JPH0618575A - 電気抵抗測定装置 - Google Patents
電気抵抗測定装置Info
- Publication number
- JPH0618575A JPH0618575A JP19905892A JP19905892A JPH0618575A JP H0618575 A JPH0618575 A JP H0618575A JP 19905892 A JP19905892 A JP 19905892A JP 19905892 A JP19905892 A JP 19905892A JP H0618575 A JPH0618575 A JP H0618575A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- voltage
- circuit
- standard
- electric resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】加熱下に置かれた試料の電気抵抗を、測定電流
の安定度にかかわらず高精度に測定することができ、し
かも複数の試料を簡単かつ安価な設備で測定できるよう
にする。 【構成】試料に直流電流を流す直流回路を備えると共
に、この直流回路に標準抵抗を直列に挿入する。そし
て、試料及び標準抵抗のそれぞれに生じる電流値を切替
器により順次切り替えて出力し、アナログ・デジタル変
換器でデジタル信号に変換した後、中央処理装置に入力
する。中央処理装置では、標準抵抗に関する既知の抵抗
値と入力電圧信号とにより直流回路を流れる電流値を算
出し、かつこの電流値と試料の電圧値とにもづき試料の
電気抵抗を算出する。
の安定度にかかわらず高精度に測定することができ、し
かも複数の試料を簡単かつ安価な設備で測定できるよう
にする。 【構成】試料に直流電流を流す直流回路を備えると共
に、この直流回路に標準抵抗を直列に挿入する。そし
て、試料及び標準抵抗のそれぞれに生じる電流値を切替
器により順次切り替えて出力し、アナログ・デジタル変
換器でデジタル信号に変換した後、中央処理装置に入力
する。中央処理装置では、標準抵抗に関する既知の抵抗
値と入力電圧信号とにより直流回路を流れる電流値を算
出し、かつこの電流値と試料の電圧値とにもづき試料の
電気抵抗を算出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱下におかれた試料
の電気抵抗を測定する装置に関し、詳しくは熱起電力等
の誤差をとり除き高精度に試料の電気抵抗を測定するこ
とができる電気抵抗測定装置に関する。
の電気抵抗を測定する装置に関し、詳しくは熱起電力等
の誤差をとり除き高精度に試料の電気抵抗を測定するこ
とができる電気抵抗測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電気抵抗を高精度に測定する場合、試料
温度に応じて試料と電圧検出回路との接触点に熱起電力
等が生じるため、これによる誤差をとり除く必要があ
る。図７は従来のこの種の電気抵抗測定装置を示すブロ
ック図、図８は同装置の動作を説明するタイミングチャ
ートである。試料Ｓは電気炉５０中で所要の温度に加熱
されている。この試料Ｓに電流発生器５１から断続的な
直流電流（図８、ｉ）を流し、試料Ｓの二点間に生じる
電圧を増幅器５２を介して出力する。この電圧出力を更
に増幅器５２で増幅した後、第一サンプルホールド回路
５４に入力する。第一サンプルホールド回路５４は、試
料Ｓへの直流電流が遮断されている間の電圧をサンプリ
ングする（図８、ｅn）。このサンプリングした電圧
は、すなわち温度変化等に起因する熱起電力によるもの
である。したがって、この電圧値を積分回路５５を介し
て負帰還させることにより、増幅器５３の出力から熱起
電力による誤差分をとり除くことができる。そこで、試
料Ｓに直流電流が流れている間の電圧増幅出力を第二サ
ンプルホールド回路５６によりサンプリングし（図８、
ｅ0 ）、濾波回路５７で平滑化すると、試料Ｓの二点間
における抵抗に比例した電圧出力が出力端子５８に得ら
れる。この出力を指示計器で読取ることにより、試料Ｓ
の電気抵抗を算出することができる。なお、５９はタイ
ミング信号発生回路であり、各サンプルホールド回路５
４，５６及び電流発生器５１の動作タイミング信号を出
力する。
温度に応じて試料と電圧検出回路との接触点に熱起電力
等が生じるため、これによる誤差をとり除く必要があ
る。図７は従来のこの種の電気抵抗測定装置を示すブロ
ック図、図８は同装置の動作を説明するタイミングチャ
ートである。試料Ｓは電気炉５０中で所要の温度に加熱
されている。この試料Ｓに電流発生器５１から断続的な
直流電流（図８、ｉ）を流し、試料Ｓの二点間に生じる
電圧を増幅器５２を介して出力する。この電圧出力を更
に増幅器５２で増幅した後、第一サンプルホールド回路
５４に入力する。第一サンプルホールド回路５４は、試
料Ｓへの直流電流が遮断されている間の電圧をサンプリ
ングする（図８、ｅn）。このサンプリングした電圧
