JPH06172818A - Production of superfine particles - Google Patents
Production of superfine particlesInfo
- Publication number
- JPH06172818A JPH06172818A JP16242593A JP16242593A JPH06172818A JP H06172818 A JPH06172818 A JP H06172818A JP 16242593 A JP16242593 A JP 16242593A JP 16242593 A JP16242593 A JP 16242593A JP H06172818 A JPH06172818 A JP H06172818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molten metal
- plasma
- gas
- powder
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】プラズマ源を用いた超高温度加熱
装置で金属溶湯あるいはそれにセラミックス粒子を混合
した複合溶湯を加熱することにより低粘性化して粉砕さ
れやすくし、それにより通常のアトマイズ方法では得ら
れないような極めて微細かつ清浄な超微粒粉末を製造す
る方法に関する。[Industrial application] By heating a metal melt or a composite melt in which ceramic particles are mixed with an ultra-high temperature heating device using a plasma source, it is made less viscous and easier to be crushed. The present invention relates to a method for producing ultrafine and clean ultrafine powder that cannot be obtained.
【０００２】[0002]
【従来技術】金属粉末粒子を微細化すると、冷却速度が
速くなり、均一かつ微細な組織が得られその固化成形体
の機械特性が向上すること、および比表面積が増大して
化学反応が向上することが期待できるため、市場ではよ
り微細な粉末が要求されている。このような要求に対し
て、超微粒粉末の製造方法の研究が数多く活発に行われ
てきた。2. Description of the Related Art When metal powder particles are made finer, the cooling rate becomes faster, a uniform and fine structure is obtained, the mechanical properties of the solidified molded body are improved, and the specific surface area is increased to improve the chemical reaction. Therefore, the market demands finer powders. In response to such demands, many researches on a method for producing ultrafine powder have been actively conducted.
【０００３】超微粒粉末の製造方法の１つとして、プラ
ズマ蒸発法がある。これは不純物の混入も少なく特性の
良好な粉末を得ることが可能であるが、一般のアトマイ
ズ方法と比較すると極めて生産性が悪いものである。One of the methods for producing ultrafine powder is the plasma evaporation method. It is possible to obtain a powder having excellent characteristics with less inclusion of impurities, but the productivity is extremely poor as compared with a general atomizing method.
【０００４】所定温度を保持しながら金属溶湯をアトマ
イズするアトマイズ法では、粉砕媒体である気体もしく
は液体の流体の圧力を上げることで微細化を促進するこ
とが行われてきた。しかし、流体の圧力を高めることは
動力源の消費が多くなることに加えて、装置の堅牢大型
化を必要とし経済的なデメリットを伴う。さらに、高圧
流体のノズルからの放出に伴う断熱膨張によりノズル部
が冷却されるため溶湯の凝固現象が発生し易くなるとい
う欠点もある。In the atomizing method for atomizing a molten metal while maintaining a predetermined temperature, it has been performed to increase the pressure of a gas or a liquid as a grinding medium to promote miniaturization. However, increasing the pressure of the fluid increases the consumption of the power source and requires a robust and large-sized apparatus, which is economically disadvantageous. Further, the nozzle portion is cooled by the adiabatic expansion accompanying the discharge of the high-pressure fluid from the nozzle, so that the molten metal is likely to solidify.
【０００５】一方、溶湯温度を上げることも微細粉末を
得る１手段であるが、多量の溶湯を高温度に保つことは
不経済でありまた装置の損耗が激しくなるという点で好
ましくない。On the other hand, raising the temperature of the molten metal is also one means for obtaining fine powder, but maintaining a large amount of the molten metal at a high temperature is uneconomical and the wear of the apparatus becomes severe, which is not preferable.
【０００６】[0006]
【問題点を解決するための手段】特性の優れた金属の超
微粒粉末を効率よく製造する方法について発明者らが鋭
意研究を重ねた結果、超高温度のプラズマフレームを有
効に利用して溶湯の温度を気化直前にまで上げ、溶湯の
粘性を低下させた時点でガスと衝突させ、この溶湯を粉
砕する方法によって達成され得ることを見いだした。[Means for Solving the Problems] As a result of the inventors' earnest research on a method for efficiently producing an ultrafine powder of a metal having excellent characteristics, the molten metal is effectively utilized by utilizing an ultrahigh temperature plasma flame. It was found that this can be achieved by a method in which the temperature of the molten metal is raised to just before vaporization, and when the viscosity of the molten metal is lowered, the molten metal is collided with gas and the molten metal is crushed.
