JPH0618575A - 電気抵抗測定装置 - Google Patents
電気抵抗測定装置Info
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- JPH0618575A JPH0618575A JP19905892A JP19905892A JPH0618575A JP H0618575 A JPH0618575 A JP H0618575A JP 19905892 A JP19905892 A JP 19905892A JP 19905892 A JP19905892 A JP 19905892A JP H0618575 A JPH0618575 A JP H0618575A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】加熱下に置かれた試料の電気抵抗を、測定電流
の安定度にかかわらず高精度に測定することができ、し
かも複数の試料を簡単かつ安価な設備で測定できるよう
にする。 【構成】試料に直流電流を流す直流回路を備えると共
に、この直流回路に標準抵抗を直列に挿入する。そし
て、試料及び標準抵抗のそれぞれに生じる電流値を切替
器により順次切り替えて出力し、アナログ・デジタル変
換器でデジタル信号に変換した後、中央処理装置に入力
する。中央処理装置では、標準抵抗に関する既知の抵抗
値と入力電圧信号とにより直流回路を流れる電流値を算
出し、かつこの電流値と試料の電圧値とにもづき試料の
電気抵抗を算出する。
の安定度にかかわらず高精度に測定することができ、し
かも複数の試料を簡単かつ安価な設備で測定できるよう
にする。 【構成】試料に直流電流を流す直流回路を備えると共
に、この直流回路に標準抵抗を直列に挿入する。そし
て、試料及び標準抵抗のそれぞれに生じる電流値を切替
器により順次切り替えて出力し、アナログ・デジタル変
換器でデジタル信号に変換した後、中央処理装置に入力
する。中央処理装置では、標準抵抗に関する既知の抵抗
値と入力電圧信号とにより直流回路を流れる電流値を算
出し、かつこの電流値と試料の電圧値とにもづき試料の
電気抵抗を算出する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱下におかれた試料
の電気抵抗を測定する装置に関し、詳しくは熱起電力等
の誤差をとり除き高精度に試料の電気抵抗を測定するこ
とができる電気抵抗測定装置に関する。
の電気抵抗を測定する装置に関し、詳しくは熱起電力等
の誤差をとり除き高精度に試料の電気抵抗を測定するこ
とができる電気抵抗測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電気抵抗を高精度に測定する場合、試料
温度に応じて試料と電圧検出回路との接触点に熱起電力
等が生じるため、これによる誤差をとり除く必要があ
る。図7は従来のこの種の電気抵抗測定装置を示すブロ
ック図、図8は同装置の動作を説明するタイミングチャ
ートである。試料Sは電気炉50中で所要の温度に加熱
されている。この試料Sに電流発生器51から断続的な
直流電流(図8、i)を流し、試料Sの二点間に生じる
電圧を増幅器52を介して出力する。この電圧出力を更
に増幅器52で増幅した後、第一サンプルホールド回路
54に入力する。第一サンプルホールド回路54は、試
料Sへの直流電流が遮断されている間の電圧をサンプリ
ングする(図8、en)。このサンプリングした電圧
は、すなわち温度変化等に起因する熱起電力によるもの
である。したがって、この電圧値を積分回路55を介し
て負帰還させることにより、増幅器53の出力から熱起
電力による誤差分をとり除くことができる。そこで、試
料Sに直流電流が流れている間の電圧増幅出力を第二サ
ンプルホールド回路56によりサンプリングし(図8、
e0 )、濾波回路57で平滑化すると、試料Sの二点間
における抵抗に比例した電圧出力が出力端子58に得ら
れる。この出力を指示計器で読取ることにより、試料S
の電気抵抗を算出することができる。なお、59はタイ
ミング信号発生回路であり、各サンプルホールド回路5
4,56及び電流発生器51の動作タイミング信号を出
力する。
温度に応じて試料と電圧検出回路との接触点に熱起電力
等が生じるため、これによる誤差をとり除く必要があ
る。図7は従来のこの種の電気抵抗測定装置を示すブロ
ック図、図8は同装置の動作を説明するタイミングチャ
ートである。試料Sは電気炉50中で所要の温度に加熱
されている。この試料Sに電流発生器51から断続的な
直流電流(図8、i)を流し、試料Sの二点間に生じる
電圧を増幅器52を介して出力する。この電圧出力を更
