み、一定比率で分割された光量を検出器８で
計測し、ＣＰＵ（制御器）９を介して光量情報をランプ
電源10にフィードバックし、電圧あるいは電流を制御す
るシステムと、図５に示す様に、ＣＰＵ９を介した光量
情報を、ＮＤフィルター11（或いは可変スリット、絞り
器）にフィードバックして制御するシステムが公知であ
る。2. Description of the Related Art As a conventional device for automatically controlling the amount of light in a variable spectral light amount device, as shown in FIG. 4, a beam splitter 5 such as a half mirror is incorporated in a part of an optical system and fixed. A system for measuring the light amount divided by the ratio with a detector 8 and feeding back the light amount information to a lamp power source 10 via a CPU (controller) 9 to control a voltage or a current, and a CPU 9 as shown in FIG. A system is known in which the light amount information via the is fed back to the ND filter 11 (or a variable slit, a diaphragm) and controlled.
【０００３】図中１は光源、２はオプチカルチョッパ
ー、３はモノクロメータ、４はコリメータ、６は試料、
７は試料透過光測定用検出器である。In the figure, 1 is a light source, 2 is an optical chopper, 3 is a monochromator, 4 is a collimator, 6 is a sample,
Reference numeral 7 is a detector for measuring the transmitted light of the sample.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例に
おいては、次のような欠点がある。ａ．光源ランプ１の
電力（電圧、電流）負荷を制御する方式では、電力負荷
の変化と伴にランプ、フィラメントの温度も変動し、ラ
ンプより放射された波長の分布（スペクトル）が変化し
てしまう。又、ハロゲンランプの様なものを光源に用い
た場合には温度変化によりハロゲンサイクルがみだれる
為に、安定した光源を得ることができなくなる。更に、
制御レスポンスが非常に遅い。ｂ．ＮＤフィルター11の
様なフィルターを用いて制御する場合には、制御領域が
制限されると共に、ほこり等によるフィルターのよごれ
の影響を大きく受ける。However, the above conventional example has the following drawbacks. a. In the method of controlling the power (voltage, current) load of the light source lamp 1, the temperature of the lamp and the filament also fluctuates as the power load changes, and the distribution (spectrum) of the wavelength radiated from the lamp changes. Further, when a light source such as a halogen lamp is used, a halogen light cycle is generated due to a temperature change, so that a stable light source cannot be obtained. Furthermore,
Control response is very slow. b. When control is performed using a filter such as the ND filter 11, the control area is limited and the filter is greatly affected by dust and the like.
【０００５】本発明の目的は、上記ａ〜ｂに記した欠点
を解消した分光光量可変装置を提供することである。An object of the present invention is to provide a spectroscopic light quantity varying device which eliminates the above-mentioned drawbacks a to b.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明に係る分光光量可
変装置の構成は次のとおりである。The structure of the spectral light quantity varying device according to the present invention is as follows.
【０００７】２枚の円盤において、同心円線上に徐々に
小さくなる雲形の切り抜きを形成し、この切り抜きが反
対方向を向くように重ね合わせて２枚の円盤を回転自在
に軸支すると共に２枚の円盤をモータにより同一方向に
回転させて前記切り抜きの交点に形成される空間の大き
さを変更することにより、光量を制御できるように構成
した光量可変器をオプチカルチョッパーとビームスプリ
ッター間に配置し、ビームスプリッターで分割された光
を光源制御用検出器で計測し、この計測値を基に前記２
枚の円盤の回転量を演算してモータに信号を送り、この
信号に基づいて２枚の円盤を回転させて光量をフィード
バック制御する制御器を設けて成る分光光量可変装置。In the two discs, gradually decreasing cloud-shaped cutouts are formed on concentric circle lines, and the two discs are rotatably rotatably supported and superposed so that the cutouts face in opposite directions. By rotating the disk in the same direction by a motor to change the size of the space formed at the intersection of the cutouts, a light quantity variable device configured to control the light quantity is arranged between the optical chopper and the beam splitter, The light split by the beam splitter is measured by the light source control detector, and based on this measurement value,
A spectroscopic light quantity varying device comprising a controller for calculating the rotation amount of one disk and sending a signal to a motor, and rotating the two disks based on this signal to feedback control the light quantity.