【０００７】本発明の金属の超微粒粉末の製造方法は、
溶融した金属の溶湯流の通路を中心とするように配置さ
れた少なくとも１個あるいは複数のプラズマ源から発生
するプラズマフレームにより溶湯を直接または間接的に
加熱した後アトマイズすることを特徴とする。The method for producing an ultrafine powder of metal according to the present invention comprises:
It is characterized in that the molten metal is directly or indirectly heated and then atomized by a plasma flame generated from at least one or a plurality of plasma sources arranged so as to center on the passage of the molten metal molten metal flow path.
【０００８】本発明方法を図１に基いて更に説明する。
図１は本発明方法を実施するための装置の１具体例であ
る。The method of the present invention will be further described with reference to FIG.
FIG. 1 shows one embodiment of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
【０００９】１はプラズマトーチであり、２はプラズマ
フレームである。３は溶湯を保持するルツボであり４の
ヒーターにより加熱される。ルツボの底部には溶湯５を
下方へ導く溶湯通路６が設置されており、ストッパー２
１を上げることにより溶湯５はケース９に入る。ケース
９内の溶湯通路はプラズマトーチ１から照射されるプラ
ズマフレーム２により超高温に加熱され、従ってその中
を通過する溶湯は間接的に加熱される。加熱温度につい
ては、溶湯の粘性を極力低くするためにその溶湯の沸点
近傍にまで上げることが望ましい。例えば、沸点２０５
６℃を有する高純度アルミニウムをアトマイズする場合
には、通常溶湯を約７５０℃に保持しながらアトマイズ
するが、このときの溶湯の粘性は約１０８０ｍＰ（＝
０．１Ｐａ・ｓ）である。本発明において溶湯を２００
０℃に加熱すると、粘性は約６４０ｍＰ（＝０．０６Ｐ
ａ・ｓ）まで低下する。加熱された溶湯は先端の溶湯ノ
ズルから落下すると同時に８の高圧ガスノズルから放出
されるガス１３により粉砕され、微粉末１２となる。も
し必要ならば雰囲気及びアトマイズガスに不活性ガスを
用いることにより得られる粉末を球状化することが可能
である。Reference numeral 1 is a plasma torch, and 2 is a plasma flame. 3 is a crucible for holding the molten metal, which is heated by the heater of 4. At the bottom of the crucible, a molten metal passage 6 for guiding the molten metal 5 downward is installed.
By raising 1, the melt 5 enters the case 9. The molten metal passage in the case 9 is heated to an extremely high temperature by the plasma flame 2 irradiated from the plasma torch 1, so that the molten metal passing through it is indirectly heated. The heating temperature is preferably raised to near the boiling point of the molten metal in order to make the viscosity of the molten metal as low as possible. For example, boiling point 205
When high-purity aluminum having 6 ° C. is atomized, the molten metal is usually atomized while being held at about 750 ° C., but the viscosity of the molten metal at this time is about 1080 mP (=
0.1 Pa · s). In the present invention, 200 molten metal is used.
When heated to 0 ° C, the viscosity is about 640mP (= 0.06P
a ・ s). The heated molten metal drops from the molten metal nozzle at the tip, and at the same time, it is ground by the gas 13 discharged from the high pressure gas nozzle 8 to become fine powder 12. If necessary, it is possible to spheroidize the powder obtained by using an inert gas for the atmosphere and the atomizing gas.
【００１０】プラズマトーチを設置しているケース９
は、プラズマフレームが外部に拡散することを防止し溶
湯通路６を効率よく加熱する役割を有するものである。
ケース９に設けられた１０はプラズマフレームを外部に
排出するための開口部であり、プラズマフレームの方向
性を考慮してプラズマ入射口から極力遠方に設けること
が好ましい。このプラズマフレームを６のパイプ状の溶
湯通路に向けて放射し、内部を流れる溶湯を超高温度に
加熱昇温させる。溶湯は加熱昇温された後、先端のノズ
ル７から落下し高圧噴霧ダイ８からの高圧流体１３の放
出により微細に粉砕されるものである。Case 9 in which a plasma torch is installed
Has a role of preventing the plasma flame from diffusing to the outside and efficiently heating the molten metal passage 6.
