JPH06198914A - インクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 広い範囲でインク滴量を変調して、十分なレ
ベルの階調表現を行なうことができるサーマルインクジ
ェット記録装置を提供する。 【構成】 隣接する２個ずつのノズル５ａ，５ｂにより
１つの印字ドットを印字する。それに対応するヒーター
７ａ，７ｂは、個別電極１２に並列に接続されている。
ヒーター７ａ，７ｂの面積が相違し、インク滴を吐出さ
せる閾値エネルギーが互いに異なる。したがって、印加
電力が第１の値ではノズル５ａのみがインク滴を吐出
し、それより大きい第２の値ではノズルノズル５ａ，５
ｂからインク滴が吐出され、印字ドットの大きさを変え
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、発熱抵抗体の発熱によ
り発生する蒸気バブルの圧力によってインク滴をオリフ
ィスから噴射し、記録を行なうインクジェット記録装
置、特に、階調記録を行なうためのインクジェット記録
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式において、発熱
抵抗体からの発熱により発生する蒸気バブルの圧力によ
ってインク滴を噴射させるサーマルインクジェット記録
方式は、その構造的な特徴から高密度で高速記録が十分
可能であり、かつ、マルチノズル化が極めて容易である
ため、近年注目を集めている記録方式である。

【０００３】従来、このようなインクジェット記録装置
における画像の階調表現は、インク滴自体の大きさを変
えることが困難であるため、例えば、ディザ法を用いて
ドットによるマトリクスを形成し、マトリクス内のドッ
トの分布により疑似的に階調を表現することが行なわれ
ている。しかしながらこの方法は、１６階調を表現する
場合に４×４のマトリクスを必要とし、実質的な解像度
が１／４に低下してしまう欠点がある。解像度を低下さ
せないでディザ法を用いるには、高密度に多数のオリフ
ィスを必要とするため駆動回路や配線数が増加するとい
った問題があった。

【０００４】そこで、解像度を犠牲にすることなく階調
を表現する方法として、ドロップ自体の大きさを変える
ことが試みられている。ドロップ量を変化させる方法と
して、実開昭５７−１４１０４３号公報に記載された階
調設定回路は、分圧回路を利用して、電圧値を変えて濃
度階調を設定するものである。

【０００５】発熱抵抗体に印加するエネルギーと、噴射
されるドロップ量の関係を示したものが図４である。印
加エネルギーが増加しても、ある値以上の印加エネルギ
ーに対しては、ドロップ量はほとんど変化しない平坦な
領域を持っている。それ以下の印加エネルギーに対して
は、ドロップ量が印加エネルギーに依存する領域がある
が、印加エネルギーの増加に対してドロップ量が変化す
る範囲は狭い。したがって、上述したような、発熱抵抗
体に印加する駆動パルスの電圧を変えることにより、ド
ロップ量を変調する方法では、十分な階調レベルを得る
ことができなかった。

【０００６】特開昭５７−８９９６７号公報に記載され
た中間調画像記録方法は、特性の異なるドットを形成で
きる複数のノズルを設け、これを選択的に組み合わせ
て、網点像を形成するものである。階調レベルを多くと
れる利点はあるが、駆動回路が複雑となるという問題が
ある。

【０００７】特開昭５５−１３２２５８号公報に記載さ
れた液体噴射記録法は、ヒーターの構造をインク飛翔方
向に発熱勾配を生じるようにし、発熱勾配を利用して階
調記録を行なおうとするものである。この方法は、広い
範囲でドロップ量を変調できるが、ヒーターの抵抗値の
小さい領域に電流が集中するため、ヒーターが部分的に
劣化し、ヒーターの劣化が極めて早まり、結果としてヘ
ッドの寿命が大幅に短くなるという問題がある。また、
ドロップ量の変化に伴ってドロップ速度も変化するた
め、記録媒体上での位置ズレが生じるという問題点を有
しており、従来の階調表現を行なう方法は、いずれも適
切なものとはいえない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、広い範囲でインク滴量を変
調して、十分なレベルの階調表現を行なうことができ、
しかも、駆動回路や配線数を増加させず、ヘッド寿命も
従来より低下することがなく、ドロップ量が変化した場
合でも、一定のドロップ速度を有し、インク滴の速度差
に起因するドット位置ズレの小さい高画質の階調記録を
行なうことができるサーマルインクジェット記録装置を
提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１に記
載の発明においては、インクを噴出するためのノズル
と、該ノズル内に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗
体を駆動する駆動手段を有し、該発熱抵抗体の発熱によ
り発生する蒸気バブルの圧力によってインクを前記ノズ
ルから吐出するインクジェット記録装置において、１ド
ットを印字する複数のノズルを設け、該複数のノズル内
に設けられた発熱抵抗体が並列に接続されていることを
特徴とするものである。請求項２に記載の発明において
は、請求項１に記載のインクジェット記録装置におい
て、１ドットを印字する複数のノズルにおける噴射特性
の閾値が、ノズルごとに異なるようにしたことを特徴と
するものである。請求項３に記載の発明においては、請
求項１または２に記載のインクジェット記録装置におい
て、１ドットを印字する複数のノズルにおいて、インク
を吐出するために必要な駆動パルスのエネルギーが、ノ
ズルごとに異なるようにしたことを特徴とするものであ
る。請求項４に記載の発明においては、請求項１乃至３
に記載のインクジェット記録装置において、発熱抵抗体
を駆動する駆動手段が、パルス電圧値（又はパルス電流
値）及び／又はパルス幅が異なる駆動パルスを発生する
ものであることを特徴とするものである。請求項５に記
載の発明においては、請求項１乃至４に記載のインクジ
ェット記録装置において、駆動手段が、並列に接続され
たＯＮ電流が異なる複数の駆動素子を有するものである
ことを特徴とするものである。請求項６に記載の発明に
おいては、請求項１乃至５に記載のインクジェット記録
装置において、１ドットを印字する複数のノズルにおい
て、該ノズルから吐出されるインク滴の速度差がもたら
す記録媒体上のドット位置の差が、画素ピッチの１／２
以下であるようにしたことを特徴とするものである。請
求項７に記載の発明においては、請求項１乃至６に記載
のインクジェット記録装置において、１ドットを印字す
る複数のノズルにおいて、ノズル間の距離が、該ノズル
に圧力を与える圧力発生部間の距離よりも短いことを特
徴とするものである。

