JPH06180435A - 回転多面鏡駆動装置 - Google Patents
回転多面鏡駆動装置Info
- Publication number
- JPH06180435A JPH06180435A JP33415792A JP33415792A JPH06180435A JP H06180435 A JPH06180435 A JP H06180435A JP 33415792 A JP33415792 A JP 33415792A JP 33415792 A JP33415792 A JP 33415792A JP H06180435 A JPH06180435 A JP H06180435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driving device
- bearing
- base plate
- polygon mirror
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＬＢＰに使用される回転多面鏡駆動装置にお
いて、回転精度や軸受の精度の悪化を解決し、優れた回
転精度と薄型化を低コストで実現する。 【構成】 回転軸１に回転多面鏡２とロータマグネット
３とロータヨーク４とが固定されるロータボス５を焼き
嵌め等の方法で固定してロータ１３を構成して、ブラケ
ット１６をロータマグネットと磁路を構成する磁性体ベ
ース板１１とこのベース板にアウトサート成形した樹脂
カラー１５とで構成し、回転軸を軸受１０で回転可能に
軸支することにより、ベース板にそりがあってもそれを
基準にカラーを成形するため絶対面倒れが確保でき、樹
脂カラーの剛性を金属スリーブより低く、線膨張係数を
スリーブに近づけることにより、スリーブの内径精度を
殆ど変えることなく組立・維持できる。特にスリーブが
流体軸受等内径の変化が大きく損失や剛性に影響する場
合はその効果は著しい。
いて、回転精度や軸受の精度の悪化を解決し、優れた回
転精度と薄型化を低コストで実現する。 【構成】 回転軸１に回転多面鏡２とロータマグネット
３とロータヨーク４とが固定されるロータボス５を焼き
嵌め等の方法で固定してロータ１３を構成して、ブラケ
ット１６をロータマグネットと磁路を構成する磁性体ベ
ース板１１とこのベース板にアウトサート成形した樹脂
カラー１５とで構成し、回転軸を軸受１０で回転可能に
軸支することにより、ベース板にそりがあってもそれを
基準にカラーを成形するため絶対面倒れが確保でき、樹
脂カラーの剛性を金属スリーブより低く、線膨張係数を
スリーブに近づけることにより、スリーブの内径精度を
殆ど変えることなく組立・維持できる。特にスリーブが
流体軸受等内径の変化が大きく損失や剛性に影響する場
合はその効果は著しい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザービームプリンタ
ー（以下ＬＢＰと略す）などで、レーザーのスキャンに
利用される回転多面鏡駆動装置に関するものである。
ー（以下ＬＢＰと略す）などで、レーザーのスキャンに
利用される回転多面鏡駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、回転多面鏡駆動装置はＬＢＰの普
及に伴ってより小型薄型化，低コストが要求されてい
る。そうした中、従来のアルミダイカスト等のブラケッ
トに代わって例えば鉄基板等にアルミや真鍮のスリーブ
を固定するなど、より薄型化，低コストを図っている。
しかしながら、回転変動（以下ジッターと称する）や騒
音、あるいは回転多面鏡の面倒れについては高精度の性
能の維持が必要である。
及に伴ってより小型薄型化，低コストが要求されてい
る。そうした中、従来のアルミダイカスト等のブラケッ
トに代わって例えば鉄基板等にアルミや真鍮のスリーブ
を固定するなど、より薄型化，低コストを図っている。
しかしながら、回転変動（以下ジッターと称する）や騒
音、あるいは回転多面鏡の面倒れについては高精度の性
能の維持が必要である。
【０００３】以下に従来の回転多面鏡駆動装置につい
て、図２乃至図３を使って説明する。 （第１の従来例）図２は従来の回転多面鏡駆動装置の構
成を示すものである。図２において、１は回転軸で回転
多面鏡２とロータマグネット３とロータヨーク４とが固
定されるロータボス５が焼き嵌め等の方法で固定されロ
ータ１３を構成している。回転多面鏡駆動装置の取付面
７ａを有するブラケット７には回転軸を回転可能に軸支