は、すなわち温度変化等に起因する熱起電力によるもの
である。したがって、この電圧値を積分回路５５を介し
て負帰還させることにより、増幅器５３の出力から熱起
電力による誤差分をとり除くことができる。そこで、試
料Ｓに直流電流が流れている間の電圧増幅出力を第二サ
ンプルホールド回路５６によりサンプリングし（図８、
ｅ0 ）、濾波回路５７で平滑化すると、試料Ｓの二点間
における抵抗に比例した電圧出力が出力端子５８に得ら
れる。この出力を指示計器で読取ることにより、試料Ｓ
の電気抵抗を算出することができる。なお、５９はタイ
ミング信号発生回路であり、各サンプルホールド回路５
４，５６及び電流発生器５１の動作タイミング信号を出
力する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電気抵
抗測定装置によれば、出力端子５８に得られた電圧値と
試料Ｓに流した直流電流値から、オームの法則によって
試料Ｓの抵抗値が算出できる。ここで、試料Ｓに流す直
流電流は、抵抗値算出のための基準となるものであり、
測定を実施している間高い安定性を保たなければならな
い。しかしながら、そのような高安定の電流発生器は高
価格であり、また電源オン・オフ時の過渡現象等により
電流値を高度に安定させることは難しい。したがって、
上記従来の電気抵抗測定装置では、信頼性の高い測定結
果を得ることが困難であるという課題があった。
抗測定装置によれば、出力端子５８に得られた電圧値と
試料Ｓに流した直流電流値から、オームの法則によって
試料Ｓの抵抗値が算出できる。ここで、試料Ｓに流す直
流電流は、抵抗値算出のための基準となるものであり、
測定を実施している間高い安定性を保たなければならな
い。しかしながら、そのような高安定の電流発生器は高
価格であり、また電源オン・オフ時の過渡現象等により
電流値を高度に安定させることは難しい。したがって、
上記従来の電気抵抗測定装置では、信頼性の高い測定結
果を得ることが困難であるという課題があった。
【０００４】また、上記従来の電気抵抗測定装置では、
測定対象となる試料一つに対して図７に示した回路系が
必要であり、複数の試料を一括して測定したいような場
合、同図の回路系を試料ごとに備える必要があり、設備
コストが高価格となる課題を有していた。
測定対象となる試料一つに対して図７に示した回路系が
必要であり、複数の試料を一括して測定したいような場
合、同図の回路系を試料ごとに備える必要があり、設備
コストが高価格となる課題を有していた。
【０００５】本発明は上述した従来の課題を解決するた
めになされたもので、測定電流の安定度にかかわらず高
精度な測定結果を得ることができ、しかも複数の試料を
簡単かつ安価な設備で測定することのできる電気抵抗測
定装置の提供を目的とする。
めになされたもので、測定電流の安定度にかかわらず高
精度な測定結果を得ることができ、しかも複数の試料を
簡単かつ安価な設備で測定することのできる電気抵抗測
定装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電気抵抗測定装置は、直流電流を発生する
電流発生器と、この電流発生器からの直流電流を試料に
流す直流回路と、前記直流回路に対して直列に接続した
標準抵抗と、試料の二点間に生じた電圧を増幅する試料
電圧増幅器と、前記標準抵抗の両端に生じた電圧を増幅
する標準電圧増幅器と、前記試料電圧増幅器からの入力
と前記標準電圧増幅器からの入力とを切替えて出力する
切替器と、前記切替器からの出力をデジタル変換して出
力するアナログ・デジタル変換器と、前記電流発生器を
断続的にオン・オフするとともに、同電流発生器がオン
状態の間及びオフ状態の間にそれぞれ前記切替器の各入
力接点に対する所定の切替え操作を行ない、かつ前記ア
ナログ・デジタル変換器からの入力にもとづき試料の電
気抵抗を算出する中央処理装置と、を備えた構成として
ある。また、複数の試料を測定するために請求項２の発
明では、前記直流回路に複数の試料を直列に接続すると
ともに、各試料それぞれにおける二点間に生じた電圧を
増幅する試料電圧増幅器を各々設け、かつ前記切替器に
これら試料電圧増幅器からの入力接点を備え、前記中央
処理装置が、前記アナログ・デジタル変換器からの入力
信号にもとづき各試料ごとの電気抵抗を算出する構成と
してある。さらに、請求項３の発明では、前記電流発生
回路、直流回路、標準抵抗、試料電圧増幅器、及び標準
電圧増幅器からなる回路系を複数備え、前記切替器に、
前記各試料電圧増幅器及び各標準電圧増幅器からの入力
接点を設け、前記中央処理装置が、前記アナログ・デジ
タル変換器からの入力信号にもとづき各回路系における
各試料ごとの電気抵抗を算出する構成としてある。
に、本発明の電気抵抗測定装置は、直流電流を発生する
電流発生器と、この電流発生器からの直流電流を試料に
流す直流回路と、前記直流回路に対して直列に接続した
標準抵抗と、試料の二点間に生じた電圧を増幅する試料
電圧増幅器と、前記標準抵抗の両端に生じた電圧を増幅
する標準電圧増幅器と、前記試料電圧増幅器からの入力
