JPH0617934B2 - 非接触自動位置合わせ装置 - Google Patents
非接触自動位置合わせ装置Info
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- JPH0617934B2 JPH0617934B2 JP60214773A JP21477385A JPH0617934B2 JP H0617934 B2 JPH0617934 B2 JP H0617934B2 JP 60214773 A JP60214773 A JP 60214773A JP 21477385 A JP21477385 A JP 21477385A JP H0617934 B2 JPH0617934 B2 JP H0617934B2
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- Japan
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- light beam
- objective lens
- optical
- lens
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Description
この発明は非接触自動位置合わせ装置であって、光学機
器(顕微鏡その他)の自動位置合わせ装置、三次元測定
器の非接触センサー、液体表面の変位測定、対象物の傾
斜度調整その他に広く利用できるものである。
器(顕微鏡その他)の自動位置合わせ装置、三次元測定
器の非接触センサー、液体表面の変位測定、対象物の傾
斜度調整その他に広く利用できるものである。
レーザ光線を利用した従来の非接触自動位置合わせ装置
としては、例えば特開昭58−217909号が知られ
ている。この装置は照明光束を用いて光学機器(顕微
鏡)で観察中の対象物に自動的に位置を合わせる装置で
あり、変調されたレーザ光線を測定光線として発生する
ための光源、照明側の測定光束の半分を幾何学的に遮蔽
するための光学的構成要素、ならびにそれと同時に返送
された測定光束を測定光線路から幾何学的に取り出すた
めの光学的構成要素、光軸方法にのみ推移可能なレンズ
系、差動ダイオードとして形成された光電装置、及び照
明側の測定光束を光学器械の照明光路内に導き又は搬送
された測定光束を光学器械の照明光線路から反射により
取り出す分割反射鏡などから成っているものである。
としては、例えば特開昭58−217909号が知られ
ている。この装置は照明光束を用いて光学機器(顕微
鏡)で観察中の対象物に自動的に位置を合わせる装置で
あり、変調されたレーザ光線を測定光線として発生する
ための光源、照明側の測定光束の半分を幾何学的に遮蔽
するための光学的構成要素、ならびにそれと同時に返送
された測定光束を測定光線路から幾何学的に取り出すた
めの光学的構成要素、光軸方法にのみ推移可能なレンズ
系、差動ダイオードとして形成された光電装置、及び照
明側の測定光束を光学器械の照明光路内に導き又は搬送
された測定光束を光学器械の照明光線路から反射により
取り出す分割反射鏡などから成っているものである。
しかしながら、このような従来の非接触自動位置合わせ
装置にあっては、測定光束として変調したレーザ光線を
採用していたため、その集光スポットの微小化には限度
があり、例えば倍率20倍の対物レンズでも1.5μ×2
0μの長方形スポット像であるため対象物表面に数μの
凹凸がある場合に問題となる。従ってその集光スポット
の位置検出による位置合わせ精度にも自ずと限界があっ
た。また、従来例は半透明鏡を使用して測定光束を割け
ているため、変調したレーザー光線が観察光学系の検出
器(CCDカメラ等)に影響して著しくSN比を悪くす
るおそれもある。更に、この従来例は無限式顕微鏡に組
込まれるもので有限式顕微鏡には使用されないものであ
る。 本発明はこのような従来の技術に着目してなされたもの
で、位置合わせ精度その他を向上させた非常に実用性の
高い非接触自動位置合わせ装置を提供せんとするもので
ある。
装置にあっては、測定光束として変調したレーザ光線を
採用していたため、その集光スポットの微小化には限度
があり、例えば倍率20倍の対物レンズでも1.5μ×2
0μの長方形スポット像であるため対象物表面に数μの
凹凸がある場合に問題となる。従ってその集光スポット
の位置検出による位置合わせ精度にも自ずと限界があっ
た。また、従来例は半透明鏡を使用して測定光束を割け
ているため、変調したレーザー光線が観察光学系の検出
器(CCDカメラ等)に影響して著しくSN比を悪くす
るおそれもある。更に、この従来例は無限式顕微鏡に組
込まれるもので有限式顕微鏡には使用されないものであ
る。 本発明はこのような従来の技術に着目してなされたもの
で、位置合わせ精度その他を向上させた非常に実用性の
高い非接触自動位置合わせ装置を提供せんとするもので
ある。
以下、この発明を図面に基づいて説明する。 第1図〜第3図はこの発明の基本構造を示す図である。 すなわち、この発明に係る非接触自動位置合わせ装置
は、偏光He−Neレーザ光線を細い測定光束として発
するレーザ装置2と、発せられた測定光束を光学系1内
の光軸αと平行な所定光束路へ案内するミラーM1、M
2と、案内された測定光束を光軸α上の正規な再結像点
P2と対物レンズ6の非中心点とを結ぶ線Xに沿った方
向へ導き、該測定光束を対象物3の表面8に結像させる
ための凹型のバローレンズ7と、バローレンズ7から導
かれた測定光束及び対象物3の表面8より反射された測
定光束が、それぞれ非中心点を透過する対物レンズ6
と、光学系1の光軸α上に位置しており、対象物3の表
面8より反射された測定光束の対物レンズ6による再結
像を、拡大レンズ9を介して受光する光位置検出器5
と、位相が偏光He−Neレーザ光線と同じで且つ光位
置検出器5の直前位置に配された偏光フィルターPL
と、該光位置検出器5からの位置信号にて測定光束を対
象物3の表面8の光軸α上に自動的に結像させる焦点合
わせ機構(位置合わせ機構)4と、から成るものであ
る。ここで、「正規な再結像点P2」とは、測定光束が
対象物3の表面8に結像した状態における再結像点を意
味している。
は、偏光He−Neレーザ光線を細い測定光束として発
するレーザ装置2と、発せられた測定光束を光学系1内
の光軸αと平行な所定光束路へ案内するミラーM1、M