する軸受１０ａと、ロータマグネット３と対向して設け
られ磁路を構成するステータヨーク６と、前記ステータ
ヨーク６とロータマグネット３の間にロータマグネット
３を付勢するステータ巻線８が固定されたステータ基板
９とが固定されている。 （第２の従来例）図３は第２の従来例を示すもので、薄
型化及び強度の向上を図るためブラケット１４は回転多
面鏡駆動装置の取付面１１ａを有する磁性体であるベー
ス板１１とベース板１１にかしめられ軸受１０ａが固定
されるカラー１２とで構成され、ベース板１１がロータ
マグネット３と対向して磁路を形成するようになってい
る。
て、図２乃至図３を使って説明する。 （第１の従来例）図２は従来の回転多面鏡駆動装置の構
成を示すものである。図２において、１は回転軸で回転
多面鏡２とロータマグネット３とロータヨーク４とが固
定されるロータボス５が焼き嵌め等の方法で固定されロ
ータ１３を構成している。回転多面鏡駆動装置の取付面
７ａを有するブラケット７には回転軸を回転可能に軸支
する軸受１０ａと、ロータマグネット３と対向して設け
られ磁路を構成するステータヨーク６と、前記ステータ
ヨーク６とロータマグネット３の間にロータマグネット
３を付勢するステータ巻線８が固定されたステータ基板
９とが固定されている。 （第２の従来例）図３は第２の従来例を示すもので、薄
型化及び強度の向上を図るためブラケット１４は回転多
面鏡駆動装置の取付面１１ａを有する磁性体であるベー
ス板１１とベース板１１にかしめられ軸受１０ａが固定
されるカラー１２とで構成され、ベース板１１がロータ
マグネット３と対向して磁路を形成するようになってい
る。
【０００４】以上のように構成された回転多面鏡駆動装
置について、以下その動作について説明する。まず、ス
テータ巻線８に電流が供給されるとロータマグネット３
との間で電磁力を発生し、ロータ１３が回転する。この
時ロータ１３の回転精度、及び回転軸１の回転多面鏡駆
動装置の取付面に対する機械的精度（以下絶対面倒れと
称する）はブラケット７あるいはカラー１２に固定され
た軸受１０ａの精度及びブラケット７の加工あるいはベ
ース板１１へのカラー１２の固定の精度によって決定さ
れ、それが回転多面鏡２の動特性の精度を決定する。そ
れらの精度を維持するためブラケット７、あるいはカラ
ー１２はアルミダイカスト等を切削してつくられてい
た。
置について、以下その動作について説明する。まず、ス
テータ巻線８に電流が供給されるとロータマグネット３
との間で電磁力を発生し、ロータ１３が回転する。この
時ロータ１３の回転精度、及び回転軸１の回転多面鏡駆
動装置の取付面に対する機械的精度（以下絶対面倒れと
称する）はブラケット７あるいはカラー１２に固定され
た軸受１０ａの精度及びブラケット７の加工あるいはベ
ース板１１へのカラー１２の固定の精度によって決定さ
れ、それが回転多面鏡２の動特性の精度を決定する。そ
れらの精度を維持するためブラケット７、あるいはカラ
ー１２はアルミダイカスト等を切削してつくられてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、 （１）ブラケット７のアルミダイカストの厚みが薄いた
め加工時にチャックの影響を受け歪むため、軸受１０ａ
の取付面７ａに対する直角度が維持できない。また、ベ
ース板１１へカラー１２をかしめる場合はベース板１１
の歪みのためカラー１２を直角にベース板１１に固定す
るのは困難である。 （２）ブラケット７あるいはカラー１２の軸受１０ａが
固定される部分の真円度の影響で軸受１０ａの精度が悪
化する。また、アルミの線膨張係数が２７×１０ -6と大
きいため、低温では軸受１０ａが締め付けられ軸受１０
ａの内径精度が悪化し、高温では軸受１０ａの固定にガ
タを生ずることになり、その結果ジッターや面倒れが悪
化する。
の構成では、 （１）ブラケット７のアルミダイカストの厚みが薄いた
め加工時にチャックの影響を受け歪むため、軸受１０ａ
の取付面７ａに対する直角度が維持できない。また、ベ
ース板１１へカラー１２をかしめる場合はベース板１１
の歪みのためカラー１２を直角にベース板１１に固定す
るのは困難である。 （２）ブラケット７あるいはカラー１２の軸受１０ａが
固定される部分の真円度の影響で軸受１０ａの精度が悪
化する。また、アルミの線膨張係数が２７×１０ -6と大
きいため、低温では軸受１０ａが締め付けられ軸受１０
ａの内径精度が悪化し、高温では軸受１０ａの固定にガ