と前記標準電圧増幅器からの入力とを切替えて出力する
切替器と、前記切替器からの出力をデジタル変換して出
力するアナログ・デジタル変換器と、前記電流発生器を
断続的にオン・オフするとともに、同電流発生器がオン
状態の間及びオフ状態の間にそれぞれ前記切替器の各入
力接点に対する所定の切替え操作を行ない、かつ前記ア
ナログ・デジタル変換器からの入力にもとづき試料の電
気抵抗を算出する中央処理装置と、を備えた構成として
ある。また、複数の試料を測定するために請求項２の発
明では、前記直流回路に複数の試料を直列に接続すると
ともに、各試料それぞれにおける二点間に生じた電圧を
増幅する試料電圧増幅器を各々設け、かつ前記切替器に
これら試料電圧増幅器からの入力接点を備え、前記中央
処理装置が、前記アナログ・デジタル変換器からの入力
信号にもとづき各試料ごとの電気抵抗を算出する構成と
してある。さらに、請求項３の発明では、前記電流発生
回路、直流回路、標準抵抗、試料電圧増幅器、及び標準
電圧増幅器からなる回路系を複数備え、前記切替器に、
前記各試料電圧増幅器及び各標準電圧増幅器からの入力
接点を設け、前記中央処理装置が、前記アナログ・デジ
タル変換器からの入力信号にもとづき各回路系における
各試料ごとの電気抵抗を算出する構成としてある。
【０００７】
【作用】直流回路に挿入された試料及び標準抵抗に対し
て、電流発生器から直流電流を断続的に流すと、試料の
二点間及び標準抵抗の両端にそれぞれ抵抗値に比例した
電圧が生ずる。これらの電圧を各々試料電圧増幅器及び
標準電圧増幅器により増幅してとり出す。そして、直流
回路導通時の各電圧増幅出力を切替器の操作によって個
別的にアナログ・デジタル変換器に出力し、中央処理装
置に入力する。次いで、直流回路非導通時の試料電圧増
幅出力を切替器の操作によってアナログ・デジタル変換
器へと出力し、中央処理装置に入力する。
て、電流発生器から直流電流を断続的に流すと、試料の
二点間及び標準抵抗の両端にそれぞれ抵抗値に比例した
電圧が生ずる。これらの電圧を各々試料電圧増幅器及び
標準電圧増幅器により増幅してとり出す。そして、直流
回路導通時の各電圧増幅出力を切替器の操作によって個
別的にアナログ・デジタル変換器に出力し、中央処理装
置に入力する。次いで、直流回路非導通時の試料電圧増
幅出力を切替器の操作によってアナログ・デジタル変換
器へと出力し、中央処理装置に入力する。
【０００８】中央処理装置では、上記入力された標準抵
抗に関する直流回路導通時の電圧信号Ｖs にもとづき直
流回路に流れる電流値ＩS を算出する。ここで、標準抵
抗の抵抗値をＲS とすると、ＩS は次式で求められる。 ＩS ＝ＶS／ＲS ・・・（Ｉ） 次に、上記算出した電流値ＩS と、試料に関する直流回
路導通時及び非導通時の電圧信号にもとづき試料の電気
抵抗を算出する。すなわち、直流回路導通時の試料電圧
信号Ｖm には、試料の電気抵抗Ｒによる電圧値Ｖ0 に加
え熱起電力による電圧値Ｖt が含まれている（すなわ
ち、Ｖm ＝Ｖ0 ＋Ｖt ）。一方、電流回路非導通時に
は、試料の電気抵抗による電圧値Ｖ0 は０となるため、
この時の入力電圧信号は熱起電力による電圧値Ｖt のみ
となる。したがって、中央処理装置では、次式によって
試料の電気抵抗Ｒを算出できることになる。 Ｒ＝（Ｖm −Ｖt) ／ＩS ＝｛（Ｖ0 ＋Ｖt ）−Ｖt}／
ＩS ・・・（ＩＩ）
抗に関する直流回路導通時の電圧信号Ｖs にもとづき直
流回路に流れる電流値ＩS を算出する。ここで、標準抵
抗の抵抗値をＲS とすると、ＩS は次式で求められる。 ＩS ＝ＶS／ＲS ・・・（Ｉ） 次に、上記算出した電流値ＩS と、試料に関する直流回
路導通時及び非導通時の電圧信号にもとづき試料の電気
抵抗を算出する。すなわち、直流回路導通時の試料電圧
信号Ｖm には、試料の電気抵抗Ｒによる電圧値Ｖ0 に加
え熱起電力による電圧値Ｖt が含まれている（すなわ
ち、Ｖm ＝Ｖ0 ＋Ｖt ）。一方、電流回路非導通時に
は、試料の電気抵抗による電圧値Ｖ0 は０となるため、
この時の入力電圧信号は熱起電力による電圧値Ｖt のみ
となる。したがって、中央処理装置では、次式によって
試料の電気抵抗Ｒを算出できることになる。 Ｒ＝（Ｖm −Ｖt) ／ＩS ＝｛（Ｖ0 ＋Ｖt ）−Ｖt}／
ＩS ・・・（ＩＩ）
【０００９】複数の試料を測定する場合には、直流回路
に挿入した各試料の電圧出力を切替器によって各々個別
的に中央処理装置へと入力し、それぞれの試料に関して
上述した計算を行なえば各試料の電気抵抗を求めること
ができる。
に挿入した各試料の電圧出力を切替器によって各々個別
的に中央処理装置へと入力し、それぞれの試料に関して
上述した計算を行なえば各試料の電気抵抗を求めること
ができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第一実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図である。本実施例の電気抵抗
測定装置は、直流回路１０に試料Ｓ及び標準抵抗１１を