【００１０】

【作用】本発明は、請求項１に記載の発明によれば、イ
ンクを噴出するためのノズルと、該ノズル内に設けられ
た発熱抵抗体と、該発熱抵抗体を駆動する駆動手段を有
し、該発熱抵抗体の発熱により発生する蒸気バブルの圧
力によってインクを前記ノズルから吐出するインクジェ
ット記録装置において、１ドットを印字する複数のノズ
ルを設け、該複数のノズル内に設けられた発熱抵抗体が
並列に接続されていることにより、その一部または全部
のノズルから選択的にインク滴を吐出させて階調記録を
行なうことができる。請求項２に記載の発明によれば、
１ドットを印字する複数のノズルにおける噴射特性の閾
値をノズルごとに異なるようにして、ノズルごとに吐出
するドロップ量を異ならせて、駆動エネルギーを選択す
ることにより、インク滴を吐出するノズルを選択して階
調印字を行なうことができる。請求項３に記載の発明に
よれば、１ドットを印字する複数のノズルにおいて、イ
ンクを吐出するために必要な駆動パルスのエネルギー
を、ノズルごとに異なるようにし、駆動パルスのエネル
ギーを変えることにより、インク滴を噴射するノズルを
選択して階調印字を行なうことができる。請求項４に記
載の発明によれば、発熱抵抗体を駆動する駆動手段とし
て、パルス電圧値（又はパルス電流値）及び／又はパル
ス幅が異なる駆動パルスを発生するようにしたことによ
り、発熱抵抗体を駆動する駆動パルスのエネルギーを変
えることができる。請求項５に記載の発明によれば、駆
動手段が、並列に接続されたＯＮ電流が異なる複数の駆
動素子を有することにより、どの駆動素子をＯＮするか
により、発熱抵抗体対に流れる電流値を制御することが
できる。請求項６に記載の発明によれば、１ドットを印
字する複数のノズルにおいて、該ノズルから吐出される
インク滴の速度差がもたらす記録媒体上のドット位置の
差が、画素ピッチの１／２以下であるようにしたことに
より、階調印字を行なった場合に、１ドットを印字する
複数のノズルの印字位置が離れることはなく、一体的な
ドットが形成できる。請求項７に記載の発明によれば、
１ドットを印字する複数のノズルにおいて、ノズル間の
距離が、該ノズルに圧力を与える圧力発生部間の距離よ
りも短いことにより、階調印字を行なった場合に、１ド
ットを印字する複数のノズルの印字位置が離れることは
なく、一体的なドットが形成できる。

【００１１】このように、本発明によれば、並列接続さ
れた複数の発熱抵抗体に共通の駆動回路から階調信号に
応じて前記最小電力に対応するパルス電圧、パルス電
流、パルス幅を出力することにより、その時の駆動パル
スのパルス電圧、パルス電流、パルス幅以下の最小電
圧、最小パルス電流、最小パルス幅に対応するノズルか
ら選択的にインク滴を噴射することができるため、駆動
回路や配線数を増加させることがない。そしてこれら複
数のノズルを互いに近接して配置することにより一体と
してインク滴の噴射するドロップ量を変えて、階調記録
を行なうことができる。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明のインクジェット記録装置の
第１の実施例のサーマルインクジェットヘッドをチャネ
ル溝の軸方向に垂直に切った断面図、図２は、図１のＢ
−Ｂ線で切った断面図、図３はノズル開口側からみた正
面図である。図中、１はチャネル基板、２はヒーター基
板、３はインクリザーバ、４はインク供給口、５ａ，５
ｂはノズル、６はインク流路、７ａ，７ｂはヒーター、
８は厚膜樹脂層、９はピット、１０はチャネル隔壁、１
１は共通電極、１２は個別電極、１３ａ，１３ｂはイン
ク滴、１４は記録媒体である。

【００１３】このサーマルインクジェットヘッドは、研
磨されたＳｉ基板上に蓄熱層としてのＳｉＯ₂ 膜を着膜
し、その上に、ヒーターとなるｐｏｌｙ−Ｓｉを着膜
し、パターニングする。さらに、配線となるＡｌを着膜
し、隣接するヒーターが並列に接続されるようにパター
ニングする。また、ヒーター、および、配線の保護層と
なる、ポリイミド、ＳｉＮ_X 、Ｔａ等を着膜し、パター
ニングし（図示せず）、ヒーター基板が構成される。

【００１４】一方、もう１枚の研磨されたＳｉ基板に、
異方性エッチングによりノズルとインクリザーバが形成
され、チャネル基板となる。この２枚のヒーター基板、
チャネル基板を位置合わせ後、接着し、ダイシングによ
って１つのプリントヘッドに分離する。

【００１５】このサーマルインクジェットヘッドは、ノ
ズル５ａ，５ｂ内のインク流路６の底面のポリイミドに
よる厚膜樹脂層８に形成された凹所であるピット９の底
部に、ヒーター７ａ，７ｂが設けられ、各インク流路６
は、チャネル隔壁１０によって仕切られている。インク
は、インク供給口４からインクリザーバ３を通り、各イ
ンク流路６に導かれる。ヒーター７ａ，７ｂは共通電極
１１と個別電極１２とによって、並列に接続され１つの
駆動回路によって駆動される。共通電極１１は、チャネ
ル隔壁１０の下方を通り、他のヒーターと接続されてい
るが、図２においては、チャネル隔壁１０の下にある共
通電極の部分は隠れている。

【００１６】図２および図３においては、それぞれ６個
ずつのノズルおよびヒーターが図示されている。このう
ち、隣接する２個ずつのノズル５ａ，５ｂ、それに対応
するヒーター７ａ，７ｂは、１つの印字ドットに対応さ
れている。したがって、図２から分かるように、ヒータ
ー７ａ，７ｂは、共通の個別電極１２に接続されてい
る。したがって、１ドットを印字するヒーターは、この
実施例では２個であり、それが並列接続されている。し
かし、１ドットを印字するノズルを３個以上用いてもよ
いことは勿論である。

