JPH0618630B2 - Ultra high vacuum material - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電子、陽子、重イオン等の加速器、核融合用
中性粒子入射装置、宇宙開発用スペースチェンバー、半
導体製造装置等を構成する超高真空容器などに用いられ
る超高真空材に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention constitutes an accelerator for electrons, protons, heavy ions, etc., a neutral particle injection device for nuclear fusion, a space chamber for space development, a semiconductor manufacturing device, etc. The present invention relates to an ultra-high vacuum material used for an ultra-high vacuum container and the like.

（従来技術） 近年、軽金属Ｖｏｌ．３３，Ｎｏ．２（１９８３）Ｐ１
０３〜Ｐ１１０などに示されるように、アルミニウム
が、粒子加速器等の超高真空装置を構成する部品の材料
として使用されている。これは、アルミニウムが次のよ
うな点で優れているからである。(Prior Art) In recent years, light metal Vol. 33, No. 2 (1983) P1
As shown in Nos. 03-P110, aluminum is used as a material of parts constituting an ultra-high vacuum device such as a particle accelerator. This is because aluminum is excellent in the following points.

誘導放射化による残留放射能の半減期が短い。Short half-life of residual radioactivity due to induced activation.

ガス放出率が小さい。Outgassing rate is small.

熱伝導率が大きい。High thermal conductivity.

多種多様な合金が選択できる。A wide variety of alloys can be selected.

軽量である。It is lightweight.

使用されるアルミニウム材料としては、純アルミニウム
系のＡ１０５０、Ａｌ−Ｃｕ系のＡ２２１８、Ａｌ−Ｍ
ｇ系のＡ５０５２，Ａ５０８３、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系の
Ａ６０６１，Ａ６０６３などがある。この中で、銅を含
むＡ２２１８などのアルミニウム合金は、真空フランジ
材として用いられ、マグネシウムを１〜５％含むＡ５０
５２，Ａ５０８３、Ａ６０６１，Ａ６０６３などのアル
ミニウム合金は、超高真空材として用いられている。Aluminum materials used include pure aluminum-based A1050, Al-Cu-based A2218, and Al-M.
Examples include g-based A5052 and A5083, and Al-Mg-Si-based A6061 and A6063. Among them, aluminum alloys such as A2218 containing copper are used as a vacuum flange material, and A50 containing 1 to 5% magnesium.
Aluminum alloys such as 52, A5083, A6061 and A6063 are used as ultra high vacuum materials.

（発明の解決しようとする問題点） 粒子加速器などの超高真空装置の構成部分である超高真
空容器などは、上記マグネシウムを含むアルミニウム合
金を材料として押し出し等の方法により製造したパイプ
材、圧延材など超高真空材をＴＩＧ溶接等の方法によっ
て溶接して製作される。(Problems to be solved by the invention) An ultra-high vacuum container, which is a component of an ultra-high vacuum device such as a particle accelerator, is a pipe material manufactured by a method such as extrusion using the aluminum alloy containing magnesium as described above, a rolled material. It is manufactured by welding an ultra-high vacuum material such as a material by a method such as TIG welding.

ところが、このように、従来の超高真空材で作られた超
高真空容器などは、その内面に粒子線や軌道放射光など
の高エネルギービームが照射されると、内部の超高真空
状態が阻害されてしまうという問題があった。However, in this way, in an ultra-high vacuum container made of conventional ultra-high vacuum material, when its inner surface is irradiated with a high-energy beam such as a particle beam or orbital radiation, the internal ultra-high vacuum state is changed. There was a problem of being hindered.

