JPH06160054A - 画像処理装置 - Google Patents
画像処理装置Info
- Publication number
- JPH06160054A JPH06160054A JP4332529A JP33252992A JPH06160054A JP H06160054 A JPH06160054 A JP H06160054A JP 4332529 A JP4332529 A JP 4332529A JP 33252992 A JP33252992 A JP 33252992A JP H06160054 A JPH06160054 A JP H06160054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image data
- sample
- data
- input means
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 第1の入力手段と第2の入力手段との間の計
測基準位置に対する検体のズレを補正可能な画像処理装
置を提供する。 【構成】 第1の計測位置において第1の画像データを
生成する第1の入力手段10と、第2の計測位置におい
て第2の画像データを生成する第2の入力手段20と、
検体14を移動させる搬送機構22と、第1の画像デー
タを記憶するための第1の記憶手段32と、第2の画像
データを記憶するための第2の記憶手段34と、基準検
体の特定箇所の位置と第2の入力手段20の視野内にお
ける第2の基準位置との偏倚量を予め記憶しておく第3
の記憶手段36と、第2の画像データを基に検体14の
物理データを求め、偏倚量で補正した補正物理データを
求める演算手段28と、第2の入力手段20を介して第
2の画像データを生成し、第2の画像データを第2の記
憶手段34へ記憶し、第2の画像データを基に演算手段
28を介して補正物理データを求める制御手段28とを
具備する。
測基準位置に対する検体のズレを補正可能な画像処理装
置を提供する。 【構成】 第1の計測位置において第1の画像データを
生成する第1の入力手段10と、第2の計測位置におい
て第2の画像データを生成する第2の入力手段20と、
検体14を移動させる搬送機構22と、第1の画像デー
タを記憶するための第1の記憶手段32と、第2の画像
データを記憶するための第2の記憶手段34と、基準検
体の特定箇所の位置と第2の入力手段20の視野内にお
ける第2の基準位置との偏倚量を予め記憶しておく第3
の記憶手段36と、第2の画像データを基に検体14の
物理データを求め、偏倚量で補正した補正物理データを
求める演算手段28と、第2の入力手段20を介して第
2の画像データを生成し、第2の画像データを第2の記
憶手段34へ記憶し、第2の画像データを基に演算手段
28を介して補正物理データを求める制御手段28とを
具備する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は画像処理装置に関し、一
層詳細には検体の画像を画素毎の電圧データを基に第1
の画像データを生成する第1の入力手段と第2の入力手
段とを備える画像処理装置に関する
層詳細には検体の画像を画素毎の電圧データを基に第1
の画像データを生成する第1の入力手段と第2の入力手
段とを備える画像処理装置に関する
【0002】
【従来の技術】従来、例えば検体であるリードフレーム
のインナーリードの寸法等を計測するために画像処理技
術が利用されている。昨今、高精度の計測のために画像
倍率を変更したり、計測作業の高速化を目的として入力
手段として複数のCCDカメラを用いる画像処理装置が
採用されている。画像倍率を変更するために2個の入力
手段を有する画像処理装置の場合、等倍率の第1のカメ
ラでインナーリードの指定部分の計測を行う。当該部分
をさらに精密に計測したい場合、高倍率の第2のカメラ
で同部分の計測を行う。計測は通常、カメラの視野内の
特定位置を計測基準位置として寸法等を計測する。この
計測はコンピュータシステムが行う。計測するインナー
リードを第1のカメラと第2のカメラの間で対応させる
ために、リードフレームを移動させるための搬送機構が