に増幅器52で増幅した後、第一サンプルホールド回路
54に入力する。第一サンプルホールド回路54は、試
料Sへの直流電流が遮断されている間の電圧をサンプリ
ングする(図8、en)。このサンプリングした電圧
は、すなわち温度変化等に起因する熱起電力によるもの
である。したがって、この電圧値を積分回路55を介し
て負帰還させることにより、増幅器53の出力から熱起
電力による誤差分をとり除くことができる。そこで、試
料Sに直流電流が流れている間の電圧増幅出力を第二サ
ンプルホールド回路56によりサンプリングし(図8、
e0 )、濾波回路57で平滑化すると、試料Sの二点間
における抵抗に比例した電圧出力が出力端子58に得ら
れる。この出力を指示計器で読取ることにより、試料S
の電気抵抗を算出することができる。なお、59はタイ
ミング信号発生回路であり、各サンプルホールド回路5
4,56及び電流発生器51の動作タイミング信号を出
力する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電気抵
抗測定装置によれば、出力端子58に得られた電圧値と
試料Sに流した直流電流値から、オームの法則によって
試料Sの抵抗値が算出できる。ここで、試料Sに流す直
流電流は、抵抗値算出のための基準となるものであり、
測定を実施している間高い安定性を保たなければならな
い。しかしながら、そのような高安定の電流発生器は高
価格であり、また電源オン・オフ時の過渡現象等により
電流値を高度に安定させることは難しい。したがって、
上記従来の電気抵抗測定装置では、信頼性の高い測定結
果を得ることが困難であるという課題があった。
抗測定装置によれば、出力端子58に得られた電圧値と
試料Sに流した直流電流値から、オームの法則によって
試料Sの抵抗値が算出できる。ここで、試料Sに流す直
流電流は、抵抗値算出のための基準となるものであり、
測定を実施している間高い安定性を保たなければならな
い。しかしながら、そのような高安定の電流発生器は高
価格であり、また電源オン・オフ時の過渡現象等により
電流値を高度に安定させることは難しい。したがって、
上記従来の電気抵抗測定装置では、信頼性の高い測定結
果を得ることが困難であるという課題があった。
【0004】また、上記従来の電気抵抗測定装置では、
測定対象となる試料一つに対して図7に示した回路系が
必要であり、複数の試料を一括して測定したいような場
合、同図の回路系を試料ごとに備える必要があり、設備
コストが高価格となる課題を有していた。
測定対象となる試料一つに対して図7に示した回路系が
必要であり、複数の試料を一括して測定したいような場
合、同図の回路系を試料ごとに備える必要があり、設備
コストが高価格となる課題を有していた。
【0005】本発明は上述した従来の課題を解決するた
めになされたもので、測定電流の安定度にかかわらず高
精度な測定結果を得ることができ、しかも複数の試料を
簡単かつ安価な設備で測定することのできる電気抵抗測
定装置の提供を目的とする。
めになされたもので、測定電流の安定度にかかわらず高
精度な測定結果を得ることができ、しかも複数の試料を
簡単かつ安価な設備で測定することのできる電気抵抗測
定装置の提供を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電気抵抗測定装置は、直流電流を発生する
電流発生器と、この電流発生器からの直流電流を試料に
流す直流回路と、前記直流回路に対して直列に接続した
標準抵抗と、試料の二点間に生じた電圧を増幅する試料
電圧増幅器と、前記標準抵抗の両端に生じた電圧を増幅
する標準電圧増幅器と、前記試料電圧増幅器からの入力
と前記標準電圧増幅器からの入力とを切替えて出力する
切替器と、前記切替器からの出力をデジタル変換して出
力するアナログ・デジタル変換器と、前記電流発生器を
断続的にオン・オフするとともに、同電流発生器がオン
状態の間及びオフ状態の間にそれぞれ前記切替器の各入
力接点に対する所定の切替え操作を行ない、かつ前記ア
ナログ・デジタル変換器からの入力にもとづき試料の電
気抵抗を算出する中央処理装置と、を備えた構成として
ある。また、複数の試料を測定するために請求項2の発
明では、前記直流回路に複数の試料を直列に接続すると
ともに、各試料それぞれにおける二点間に生じた電圧を
増幅する試料電圧増幅器を各々設け、かつ前記切替器に
これら試料電圧増幅器からの入力接点を備え、前記中央
処理装置が、前記アナログ・デジタル変換器からの入力
信号にもとづき各試料ごとの電気抵抗を算出する構成と
してある。さらに、請求項3の発明では、前記電流発生
