JPH06176417A - Magneto-optical recording medium for adjustment and adjustment method for magneto-optical recording device of magnetic field modulation system - Google Patents
Magneto-optical recording medium for adjustment and adjustment method for magneto-optical recording device of magnetic field modulation systemInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体に光ビ
ームを照射し磁界を印加することにより情報の記録を行
なう光磁気記録装置の磁界印加部の調整に用いられる磁
界調整用ディスクとこれを用いた調整方法および光ディ
スクまたは光磁気ディスクに書き込まれた情報を読み取
るための光ヘッドの検査用ディスクとこれを用いた検査
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic field adjusting disk used for adjusting a magnetic field applying section of a magneto-optical recording device for recording information by irradiating a magneto-optical recording medium with a light beam and applying a magnetic field. The present invention relates to an adjusting method using the same, an optical head inspection disk for reading information written on an optical disk or a magneto-optical disk, and an inspection method using the disk.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、情報記録装置として大容量化可能
な光ディスク、特に、記録再生可能な光磁気ディスクが
製品化され各方面において種々の使用がされている。2. Description of the Related Art In recent years, as an information recording apparatus, an optical disk capable of increasing the capacity, particularly a magneto-optical disk capable of recording and reproducing, has been commercialized and used in various fields.
【0003】従来、磁界変調方式の光磁気記録装置にお
ける磁界変調ヘッドと光学ヘッドの相対的位置合せは組
立て精度に依存するものとされ、磁界強度の調整はガウ
スメーターを用いて行なわれていた。Conventionally, the relative alignment between the magnetic field modulation head and the optical head in a magnetic field modulation type magneto-optical recording device depends on the assembling accuracy, and the magnetic field intensity is adjusted using a Gauss meter.
【0004】また、光磁気ディスクはディスク記録層と
して磁性層を用い、記録情報をこの磁性層上に磁化の方
向として保持させ、読み出し時に直線偏光のレーザー光
をこの記録層に照射し、反射光の偏光方向が、記録層の
照射部の磁化の向きにより回転する現象(カー効果)を
利用し、情報を読み出すものである。このため、光磁気
ディスク読み出し用の光ヘッドは偏光検出光学系が構成
されている。Further, a magneto-optical disk uses a magnetic layer as a disk recording layer, holds recorded information in the direction of magnetization on this magnetic layer, and irradiates a linearly polarized laser beam on this recording layer at the time of reading to reflect light. The information is read out by utilizing the phenomenon (Kerr effect) in which the polarization direction of (3) rotates depending on the magnetization direction of the irradiation portion of the recording layer. Therefore, the optical head for reading out the magneto-optical disk has a polarization detecting optical system.
【0005】ところで、この様に偏光検出を行っている
ため、光磁気ディスクの読み取りヘッド内の光学部品の
偏光特性に差が生じている場合、特に、2偏光成分に位
相の差が生じていたり、光磁気ディスクに位相差を生じ
させる原因がある場合には光ヘッドからの再生信号が変
化してしまう。より具体的にいえば光ディスクの基板と
して多く使用されるPC(ポリカーボネイト)は複屈折
を持つことが知られており、この複屈折により、読み取
り用の反射光は偏光状態、特に位相差に信号再生上有害
な外乱を受ける。また、光ヘッド内には小型、軽量性を
得るためにいくつかの反射部が設けられるが、この部分
の反射によっても偏光状態(位相差)に有害な外乱をう
けている。この光ヘッドとディスクの各々の位相差の組
合せによって読み取り信号の向きが変化する。このこと
を防ぐため、光磁気ディスクシステムでは光ヘッドとデ
ィスクの各々で偏光成分位相差の管理を行う必要があ
る。光ヘッドの位相差はヘッドを構成する各光学部品の
位相差を測定することにより知ることができる。By the way, since the polarization detection is performed in this way, when there is a difference in the polarization characteristics of the optical components in the read head of the magneto-optical disk, especially, there is a phase difference between the two polarization components. If there is a cause for causing a phase difference in the magneto-optical disk, the reproduction signal from the optical head will change. More specifically, it is known that PC (polycarbonate), which is often used as a substrate for optical discs, has birefringence. Due to this birefringence, reflected light for reading has a polarization state, especially a signal reproduction in a phase difference. Receive a harmful disturbance. Further, some reflection parts are provided in the optical head in order to obtain small size and light weight, but the reflection at these parts also causes harmful disturbance to the polarization state (phase difference). The direction of the read signal changes depending on the combination of the phase differences of the optical head and the disk. In order to prevent this, in the magneto-optical disk system, it is necessary to manage the polarization component phase difference in each of the optical head and the disk. The phase difference of the optical head can be known by measuring the phase difference of each optical component forming the head.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来例のう
ち、磁界変調方式の光磁気記録装置の磁界強度の調整を
ガウスメーターを用いて行う方法は、磁界変調ヘッドの
磁界発生領域がある程度大きな場合においてのみ適用で
きる方法である。調整を迅速に行うために磁界変調を高
周波で駆動すると、磁界発生領域が小さくなってしまう
ため、以下に記すような問題があり、調整迅速化の妨げ
となっている。Among the above-mentioned conventional examples, the method of adjusting the magnetic field strength of a magnetic field modulation type magneto-optical recording apparatus using a Gauss meter is used when the magnetic field generation area of the magnetic field modulation head is large to some extent. This method can be applied only in. If the magnetic field modulation is driven at a high frequency in order to perform the adjustment quickly, the magnetic field generation area becomes small, which causes the following problems, which hinders the adjustment to be speeded up.
【0007】(1)磁界変調ヘッドの組立精度には限界
があり、また、直接位置の確認をするのではないので磁
界発生領域が小さくなった分歩留りが悪化する。(1) There is a limit to the assembly accuracy of the magnetic field modulation head, and since the position is not checked directly, the yield is deteriorated due to the smaller magnetic field generation area.
【0008】(2)ガウスメーターのセンサー面積に対
し、磁界発生領域が十分大きくないと測定位置により測
定値が変動して正しく調整できない。(2) If the magnetic field generation area is not sufficiently large with respect to the sensor area of the Gauss meter, the measured value will fluctuate depending on the measuring position, and correct adjustment will not be possible.
【0009】これらの各問題点を解決するための調整方
法として、以下に記すような方法が用いられている。The following method is used as an adjusting method for solving each of these problems.
【0010】(I)位置調整方法 通常の光磁気記録媒体を用いてX−Y方向に一定の割合
で磁界変調ヘッドを光学ヘッドに対して相対的に移動さ
せて磁界変調記録・再生・消去の3つの作業を行い、こ
のときに得られる再生信号のCN比のマップを見て一定
のCN比が得られる領域の中心に磁界変調ヘッドを移動
させる。(I) Position adjusting method Using a conventional magneto-optical recording medium, the magnetic field modulation head is moved in the XY directions at a constant rate relative to the optical head to perform magnetic field modulation recording / reproduction / erasing. Three operations are performed, and the magnetic field modulation head is moved to the center of the region where a constant CN ratio is obtained by looking at the map of the CN ratio of the reproduced signal obtained at this time.
【0011】(II)磁界強度調整方法 予め、調整に用いる光磁気記録媒体を磁界発生領域の広
い磁界強度がわかっているバイアスマグネットコイル
(これはガウスメータで校正したもの)を用いて光変調
方式による磁界強度のCN比のデータを取っておき、調
整する磁界変調ヘッドをDC駆動させて同じ光磁気記録
媒体を光変調方式で記録再生を行ない、前述のCN比デ
ータとの比較を行なうことで磁界変調ヘッドの発生磁界
の校正をする。(II) Method of adjusting magnetic field strength The magneto-optical recording medium used for the adjustment is adjusted by an optical modulation method using a bias magnet coil (this is calibrated with a Gauss meter) whose magnetic field strength in a wide magnetic field generation region is known. Data of the CN ratio of the magnetic field strength is saved, the magnetic field modulation head to be adjusted is driven by DC, the same magneto-optical recording medium is recorded / reproduced by the optical modulation method, and the magnetic field modulation head is compared with the above-mentioned CN ratio data. Calibrate the magnetic field generated by.
【0012】しかし、これらの方法を用いても位置精度
に限界があることや、調整に大幅に時間がかかってしま
うことから実用的とは言えなかった。However, even if these methods are used, there is a limit to the positional accuracy and it takes much time for the adjustment, so that it is not practical.
【0013】そこで、直接磁界変調での記録過程を記録
時の反射光を見ることにより、磁界変調ヘッドが記録ビ
ームスポットの上にいるかどうかの判別を通常の光磁気
記録媒体を用いて試みた。このときの記録はキュリー温
度近傍での記録となるが、キュリー温度ではカー回転角
が0となるので十分な光磁気信号が得られなかった。ま
た、通常の光磁気記録媒体はピット保存性を高めるため
キュリー温度以下では保磁力が急激に大きくなり、キュ
リー温度より低くなる記録パワーでは磁化反転そのもの
が起こらないため、通常用いられる光磁気記録媒体で判
別することが困難であることが判った。Therefore, an attempt was made to determine whether or not the magnetic field modulation head is located above the recording beam spot by using a normal magneto-optical recording medium by observing the reflected light during recording in the recording process by direct magnetic field modulation. The recording at this time is recording in the vicinity of the Curie temperature, but at the Curie temperature, the Kerr rotation angle becomes 0, so that a sufficient magneto-optical signal could not be obtained. In addition, in a normal magneto-optical recording medium, the coercive force rapidly increases below the Curie temperature in order to improve the pit storage property, and the magnetization reversal itself does not occur at a recording power lower than the Curie temperature. It was found that it was difficult to determine with.
【0014】一方、光ヘッドと光ディスクの各々で偏光
成分位相差の管理を行う光磁気ディスクシステムにおい
ては、以下に記すような問題点がある。On the other hand, the magneto-optical disk system which manages the polarization component phase difference in each of the optical head and the optical disk has the following problems.
【0015】一般に光学部品の位相差はエリプソメータ
等の測定機により測定することが可能であるが、光ヘッ
ドのような複雑な構成をもつ光学器に対しては通常のエ
リプソメータ等の使用は困難であり、非常に特殊な測定
機を使用しなければならない。Generally, the phase difference of optical components can be measured by a measuring instrument such as an ellipsometer, but it is difficult to use a usual ellipsometer for an optical device having a complicated structure such as an optical head. Yes, you have to use very specific measuring equipment.