【００１７】１ドットを印字する２個ずつのノズル５
ａ，５ｂは、インク滴を吐出させるための閾値エネルギ
ーが互いに異なるように構成されている。この実施例で
は、隣接するインク流路において発熱抵抗体の面積を互
いに異ならせた。すなわち、２個の発熱抵抗体５ａ，５
ｂの面積抵抗率が同一であれば、発熱面積が異なること
により同じエネルギーが投入されても単位面積当たりの
投入電力が相違し、発熱エネルギーが異なることによ
り、発熱抵抗体表面の最高上昇温度に差が生じる。した
がって、２個の発熱抵抗体５ａ，５ｂにおいて、インク
中に気泡を発生させる温度に到達するに必要な閾値エネ
ルギーが異なり、発熱面積の小さい発熱体の方がより低
い閾値エネルギーを有することになる。

【００１８】図５は、印加エネルギーと、噴射されるド
ロップ量の関係を示している。隣接するノズルで噴射に
必要な印加電力が異なるため、閾値Ｗ₁ より小さい２１
ａに示す範囲の印加電力を与えた場合には、一方のノズ
ル５ａからのみインク滴が噴射される。２１ａの印加電
力の範囲において吐出されるインクのドロップ量は、図
４で説明した従来例のものと同様に、平坦部２２ａを持
つ依存性を示す。この閾値Ｗ₁ を越えた電力を印加した
場合には、２個のノズル５ａ，５ｂからインク滴が噴射
されるため、一旦ドロップ体積は増加し、再び平坦部２
２ｂを持つ。このように、２つの平坦部における２値の
エネルギーを印加することにより、２つの異なるドロッ
プ量を得ることができ、階調表現を行なうことができ
る。

【００１９】印加電力は、パルス電圧、パルス電流、パ
ルス幅等に依存する。したがって、印加電力を変えるに
は、これらのファクターの少なくとも１つを変えればよ
い。

【００２０】図６は、印加電圧とドロップ量との関係、
図９は、印加パルスのパルス幅とドロップ量との関係を
示す線図である。いずれも、図５で説明したものと同様
の傾向を示し、階調変調が可能であることを示してい
る。

【００２１】解像度３００ｓｐｉ（ドットピッチ８４．
７μｍ）で印字を行なうため、サーマルインクジェット
ヘッドを試作し、印加電圧を変えて噴射されるドロップ
量と、噴射速度を測定した。記号は、図２，図３に図示
されたものであり、ＦＣＬ１，ＦＣＬ２はノズル開口か
らヒーターまでの長さ、ＨＬ１，ＨＬ２はヒーターの長
さ、ＲＣＬ１，ＲＣＬ２はヒーターからインク供給口ま
での長さ、ＨＷ１，ＨＷ２は流路と直角方向のヒーター
の幅、ＣＷ１，ＣＷ２はノズル開口の底辺の長さ、Ｄ１
はノズル５ａと５ｂとの間隔、Ｄ２はノズル５ｂと隣接
するドットのノズル５ａとの間隔、Ｐはノズル５ａ，５
ｂを一体として記録媒体上に形成されるドットのピッ
チ、ＰＤはポリイミド層の厚みである。

【００２２】試作例１においては、下記の値を採用し
た。 ＦＣＬ１＝ＦＣＬ２＝１２４μｍ ＨＷ１＝２５μｍ、ＨＷ２＝３０μｍ ＨＬ１＝１０８μｍ、ＨＬ２＝１２８μｍ ＲＣＬ１＝１０６μｍ、ＲＣＬ２＝８６μｍ ＣＷ１＝２７μｍ、ＣＷ２＝３０μｍ Ｄ１＝３５μｍ、Ｄ２＝４９．７μｍ Ｐ＝８４．７μｍ ＰＤ＝２０μｍ なお、三角形状のオリフィスの底辺の長さＣＷ１，ＣＷ
２は、噴射されるインク滴速度を同じにするために設定
された値である。ヒーター７ａ，７ｂの抵抗値は、ほぼ
等しい値である。

【００２３】この２つのヒーター７ａ，７ｂに印加した
電圧値と、対応するノズル５ａ，５ｂから噴射したイン
クドロップ量の合計との関係を図６に示す。駆動パルス
幅は３μｓｅｃ、最大繰り返し周波数は４．５ｋＨｚ、
ヘッド全体の温度を４０℃に制御して行なったものであ
る。

【００２４】ノズル５ａからは、印加電圧２２．６Ｖで
インク滴が噴射し始め、印加電圧の上昇とともにドロッ
プ量は上昇し、２４Ｖで上昇は止まる。さらに、ノズル
５ｂからは、２６．３Ｖでインク滴が噴射し始めるた
め、ノズル５ａとノズル５ｂとの合計によりドロップ量
は増加し、２８Ｖで飽和する。したがって、２４〜２
６．３Ｖと２８Ｖ以上の２箇所の範囲の電圧でヒーター
を駆動すれば、２９ｐｌと６９ｐｌの２段階のインク滴
の噴射量が得られる。

【００２５】図７は、ノズル５ａ，５ｂから噴射される
インク滴の速度の印加電圧に伴う変化を示す線図であ
る。ドロップ体積の飽和領域に対応した飽和領域が見ら
れる。

【００２６】この試作例１のサーマルインクジェットヘ
ッドをプリンタに搭載し、印加電圧を２５Ｖと３０Ｖと
でインク滴を噴射させ、記録紙に記録を行なった。ノズ
ルアレイ方向と垂直方向の副走査は、ヘッドを取り付け
たキャリッジの移動によって行なう。キャリッジ移動速
度は０．３８２ｍ／ｓｅｃである。記録紙とノズルとの
距離ＴＤは０．５ｍｍに設定した。得られたドットの大
きさは、 印加電圧２５Ｖで平均の直径が８３μｍ 印加電圧３０Ｖで平均の直径が１２４μｍであった。図
７に示されるように、印加電圧３０Ｖのときに、ノズル
５ａ，５ｂから噴射されるそれぞれのインク滴速度は、
８．５ｍ／ｓｅｃと９ｍ／ｓｅｃであり、速度差が小さ
いため、記録紙上にほとんど同時に到着し、図８（Ａ）
に示すようにほぼ一つのドットとみなすことができた。

【００２７】次に、試作例１のサーマルインクジェット
ヘッドのヒーターを２４Ｖの電圧パルスで、パルス幅を
変えてドロップ量を測定したものが図９である。このと
きの最大繰り返し周波数は４．５ｋＨｚ、ヘッド温度は
４０℃に制御した。パルス幅２．７μｓｅｃでノズル５
ａからインク滴の噴射を開始し、パルス幅３．５μｓｅ
ｃでノズル５ｂから噴射を開始した。パルス幅に対する
ドロップ量の関係は、印加電圧を変えたときと同様に、
２つの平坦部を持つ依存性を示した。プリンタに搭載し
た実験では、小さいインク滴を噴射させるためのパルス
幅を３．１μｓｅｃ、大きいインク滴を噴射させるため
のパルス幅を４．５μｓｅｃとし、記録を行なった。