【０００８】[0008]
【作用】光源から放射された光はオプチカルチョッパー
を経由して光量可変器に入る。この光量可変器は、２枚
の円盤に形成した雲形切り抜きの交点に形成される空間
により光量を制御する。制御された光はビームスプリッ
ターを経由してモノクロメータ、コリメータ、試料に至
り、例えば検出器により透過光量が検出される。一方、
ビームスプリッターで分割された光は光源制御用検出器
で測定され、この値はＣＰＵ（制御器）に入力される。
制御器は検出器で計測された光量を基に、光量可変器に
信号を送り、モータを駆動して２枚の円盤を回転させて
雲形切り抜きで形成されている空間の大きさを制御して
光量をフィードバック制御する。The light emitted from the light source enters the light quantity varying device via the optical chopper. This light quantity varying device controls the light quantity by the space formed at the intersection of the cloud-shaped cutouts formed on the two disks. The controlled light reaches the monochromator, the collimator, and the sample via the beam splitter, and the amount of transmitted light is detected by, for example, a detector. on the other hand,
The light split by the beam splitter is measured by the light source control detector, and this value is input to the CPU (controller).
The controller sends a signal to the light quantity variable device based on the light quantity measured by the detector, drives the motor and rotates the two disks to control the size of the space formed by the cloud cutout. The amount of light is feedback controlled.
【０００９】[0009]
【実施例】図１に基づいて本発明の実施例を説明する。
１は光源、２はオプチカルチョッパー、12は光量可変器
にして、この光量可変器12の構成は図２に示されてい
る。但し、この光量可変器12の説明は後述する。３はモ
ノクロメータ、４はコリメータ、５はビームスプリッタ
ー、６は試料、７は試料透過光測定用検出器、８はビー
ムスプリッター５で分割された光を計測する検出器、９
はＣＰＵ（制御器）、10はランプ電源である。Embodiments of the present invention will be described with reference to FIG.
Reference numeral 1 is a light source, 2 is an optical chopper, and 12 is a light amount variable device. The structure of the light amount variable device 12 is shown in FIG. However, the description of the light quantity varying device 12 will be described later. 3 is a monochromator, 4 is a collimator, 5 is a beam splitter, 6 is a sample, 7 is a detector for measuring sample transmitted light, 8 is a detector for measuring the light split by the beam splitter 5, 9
Is a CPU (controller), and 10 is a lamp power supply.
【００１０】図２に示した光量可変器12は、枠体13に２
枚の円盤14、14ａを軸15、15ａで回転自在に軸支し、且
つこの２枚の円盤14、14ａには同心円線上において徐々
に小さくなる雲形切り抜き16、16ａを互いに反対方向に
形成し、この切り抜き16、16ａの交点に光量制御用の空
間17を形成するように構成すると共にモータ18、駆動輪
19、ベルト20、回転輪21、21ａにより回転軸15、15ａを
回転させることにより、円盤14、14ａが同一方向に回転
する構成である。The light quantity variable device 12 shown in FIG.
A pair of discs 14 and 14a are rotatably supported by shafts 15 and 15a, and two discs 14 and 14a are formed with cloud cutouts 16 and 16a which are gradually reduced on concentric lines in opposite directions. A space 17 for controlling the amount of light is formed at the intersection of the cutouts 16 and 16a, and a motor 18 and a drive wheel are formed.
By rotating the rotary shafts 15 and 15a by the belt 19, the belt 20, and the rotary wheels 21 and 21a, the disks 14 and 14a rotate in the same direction.
【００１１】光源から放射された光はオプチカルチョッ
パー２を経由して光量可変器12に入る。この光量可変器
12は、２枚の円盤14、14ａに形成した雲形切り抜き16、
16ａの交点に形成される空間17により光量を制御する。
制御された光はビームスプリッター５を経由してモノク
ロメータ３、コリメータ４、試料６に至り、検出器７に
より透過光量が検出される。一方、ビームスプリッター
５で分割された光は光源制御用検出器８で測定され、こ
の値はＣＰＵ（制御器）９に入力される。ＣＰＵ９は検
出器８で計測された光量を基に、光量可変器12に信号を
送り、モータ18を駆動して２枚の円盤14、14ａを回転さ
せて雲形切り抜き16、16ａで形成される空間17の大きさ
を制御して光量をフィードバック制御する。The light emitted from the light source enters the light quantity varying device 12 via the optical chopper 2. This light quantity variable device
12 is a cloud-shaped cutout 16 formed on two disks 14 and 14a,
The amount of light is controlled by the space 17 formed at the intersection of 16a.
The controlled light reaches the monochromator 3, collimator 4, and sample 6 via the beam splitter 5, and the amount of transmitted light is detected by the detector 7. On the other hand, the light split by the beam splitter 5 is measured by the light source control detector 8, and this value is input to the CPU (controller) 9. The CPU 9 sends a signal to the light quantity varying device 12 based on the light quantity measured by the detector 8 to drive the motor 18 to rotate the two disks 14 and 14a to form a space formed by the cloud-shaped cutouts 16 and 16a. The size of 17 is controlled to feedback-control the light amount.