直列に接続し、電流発生器１２によって直流電流を流す
回路系を一つ備えている。試料Ｓは電気炉１３内で所定
の温度に加熱し、本実施例装置によって当該加熱下にお
ける電気抵抗が測定される。標準抵抗１１は一定の抵抗
値ＲS を有している。電流発生器１２は、直流回路１０
に対して一定の直流電流を断続的に流す。この電流発生
器１２のオン・オフ制御は、後述するように中央処理装
置１４によって行なう。
て説明する。図１は本発明の第一実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図である。本実施例の電気抵抗
測定装置は、直流回路１０に試料Ｓ及び標準抵抗１１を
直列に接続し、電流発生器１２によって直流電流を流す
回路系を一つ備えている。試料Ｓは電気炉１３内で所定
の温度に加熱し、本実施例装置によって当該加熱下にお
ける電気抵抗が測定される。標準抵抗１１は一定の抵抗
値ＲS を有している。電流発生器１２は、直流回路１０
に対して一定の直流電流を断続的に流す。この電流発生
器１２のオン・オフ制御は、後述するように中央処理装
置１４によって行なう。
【００１１】試料Ｓの二点間には、電圧検出リード線を
介して試料電圧増幅器１５が接続してある。また、標準
抵抗１１の両端間にも標準電圧増幅器１６が接続してあ
る。これら電圧増幅器１５，１６の出力側は、それぞれ
切替器１７の入力端子ｓ，１に接続してある。切替器１
７の出力端子ａは、アナログ・デジタル変換器（以下、
Ａ／Ｄコンバータという）１８を介して中央処理装置１
４に接続されている。
介して試料電圧増幅器１５が接続してある。また、標準
抵抗１１の両端間にも標準電圧増幅器１６が接続してあ
る。これら電圧増幅器１５，１６の出力側は、それぞれ
切替器１７の入力端子ｓ，１に接続してある。切替器１
７の出力端子ａは、アナログ・デジタル変換器（以下、
Ａ／Ｄコンバータという）１８を介して中央処理装置１
４に接続されている。
【００１２】中央処理装置１４は、電流発生器１２を一
定時間単位でオン・オフ制御するとともに、切替器１７
の切替え動作を制御する。この中央処理装置１４は、専
用のマイクロコンピュータで構成してもよく、また汎用
のパーソナルコンピュータを利用してもよい。
定時間単位でオン・オフ制御するとともに、切替器１７
の切替え動作を制御する。この中央処理装置１４は、専
用のマイクロコンピュータで構成してもよく、また汎用
のパーソナルコンピュータを利用してもよい。
【００１３】次に、上述した第一実施例に係る電気抵抗
測定装置の動作を図１及び図２にもとづいて説明する。
図２は同装置の動作を説明するタイミングチャートであ
る。中央処理装置１４の制御によって、まず電流発生器
１２をオン状態とし、標準抵抗１１及び試料Ｓに直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗１１及び試料
Ｓの電圧値ＶS 及びＶm を各増幅器１５，１６で増幅
し、切替器１７の入力端子ｓ，１に送る。そして、導通
状態の間（図２のＴON）に、中央処理装置１４の制御に
よって切替器１７を切替え操作し、各入力端子ｓ及び１
に入力された電圧出力ＶS,Ｖm をＡ／Ｄコンバータ１８
へと順次出力する。
測定装置の動作を図１及び図２にもとづいて説明する。
図２は同装置の動作を説明するタイミングチャートであ
る。中央処理装置１４の制御によって、まず電流発生器
１２をオン状態とし、標準抵抗１１及び試料Ｓに直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗１１及び試料
Ｓの電圧値ＶS 及びＶm を各増幅器１５，１６で増幅
し、切替器１７の入力端子ｓ，１に送る。そして、導通
状態の間（図２のＴON）に、中央処理装置１４の制御に
よって切替器１７を切替え操作し、各入力端子ｓ及び１
に入力された電圧出力ＶS,Ｖm をＡ／Ｄコンバータ１８
へと順次出力する。
【００１４】次いで、電流発生器１２をオフ状態とす
る。このとき、試料Ｓの二点間には熱起電力による電圧
Ｖt が生じており、この電圧Ｖt を試料電圧増幅器１５
によって増幅し、切替器１７の入力端子１に送る。そし
て、非導通状態の間（図２のＴOFF ）に、中央処理装置
１４の制御によって切替器１７を切替え操作し、入力端
子１に入力された電圧出力Ｖt をＡ／Ｄコンバータ１８
へと出力する。
る。このとき、試料Ｓの二点間には熱起電力による電圧
Ｖt が生じており、この電圧Ｖt を試料電圧増幅器１５
によって増幅し、切替器１７の入力端子１に送る。そし
て、非導通状態の間（図２のＴOFF ）に、中央処理装置
１４の制御によって切替器１７を切替え操作し、入力端
子１に入力された電圧出力Ｖt をＡ／Ｄコンバータ１８
へと出力する。
【００１５】Ａ／Ｄコンバータ１８は、各電圧出力Ｖ
S ，Ｖm ，Ｖt をデジタル信号に変換して中央処理装置
１４に送る。中央処理装置１４では、まず標準抵抗１１
の抵抗値Ｒs と導通時の標準電圧値ＶS にもとづいて、
前記（Ｉ）式により直流回路１０に流れる電流値ＩS を