【００２８】本発明者らは、試作例１と同様のヘッドに
おいて、多数の流路幅の異なるヘッドを試作し、２つの
ノズルから噴射する様々なインク滴の速度差を生じさせ
て印字し、インク滴の速度差に起因するドットの位置ズ
レと画質の関係を調べた。図１０は、それぞれのインク
滴の速度差と測定された副走査方向のドットの位置ズレ
Ｌの平均値、および、画質の官能評価の結果を示してい
る。このように１つの大きなドットを形成する２つのド
ットの位置ズレＬが画素ピッチの１／２を超えると画質
に問題が生じることがわかった。なお、位置ズレＬは、
図８（Ｂ）に示すように、２つのドットの平均的な中心
位置の副走査方向の距離である。

【００２９】画素ピッチをＰ、ノズル５ａ，５ｂから噴
射されるインク滴の速度をそれぞれＶ１，Ｖ２とし、ノ
ズルから紙までの距離をＴＤ、キャリッジ移動速度をＵ
とすれば、速度差に起因するドット位置ズレＬは、ほ
ぼ、Ｌ＝（ＴＤ／Ｖ１−ＴＤ／Ｖ２）×Ｕとなる筈であ
り、ヘッド設計時に、Ｌが画素ピッチＰの１／２以下と
なるように、ノズル間のインク滴の速度差を小さく設計
する必要がある。

【００３０】インク滴の速度は、発生するバブル体積に
よるバブル圧力により異なる。そこでそれぞれの流路
幅、すなわち、三角形状のノズル開口の底辺長さＣＷを
異ならせることによりインク滴速度を調整することがで
きる。

【００３１】図１１は、本発明のインクジェット記録装
置の第２の実施例のサーマルインクジェットヘッドをチ
ャネル溝の軸方向に水平に切った断面図である。図中、
図２と対応する部分には同じ符号を付して説明を省略す
る。この実施例では、隣接する２つのノズルがインク滴
を噴射させるためにヒーターに印加する最小電力が互い
に異なるよう、隣接する流路におけるヒーターの位置を
異ならせたものである。ヒーター面積を互いに等しくし
たから、最高上昇温度は同じであり、同じ圧力をもった
蒸気バブルが生じる。しかし、ノズルからインク滴が噴
射するのに必要なバブル圧力は、ヒーターからノズルま
でと、ヒーターからインク供給口までの流路抵抗に依存
する。したがって、インク流路内におけるヒーターの位
置を異ならせることは、この流路抵抗を異ならせること
になり、結果的にインク滴を噴射させるためにヒーター
に印加する電圧パルスの最小電圧や最小パルス幅が異な
ることになる。

【００３２】また、このヒーター位置の違いによる流路
抵抗の違いは、インク滴の噴射速度の違いを生じさせ
る。ヒーターからオリフィスまでの距離が短く流路抵抗
が小さいノズル５ａから噴射されるインク滴の速度の方
が、ノズル５ｂから噴射されるインク滴の速度より速く
なる。このため、この実施例においても、インク滴速度
を同じにするため、インク流路の幅を互いに異なるよう
にし、ノズル５ａの幅ＣＷ１を、ノズル５ｂの幅ＣＷ２
より大きくした。なお、ＣＷ１，ＣＷ２，Ｄ１，Ｄ２，
Ｐ，ＰＤは、図３で説明した寸法である。

【００３３】この実施例のサーマルインクジェットヘッ
ドを、試作例２として試作した。試作例２においては、
下記の値を採用した。 ＦＣＬ１＝１１０μｍ、ＦＣＬ２＝１５０μｍ ＨＷ１＝ＨＷ２＝２７μｍ ＨＬ１＝ＨＬ２＝１２０μｍ ＲＣＬ１＝１１０μｍ、ＲＣＬ２＝７０μｍ ＣＷ１＝３０μｍ、ＣＷ２＝２８μｍ Ｄ１＝３６μｍ、Ｄ２＝４８．７μｍ Ｐ＝８４．７μｍ ＰＤ＝２０μｍ

【００３４】このサーマルインクジェットヘッドをプリ
ンタに搭載し、印加電圧を３０Ｖと３２．４Ｖでインク
滴を噴射させ、記録を行なわせた。このときの駆動パル
スのパルス幅は３μｓｅｃ、繰り返し周波数は４．５ｋ
Ｈｚ、ヘッド温度は４０℃に制御した。なお、印加電圧
３２．４Ｖにおけるノズル５ａ，５ｂから噴射されるイ
ンク滴の速度はそれぞれ１０．２ｍ／ｓｅｃ、９．４ｍ
／ｓｅｃであり、記録紙上の副走査方向のドットの位置
ズレは約１６μｍであった。

【００３５】図１２は、本発明のインクジェット記録装
置の第３の実施例のサーマルインクジェットヘッドをチ
ャネル溝の軸方向に水平に切った断面図である。図中、
図２と対応する部分には同じ符号を付して説明を省略す
る。第１の実施例においては、ヒーターの面積を異なら
せることによりヒーター発熱量を変えて、インク滴が噴
射する最小電力を異ならせ、第２の実施例では、流路に
おけるヒーターの位置を異ならせることによって流路抵
抗を異ならせることによりインク滴が噴射する最小電力
を異ならせたが、この実施例では、第１の実施例と第２
の実施例を組み合わせてインク滴が噴射する最小電力を
異ならせたものである。

【００３６】この実施例では、第１の実施例と比較し
て、流路におけるヒーターの位置を変えているから、流
路抵抗が異なり、それによりインク滴速度を調整するこ
ともできる。