【００１２】[0012]
ａ．光源にかかる電力を制御しない為に、光源ランプの
温度変化による、ランプの放射スペクトル（波長分布と
強度）が一定である。 ｂ．２枚の円盤により、光束の大きさを調節する為に、
制御レスポンスが非常に速い。 ｃ．ＮＤフィルターを使用しないことにより、光の制御
領域に制限がない。 ｄ．本件の分光光量可変装置を用いることにより、図３
に示すように定エネルギー分光を簡単に行うことができ
る。例えば、Ｘｅで特定のランプのスペクトルは図３の
とおりであり、この光源の波長域λ1 で連続的に定エネ
ルギー分光を行う為には光源の強さを強度３に設定すれ
ば良い。a. Since the power applied to the light source is not controlled, the emission spectrum (wavelength distribution and intensity) of the lamp is constant due to the temperature change of the light source lamp. b. In order to adjust the size of the light flux with two disks,
Control response is very fast. c. By not using the ND filter, there is no limitation on the control area of light. d. By using the spectroscopic light amount variable device of the present case,
As shown in, constant energy spectroscopy can be easily performed. For example, the spectrum of a specific lamp with Xe is as shown in FIG. 3, and the intensity of the light source may be set to intensity 3 in order to continuously perform constant energy spectroscopy in the wavelength range λ 1 of this light source.
【図１】本発明に係る分光光量可変装置の説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram of a spectral light amount varying device according to the present invention.
【図２】光量可変器の説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram of a light quantity variable device.
【図３】分光光量可変装置の制御例の説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram of a control example of a spectral light amount varying device.
【図４】従来のランプ電力制御による自動光量制御シス
テムを採用した分光光量可変装置の説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram of a spectral light amount varying device that employs a conventional automatic light amount control system by controlling lamp power.
【図５】ＮＤフィルター等による自動光量制御システム
を採用した分光光量可変装置の説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram of a spectral light amount varying device that employs an automatic light amount control system using an ND filter or the like.
１ 光源 ２ オプチカルチョッパー ３ モノクロメータ ４ コリメータ ５ ビームスプリッター ６ 試料 ７ 検出器 ８ 検出器 ９ ＣＵＰ（制御器） 10 ランプ電源 12 光量可変器 13 枠体 14、14ａ 円盤 15、15ａ 軸 16、16ａ 雲形切り抜き 17 空間 18 モータ 19 駆動輪 20 ベルト 21、21ａ 回転輪 1 light source 2 optical chopper 3 monochromator 4 collimator 5 beam splitter 6 sample 7 detector 8 detector 9 CUP (controller) 10 lamp power supply 12 light quantity variable device 13 frame 14, 14a disk 15, 15a axis 16, 16a cloud clipping 17 Space 18 Motor 19 Drive Wheel 20 Belt 21, 21a Rotating Wheel
Claims (1)
に小さくなる雲形の切り抜きを形成し、この切り抜きが
反対方向を向くように重ね合わせて２枚の円盤を回転自
在に軸支すると共に２枚の円盤をモータにより同一方向
に回転させて前記切り抜きの交点に形成される空間の大
きさを変更することにより、光量を制御できるように構
成した光量可変器をオプチカルチョッパーとビームスプ
リッター間に配置し、ビームスプリッターで分割された
光を光源制御用検出器で計測し、この計測値を基に前記
２枚の円盤の回転量を演算してモータに信号を送り、こ
の信号に基づいて２枚の円盤を回転させて光量をフィー
ドバック制御する制御器を設けて成る分光光量可変装
置。1. The two discs are formed with gradually decreasing cloud-shaped cutouts on concentric circles, and the two discs are rotatably supported while being stacked so that the cutouts face in opposite directions. A light quantity variable device configured to control the light quantity is arranged between the optical chopper and the beam splitter by rotating the disks in the same direction by a motor and changing the size of the space formed at the intersection of the cutouts. Then, the light split by the beam splitter is measured by the light source control detector, the rotation amount of the two disks is calculated based on this measurement value, and a signal is sent to the motor. A variable spectroscopic quantity device provided with a controller for feedback controlling the quantity of light by rotating the disc.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP231393A JPH06201467A (en) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | Spectral light amount varying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP231393A JPH06201467A (en) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | Spectral light amount varying device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201467A true JPH06201467A (en) | 1994-07-19 |
Family
ID=11525856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP231393A Pending JPH06201467A (en) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | Spectral light amount varying device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201467A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006025104A1 (en) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Gl Sciences Incorporated | Optical detection method and optical detector |
| US7369243B2 (en) | 2003-05-28 | 2008-05-06 | Fujifilm Corporation | Optical measuring apparatus and optical measuring method |
| JP2008309805A (en) * | 2008-09-26 | 2008-12-25 | Fujifilm Corp | Light measuring instrument and light measuring method |
| JP2010085305A (en) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Ushio Inc | Illumination light source apparatus |
| JP2016191647A (en) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | ブラザー工業株式会社 | Inspection device |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP231393A patent/JPH06201467A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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