設けられている。また、リードフレームを移動させるこ
となく、同一のレンズでインナーリードを捕らえ、切換
手段を介して光路を切り換えることにより、第1のカメ
ラと第2のカメラを切り換える方式の画像処理装置も有
る。
のインナーリードの寸法等を計測するために画像処理技
術が利用されている。昨今、高精度の計測のために画像
倍率を変更したり、計測作業の高速化を目的として入力
手段として複数のCCDカメラを用いる画像処理装置が
採用されている。画像倍率を変更するために2個の入力
手段を有する画像処理装置の場合、等倍率の第1のカメ
ラでインナーリードの指定部分の計測を行う。当該部分
をさらに精密に計測したい場合、高倍率の第2のカメラ
で同部分の計測を行う。計測は通常、カメラの視野内の
特定位置を計測基準位置として寸法等を計測する。この
計測はコンピュータシステムが行う。計測するインナー
リードを第1のカメラと第2のカメラの間で対応させる
ために、リードフレームを移動させるための搬送機構が
設けられている。また、リードフレームを移動させるこ
となく、同一のレンズでインナーリードを捕らえ、切換
手段を介して光路を切り換えることにより、第1のカメ
ラと第2のカメラを切り換える方式の画像処理装置も有
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の複数のカメラを有する画像処理装置には次のよう
な課題がある。第1のカメラと第2のカメラは検査する
インナーリードの特定位置を確実に視野内の計測基準位
置に合わせなければならない。第1のカメラの場合、リ
ードフレームの特定位置と対応している任意の位置を計
測基準位置として設定できるが、第2のカメラの場合、
計測基準位置は第1のカメラの計測基準位置と対応した
位置でなければならない。ところが、搬送機構はいくら
精密に製造されても機械的な誤差をゼロにすることがで
きない。そのため、リードフレームを搬送すると第2の
カメラの計測基準位置とインナーリードの特定位置との
間にはズレが生じてしまい、計測制度の低下、計測信頼
性の低下を招来してしまうという課題がある。そこで、
第1のカメラおよび/または第2のカメラの取り付け位
置を微調整可能な画像処理装置も提案されているが、微
調整機構を設けても搬送機構の振動等がこの微調整機構
に影響を与え、却ってズレ発生の原因となることが判明
した。
従来の複数のカメラを有する画像処理装置には次のよう
な課題がある。第1のカメラと第2のカメラは検査する
インナーリードの特定位置を確実に視野内の計測基準位
置に合わせなければならない。第1のカメラの場合、リ
ードフレームの特定位置と対応している任意の位置を計
測基準位置として設定できるが、第2のカメラの場合、
計測基準位置は第1のカメラの計測基準位置と対応した
位置でなければならない。ところが、搬送機構はいくら
精密に製造されても機械的な誤差をゼロにすることがで
きない。そのため、リードフレームを搬送すると第2の
カメラの計測基準位置とインナーリードの特定位置との
間にはズレが生じてしまい、計測制度の低下、計測信頼
性の低下を招来してしまうという課題がある。そこで、
第1のカメラおよび/または第2のカメラの取り付け位
置を微調整可能な画像処理装置も提案されているが、微
調整機構を設けても搬送機構の振動等がこの微調整機構
に影響を与え、却ってズレ発生の原因となることが判明
した。
【0004】光路切換式の画像処理装置の場合、搬送機
構や微調整機構に起因するズレの発生は防止し得るが、
光路を切り換える切換手段(例えば反射鏡)の取付精度
が低いと第2のカメラへの光軸にズレが生じ、前者と同
様、第2のカメラの計測基準位置とインナーリードの特
定位置との間にはズレが生じてしまい、計測制度の低
下、計測信頼性の低下を招来してしまうという課題があ
る。従って、本発明は第1の入力手段と第2の入力手段
との間の計測基準位置に対する検体のズレを補正可能な
画像処理装置を提供することを目的とする。
構や微調整機構に起因するズレの発生は防止し得るが、
光路を切り換える切換手段(例えば反射鏡)の取付精度
が低いと第2のカメラへの光軸にズレが生じ、前者と同
様、第2のカメラの計測基準位置とインナーリードの特
定位置との間にはズレが生じてしまい、計測制度の低