【0016】光ヘッドを構成する各光学部品の位相差測
定を行ない、組上げ後の光ヘッドの位相差を推定するこ
とは可能であるが、必要とされる位相差は組合された全
体のものであり、これを得るためには、 (A)各部の位相差を最悪と見込んで設定管理するの
は、各部品に対する不当に高い要求を設定することにな
り、歩留りを低下させることになる。It is possible to measure the phase difference of each optical component constituting the optical head and estimate the phase difference of the assembled optical head, but the required phase difference is the combined total. In order to obtain this, (A) If setting and managing the phase difference of each part in anticipation of the worst, setting an unreasonably high demand for each part will reduce the yield.
【0017】(B)各部の位相差の組合せより全体の位
相差を管理するには各部品の位相差管理が必要となる。(B) In order to manage the overall phase difference from the combination of the phase differences of each part, it is necessary to manage the phase difference of each component.
【0018】これらから光ヘッド全体の位相差を検査す
る簡便な方法が必要となる。また、この様な光ヘッド全
体の位相差を検査する方法は、ディスク出荷用の検査用
光ヘッドについて、その光ヘッドの性能を保証するため
にも必要となる。From these, a simple method for inspecting the phase difference of the entire optical head is required. Further, such a method of inspecting the phase difference of the entire optical head is also necessary for the inspection optical head for shipping the disk in order to guarantee the performance of the optical head.
【0019】この様な検査の簡便な方法として、位相差
が既知の数種の検査用ディスクを被検査用光ヘッドにか
け、これらのディスクより得られる光磁気信号を比較す
ることにより、光ヘッドの位相差を推定する方法が考え
られる。As a simple method for such an inspection, several kinds of disks for inspection having known phase differences are applied to the optical heads to be inspected, and the magneto-optical signals obtained from these disks are compared to determine the optical head. A method of estimating the phase difference can be considered.
【0020】しかしながら、上記の方法では数種の検査
用ディスクを用いる煩雑さを伴うのみならず、ディスク
の位相差自体が場所によって多少の分布をもつことから
の不確定さを含むという問題点がある。特に通常の案内
溝を有するディスクの位相差を測定することは、通常の
エリプソメータを用いては困難で、測定値の信頼性が低
いものとなってしまう。However, the above method is not only complicated with the use of several kinds of inspection disks, but also has the problem that the phase difference of the disks includes some uncertainty depending on the location. is there. Particularly, it is difficult to measure the phase difference of a disk having a normal guide groove using a normal ellipsometer, and the reliability of the measured value becomes low.
【0021】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、磁界変調ヘッ
ドの位置および磁界強度調整を短時間に行うことのでき
る方法を実現することを目的とする。The present invention has been made in view of the problems of the above-described conventional technique, and it is an object of the present invention to realize a method capable of adjusting the position of the magnetic field modulation head and the magnetic field strength in a short time. To aim.
【0022】本発明の他の目的は、光ヘッド全体の位相
差検査を簡単に行うことのできる方法および装置を実現
することにある。Another object of the present invention is to realize a method and apparatus which can easily carry out phase difference inspection of the entire optical head.
【0023】[0023]
【課題を解決するための手段】本発明の磁界変調方式光
磁気記録装置の調整用光磁気記録媒体は、磁界印加部と
光学ヘッドとを備えた磁界変調方式光磁気記録装置で磁
界印加部の光学ヘッドに対する位置および磁界強度の調
整を行う際に用いられる調整用光磁気記録媒体であっ
て、磁界変調方式光磁気記録装置により光ビームが照射
された部分の媒体の温度が、媒体のキュリー温度より十
分手前となり、その温度における保磁力は磁界印加部が
印加する磁界強度より十分小さな層を記録層に持つ。An adjusting magneto-optical recording medium of a magnetic field modulation type magneto-optical recording apparatus of the present invention is a magnetic field modulation type magneto-optical recording apparatus including a magnetic field applying section and an optical head. An adjusting magneto-optical recording medium used when adjusting a position and a magnetic field strength with respect to an optical head, wherein the temperature of the medium irradiated with a light beam by a magnetic field modulation type magneto-optical recording device is the Curie temperature of the medium. The recording layer has a layer that has a coercive force sufficiently lower than the magnetic field strength applied by the magnetic field applying unit.
【0024】この場合、記録層の保磁力が非常に小さ
く、調整しようとする磁界強度の範囲では磁化が飽和せ
ずにほぼ比例関係になるものを用いてもよい。In this case, it is possible to use one in which the coercive force of the recording layer is very small, and the magnetization does not saturate in the range of the magnetic field strength to be adjusted and has a substantially proportional relationship.
【0025】上記のような光磁気記録媒体を用いた調整
方法として、光ビームを調整用光磁気記録媒体に照射し
たときの光磁気信号を参照して磁界印加部と光学ヘッド
の相対的な位置合わせを行い、この後、光磁気信号の振
幅が飽和するように磁界印加部の磁界強度を変化させて
もよい。As an adjusting method using the above-described magneto-optical recording medium, the relative position between the magnetic field applying section and the optical head is referred to by referring to the magneto-optical signal when the light beam is applied to the adjusting magneto-optical recording medium. The magnetic field strength of the magnetic field applying unit may be changed so that the amplitude of the magneto-optical signal is saturated.
【0026】本発明の第2の構成による光ヘッド検査用
ディスクは、複屈折を持たない基板と、基板上に設けら
れた少なくとも1つの磁性層を含む光磁気記録層と、光
磁気記録層と基板を挟んだ反対側に設けられた複屈折を
有する光学層とを具備し、光学層に複屈折率の半径分布
が概知のものが用いられている。An optical head inspection disk according to the second structure of the present invention comprises a substrate having no birefringence, a magneto-optical recording layer including at least one magnetic layer provided on the substrate, and a magneto-optical recording layer. An optical layer having a birefringence provided on the opposite side of the substrate is used, and an optical layer whose birefringence index radius distribution is generally known is used.
【0027】この場合、光学層の複屈折の半径分布が予
め測定可能なように構成してもよい。In this case, the radius distribution of the birefringence of the optical layer may be measured in advance.
【0028】また、光学層が光学結晶より構成されても
よい。The optical layer may be composed of an optical crystal.
【0029】また、光学層の複屈折の軸の少なくとも1
つは半径方向を向き、複屈折は半径方向に変化するよう
に構成されてもよい。At least one of the axes of birefringence of the optical layer is
One may be oriented radially and the birefringence may be arranged to change radially.
【0030】上記のような光ヘッド検査用ディスクを用
いた光ヘッド検査法として、半径の異なる2点での再生
光磁気信号の振幅より光ヘッドの位相差を求めてもよ
い。As an optical head inspection method using the optical head inspection disk as described above, the phase difference of the optical head may be obtained from the amplitudes of the reproduced magneto-optical signals at two points having different radii.
【0031】光ヘッド検査用ディスクは、光学層の複屈
折の軸の少なくとも1つがディスク全域で同一方向を向
いているように構成してもよく、このような光ヘッド検
査用ディスクを用いた光ヘッド検査法として、ディスク
回転に対する再生光磁気信号の振幅変化より光ヘッドの
位相を検出してもよい。The optical head inspection disk may be constructed such that at least one of the birefringent axes of the optical layers is oriented in the same direction over the entire area of the optical disk. As a head inspection method, the phase of the optical head may be detected from the change in the amplitude of the reproduced magneto-optical signal with respect to the rotation of the disk.
【0032】さらには、ディスク回転に同期させ、かつ
ディスク回転の1/2周期をもつ再生光磁気信号振幅
と、再生光磁気振幅の直流成分より光ヘッドの位相差を
検出してもよい。Further, the phase difference of the optical head may be detected from the reproduction magneto-optical signal amplitude having a half cycle of the disk rotation in synchronization with the disk rotation and the DC component of the reproduction magneto-optical amplitude.
【0033】[0033]
【作用】本発明によればキュリー温度より十分に低い温
度において磁界変調ヘッドが加える磁界より保磁力が小
さい光磁気記録媒体を用いることで、光磁気信号が十分
に出る温度(レーザーパワー)で磁界変調ヘッドが加え
る磁界に応じて磁化反転するため磁界変調ヘッドと光学
ヘッドの相対位置調整が光磁気信号をモニターしながら
ダイレクトに行える。また、調整時の温度における磁化
が飽和する磁界強度を調整しようとする磁界強度になる
よう作製した光磁気記録媒体を用いれば、磁界変調ヘッ
ドの位置調整をした後にモニターしている光磁気信号が
飽和しはじめる所に磁界変調ヘッドの設定をすれば磁界
強度の調整も直接可能である。According to the present invention, by using a magneto-optical recording medium having a coercive force smaller than the magnetic field applied by the magnetic field modulation head at a temperature sufficiently lower than the Curie temperature, the magnetic field is generated at a temperature (laser power) at which a magneto-optical signal is sufficiently generated. Since the magnetization is inverted according to the magnetic field applied by the modulation head, the relative position of the magnetic field modulation head and the optical head can be adjusted directly while monitoring the magneto-optical signal. Further, if a magneto-optical recording medium manufactured so as to have a magnetic field strength for which the magnetic field strength at which the magnetization at the temperature during adjustment is saturated is adjusted, the magneto-optical signal monitored after the position adjustment of the magnetic field modulation head is The magnetic field strength can be adjusted directly by setting the magnetic field modulation head at the point where saturation begins.
【0034】さらに、保磁力が非常に小さくほとんど0
で調整しようとする磁界強度の範囲で磁化が飽和せずに
ほぼ比例関係になる層を持った光磁気記録媒体を用いた
場合には、磁界強度と光磁気信号出力が比例関係となる
ために位置調整をより正確に行え、磁界強度の調整は前
述の様に1点ではなく予め磁界強度と光磁気信号出力と
の関係をとっておくことで任意の磁界強度の値に磁界変
調ヘッドの出力を調整できる。さらに、磁界変調ヘッド
の発生磁界強度分布も測定することができる。この様に
保磁力を小さく印加磁界に対し磁化が比例関係にするに
は、異方性エネルギーが非常に小さなGd等を含み飽和
磁化の大きな材料を用いることで達成できる。Further, the coercive force is very small and almost zero.
When using a magneto-optical recording medium having a layer in which the magnetization does not saturate in the range of the magnetic field strength to be adjusted and is almost proportional, the magnetic field strength and the magneto-optical signal output have a proportional relationship. The position can be adjusted more accurately, and the magnetic field intensity can be adjusted to an arbitrary value of the magnetic field intensity by establishing the relationship between the magnetic field intensity and the magneto-optical signal output in advance instead of one point as described above. Can be adjusted. Further, it is possible to measure the generated magnetic field intensity distribution of the magnetic field modulation head. In order to make the coercive force small and the magnetization proportional to the applied magnetic field as described above, it is possible to use a material having a large saturation magnetization including Gd or the like having an extremely small anisotropy energy.