Reference numeral 10 provided in the case 9 is an opening for discharging the plasma flame to the outside, and it is preferable to be provided as far as possible from the plasma entrance in consideration of the directionality of the plasma flame. The plasma flame is radiated toward the pipe-shaped molten metal passage 6 to heat the molten metal flowing inside to an extremely high temperature. The molten metal is heated and heated, then drops from the nozzle 7 at the tip, and is finely pulverized by discharge of the high-pressure fluid 13 from the high-pressure spray die 8.
【００１１】本発明において使用するプラズマ源はＤＣ
（直流）プラズマ源、ＲＦ（高周波）プラズマ源及びそ
れらを結合させたハイブリッドプラズマ源のいずれでも
良く、複数のプラズマ源を用いても良い。プラズマ源か
ら発生するプラズマフレームを大気から遮断することが
望ましい。The plasma source used in the present invention is DC
Any of a (DC) plasma source, an RF (radio frequency) plasma source and a hybrid plasma source combining them may be used, and a plurality of plasma sources may be used. It is desirable to shield the plasma flame generated from the plasma source from the atmosphere.
【００１２】プラズマの発生に使用するガスとしては通
常アルゴンガスを用いるが、アルゴンガスと水素ガスの
混合ガスを使用することが望ましい。水素ガスのプラズ
マは、エネルギー密度が高いため粘性が低く熱伝導度が
高いため溶湯温度をさらに上げることが可能となり、粉
末のより一層の微細化に効果がある。また、水素による
還元作用のため装置自体の長寿命化と共に図３，５およ
び６に示すように溶湯をプラズマフレームにより直接加
熱する場合には特に清浄度の高い粉末を得ることができ
ることも知られている。Argon gas is usually used as a gas for generating plasma, but it is desirable to use a mixed gas of argon gas and hydrogen gas. The hydrogen gas plasma has a high energy density, has a low viscosity, and has a high thermal conductivity, so that it is possible to further raise the temperature of the molten metal, which is effective in further miniaturizing the powder. It is also known that the life of the apparatus itself is extended due to the reduction action of hydrogen, and when the molten metal is directly heated by the plasma flame as shown in FIGS. ing.
【００１３】本発明においてはプラズマ発生装置が最も
重要な役割を有しており、プラズマ効果を最大限に利用
するためには発生したプラズマのアース電極に適切な材
質を用いることが必要である。図１，４，７および８に
おける装置ではアース電極の溶湯通路６は導電性材料で
ありかつ超高温度に耐える材料としてグラファイトを選
んでいる。また、図３，５および６における装置では溶
湯流がアース電極となるように電気接続を行うことが必
要である。In the present invention, the plasma generator plays the most important role, and it is necessary to use an appropriate material for the ground electrode of the generated plasma in order to maximize the plasma effect. In the apparatus shown in FIGS. 1, 4, 7 and 8, graphite is selected as the material for the molten metal passage 6 of the ground electrode, which is a conductive material and can withstand ultrahigh temperatures. Also, the devices in FIGS. 3, 5 and 6 require electrical connection so that the molten metal stream becomes the ground electrode.
【００１４】[0014]
【発明の効果】本発明方法ではプラズマによる溶湯の局
部的な短時間昇温が可能であり、比較的低いアトマイズ
ガスの圧力によっても充分微細な粉末が得られる。従っ
て、ルツボ内の溶湯自体を高温に保つ必要がなく、また
アトマイズガスも必ずしも高圧である必要がなく、アト
マイズガスの圧縮装置も大がかりなものを必要としない
ため経済的にメリットがある。According to the method of the present invention, the temperature of the molten metal can be locally raised in a short time by plasma, and a sufficiently fine powder can be obtained even with a relatively low atomizing gas pressure. Therefore, it is not necessary to keep the molten metal in the crucible itself at a high temperature, the atomizing gas does not necessarily have to be at a high pressure, and a compression device for the atomizing gas does not need a large-scale device, which is economically advantageous.