2と、案内された測定光束を光軸α上の正規な再結像点
P2と対物レンズ6の非中心点とを結ぶ線Xに沿った方
向へ導き、該測定光束を対象物3の表面8に結像させる
ための凹型のバローレンズ7と、バローレンズ7から導
かれた測定光束及び対象物3の表面8より反射された測
定光束が、それぞれ非中心点を透過する対物レンズ6
と、光学系1の光軸α上に位置しており、対象物3の表
面8より反射された測定光束の対物レンズ6による再結
像を、拡大レンズ9を介して受光する光位置検出器5
と、位相が偏光He−Neレーザ光線と同じで且つ光位
置検出器5の直前位置に配された偏光フィルターPL
と、該光位置検出器5からの位置信号にて測定光束を対
象物3の表面8の光軸α上に自動的に結像させる焦点合
わせ機構(位置合わせ機構)4と、から成るものであ
る。ここで、「正規な再結像点P2」とは、測定光束が
対象物3の表面8に結像した状態における再結像点を意
味している。
第1図は、測定光束の結像点P1が表面8へ合っている
状態を示している。レーザ装置2から発射された測定光
束としての偏光He−Neレーザ光線は平行光な小さな
光束Aとなって光学系1内へ入射していく。光学系1内
に入射した光束Aは、まずミラーM1にて直角に反射さ
れ、そしてすぐにまた別のミラーM2にて再度直角に反
射され、光学系1の光軸αと平行な光束Bとなってバロ
ーレンズ7へ進む。この光束Bはバローレンズ7により
やや広がりながら進む。このバローレンズ7を通った光
束Cは、対物レンンズ6の非中心点と、再結像点P2と
を結んだ線〔第1図中に示した二点鎖線〕Xへと導かれ
る。従ってこの光束Cは、対物レンズ6で屈折・集光さ
れて光束Dとなり、対物レンズ6の焦点距離よりも遠い
位置において、表面8の中央へちょうど結像点P1が形
成される。 次に、対象物3の表面8で反射された光束Eは、対物レ
ンズ6で再度屈折・集光し、光束Fとなって、対物レン
ズ6の焦点距離よりも遠い位置で、光軸α上に正規の再
結像点P2を形成する。そして更に、この再結像点P2
を経た光束Gは、拡大レンズ9で屈折・集光して光束H
となり、そのまま偏光フィルターPLを通過して光位置
検出器5表面の正規結像点P3に当たる。 一方、この第1図に示された状態から対象物3が対物レ
ンズ6側へ接近した場合、即ち対象物3が対物レンズ6
側へズレた場合〔第2図参照〕、レーザ装置2から発射
された対物レンズ6を経て来た光束Iは、対象物3の表
面8上において先の結像点P1よりも下側の反射点R1
に当たり、その反射点R1で反射された光束Jは光軸α
上の結像点P4で一旦結像する。次にその光束Jは、反
射点R1と結像点P4とを結んだ方向の光束Kとなって
対物レンズ6へ進みそこで屈折・集光する。そして対物
レンズ6を経た光束Lは、第1図での光束Fとその光軸
αに対する角度が違うので、第1図での再結像点P2よ
りも拡大レンズ9寄りの再結像点P5で結像し、そして
そのまま拡大レンズ9、偏光フィルターPLを通過する
光束Mとなって光位置検出器5表面の正規結像点P3よ
り下側のスポットP6に当たる。この時、光位置検出器
5から、スポットP6と正規結像点P3との位置ズレ量
が、位置信号として、「位置合わせ機構」としての焦点
合わせ機構4へ伝えられる。焦点合わせ機構4はこの位
置信号を受けて、対象物3を遠ざけるように移動させる
か、または対物レンズ6その他を移動させるかして、対
物レンズ6を経た光束Iを表面8へ結像させるように作
動する。 そして第3図は、第2図とは逆に対象物3が第1図の場
合よりも遠ざかった場合を示すもので、レーザ装置2か
ら発射されて対物レンズ6を径て来た光束Nは表面8の
中央よりも上側の反射点R2に当たり、その反射点R2
にて反射された光束Oは対物レンズ6、再結像点P7、
拡大レンズ9、偏光フィルターPLを経て、光位置検出
器5表面の正規結像点P3より上側のスポットP8に当
たる。その他の説明は前記第2図の場合と重複するので
省略する。尚、以上の説明で2つのミラーM1、M2を
採用したが、レーザ装置2の設置状況によっては1つ又
は3つ以上必要になる場合もある。
状態を示している。レーザ装置2から発射された測定光
束としての偏光He−Neレーザ光線は平行光な小さな
光束Aとなって光学系1内へ入射していく。光学系1内
に入射した光束Aは、まずミラーM1にて直角に反射さ
れ、そしてすぐにまた別のミラーM2にて再度直角に反
射され、光学系1の光軸αと平行な光束Bとなってバロ
ーレンズ7へ進む。この光束Bはバローレンズ7により
やや広がりながら進む。このバローレンズ7を通った光
束Cは、対物レンンズ6の非中心点と、再結像点P2と
を結んだ線〔第1図中に示した二点鎖線〕Xへと導かれ
る。従ってこの光束Cは、対物レンズ6で屈折・集光さ
れて光束Dとなり、対物レンズ6の焦点距離よりも遠い
位置において、表面8の中央へちょうど結像点P1が形
成される。 次に、対象物3の表面8で反射された光束Eは、対物レ
ンズ6で再度屈折・集光し、光束Fとなって、対物レン
ズ6の焦点距離よりも遠い位置で、光軸α上に正規の再
結像点P2を形成する。そして更に、この再結像点P2
を経た光束Gは、拡大レンズ9で屈折・集光して光束H
となり、そのまま偏光フィルターPLを通過して光位置
検出器5表面の正規結像点P3に当たる。 一方、この第1図に示された状態から対象物3が対物レ
ンズ6側へ接近した場合、即ち対象物3が対物レンズ6
側へズレた場合〔第2図参照〕、レーザ装置2から発射
された対物レンズ6を経て来た光束Iは、対象物3の表
面8上において先の結像点P1よりも下側の反射点R1
に当たり、その反射点R1で反射された光束Jは光軸α
上の結像点P4で一旦結像する。次にその光束Jは、反
射点R1と結像点P4とを結んだ方向の光束Kとなって
対物レンズ6へ進みそこで屈折・集光する。そして対物
レンズ6を経た光束Lは、第1図での光束Fとその光軸
αに対する角度が違うので、第1図での再結像点P2よ
りも拡大レンズ9寄りの再結像点P5で結像し、そして
そのまま拡大レンズ9、偏光フィルターPLを通過する
光束Mとなって光位置検出器5表面の正規結像点P3よ
り下側のスポットP6に当たる。この時、光位置検出器
5から、スポットP6と正規結像点P3との位置ズレ量
が、位置信号として、「位置合わせ機構」としての焦点
合わせ機構4へ伝えられる。焦点合わせ機構4はこの位
置信号を受けて、対象物3を遠ざけるように移動させる