回路、直流回路、標準抵抗、試料電圧増幅器、及び標準
電圧増幅器からなる回路系を複数備え、前記切替器に、
前記各試料電圧増幅器及び各標準電圧増幅器からの入力
接点を設け、前記中央処理装置が、前記アナログ・デジ
タル変換器からの入力信号にもとづき各回路系における
各試料ごとの電気抵抗を算出する構成としてある。
に、本発明の電気抵抗測定装置は、直流電流を発生する
電流発生器と、この電流発生器からの直流電流を試料に
流す直流回路と、前記直流回路に対して直列に接続した
標準抵抗と、試料の二点間に生じた電圧を増幅する試料
電圧増幅器と、前記標準抵抗の両端に生じた電圧を増幅
する標準電圧増幅器と、前記試料電圧増幅器からの入力
と前記標準電圧増幅器からの入力とを切替えて出力する
切替器と、前記切替器からの出力をデジタル変換して出
力するアナログ・デジタル変換器と、前記電流発生器を
断続的にオン・オフするとともに、同電流発生器がオン
状態の間及びオフ状態の間にそれぞれ前記切替器の各入
力接点に対する所定の切替え操作を行ない、かつ前記ア
ナログ・デジタル変換器からの入力にもとづき試料の電
気抵抗を算出する中央処理装置と、を備えた構成として
ある。また、複数の試料を測定するために請求項2の発
明では、前記直流回路に複数の試料を直列に接続すると
ともに、各試料それぞれにおける二点間に生じた電圧を
増幅する試料電圧増幅器を各々設け、かつ前記切替器に
これら試料電圧増幅器からの入力接点を備え、前記中央
処理装置が、前記アナログ・デジタル変換器からの入力
信号にもとづき各試料ごとの電気抵抗を算出する構成と
してある。さらに、請求項3の発明では、前記電流発生
回路、直流回路、標準抵抗、試料電圧増幅器、及び標準
電圧増幅器からなる回路系を複数備え、前記切替器に、
前記各試料電圧増幅器及び各標準電圧増幅器からの入力
接点を設け、前記中央処理装置が、前記アナログ・デジ
タル変換器からの入力信号にもとづき各回路系における
各試料ごとの電気抵抗を算出する構成としてある。
【0007】
【作用】直流回路に挿入された試料及び標準抵抗に対し
て、電流発生器から直流電流を断続的に流すと、試料の
二点間及び標準抵抗の両端にそれぞれ抵抗値に比例した
電圧が生ずる。これらの電圧を各々試料電圧増幅器及び
標準電圧増幅器により増幅してとり出す。そして、直流
回路導通時の各電圧増幅出力を切替器の操作によって個
別的にアナログ・デジタル変換器に出力し、中央処理装
置に入力する。次いで、直流回路非導通時の試料電圧増
幅出力を切替器の操作によってアナログ・デジタル変換
器へと出力し、中央処理装置に入力する。
て、電流発生器から直流電流を断続的に流すと、試料の
二点間及び標準抵抗の両端にそれぞれ抵抗値に比例した
電圧が生ずる。これらの電圧を各々試料電圧増幅器及び
標準電圧増幅器により増幅してとり出す。そして、直流
回路導通時の各電圧増幅出力を切替器の操作によって個
別的にアナログ・デジタル変換器に出力し、中央処理装
置に入力する。次いで、直流回路非導通時の試料電圧増
幅出力を切替器の操作によってアナログ・デジタル変換
器へと出力し、中央処理装置に入力する。
【0008】中央処理装置では、上記入力された標準抵
抗に関する直流回路導通時の電圧信号Vs にもとづき直
流回路に流れる電流値IS を算出する。ここで、標準抵
抗の抵抗値をRS とすると、IS は次式で求められる。 IS =VS/RS ・・・(I) 次に、上記算出した電流値IS と、試料に関する直流回
路導通時及び非導通時の電圧信号にもとづき試料の電気
抵抗を算出する。すなわち、直流回路導通時の試料電圧
信号Vm には、試料の電気抵抗Rによる電圧値V0 に加
え熱起電力による電圧値Vt が含まれている(すなわ
ち、Vm =V0 +Vt )。一方、電流回路非導通時に
は、試料の電気抵抗による電圧値V0 は0となるため、
この時の入力電圧信号は熱起電力による電圧値Vt のみ
となる。したがって、中央処理装置では、次式によって
試料の電気抵抗Rを算出できることになる。 R=(Vm −Vt) /IS ={(V0 +Vt )−Vt}/
IS ・・・(II)
抗に関する直流回路導通時の電圧信号Vs にもとづき直
流回路に流れる電流値IS を算出する。ここで、標準抵
抗の抵抗値をRS とすると、IS は次式で求められる。 IS =VS/RS ・・・(I) 次に、上記算出した電流値IS と、試料に関する直流回
路導通時及び非導通時の電圧信号にもとづき試料の電気
抵抗を算出する。すなわち、直流回路導通時の試料電圧
信号Vm には、試料の電気抵抗Rによる電圧値V0 に加
え熱起電力による電圧値Vt が含まれている(すなわ