【００１５】また、得られる粉末は超微粒であるため、
メタリック塗料、インキなどの顔料用原料粉末に適して
いることは勿論、粉末冶金用原料として用いるにあたっ
ては粉末の冷却速度が大きいためその固化成形体の諸特
性が大幅に向上し、また比表面積が大きいため化学的に
より活性となり触媒等の用途においても性能が格段に上
がるなどのメリットがある。Since the obtained powder is ultrafine particles,
Not only is it suitable as a raw material powder for pigments such as metallic paints and inks, but when used as a raw material for powder metallurgy, the cooling rate of the powder is high, so the various properties of the solidified molded product are greatly improved and the specific surface area Since it is large, it becomes chemically more active, and there is a merit that the performance is remarkably improved even in applications such as catalysts.
【００１６】[0016]
（実施例１および比較例１，２）図１の装置を用いて、
アルミニウム溶湯をアトマイズした。(Example 1 and Comparative Examples 1 and 2) Using the apparatus of FIG.
The molten aluminum was atomized.
【００１７】アトマイズ条件はルツボ内溶湯温度９００
℃、アトマイズガスはアルゴンで圧力は３０ kgf／cm2
とし、プラズマガスはアルゴン＋１０％水素を用いた。
得られた粉末の平均粒子径は８．５μｍであった。The atomizing condition is a melt temperature of 900 in the crucible.
℃, atomizing gas is argon, pressure is 30 kgf / cm 2
As the plasma gas, argon + 10% hydrogen was used.
The average particle size of the obtained powder was 8.5 μm.
【００１８】比較例１として、図１に示す装置を用い
て、プラズマトーチによる加熱を行なわなかった以外は
上記実施例と全く同じ条件下でアルミニウム溶湯のアト
マイズを行った結果、得られた粉末の平均粒子径は４５
μｍであった。この場合、溶湯出口のノズル７の径を小
さくすればより微細な粉末が得られるが、ノズル先端で
溶湯の凝固が起こり易くなりノズル径を２．５mmより小
さくすることは事実上困難であった。ノズル径２．５mm
でアトマイズを行ったところ、得られた粉末の平均粒子
径は３８μｍであった。As Comparative Example 1, using the apparatus shown in FIG. 1, the molten aluminum was atomized under exactly the same conditions as in the above Example except that the heating by the plasma torch was not carried out. Average particle size is 45
was μm. In this case, finer powder can be obtained by reducing the diameter of the nozzle 7 at the molten metal outlet, but it is difficult to reduce the nozzle diameter to less than 2.5 mm because the molten metal is likely to solidify at the nozzle tip. . Nozzle diameter 2.5mm
When atomized in, the average particle size of the obtained powder was 38 μm.
【００１９】比較例２として、図２の従来装置を用い
て、アルミニウム溶湯のアトマイズを試みた。アトマイ
ズ条件は実施例１と同じ（ルツボ内溶湯温度９００℃、
アトマイズガスはアルゴンで圧力は３０ kgf／cm2 ）と
した。得られた粉末の平均粒径は９７μｍであった。As Comparative Example 2, an attempt was made to atomize the molten aluminum using the conventional apparatus shown in FIG. Atomizing conditions are the same as in Example 1 (melt temperature in crucible 900 ° C.,
The atomizing gas was argon and the pressure was 30 kgf / cm 2 ). The average particle size of the obtained powder was 97 μm.
【００２０】（実施例２）図３の流出する溶湯流１１に
直接プラズマフレームを照射する装置を用いて、アトマ
イズガスの圧力を１５ kgf／cm2 とする以外は実施例１
と同一の条件下でアルミニウム溶湯のアトマイズを行っ
た。得られた粉末の平均粒子径は３２．３μｍであっ
た。(Embodiment 2) Embodiment 1 is used except that the pressure of the atomizing gas is set to 15 kgf / cm 2 by using the apparatus for directly irradiating the flowing molten metal stream 11 of FIG. 3 with the plasma flame.