発明者らは、この原因を探るために、次のような試験を
行なった。すなわち、従来の超高真空材（Ａ５０８３）
をＴＩＧ溶接で溶接して超高真空容器を製作し、この超
高真空容器の溶接母材（圧延材）部、ＴＩＧ溶接による
溶接部およびその周辺部のそれぞれについて、イオンマ
イクロアナライザを用い、マグネシウムの深さ方向の分
析を行なった。この結果、第９図に示すように、母材部
（実線で示す曲線）、溶接部（破線で示す曲線）および
その周辺部（一点鎖線で示す曲線）の表面近くには、マ
グネシウムが大量に分布していた。とくに、溶接部およ
び周辺部の表面近くには多く、母材部の表面近くの数十
倍にもなっていた。このため、超高真空容器内面に高エ
ネルギービームが照射されると、容器内表面近く、とく
に、溶接部およびその周辺部の表面近くに大量に分布し
ているマグネシウムが真空空間にたたき出され、マグネ
シウムが蒸気圧の高い金属であることから、たたき出さ
れたマグネシウムによって超高真空容器内部の超高真空
状態が阻害されていたのである。The inventors conducted the following test in order to investigate the cause. That is, conventional ultra-high vacuum material (A5083)
Is welded by TIG welding to produce an ultra-high vacuum container, and a welding base material (rolled material) part of the ultra-high vacuum container, a welded part by TIG welding, and the peripheral part thereof are each analyzed by using an ion microanalyzer. Was analyzed in the depth direction. As a result, as shown in FIG. 9, a large amount of magnesium was found near the surface of the base metal portion (curve indicated by the solid line), the welded portion (curve indicated by the broken line) and its peripheral portion (curve indicated by the alternate long and short dash line). It was distributed. In particular, there were many near the surface of the welded portion and the peripheral portion, and several tens of times near the surface of the base metal portion. Therefore, when the inner surface of the ultra-high vacuum container is irradiated with a high-energy beam, a large amount of magnesium distributed near the inner surface of the container, particularly near the surface of the welded portion and its periphery is knocked out into the vacuum space, Since magnesium is a metal with a high vapor pressure, the ultrahigh vacuum state inside the ultrahigh vacuum container was hindered by the knocked out magnesium.

上記問題が生じないようにするためには、超高真空容器
を構成する超高真空材としてマグネシウムを含まない純
アルミニウム材を用いればよい。しかしながら、純アル
ミニウム材で超高真空容器を構成すると、純アルミニウ
ム材がマグネシウムを含むアルミニウム合金材と比べて
機械的強度に劣るため、容器の肉厚を厚くする必要があ
り、容器が重くなるという欠点があった。In order to prevent the above problems from occurring, a pure aluminum material containing no magnesium may be used as the ultra-high vacuum material forming the ultra-high vacuum container. However, when an ultra-high vacuum container is made of pure aluminum material, the pure aluminum material is inferior in mechanical strength to an aluminum alloy material containing magnesium, so that it is necessary to increase the thickness of the container and the container becomes heavy. There was a flaw.

（発明の目的） 以上の問題点を解消するため、本発明は、軽量で、か
つ、内面に高エネルギービームが照射されても、内部を
超高真空状態に保つことが可能なアルミニウム製の超高
真空容器等を構成することができる超高真空材を提供す
ることを目的としている。(Object of the Invention) In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is an ultra-lightweight aluminum body that can keep the inside in an ultra-high vacuum state even when the inner surface is irradiated with a high-energy beam. It is an object of the present invention to provide an ultra-high vacuum material capable of forming a high vacuum container or the like.

（発明の構成） 本発明は、超高真空装置の構成部品に使用される超高真
空材において、マグネシウムを含むアルミニウム合金か
らなる層を主体とし、この層の表面の少なくとも超高真
空にさらされる部分が厚み０．５mm以上の純アルミニウ
ムからなる層で覆われて構成されていることを特徴とす
る超高真空材をその要旨としている。(Structure of the Invention) The present invention mainly uses a layer made of an aluminum alloy containing magnesium in an ultra-high vacuum material used for a component of an ultra-high vacuum device, and at least the surface of this layer is exposed to ultra-high vacuum. The gist is an ultra-high vacuum material characterized in that a portion is covered with a layer made of pure aluminum having a thickness of 0.5 mm or more.