ち、Vm =V0 +Vt )。一方、電流回路非導通時に
は、試料の電気抵抗による電圧値V0 は0となるため、
この時の入力電圧信号は熱起電力による電圧値Vt のみ
となる。したがって、中央処理装置では、次式によって
試料の電気抵抗Rを算出できることになる。 R=(Vm −Vt) /IS ={(V0 +Vt )−Vt}/
IS ・・・(II)
【0009】複数の試料を測定する場合には、直流回路
に挿入した各試料の電圧出力を切替器によって各々個別
的に中央処理装置へと入力し、それぞれの試料に関して
上述した計算を行なえば各試料の電気抵抗を求めること
ができる。
に挿入した各試料の電圧出力を切替器によって各々個別
的に中央処理装置へと入力し、それぞれの試料に関して
上述した計算を行なえば各試料の電気抵抗を求めること
ができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本発明の第一実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図である。本実施例の電気抵抗
測定装置は、直流回路10に試料S及び標準抵抗11を
直列に接続し、電流発生器12によって直流電流を流す
回路系を一つ備えている。試料Sは電気炉13内で所定
の温度に加熱し、本実施例装置によって当該加熱下にお
ける電気抵抗が測定される。標準抵抗11は一定の抵抗
値RS を有している。電流発生器12は、直流回路10
に対して一定の直流電流を断続的に流す。この電流発生
器12のオン・オフ制御は、後述するように中央処理装
置14によって行なう。
て説明する。図1は本発明の第一実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図である。本実施例の電気抵抗
測定装置は、直流回路10に試料S及び標準抵抗11を
直列に接続し、電流発生器12によって直流電流を流す
回路系を一つ備えている。試料Sは電気炉13内で所定
の温度に加熱し、本実施例装置によって当該加熱下にお
ける電気抵抗が測定される。標準抵抗11は一定の抵抗
値RS を有している。電流発生器12は、直流回路10
に対して一定の直流電流を断続的に流す。この電流発生
器12のオン・オフ制御は、後述するように中央処理装
置14によって行なう。
【0011】試料Sの二点間には、電圧検出リード線を
介して試料電圧増幅器15が接続してある。また、標準
抵抗11の両端間にも標準電圧増幅器16が接続してあ
る。これら電圧増幅器15,16の出力側は、それぞれ
切替器17の入力端子s,1に接続してある。切替器1
7の出力端子aは、アナログ・デジタル変換器(以下、
A/Dコンバータという)18を介して中央処理装置1
4に接続されている。
介して試料電圧増幅器15が接続してある。また、標準
抵抗11の両端間にも標準電圧増幅器16が接続してあ
る。これら電圧増幅器15,16の出力側は、それぞれ
切替器17の入力端子s,1に接続してある。切替器1
7の出力端子aは、アナログ・デジタル変換器(以下、
A/Dコンバータという)18を介して中央処理装置1
4に接続されている。
【0012】中央処理装置14は、電流発生器12を一
定時間単位でオン・オフ制御するとともに、切替器17
の切替え動作を制御する。この中央処理装置14は、専
用のマイクロコンピュータで構成してもよく、また汎用
のパーソナルコンピュータを利用してもよい。
定時間単位でオン・オフ制御するとともに、切替器17
の切替え動作を制御する。この中央処理装置14は、専
用のマイクロコンピュータで構成してもよく、また汎用
のパーソナルコンピュータを利用してもよい。
【0013】次に、上述した第一実施例に係る電気抵抗
測定装置の動作を図1及び図2にもとづいて説明する。
図2は同装置の動作を説明するタイミングチャートであ
る。中央処理装置14の制御によって、まず電流発生器
12をオン状態とし、標準抵抗11及び試料Sに直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗11及び試料
Sの電圧値VS 及びVm を各増幅器15,16で増幅
し、切替器17の入力端子s,1に送る。そして、導通
状態の間(図2のTON)に、中央処理装置14の制御に
よって切替器17を切替え操作し、各入力端子s及び1
に入力された電圧出力VS,Vm をA/Dコンバータ18
へと順次出力する。
測定装置の動作を図1及び図2にもとづいて説明する。
図2は同装置の動作を説明するタイミングチャートであ
る。中央処理装置14の制御によって、まず電流発生器