タを生ずることになり、その結果ジッターや面倒れが悪
化する。
【０００６】同様に、ベース板１１とカラー１２とのか
しめ部でもガタを生じることになる。
しめ部でもガタを生じることになる。
【０００７】特に軸受１０ａが流体軸受のスリーブであ
る場合、通常真鍮等の柔らかい材料でつくられるため軸
受内径への精度悪化は著しいものになり、この場合信頼
性に多大の悪影響を与えることになるという問題点を有
していた。
る場合、通常真鍮等の柔らかい材料でつくられるため軸
受内径への精度悪化は著しいものになり、この場合信頼
性に多大の悪影響を与えることになるという問題点を有
していた。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、軸受の精度を悪化させることなくかつ低コストで薄
型化を実現した回転多面鏡駆動装置を提供することを目
的とする。
で、軸受の精度を悪化させることなくかつ低コストで薄
型化を実現した回転多面鏡駆動装置を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の回転多面鏡駆動装置は、回転軸とロータマグ
ネットを有し回転多面鏡が固定されたロータと、前記ロ
ータマグネットと対向して設けられたベース板とこのベ
ース板にアウトサートされた樹脂からなるカラーとから
なるブラケットに嵌合固定され、前記回転軸を軸支する
軸受とからなる構成を有している。
に本発明の回転多面鏡駆動装置は、回転軸とロータマグ
ネットを有し回転多面鏡が固定されたロータと、前記ロ
ータマグネットと対向して設けられたベース板とこのベ
ース板にアウトサートされた樹脂からなるカラーとから
なるブラケットに嵌合固定され、前記回転軸を軸支する
軸受とからなる構成を有している。
【００１０】
【作用】この構成によって、ベース板にそりがあっても
ベース板にカラーをアウトサートすることにより、カラ
ーの直角度を維持できその結果絶対面倒れが確保でき
る。また、カラーが樹脂のためその剛性が金属例えばア
ルミニウムの１／４〜１／８のためカラーに挿入された
軸受の精度を損なうことがなく、優れた回転性能を実現
することが出来るとともにベース板が磁路を構成するた
め薄型化を図れる。
ベース板にカラーをアウトサートすることにより、カラ
ーの直角度を維持できその結果絶対面倒れが確保でき
る。また、カラーが樹脂のためその剛性が金属例えばア
ルミニウムの１／４〜１／８のためカラーに挿入された
軸受の精度を損なうことがなく、優れた回転性能を実現
することが出来るとともにベース板が磁路を構成するた
め薄型化を図れる。
【００１１】特にカラーに挿入される軸受が銅系の流体
軸受のスリーブである場合、その線膨張係数が２０×１
０-6程度であり、ベース板が１２×１０-6の鉄板に対し
て樹脂に含まれるガラス繊維の含有量を調整することに
より、カラーの線膨張係数を目的に応じて双方の間の値
に調整できるため、低温から高温までカラーとベース板
の保持力やスリーブへのカラーの精度変化の影響を少な
くすることが出来る。
軸受のスリーブである場合、その線膨張係数が２０×１
０-6程度であり、ベース板が１２×１０-6の鉄板に対し
て樹脂に含まれるガラス繊維の含有量を調整することに
より、カラーの線膨張係数を目的に応じて双方の間の値
に調整できるため、低温から高温までカラーとベース板
の保持力やスリーブへのカラーの精度変化の影響を少な
くすることが出来る。
【００１２】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１３】図１において、１は回転軸で回転多面鏡２
とロータマグネット３とロータヨーク４とが固定される
ロータボス５が焼き嵌め等の方法で固定され、ロータ１
３を構成している。回転多面鏡駆動装置の取付面１１ａ
を有するブラケット１６はロータマグネット３と磁路を
構成する磁性体からなるベース板１１とこのベース板１
１にアウトサート成形された樹脂からなるカラー１５と
からなり、回転軸を回転可能に軸支する軸受１０ｂと、
ベース板１１とロータマグネット３の間にロータマグネ
ット３を付勢するステータ巻線８が固定されたステータ
基板９とが固定されている。軸受１０ｂの内径にはヘリ
ングボーン溝が形成され、流体軸受を構成し回転軸１を
回転可能に軸支している。
とロータマグネット３とロータヨーク４とが固定される
ロータボス５が焼き嵌め等の方法で固定され、ロータ１
３を構成している。回転多面鏡駆動装置の取付面１１ａ