【0035】[0035]
【実施例】以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に
説明する。EXAMPLES The present invention will be described more specifically below with reference to examples.
【0036】[実施例1−1]光学的案内溝をもつポリ
カーボネート基板上にキュリー温度が170℃であり、
かつ、110℃での保磁力が300Oe以下のTbFe
Co膜を窒化シリコン保護膜でサンドイッチしてさらに
Al膜を形成した調整用光磁気記録媒体を用いて波長7
80nm、NA(開口数)0.55、発生磁界±300
Oe以上(1MHz)の磁界変調駆動装置をレーザーパ
ワー2.5mW、線速7.0m/secで磁界変調ヘッ
ド位置調整を行った。[Example 1-1] The Curie temperature was 170 ° C on a polycarbonate substrate having an optical guide groove,
Also, TbFe having a coercive force of 300 Oe or less at 110 ° C.
Using a magneto-optical recording medium for adjustment in which a Co film is sandwiched by a silicon nitride protective film and an Al film is further formed, a wavelength of 7
80 nm, NA (numerical aperture) 0.55, generated magnetic field ± 300
The position of the magnetic field modulation head of the magnetic field modulation driving device of Oe or higher (1 MHz) was adjusted at a laser power of 2.5 mW and a linear velocity of 7.0 m / sec.
【0037】図1は本実施例で用いた調整用光磁気記録
媒体の保磁力の温度特性を示す図である。図中、1はT
bFeCo膜の保磁力の温度依存曲線を、2は磁界変調
ヘッドの印加磁界強度を、3は室温(25℃)を、4は
TbFeCo膜のキュリー温度(170℃)をそれぞれ
示している。FIG. 1 is a graph showing temperature characteristics of coercive force of the adjusting magneto-optical recording medium used in this example. In the figure, 1 is T
The temperature dependence curve of the coercive force of the bFeCo film is shown by 2, the applied magnetic field strength of the magnetic field modulation head, 3 at room temperature (25 ° C.), and 4 at the Curie temperature (170 ° C.) of the TbFeCo film.
【0038】前述の条件下では媒体上のレーザースポッ
トでは温度が110℃付近となるため磁界変調ヘッドが
レーザースポット上に来るとその部分の保磁力は300
Oe以下であり、かつ、キュリー温度より十分手前であ
るので磁化反転が起こり、また、光磁気信号も観察でき
る。これにより磁界変調ヘッドと光学ヘッドの相対的な
位置合せが容易に行える。さらに、位置合せの後に磁界
変調ヘッドの磁界強度を変化させて光磁気信号振幅が飽
和する所に調整すれば前述の調整用光磁気記録媒体の約
110℃付近での磁化が飽和する磁界強度(予め測定し
ておく)に磁界変調ヘッドを調整できる。Under the above-mentioned conditions, the temperature of the laser spot on the medium is around 110 ° C. Therefore, when the magnetic field modulation head comes over the laser spot, the coercive force of that portion is 300.
Since it is less than Oe and well before the Curie temperature, magnetization reversal occurs, and a magneto-optical signal can be observed. This facilitates relative alignment between the magnetic field modulation head and the optical head. Furthermore, if the magnetic field intensity of the magnetic field modulation head is changed after alignment to adjust to a position where the magneto-optical signal amplitude is saturated, the magnetic field intensity at which the magnetization of the adjusting magneto-optical recording medium is saturated at about 110 ° C. ( The magnetic field modulation head can be adjusted (measured in advance).
【0039】[実施例1−2]光学的案内溝をもつポリ
カーボネート基板上に、キュリー温度が170℃のTb
FeCo膜とキュリー温度が350℃で単層では室温で
も保磁力が小さなGdFeCo膜を積層した交換結合二
層膜を窒化シリコン保護膜でサンドイッチし、さらにA
l膜を形成した。このような調整用光磁気記録媒体は、
TbFeCo膜のキュリー温度以上である180℃での
GdFeCo膜の保磁力は交換結合していないために非
常に小さく50Oe付近である。この媒体を用いて実施
例1−1と同じ磁界変調駆動装置をレーザーパワー6m
W、線速7.0m/secで磁界変調ヘッド位置調整を
行った。[Embodiment 1-2] Tb having a Curie temperature of 170 ° C. on a polycarbonate substrate having an optical guide groove.
An exchange-coupling two-layer film in which a FeCo film and a GdFeCo film having a Curie temperature of 350 ° C. and a single layer having a small coercive force even at room temperature are laminated is sandwiched by a silicon nitride protective film, and
1 film was formed. Such an adjusting magneto-optical recording medium is
The coercive force of the GdFeCo film at 180 ° C., which is higher than the Curie temperature of the TbFeCo film, is very small because it is not exchange-coupled and is around 50 Oe. Using this medium, the same magnetic field modulation driving device as in Example 1-1 was used with a laser power of 6 m.
The magnetic field modulation head position was adjusted at W and a linear velocity of 7.0 m / sec.
【0040】図2は本実施例で用いた調整用光磁気記録
媒体の保磁力の温度特性を示す図である。図中、2は磁
界変調ヘッドの印加磁界強度を、5は調整用光磁気記録
媒体の保磁力の温度依存曲線を、6はGdFeCo膜の
キュリー温度(350℃)をそれぞれ示している。FIG. 2 is a graph showing temperature characteristics of coercive force of the adjusting magneto-optical recording medium used in this example. In the figure, 2 is the applied magnetic field intensity of the magnetic field modulation head, 5 is the temperature dependence curve of the coercive force of the adjusting magneto-optical recording medium, and 6 is the Curie temperature (350 ° C.) of the GdFeCo film.
【0041】前述の条件下では媒体上のレーザースポッ
トでは温度が180℃付近となるために磁界変調ヘッド
がレーザースポット上に来るとその部分の保磁力が30
Oe以下(50Oe)となり、かつ、キュリー温度より
十分手前(TbFeCo膜のキュリー温度以上であるの
でGdFeCo膜単膜の特性となる)であるので磁化反
転が起こりかつ光磁気信号も観察できる。これにより磁
界変調ヘッドと光学ヘッドの相対的な位置合せが容易に
行える。また[実施例1−1]と同様に磁界強度の調整
も行える。しかし、[実施例1−1]は媒体上の温度の
変化(レーザーパワーの変動含む)によって保磁力が大
きく変動してしまう上に室温での保磁力も小さくしなけ
ればならないのでピット保存性が悪い。このため、この
媒体を通常の光磁気記録媒体として流用することはでき
ない。これに対し、本実施例の媒体はGdFeCo膜の
キュリー温度が高く保磁力が小さいため調整時の温度変
化に強く、室温における保磁力を高くすることができる
のでこの媒体を通常の光磁気記録媒体として流用でき
る。Under the above-mentioned conditions, the temperature of the laser spot on the medium is around 180 ° C. Therefore, when the magnetic field modulation head comes over the laser spot, the coercive force of that portion is 30.
Since it is less than Oe (50 Oe) and well before the Curie temperature (because it is higher than the Curie temperature of the TbFeCo film, it is a characteristic of the GdFeCo film single film), the magnetization reversal occurs and the magneto-optical signal can be observed. This facilitates relative alignment between the magnetic field modulation head and the optical head. Further, the magnetic field strength can be adjusted as in [Example 1-1]. However, in [Example 1-1], the coercive force greatly changes due to the temperature change on the medium (including the change in the laser power), and the coercive force at room temperature must be small, so that the pit storage stability is low. bad. Therefore, this medium cannot be used as an ordinary magneto-optical recording medium. On the other hand, the medium of this example has a high Curie temperature of the GdFeCo film and a small coercive force, and therefore is resistant to temperature changes during adjustment and can have a high coercive force at room temperature. Can be used as
【0042】[実施例1−3]本実施例の調整用光磁気
記録媒体としては、光学的案内溝をもつポリカーボネー
ト基板上にキュリー温度が350℃であって、室温近傍
で保磁力がほとんど0で、磁化が飽和する磁界強度が1
KOe程度であるGdFeCo膜を窒化シリコン保護膜
でサンドイッチし、さらにAl膜を形成した。上記の構
成の調整用光磁気記録媒体は、印加磁界に対し磁化がほ
ぼ比例関係になる。[Embodiment 1-3] The adjusting magneto-optical recording medium of this embodiment has a Curie temperature of 350 ° C. on a polycarbonate substrate having an optical guide groove and a coercive force of almost 0 at room temperature. And the magnetic field strength at which the magnetization is saturated is 1
A GdFeCo film of about KOe was sandwiched with a silicon nitride protective film, and an Al film was further formed. In the adjusting magneto-optical recording medium having the above-described configuration, the magnetization has a substantially proportional relationship with the applied magnetic field.
【0043】この媒体を用いて実施例1−1と同じ磁界
変調駆動装置をレーザーパワー1.2mW、線速7.0
m/secで磁界変調ヘッドの位置合せを行った。Using this medium, the same magnetic field modulation driving device as in Example 1-1 was used with a laser power of 1.2 mW and a linear velocity of 7.0.
The magnetic field modulation head was aligned at m / sec.
【0044】図3は本実施例で用いた調整用光磁気記録
媒体の保磁力の室温におけるM−H特性を示す図であ
る。図中、7はGdFeCo単層膜のM−H曲線であ
る。FIG. 3 is a diagram showing the MH characteristic of the coercive force of the adjusting magneto-optical recording medium used in this example at room temperature. In the figure, 7 is the MH curve of the GdFeCo single layer film.
【0045】本実施例の調整用光磁気記録媒体は室温以
上で保磁力がほとんど0となっているためキュリー温度
350℃以上にならないレーザーパワーであればどの値
でも、また小さな磁界強度であっても磁化反転はおこ
り、かつ光磁気信号も観察される。Since the adjusting magneto-optical recording medium of the present example has a coercive force of almost 0 at room temperature or higher, it has a small magnetic field strength at any value as long as the laser power does not exceed the Curie temperature of 350 ° C. or higher. Magnetization reversal also occurs, and a magneto-optical signal is also observed.