以上の構成によれば、超高真空にさらされる面にマグネ
シウムが分布しなくなる。したがって、これを用いて超
高真空容器等を構成すれば、容器等の超高真空にさらさ
れる面に高エネルギービームが照射されても、マグネシ
ウムが真空空間にたたき出されなくなる。しかも、容器
等がマグネシウムを含む機械的強度に優れたアルミニウ
ム合金を主体として構成されることとなり、肉厚が薄い
軽量な容器等とすることができる。According to the above configuration, magnesium is not distributed on the surface exposed to the ultrahigh vacuum. Therefore, if an ultra-high vacuum container or the like is constructed using this, even if the surface of the container or the like exposed to the ultra-high vacuum is irradiated with a high-energy beam, magnesium will not be knocked out into the vacuum space. Moreover, since the container and the like are mainly composed of an aluminum alloy containing magnesium and excellent in mechanical strength, it is possible to provide a lightweight container and the like having a thin wall thickness.

（実施例） 第１図は本発明に係る超高真空材の実施例が用いられた
電子線加速器を概略的に示している。この電子線加速器
は、電子銃１、線型加速器２、シンクロトロン加速器
３、実験装置４およびビームトランスポート系５を備え
ている。電子銃１で作成した電子を線型加速器２により
パルス状に加速し、加速された電子をシンクロトロン加
速器３に蓄積して、さらに高エネルギー状態に加速して
から、このシンクロトロン加速器３より軌道放射光を取
り出し実験装置４で各種の実験を行なうようになってい
る。(Embodiment) FIG. 1 schematically shows an electron beam accelerator using an embodiment of the ultra-high vacuum material according to the present invention. This electron beam accelerator includes an electron gun 1, a linear accelerator 2, a synchrotron accelerator 3, an experimental device 4 and a beam transport system 5. Electrons created by the electron gun 1 are pulsedly accelerated by the linear accelerator 2, the accelerated electrons are accumulated in the synchrotron accelerator 3 and further accelerated to a high energy state, and then the orbital radiation is made by the synchrotron accelerator 3. The light is extracted and various kinds of experiments are conducted by the experiment device 4.