を有するブラケット１６はロータマグネット３と磁路を
構成する磁性体からなるベース板１１とこのベース板１
１にアウトサート成形された樹脂からなるカラー１５と
からなり、回転軸を回転可能に軸支する軸受１０ｂと、
ベース板１１とロータマグネット３の間にロータマグネ
ット３を付勢するステータ巻線８が固定されたステータ
基板９とが固定されている。軸受１０ｂの内径にはヘリ
ングボーン溝が形成され、流体軸受を構成し回転軸１を
回転可能に軸支している。
【００１４】以上のように構成された回転多面鏡駆動装
置について、その動作を説明する。まず、ステータ巻線
８に電流が供給されるとロータマグネット３との間で電
磁力を発生し、ロータ１３が回転する。この時回転多面
鏡のジッター及び絶対面倒れは、軸受１０ｂの精度で決
定される。
置について、その動作を説明する。まず、ステータ巻線
８に電流が供給されるとロータマグネット３との間で電
磁力を発生し、ロータ１３が回転する。この時回転多面
鏡のジッター及び絶対面倒れは、軸受１０ｂの精度で決
定される。
【００１５】一方、軸受１０ｂが圧入固定されるカラー
１５の剛性は例えばＰＰＳ等であればほぼアルミニウム
の１／４〜１／８であるため、軸受１０ｂの剛性に負け
てしまうため、軸受１０ｂの内径変化を圧入代の１／２
０〜１／４０程度に押さえられる（圧入代を２０μｍと
すると径変化でわずか０．５μｍ程度となる）。また、
ベース板１１は一般に圧延鋼板をプレスで打ち抜いて作
られ、その材料段階でのそりがあるため精度を出しにく
いが、これにカラー１５をアウトサートすることによ
り、それらのそりや歪みを吸収してベース板１１に対す
るカラー１５の直角度が維持できる。
１５の剛性は例えばＰＰＳ等であればほぼアルミニウム
の１／４〜１／８であるため、軸受１０ｂの剛性に負け
てしまうため、軸受１０ｂの内径変化を圧入代の１／２
０〜１／４０程度に押さえられる（圧入代を２０μｍと
すると径変化でわずか０．５μｍ程度となる）。また、
ベース板１１は一般に圧延鋼板をプレスで打ち抜いて作
られ、その材料段階でのそりがあるため精度を出しにく
いが、これにカラー１５をアウトサートすることによ
り、それらのそりや歪みを吸収してベース板１１に対す
るカラー１５の直角度が維持できる。
【００１６】上記軸受１０ｂは一般に銅系の材料で加工
して作られるため、カラー１５の線膨張係数を軸受１０
ｂとベース板１１との間に設定することにより広い温度
範囲で上記精度を維持できるが、カラー１５は樹脂であ
るためその含有されるガラス繊維の量をコントロールす
ることにより可能となっている。
して作られるため、カラー１５の線膨張係数を軸受１０
ｂとベース板１１との間に設定することにより広い温度
範囲で上記精度を維持できるが、カラー１５は樹脂であ
るためその含有されるガラス繊維の量をコントロールす
ることにより可能となっている。
【００１７】以上のように本実施例によれば、回転軸１
とロータマグネット３を有し回転多面鏡２が固定された
ロータ１３と、ロータマグネット３と対向して設けられ
たベース板１１とこのベース板１１にアウトサートされ
た樹脂からなる軸受保持部であるカラー１５とからなる
ブラケット１４に嵌合固定され、回転軸１を軸支する軸
受１０ｂを設けることにより、優れた回転精度と機械精
度を有した回転多面鏡駆動装置を提供することができ
る。
とロータマグネット３を有し回転多面鏡２が固定された
ロータ１３と、ロータマグネット３と対向して設けられ
たベース板１１とこのベース板１１にアウトサートされ
た樹脂からなる軸受保持部であるカラー１５とからなる
ブラケット１４に嵌合固定され、回転軸１を軸支する軸
受１０ｂを設けることにより、優れた回転精度と機械精
度を有した回転多面鏡駆動装置を提供することができ
る。
【００１８】尚、上記実施例において軸受１０ｂは流体
軸受としたが、軸受１０ｂがメタルの場合でもその効果
は同じであり、玉軸受の場合は更に振動の吸収効果を持
たせることが出来ることは言うまでもない。
軸受としたが、軸受１０ｂがメタルの場合でもその効果
は同じであり、玉軸受の場合は更に振動の吸収効果を持
たせることが出来ることは言うまでもない。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、回転軸とロータ
マグネットを有し回転多面鏡が固定されたロータと、前
記ロータマグネットと対向して磁路を構成する磁性体で
あるベース板とこのベース板にアウトサートされた樹脂