Atomization of the molten aluminum was carried out under the same conditions as above. The average particle size of the obtained powder was 32.3 μm.
【００２１】（実施例３）図４の装置を用いて、実施例
１と同一の条件下でアルミニウム溶湯のアトマイズを行
った。本装置では、プラズマによって高温に加熱された
溶湯を自由落下させる途中で高圧アトマイズガス１３を
噴霧ノズル８を用いて、不活性ガス雰囲気１５の容器１
４内でアトマイズする。アトマイズは図２に示す比較例
と同じ方法による。得られた粉末の平均粒子径は４８．
４μｍであった。Example 3 Using the apparatus shown in FIG. 4, atomization of the molten aluminum was performed under the same conditions as in Example 1. In this device, the high-pressure atomizing gas 13 is used in the course of free fall of the molten metal heated to a high temperature by the plasma by using the spray nozzle 8 and the container 1 in the inert gas atmosphere 15 is
Atomize within 4. Atomization is by the same method as the comparative example shown in FIG. The average particle size of the obtained powder was 48.
It was 4 μm.
【００２２】（実施例４）図５の装置を用いて、アトマ
イズガスの圧力を６０ kgf／cm2 、プラズマガスを純ア
ルゴンガスとする以外は実施例１と同一の条件下でアル
ミニウム溶湯のアトマイズを行った。本装置は、図３の
装置と同様に、流出する溶湯流１１に直接プラズマフレ
ームを照射するものであるが、図３の装置の場合高速の
プラズマフレームにより溶湯流が乱されるため熱交換の
効率が低下するという欠点を改良したものである。即
ち、これは溶湯流が中心となるような位置にプラズマト
ーチを複数個設置したものであり、これにより溶湯流の
乱れを防止し、かつプラズマフレームの熱効果を高める
ことができるようにしたものである。(Embodiment 4) Using the apparatus shown in FIG. 5, the atomization of molten aluminum is carried out under the same conditions as in Embodiment 1 except that the pressure of the atomizing gas is 60 kgf / cm 2 and the plasma gas is pure argon gas. I went. Similar to the apparatus shown in FIG. 3, this apparatus directly irradiates the flowing molten metal stream 11 with a plasma flame. However, in the case of the apparatus shown in FIG. It is an improvement on the drawback of reduced efficiency. That is, this is one in which a plurality of plasma torches are installed in a position such that the molten metal flow becomes the center, thereby preventing the turbulence of the molten metal flow and enhancing the thermal effect of the plasma flame. Is.
【００２３】得られた粉末の平均粒子径は９．５μｍで
あった。The average particle size of the obtained powder was 9.5 μm.
【００２４】（実施例５）図６の装置を用いて、超微粒
子の複合粉末を製造した。Example 5 Using the apparatus shown in FIG. 6, a composite powder of ultrafine particles was produced.
【００２５】本装置は、プラズマ溶射に用いられる粉体
供給装置１６をプラズマトーチ１のタングステンプラズ
マ電極１７とＣｕチッププラズマ電極１９の間にその粉
末供給口が来るように組み込んだプラズマトーチを設置
した装置であり、このトーチに供給された酸化物、炭化
物、窒化物および／または硼化物の粉末は更に微細化さ
れると同時に、溶湯と混合された後、溶湯溜１８を経て
ノズル７から落下し噴霧ダイから放出される高圧流体に
より粉砕され、超微粒子の複合粉末が得られる。本発明
においては平均粒径３０μｍのアルミナ粒子を用いＡ３
００３アルミ合金中に４％粒子を分散させた複合粉末を
得ることができる。また平均粒径１２μｍのＡｌＮ粒子
を用いてＡ５０５２合金中に１％粒子を分散させた複合
粉末を得ることができる。In this apparatus, a plasma torch in which the powder supply device 16 used for plasma spraying is installed so that the powder supply port is located between the tungsten plasma electrode 17 and the Cu chip plasma electrode 19 of the plasma torch 1 is installed. The device is a device, and the powder of oxide, carbide, nitride and / or boride supplied to the torch is further refined, and at the same time, after being mixed with the molten metal, it is dropped from the nozzle 7 through the molten metal reservoir 18. It is crushed by the high-pressure fluid discharged from the spray die to obtain an ultrafine composite powder. In the present invention, alumina particles having an average particle size of 30 μm are used and
A composite powder in which 4% particles are dispersed in 003 aluminum alloy can be obtained. Further, it is possible to obtain a composite powder in which 1% particles are dispersed in the A5052 alloy by using AlN particles having an average particle diameter of 12 μm.