算出する。続いて、この電流値ＩS と、試料Ｓに関する
直流回路１０導通時及び非導通時の電圧値Ｖm ，Ｖt に
もとづき、前記（ＩＩ）式により試料Ｓの電気抵抗を算
出する。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度
における試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動
作を種々の設定温度ごとに繰り返し行なえばよい。
S ，Ｖm ，Ｖt をデジタル信号に変換して中央処理装置
１４に送る。中央処理装置１４では、まず標準抵抗１１
の抵抗値Ｒs と導通時の標準電圧値ＶS にもとづいて、
前記（Ｉ）式により直流回路１０に流れる電流値ＩS を
算出する。続いて、この電流値ＩS と、試料Ｓに関する
直流回路１０導通時及び非導通時の電圧値Ｖm ，Ｖt に
もとづき、前記（ＩＩ）式により試料Ｓの電気抵抗を算
出する。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度
における試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動
作を種々の設定温度ごとに繰り返し行なえばよい。
【００１６】上述のように中央処理装置１４によって算
出した試料Ｓの電気抵抗に関するデータは、デジタル信
号によって他の試料測定関連機器にインターフェイスを
介することなく直接に出力できる。
出した試料Ｓの電気抵抗に関するデータは、デジタル信
号によって他の試料測定関連機器にインターフェイスを
介することなく直接に出力できる。
【００１７】図３は本発明の第二実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図、図４は同装置の動作を説明
するためのフローチャート、図５は同じくタイミングチ
ャートである。第二実施例の電気抵抗測定装置は、複数
の試料Ｓ1 〜Ｓn に対し、電気抵抗を一括して測定する
もので、第一実施例に示した装置（図１参照）における
直流回路１０に、各試料Ｓ1 〜Ｓn を直列に挿入した構
成となっている。各試料Ｓ1 〜Ｓn には、それぞれ二点
間に生じる電圧を増幅するための試料電圧増幅器１５1
〜１５n が接続してある。また、切替器１７には、各増
幅器１５1 〜１５n の出力に対応して入力端子１〜ｎが
設けてある。このように、本発明の電気抵抗測定装置に
よれば、電圧増幅器及び切替器１７の入力接点を増設す
るだけで安価に複数試料の電気抵抗測定が可能となる。
測定装置を示すブロック図、図４は同装置の動作を説明
するためのフローチャート、図５は同じくタイミングチ
ャートである。第二実施例の電気抵抗測定装置は、複数
の試料Ｓ1 〜Ｓn に対し、電気抵抗を一括して測定する
もので、第一実施例に示した装置（図１参照）における
直流回路１０に、各試料Ｓ1 〜Ｓn を直列に挿入した構
成となっている。各試料Ｓ1 〜Ｓn には、それぞれ二点
間に生じる電圧を増幅するための試料電圧増幅器１５1
〜１５n が接続してある。また、切替器１７には、各増
幅器１５1 〜１５n の出力に対応して入力端子１〜ｎが
設けてある。このように、本発明の電気抵抗測定装置に
よれば、電圧増幅器及び切替器１７の入力接点を増設す
るだけで安価に複数試料の電気抵抗測定が可能となる。
【００１８】次に、上述した電気抵抗測定装置の動作を
説明する（図４及び図５参照）。中央処理装置１４の制
御によって、まず電流発生器１２をオン状態とし（図
４、ST1）、標準抵抗１１及び各試料Ｓ1 〜Ｓn に直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗１１及び各試
料Ｓ1 〜Ｓn の電圧値ＶS 及びＶm1〜Ｖmnを各増幅器１
６，１５1 〜１５n で増幅し、切替器１７の入力端子
ｓ，１〜ｎに送る。そして、導通状態の間（図５の
ＴON）に、中央処理装置１４の制御によって切替器１７
を切替え操作し（図４、ST2,ST4 ）、各入力端子ｓ及び
１〜ｎに入力された電圧出力ＶS ，Ｖm1〜ＶmnをＡ／Ｄ
コンバータ１８へと順次出力する（図４、ST3,ST5 ）。
説明する（図４及び図５参照）。中央処理装置１４の制
御によって、まず電流発生器１２をオン状態とし（図
４、ST1）、標準抵抗１１及び各試料Ｓ1 〜Ｓn に直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗１１及び各試
料Ｓ1 〜Ｓn の電圧値ＶS 及びＶm1〜Ｖmnを各増幅器１
６，１５1 〜１５n で増幅し、切替器１７の入力端子
ｓ，１〜ｎに送る。そして、導通状態の間（図５の
ＴON）に、中央処理装置１４の制御によって切替器１７
を切替え操作し（図４、ST2,ST4 ）、各入力端子ｓ及び
１〜ｎに入力された電圧出力ＶS ，Ｖm1〜ＶmnをＡ／Ｄ
コンバータ１８へと順次出力する（図４、ST3,ST5 ）。
【００１９】次いで、電流発生器１２をオフ状態とする
（図４、ST6 ）。このとき、試料Ｓ1 〜Ｓn の各二点間