か、または対物レンズ6その他を移動させるかして、対
物レンズ6を経た光束Iを表面8へ結像させるように作
動する。 そして第3図は、第2図とは逆に対象物3が第1図の場
合よりも遠ざかった場合を示すもので、レーザ装置2か
ら発射されて対物レンズ6を径て来た光束Nは表面8の
中央よりも上側の反射点R2に当たり、その反射点R2
にて反射された光束Oは対物レンズ6、再結像点P7、
拡大レンズ9、偏光フィルターPLを経て、光位置検出
器5表面の正規結像点P3より上側のスポットP8に当
たる。その他の説明は前記第2図の場合と重複するので
省略する。尚、以上の説明で2つのミラーM1、M2を
採用したが、レーザ装置2の設置状況によっては1つ又
は3つ以上必要になる場合もある。
以上が、本発明に係る非接触自動位置合わせ装置の基本
的構造で、以下に本発明の詳細を実施例(利用例、実験
例)を示しつつ更に説明する。 <第1実施例> 上記第1図〜第3図で示した基本構造を有する非接触自
動位置合わせ装置を使用して、実際に位置合わせ精度そ
の他の性能を第1実施例として調べてみた。そして特に
この対象物3と対物レンズ6との間隔を大きく設定した
場合における位置合わせ精度を測定してみた。また、以
下の測定では対象物3として反射ミラーを採用し、対物
レンズ6と対象物3との間隔を60mmとし、対物レンズ
6は径が60mmのものを採用した。また、対物レンズ6
の倍率は5倍で、拡大レンズ9の倍率は6倍のものを使
用した。そして光位置検出器5としては半導体光位置検
出器(PSD)を採用した。この半導体光位置検出器
(PSD)は、画像上で走査を行なわずに入射光の位置
情報を含んだ信号を得ることができ、CCD、MOSな
どの固体撮像素子に比べて、より高い分解能を持ち高い
サンプリンググレードを得ることができるものである。
更に焦点合わせ機構4としては、サーボ回路によってモ
ータを駆動させる非常に動作スピードの速い「サーボ機
構」を採用した。そして、この焦点合わせ機構4は対象
物3としての反射ミラーへ接続してあり、レーザ装置2
からの測定光束が対象物3の結像点P1からズレた時、
即ち対象物3からの反射光が光位置検出器5の正規結像
点P3からズレた時に、この焦点合わせ機構4が作動
し、対象物3を位置合わせ合向へ移動させるものであ
る。 (a) 位置合わせ精度について: そして、その位置合わせ精度を調べるために、光位置検
出器5の出力(V)と対象物3の移動量(μ)との関係
を調べ、その結果を第4図に示した。この第4図から判
るように、出力(V)と移動量(μ)とは略リニアの関
係で、平均変化量が1.17μ/0.01Vという高い
精度を示すデータを得ることができた。このように高い
位置合わせ精度を得た1つの要因としては、測定光束と
して偏光He−Neレーザ光線を採用したことにあり、
他のレーザ光線に比べて光束が細いうえに集光スポット
が非常に小さくて、広がらないので、その分、光位置検
出器5での位置検出を高精度で行えるためである。この
偏光He−Neレーザ光線の集光スポットの径は対物レ
ンズの倍率により異なるが大体1μ〜100μ程度と非
常に小さいものである。 もう1つの要因としては、測定光束の変位を拡大レンズ
9で拡大する点にある。拡大レンズ9が測定光束の小さ
な変位も見逃がさずに正確に拡大し、その後で光位置検
出器5により位置検出するので高精度の位置検出を実現
できる。従って、対物レンズ6と対象物3との間隔が大
きく位置合わせ精度が低下しやすい状況でありながら高
精度の位置合わせを実現することができたのである。 (b) 位置合わせ精度について: 位置合わせされるまでの時間を測定してみたところ平均
10mmsecと非常に速いデータを得ることができた。
このことは、光位置検出器5として、画像走査を必要と
しない半導体光位置検出器(PSD)を採用したこと
と、焦点合わせ機構4として動作スピードの速いサーボ
機構を採用したことに起因すると思われる。通常のコン
ピユータ画像処理やCCDセンサーのデジタル処理が平
均0.5〜10secであるのに比べて処理時間を格段に
短縮することができた。 (c) 耐ノイズ性(測定の確実性)について: 装置の耐ノイズ性(測定の確実性)について、4つの実
験をしてみた。 第1に、偏光He−Neのレーザ光線の出力を大きくし
たり、発振器を大きくしたりして位置合わせ精度への影
響を調べてみたが、それらの操作が位置合わせ精度へ何
ら影響しないことを確認することができた。このこと
は、レーザ装置2を別置きし、発射された測定光束をミ
ラーM1、M2にて光学系1内に案内する構造としたこ
とに起因していると思われる。 第2に、対象物2を測定光束に対して多少傾斜させた状
態で位置合わせを行ってみたが、直角に設置した場合と
ほぼ同様な位置合わせ精度を得ることができた。表面8
での反射光束が少なくとも対物レンズ6にまで反射すれ
ば、高精度で位置合わせできることを確認した。 第3に、対象物表面の輝度分布(コントラスト)によっ
て位置合わせ精度が影響を受けないことも確認できた。
つまり、半導体光位置検出器(PSD)は検出した測定
光束のスポットの重心位置を出力するだけで、輝度分布
が変化しても影響を受けないためである。 第4に位置合わせ精度が、外部照明系(室内照明等)及
び対象物照明用の光源に対して影響を受けないことを確
認することもできた。このことは、測定ノイズとなり得
る偏光He−Neレーザ光線と同波長(6328Å付
近)の入射光を偏光フィルターPLにて遮断しているた
めである。 尚、この実施例において、光位置検出器5として半導体
光位置検出器(PSD)を採用したが、その他の光位置
検出器、例えばフォトダイオード(PD)その他を採用
してもほぼ同じ程度の結果を期待できる。また、「位置
合わせ機構」としての焦点合わせ機構4は、サーボ機構
を例としたが、サーボ機構と同程度の動作スピードを有
する機構であれば他のものを用いても同程度の効果を得
ることができる。 <第2実施例> 第5図は本発明の第2実施例で、本発明に係る非接触自
動位置合わせ装置を、顕微鏡の自動位置合わせ装置とし
て利用した例を示す図である。 この顕微鏡10は、対象物を上から照らす落射式照明
と、下から照らす透過式照明が可能である。まず落射式
照明における位置合わせについて説明する。落射照明ラ
ンプLP1から発せられた照明光束aは最初にコンデン
サレンズ11を通過し、光軸Yに沿った照明光束bとし