12をオン状態とし、標準抵抗11及び試料Sに直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗11及び試料
Sの電圧値VS 及びVm を各増幅器15,16で増幅
し、切替器17の入力端子s,1に送る。そして、導通
状態の間(図2のTON)に、中央処理装置14の制御に
よって切替器17を切替え操作し、各入力端子s及び1
に入力された電圧出力VS,Vm をA/Dコンバータ18
へと順次出力する。
【0014】次いで、電流発生器12をオフ状態とす
る。このとき、試料Sの二点間には熱起電力による電圧
Vt が生じており、この電圧Vt を試料電圧増幅器15
によって増幅し、切替器17の入力端子1に送る。そし
て、非導通状態の間(図2のTOFF )に、中央処理装置
14の制御によって切替器17を切替え操作し、入力端
子1に入力された電圧出力Vt をA/Dコンバータ18
へと出力する。
る。このとき、試料Sの二点間には熱起電力による電圧
Vt が生じており、この電圧Vt を試料電圧増幅器15
によって増幅し、切替器17の入力端子1に送る。そし
て、非導通状態の間(図2のTOFF )に、中央処理装置
14の制御によって切替器17を切替え操作し、入力端
子1に入力された電圧出力Vt をA/Dコンバータ18
へと出力する。
【0015】A/Dコンバータ18は、各電圧出力V
S ,Vm ,Vt をデジタル信号に変換して中央処理装置
14に送る。中央処理装置14では、まず標準抵抗11
の抵抗値Rs と導通時の標準電圧値VS にもとづいて、
前記(I)式により直流回路10に流れる電流値IS を
算出する。続いて、この電流値IS と、試料Sに関する
直流回路10導通時及び非導通時の電圧値Vm ,Vt に
もとづき、前記(II)式により試料Sの電気抵抗を算
出する。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度
における試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動
作を種々の設定温度ごとに繰り返し行なえばよい。
S ,Vm ,Vt をデジタル信号に変換して中央処理装置
14に送る。中央処理装置14では、まず標準抵抗11
の抵抗値Rs と導通時の標準電圧値VS にもとづいて、
前記(I)式により直流回路10に流れる電流値IS を
算出する。続いて、この電流値IS と、試料Sに関する
直流回路10導通時及び非導通時の電圧値Vm ,Vt に
もとづき、前記(II)式により試料Sの電気抵抗を算
出する。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度
における試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動
作を種々の設定温度ごとに繰り返し行なえばよい。
【0016】上述のように中央処理装置14によって算
出した試料Sの電気抵抗に関するデータは、デジタル信
号によって他の試料測定関連機器にインターフェイスを
介することなく直接に出力できる。
出した試料Sの電気抵抗に関するデータは、デジタル信
号によって他の試料測定関連機器にインターフェイスを
介することなく直接に出力できる。
【0017】図3は本発明の第二実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図、図4は同装置の動作を説明
するためのフローチャート、図5は同じくタイミングチ
ャートである。第二実施例の電気抵抗測定装置は、複数
の試料S1 〜Sn に対し、電気抵抗を一括して測定する
もので、第一実施例に示した装置(図1参照)における
直流回路10に、各試料S1 〜Sn を直列に挿入した構
成となっている。各試料S1 〜Sn には、それぞれ二点
間に生じる電圧を増幅するための試料電圧増幅器151
〜15n が接続してある。また、切替器17には、各増
幅器151 〜15n の出力に対応して入力端子1〜nが
設けてある。このように、本発明の電気抵抗測定装置に
よれば、電圧増幅器及び切替器17の入力接点を増設す
るだけで安価に複数試料の電気抵抗測定が可能となる。
測定装置を示すブロック図、図4は同装置の動作を説明
するためのフローチャート、図5は同じくタイミングチ
ャートである。第二実施例の電気抵抗測定装置は、複数
の試料S1 〜Sn に対し、電気抵抗を一括して測定する
もので、第一実施例に示した装置(図1参照)における
直流回路10に、各試料S1 〜Sn を直列に挿入した構
成となっている。各試料S1 〜Sn には、それぞれ二点
間に生じる電圧を増幅するための試料電圧増幅器151