【0046】また、印加磁界と磁化が比例しているので
予め磁界強度のわかっているバイアスマグネット(ガウ
スメーターにより校正されている)を用いて印加磁界に
対する光磁気信号のデータを取っておけば磁界変調ヘッ
ドを取り付け位置調整後に光磁気信号を見ながら任意の
磁界強度に磁界変調ヘッドを調整できる。(さらに、磁
界変調ヘッドの強度分布まで測定することができる)本
実施例の場合媒体の温度(レーザーパワー含む)に対し
ほとんど依存しないため[実施例1−1]、[実施例1
−2]に比べ位置および磁界強度調整が容易に行える。
しかし、保磁力が室温においてもほとんど0であるため
ピットを保存できないので通常の光磁気記録媒体として
は流用できない。Since the applied magnetic field and the magnetization are proportional to each other, if the data of the magneto-optical signal with respect to the applied magnetic field is obtained by using a bias magnet (calibrated by a Gauss meter) whose magnetic field strength is known beforehand, After adjusting the mounting position of the modulation head, the magnetic field modulation head can be adjusted to an arbitrary magnetic field strength while observing the magneto-optical signal. (In addition, the intensity distribution of the magnetic field modulation head can be measured.) In the case of this embodiment, there is almost no dependence on the temperature of the medium (including the laser power) [Example 1-1], [Example 1]
-2] makes it easier to adjust the position and magnetic field strength.
However, since the coercive force is almost 0 even at room temperature, the pits cannot be stored and therefore cannot be used as a normal magneto-optical recording medium.
【0047】[実施例2−1]次に、本発明の第2の構
成による実施例について説明する。図1は本発明に懸る
検査用ディスクの構成を示す図である。[Embodiment 2-1] Next, an embodiment according to the second configuration of the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram showing the structure of an inspection disk according to the present invention.
【0048】図1中、401は光学層、402は基板、
403aは保護上地層、403bは磁性体記録層、40
3cは保護下地層である。403a,403cの保護層
は403bの磁性体を保護するのみならず、ピットの書
き込み時の光熱書き込み過程において熱伝導過程の調節
を行なわせる。また、多重反射による光磁気のカー回転
の増幅等の機能を有し、本実施例の他に種々の構成をと
ることが可能である。ここで403a,403b,40
3cを一括して光磁気層403と称すると、このような
光磁気層403としては、本例以外にも磁性体単層、ま
たは熱伝導効果を有する熱伝導層を加えたもの、オーバ
ーライト用(その他の用途のため)に磁性体層を組成が
異る多層構成にしたもの等が以前より提示されており、
本発明はこれらの光磁気層構成全てに適用可能である。In FIG. 1, 401 is an optical layer, 402 is a substrate,
403a is a protective upper layer, 403b is a magnetic recording layer, 40
3c is a protective underlayer. The protective layers 403a and 403c not only protect the magnetic material of 403b, but also control the heat conduction process in the photothermal writing process when writing the pits. Further, it has a function of amplifying the Kerr rotation of magneto-optical property due to multiple reflection, and various configurations other than this embodiment can be adopted. Here, 403a, 403b, 40
When 3c is collectively referred to as a magneto-optical layer 403, such a magneto-optical layer 403 is not limited to this example, but a single layer of magnetic material or a heat conductive layer having a heat conduction effect is added, for overwriting. For example (for other purposes), a magnetic layer having a multi-layered structure different in composition has been presented before.
The present invention is applicable to all these magneto-optical layer configurations.
【0049】また不図示であるが光磁気層403の下に
光磁気膜の保護をするための保護コートを設けたり、図
と同様の構成をもったディスクを光学層側を互いに外側
として接着材(光硬化または熱可塑性)を介してはり合
せて両面ディスクの形状とすることも可能である。Although not shown, a protective coat for protecting the magneto-optical film is provided under the magneto-optical layer 403, or a disk having the same structure as that shown in the figure is adhered with the optical layers facing each other. It is also possible to bond them via (light curing or thermoplastic) to form a double-sided disc.
【0050】基板402はガラス等の等方性屈折率材よ
りなるもので、位相差はほぼ0である。また、基板40
2は読み取り時のトラッキングが可能なように、プリグ
ルーブが形成されている。The substrate 402 is made of an isotropic refractive index material such as glass and has a phase difference of almost zero. Also, the substrate 40
In No. 2, a pre-groove is formed so that tracking at the time of reading is possible.
【0051】光学層401は、例えば複屈折を有するポ
リカーボネイト材を用いて通常の光ディスクと同等の射
出成形等により作製される。この様に成形された平板は
一般に主軸を半径方向またはそれと垂直方向、すなわち
面内方向に持ち、複屈折を持つ。しかしながら本光学層
はプリグルーブを有さないため、単体では通常のエリプ
ソメータ等により半径方向とそれと垂直な面内方向、す
なわち円周方向との偏光間の位相差が測定可能である。
この様な光学層の測定を行うと、周知の如く、半径方向
と接線方向の偏光の位相差は同一円周上ではほぼ等し
く、半径によって値が変化する。The optical layer 401 is made of, for example, a polycarbonate material having birefringence by injection molding or the like, which is the same as an ordinary optical disk. The flat plate thus formed generally has a main axis in a radial direction or a direction perpendicular thereto, that is, an in-plane direction, and has birefringence. However, since the present optical layer does not have a pre-groove, the phase difference between the polarized light in the radial direction and the in-plane direction perpendicular to the radial direction, that is, the circumferential direction can be measured by a single unit by an ordinary ellipsometer or the like.
When the measurement of such an optical layer is performed, as is well known, the phase difference between the polarized light in the radial direction and that in the tangential direction is substantially equal on the same circumference, and the value changes depending on the radius.
【0052】上記の様にして位相差の径方向分布が測定
された光学層401は、紫外線硬化接着材を介してガラ
ス基板402と接合される。The optical layer 401 for which the radial distribution of retardation has been measured as described above is bonded to the glass substrate 402 via an ultraviolet curing adhesive.
【0053】この様な構成を有するディスクは、従来の
ディスクとは異なり基板402の複屈折はほぼ0であ
り、かつ光学層401の位相差分布が実測により既知の
ものとなっている。In the disc having such a structure, unlike the conventional disc, the birefringence of the substrate 402 is almost zero, and the phase difference distribution of the optical layer 401 is known by actual measurement.
【0054】さらに言えば、ディスク半径方向の位相差
分布はその中心値が光学層の厚さにより好適なものに設
定することが可能である。すなわち光学層401の位相
差ψは、光学層401の厚さをd,複屈折率の差をΔn
とすると、 ψ=2π×Δn/λ×d で表わされ(ただしψはradicur)、光学層の厚
さdにほぼ比例させた形で設定ができる。光学層の厚さ
dは光ヘッドで、読み取りや書き込みを行なう際に使用
レーザーの結像性能を良好に保つ範囲で変化できる。す
なわち、光学層と基板は合わせて1.0〜1.5mm程
度の厚みを持つことが望ましく、特に、好適には1.2
±0.1mmとすることが望ましい、これにより光学層
の厚さdは0.3〜1.0mm程度をとることが好まし
い。この範囲内では、位相差の中心値は3倍近い範囲で
その値が設定可能となる。Furthermore, the center value of the phase difference distribution in the radial direction of the disk can be set to a suitable value depending on the thickness of the optical layer. That is, the phase difference ψ of the optical layer 401 is the thickness of the optical layer 401 d, and the difference in birefringence Δn.
Then, it is represented by ψ = 2π × Δn / λ × d (where ψ is radical), and can be set in a form substantially proportional to the thickness d of the optical layer. The thickness d of the optical layer can be changed by the optical head within a range in which the imaging performance of the laser used is kept good when reading or writing. That is, it is desirable that the optical layer and the substrate have a total thickness of about 1.0 to 1.5 mm, and particularly preferably 1.2.
It is desirable that the thickness is ± 0.1 mm, and thus the thickness d of the optical layer is preferably about 0.3 to 1.0 mm. Within this range, the central value of the phase difference can be set in the range of nearly three times.
【0055】このときの位相中心値はポリカーボネイト
材質の成型条件等によって異なるが、ほぼ−数度〜−2
0°程度にもたせることが可能となり、後述の位相差検
出が充分に可能な値となる。また、半径に対する位相差
の変化もポリカーボネイト材の成型条件、光学層401
の厚みにより変化するが、ほぼ数度〜20°程度の位相
差の変化をもたせることが可能である。The phase center value at this time varies depending on the molding conditions of the polycarbonate material and the like, but is approximately −several degrees to −2.
It becomes possible to set the angle to about 0 °, which is a value at which the later-described phase difference detection is sufficiently possible. In addition, the change of the phase difference with respect to the radius also depends on the molding conditions of the polycarbonate material and the optical layer 401.
It is possible to change the phase difference by approximately several degrees to 20 degrees, although it changes depending on the thickness of the.
【0056】また、本例では光学層は一体に成形される
ものについて述べたが、異なる成型条件により成型され
た輪帯状の部分をもち、かつ、各部が異なる位相差を有
する図5に示すような光学層によりディスクを構成する
ことも可能である。In this embodiment, the optical layer is integrally formed. However, as shown in FIG. 5, the optical layer has ring-shaped parts formed under different molding conditions and each part has a different phase difference. It is also possible to construct a disc with various optical layers.
【0057】図5に示したディスクについて説明を加え
れば、501a,501b,501cは異なる形成条件
で基板501上に形成されたポリカーボネイトの輪帯状
の光学層部分であり、これは各々エリプソメータ等によ
り位相差を実測後、基板上に前述の如く接着することに
より光学層501を形成する(またこの例以上の分割を
とることも可能である)。この光学層501も半径方向
に分布をもち、かつ、その位相差が実測されたものとな
る。If the disk shown in FIG. 5 is further explained, 501a, 501b and 501c are polycarbonate zonal optical layer portions formed on the substrate 501 under different forming conditions, each of which is measured by an ellipsometer or the like. After actually measuring the phase difference, the optical layer 501 is formed by adhering it on the substrate as described above (in addition, it is possible to divide the optical layer 501 more than this example). This optical layer 501 also has a distribution in the radial direction, and its phase difference is actually measured.
【0058】この様にして形成されたディスクは基板面
上に複屈折率異方性を有し、かつ、その位相差の半径方
向分布が既知のものとなっている。The disk thus formed has birefringence anisotropy on the surface of the substrate and has a known radial distribution of phase difference.
【0059】次に、上記の様にして形成されたディスク
を用いた光ヘッドの位相差の検査法について説明する。Next, a method of inspecting the phase difference of the optical head using the disk formed as described above will be described.
【0060】始めに、本ディスク上に基準の光ヘッドを
用いて光磁気記録の記録再生を行なう。基準の光ヘッド
としては位相差既知の光学部品で全体の部品を用いて作
製され、特に全体の位相差が0になるように光学部品を
選定して作製されるのが望ましい。この規準光ヘッドで
本光ディスクの半径方向各部を読み取った時の光磁気信
号振幅を図6に示す。First, recording / reproducing of magneto-optical recording is performed on this disk by using a reference optical head. The reference optical head is an optical component with a known phase difference and is manufactured by using all the components, and it is particularly preferable that the optical component is selected so that the overall phase difference is zero. FIG. 6 shows the magneto-optical signal amplitude when the reference optical head reads each part in the radial direction of the optical disk.