下、計測信頼性の低下を招来してしまうという課題があ
る。従って、本発明は第1の入力手段と第2の入力手段
との間の計測基準位置に対する検体のズレを補正可能な
画像処理装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は次の構成を備える。すなわち、まず第1の構成
は、第1の計測位置に在る検体の画像を画素毎の電圧デ
ータを基に第1の画像データを生成する第1の入力手段
と、該第1の入力手段に対する位置が固定され、第2の
計測位置に在る検体の画像を画素毎の電圧データを基に
第2の画像データを生成する第2の入力手段と、検体を
前記第1の計測位置から第2の計測位置へ移動させるた
めの搬送機構と、前記第1の画像データを記憶するため
の第1の記憶手段と、前記第2の画像データを記憶する
ための第2の記憶手段と、基準検体が前記第1の計測位
置に在る場合の前記第1の入力手段の視野内における基
準検体の特定箇所の位置を、第1の入力手段の視野内に
おける第1の基準位置とし、前記搬送機構を介して基準
検体が前記第2の計測位置へ移動された際に前記第2の
入力手段の視野内における基準検体の前記特定箇所の位
置と、第2の入力手段の視野内における前記第1の基準
位置に対応する第2の基準位置との偏倚量を予め記憶し
ておくための第3の記憶手段と、前記第2の画像データ
を基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求め、該
物理データを前記偏倚量で補正した補正物理データを求
める演算手段と、前記第2の入力手段を介して検体の第
2の画像データを生成し、該第2の画像データを前記第
2の記憶手段へ記憶し、該第2の画像データを基に前記
演算手段を介して検体の前記補正物理データを求める制
御手段とを具備することを特徴とする。
本発明は次の構成を備える。すなわち、まず第1の構成
は、第1の計測位置に在る検体の画像を画素毎の電圧デ
ータを基に第1の画像データを生成する第1の入力手段
と、該第1の入力手段に対する位置が固定され、第2の
計測位置に在る検体の画像を画素毎の電圧データを基に
第2の画像データを生成する第2の入力手段と、検体を
前記第1の計測位置から第2の計測位置へ移動させるた
めの搬送機構と、前記第1の画像データを記憶するため
の第1の記憶手段と、前記第2の画像データを記憶する
ための第2の記憶手段と、基準検体が前記第1の計測位
置に在る場合の前記第1の入力手段の視野内における基
準検体の特定箇所の位置を、第1の入力手段の視野内に
おける第1の基準位置とし、前記搬送機構を介して基準
検体が前記第2の計測位置へ移動された際に前記第2の
入力手段の視野内における基準検体の前記特定箇所の位
置と、第2の入力手段の視野内における前記第1の基準
位置に対応する第2の基準位置との偏倚量を予め記憶し
ておくための第3の記憶手段と、前記第2の画像データ
を基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求め、該
物理データを前記偏倚量で補正した補正物理データを求
める演算手段と、前記第2の入力手段を介して検体の第
2の画像データを生成し、該第2の画像データを前記第
2の記憶手段へ記憶し、該第2の画像データを基に前記
演算手段を介して検体の前記補正物理データを求める制
御手段とを具備することを特徴とする。
【0006】また第2の構成は、計測位置に在る検体の
画像を画素毎の電圧データを基に第1の画像データを生
成する第1の入力手段と、該第1の入力手段に対する位
置が固定され、前記計測位置に在る検体の画像を画素毎
の電圧データを基に第2の画像データを生成する第2の
入力手段と、画像データの生成を前記第1の入力手段と
前記第2の入力手段で切り換えるための切換手段と、前
記第1の画像データを記憶するための第1の記憶手段
と、前記第2の画像データを記憶するための第2の記憶
手段と、基準検体が前記計測位置に在る場合の前記第1
の入力手段の視野内における基準検体の特定箇所の位置
を、第1の入力手段の視野内における第1の基準位置と
し、前記切換手段を介して画像データ切り換えた際に前
記第2の入力手段の視野内における基準検体の前記特定