〜15n が接続してある。また、切替器17には、各増
幅器151 〜15n の出力に対応して入力端子1〜nが
設けてある。このように、本発明の電気抵抗測定装置に
よれば、電圧増幅器及び切替器17の入力接点を増設す
るだけで安価に複数試料の電気抵抗測定が可能となる。
【0018】次に、上述した電気抵抗測定装置の動作を
説明する(図4及び図5参照)。中央処理装置14の制
御によって、まず電流発生器12をオン状態とし(図
4、ST1)、標準抵抗11及び各試料S1 〜Sn に直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗11及び各試
料S1 〜Sn の電圧値VS 及びVm1〜Vmnを各増幅器1
6,151 〜15n で増幅し、切替器17の入力端子
s,1〜nに送る。そして、導通状態の間(図5の
TON)に、中央処理装置14の制御によって切替器17
を切替え操作し(図4、ST2,ST4 )、各入力端子s及び
1〜nに入力された電圧出力VS ,Vm1〜VmnをA/D
コンバータ18へと順次出力する(図4、ST3,ST5 )。
説明する(図4及び図5参照)。中央処理装置14の制
御によって、まず電流発生器12をオン状態とし(図
4、ST1)、標準抵抗11及び各試料S1 〜Sn に直流電
流を流す。この導通状態における標準抵抗11及び各試
料S1 〜Sn の電圧値VS 及びVm1〜Vmnを各増幅器1
6,151 〜15n で増幅し、切替器17の入力端子
s,1〜nに送る。そして、導通状態の間(図5の
TON)に、中央処理装置14の制御によって切替器17
を切替え操作し(図4、ST2,ST4 )、各入力端子s及び
1〜nに入力された電圧出力VS ,Vm1〜VmnをA/D
コンバータ18へと順次出力する(図4、ST3,ST5 )。
【0019】次いで、電流発生器12をオフ状態とする
(図4、ST6 )。このとき、試料S1 〜Sn の各二点間
には熱起電力による電圧Vt1〜Vtnがそれぞれが生じて
おり、これらの電圧Vt1〜Vtnを各試料電圧増幅器15
1 〜15n によって増幅し、切替器17の各入力端子1
〜nに送る。そして、非導通状態の間(図5のTOFF)
に、中央処理装置14の制御によって切替器17を切替
え操作し(図4、ST7)、入力端子1〜nに入力された
電圧出力Vt1〜VtnをA/Dコンバータ18へと出力す
る(図4、ST8 )。
(図4、ST6 )。このとき、試料S1 〜Sn の各二点間
には熱起電力による電圧Vt1〜Vtnがそれぞれが生じて
おり、これらの電圧Vt1〜Vtnを各試料電圧増幅器15
1 〜15n によって増幅し、切替器17の各入力端子1
〜nに送る。そして、非導通状態の間(図5のTOFF)
に、中央処理装置14の制御によって切替器17を切替
え操作し(図4、ST7)、入力端子1〜nに入力された
電圧出力Vt1〜VtnをA/Dコンバータ18へと出力す
る(図4、ST8 )。
【0020】A/Dコンバータ18は、各電圧出力V
S ,Vm1〜Vmn,Vt1〜Vtnをデジタル信号に変換して
中央処理装置14に送る。中央処理装置14では、まず
標準抵抗11の抵抗値RS と導通時の標準電圧VS にも
とづいて、前記(I)式により直流回路10に流れる電
流値IS を算出する(図4、ST9 )。続いて、この電流
値IS と、試料に関する直流回路10導通時及び非導通
時の各電圧Vm1〜Vmn,Vt1〜Vtnにもとづき、前記
(II)式により各試料S1 〜Sn の電気抵抗を算出す
る。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度にお
ける試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動作を
種々の設定温度ごと繰り返し行なえばよい。
S ,Vm1〜Vmn,Vt1〜Vtnをデジタル信号に変換して
中央処理装置14に送る。中央処理装置14では、まず
標準抵抗11の抵抗値RS と導通時の標準電圧VS にも
とづいて、前記(I)式により直流回路10に流れる電
流値IS を算出する(図4、ST9 )。続いて、この電流
値IS と、試料に関する直流回路10導通時及び非導通
時の各電圧Vm1〜Vmn,Vt1〜Vtnにもとづき、前記
(II)式により各試料S1 〜Sn の電気抵抗を算出す
る。なお、試料の加熱温度を変化させて種々の温度にお
ける試料の電気抵抗を測定する場合には、以上の動作を
種々の設定温度ごと繰り返し行なえばよい。
【0021】図6は本発明の第三実施例に係る電気抵抗
測定装置を示すブロック図である。本実施例では、前記