【００２６】（実施例６）図１の装置の代りに図７の装
置を用いて、実施例１と同一の条件下でアルミニウム溶
湯のアトマイズを行った。実施例１と同様に、平均粒子
径８．５μｍのアトマイズ粉末が得られた。Example 6 Using the apparatus shown in FIG. 7 in place of the apparatus shown in FIG. 1, the molten aluminum was atomized under the same conditions as in Example 1. Atomized powder having an average particle diameter of 8.5 μm was obtained in the same manner as in Example 1.
【００２７】（実施例７）図４の装置の代りに図８の装
置を用いて、実施例１と同一の条件下でアルミニウム溶
湯のアトマイズを行った。実施例３と同様に、平均粒子
径４８．５μｍのアトマイズ粉末が得られた。(Example 7) The apparatus of FIG. 8 was used instead of the apparatus of FIG. 4 to atomize the molten aluminum under the same conditions as in Example 1. Atomized powder having an average particle diameter of 48.5 μm was obtained in the same manner as in Example 3.
【００２８】図７および図８の装置は、図１や図４の装
置のように溶湯通路６をプラズマフレーム２により直接
的に加熱する代りに、ケース９の内部に予め金属２０を
用意し、該金属にプラズマフレーム２を当てることによ
り金属を加熱溶融し、生じた金属溶湯により溶湯通路６
を間接的に加熱するものである。これにより、プラズマ
フレームが直接当たるために生ずる恐れのある溶湯通路
の焼損、損耗を防止でき、プラズマフレームによる加熱
期間を延長することができる。ケースの中に用意する金
属の種類としては、ケースを構成する材料との反応性の
低い材料であってアトマイズされる金属より高い融点を
有するもの、例えばＣｕ、Ｃｕ合金が選択される。この
場合、プラズマフレーム２はケース９内に用意された金
属に直接当たるように設置される。In the apparatus of FIGS. 7 and 8, instead of directly heating the molten metal passage 6 by the plasma flame 2 as in the apparatus of FIGS. 1 and 4, a metal 20 is prepared in advance inside the case 9. The metal is heated and melted by hitting the plasma flame 2 on the metal, and the molten metal passage 6
Is indirectly heated. As a result, it is possible to prevent burning or wear of the molten metal passage that may occur due to direct contact with the plasma flame, and to extend the heating period by the plasma flame. As the kind of metal to be prepared in the case, a material that has a low reactivity with the material forming the case and has a higher melting point than the atomized metal, for example, Cu or a Cu alloy is selected. In this case, the plasma flame 2 is installed so as to directly hit the metal prepared in the case 9.
【００２９】従来の各種アトマイズ法において、上記実
施例の粒径を得るためにはアトマイズガスの圧力を１０
０気圧以上に上げる必要があったが、ここでは１５〜６
０気圧という比較的低いアトマイズガス圧力でこの粒径
を達成でき、省エネルギー、装置の簡素化という点で大
きな成果があった。In various conventional atomizing methods, the pressure of the atomizing gas is set to 10 in order to obtain the particle size of the above-mentioned embodiment.
It was necessary to raise it to over 0 atm, but here it is 15-6
This particle size can be achieved with a relatively low atomizing gas pressure of 0 atm, which is a great achievement in terms of energy saving and simplification of the apparatus.
【００３０】本発明方法によれば、アルミニウムやその
基合金以外にも、鉄、ニッケル、クロム、マンガン、
銅、シリコンなどの各種金属や合金の超微粒粉末も製造
し得る。According to the method of the present invention, in addition to aluminum and its base alloy, iron, nickel, chromium, manganese,
Ultrafine powders of various metals and alloys such as copper and silicon can also be manufactured.
【図１】本発明方法を実施するための装置の１具体例の
断面図である。1 is a cross-sectional view of one embodiment of an apparatus for practicing the method of the present invention.