この電子線加速器において、シンクロトロン加速器３お
よびビームトランスポート系５は、アルミニウム製超高
真空部品になっている。これらの部品は、断面形状が第
２図に示すような円形、または、第３図に示すようなレ
ーストラック形になったパイプ状の超高真空材８，９を
必要な長さに切断し、その両端に真空フランジを溶接し
て構成している。断面形状を円形にするか、レーストラ
ック形にするかは、外周に取り付けられる磁石の種類に
より選択する。第２図および第３図に示すパイプ状の超
高真空材８，９はマグネシウムを含むアルミニウム合金
（Ａｌ−Ｍｇ系のＡ５０５２，Ａ５０８３、Ａｌ−Ｍｇ
−Ｓｉ系のＡ６０６１，Ａ６０６３など）からなる層１
１を主体とし、その層の超高真空にさらされる部分、つ
まり、内周面が純アルミニウム（Ａ１０５０など）から
なる層１２で覆われて構成されている。このようなパイ
プ状の超高真空材（クラッドパイプ）８，９を製作する
には、次の２通りの方法があり、断面形状、サイズに応
じて最適な方法を採用する。第１の方法は、純アルミニ
ウムからなる層（以下、「純アルミニウム層」という）
を内層に、マグネシウムを含むアルミニウム合金からな
る層（以下、「アルミニウム合金層」という）を外層に
配置した二重筒状のビレットを用い、これを押し出し成
形により得るようにする方法であり、円形断面のクラッ
ドパイプ８を得るのに適している。第２の方法は、純ア
ルミニウム製パイプとアルミニウム合金製パイプを個別
に作っておき、アルミニウム合金製パイプに純アルミニ
ウム製パイプを挿入した後、アルミニウム合金製パイプ
を支えながら、純アルミニウム製パイプに内圧を作用さ
せて純アルミニウム製パイプとアルミニウム合金製パイ
プとを一体化することにより得るようにする方法であ
り、レーストラック形断面のクラッドパイプ９を得るの
に適している。In this electron beam accelerator, the synchrotron accelerator 3 and the beam transport system 5 are aluminum ultra-high vacuum components. These parts are made by cutting a pipe-shaped ultra high vacuum material 8 or 9 having a circular cross section as shown in FIG. 2 or a race track as shown in FIG. 3 to a required length. , And vacuum flanges are welded to both ends. Whether the cross-sectional shape is circular or racetrack-shaped is selected depending on the type of magnet attached to the outer circumference. The pipe-shaped ultra-high vacuum materials 8 and 9 shown in FIGS. 2 and 3 are aluminum alloys containing magnesium (Al-Mg-based A5052, A5083, Al-Mg).
Layer 1 made of Si-based A6061, A6063, etc.)
1 mainly, and a portion of the layer exposed to the ultrahigh vacuum, that is, the inner peripheral surface is covered with a layer 12 made of pure aluminum (A1050 or the like). There are the following two methods for manufacturing such pipe-shaped ultra-high vacuum materials (clad pipes) 8 and 9, and an optimum method is adopted according to the sectional shape and size. The first method is a layer made of pure aluminum (hereinafter referred to as "pure aluminum layer").
It is a method of using a double cylindrical billet in which a layer made of an aluminum alloy containing magnesium (hereinafter referred to as "aluminum alloy layer") is arranged as an inner layer and an outer layer, and the billet is obtained by extrusion molding. It is suitable for obtaining a clad pipe 8 having a cross section. The second method is to make a pipe made of pure aluminum and a pipe made of aluminum alloy separately, insert the pipe made of pure aluminum into the pipe made of aluminum alloy, and then, while supporting the pipe made of aluminum alloy, apply internal pressure to the pipe made of pure aluminum. Is applied to integrate the pure aluminum pipe and the aluminum alloy pipe, and is suitable for obtaining the clad pipe 9 having a racetrack-shaped cross section.

パルス状の電子ビームを連続ビームとして使用する時に
は、第４図に示すように、シンクロトロン加速器の代わ
りにパルスビームストレッチャー６が取り付けられる。
このパルスビームストレッチャー６には、電子ビームを
連続化するための電磁石を内蔵した超高真空容器７が複
数個配置される。When a pulsed electron beam is used as a continuous beam, a pulse beam stretcher 6 is attached instead of the synchrotron accelerator as shown in FIG.
The pulse beam stretcher 6 is provided with a plurality of ultra-high vacuum chambers 7 containing electromagnets for making electron beams continuous.

この超高真空容器７は、第５図(a)，(b)に示すように、
立方体の形状をしている。超高真空容器７の側壁７ａに
は、ノズル７１，７２，７３が取り付けられている。電
子ビームは、ノズル７１より入り、ノズル７２より出る
ようになっている。ノズル７３は、真空排気用および内
部の電磁石の位置調整用として設けられている。ノズル
７１，７２，７３は、第３図に示すクラッドパイプで構
成されている。ノズル７１，７２，７３には、真空フラ
ンジ７１ａ，７２ａ，７３ａが溶接により取り付けられ
ている。超高真空容器７の上部には相フランジ７４が溶
接により取り付けられ、この相フランジ７４の上に盲フ
ランジ７５が乗せられて真空シールされている。This ultra-high vacuum container 7 is, as shown in FIGS.
It has the shape of a cube. Nozzles 71, 72, 73 are attached to the side wall 7 a of the ultra-high vacuum container 7. The electron beam enters through the nozzle 71 and exits through the nozzle 72. The nozzle 73 is provided for evacuation and for adjusting the position of the internal electromagnet. The nozzles 71, 72, 73 are composed of the clad pipe shown in FIG. Vacuum flanges 71a, 72a, 73a are attached to the nozzles 71, 72, 73 by welding. A companion flange 74 is attached to the upper portion of the ultra high vacuum container 7 by welding, and a blind flange 75 is placed on the companion flange 74 for vacuum sealing.