には熱起電力による電圧Ｖt1〜Ｖtnがそれぞれが生じて
おり、これらの電圧Ｖt1〜Ｖtnを各試料電圧増幅器１５
1 〜１５n によって増幅し、切替器１７の各入力端子１
〜ｎに送る。そして、非導通状態の間（図５のＴOFF）
に、中央処理装置１４の制御によって切替器１７を切替
え操作し（図４、ST7）、入力端子１〜ｎに入力された
電圧出力Ｖt1〜ＶtnをＡ／Ｄコンバータ１８へと出力す
る（図４、ST8 ）。
（図４、ST6 ）。このとき、試料Ｓ1 〜Ｓn の各二点間
には熱起電力による電圧Ｖt1〜Ｖtnがそれぞれが生じて
おり、これらの電圧Ｖt1〜Ｖtnを各試料電圧増幅器１５
1 〜１５n によって増幅し、切替器１７の各入力端子１
〜ｎに送る。そして、非導通状態の間（図５のＴOFF）
に、中央処理装置１４の制御によって切替器１７を切替
え操作し（図４、ST7）、入力端子１〜ｎに入力された
電圧出力Ｖt1〜ＶtnをＡ／Ｄコンバータ１８へと出力す
る（図４、ST8 ）。
【００２０】Ａ／Ｄコンバータ１８は、各電圧出力Ｖ
S ，Ｖm1〜Ｖmn，Ｖt1〜Ｖtnをデジタル信号に変換して
中央処理装置１４に送る。中央処理装置１４では、まず
標準抵抗１１の抵抗値ＲS と導通時の標準電圧ＶS にも
とづいて、前記（Ｉ）式により直流回路１０に流れる電
流値ＩS を算出する（図４、ST9 ）。続いて、この電流
値ＩS と、試料に関する直流回路１０導通時及び非導通
時の各電圧Ｖm1〜Ｖmn，Ｖt1〜Ｖtnにもとづき、前記
（ＩＩ）式により各試料Ｓ1 〜Ｓn の電気抵抗を算出す
る。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度にお
ける試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動作を
種々の設定温度ごと繰り返し行なえばよい。
S ，Ｖm1〜Ｖmn，Ｖt1〜Ｖtnをデジタル信号に変換して
中央処理装置１４に送る。中央処理装置１４では、まず
標準抵抗１１の抵抗値ＲS と導通時の標準電圧ＶS にも
とづいて、前記（Ｉ）式により直流回路１０に流れる電
流値ＩS を算出する（図４、ST9 ）。続いて、この電流
値ＩS と、試料に関する直流回路１０導通時及び非導通
時の各電圧Ｖm1〜Ｖmn，Ｖt1〜Ｖtnにもとづき、前記
（ＩＩ）式により各試料Ｓ1 〜Ｓn の電気抵抗を算出す
る。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度にお
ける試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動作を
種々の設定温度ごと繰り返し行なえばよい。
【００２１】図６は本発明の第三実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図である。本実施例では、前記
第二実施例で示した電流発生器、直流回路１０、標準抵
抗１１、各試料電圧増幅器１５1〜１５n 、及び標準電
圧増幅器１６からなる回路系を複数備えており、切替器
１７に各試料電増幅器１５1 〜１５n ，１５1 〜１５n
及び各標準電圧増幅器１６，１６からの入力接点を設け
た構成となっている。ここで、各回路系における直流回
路１０に挿入する試料は、電気抵抗を求めようとする各
種試料を任意に選択できることは勿論である。
測定装置を示すブロック図である。本実施例では、前記
第二実施例で示した電流発生器、直流回路１０、標準抵
抗１１、各試料電圧増幅器１５1〜１５n 、及び標準電
圧増幅器１６からなる回路系を複数備えており、切替器
１７に各試料電増幅器１５1 〜１５n ，１５1 〜１５n
及び各標準電圧増幅器１６，１６からの入力接点を設け
た構成となっている。ここで、各回路系における直流回
路１０に挿入する試料は、電気抵抗を求めようとする各
種試料を任意に選択できることは勿論である。
【００２２】本実施例装置においても、中央処理装置１
４の制御によって各電流発生回路１２、１２をオン・オ
フするとともに、切替器１７を切替え操作することによ
り、電流導通時の標準電圧ＶS ，各試料電圧Ｖm と、電
流非導通時の各試料電圧Ｖtとを順次個別に中央処理装
置１４へと入力し、これらの入力信号にもとづき標準電
流ＩS を求めた後、各試料の電気抵抗Ｒを算出してい
く。
４の制御によって各電流発生回路１２、１２をオン・オ
フするとともに、切替器１７を切替え操作することによ
り、電流導通時の標準電圧ＶS ，各試料電圧Ｖm と、電
流非導通時の各試料電圧Ｖtとを順次個別に中央処理装
置１４へと入力し、これらの入力信号にもとづき標準電
流ＩS を求めた後、各試料の電気抵抗Ｒを算出してい
く。
【００２３】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、要旨を変更しない範囲で種々の変形又
は応用が可能である。また、本発明の電気抵抗測定装置
は、電気的熱分析装置の試料はもとより、リレー接点の
接触抵抗等、金属の接触抵抗測定などにも適用すること
ができる。
るものではなく、要旨を変更しない範囲で種々の変形又