箇所の位置と、第2の入力手段の視野内における前記第
1の基準位置に対応する第2の基準位置との偏倚量を予
め記憶しておくための第3の記憶手段と、前記第2の画
像データを基に検体の指定部分の寸法等の物理データを
求め、該物理データを前記偏倚量で補正した補正物理デ
ータを求める演算手段と、前記第2の入力手段を介して
検体の第2の画像データを生成し、該第2の画像データ
を前記第2の記憶手段へ記憶し、該第2の画像データを
基に前記演算手段を介して検体の前記補正物理データを
求める制御手段とを具備することを特徴とする。さら
に、上記両構成において、前記演算手段は第1の画像デ
ータを基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求
め、前記制御手段は前記第1の画像データに基づく物理
データと前記補正物理データとを比較するようにしても
よい。
画像を画素毎の電圧データを基に第1の画像データを生
成する第1の入力手段と、該第1の入力手段に対する位
置が固定され、前記計測位置に在る検体の画像を画素毎
の電圧データを基に第2の画像データを生成する第2の
入力手段と、画像データの生成を前記第1の入力手段と
前記第2の入力手段で切り換えるための切換手段と、前
記第1の画像データを記憶するための第1の記憶手段
と、前記第2の画像データを記憶するための第2の記憶
手段と、基準検体が前記計測位置に在る場合の前記第1
の入力手段の視野内における基準検体の特定箇所の位置
を、第1の入力手段の視野内における第1の基準位置と
し、前記切換手段を介して画像データ切り換えた際に前
記第2の入力手段の視野内における基準検体の前記特定
箇所の位置と、第2の入力手段の視野内における前記第
1の基準位置に対応する第2の基準位置との偏倚量を予
め記憶しておくための第3の記憶手段と、前記第2の画
像データを基に検体の指定部分の寸法等の物理データを
求め、該物理データを前記偏倚量で補正した補正物理デ
ータを求める演算手段と、前記第2の入力手段を介して
検体の第2の画像データを生成し、該第2の画像データ
を前記第2の記憶手段へ記憶し、該第2の画像データを
基に前記演算手段を介して検体の前記補正物理データを
求める制御手段とを具備することを特徴とする。さら
に、上記両構成において、前記演算手段は第1の画像デ
ータを基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求
め、前記制御手段は前記第1の画像データに基づく物理
データと前記補正物理データとを比較するようにしても
よい。
【0007】
【作用】作用について説明する。第1の構成において、
制御手段は第2の画像データを基に検体の指定部分の寸
法等の物理データを求め、その物理データを予め計測し
ておいた偏倚量で補正した補正物理データを求めるの
で、搬送機構の機械的誤差により、第2の入力手段の第
2の基準位置に対する検体の位置ズレが生じても、当該
ズレを補正した補正物理データを求めることが可能とな
る。また、第2の構成において、制御手段は第2の画像
データを基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求
め、その物理データを予め計測しておいた偏倚量で補正
した補正物理データを求めるので、切換手段に起因する
光軸ズレにより、第2の入力手段の第2の基準位置に対
する検体の位置ズレが生じても、当該ズレを補正した補
正物理データを求めることが可能となる。また、両構成
において、演算手段は第1の画像データを基に検体の指
定部分の寸法等の物理データを求め、制御手段は第1の
画像データに基づく物理データと補正物理データとを比
較する構成にすると、両データの差異を求めることが可
能となる。
制御手段は第2の画像データを基に検体の指定部分の寸
法等の物理データを求め、その物理データを予め計測し
ておいた偏倚量で補正した補正物理データを求めるの
で、搬送機構の機械的誤差により、第2の入力手段の第
2の基準位置に対する検体の位置ズレが生じても、当該
ズレを補正した補正物理データを求めることが可能とな
る。また、第2の構成において、制御手段は第2の画像