超高真空容器７は、第６図に示すような平板状の超高真
空材１０をそれぞれ側壁７ａ、底壁７ｂ、盲フランジ７
５等の大きさに合わせて切断し、これらの切断部材を組
み合わせ、角部をＴＩＧ溶接等により溶接することで構
成されている。第６図に示す平板状の超高真空材１０
は、アルミニウム合金層１１を主体とし、その層の片面
が純アルミニウム層１２で覆われて構成されている。こ
のような平板状の超高真空材（クラッド材）１０を製作
するには、アルミニウム合金板と純アルミニウム板とを
重ね合わせて圧延するようにする。The ultra-high vacuum container 7 includes a plate-shaped ultra-high vacuum material 10 as shown in FIG. 6, which is a side wall 7a, a bottom wall 7b, and a blind flange 7, respectively.
It is configured by cutting in accordance with a size of 5, etc., combining these cutting members, and welding the corners by TIG welding or the like. A plate-shaped ultra-high vacuum material 10 shown in FIG.
Is mainly composed of an aluminum alloy layer 11, and one surface of the layer is covered with a pure aluminum layer 12. In order to manufacture such a plate-shaped ultra-high vacuum material (clad material) 10, an aluminum alloy plate and a pure aluminum plate are superposed and rolled.

角部の溶接は、第７図に示すようにする。すなわち、純
アルミニウム合金層１２が超高真空にさらされる容器内
側に配置され、アルミニウム合金層１１が大気にさらさ
れる容器外側に配置されるようにして、クラッド板１０
同士を直角に突き合わせ、純アルミニウム層１２同士を
純アルミニウム用の溶接材料１３を用いて連続的に溶接
する。この溶接のみでは大気圧に対する機械的強度が不
足するので、アルミニウム合金層１１同志をアルミニウ
ム合金用の溶接材料１４によって断続的に溶接し、機械
的強度をもたせるようにする。The corners are welded as shown in FIG. That is, the pure aluminum alloy layer 12 is arranged inside the container exposed to the ultra-high vacuum, and the aluminum alloy layer 11 is arranged outside the container exposed to the atmosphere.
The pure aluminum layers 12 are continuously welded to each other by using a welding material 13 for pure aluminum. Since the mechanical strength against atmospheric pressure is insufficient only by this welding, the aluminum alloy layers 11 are welded intermittently with the welding material 14 for the aluminum alloy so as to have the mechanical strength.

第２図，第３図および第６図に示した超高真空材など、
本発明に係る超高真空材における純アルミニウム層１２
の厚みは、０．５mm以上であることが必要である。これ
は、次の理由による。The ultra-high vacuum material shown in FIGS. 2, 3 and 6,
Pure aluminum layer 12 in the ultra-high vacuum material according to the present invention
Must have a thickness of 0.5 mm or more. This is for the following reason.