は応用が可能である。また、本発明の電気抵抗測定装置
は、電気的熱分析装置の試料はもとより、リレー接点の
接触抵抗等、金属の接触抵抗測定などにも適用すること
ができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、標
準抵抗１１により測定電流値を算出しているので、同電
流値が不安定であっても該算出データにもとづいて高精
度に試料の電気抵抗を算出することができる。また、試
料電圧増幅器１５と切替器１７の入力接点を増設するだ
けで、簡易かつ安価に複数試料の電気抵抗を一括して測
定できるという効果である。
準抵抗１１により測定電流値を算出しているので、同電
流値が不安定であっても該算出データにもとづいて高精
度に試料の電気抵抗を算出することができる。また、試
料電圧増幅器１５と切替器１７の入力接点を増設するだ
けで、簡易かつ安価に複数試料の電気抵抗を一括して測
定できるという効果である。
【図１】 本発明の第一実施例に係る電気抵抗測定装置
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図２】 同装置の動作を説明するためのタイミングチ
ャートである。
ャートである。
【図３】 本発明の第二実施例に係る電気抵抗測定装置
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図４】 同装置の動作を説明するためのフローチャー
トである。
トである。
【図５】 同じくタイミングチャートである。
【図６】 本発明の第三実施例に係る電気抵抗測定装置
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図７】 従来例を示すブロック図である。
【図８】 従来例の動作を説明するためのタイミングチ
ャートである。
ャートである。
１０ 直流回路 １１ 標準抵抗 １２ 電流発生器 １３ 電気炉 １４ 中央処理装置 １５ 試料電圧増幅器 １６ 標準電圧増幅器 １７ 切替器 １８ アナログ・デジタル変換器
Claims (3)
- 【請求項１】 直流電流を発生する電流発生器と、 この電流発生器からの直流電流を試料に流す直流回路
と、 前記直流回路に対して直列に接続した標準抵抗と、 試料の二点間に生じた電圧を増幅する試料電圧増幅器
と、 前記標準抵抗の両端に生じた電圧を増幅する標準電圧増
幅器と、 前記試料電圧増幅器からの入力と前記標準電圧増幅器か
らの入力とを切替えて出力する切替器と、 前記切替器からの出力をデジタル変換して出力するアナ
ログ・デジタル変換器と、 前記電流発生器を断続的にオン・オフするとともに、同
電流発生器がオン状態の間及びオフ状態の間にそれぞれ
前記切替器の各入力接点に対する所定の切替え操作を行
ない、かつ前記アナログ・デジタル変換器からの入力に
もとづき試料の電気抵抗を算出する中央処理装置と、 を備えたことを特徴とする電気抵抗測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の電気抵抗測定装置におい
て、 前記直流回路に複数の試料を直列に接続するとともに、
各試料それぞれにおける二点間に生じた電圧を増幅する
試料電圧増幅器を各々設け、かつ前記切替器にこれら試
料電圧増幅器からの入力接点を備え、 前記中央処理装置は、前記アナログ・デジタル変換器か
らの入力信号にもとづき各試料ごとの電気抵抗を算出す
ることを特徴とした電気抵抗測定装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の電気抵抗測定装置
において、 前記電流発生器、直流回路、標準抵抗、試料電圧増幅
器、及び標準電圧増幅器からなる回路系を複数備え、 前記切替器に、前記各試料電圧増幅器及び各標準電圧増
幅器からの入力接点を設け、 前記中央処理装置は、前記アナログ・デジタル変換器か
らの入力信号にもとづ０き各回路系における各試料ごと
の電気抵抗を算出することを特徴とした電気抵抗測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19905892A JPH0618575A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 電気抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19905892A JPH0618575A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 電気抵抗測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618575A true JPH0618575A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=16401407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19905892A Pending JPH0618575A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 電気抵抗測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0618575A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102087194A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-06-08 | 清华大学 | 基于高频交流电的混凝土抗渗透性测量*** |