【００３７】この実施例のサーマルインクジェットヘッ
ドを、試作例３として試作した。試作例３においては、
下記の値を採用した。なお、ＣＷ１，ＣＷ２，Ｄ１，Ｄ
２，Ｐ，ＰＤは、図３で説明した寸法である。 ＦＣＬ１＝１１４μｍ、ＦＣＬ２＝１０４μｍ ＨＷ１＝２５μｍ、ＨＷ２＝２８μｍ ＨＬ１＝２５μｍ、ＨＬ２＝１５５μｍ ＲＣＬ１＝７６μｍ、ＲＣＬ２＝６１μｍ ＣＷ１＝２５μｍ、ＣＷ２＝３５μｍ Ｄ１＝４０μｍ、Ｄ２＝４４．７μｍ Ｐ＝８４．７μｍ ＰＤ＝２５μｍ このサーマルインクジェットヘッドのヒーターのの抵抗
値は、ヒーター７ａが１５０Ω、７ｂが１５９Ωであっ
た。

【００３８】この２つのヒーターに印加した電圧値と、
ノズル５ａ，５ｂから噴射されたインクドロップ量との
関係を示したものが図１３である。なお、ドロップ量
は、２つのノズルから噴射されたドロップ量の合計を実
線で示した。また、駆動パルスのパルス幅は３μｓｅ
ｃ、最大繰り返し周波数は３ｋＨｚ、ヘッド全体を４０
℃に制御した。

【００３９】図１３から明らかなように、ノズル５ａに
よるインク滴の吐出は、印加電圧が２２．４Ｖでドロッ
プ体積の上昇は一旦止まる。しかし、２６．３Ｖでノズ
ル５ｂからインク滴が吐出し始め、再び合計ドロップ量
は増加し、２８Ｖで飽和する。

【００４０】したがって、試作例３のヘッドでは、２４
〜２６．３Ｖとの間と２８Ｖ以上の電圧の２点での駆動
を行なえば、約２０ｐｌと、７０ｐｌの異なるドロップ
量を得ることができる。このとき２つのノズルから噴射
されるドロップの速度は、図１４に示すように、それぞ
れ２つの駆動領域で互いに等しくなるように設計してい
るので、記録媒体上でドットの位置ズレが起こることは
ない。２つのインク滴が等しい速度で噴射される領域で
は、２つのノズルからのインク滴は近接して着弾し、ド
ットが広がり、重なり合うため、ほぼ１つのドットとみ
なすことができる。

【００４１】このサーマルインクジェットヘッドをプリ
ンタに搭載し、画像情報に基づいて０を含めた３値のド
ロップ量変調を行ない、２×２マトリクスを用いた３Ｌ
法を適用することにより、解像度を１／２に低下させた
だけで１６階調を表現することができた。このとき小さ
いドロップを噴射させるための印加電圧は２５Ｖで、得
られたドット直径は平均７８μｍであった。また、大き
いドロップを噴射させるための印加電圧を３０Ｖとした
とき、得られたドット直径は平均で１２４μｍであっ
た。

【００４２】なお、図１３における点線は、試作例３の
ヘッドにおいて、２つのヒーターの個別電極を分離し、
それぞれについての印加電圧と噴射されるドロップ量を
測定し、合計したものを示している。このように３０Ｖ
においては、ノズル５ａは２２ｐｌ、ノズル５ｂからは
約２．２倍である５８ｐｌのドロップ量が噴射されてい
ることがわかる。なお、図１３の３０Ｖにおけるドロッ
プ量（実線）が、２つのドロップ量を足し合わせた値
（破線）より小さいのは、同時に噴射させたことによる
インク供給量の違いに起因していることによると考えら
れる。

【００４３】それぞれのヒーターを別々に駆動したと
き、ヒーター７ａ，７ｂの破壊は、それぞれ平均で、
８．４×１０⁸ ，８．６×１０⁸ 回の駆動で生じたが、
２値の駆動電圧を交互に印加した場合でも、どちらかの
ヒーターが破壊されるまでの平均駆動回数は、８．３×
１０⁸ で、従来のものとほとんど変わらないことが分か
った。

【００４４】試作例３と同じヘッドを用い、印加電圧を
２４Ｖに固定し、パルス幅を変えてドロップ量を測定し
たものが図１５である。ヘッド温度は４０℃に制御し
た。パルス幅２．７μｓｅｃでノズル５ａから噴射を開
始し、３．５μｓｅｃでノズル５ｂから噴射が開始され
た。ドロップ量とパルス幅の関係は、図１３で示した印
加電圧との関係と同じように、平坦部を２つもつ依存性
を示した。プリンタに搭載した実験では、小さいインク
滴を噴射させるためのパルス幅を３．１μｓｅｃ、大き
いインク滴を噴射させるためのパルス幅を４．５μｓｅ
ｃとし、３値のドロップ量を得て、２×２のディザ法で
１６階調の印字を行なった。

【００４５】試作例３においては、一方のノズルからイ
ンク滴が噴射させる最低印加電圧がもう一方のノズルか
らインク滴が噴射される最低印加電圧の１．１７倍、パ
ルス幅においては１．３倍であった。

【００４６】一方のノズルからインク滴が噴射される最
低印加電圧が、もう一方のノズルからインク滴が噴射さ
れる最低印加電圧に近いと、ドロップ量が印加電圧に依
存しない平坦部２２ａが十分広く取れないため、また、
大きく離れていると、高い印加電圧が必要となり、ヒー
ターに過大な電流が流れるため、ヒーターの劣化を早め
てしまう。この両方の理由から印加電圧の差は、１．１
から１．８倍が好ましい。パルス幅についても同様の理
由により、長い方の最低噴射パルス幅は、短い方の噴射
パルス幅の１．１から１．８倍が適当である。

【００４７】この実施例のように、２つの平坦部での駆
動を行ない、２つのノズルから噴射される合計ドロップ
量によって、２値の吐出を行なうようにした場合、高い
電圧、あるいはパルス幅での駆動点が、低い電圧、ある
いはパルス幅の駆動点に近いと、２つのノズルから噴射
するドロップの速度が異なるため、記録媒体上で位置ズ
レが生じる。また、離れすぎると、低い噴射開始電圧、
または短いパルス幅で駆動される方のヒーターの劣化が
早まるおそれがある。このため高い方の駆動電圧は、低
い駆動電圧の１．１から１．８倍が適当であり、パルス
幅の場合には１．１から３倍が適当である。

【００４８】２つのノズルから噴射するドロップ量の差
は、この実施例においては約２．２倍であったが、この
差が大きければ、広い範囲での変調が可能である。通常
のインクジェットにおいては、一方のノズルから噴射さ
れるドロップ量の１〜５倍が好ましい。