クラッド板同士をＴＩＧ溶接により第７図に示すように
溶接し、ＥＰＭＡ線分析によってアルミニウム合金層１
１から純アルミニウム層１２へのマグネシウムの拡散に
ついて分析した。これを、純アルミニウム層１２の厚み
が種々異なるクラッド板について、それぞれ行なった。
なお、純アルミニウムにはＡ１０５０を用い、アルミニ
ウム合金にはＡ５０５２を用いた。分析方向は、図に示
すＡ方向であった。分析の結果、第８図に示すように、
アルミニウム合金層１１から純アルミニウム層１２へマ
グネシウムが拡散していることがわかった。とくに、ア
ルミニウム合金層１１と純アルミニウム層１２との境
界、つまり、クラッドの境界より純アルミニウム層１２
側へ０．１mm移動したところに、アルミニウム合金層１
２のマグネシウム濃度と比べて２．５〜３倍も高いマグ
ネシウム濃度が検出された。拡散領域は、クラッドの境
界より純アルミニウム層１２側へ０．３mmのところまで
であった。The clad plates were welded by TIG welding as shown in FIG. 7, and the aluminum alloy layer 1 was analyzed by EPMA line analysis.
The diffusion of magnesium from 1 to pure aluminum layer 12 was analyzed. This was performed for each of the clad plates having different thicknesses of the pure aluminum layer 12.
In addition, A1050 was used for pure aluminum and A5052 was used for the aluminum alloy. The analysis direction was the A direction shown in the figure. As a result of the analysis, as shown in FIG.
It was found that magnesium diffused from the aluminum alloy layer 11 to the pure aluminum layer 12. Particularly, from the boundary between the aluminum alloy layer 11 and the pure aluminum layer 12, that is, the boundary of the clad, the pure aluminum layer 12
Aluminum alloy layer 1 where 0.1mm is moved to the side
A magnesium concentration 2.5 to 3 times higher than that of magnesium was detected. The diffusion region was 0.3 mm from the boundary of the clad to the pure aluminum layer 12 side.

この分析結果より、純アルミニウム層１２の厚みを０．
５mm以上とすれば、純アルミニウム層１２の表面にマグ
ネシウムが達しなくなり、その表面に高エネルギービー
ムが照射されてもマグネシウムがたたき出されなくなる
ことがわかる。したがって、純アルミニウム層１２の厚
みは、０．５mm以上あることが必要なのである。From the results of this analysis, the thickness of the pure aluminum layer 12 was set to 0.
It can be seen that when the thickness is 5 mm or more, magnesium does not reach the surface of the pure aluminum layer 12, and magnesium is not knocked out even if the surface is irradiated with a high energy beam. Therefore, the thickness of the pure aluminum layer 12 needs to be 0.5 mm or more.

通常、純アルミニウム層１２の厚みは、２〜３mmとす
る。なお、純アルミニウム層１２は、アルミニウム合金
層１１の表面の超高真空にさらされる部分のみを覆って
いてもよく、全表面を覆っていてもよい。Usually, the thickness of the pure aluminum layer 12 is 2-3 mm. The pure aluminum layer 12 may cover only the portion of the surface of the aluminum alloy layer 11 that is exposed to ultrahigh vacuum, or may cover the entire surface.

アルミニウム合金層１１の厚みは、超高真空容器のサイ
ズに依存し、強度解析を行なった上で、最適値を求め、
その値に応じて設定するようにすればよい。The thickness of the aluminum alloy layer 11 depends on the size of the ultra-high vacuum container, and after performing strength analysis, obtaining the optimum value,
It may be set according to the value.