データを基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求
め、その物理データを予め計測しておいた偏倚量で補正
した補正物理データを求めるので、切換手段に起因する
光軸ズレにより、第2の入力手段の第2の基準位置に対
する検体の位置ズレが生じても、当該ズレを補正した補
正物理データを求めることが可能となる。また、両構成
において、演算手段は第1の画像データを基に検体の指
定部分の寸法等の物理データを求め、制御手段は第1の
画像データに基づく物理データと補正物理データとを比
較する構成にすると、両データの差異を求めることが可
能となる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。 (第1実施例)第1実施例について図1〜図4を参照し
て説明する。図1は第1実施例の画像処理装置のブロッ
クダイアグラムであり、図2はその機械的構成を示した
説明図である。なお、第1実施例では検体の一例である
リードフレームのインナーリードのリード幅を計測する
画像処理装置を例に挙げて説明する。10は第1の入力
手段である第1のCCDカメラであり、直下の第1の計
測位置に在るリードフレーム14の画像を画素毎の電圧
データに変換する多数のCCD素子16aを内蔵する。
第1のカメラ10は、前記電圧データを基に2値信号で
ある第1の画像データを生成する。第1のカメラ10は
固定部材18へしっかり固定されている。なお、固定部
材18はその位置が固定されている。
面と共に詳述する。 (第1実施例)第1実施例について図1〜図4を参照し
て説明する。図1は第1実施例の画像処理装置のブロッ
クダイアグラムであり、図2はその機械的構成を示した
説明図である。なお、第1実施例では検体の一例である
リードフレームのインナーリードのリード幅を計測する
画像処理装置を例に挙げて説明する。10は第1の入力
手段である第1のCCDカメラであり、直下の第1の計
測位置に在るリードフレーム14の画像を画素毎の電圧
データに変換する多数のCCD素子16aを内蔵する。
第1のカメラ10は、前記電圧データを基に2値信号で
ある第1の画像データを生成する。第1のカメラ10は
固定部材18へしっかり固定されている。なお、固定部
材18はその位置が固定されている。
【0009】20は第2の入力手段である第2のCCD
カメラであり、直下の第2の計測位置に在るリードフレ
ーム14の画像を画素毎の電圧データに変換する多数の
CCD素子16bを内蔵する。第2のカメラ20は、前
記電圧データを基に2値信号である第2の画像データを
生成する。第2のカメラ20も固定部材18へしっかり
固定されると共に、第1のカメラ10に対する位置も固
定されている。22は搬送機構の一例であるX−Yテー
ブルであり、モータを含む公知の駆動機構によりスライ
ダ24は水平面内でX−Y方向へ移動(2次元運動)可
能になっている。スライダ24は上面の所定位置にリー
ドフレーム14を保持可能になっている。X−Yテーブ
ル22は、第1のカメラ10で第1の画像データを生成
する場合、スライダ24を移動させてリードフレーム1
4を第1の計測位置(図2に実線で示す位置)に配置す
る。一方、第2のカメラ20で第2の画像データを生成
する場合、スライダ24を移動させてリードフレーム1
4を第2の計測位置(図2に2点鎖線で示す位置)に配
置する。
カメラであり、直下の第2の計測位置に在るリードフレ
ーム14の画像を画素毎の電圧データに変換する多数の
CCD素子16bを内蔵する。第2のカメラ20は、前
記電圧データを基に2値信号である第2の画像データを
生成する。第2のカメラ20も固定部材18へしっかり
固定されると共に、第1のカメラ10に対する位置も固
定されている。22は搬送機構の一例であるX−Yテー
ブルであり、モータを含む公知の駆動機構によりスライ
ダ24は水平面内でX−Y方向へ移動(2次元運動)可
能になっている。スライダ24は上面の所定位置にリー
ドフレーム14を保持可能になっている。X−Yテーブ
ル22は、第1のカメラ10で第1の画像データを生成
する場合、スライダ24を移動させてリードフレーム1
4を第1の計測位置(図2に実線で示す位置)に配置す
る。一方、第2のカメラ20で第2の画像データを生成