第二実施例で示した電流発生器、直流回路10、標準抵
抗11、各試料電圧増幅器151〜15n 、及び標準電
圧増幅器16からなる回路系を複数備えており、切替器
17に各試料電増幅器151 〜15n ,151 〜15n
及び各標準電圧増幅器16,16からの入力接点を設け
た構成となっている。ここで、各回路系における直流回
路10に挿入する試料は、電気抵抗を求めようとする各
種試料を任意に選択できることは勿論である。
測定装置を示すブロック図である。本実施例では、前記
第二実施例で示した電流発生器、直流回路10、標準抵
抗11、各試料電圧増幅器151〜15n 、及び標準電
圧増幅器16からなる回路系を複数備えており、切替器
17に各試料電増幅器151 〜15n ,151 〜15n
及び各標準電圧増幅器16,16からの入力接点を設け
た構成となっている。ここで、各回路系における直流回
路10に挿入する試料は、電気抵抗を求めようとする各
種試料を任意に選択できることは勿論である。
【0022】本実施例装置においても、中央処理装置1
4の制御によって各電流発生回路12、12をオン・オ
フするとともに、切替器17を切替え操作することによ
り、電流導通時の標準電圧VS ,各試料電圧Vm と、電
流非導通時の各試料電圧Vtとを順次個別に中央処理装
置14へと入力し、これらの入力信号にもとづき標準電
流IS を求めた後、各試料の電気抵抗Rを算出してい
く。
4の制御によって各電流発生回路12、12をオン・オ
フするとともに、切替器17を切替え操作することによ
り、電流導通時の標準電圧VS ,各試料電圧Vm と、電
流非導通時の各試料電圧Vtとを順次個別に中央処理装
置14へと入力し、これらの入力信号にもとづき標準電
流IS を求めた後、各試料の電気抵抗Rを算出してい
く。
【0023】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、要旨を変更しない範囲で種々の変形又
は応用が可能である。また、本発明の電気抵抗測定装置
は、電気的熱分析装置の試料はもとより、リレー接点の
接触抵抗等、金属の接触抵抗測定などにも適用すること
ができる。
るものではなく、要旨を変更しない範囲で種々の変形又
は応用が可能である。また、本発明の電気抵抗測定装置
は、電気的熱分析装置の試料はもとより、リレー接点の
接触抵抗等、金属の接触抵抗測定などにも適用すること
ができる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、標
準抵抗11により測定電流値を算出しているので、同電
流値が不安定であっても該算出データにもとづいて高精
度に試料の電気抵抗を算出することができる。また、試
料電圧増幅器15と切替器17の入力接点を増設するだ
けで、簡易かつ安価に複数試料の電気抵抗を一括して測
定できるという効果である。
準抵抗11により測定電流値を算出しているので、同電
流値が不安定であっても該算出データにもとづいて高精
度に試料の電気抵抗を算出することができる。また、試
料電圧増幅器15と切替器17の入力接点を増設するだ
けで、簡易かつ安価に複数試料の電気抵抗を一括して測
定できるという効果である。
【図1】 本発明の第一実施例に係る電気抵抗測定装置
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図2】 同装置の動作を説明するためのタイミングチ
ャートである。
ャートである。
【図3】 本発明の第二実施例に係る電気抵抗測定装置
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図4】 同装置の動作を説明するためのフローチャー
トである。
トである。
【図5】 同じくタイミングチャートである。
【図6】 本発明の第三実施例に係る電気抵抗測定装置
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図7】 従来例を示すブロック図である。
【図8】 従来例の動作を説明するためのタイミングチ
ャートである。
ャートである。
10 直流回路 11 標準抵抗 12 電流発生器 13 電気炉 14 中央処理装置 15 試料電圧増幅器 16 標準電圧増幅器 17 切替器 18 アナログ・デジタル変換器
Claims (3)
- 【請求項1】 直流電流を発生する電流発生器と、 この電流発生器からの直流電流を試料に流す直流回路
と、 前記直流回路に対して直列に接続した標準抵抗と、 試料の二点間に生じた電圧を増幅する試料電圧増幅器
と、 前記標準抵抗の両端に生じた電圧を増幅する標準電圧増