（発明の効果） 以上に説明してきたように、本発明に係る超高真空材
は、マグネシウムを含むアルミニウム合金からなる層を
主体とし、この層の表面の少なくとも超高真空にさらさ
れる部分が厚み０．５mm以上の純アルミニウムからなる
層で覆われて構成されている。このため、これを用いて
超高真空容器等を構成すれば、容器等の超高真空にさら
される面に高エネルギービームが照射されても、マグネ
シウムを含むアルミニウム合金からなる層が純アルミニ
ウムからなる層で覆われていることにより、マグネシウ
ムを含むアルミニウム合金からなる層にビームが照射さ
れることがない。しかも、純アルミニウムからなる層の
厚みを０．５mm以上としたことにより、マグネシウムを
含むアルミニウム合金からなる層から純アルミニウムか
らなる層へ拡散するマグネシウムが純アルミニウムから
なる層の表面、つまり、容器等の超高真空にさらされる
面まで達することがない。したがって、容器等の超高真
空にさらされる面に高エネルギービームが照射されて
も、マグネシウムが真空空間にたたき出されなくなる。
また、容器等がマグネシウムを含むアルミニウム合金を
主体として構成されることとなり、マグネシウムを含む
アルミニウム合金が機械的強度に優れていることから、
肉厚を薄くでき、軽量な容器等になる。しかも、容器等
がアルミニウム製となり、アルミニウムの優れた特性を
もった容器等になる。(Effect of the invention) As described above, the ultra-high vacuum material according to the present invention is mainly composed of a layer made of an aluminum alloy containing magnesium, and at least the portion of the surface of the layer exposed to the ultra-high vacuum has a thickness. It is composed of a layer of 0.5 mm or more made of pure aluminum. Therefore, if an ultra-high vacuum container or the like is constructed using this, even if the surface of the container or the like exposed to the ultra-high vacuum is irradiated with a high-energy beam, the layer made of an aluminum alloy containing magnesium is made of pure aluminum. By being covered with the layer, the layer made of the aluminum alloy containing magnesium is not irradiated with the beam. Moreover, by setting the thickness of the layer made of pure aluminum to 0.5 mm or more, the magnesium diffused from the layer made of the aluminum alloy containing magnesium to the layer made of pure aluminum has a surface of the layer made of pure aluminum, that is, a container or the like. The surface that is exposed to the ultra-high vacuum is never reached. Therefore, even if the surface of the container or the like exposed to the ultra-high vacuum is irradiated with the high-energy beam, magnesium will not be knocked out into the vacuum space.
In addition, since the container and the like are mainly composed of an aluminum alloy containing magnesium, since the aluminum alloy containing magnesium is excellent in mechanical strength,
The thickness of the container can be reduced, making it a lightweight container. Moreover, the container and the like are made of aluminum, and the container and the like have excellent characteristics of aluminum.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は本発明に係る超高真空材が用いられた電子線加
速器を概略的に示す平面図、第２図は円形断面のパイプ
状にした超高真空材を示す断面図、第３図はレーストラ
ック形断面のパイプ状にした超高真空材を示す断面図、
第４図は電子線加速器の別例を概略的に示す平面図、第
５図(a)は超高真空容器の一例を示す平面図、第５図(b)
はその正面図、第６図は平板状の実施例を示す断面図、
第７図はそれを溶接した状態を示す断面図、第８図は平
板状の実施例の分析グラフ、第９図は従来の超高真空材
の分析グラフである。 ３，５，６，７…超高真空装置の構成部品、８，９，１
０…超高真空材、１１…マグネシウムを含むアルミニウ
ム合金からなる層、１２…純アルミニウムからなる層。FIG. 1 is a plan view schematically showing an electron beam accelerator using an ultra-high vacuum material according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing an ultra-high vacuum material in the shape of a pipe having a circular cross section. Is a cross-sectional view showing a pipe-shaped ultra-high vacuum material with a racetrack cross section,
FIG. 4 is a plan view schematically showing another example of the electron beam accelerator, FIG. 5 (a) is a plan view showing an example of an ultra-high vacuum container, and FIG. 5 (b).
Is a front view thereof, and FIG. 6 is a sectional view showing a flat plate-shaped embodiment,
FIG. 7 is a sectional view showing the welded state, FIG. 8 is an analysis graph of a flat plate-shaped embodiment, and FIG. 9 is an analysis graph of a conventional ultra-high vacuum material. 3, 5, 6, 7 ... Components of ultra-high vacuum device, 8, 9, 1
0 ... Ultra-high vacuum material, 11 ... Layer made of aluminum alloy containing magnesium, 12 ... Layer made of pure aluminum.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】超高真空装置の構成部品に使用される超高
真空材において、マグネシウムを含むアルミニウム合金
からなる層を主体とし、この層の表面の少なくとも超高
真空にさらされる部分が厚み０．５mm以上の純アルミニ
ウムからなる層で覆われて構成されていることを特徴と
する超高真空材。1. An ultra-high vacuum material used for a component of an ultra-high vacuum device, which is mainly composed of a layer made of an aluminum alloy containing magnesium, and at least a portion of the surface of the layer exposed to the ultra-high vacuum has a thickness of 0. An ultra-high vacuum material characterized by being covered with a layer made of pure aluminum of 0.5 mm or more.