する場合、スライダ24を移動させてリードフレーム1
4を第2の計測位置(図2に2点鎖線で示す位置)に配
置する。
【0010】26はROMであり、マイクロプロセッサ
(MPU)28のオペレーティングシステム、画像処理
装置の制御プログラム、制御データ等が予め記憶されて
いる。30はRAMであり、メモリエリアを第1のメモ
リ32、第2のメモリ34、第3のメモリ36、・・・
・・に分割されている。第1のメモリ32は、第1の記
憶手段として、第1のカメラ10で生成された第1の画
像データを記憶する。第2のメモリ34は、第2の記憶
手段として、第2のカメラ20で生成された第2の画像
データを記憶する。
(MPU)28のオペレーティングシステム、画像処理
装置の制御プログラム、制御データ等が予め記憶されて
いる。30はRAMであり、メモリエリアを第1のメモ
リ32、第2のメモリ34、第3のメモリ36、・・・
・・に分割されている。第1のメモリ32は、第1の記
憶手段として、第1のカメラ10で生成された第1の画
像データを記憶する。第2のメモリ34は、第2の記憶
手段として、第2のカメラ20で生成された第2の画像
データを記憶する。
【0011】第3のメモリ36は、予め計測された偏倚
量が記憶される。ここで偏倚量について説明する。基準
となる形状、サイズを有する基準リードフレームが第1
の計測位置に在る場合に、第1のカメラ10の視野内に
おける基準リードフレームの特定箇所(例えばインナー
リードの直線エッジ部分)の位置を、第1のカメラ10
の視野内における第1の基準位置とする。X−Yテーブ
ル22を介して基準リードフレームが第2の計測位置へ
移動された際に、第2のカメラ20の視野内における基
準リードフレームの前記特定箇所の位置と、第2のカメ
ラ20の視野内において第1の基準位置に対応する第2
の基準位置との差が偏倚量である。偏倚量は偏倚長や、
偏倚量に相当する第2のカメラ20の画像を構成する画
素数で表すことができる。偏倚量は実際の計測に先立
ち、基準リードフレームをサンプリング計測を行うこと
によって求める。なお、偏倚量が判っている場合はRO
M26に制御データとして記憶しておいてもよい。その
他、RAM30にはオペレータから入力されたコマンド
やデータ、MPU28が処理したデータ等が一時記憶さ
れる。なお、第1の記憶手段、第2の記憶手段、第3の
記憶手段としてはRAM30に代えてICカード等の外
部メモリを用いることも可能である。
量が記憶される。ここで偏倚量について説明する。基準
となる形状、サイズを有する基準リードフレームが第1
の計測位置に在る場合に、第1のカメラ10の視野内に
おける基準リードフレームの特定箇所(例えばインナー
リードの直線エッジ部分)の位置を、第1のカメラ10
の視野内における第1の基準位置とする。X−Yテーブ
ル22を介して基準リードフレームが第2の計測位置へ
移動された際に、第2のカメラ20の視野内における基
準リードフレームの前記特定箇所の位置と、第2のカメ
ラ20の視野内において第1の基準位置に対応する第2
の基準位置との差が偏倚量である。偏倚量は偏倚長や、
偏倚量に相当する第2のカメラ20の画像を構成する画
素数で表すことができる。偏倚量は実際の計測に先立
ち、基準リードフレームをサンプリング計測を行うこと
によって求める。なお、偏倚量が判っている場合はRO
M26に制御データとして記憶しておいてもよい。その
他、RAM30にはオペレータから入力されたコマンド
やデータ、MPU28が処理したデータ等が一時記憶さ
れる。なお、第1の記憶手段、第2の記憶手段、第3の
記憶手段としてはRAM30に代えてICカード等の外
部メモリを用いることも可能である。
【0012】MPU28は、演算手段および制御手段と
しての機能を有する。MPU28は演算手段として、第
1のメモリ32に記憶されている第1の画像データを基
にインナーリードの指定部分の幅(物理データの一例)
を求める。また、第2のメモリ34に記憶されている第
2の画像データを基にインナーリードの前記指定部分の
幅を求め、その第2の画像データを基に求めた幅を第3
のメモリ36に記憶されている偏倚量で補正した補正幅
(補正物理データ)を求める。