て集光される。この集光された照明光束bは、偏光He
−Neレーザ光線と同波長(6328Å付近)の光のみ
反射するレーザミラーm1、m2を経て、光軸Zと合流
し、落射照明ランプLP1のフィラメント像を対物レン
ズ12につくる。そして、対物レンズ12を通った照明
光束cは、対象物13の表面14における結像点p1付
近をムラなく照らす。次に、表面14にて反射した照明
光束dは、対物レンズ12、レーザミラーm2、双眼鏡
W、偏光フィルターpl4を経て結像点p2で結像す
る。この結像点p2にまで達する照明光束eは既にレー
ザミラーm1、m2を経ているので、波長が6238Å
付近の光はなく、後述する位置合わせ用の測定光束(偏
光He−Neレーザ光線)と干渉して誤差を生じさせた
りすることはない。 次に、測定光束路の説明をする。レーザ装置15から発
せられた測定光束としての偏光He−Neレーザ光線
は、まず平行な測定光束fとなってミラーM3で直角に
反射される。そしてそこで反射された測定光束gは次に
バローレンズ16を通過し、先の第1実施例と同様の測
定光束hとなる。そして、バローレンズ16を経た測定
光束hはレーザミラーm1にて反射され、落射照明の光
軸Yに合流する。そして合流した測定光束iは次にまた
別のレーザミラーm2にて反射され別の光軸Zに沿った
まま対物レンズ12で屈折・集光される。対物レンズ1
2を経た測定光束jは対象物13の表面14の結像p1
で測定光束kとなって反射され、そのまま先とは逆の方
向へ進みレーザミラーm2、m1にて反射された後、再
結像点p3で結像を結ぶ。そして再結像した後の測定光
束lは、拡大レンズ17、偏光フィルターpl1を経
て、光位置検出器としての半導体光位置検出器(PS
D)18の正規結像点p4に結像する。尚、以上の測定
光束路において測定光束は全てレーザミラーm1、m2
にて反射されるので、測定光束が双眼鏡Wの方向へ粉れ
込むことはなく、観察者の目19が偏光He−Neレー
ザー光線から保護されている。また、pl2は波長が6
328Å付近の光を透過しない偏光フィルターで、観察
者の目19を二重に保護するためのものである。更に、
20は位置合わせ機構としてのサーボ機構で、半導体光
位置検出器(PSD)18への測定光束の入射光スポッ
トが正規結像点p4からズレた際に対象物13を移動さ
せ、位置を合わせを行なうようになっている。 従って、この顕微鏡10は以上のような構造のため、レ
ーザ装置15から発せられた測定光束を必ず対象物13
の表面14上の結像点p1に合わせようと対物レンズ1
2が移動するので、この対物レンズ12を光学上兼用し
ている落射ランプLP1からの照明光束も対象物13の
表面14上へ自動的に位置合わせされ、従って顕微鏡1
0は常に対象物13に対して常に位置が合った状態とな
る。そしてこの顕微鏡10における位置合わせ精度のデ
ータをいろいろ条件を変えて測定したところ、0.1μ〜
2μ/0.01Vという高い位置合わせ精度を得ることが
できた。 また前述の如くこの顕微鏡10は、レーザミラーm1、
m2を採用したことにより、落射照明ランプLP1から
の照明光束中で、偏光He−Neレーザ光線と同波長
(6328Å付近)の照明光束が、そのHe−Neレー
ザ光線の測定光束路中へ粉れ込むことがないので、半導
体光位置検出器(PSD)18がノイズ影響を受けるこ
となく、高精度の位置合わせを割実に行なうことができ
る。 さて、次に対象物13を下から照らす透過式照明の場合
について説明する。透過式照明の場合も上記説明した落
射式照明の場合とほぼ同じである。透過式照明ランプL
P2から発せられた照明光束mは、コンデンサレンズ2
1にて屈折・集光した後ミラーM4にて直角に反射さ
れ、偏光フィルターpl3を経て対象物13を下側から
照らす。そして、対象物13を透過した照明光束nは、
対物レンズ12を経た後、落射式照明の場合と同じよう
にそのまま上方の結像点p2で結像する。また、対物レ
ンズ12を経た照明光束nのうち波長6328Å付近の
光はレーザミラーm2、m1にて各々反射された後、拡
大レンズ17、偏光フィルターPl1を経て半導体光位
置検出器(PSD)18へ入射しようとするが、偏光フ
ィルターpl1の位相を先の偏光フィルターpl3と変
えてあるので半導体光位置検出器(PSD)18まで達
せず、半導体光位置検出器(PSD)18のノイズとは
ならない。尚、偏光フィルターpl3と偏光フィルター
pl2、pl4の位相は同じにしてある。 <第3実施例> 第6図及び第7図は本発明の第3実施例を示す図であ
る。この実施例では本発明に係る非接触自動位置合わせ
装置を、非接触式の厚さ測定装置として利用するもので
ある。 装置全体の構造としては、先の第1図〜第3図に示した
ものと同じで、対象物として反射ミラー22を採用し、
位置合わせ機構は対物レンズ23と接続しておき、光位
置検出器からの位置信号により対物レンズ23を進退動
させるようになっている。 そしてこの装置では、まず最初に測定光束24の結像点
を反射ミラー22の表面25へ合わせておく(第6図参
照)。次に、反射ミラー22と対物レンズ23との間
に、光を透過する被計測物26を挿入する。すると、こ
の被計測物26を挿入することにより、測定光束24の
結像点がズレるので、そのズレを光位置検出器5が検出
して対物レンズ23を反射ミラー22から遠ざけるよう
にL分だけ移動させる。従って、被計測物26の屈折率
が既知であれば、被計測物26の厚さを計算により知る
ことができる。つまり、被計測物26の厚さにより、対
物レンズ23の移動量Lが変化するので、この移動量L
から被計測物26の厚さを知ることができる。その他の
構成・作用効果は先の第1図〜第3図の基本構造と同様
に付き重複説明を省略する。 <第4実施例> 第8図及び第9図は本発明の第4実施例を示す図であ
る。この実施例では3組の光学系を同時に利用して、対
象物の傾斜度を調整するものである。 27はLSI(集積回路)などにおける対象物としての
ウエナで、このウエハ27へ露光処理を行う際には、ウ
エハ27を露光光学系に対して直角に設置する必要があ
る。そこで、3組の光学系28a〜28cの各結像点を
対象物表面29上の3つのポイント29a〜29cに設
定して、ウエハ27を0.1μの精度で直角に設置するこ
とができる。 つまり、一台のレーザ装置30から発生した1本の偏光
He−Neレーザ光線31からビームスプリッター3