【００４９】図１６は、本発明のインクジェット記録装
置の第４の実施例のサーマルインクジェットヘッドのヒ
ーター近傍の平面図である。図中、図２と対応する部分
には同じ符号を付して説明を省略する。１５ａ，１５ｂ
は駆動素子、１６は抵抗である。

【００５０】この実施例では、ヒーター７ａ，７ｂに接
続された個別電極１２には、ＯＮ電流が異なる２個の駆
動素子１５ａ，１５ｂが共通に接続され、駆動素子１５
ａには、電流を制限するための抵抗１６が接続されてい
る。したがって、選択される駆動素子により、ヒーター
７ａ，７ｂの駆動電流を２値的に制御できる。

【００５１】この実施例のサーマルインクジェットヘッ
ドを、試作例４として試作した。試作例４においては、
下記の値を採用した。なお、ＣＷ１，ＣＷ２，Ｄ１，Ｄ
２，Ｐ，ＰＤは、図３で説明した寸法である。 ＦＣＬ１＝ＦＣＬ２＝１２０μｍ ＨＷ１＝２５μｍ、ＨＷ２＝４０μｍ ＨＬ１＝８０μｍ、ＨＬ２＝１２０μｍ ＲＣＬ１＝１２０μｍ、ＲＣＬ２＝８０μｍ ＣＷ１＝ＣＷ２＝３０μｍ Ｄ１＝４２μｍ、Ｄ２＝４２．７μｍ Ｐ＝８４．７μｍ ＰＤ＝２５μｍ

【００５２】この試作例４では、１方の駆動素子１５ａ
に１０Ωの抵抗１６を直列接続し、ヒーターを流れる電
流値を制御している。また、ヒーター７ａ，７ｂの抵抗
値はほぼ等しく１００Ωに設定したが、ヒーターの表面
抵抗値が同一の場合、ヒーターの縦横比を変えることに
よりそれぞれのヒーターの抵抗値を変えることが可能で
ある。さらに、ヒーターの材料または表面抵抗値を変え
ることにより、隣接するヒーターの閾値エネルギーを変
えることも可能である。なお、駆動素子１５ａ，１５ｂ
自身のＯＮ抵抗値はともに約１０Ωである。

【００５３】この２つのヒーター７ａ，７ｂに印加した
電力値と、対応するノズル５ａ，５ｂから噴射したドロ
ップ量との関係を図１７に示す。駆動パルス幅は３μｓ
ｅｃ、最大繰り返し周波数は３ｋＨｚ、ヘッド全体の温
度を４０℃に制御して行なった。

【００５４】全てのヒーターに印加する電圧値は２８Ｖ
である。ノズル５ａからは約４．０Ｗからインク滴が吐
出し始め、４．３Ｗ以上でほぼ一定のインク滴が吐出さ
れる。さらに、ノズル５ｂからは約６．０Ｗでインク滴
が噴射し始め、６．５Ｗからインク滴量が安定する。し
たがって、４．３〜６．０Ｗと６．５Ｗ以上の２箇所の
印加電力を与える電流値で、ヒーターを駆動すれば、３
０ｐｌと７０ｐｌの２段階のインク滴の噴射量が得られ
る。

【００５５】この記録ヘッドをプリンターに搭載し、印
加電圧２８Ｖでインク滴を噴射させ、記録紙に記録を行
なった。駆動素子１５ａをＯＮにした場合には、約２０
０ｍＡの電流値が得られ、駆動素子１５ｂをＯＮにした
場合には、約２５５ｍＡの電流値が得られた。ドットの
大きさは、前者の場合で直径が８５μｍ、後者の場合で
１２４μｍであった。駆動素子１５ｂをＯＮした時のド
ットの形状は、一体的なドットと認識するに十分であっ
た。

【００５６】図１８乃至図２０は、本発明のインクジェ
ット記録装置の第５の実施例のサーマルインクジェット
ヘッドを説明するためのものであり、図１８は、ヒータ
ー基板のヒーター近傍の平面図、図１９（Ａ）は、チャ
ネル基板のインク流路の平面図、図１９（Ｂ）は、図１
９（Ａ）のＡ−Ａ断面図、図２０は、各ノズルのインク
流路方向の断面図である。図中、図１，図２と対応する
部分には同じ符号を付して説明を省略する。５ａ，５ｂ
はノズル、６ａ，６ｂはインク流路、１１ａは共通電極
端子、１２ａは個別電極端子である。

【００５７】チャネル基板１およびヒーター基板２は、
フォトリソグラフィーによりＳｉ基板上に形成され、両
者を接着後にダイシングソーにより切断され、ヘッドが
製作される。図２０に示すように、チャネル基板１は、
ヒーター基板２上にインク流路６を形成する。ポリイミ
ド層８に形成された凹所であるピット９の底部にヒータ
ー１４が設けられ、ヒーター１４に通電することによっ
て発生したバブルにより、インク滴１３が吐出される。
吐出されたために減少したノズル近傍のインクは、イン
ク供給口４からインクの表面張力により再充填される。

【００５８】図１９（Ａ）に示すチャネル基板の下の辺
が、図１８に示すヒーター基板２の上の辺と重なって接
着されて、ノズル端面となっている。図１９（Ｂ）の凹
溝がヒーター基板２上にインク流路６ａ，６ｂを形成
し、その開口がノズル５ａ，５ｂとなる。図１９（Ａ）
のハッチングを施した部分は、チャネル基板におけるヒ
ーター基板２との接着面である。各々の接着面が、各イ
ンク流路間を隔離し、インク流路間のインクの移動を防
止する。インク流路６ａと６ｂの先端は、互いに近づく
方向に形成されている。すなわち、ノズル６ａ，６ｂ間
の距離は、ヒーター部間の距離よりも短くなっている。

【００５９】この実施例のサーマルインクジェットヘッ
ドの駆動方法について説明する。図１８の共通電極端子
１１ａおよび個別電極端子１２ａは、それぞれ外部のヘ
ッド駆動部に電気的に接続される。共通電極端子１１ａ
に、３０Ｖ程度の直流電圧をかけ、個別電極端子１２ａ
は、駆動時のみ接地し、それ以外のときはハイインピー
ダンス状態にしておく。その結果、駆動時には共通電極
端子１１ａから共通電極１１、ヒーター１４、個別電極
１２、個別電極端子１２ａという経路で電流が流れる。
その結果として図２０に示すように、ヒーター７で発生
した熱によりバブルが発生成長し、インク滴１３が吐出
される。図１８に示すヒーター７ａ、７ｂは、共通電極
１１と個別電極１２とによって並列に接続され、１つの
駆動回路によって駆動される。共通電極１１は他のヒー
ターと共通に接続される。