からなる軸受保持部とからなるブラケットに嵌合固定さ
れ、前記回転軸を軸支するスリーブとを設けることによ
り、 （１）ベース板にそりがあってもそれを基準にカラーを
成形するため回転軸の直角度を維持することができ、そ
の結果回転多面鏡のこの装置が固定される基準面に対す
る絶対面倒れを確保できる。 （２）カラーが樹脂でありその剛性が金属のスリーブに
対して低く、かつその線膨張係数をスリーブに近づける
ことにより、スリーブの内径精度をほとんど変化させる
ことなく組立・維持できる。特にスリーブが流体軸受等
内径の変化が大きく損失や剛性に影響する場合はその効
果は著しい。 （３）カシメ等の工数をかけることなくカラーを成形で
き、コストの削減を図ることができる。 等々優れた回転多面鏡駆動装置を実現できるものであ
る。
マグネットを有し回転多面鏡が固定されたロータと、前
記ロータマグネットと対向して磁路を構成する磁性体で
あるベース板とこのベース板にアウトサートされた樹脂
からなる軸受保持部とからなるブラケットに嵌合固定さ
れ、前記回転軸を軸支するスリーブとを設けることによ
り、 （１）ベース板にそりがあってもそれを基準にカラーを
成形するため回転軸の直角度を維持することができ、そ
の結果回転多面鏡のこの装置が固定される基準面に対す
る絶対面倒れを確保できる。 （２）カラーが樹脂でありその剛性が金属のスリーブに
対して低く、かつその線膨張係数をスリーブに近づける
ことにより、スリーブの内径精度をほとんど変化させる
ことなく組立・維持できる。特にスリーブが流体軸受等
内径の変化が大きく損失や剛性に影響する場合はその効
果は著しい。 （３）カシメ等の工数をかけることなくカラーを成形で
き、コストの削減を図ることができる。 等々優れた回転多面鏡駆動装置を実現できるものであ
る。
【図１】本発明の一実施例における回転多面鏡駆動装置
の断面図
の断面図
【図２】第１の従来の回転多面鏡駆動装置の断面図
【図３】第２の従来の回転多面鏡駆動装置の断面図
１ 回転軸 ２ 回転多面鏡 ３ ロータマグネット ７，１４，１６ ブラケット ７ａ，１１ａ 回転多面鏡駆動装置の取付面 １０ａ，１０ｂ 軸受 １１ ベース板 １２，１５ カラー
Claims (5)
- 【請求項１】回転軸とロータマグネットを有し、回転多
面鏡が固定されたロータと、前記ロータマグネットと対
向して設けられたベース板とこのベース板にアウトサー
トされた樹脂からなる軸受保持部であるカラーとからな
るブラケットに嵌合固定され、前記回転軸を軸支する軸
受とを備えた回転多面鏡駆動装置。 - 【請求項２】前記軸受は前記回転軸、またはスリーブの
何れか一方に動圧を発生するためのヘリングボーン溝を
有する動圧流体軸受である請求項１記載の回転多面鏡駆
動装置。 - 【請求項３】前記軸受は含油メタルである請求項１記載
の回転多面鏡駆動装置。 - 【請求項４】前記ベース板は磁性体からなり、ロータマ
グネットと磁路を構成する請求項１記載の回転多面鏡駆
動装置。 - 【請求項５】前記樹脂はその線膨張係数が１０×１０-6
〜２５×１０-6であり、前記スリーブの線膨張係数と前
記ベース板との線膨張係数の間にある請求項２記載の回
転多面鏡駆動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33415792A JPH06180435A (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 回転多面鏡駆動装置 |
| US08/162,956 US5555124A (en) | 1992-12-15 | 1993-12-08 | Rotating polygon mirror driving apparatus |
| US08/661,644 US5708520A (en) | 1992-12-15 | 1996-06-11 | Rotating polygon mirror driving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33415792A JPH06180435A (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 回転多面鏡駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06180435A true JPH06180435A (ja) | 1994-06-28 |
Family