2、33により2本の測定光束31b、31cを分岐さ
せ、3本の等しい測定光束31a〜31cにする。そし
て、ミラーM5、M6により測定光束31b、31cを
各々対応する光学系28b、28c内に入射させれば、
測定光束31a〜31c全部を対応する光学系28a〜
28c内へ各々入射させることができる。このように1
本の偏光He−Neレーザ光線31を3本に分岐できる
のも、偏光He−Neレーザ光線31の輝度が高いため
である。従って、ウエハ27の各々のポイント29a〜
29cへ結像点を合わせさえすれば、3組の光学系28
a〜28cと各ポイント29a〜29cとの距離が全て
等しくなるので、ウエハ27を完全な直角に設置するこ
とができる。その他の構成、作用効果は先の第1図〜第
3図の基本構造と同様に付き共通部分を同一符号で示し
重複説明を省略する。
的構造で、以下に本発明の詳細を実施例(利用例、実験
例)を示しつつ更に説明する。 <第1実施例> 上記第1図〜第3図で示した基本構造を有する非接触自
動位置合わせ装置を使用して、実際に位置合わせ精度そ
の他の性能を第1実施例として調べてみた。そして特に
この対象物3と対物レンズ6との間隔を大きく設定した
場合における位置合わせ精度を測定してみた。また、以
下の測定では対象物3として反射ミラーを採用し、対物
レンズ6と対象物3との間隔を60mmとし、対物レンズ
6は径が60mmのものを採用した。また、対物レンズ6
の倍率は5倍で、拡大レンズ9の倍率は6倍のものを使
用した。そして光位置検出器5としては半導体光位置検
出器(PSD)を採用した。この半導体光位置検出器
(PSD)は、画像上で走査を行なわずに入射光の位置
情報を含んだ信号を得ることができ、CCD、MOSな
どの固体撮像素子に比べて、より高い分解能を持ち高い
サンプリンググレードを得ることができるものである。
更に焦点合わせ機構4としては、サーボ回路によってモ
ータを駆動させる非常に動作スピードの速い「サーボ機
構」を採用した。そして、この焦点合わせ機構4は対象
物3としての反射ミラーへ接続してあり、レーザ装置2
からの測定光束が対象物3の結像点P1からズレた時、
即ち対象物3からの反射光が光位置検出器5の正規結像
点P3からズレた時に、この焦点合わせ機構4が作動
し、対象物3を位置合わせ合向へ移動させるものであ
る。 (a) 位置合わせ精度について: そして、その位置合わせ精度を調べるために、光位置検
出器5の出力(V)と対象物3の移動量(μ)との関係
を調べ、その結果を第4図に示した。この第4図から判
るように、出力(V)と移動量(μ)とは略リニアの関
係で、平均変化量が1.17μ/0.01Vという高い
精度を示すデータを得ることができた。このように高い
位置合わせ精度を得た1つの要因としては、測定光束と
して偏光He−Neレーザ光線を採用したことにあり、
他のレーザ光線に比べて光束が細いうえに集光スポット
が非常に小さくて、広がらないので、その分、光位置検
出器5での位置検出を高精度で行えるためである。この
偏光He−Neレーザ光線の集光スポットの径は対物レ
ンズの倍率により異なるが大体1μ〜100μ程度と非
常に小さいものである。 もう1つの要因としては、測定光束の変位を拡大レンズ
9で拡大する点にある。拡大レンズ9が測定光束の小さ
な変位も見逃がさずに正確に拡大し、その後で光位置検
出器5により位置検出するので高精度の位置検出を実現
できる。従って、対物レンズ6と対象物3との間隔が大
きく位置合わせ精度が低下しやすい状況でありながら高
精度の位置合わせを実現することができたのである。 (b) 位置合わせ精度について: 位置合わせされるまでの時間を測定してみたところ平均
10mmsecと非常に速いデータを得ることができた。
このことは、光位置検出器5として、画像走査を必要と
しない半導体光位置検出器(PSD)を採用したこと
と、焦点合わせ機構4として動作スピードの速いサーボ
機構を採用したことに起因すると思われる。通常のコン
ピユータ画像処理やCCDセンサーのデジタル処理が平
均0.5〜10secであるのに比べて処理時間を格段に
短縮することができた。 (c) 耐ノイズ性(測定の確実性)について: 装置の耐ノイズ性(測定の確実性)について、4つの実
験をしてみた。 第1に、偏光He−Neのレーザ光線の出力を大きくし
たり、発振器を大きくしたりして位置合わせ精度への影
響を調べてみたが、それらの操作が位置合わせ精度へ何
ら影響しないことを確認することができた。このこと
は、レーザ装置2を別置きし、発射された測定光束をミ
ラーM1、M2にて光学系1内に案内する構造としたこ
とに起因していると思われる。 第2に、対象物2を測定光束に対して多少傾斜させた状
態で位置合わせを行ってみたが、直角に設置した場合と
ほぼ同様な位置合わせ精度を得ることができた。表面8
での反射光束が少なくとも対物レンズ6にまで反射すれ
ば、高精度で位置合わせできることを確認した。 第3に、対象物表面の輝度分布(コントラスト)によっ
て位置合わせ精度が影響を受けないことも確認できた。
つまり、半導体光位置検出器(PSD)は検出した測定
光束のスポットの重心位置を出力するだけで、輝度分布
が変化しても影響を受けないためである。 第4に位置合わせ精度が、外部照明系(室内照明等)及
び対象物照明用の光源に対して影響を受けないことを確
認することもできた。このことは、測定ノイズとなり得
る偏光He−Neレーザ光線と同波長(6328Å付
近)の入射光を偏光フィルターPLにて遮断しているた
めである。 尚、この実施例において、光位置検出器5として半導体
光位置検出器(PSD)を採用したが、その他の光位置
検出器、例えばフォトダイオード(PD)その他を採用
してもほぼ同じ程度の結果を期待できる。また、「位置
合わせ機構」としての焦点合わせ機構4は、サーボ機構
を例としたが、サーボ機構と同程度の動作スピードを有
する機構であれば他のものを用いても同程度の効果を得
ることができる。 <第2実施例> 第5図は本発明の第2実施例で、本発明に係る非接触自
動位置合わせ装置を、顕微鏡の自動位置合わせ装置とし
て利用した例を示す図である。 この顕微鏡10は、対象物を上から照らす落射式照明
と、下から照らす透過式照明が可能である。まず落射式
照明における位置合わせについて説明する。落射照明ラ
ンプLP1から発せられた照明光束aは最初にコンデン