| CN102288831A (zh) * | 2011-05-16 | 2011-12-21 | 钟小梅 | 一种低成本高精度的电阻测量***及其测量方法 |
| JP2012163496A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | East Japan Railway Co | レールボンド抵抗測定装置及びレールボンド抵抗測定方法 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP19905892A patent/JPH0618575A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102087194A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-06-08 | 清华大学 | 基于高频交流电的混凝土抗渗透性测量*** |
| JP2012163496A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | East Japan Railway Co | レールボンド抵抗測定装置及びレールボンド抵抗測定方法 |
| CN102288831A (zh) * | 2011-05-16 | 2011-12-21 | 钟小梅 | 一种低成本高精度的电阻测量***及其测量方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2009003395A1 (fr) | Dispositif et procédé de mesure de courant et de température en ligne à grande plage et grande précision | |
| EP3070446A1 (en) | A thermo wire testing circuit | |
| KR100724095B1 (ko) | 정밀 전류, 전압 및 전력 측정장치 | |
| JP2810541B2 (ja) | ラムダセンサの内部抵抗測定回路 | |
| JPH02136754A (ja) | 微小電気信号を測定する方法と装置 | |
| JPH0618575A (ja) | 電気抵抗測定装置 | |
| JP4222678B2 (ja) | 電流測定装置 | |
| JP3878779B2 (ja) | 抵抗測定方法およびその装置 | |
| JP3254669B2 (ja) | 熱電温度計 | |
| RU2722084C1 (ru) | Способ дистанционного преобразования сопротивления резисторного датчика в напряжение постоянного тока и устройство для его осуществления | |
| JP3310479B2 (ja) | 穀物の水分測定装置 | |
| JP2595858B2 (ja) | 温度測定回路 | |
| CN219085028U (zh) | 电阻测量装置及源表 | |
| CN113552863B (zh) | 一种变压器绕组温控器的附加温升检定装置及方法 | |
| JP2553945B2 (ja) | 導電率および比抵抗測定装置 | |
| CN114485764B (zh) | 一种微弱信号测量的自校准和抗漂移装置 | |
| JPH0641174Y2 (ja) | 電圧−電流測定装置 | |
| JPS57194325A (en) | Multipoint temperature measuring device | |
| RU2025675C1 (ru) | Устройство для измерения температуры и разности температур | |
| CN116953362A (zh) | 电阻测量***和测量方法 | |
| JP3048377B2 (ja) | 穀物の水分測定装置 | |
| JP3461258B2 (ja) | 導電率またはｐＨを測定する装置 | |
| JPH0658820A (ja) | 熱電対測定装置 | |
| JPH0323553Y2 (ja) | ||
| JPH0631390Y2 (ja) | デイジタル温度計 |