ID=18274179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33415792A Pending JPH06180435A (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 回転多面鏡駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06180435A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006123773A1 (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | スピンドルモータおよびそれを用いたディスク駆動装置 |
-
1992
- 1992-12-15 JP JP33415792A patent/JPH06180435A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006123773A1 (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | スピンドルモータおよびそれを用いたディスク駆動装置 |
| US7663280B2 (en) | 2005-05-19 | 2010-02-16 | Panasonic Corporation | Spindle motor and disk drive device using the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3266448B2 (ja) | ブラシレスモータの回転体装置 | |
| JP4462525B2 (ja) | 動圧空気軸受型ポリゴンスキャナおよびその加工方法 | |
| JPH0686503A (ja) | モータ、ポリゴンミラーモータ、ディスク駆動モータ | |
| EP0717489B1 (en) | Scanner motor | |
| US5708520A (en) | Rotating polygon mirror driving apparatus | |
| US5903078A (en) | Rotary polygon mirror motor | |
| JPH1123993A (ja) | 光偏向器 | |
| JPH06180435A (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JP3218753B2 (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JPH06180434A (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JP2968178B2 (ja) | 軸受装置 | |
| JPH06180433A (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JP3087482B2 (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JP2890424B2 (ja) | ポリゴンスキャナーモーター | |
| JPH06180431A (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JP2888361B2 (ja) | 動圧空気軸受型ポリゴンスキヤナ | |
| JP3877435B2 (ja) | 軸受装置 | |
| JPH11271654A (ja) | ポリゴンスキャナ | |
| JP3176070B2 (ja) | 動圧空気軸受型回転装置 | |
| JPH0630541A (ja) | スピンドルモータ | |
| JP3232715B2 (ja) | ポリゴンミラースキャナモータ | |
| JPH06294937A (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
| JP2002027706A (ja) | 動圧空気軸受型モータおよび動圧空気軸受型ポリゴンスキャナ | |
| JP2002303815A (ja) | 動圧空気軸受型ポリゴンスキャナ及び動圧空気軸受型ポリゴンスキャナの加工方法 | |
| JP3243112B2 (ja) | 光ビーム走査装置 |