【図２】従来方法で使用されていた装置の断面図であ
る。FIG. 2 is a cross-sectional view of a device used in a conventional method.
【図３】本発明方法を実施するための装置の１具体例の
断面図である。FIG. 3 is a sectional view of one embodiment of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
【図４】本発明方法を実施するための装置の１具体例の
断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of one embodiment of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
【図５】本発明方法を実施するための装置の１具体例の
断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of one embodiment of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
【図６】本発明方法を実施するための装置の１具体例の
断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of one embodiment of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
【図７】本発明方法を実施するための装置の１具体例の
断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of one embodiment of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
【図８】本発明方法を実施するための装置の１具体例の
断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of one embodiment of an apparatus for carrying out the method of the present invention.
１ プラズマトーチ ２ プラズマフレーム ３ ルツボ ４ ヒーター ５ 溶湯 ６ 通路 ７ ノズル １１ 溶湯流 １２ 微粉末 ２０ 溶湯 ２１ ストッパー 1 Plasma torch 2 Plasma flame 3 Crucible 4 Heater 5 Molten metal 6 Passage 7 Nozzle 11 Molten metal flow 12 Fine powder 20 Molten metal 21 Stopper
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 昭衛 大阪府大阪市中央区久太郎町三丁目６番８ 号 東洋アルミニウム株式会社内 (72)発明者 手嶋 一雄 大阪府大阪市中央区久太郎町三丁目６番８ 号 東洋アルミニウム株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Aki Tanaka, 3-6-8, Kutaro-cho, Chuo-ku, Osaka City, Osaka Prefecture Toyo Aluminum Co., Ltd. (72) Kazuo Teshima, Kazutaro-cho, Chuo-ku, Osaka City, Osaka No. 6-8 Toyo Aluminum Co., Ltd.
Claims (3)
るように配置された少なくとも１個あるいは複数のプラ
ズマ源から発生するプラズマフレームにより溶湯を直接
または間接的に加熱した後アトマイズすることを特徴と
する金属の超微粒粉末の製造方法。1. Atomizing after directly or indirectly heating the molten metal by a plasma flame generated from at least one or a plurality of plasma sources arranged so as to center on the passage of the molten metal molten metal stream. A method for producing an ultrafine powder of a characteristic metal.
窒化物、硼化物から選ばれた少なくとも１種以上の粉末
を導入することによりそれらが金属溶湯と混合されるこ
とを特徴とする請求項１記載の超微粒粉末の製造方法。2. Oxides, carbides in the plasma flame,
The method for producing ultrafine powder according to claim 1, wherein at least one kind of powder selected from nitrides and borides is introduced to mix them with the molten metal.
水素の混合ガスであることを特徴とする請求項１または
２記載の超微粒粉末の製造方法。3. The method for producing an ultrafine powder according to claim 1, wherein the gas for generating plasma is a mixed gas of argon and hydrogen.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16242593A JPH06172818A (en) | 1992-09-30 | 1993-06-30 | Production of superfine particles |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-262101 | 1992-09-30 | ||
| JP26210192 | 1992-09-30 | ||
| JP16242593A JPH06172818A (en) | 1992-09-30 | 1993-06-30 | Production of superfine particles |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06172818A true JPH06172818A (en) | 1994-06-21 |
Family
ID=26488231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16242593A Pending JPH06172818A (en) | 1992-09-30 | 1993-06-30 | Production of superfine particles |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06172818A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100370862B1 (en) * | 2000-06-30 | 2003-02-05 | 에드호텍(주) | apparatus for producing fine powder from molten liquid |
| JP2003522299A (en) * | 2000-02-10 | 2003-07-22 | テトロニクス リミテッド | Plasma arc reactor for producing fine powder |
| WO2011054113A1 (en) * | 2009-11-05 | 2011-05-12 | Ap&C Advanced Powders & Coatings Inc. | Methods and apparatuses for preparing spheroidal powders |
| JP2013038172A (en) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Furukawa Co Ltd | Manufacturing method of thermoelectric conversion material, thermoelectric conversion material, and thermoelectric conversion module |
| WO2019178668A1 (en) | 2018-03-17 | 2019-09-26 | Pyrogenesis Canada Inc. | Method and apparatus for the production of high purity spherical metallic powders from a molten feedstock |