幅器と、 前記試料電圧増幅器からの入力と前記標準電圧増幅器か
らの入力とを切替えて出力する切替器と、 前記切替器からの出力をデジタル変換して出力するアナ
ログ・デジタル変換器と、 前記電流発生器を断続的にオン・オフするとともに、同
電流発生器がオン状態の間及びオフ状態の間にそれぞれ
前記切替器の各入力接点に対する所定の切替え操作を行
ない、かつ前記アナログ・デジタル変換器からの入力に
もとづき試料の電気抵抗を算出する中央処理装置と、 を備えたことを特徴とする電気抵抗測定装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の電気抵抗測定装置におい
て、 前記直流回路に複数の試料を直列に接続するとともに、
各試料それぞれにおける二点間に生じた電圧を増幅する
試料電圧増幅器を各々設け、かつ前記切替器にこれら試
料電圧増幅器からの入力接点を備え、 前記中央処理装置は、前記アナログ・デジタル変換器か
らの入力信号にもとづき各試料ごとの電気抵抗を算出す
ることを特徴とした電気抵抗測定装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載の電気抵抗測定装置
において、 前記電流発生器、直流回路、標準抵抗、試料電圧増幅
器、及び標準電圧増幅器からなる回路系を複数備え、 前記切替器に、前記各試料電圧増幅器及び各標準電圧増
幅器からの入力接点を設け、 前記中央処理装置は、前記アナログ・デジタル変換器か
らの入力信号にもとづ0き各回路系における各試料ごと
の電気抵抗を算出することを特徴とした電気抵抗測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19905892A JPH0618575A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 電気抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19905892A JPH0618575A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 電気抵抗測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0618575A true JPH0618575A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=16401407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19905892A Pending JPH0618575A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 電気抵抗測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0618575A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102087194A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-06-08 | 清华大学 | 基于高频交流电的混凝土抗渗透性测量*** |
CN102288831A (zh) * | 2011-05-16 | 2011-12-21 | 钟小梅 | 一种低成本高精度的电阻测量***及其测量方法 |
JP2012163496A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | East Japan Railway Co | レールボンド抵抗測定装置及びレールボンド抵抗測定方法 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP19905892A patent/JPH0618575A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102087194A (zh) * | 2010-11-26 | 2011-06-08 | 清华大学 | 基于高频交流电的混凝土抗渗透性测量*** |
JP2012163496A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | East Japan Railway Co | レールボンド抵抗測定装置及びレールボンド抵抗測定方法 |
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