しての機能を有する。MPU28は演算手段として、第
1のメモリ32に記憶されている第1の画像データを基
にインナーリードの指定部分の幅(物理データの一例)
を求める。また、第2のメモリ34に記憶されている第
2の画像データを基にインナーリードの前記指定部分の
幅を求め、その第2の画像データを基に求めた幅を第3
のメモリ36に記憶されている偏倚量で補正した補正幅
(補正物理データ)を求める。
【0013】MPU28は、制御手段として、第1のカ
メラ10を介してリードフレーム14の第1の画像デー
タを生成し、第1のメモリ32へ記憶する。ここで、M
PU28はリードフレーム14のインナーリードの指定
部分の幅を演算機能を利用して求める。例えば、この求
まった幅について高倍率の第2のカメラ20で高精度の
計測が必要と判断される場合、MPU28はX−Yテー
ブル22を駆動させ、リードフレーム14を第1の計測
位置から第2の計測位置へ移動させる。そこで、第2の
カメラ20を介してリードフレーム14の第2の画像デ
ータを生成し、第2のメモリ34へ記憶する。第2の画
像データが求まったら、MPU28は演算機能を使い、
第2の画像データからインナーリードの当該指定部分の
補正幅を求める。MPU28はこの補正幅と第1の画像
データに基づく幅とを比較し、当該指定部分の幅が良好
か否かを判断する。その他、MPU28は制御プログラ
ムに従って、画像処理装置各部の動作を制御する。
メラ10を介してリードフレーム14の第1の画像デー
タを生成し、第1のメモリ32へ記憶する。ここで、M
PU28はリードフレーム14のインナーリードの指定
部分の幅を演算機能を利用して求める。例えば、この求
まった幅について高倍率の第2のカメラ20で高精度の
計測が必要と判断される場合、MPU28はX−Yテー
ブル22を駆動させ、リードフレーム14を第1の計測
位置から第2の計測位置へ移動させる。そこで、第2の
カメラ20を介してリードフレーム14の第2の画像デ
ータを生成し、第2のメモリ34へ記憶する。第2の画
像データが求まったら、MPU28は演算機能を使い、
第2の画像データからインナーリードの当該指定部分の
補正幅を求める。MPU28はこの補正幅と第1の画像
データに基づく幅とを比較し、当該指定部分の幅が良好
か否かを判断する。その他、MPU28は制御プログラ
ムに従って、画像処理装置各部の動作を制御する。
【0014】38はキーボードであり、MPU28へコ
マンドやデータを入力する。また、キーボード38を介
して偏倚量を入力することができる。偏倚量を補正した
いような場合、キーボード38から入力可能である。な
お、入力手段としてはキーボード38に限定されない。
40はディスプレイであり、MPU28が処理した情
報、キーボード38から入力されたデータ等が表示され
る。なお、表示手段としてはディスプレイ40に限定さ
れない。
マンドやデータを入力する。また、キーボード38を介
して偏倚量を入力することができる。偏倚量を補正した
いような場合、キーボード38から入力可能である。な
お、入力手段としてはキーボード38に限定されない。
40はディスプレイであり、MPU28が処理した情
報、キーボード38から入力されたデータ等が表示され
る。なお、表示手段としてはディスプレイ40に限定さ
れない。
【0015】次に図3および図4をさらに参照して動作
について説明する。まず、偏倚量を求めるサンプリング
計測の動作について説明する。図3には第1のカメラ1
0の画像を示す。このとき、基準リードフレームはスラ
イダ24上に保持され、第1の計測位置に在る。基準リ
ードフレームの特定箇所はインナーリード42の直線エ
ッジ44とする。従って、第1の基準位置は、スライダ
24上に取り付けてあるスケール46においてポインタ
48aが示す位置である。MPU28はサンプリング計
測において、この第1の基準位置をRAM30に記憶し
ておく。第1の基準位置が決定したら、MPU28はX
−Yテーブル22を駆動して基準リードフレーム14を
第2の計測位置へ移動させる。
について説明する。まず、偏倚量を求めるサンプリング
計測の動作について説明する。図3には第1のカメラ1
0の画像を示す。このとき、基準リードフレームはスラ