【0061】図6において、縦軸は光磁気信号振幅の値
(相対値)上横軸はディスク半径、下横軸は各々の半径
において実測されたディスク光学層の位相差である。In FIG. 6, the vertical axis represents the value of the magneto-optical signal amplitude (relative value), the upper horizontal axis represents the disk radius, and the lower horizontal axis represents the phase difference of the disk optical layer measured at each radius.
【0062】周知の如く光磁気信号は各部位相差につい
て以下の依存性をもつ。As is well known, the magneto-optical signal has the following dependence on the phase difference of each part.
【0063】光磁気信号=cos(δH+δM+δS) ここでδHは光ヘッドの位相差、δMは光磁気層の位相差
δSは他のディスク光路よりの位相差である。Magneto-optical signal = cos (δ H + δ M + δ S ) where δ H is the phase difference of the optical head, δ M is the phase difference of the magneto-optical layer δ S is the phase difference from the other optical path of the disk.
【0064】δSは本ディスクの場合、先に実測された
光学層の位相差によりほぼ決定される。δHは基準ヘッ
ドを用いた場合には0となる。一方、δMは光磁気層の
位相差で、光磁気層間の多重干渉効果等に依存するため
一般には光磁気層の構成によるが、予めほぼ0とする層
構成をとることも可能となる。In the case of the present disc, δ S is almost determined by the phase difference of the optical layer measured previously. δ H becomes 0 when the reference head is used. On the other hand, δ M is the phase difference of the magneto-optical layer, and generally depends on the configuration of the magneto-optical layer because it depends on the multiple interference effect between the magneto-optical layers, but it is also possible to take a layer configuration that is set to almost 0 in advance.
【0065】これより光磁気信号振幅は読み取りの半径
位置すなわち光学層の位相差に対しcosの形で変化す
る。From this, the amplitude of the magneto-optical signal changes in the form of cos with respect to the radial position of reading, that is, the phase difference of the optical layer.
【0066】図6に示した測定値をcosに当てはめて
極大値を算出する。該極大値により光磁気層の位相差δ
Mが与えられる。この光磁気層の位相差δM分を補正値と
して加え、本検査ディスクの半径方向の位相差分布が決
まる。The maximum value is calculated by applying the measured value shown in FIG. 6 to cos. The phase difference δ of the magneto-optical layer due to the maximum value
M is given. The phase difference δ M of the magneto-optical layer is added as a correction value to determine the phase difference distribution in the radial direction of the present inspection disk.
【0067】次に、測定しない光ヘッドにおいて本検査
ディスクを再生し、各半径毎の光磁気信号振幅を測定し
た結果を図7に示す。Next, FIG. 7 shows a result of measuring the magneto-optical signal amplitude for each radius by reproducing the present inspection disk with the optical head which is not measured.
【0068】図7において、縦軸は光磁気信号の振幅、
横軸は前述の半径と補正値を加えた検査ディスクの位相
差との関係より得られた読みとり点のディスク位相差で
ある。上記の場合と同様に測定値をcosに当てはめて
極大となるディスクの位相差を求めると、これはヘッド
位相差の逆付号の値となる。In FIG. 7, the vertical axis represents the amplitude of the magneto-optical signal,
The horizontal axis represents the disk phase difference at the reading point obtained from the relationship between the radius and the phase difference of the inspection disk to which the correction value has been added. When the measured value is applied to cos in the same manner as in the above case to obtain the maximum phase difference of the disk, this becomes the value of the reverse sign of the head phase difference.
【0069】図8はこれらの検査を実行する検査装置の
構成を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the structure of an inspection device for executing these inspections.
【0070】光ヘッドは、通常、ヘッドをトラッキン
グ、フォーカシング動作させるアクチュエータと一体に
形成されることが多く、本説明はこのアクチュエータユ
ニットの検査法について説明を加える。しかしながら本
方法は例えばドライブユニットのようにアクチュエータ
ユニットを含む単体の検査、あるいは光ヘッドを光学的
に構成する単位の検査について有効である。The optical head is usually formed integrally with an actuator for performing the tracking and focusing operations of the head, and this description adds a method for inspecting the actuator unit. However, this method is effective for inspection of a single unit including an actuator unit such as a drive unit, or inspection of a unit that optically configures an optical head.
【0071】図8中、804は検査ディスク、805は
スピンドルモータ、806はリニアモータ、807は被
検査アクチュエータヘッド、808はコントローラ、8
09はACカプラ、810はピーク/ボトム検出器、8
11はA/Dコンバータ、812はコンピュータであ
る。In FIG. 8, 804 is an inspection disk, 805 is a spindle motor, 806 is a linear motor, 807 is an actuator head to be inspected, 808 is a controller, 8
09 is an AC coupler, 810 is a peak / bottom detector, 8
Reference numeral 11 is an A / D converter, and 812 is a computer.
【0072】被検査用の光ヘッドを含むアクチュエータ
ヘッド807はリニアモータ806上に固定されてい
る。アクチュエータヘッド807からは光磁気信号S8
12とフォーカス、トラック用のサーボ誤差信号が出力
される。またリニアモータ806には不図示のリニアエ
ンコーダが具備され、アクチュエータのディスク半径方
向に関する位置を示す位置信号が出力される。位置信号
とサーボ誤差信号はコントローラ808に入力される。
コントローラ808はサーボ誤差信号を用いてサーボコ
ントロールし、アクチュエータヘッド807が所定の動
作を行うための動作信号をアクチュエータヘッド807
へ出力する。また、コントローラ808はリニアモータ
806に対してもこれを駆動するための駆動信号を出力
するとともに、リニアモータ806からのアクチュエー
タ位置信号を入力し、パソコン812に出力する。An actuator head 807 including an optical head to be inspected is fixed on a linear motor 806. The magneto-optical signal S8 is output from the actuator head 807.
12, a servo error signal for focus and track is output. Further, the linear motor 806 is equipped with a linear encoder (not shown), and a position signal indicating the position of the actuator in the disk radial direction is output. The position signal and the servo error signal are input to the controller 808.
The controller 808 performs servo control using the servo error signal, and outputs an operation signal for the actuator head 807 to perform a predetermined operation.
Output to. The controller 808 also outputs a drive signal for driving the linear motor 806 and also inputs an actuator position signal from the linear motor 806 and outputs it to the personal computer 812.
【0073】光磁気信号はACカプラ809で振動成分
のみがとり出され、ピーク/ボトム検出器810でピー
ク値およびボトム値が検出される。このピーク値および
ボトム値は、A/Dコンバーター811によりA/D変
換され、コンピュータ812に入力される。The AC coupler 809 extracts only the vibration component of the magneto-optical signal, and the peak / bottom detector 810 detects the peak value and the bottom value. The peak value and the bottom value are A / D converted by the A / D converter 811 and input to the computer 812.
【0074】コンピュータ812ではA/D変換された
ピーク/ボトム値より光磁気信号振幅を算出し、これと
アクチュエータ位置信号より図7の場合と同様にcos
に当てはめるフィッティングを行ない、光ヘッドの位相
差を求める。これにより、コンピュータ812には光デ
ィスク位相差の補正値δMが記憶される。また、コンピ
ュータ812に予め光ヘッド位相差規定範囲を記憶させ
ておき、得られた光ヘッド位相差と予め記憶する光ヘッ
ド位相差規定範囲と比較し、光ヘッド位相差性能の合否
を判定するように構成することもできる。In the computer 812, the magneto-optical signal amplitude is calculated from the A / D converted peak / bottom values, and from this and the actuator position signal, cos is calculated in the same manner as in FIG.
Then, the phase difference of the optical head is obtained. As a result, the correction value δ M of the optical disc phase difference is stored in the computer 812. Also, the optical head phase difference defining range is stored in the computer 812 in advance, and the obtained optical head phase difference is compared with the previously stored optical head phase difference defining range to determine whether the optical head phase difference performance is acceptable or not. It can also be configured to.
【0075】[実施例2−2]本実施例の検査用ディス
クは、[実施例2−1]において図1に示したものと光
学層の特性が異なる構成をもつ検査ディスクである。層
構成としては図1に示したものと同様であるために図示
省略する。以下に、本実施例の検査ディスクの構成を説
明する。[Embodiment 2-2] The inspection disk of this embodiment is an inspection disk having a structure in which the characteristics of the optical layers are different from those shown in FIG. 1 in [Example 2-1]. The layer structure is the same as that shown in FIG. The structure of the inspection disk of this embodiment will be described below.
【0076】本実施例における基板(図4における基板
402)はガラス等の等方性屈折率材、すなわち、光学
的位相差をもたらすものが用いられ、また、読み取り時
のトラッキングが可能な様にプリグルーブが形成されて
いる。As the substrate in this embodiment (the substrate 402 in FIG. 4), an isotropic refractive index material such as glass, that is, a material that brings about an optical phase difference is used, and tracking is possible at the time of reading. A pre-groove is formed.
【0077】光学層(図4における光学層401)は、
一軸性光学液晶材、液晶材、有機フィルム等からなり、
光学的には実質的に一軸性屈折率異方性をもち、かつ、
この屈折率の主軸が光学層全体にわたり同一方向で、か
つ、光学層の積層方向と垂直な面内にあるものが用いら
れる。The optical layer (optical layer 401 in FIG. 4) is
Made of uniaxial optical liquid crystal material, liquid crystal material, organic film, etc.,
Optically has substantially uniaxial refractive index anisotropy, and
The main axis of the refractive index is the same in the entire optical layer and in the plane perpendicular to the laminating direction of the optical layers.
【0078】この様な光学層は、例えば、水晶の如き一
軸性結晶の単結晶を光学軸と平行な平面に切り出すこと
により得られる。さらに、本光学層は液晶材、特に好ま
しくは強誘電性液晶材を電界、または張力により一方向
に配向させたシートを用いることもでき、同様にポリ塩
化ビニル等の有機性シートを展伸させたものを用いるこ
とも可能である。これらは、全て実質的に屈折率異方性
をもつ、所謂、被屈折率材であり、屈折率の主軸方向
(光学軸方向)がシート(層)面内で、かつ、同一方向
に整合され、かつ、光学的に透明度が高いという特性を
もつ。本発明はこの様な条件をもつ材料であれば、全て
使用が可能となる。Such an optical layer can be obtained, for example, by cutting a single crystal of uniaxial crystal such as quartz into a plane parallel to the optical axis. Further, a liquid crystal material, particularly preferably a ferroelectric liquid crystal material, which is oriented in one direction by an electric field or tension, can be used as the optical layer. Similarly, an organic sheet such as polyvinyl chloride is spread. It is also possible to use the one. All of these are so-called refractive index materials that have substantially refractive index anisotropy, and the principal axis direction (optical axis direction) of the refractive index is aligned in the sheet (layer) plane and in the same direction. In addition, it has a characteristic that it is optically highly transparent. The present invention can be used for all materials having such conditions.