サレンズ11を通過し、光軸Yに沿った照明光束bとし
て集光される。この集光された照明光束bは、偏光He
−Neレーザ光線と同波長(6328Å付近)の光のみ
反射するレーザミラーm1、m2を経て、光軸Zと合流
し、落射照明ランプLP1のフィラメント像を対物レン
ズ12につくる。そして、対物レンズ12を通った照明
光束cは、対象物13の表面14における結像点p1付
近をムラなく照らす。次に、表面14にて反射した照明
光束dは、対物レンズ12、レーザミラーm2、双眼鏡
W、偏光フィルターpl4を経て結像点p2で結像す
る。この結像点p2にまで達する照明光束eは既にレー
ザミラーm1、m2を経ているので、波長が6238Å
付近の光はなく、後述する位置合わせ用の測定光束(偏
光He−Neレーザ光線)と干渉して誤差を生じさせた
りすることはない。 次に、測定光束路の説明をする。レーザ装置15から発
せられた測定光束としての偏光He−Neレーザ光線
は、まず平行な測定光束fとなってミラーM3で直角に
反射される。そしてそこで反射された測定光束gは次に
バローレンズ16を通過し、先の第1実施例と同様の測
定光束hとなる。そして、バローレンズ16を経た測定
光束hはレーザミラーm1にて反射され、落射照明の光
軸Yに合流する。そして合流した測定光束iは次にまた
別のレーザミラーm2にて反射され別の光軸Zに沿った
まま対物レンズ12で屈折・集光される。対物レンズ1
2を経た測定光束jは対象物13の表面14の結像p1
で測定光束kとなって反射され、そのまま先とは逆の方
向へ進みレーザミラーm2、m1にて反射された後、再
結像点p3で結像を結ぶ。そして再結像した後の測定光
束lは、拡大レンズ17、偏光フィルターpl1を経
て、光位置検出器としての半導体光位置検出器(PS
D)18の正規結像点p4に結像する。尚、以上の測定
光束路において測定光束は全てレーザミラーm1、m2
にて反射されるので、測定光束が双眼鏡Wの方向へ粉れ
込むことはなく、観察者の目19が偏光He−Neレー
ザー光線から保護されている。また、pl2は波長が6
328Å付近の光を透過しない偏光フィルターで、観察
者の目19を二重に保護するためのものである。更に、
20は位置合わせ機構としてのサーボ機構で、半導体光
位置検出器(PSD)18への測定光束の入射光スポッ
トが正規結像点p4からズレた際に対象物13を移動さ
せ、位置を合わせを行なうようになっている。 従って、この顕微鏡10は以上のような構造のため、レ
ーザ装置15から発せられた測定光束を必ず対象物13
の表面14上の結像点p1に合わせようと対物レンズ1
2が移動するので、この対物レンズ12を光学上兼用し
ている落射ランプLP1からの照明光束も対象物13の
表面14上へ自動的に位置合わせされ、従って顕微鏡1
0は常に対象物13に対して常に位置が合った状態とな
る。そしてこの顕微鏡10における位置合わせ精度のデ
ータをいろいろ条件を変えて測定したところ、0.1μ〜
2μ/0.01Vという高い位置合わせ精度を得ることが
できた。 また前述の如くこの顕微鏡10は、レーザミラーm1、
m2を採用したことにより、落射照明ランプLP1から
の照明光束中で、偏光He−Neレーザ光線と同波長
(6328Å付近)の照明光束が、そのHe−Neレー
ザ光線の測定光束路中へ粉れ込むことがないので、半導
体光位置検出器(PSD)18がノイズ影響を受けるこ
となく、高精度の位置合わせを割実に行なうことができ
る。 さて、次に対象物13を下から照らす透過式照明の場合
について説明する。透過式照明の場合も上記説明した落
射式照明の場合とほぼ同じである。透過式照明ランプL
P2から発せられた照明光束mは、コンデンサレンズ2
1にて屈折・集光した後ミラーM4にて直角に反射さ
れ、偏光フィルターpl3を経て対象物13を下側から
照らす。そして、対象物13を透過した照明光束nは、
対物レンズ12を経た後、落射式照明の場合と同じよう
にそのまま上方の結像点p2で結像する。また、対物レ
ンズ12を経た照明光束nのうち波長6328Å付近の
光はレーザミラーm2、m1にて各々反射された後、拡
大レンズ17、偏光フィルターPl1を経て半導体光位
置検出器(PSD)18へ入射しようとするが、偏光フ
ィルターpl1の位相を先の偏光フィルターpl3と変
えてあるので半導体光位置検出器(PSD)18まで達
せず、半導体光位置検出器(PSD)18のノイズとは
ならない。尚、偏光フィルターpl3と偏光フィルター
pl2、pl4の位相は同じにしてある。 <第3実施例> 第6図及び第7図は本発明の第3実施例を示す図であ
る。この実施例では本発明に係る非接触自動位置合わせ
装置を、非接触式の厚さ測定装置として利用するもので
ある。 装置全体の構造としては、先の第1図〜第3図に示した
ものと同じで、対象物として反射ミラー22を採用し、
位置合わせ機構は対物レンズ23と接続しておき、光位
置検出器からの位置信号により対物レンズ23を進退動
させるようになっている。 そしてこの装置では、まず最初に測定光束24の結像点
を反射ミラー22の表面25へ合わせておく(第6図参
照)。次に、反射ミラー22と対物レンズ23との間
に、光を透過する被計測物26を挿入する。すると、こ
の被計測物26を挿入することにより、測定光束24の
結像点がズレるので、そのズレを光位置検出器5が検出
して対物レンズ23を反射ミラー22から遠ざけるよう
にL分だけ移動させる。従って、被計測物26の屈折率
が既知であれば、被計測物26の厚さを計算により知る
ことができる。つまり、被計測物26の厚さにより、対
物レンズ23の移動量Lが変化するので、この移動量L
から被計測物26の厚さを知ることができる。その他の
構成・作用効果は先の第1図〜第3図の基本構造と同様
に付き重複説明を省略する。 <第4実施例> 第8図及び第9図は本発明の第4実施例を示す図であ
る。この実施例では3組の光学系を同時に利用して、対
象物の傾斜度を調整するものである。 27はLSI(集積回路)などにおける対象物としての
ウエナで、このウエハ27へ露光処理を行う際には、ウ
エハ27を露光光学系に対して直角に設置する必要があ
る。そこで、3組の光学系28a〜28cの各結像点を
対象物表面29上の3つのポイント29a〜29cに設
定して、ウエハ27を0.1μの精度で直角に設置するこ
とができる。 つまり、一台のレーザ装置30から発生した1本の偏光