| CN111250720A (en) * | 2020-03-02 | 2020-06-09 | 合肥尚德新材料有限公司 | Method for preparing tungsten-copper composite material |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP16242593A patent/JPH06172818A/en active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003522299A (en) * | 2000-02-10 | 2003-07-22 | テトロニクス リミテッド | Plasma arc reactor for producing fine powder |
| KR100370862B1 (en) * | 2000-06-30 | 2003-02-05 | 에드호텍(주) | apparatus for producing fine powder from molten liquid |
| WO2011054113A1 (en) * | 2009-11-05 | 2011-05-12 | Ap&C Advanced Powders & Coatings Inc. | Methods and apparatuses for preparing spheroidal powders |
| JP2013038172A (en) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Furukawa Co Ltd | Manufacturing method of thermoelectric conversion material, thermoelectric conversion material, and thermoelectric conversion module |
| WO2019178668A1 (en) | 2018-03-17 | 2019-09-26 | Pyrogenesis Canada Inc. | Method and apparatus for the production of high purity spherical metallic powders from a molten feedstock |
| CN112512733A (en) * | 2018-03-17 | 2021-03-16 | 加拿大派罗杰尼斯有限公司 | Method and apparatus for producing high-purity spherical metal powder from molten raw material |
| EP3768450A4 (en) * | 2018-03-17 | 2021-07-14 | Pyrogenesis Canada Inc. | Method and apparatus for the production of high purity spherical metallic powders from a molten feedstock |
| CN111250720A (en) * | 2020-03-02 | 2020-06-09 | 合肥尚德新材料有限公司 | Method for preparing tungsten-copper composite material |
| CN111250720B (en) * | 2020-03-02 | 2023-02-28 | 合肥尚德新材料有限公司 | Method for preparing tungsten-copper composite material |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4592781A (en) | Method for making ultrafine metal powder | |
| US6398125B1 (en) | Process and apparatus for the production of nanometer-sized powders | |
| CA1301462C (en) | Hydrometallurgical process for producing finely divided spherical refractory metal based powders | |
| CN100475390C (en) | Method and apparatus for preparing rapid-solidified hydrogen-storage alloy powder material | |
| US4731110A (en) | Hydrometallurigcal process for producing finely divided spherical precious metal based powders | |
| US4687510A (en) | Method for making ultrafine metal powder | |
| US3041672A (en) | Making spheroidal powder | |
| US7780757B2 (en) | Method and apparatus for producing fine particles | |
| US20200180034A1 (en) | Method for cost-effective production of ultrafine spherical powders at large scale using thruster-assisted plasma atomization | |
| US4772315A (en) | Hydrometallurgical process for producing finely divided spherical maraging steel powders containing readily oxidizable alloying elements | |
| US5114471A (en) | Hydrometallurgical process for producing finely divided spherical maraging steel powders | |
| JPS63307202A (en) | Wet metallurgical method for producing finely divided copper or copper alloy powder | |
| US20030049384A1 (en) | Process and apparatus for preparing transparent electrically conductive coatings | |
| US5124091A (en) | Process for producing fine powders by hot substrate microatomization | |
| JPH06172818A (en) | Production of superfine particles | |
| US4859237A (en) | Hydrometallurgical process for producing spherical maraging steel powders with readily oxidizable alloying elements | |
| JP2004183049A (en) | Method and apparatus for producing fine metal powder by gas atomization method | |
| US4913731A (en) | Process of making prealloyed tungsten alloy powders | |
| US4502885A (en) | Method for making metal powder | |
| JP3270118B2 (en) | Method and apparatus for producing spheroidized particles by high-frequency plasma | |
| CA1330622C (en) | Hydrometallurgical process for producing finely divided iron based powders | |
| US4885028A (en) | Process for producing prealloyed tungsten alloy powders | |
| CA1236711A (en) | Method for making ultrafine metal powder | |
| Ananthapadmanabhan et al. | Particle morphology and size distribution of plasma processed aluminium powder | |
| EP0392293B1 (en) | Process for producing fine powders by hot substrate microatomization |