【0079】上記の様な光学層において層面と垂直と進
行する偏光光は光学的屈折率主軸方向とこれの垂直方向
では屈折率が異なる。このため、通過後の偏光光には位
相差が生じる。この位相差ψは、光学層の膜厚d,主軸
方向偏光の屈折率n´主軸垂直方向偏光の屈折率n、使
用するレーザ光の波長をλとすると、 ψ=〔(n´−n)×d〕/λ×2π となる。In the optical layer as described above, the polarized light traveling perpendicular to the layer surface has different refractive indexes in the direction of the optical refractive index principal axis and the direction perpendicular thereto. Therefore, a phase difference occurs in the polarized light after passing through. This phase difference ψ is given by ψ = [(n′-n), where d is the thickness of the optical layer, n ′ is the refractive index of the polarized light in the principal axis direction, and n is the refractive index of the polarized light in the principal axis vertical direction. Xd] / λ × 2π.
【0080】ここで、光学層の厚みを10μmとすれ
ば、λ=830nmのときには、水晶材では約39°の
位相の差が主軸とその垂直方向の偏光光に生じる。Here, assuming that the thickness of the optical layer is 10 μm, when λ = 830 nm, a phase difference of about 39 ° occurs in polarized light in the main axis and the polarized light in the direction perpendicular to the main axis.
【0081】より詳しく本実施例の光学層について説明
すれば、主軸と平行な平面で切り出した円形水晶平板を
研磨し、2つの輪帯円板を作製する。この2つの円板は
厚み差が10μmに研磨され、互いに主軸が直交する様
にはり合されて光学層とされる。一般に水晶等の結晶材
は波長および切り出し面方位が決まるとその被屈折率が
ほぼ決定され、これに垂直に入射する偏光(主軸とその
垂直軸への)の位相差はほぼ厚み差のみで決定されるた
め、他の高分子材等に比べると一様性、安定性の面で好
ましい。この様な光学層は主軸が垂直に交っているため
実質的には一軸性屈折率異方性をもつ。The optical layer of this embodiment will be described in more detail. A circular quartz crystal plate cut out on a plane parallel to the principal axis is polished to produce two annular discs. The two discs are polished to have a thickness difference of 10 μm, and are laminated so that their principal axes are orthogonal to each other to form an optical layer. In general, crystal materials such as quartz crystal have their refractive index almost determined when the wavelength and cut-out surface orientation are determined, and the phase difference of polarized light (main axis and its vertical axis) incident perpendicularly to this is almost determined only by the thickness difference. Therefore, it is preferable in terms of uniformity and stability as compared with other polymer materials and the like. Such an optical layer has a uniaxial refractive index anisotropy substantially because the principal axes intersect perpendicularly.
【0082】この様にして作製された光学層をエリプソ
メータを用いて各部位相差を測定するとほぼ39°の位
相差が観測された。When the phase difference of each part of the optical layer thus produced was measured using an ellipsometer, a phase difference of approximately 39 ° was observed.
【0083】この様にして作製された光学層を、実施例
[2−1]と同様に、光磁気層が成膜されたガラス基板
とはり合わせ、図4に示した層構成の検査ディスクを作
製した。The optical layer thus produced was laminated on the glass substrate on which the magneto-optical layer was formed in the same manner as in Example [2-1], and the inspection disk having the layer structure shown in FIG. 4 was obtained. It was made.
【0084】本実施例と実施例[2−1]との主たる相
異点は、光学層における実質的な一軸屈折率異方性の主
軸の向きにある。実施例[2−1]では主軸は半径方向
を向いているのに対し、本実施例では主軸は面内で同一
の一方向を向いている。The main difference between this example and Example [2-1] lies in the direction of the principal axis of the substantial uniaxial refractive index anisotropy in the optical layer. In the example [2-1], the main axis faces the radial direction, whereas in the present example, the main axis faces the same one direction in the plane.
【0085】この相異が光ヘッドにおよぼす影響を図9
を参照して説明する。The effect of this difference on the optical head is shown in FIG.
Will be described with reference to.
【0086】図中、907は光ヘッド(或いはアクチュ
エータユニット)、904は検査用ディスク、914は
検査用ディスク上に形成された情報トラックである。光
ヘッド907はディスク904上のトラック914をト
レースしながらトラック914上の光磁気ピット信号を
レーザー光により読み出して行く。このときのレーザ光
は直線偏光であり、その偏光方向はトラック半径方向に
対して常時一定の角をなす。この角は光ヘッドの構成に
より異なるが、例えば本実施例では偏光方向と半径方向
が一致しており、図9上ではこの方向を矢印によりレー
ザ光偏光方向913として示す。In the figure, 907 is an optical head (or actuator unit), 904 is an inspection disk, and 914 is an information track formed on the inspection disk. The optical head 907 reads the magneto-optical pit signal on the track 914 with a laser beam while tracing the track 914 on the disk 904. The laser light at this time is linearly polarized light, and its polarization direction always forms a constant angle with respect to the track radial direction. Although this angle differs depending on the configuration of the optical head, for example, the polarization direction and the radial direction coincide with each other in this embodiment, and this direction is shown as a laser light polarization direction 913 by an arrow in FIG.
【0087】検査用ディスク904の光学層の屈折率異
方性の軸は、ディスク平面全般にわたって一定の方向を
向いており、ディスクの回転とともに光ヘッドに対する
方向が変化する。図9にはある瞬間におけるディスク光
学層屈折率異方性軸とレーザー偏光方向の関係を示して
ある。The axis of the refractive index anisotropy of the optical layer of the disc 904 for inspection is oriented in a fixed direction over the entire plane of the disc, and the direction with respect to the optical head changes as the disc rotates. FIG. 9 shows the relationship between the axis of anisotropic refractive index of the disc optical layer and the direction of laser polarization at a certain moment.
【0088】913は前述した読みとり用のレーザ光偏
光方向、915は図示状態の瞬間におけるディスク光学
層の屈折率異方性軸の方向、916はディスク回転軸方
向である。この図9より明らかな様に、検査用ディスク
904がディスク回転軸方向916の方向に回転するに
従って読みとりレーザ光偏光方向913とディスク光学
層屈折率異方軸方向915とのなす角はディスクの回転
を同期して(同周期に)変化する。Reference numeral 913 is the above-mentioned laser light polarization direction for reading, 915 is the direction of the refractive index anisotropy axis of the disk optical layer at the moment of the illustrated state, and 916 is the disk rotation axis direction. As is apparent from FIG. 9, as the inspection disk 904 rotates in the disk rotation axis direction 916, the angle formed by the reading laser beam polarization direction 913 and the disk optical layer refractive index anisotropic axis direction 915 makes the disk rotation. Changes synchronously (at the same cycle).
【0089】上記の様に直交する偏光成分間に位相差を
有し、かつ、その軸が回転する様な光学層を通して検出
される光磁気信号の振幅は以下の式で表わされる。 A{cosδScos(δH+δM)−cosZθsin
δSsin(δH+δM)} ここでAはディスク反射率、光磁気層の光磁気性能等に
よる定数、δSは光学層の位相差、θは光学層屈折率異
方性軸と読みとり用のレーザ光の偏光方向とがなす角、
δHはヘッドの位相差、δMは光磁気層による位相であ
る。As described above, the amplitude of the magneto-optical signal detected through the optical layer having the phase difference between the orthogonal polarization components and the axis of which is rotated is represented by the following formula. A {cos δ S cos (δ H + δ M ) -cos Z θ sin
δ S sin (δ H + δ M )} where A is the disc reflectivity, a constant due to the magneto-optical performance of the magneto-optical layer, δ S is the phase difference of the optical layer, and θ is the optical layer refractive index anisotropy axis. Angle formed by the polarization direction of the laser light for
δ H is the phase difference of the head, and δ M is the phase due to the magneto-optical layer.
【0090】図9より明らかな様に、θはディスク回転
に同期して、ディスクが回転する際の始点を適度なもの
とすることにより、ディスク回転角と同じものになる。As is apparent from FIG. 9, θ becomes the same as the disc rotation angle by synchronizing the disc rotation with the disc and making the start point of the disc rotation proper.
【0091】この様にして検出された光磁気信号振幅の
例を図10に示す。図10において、横軸はディスクの
回転角縦軸は光磁気信号振幅である。An example of the magneto-optical signal amplitude detected in this way is shown in FIG. In FIG. 10, the horizontal axis represents the rotation angle of the disk and the vertical axis represents the magneto-optical signal amplitude.
【0092】上式からも明らかな様に光磁気信号振幅は
ディスク回転とともにcos的に変化し、周期はディス
ク回転周期の半分となる。この光磁気信号振幅変化の振
幅(図10中Aで示される部分)とDC成分(図10中
Dで示される部分)の比をとると上式より、 D/A=tanδStan(δH+δM) となる。As is apparent from the above equation, the amplitude of the magneto-optical signal changes in cos as the disk rotates, and the cycle becomes half of the disk rotation cycle. Taking the ratio of the amplitude of this magneto-optical signal amplitude change (portion indicated by A in FIG. 10) and the DC component (portion indicated by D in FIG. 10), from the above equation, D / A = tan δ S tan (δ H + Δ M ).
【0093】ここで、δSは先に述べた光学層を形成す
る2板の結晶板の厚みTにより決定される。さらには、
この光学層をエリプソメータで測定することにより実測
で求める、あるいは確認することができる。本実施例で
は39°±0.5°となる。Here, δ S is determined by the thickness T of the two crystal plates forming the optical layer described above. Moreover,
By measuring this optical layer with an ellipsometer, it can be obtained or confirmed by actual measurement. In this embodiment, it is 39 ° ± 0.5 °.