【００６０】この実施例でも、隣接する２つのヒーター
７ａ，７ｂは、各々のノズル５ａ，５ｂからインク滴を
噴射させるための最小電力が互いに異なるように設計さ
れている。この実施例の場合、駆動電圧３０Ｖにおい
て、ヒーター７ａはパルス幅２．７μｓ以上でインク滴
を噴射し、ヒーター７ｂはパルス幅３．５μｓ以上でイ
ンク滴を噴射する。この実施例では、駆動パルスのパル
ス幅を、３μｓと４μｓの２種類に切り替えて駆動する
ので、３μｓの場合にはノズル５ａから、４μｓの場合
にはノズル５ｂと５ａからインク滴が噴射される。その
結果、インク滴合計の噴射量は３０ｐｌと７０ｐｌの２
種類を選択できる。

【００６１】この実施例では、図２１（Ａ），図２１
（Ｂ）に示すように、１つのドットを２つのノズルから
噴射されるインク滴で形成し、１つのノズルから噴射さ
れたインク滴のみでドットを形成した場合には小さいド
ット、２つのノズルからのインク滴で形成する場合には
大きなドットが得られる。図２１（Ａ），図２１（Ｂ）
の左半分では、４μｓの駆動パルスが印加され、一対の
インク流路６ａと６ｂの両方からインク滴が噴射される
場合を説明する。図２１（Ａ）に示すように、各々対を
なすインク流路６ａと６ｂの先端が互いに近づく方向に
形成されているため、２つのノズルから噴射されたイン
ク滴が、図２１（Ｂ）の左側に示すように、記録媒体上
のほぼ同一点に着弾して丸い大きなドットを形成する。

【００６２】図２１（Ａ），図２１（Ｂ）の右側は、３
μｓの駆動パルスが印加され、一対のインク流路６ｃ，
６ｄの片方のインク流路６ｃからのみインク滴が噴射さ
れる場合である。１つのノズルから噴射されたインク滴
が、図２１（Ｂ）の右側に示すように、記録媒体上に着
弾して丸い小さなドットを形成する。

【００６３】この実施例に対応して、インク流路６ａと
６ｂが平行に形成されている場合の例を説明する。図２
６は、ヒーター基板のヒーター近傍の平面図、図２７
（Ａ）は、チャネル基板のインク流路の平面図、図２７
（Ｂ）は、図２７（Ａ）のＡ−Ａ断面図、図２８は、イ
ンク滴の噴射状態の説明図である。図中、図２，図１
８，図１９，図２０と対応する部分には同じ符号を付し
て説明を省略する。第５の実施例との違いはチャネル基
板だけであり、インク流路が全て直線状に形成されてい
る。

【００６４】このサーマルインクジェットヘッドにおい
て印字した場合を、図２８（Ａ），図２８（Ｂ）で説明
する。第５のの実施例の場合と同様に、この例において
も、１つのドットを２つのノズルから噴射されるインク
滴で形成し、１つのノズルから噴射されたインク滴のみ
でドットを形成した場合には小さいドット、２つのノズ
ルからのインク滴で形成する場合には大きなドットが得
られる。

【００６５】図２８（Ａ），図２８（Ｂ）の左半分で
は、４μｓの駆動パルスが印加され、一対のインク流路
６ａと６ｂの両方からインク滴が噴射される場合を説明
する。図２８（Ａ）の左側に示すように、各々対をなす
インク流路６ａと６ｂが直線状に形成されているため、
２つのノズルから噴射されたインク滴は、図２８（Ｂ）
の左側に示すように、記録媒体上の異なる位置に着弾し
て雪だるま状のドットを形成する。その結果、画像全体
として規則的なすじ模様を与えることになる。

【００６６】図２８（Ａ），図２８（Ｂ）の右半分は、
３μｓの駆動パルスが印加され、一対のインク流路６ｃ
と６ｄの片方のインク流路６ｃからのみインク滴が噴射
される場合である。１つのノズルから噴射されたインク
滴が、図２８（Ｂ）の右側に示すように記録媒体上に着
弾して丸い小さなドットを形成する。

【００６７】図２２，図２３は、本発明のインクジェッ
ト記録装置の第６の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドを説明するためのものであり、図２２は、ヒーター
基板のヒーター近傍の平面図、図２３（Ａ）は、チャネ
ル基板のインク流路の平面図、図２３（Ｂ）は、図２３
（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図中、図２，図１８，図
１９と対応する部分には同じ符号を付して説明を省略す
る。この実施例では、各々対をなすインク流路６ａと６
ｂが直線状に形成されており、かつ、インク流路は、先
端に近づくにつれて互いに接近するように形成されてい
る。その結果、第５の実施例と同様に、１つのドットを
２つのノズルから噴射されるインク滴で形成した場合に
も、２つのノズルから噴射されたインク滴が図２１
（Ｂ）に示すように、記録媒体上のほぼ同一点に着弾し
て丸い大きなドットを形成することができる。

【００６８】図２４，図２５は、本発明のインクジェッ
ト記録装置の第７の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドを説明するためのものであり、図２４は、ヒーター
基板のヒーター近傍の平面図、図２５（Ａ）は、チャネ
ル基板のインク流路の平面図、図２５（Ｂ）は、図２５
（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図中、図２，図１８，図
１９と対応する部分には同じ符号を付して説明を省略す
る。１７は隔壁層、１８は接着面である。

【００６９】この実施例では、感光性樹脂を用いてフォ
トリソグラフィーによりインク流路６ａ，６ｂの隔壁層
１７をＳｉ基板上に形成し、接着面１８でヒーター基板
２と接着後に、ダイシングソーにより切断してヘッドが
製作される。この実施例に述べたヘッドは、図１８，図
１９で説明した実施例と同様の方法で形成することもも
ちろん可能である。また、図１，図２で説明した異方性
エッチング法を利用して製作することもできる。

【００７０】上述した実施例では、ヒーターを互いに電
気的に並列に接続するノズルは、２個としたが、これに
限らず、それ以上とすることもでき、この場合にはヒー
ターを駆動する駆動パルスの電圧値やパルス幅は、０を
含む３段階以上に設定すればよい。