He−Neレーザ光線31からビームスプリッター3
2、33により2本の測定光束31b、31cを分岐さ
せ、3本の等しい測定光束31a〜31cにする。そし
て、ミラーM5、M6により測定光束31b、31cを
各々対応する光学系28b、28c内に入射させれば、
測定光束31a〜31c全部を対応する光学系28a〜
28c内へ各々入射させることができる。このように1
本の偏光He−Neレーザ光線31を3本に分岐できる
のも、偏光He−Neレーザ光線31の輝度が高いため
である。従って、ウエハ27の各々のポイント29a〜
29cへ結像点を合わせさえすれば、3組の光学系28
a〜28cと各ポイント29a〜29cとの距離が全て
等しくなるので、ウエハ27を完全な直角に設置するこ
とができる。その他の構成、作用効果は先の第1図〜第
3図の基本構造と同様に付き共通部分を同一符号で示し
重複説明を省略する。
この発明に係る非接触自動位置合わせ装置は以上説明し
てきた如き内容のものなので、以下に示すような種々の
効果を奏することができる。 (ア) 測定光束して、集光スポットが小さくて広がら
ない偏光He−Neレーザー光線を採用したので、高い
位置合わせ精度を得ることができる。 (イ) 拡大レンズ測定光束の小さな変位も見逃さずに
正確な測定光束の拡大をするので、高精度の位置検出を
実現でき、対物レンズと対象物との間隔が大きく設定さ
れている場合であっても高精度の位置合わせを確実に行
うことができる。 (ウ) 測定光束の集光スポットを光位置検出器で検出
し、その位終置信号にて位置合わせ機構を作動させるよ
うにしたので、動作スピードの速いサーボ機構を位置合
わせ機構として用いることにより、位置合わせ速度の向
上を図ることができる。 (エ) 対象物の傾斜状態、測定光束の輝度(コントラ
スト)、外部照明、その他の影響を受けることなく常に
高精度で確実な位置合わせを行うことができる。 (オ) 偏光He−Neレーザ光線を所定の光束路に案
内するミラーを備えて、レーザ装置を光学ユニットとは
別置きにできるので、偏光He−Neレーザ光線の出力
を大きくしたり、又は発振器を大きくしたりしても位置
合わせ精度へ影響を与えたりすることはなく、更に、独
立して別置きできるので装置全体における設計上のの自
由度も大きくなる。 (カ) 偏光He−Neレーザー光線は赤色の目視可能
な光なので、計測中の照射状態をモニターすることがで
き、装置組立時のアライメントを正確に行うことができ
る。 (キ) バローレンズにより、測定光束を光軸上の正規
な再結像点と対物レンズの非中心点とを結ぶ線に沿った
方向へ導いているため、測定光束が対物レンズの焦点距
離よりも遠い位置で結像すると共に、対象物で反射して
から得られる再結像点も、対物レンズの焦点距離よりも
遠い位置で形成される。従って、再結像点においてて、
測定光束と光軸との成す角度が小さくなるので、再結像
点を拡大する拡大レンズのサイズが小さくして済む。 (ク) 対象物を反射ミラーにして固定し、対物レンズ
を位置々合わせのために移動させるようにすれば、その
対物レンズの移動により、対象物と対物レンズとの間に
挿入した被計測物の厚さを非接触で測定することができ
る。 (ケ) 偏光He−Neレーザ光線は輝度が高いので、
複数本の光線に分岐することが可能で、その分岐した測
定光束の各々を対象物へ位置合わせすることにより対象
物の傾斜度調整を行うことができる。
てきた如き内容のものなので、以下に示すような種々の
効果を奏することができる。 (ア) 測定光束して、集光スポットが小さくて広がら
ない偏光He−Neレーザー光線を採用したので、高い
位置合わせ精度を得ることができる。 (イ) 拡大レンズ測定光束の小さな変位も見逃さずに
正確な測定光束の拡大をするので、高精度の位置検出を
実現でき、対物レンズと対象物との間隔が大きく設定さ
れている場合であっても高精度の位置合わせを確実に行
うことができる。 (ウ) 測定光束の集光スポットを光位置検出器で検出
し、その位終置信号にて位置合わせ機構を作動させるよ
うにしたので、動作スピードの速いサーボ機構を位置合
わせ機構として用いることにより、位置合わせ速度の向
上を図ることができる。 (エ) 対象物の傾斜状態、測定光束の輝度(コントラ
スト)、外部照明、その他の影響を受けることなく常に
高精度で確実な位置合わせを行うことができる。 (オ) 偏光He−Neレーザ光線を所定の光束路に案
内するミラーを備えて、レーザ装置を光学ユニットとは
別置きにできるので、偏光He−Neレーザ光線の出力
を大きくしたり、又は発振器を大きくしたりしても位置
合わせ精度へ影響を与えたりすることはなく、更に、独
立して別置きできるので装置全体における設計上のの自
由度も大きくなる。 (カ) 偏光He−Neレーザー光線は赤色の目視可能
な光なので、計測中の照射状態をモニターすることがで
き、装置組立時のアライメントを正確に行うことができ
る。 (キ) バローレンズにより、測定光束を光軸上の正規
な再結像点と対物レンズの非中心点とを結ぶ線に沿った
方向へ導いているため、測定光束が対物レンズの焦点距
離よりも遠い位置で結像すると共に、対象物で反射して
から得られる再結像点も、対物レンズの焦点距離よりも
遠い位置で形成される。従って、再結像点においてて、
測定光束と光軸との成す角度が小さくなるので、再結像
点を拡大する拡大レンズのサイズが小さくして済む。 (ク) 対象物を反射ミラーにして固定し、対物レンズ
を位置々合わせのために移動させるようにすれば、その
対物レンズの移動により、対象物と対物レンズとの間に
挿入した被計測物の厚さを非接触で測定することができ
る。 (ケ) 偏光He−Neレーザ光線は輝度が高いので、
複数本の光線に分岐することが可能で、その分岐した測
定光束の各々を対象物へ位置合わせすることにより対象
物の傾斜度調整を行うことができる。
第1図は位置が合っている状態を示す本発明の基本構造
を表す概略図、 第2図は対象物が対物レンズ側へズレた状態を示す第1
図相当の概略図、 第3図は対象物が反対物レンズ側へズレた状態を示す第
1図相当の概略図、 第4図は本発明の第1実施例を示す、光位置検出器の出
力と対象物の移動量とを表すグラフ、 第5図は本発明の第2実施例を示す図で、非接触自動位
置合わせ装置を顕微鏡の自動位置合わせ装置として組合
わせた例を示す説明図、 第6図及び第7図は各々本発明の第3実施例を示す図