【0094】次に、本検査ディスクを前述の全体として
位相差0である基準光ヘッドにおいて光磁気信号の記録
再生を行なう。記録ピットは光磁気再生信号の振幅を測
定するために一定のピット長の繰り返し信号ですること
が好ましく、特に1〜2μmのピット長が好適である。
この光磁気記録信号を同ヘッドを用いて再生し、その光
磁気再生信号振幅を検出すると図10に示す様にディス
ク回転に対してcos的に変動することが観測された。
この変動の振幅AとDC成分Dを求め、これの比をとる
と、この基準ヘッドの位相差は0であるので、 D/A=tanδStanδM となる。δS=39°よりδMが決定される。Next, the magneto-optical signal is recorded / reproduced in the reference optical head having the phase difference of 0 as a whole on the present inspection disk. The recording pits are preferably repetitive signals with a constant pit length in order to measure the amplitude of the magneto-optical reproduction signal, and a pit length of 1 to 2 μm is particularly preferable.
When this magneto-optical recording signal was reproduced by using the same head and the amplitude of the magneto-optical reproduction signal was detected, it was observed that the magneto-optical recording signal fluctuated cos with respect to the disk rotation as shown in FIG.
When the amplitude A of this fluctuation and the DC component D are obtained and the ratio between them is taken, the phase difference of this reference head is 0, so that D / A = tan δ S tan δ M. δ M is determined from δ S = 39 °.
【0095】次に、このディスクを検査用ヘッドで再生
し、上述と同様にしてDとAを求めると、 D/A=tanδStan(δH+δM) の関係よりδHが求まる。Next, when this disc is reproduced by the inspection head and D and A are obtained in the same manner as described above, δ H is obtained from the relationship of D / A = tan δ S tan (δ H + δ M ).
【0096】上記DとAの検出方法についてより詳しく
述べる。図11は上記DとAの検出方法の一実施例を示
す図であり、図8中と同じ番号で示されたものは同様の
ものを示す。図8に示した実施例とほぼ同様にして読み
出された光磁気再生信号S812は、ACカプラ809
で振動成分のみがとり出された後、ピークホールド回路
1117、ボトムホールド回路1118へ入力される。
ピークホールド回路1117は光磁気再生信号S812
の振動部分のピークをホールドする。このホールド時間
はディスク上の光磁気記録信号ピットの数個〜数十個分
に設定されている。同様にボトムホールド回路1117
は光磁気再生信号の振幅のボトムをピット数個〜数十個
分ホールドして出力する。これらのホールド時間は、デ
ィスク上ピットに対しては長いものである一方、ディス
ク回転の一周期に比しては十分短いものであり、光磁気
再生信号のエンベロープ波形を与え、かつ、ディスク回
転に対する図10に示したような振幅変動をほぼ忠実に
再現できる。The method for detecting D and A will be described in more detail. FIG. 11 is a diagram showing an embodiment of the detection method of D and A described above, and the same reference numerals as those in FIG. 8 indicate the same. The magneto-optical reproduction signal S812 read out in substantially the same manner as the embodiment shown in FIG.
After only the vibration component is taken out, the vibration component is input to the peak hold circuit 1117 and the bottom hold circuit 1118.
The peak hold circuit 1117 controls the magneto-optical reproduction signal S812.
Hold the peak of the vibration part of. This hold time is set to several to several tens of magneto-optical recording signal pits on the disc. Similarly, the bottom hold circuit 1117
Holds and outputs the bottom of the amplitude of the magneto-optical reproduction signal for several to several tens of pits. These hold times are long for the pits on the disc, but short enough for one cycle of the disc rotation, giving the envelope waveform of the magneto-optical reproduction signal and The amplitude variation as shown in 10 can be reproduced almost faithfully.
【0097】ピークホールド回路1117、ボトムホー
ルド回路1118からの出力は、差動回路1119で差
をとられる。差動回路1119よりの出力は図10に示
したような光磁気再生信号振幅となる。この差動回路1
119からの出力、すなわち光磁気再生信号の振幅は、
積分回路1120とロックインアンプ1121に入力さ
れる。The outputs from the peak hold circuit 1117 and the bottom hold circuit 1118 are differentiated by the differential circuit 1119. The output from the differential circuit 1119 has the magneto-optical reproduction signal amplitude as shown in FIG. This differential circuit 1
The output from 119, that is, the amplitude of the magneto-optical reproduction signal is
It is input to the integrating circuit 1120 and the lock-in amplifier 1121.
【0098】一方、スピンドルモータ805の回転は、
不図示のロータリーエンコーダ等の回転検出器により検
出される。該回転検出器の出力は回転同期信号発生器1
124に入力され、これをもとに回転同期信号発生器1
124より回転同期信号が作られる。この回転同期信号
は回転同期信号発生器1124より出力され、ロックイ
ンアンプ1121に入力される。ロックインアンプ11
21はこの回転同期信号を用いて前述の差動回路111
9よりの光磁気再生信号振幅のうち、回転と同期し、か
つ、回転周期と1/2周期をもつ周波数成分をA/Dコ
ンバータ1123へ出力する。On the other hand, the rotation of the spindle motor 805 is
It is detected by a rotation detector such as a rotary encoder (not shown). The output of the rotation detector is the rotation synchronization signal generator 1
It is input to 124, and based on this, the rotation synchronization signal generator 1
A rotation synchronizing signal is generated from 124. This rotation synchronization signal is output from the rotation synchronization signal generator 1124 and input to the lock-in amplifier 1121. Lock-in amplifier 11
21 uses the rotation synchronizing signal to output the differential circuit 111 described above.
Of the amplitude of the magneto-optical reproduction signal from No. 9, a frequency component that is synchronized with rotation and has a rotation cycle and a 1/2 cycle is output to the A / D converter 1123.
【0099】差動回路1119より積分回路1120へ
入力された光磁気再生信号振幅は積分回路1120内で
回転周期より充分長い間積分され図10中のDに当る光
磁気再生信号振幅のディスク回転変化のDC成分を発生
し、これをA/Dコンバータ1122へ出力する。The magneto-optical reproducing signal amplitude inputted from the differential circuit 1119 to the integrating circuit 1120 is integrated in the integrating circuit 1120 for a time sufficiently longer than the rotation cycle, and the magneto-optical reproducing signal amplitude corresponding to D in FIG. , And outputs it to the A / D converter 1122.
【0100】A/Dコンバータ1123,1124はA
/D変換を行ない出力をコンピュータ812へ出力す
る。コンピュータ812では前述の信号よりD.Aを求
め、同時に予め記憶するδS,δMの情報より光ヘッドの
位相差を算出する。The A / D converters 1123 and 1124 are A
/ D conversion is performed and the output is output to the computer 812. In the computer 812, D. A is obtained, and at the same time, the phase difference of the optical head is calculated from the information of δ S and δ M stored in advance.
【0101】本実施例は以下の利点をもつ。This embodiment has the following advantages.
【0102】検査がディスク上の1トラックで行なえる
ため、光学層の領域が輪帯状の限られた領域、特に被検
光ヘッド搭載のドライブの読み取り可能な最小半径近く
の小領域のみですむ。これにより、特に一様な光学結晶
を用いる場合に必要とされる結晶の領域が少なくてすむ
のみならず、厚み等の一様性を要求する領域が小さくて
すみ、検査ディスクの精度ばらつきが小さく、作製がし
やすい。Since the inspection can be performed in one track on the disk, the area of the optical layer is limited to a ring-shaped limited area, particularly a small area near the minimum readable radius of the drive equipped with the optical head to be tested. This not only requires a small crystal area when a uniform optical crystal is used, but also requires a small area that requires uniformity in thickness, etc. , Easy to make.
【0103】光学層等の特性に対する半径方向のばらつ
きがほぼ無視できる。特に光磁気層のもつ特性、位相
差、反射率、カー回転指数等のばらつきがないため、こ
れらが光磁気再生信号に与える影響を無視でき、ばらつ
きによって生じるヘッド位相差測定誤差が生じない。さ
らに光ヘッドの再生特性により内周・外周トラック率に
関わらずに、測定点が1トラックのみでよいため作業性
にすぐれている。The radial variation with respect to the characteristics of the optical layers and the like can be almost ignored. In particular, since there is no variation in the characteristics, phase difference, reflectance, Kerr rotation index, etc. of the magneto-optical layer, the influence of these on the magneto-optical reproduction signal can be ignored, and the head phase difference measurement error caused by the variation does not occur. Further, due to the reproduction characteristics of the optical head, workability is excellent because only one track is required for measurement regardless of the inner and outer track ratios.
【0104】本実施例は、光磁気再生信号振幅をディス
ク回転と同期させ回転の1/2周期成分をとり出すこと
により以下の利点をもつ。すなわち、検査ディスクの円
周方向についてのばらつきに関しても、回転数の1/2
周期成分(およびDC成分)のみを用いるため、1/2
周期以外のばらつきは除去できる。This embodiment has the following advantages by synchronizing the amplitude of the magneto-optical reproduction signal with the disk rotation and extracting the 1/2 cycle component of the rotation. That is, even with respect to the variation in the circumferential direction of the inspection disk, 1/2 of the rotation speed
Since only the periodic component (and DC component) is used, 1/2
Variations other than the period can be removed.
【0105】特にディスク偏心等の影響による再生信号
の変動分はほぼ回転数周期をもつため、これの除去が可
能である。Especially, the fluctuation of the reproduction signal due to the influence of the disc eccentricity has a period of the number of revolutions, so that it can be eliminated.
【0106】なお、本実施例ではスピンドルモーターか
らの回転周期信号をもとにロックインアンプ1121を
用いて、回転数に同期させたが、スピンドル回転数が安
定している場合にはこの回転数の2倍の周波数を中心と
したバンドパスフィルターをロックインアンプ1121
の替りに用いて検査方法の構成を簡易化できる。また、
積分器1120のかわりに適当なローパスフィルターを
使用することも可能である。In this embodiment, the lock-in amplifier 1121 is used to synchronize with the rotation speed based on the rotation cycle signal from the spindle motor. However, if the spindle rotation speed is stable, this rotation speed signal is used. Lock-in amplifier 1121 with a bandpass filter centered at twice the frequency
Can be used instead of the above to simplify the structure of the inspection method. Also,
It is also possible to use a suitable low pass filter instead of the integrator 1120.
【0107】[0107]
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects.
【0108】請求項1乃至請求項3に記載のものおよび
方法においては、磁界変調ヘッドの位置および磁界強度
調整が光磁気信号を直接見ながら短時間でできる様にな
る効果がある。また、室温付近から保磁力がほとんど0
の媒体を用いれば磁界変調ヘッドの磁界強度分布まで測
定可能となる。According to the first and third aspects and methods, there is an effect that the position of the magnetic field modulation head and the magnetic field intensity can be adjusted in a short time while directly watching the magneto-optical signal. Also, the coercive force is almost 0 from around room temperature.
If the medium of is used, it is possible to measure the magnetic field intensity distribution of the magnetic field modulation head.