【００７１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、サーマルインクジェット記録装置において、
噴射するドロップ量を広範囲に変えて十分なレベルの高
品質な階調表現を行なうことができる。しかも、従来の
ものと同等のヒーター寿命を提供し、ドロップ速度の違
いによるドットの位置ズレが生じないという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のインクジェット記録装置の第１の実
施例のサーマルインクジェットヘッドをチャネル溝の軸
方向に垂直に切った断面図である。

【図２】 図１のＢ−Ｂ線で切った断面図である。

【図３】 図１のサーマルインクジェットヘッドの正面
図である。

【図４】 従来のサーマルインクジェットヘッドにおけ
る印加エネルギーとドロップ量の関係を示す線図であ
る。

【図５】 本発明の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドにおける印加エネルギーとドロップ量の関係を示す
線図である。

【図６】 試作例１のサーマルインクジェットヘッドに
おける印加電圧とドロップ量の関係を示す線図である。

【図７】 試作例１のサーマルインクジェットヘッドに
おける印加電圧とインク滴の速度の関係を示す線図であ
る。

【図８】 印字ドットの説明図である。

【図９】 試作例１のサーマルインクジェットヘッドに
おけるパルス幅とドロップ量の関係を示す線図である。

【図１０】 第１の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドにおけるインク滴の速度差と印字結果の説明図であ
る。

【図１１】 本発明のインクジェット記録装置の第２の
実施例のサーマルインクジェットヘッドをチャネル溝の
軸方向に水平に切った断面図である。

【図１２】 本発明のインクジェット記録装置の第３の
実施例のサーマルインクジェットヘッドをチャネル溝の
軸方向に水平に切った断面図である。

【図１３】 試作例３のサーマルインクジェットヘッド
における印加電圧とドロップ量の関係を示す線図であ
る。

【図１４】 試作例３のサーマルインクジェットヘッド
における印加電圧とインク滴の速度の関係を示す線図で
ある。

【図１５】 試作例３のサーマルインクジェットヘッド
におけるパルス幅とドロップ量の関係を示す線図であ
る。

【図１６】 本発明のインクジェット記録装置の第４の
実施例のサーマルインクジェットヘッドのヒーター近傍
の平面図である。

【図１７】 試作例４のサーマルインクジェットヘッド
における印加電値力とドロップ量の関係を示す線図であ
る。

【図１８】 本発明のインクジェット記録装置の第５の
実施例のサーマルインクジェットヘッドのヒーター基板
の平面図である。

【図１９】 第５の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドのチャネル基板のインク流路の説明図である。

【図２０】 第５の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドの各ノズルのインク流路方向の断面図である。

【図２１】 第５の実施例の印字状態の説明図である。

【図２２】 本発明のインクジェット記録装置の第６の
実施例のサーマルインクジェットヘッドのヒーター基板
の平面図である。

【図２３】 第６の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドのチャネル基板のインク流路の説明図である。

【図２４】 本発明のインクジェット記録装置の第７の
実施例のサーマルインクジェットヘッドのヒーター基板
の平面図である。

【図２５】 第７の実施例のサーマルインクジェットヘ
ッドのチャネル基板のインク流路の説明図である。

【図２６】 インク流路を平行にしたサーマルインクジ
ェットヘッドのヒーター基板の平面図である。

【図２７】 図２６のサーマルインクジェットヘッドの
チャネル基板のインク流路の説明図である。

【図２８】 図２６のサーマルインクジェットヘッドの
印字状態の説明図である。

【符号の説明】

１ チャネル基板、２ ヒーター基板、３ インクリザ
ーバ、４ インク供給口、５ａ，５ｂ ノズル、６ イ
ンク流路、７ａ，７ｂ ヒーター、８ 厚膜樹脂層、９
ピット、１０ チャネル隔壁、１１ 共通電極、１２
個別電極、１３ａ，１３ｂ インク滴、１４ 記録媒
体、１７ 隔壁層、１８ 接着面。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 誠一 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼロ ックス株式会社内 (72)発明者 井上 七穂 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼロ ックス株式会社内 (72)発明者 内藤 浩一 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼロ ックス株式会社内 (72)発明者 小泉 幸久 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼロ ックス株式会社内 (72)発明者 弥勒 美彦 神奈川県海老名市本郷2274番地 富士ゼロ ックス株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを噴出するためのノズルと、該ノ
   ズル内に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体を駆動
   する駆動手段を有し、該発熱抵抗体の発熱により発生す
   る蒸気バブルの圧力によってインクを前記ノズルから吐
   出するインクジェット記録装置において、１ドットを印
   字する複数のノズルを設け、該複数のノズル内に設けら
   れた発熱抵抗体が並列に接続されていることを特徴とす
   るインクジェット記録装置。
2. 【請求項２】 １ドットを印字する複数のノズルにおけ
   る噴射特性の閾値が、ノズルごとに異なるようにしたこ
   とを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装
   置。
3. 【請求項３】 １ドットを印字する複数のノズルにおい
   て、インクを吐出するために必要な駆動パルスのエネル
   ギーが、ノズルごとに異なるようにしたことを特徴とす
   る請求項１または２に記載のインクジェット記録装置。
4. 【請求項４】 発熱抵抗体を駆動する駆動手段が、パル
   ス電圧値（又はパルス電流値）及び／又はパルス幅が異
   なる駆動パルスを発生するものであることを特徴とする
   請求項１乃至３に記載のインクジェット記録装置。
5. 【請求項５】 駆動手段が、並列に接続されたＯＮ電流
   が異なる複数の駆動素子を有するものであることを特徴
   とする請求項１乃至４に記載のインクジェット記録装
   置。
6. 【請求項６】 １ドットを印字する複数のノズルにおい
   て、該ノズルから吐出されるインク滴の速度差がもたら
   す記録媒体上のドット位置の差が、画素ピッチの１／２
   以下であるようにしたことを特徴とする請求項１乃至５
   に記載のインクジェット記録装置。
7. 【請求項７】 １ドットを印字する複数のノズルにおい
   て、ノズル間の距離が、該ノズルに圧力を与える圧力発
   生部間の距離よりも短いことを特徴とする請求項１乃至
   ６に記載のインクジェット記録装置。