で、非接触自動位置合わせ装置を非接触の厚さ測定装置
として利用する例を示す説明図、そして 第8図及び第9図は各々本発明の第4実施例を示す図
で、非接触自動位置合わせ装置を対象物の傾斜度調整装
置として利用した例を示す説明図である。 1、28a〜29c……光学系 2、15、30……レーザ装置 3、13、22、27……対象物 4、20……焦点合わせ機構(位置合わせ機構) 5、18……光位置検出器 6、12……対物レンズ 7、16……バローレンズ 8、14、25、29……対象物の表面 9、17……拡大レンズ PL、pl1……偏光フィルター X……対物レンズの非中心点と正規の再結像点を結んだ
線 M1〜M6……ミラー
を表す概略図、 第2図は対象物が対物レンズ側へズレた状態を示す第1
図相当の概略図、 第3図は対象物が反対物レンズ側へズレた状態を示す第
1図相当の概略図、 第4図は本発明の第1実施例を示す、光位置検出器の出
力と対象物の移動量とを表すグラフ、 第5図は本発明の第2実施例を示す図で、非接触自動位
置合わせ装置を顕微鏡の自動位置合わせ装置として組合
わせた例を示す説明図、 第6図及び第7図は各々本発明の第3実施例を示す図
で、非接触自動位置合わせ装置を非接触の厚さ測定装置
として利用する例を示す説明図、そして 第8図及び第9図は各々本発明の第4実施例を示す図
で、非接触自動位置合わせ装置を対象物の傾斜度調整装
置として利用した例を示す説明図である。 1、28a〜29c……光学系 2、15、30……レーザ装置 3、13、22、27……対象物 4、20……焦点合わせ機構(位置合わせ機構) 5、18……光位置検出器 6、12……対物レンズ 7、16……バローレンズ 8、14、25、29……対象物の表面 9、17……拡大レンズ PL、pl1……偏光フィルター X……対物レンズの非中心点と正規の再結像点を結んだ
線 M1〜M6……ミラー
Claims (1)
- 【請求項1】偏光He−Neレーザ光線を細い測定光束
として発するレーザ装置2と、 発せられた測定光束を光学系1内の光軸αと平行な所定
光束路へ案内するミラーM1、M2と、 案内された測定光束を光軸α上の正規な再結像点P2と
対物レンズ6の非中心点とを結ぶ線Xに沿った方向へ導
き、該測定光束を対象物3の表面8に結像させるための
凹型のバローレンズ7と、 バローレンズ7から導かれた測定光束及び対象物3の表
面8より反射された測定光束が、それぞれ非中心点を透
過する対物レンズ6と、 光学系1の光軸α上に位置しており、対象物3の表面8
より反射された測定光束の対物レンズ6による再結像
を、拡大レンズ9を介して受光する光位置検出器5と、 位相が偏光He−Neレーザ光線と同じで且つ光位置検
出器5の直前位置に配された偏光フィルターPLと、 該光位置検出器5からの位置信号にて測定光束を対象物
3の表面8の光軸α上に自動的に結像させる位置合わせ
機構4と、 から成ることを特徴とする非接触自動位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60214773A JPH0617934B2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 非接触自動位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60214773A JPH0617934B2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 非接触自動位置合わせ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6275411A JPS6275411A (ja) | 1987-04-07 |
JPH0617934B2 true JPH0617934B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=16661296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60214773A Expired - Lifetime JPH0617934B2 (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 非接触自動位置合わせ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0617934B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3923945B2 (ja) | 2004-01-13 | 2007-06-06 | 三鷹光器株式会社 | 非接触表面形状測定方法 |
SG176579A1 (en) * | 2009-05-19 | 2012-01-30 | Bionano Genomics Inc | Devices and methods for dynamic determination of sample position and orientation and dynamic repositioning |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5827888B2 (ja) * | 1976-06-29 | 1983-06-13 | 日本ビクター株式会社 | 光ビ−ムのフオ−カスサ−ボ方式 |
JPS5327003A (en) * | 1976-08-26 | 1978-03-13 | Toshiba Corp | Optical informati on reader |
JPS561112A (en) * | 1979-06-20 | 1981-01-08 | Mutoh Ind Ltd | Brake operating apparatus for drawing standard |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP60214773A patent/JPH0617934B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6275411A (ja) | 1987-04-07 |
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