【0109】請求項4乃至請求項11に記載のものおよ
び方法においては、位相差分布のわかっている一枚の検
査ディスクを用いて光ヘッドの位相差検査を簡便に行う
ことができる効果がある。According to the fourth and eleventh aspects and the method, there is an effect that the phase difference inspection of the optical head can be easily performed by using one inspection disk whose phase difference distribution is known. .
【図1】実施例[1−1]における保磁力の温度特性図
である。FIG. 1 is a temperature characteristic diagram of coercive force in Example [1-1].
【図2】実施例[1−2]における保磁力の温度特性図
である。FIG. 2 is a temperature characteristic diagram of coercive force in Example [1-2].
【図3】実施例[1−3]における室温でのM−H特性
図である。FIG. 3 is an MH characteristic diagram at room temperature in Example [1-3].
【図4】実施例[2−1]の層構成を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a layer structure of Example [2-1].
【図5】実施例[2−1]における光学層の構成を示す
図である。FIG. 5 is a diagram showing a configuration of an optical layer in Example [2-1].
【図6】実施例[2−1]によるディスクの半径と光磁
気再生信号振幅を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a radius of a disc and a magneto-optical reproduction signal amplitude according to an example [2-1].
【図7】実施例[2−1]における検査時の光磁気再生
信号と光ヘッド位相差の関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a relationship between a magneto-optical reproduction signal and an optical head phase difference at the time of inspection in Example [2-1].
【図8】実施例[2−1]を用いた検査装置の構成を示
す図である。FIG. 8 is a diagram showing a configuration of an inspection device using the embodiment [2-1].
【図9】実施例[2−2]におけるディスクの被屈折率
主軸と読み出しレーザーの偏光方向を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing the refractive index main axis of the disk and the polarization direction of the reading laser in Example [2-2].
【図10】実施例[2−2]における検査時のディスク
回転角と光磁気信号振幅の関係を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a relationship between a disk rotation angle and a magneto-optical signal amplitude at the time of inspection in Example [2-2].
【図11】実施例[2−2]を用いた検査装置の構成を
示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a configuration of an inspection apparatus using Example [2-2].
1 TbFeCo膜の保磁力の温度依存性曲線 2 磁界変調ヘッドの印加磁界強度 3 室温(25℃) 4 TbFeCo膜のキュリー温度(170℃) 5 実施例2の保磁力の温度依存性曲線 6 GdFeCo膜のキュリー温度(350℃) 7 GdFeCo単層膜のM−H曲線 401,501 光学層 402,502 基板 403 光磁気層 403a 保護上地層 403b 磁製体記録層 403c 保護下地層 501a〜501c 光学層部分 804 検査ディスク 805 スピンドルモーター 806 リニアモータ 807 アクチュエータヘッド 808 コントローラ 809 ACカプラ 810 ピーク/ボトム検出器 811,1122,1123 A/Dコンバータ 812 コンピュータ 904 検査用ディスク 907 光ヘッド 913 レーザ光偏光方向 914 トラック 915 屈折率異方性軸の方向 916 ディスク回転方向 1117 ピークホールド回路 1118 ボトムホールド回路 1119 差動回路 1120 積分回路 1121 ロックインアンプ 1124 回転同期信号発生器 1 Temperature dependence curve of coercive force of TbFeCo film 2 Applied magnetic field strength of magnetic field modulation head 3 Room temperature (25 ° C) 4 Curie temperature of TbFeCo film (170 ° C) 5 Temperature dependence curve of coercive force of Example 6 GdFeCo film Curie temperature (350 ° C.) 7 MH curve of GdFeCo single layer film 401, 501 Optical layer 402, 502 Substrate 403 Magneto-optical layer 403a Protective upper layer 403b Magnetic recording layer 403c Protective underlayer 501a-501c Optical layer portion 804 Inspection disk 805 Spindle motor 806 Linear motor 807 Actuator head 808 Controller 809 AC coupler 810 Peak / bottom detector 811, 1122, 1123 A / D converter 812 Computer 904 Inspection disk 907 Optical head 913 Laser beam polarization method 914 tracks 915 the refractive index anisotropy axis direction 916 disk rotational direction 1117 peak hold circuit 1118 bottom hold circuit 1119 differential circuit 1120 integrated circuit 1121 lock-in amplifier 1124 rotation synchronizing signal generator
Claims (11)
変調方式光磁気記録装置で磁界印加部の光学ヘッドに対
する位置および磁界強度の調整を行う際に用いられる調
整用光磁気記録媒体であって、 前記磁界変調方式光磁気記録装置により光ビームが照射
された部分の媒体の温度が、媒体のキュリー温度より十
分手前となり、その温度における保磁力は磁界印加部が
印加する磁界強度より十分小さな層を記録層に持つこと
を特徴とする調整用光磁気記録媒体。1. A magneto-optical recording medium for adjustment used for adjusting the position and magnetic field strength of a magnetic field applying section with respect to an optical head in a magnetic field modulation type magneto-optical recording apparatus having a magnetic field applying section and an optical head. Then, the temperature of the medium in the portion irradiated with the light beam by the magnetic field modulation type magneto-optical recording device is sufficiently before the Curie temperature of the medium, and the coercive force at that temperature is sufficiently smaller than the magnetic field intensity applied by the magnetic field applying section. An adjusting magneto-optical recording medium having a recording layer.
おいて、 記録層の保磁力が非常に小さく、調整しようとする磁界
強度の範囲では磁化が飽和せずにほぼ比例関係になるこ
とを特徴とする調整用光磁気記録媒体。2. The adjusting magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the coercive force of the recording layer is very small, and the magnetization does not saturate in a range of the magnetic field strength to be adjusted, but has a substantially proportional relationship. A characteristic magneto-optical recording medium for adjustment.
光磁気記録媒体を用いた磁界変調方式光磁気記録装置の
調整方法であって、 光ビームを調整用光磁気記録媒体に照射したときの光磁
気信号を参照して磁界印加部と光学ヘッドの相対的な位
置合わせを行い、この後、光磁気信号の振幅が飽和する
ように磁界印加部の磁界強度を変化させることを特徴と
する磁界変調方式光磁気記録装置の調整方法。3. An adjusting method for a magnetic field modulation type magneto-optical recording device using the adjusting magneto-optical recording medium according to claim 1 or 2, wherein a light beam is applied to the adjusting magneto-optical recording medium. The magnetic field applying unit and the optical head are relatively aligned with reference to the magneto-optical signal at the time, and thereafter, the magnetic field strength of the magnetic field applying unit is changed so that the amplitude of the magneto-optical signal is saturated. Method for adjusting magnetic field modulation type magneto-optical recording device.
光磁気記録層と、 前記光磁気記録層と基板を挟んだ反対側に設けられた複
屈折を有する光学層とを具備し、 前記光学層に複屈折率の半径分布が概知のものが用いら
れていることを特徴とする光ヘッド検査用ディスク。4. A substrate having no birefringence, a magneto-optical recording layer including at least one magnetic layer provided on the substrate, and a magneto-optical recording layer provided on the opposite side of the magneto-optical recording layer from the substrate. An optical head inspection disk, comprising: an optical layer having a refraction, wherein the optical layer has a birefringence index whose radius distribution is generally known.
において、 光学層の複屈折の半径分布が予め測定可能なように構成
されていることを特徴とする光ヘッド検査用ディスク。5. The optical head inspecting disk according to claim 4, wherein the optical layer inspecting disk has a radius distribution of birefringence that can be measured in advance.
ド検査用ディスクにおいて、 光学層が光学結晶よりなることを特徴とする光ヘッド検
査用ディスク。6. The optical head inspection disk according to claim 4 or 5, wherein the optical layer comprises an optical crystal.
の光ヘッド検査用ディスクにおいて、 光学層の複屈折の軸の少なくとも1つが半径方向を向
き、複屈折が半径方向に変化するように構成されている
ことを特徴とする光ヘッド検査用ディスク。7. The optical head inspection disk according to claim 4, wherein at least one of the birefringence axes of the optical layer is directed in the radial direction, and the birefringence is changed in the radial direction. An optical head inspection disk characterized in that
の光ヘッド検査用ディスクを用いて、半径の異なる2点
での再生光磁気信号の振幅より光ヘッドの位相差を求め
ることを特徴とする光ヘッド検査法。8. A phase difference of an optical head is obtained from the amplitudes of reproduced magneto-optical signals at two points having different radii by using the optical head inspection disk according to any one of claims 4 to 7. Characteristic optical head inspection method.
の光ヘッド検査用ディスクにおいて、 光学層の複屈折の軸の少なくとも1つがディスク全域で
同一方向を向いていることを特徴とする光ヘッド検査用
ディスク。9. The optical head inspection disk according to claim 4, wherein at least one of birefringence axes of the optical layer is oriented in the same direction over the entire area of the disk. Optical head inspection disk.
クを用いて、ディスク回転に対する再生光磁気信号の振
幅変化より光ヘッドの位相を検出することを特徴とする
光ヘッドの位相差検出法。10. A phase difference detection method for an optical head, wherein the optical head inspection disk according to claim 9 is used to detect the phase of the optical head from an amplitude change of a reproduction magneto-optical signal with respect to disk rotation.
クを用いて、ディスク回転に同期させ、かつディスク回
転の1/2周期をもつ再生光磁気信号振幅と、再生光磁
気振幅の直流成分より光ヘッドの位相差を検出すること
を特徴とする光ヘッドの位相差検出法。11. The optical disk for optical head inspection according to claim 9, wherein the reproduction magneto-optical signal amplitude and the DC component of the reproduction magneto-optical amplitude are synchronized with the disk rotation and have a half cycle of the disk rotation. A method of detecting a phase difference of an optical head, which is characterized by detecting a phase difference of the optical head.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32570292A JPH06176417A (en) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | Magneto-optical recording medium for adjustment and adjustment method for magneto-optical recording device of magnetic field modulation system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP32570292A JPH06176417A (en) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | Magneto-optical recording medium for adjustment and adjustment method for magneto-optical recording device of magnetic field modulation system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH06176417A true JPH06176417A (en) | 1994-06-24 |
Family
ID=18179757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32570292A Pending JPH06176417A (en) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | Magneto-optical recording medium for adjustment and adjustment method for magneto-optical recording device of magnetic field modulation system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06176417A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007241653A (en) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Nidec Sankyo Corp | Magnetic sensor device and discriminator |
-
1992
- 1992-12-04 JP JP32570292A patent/JPH06176417A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007241653A (en) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Nidec Sankyo Corp | Magnetic sensor device and discriminator |
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