イダ24上に保持され、第1の計測位置に在る。基準リ
ードフレームの特定箇所はインナーリード42の直線エ
ッジ44とする。従って、第1の基準位置は、スライダ
24上に取り付けてあるスケール46においてポインタ
48aが示す位置である。MPU28はサンプリング計
測において、この第1の基準位置をRAM30に記憶し
ておく。第1の基準位置が決定したら、MPU28はX
−Yテーブル22を駆動して基準リードフレーム14を
第2の計測位置へ移動させる。
【0016】図4には第2のカメラ20の画像を示す。
このとき、基準リードフレームは第2の計測位置に在
る。ポインタ48bに示すスケール46の位置が図3の
第1の基準位置に対応する第2の基準位置である。しか
し、X−Yテーブル22の機械的誤差によりインナーリ
ード42の直線エッジ44は第2の基準位置より右方向
へ距離Dだけ偏倚している。MPU28はこの距離Dを
演算で求め、偏倚量=+Dとして第3のメモリ36へ記
憶する。これにより偏倚量が決定される。偏倚量Dが決
定されたら実際のインナーリードの幅計測を行う。
このとき、基準リードフレームは第2の計測位置に在
る。ポインタ48bに示すスケール46の位置が図3の
第1の基準位置に対応する第2の基準位置である。しか
し、X−Yテーブル22の機械的誤差によりインナーリ
ード42の直線エッジ44は第2の基準位置より右方向
へ距離Dだけ偏倚している。MPU28はこの距離Dを
演算で求め、偏倚量=+Dとして第3のメモリ36へ記
憶する。これにより偏倚量が決定される。偏倚量Dが決
定されたら実際のインナーリードの幅計測を行う。
【0017】第2のカメラ20による高精度の計測が必
要となった場合、計測されるリードフレーム14のイン
ナーリードの特定箇所(図4の直線エッジ44に相当)
は常に第2の基準位置に対して+Dだけ偏倚しているの
で、MPU28はインナーリードの幅計測を第2の基準
位置から行った後、偏倚量D分差し引く演算を行い補正
幅を求める。この補正幅を、第1の画像データに基づき
求められた幅と比較し、その差異が予め定められた許容
範囲内であれば、指定部分の幅が良好であると判断し、
次の計測に備える。一方、当該差異が許容範囲外であれ
ば、指定部分の幅が不良であると判断し、ディスプレイ
40に表示し、オペレータへ報知する。
要となった場合、計測されるリードフレーム14のイン
ナーリードの特定箇所(図4の直線エッジ44に相当)
は常に第2の基準位置に対して+Dだけ偏倚しているの
で、MPU28はインナーリードの幅計測を第2の基準
位置から行った後、偏倚量D分差し引く演算を行い補正
幅を求める。この補正幅を、第1の画像データに基づき
求められた幅と比較し、その差異が予め定められた許容
範囲内であれば、指定部分の幅が良好であると判断し、
次の計測に備える。一方、当該差異が許容範囲外であれ
ば、指定部分の幅が不良であると判断し、ディスプレイ
40に表示し、オペレータへ報知する。
【0018】(第2実施例)第2実施例について図5と
共に説明する。なお、第1実施例と同一の構成部材につ
いては第1実施例と同一の符号を附し、説明は省略す
る。第2実施例の画像処理装置は光路切換式の画像処理
装置である。図5において、70a、70bは光路管で
ある。光路管70aの下端にはレンズ72が取り付けら
れ、上端は第1のカメラ10へ連結されている。一方、
光路管70bはL字状に形成され、下端は光路管70a
の中途部へ連絡し、上端は第2のカメラ20へ連絡して
いる。
共に説明する。なお、第1実施例と同一の構成部材につ
いては第1実施例と同一の符号を附し、説明は省略す
る。第2実施例の画像処理装置は光路切換式の画像処理
装置である。図5において、70a、70bは光路管で
ある。光路管70aの下端にはレンズ72が取り付けら
れ、上端は第1のカメラ10へ連結されている。一方、
光路管70bはL字状に形成され、下端は光路管70a
の中途部へ連絡し、上端は第2のカメラ20へ連絡して
いる。
【0019】74は切換手段の一例であるミラーシャッ
タであり、光路管70a内であって、光路管70bと連
絡している部分に設けられている。ミラーシャッタ74
は軸76を中心として矢印Xのように回動可能になって
いる。ミラーシャッタ74は図5に実線で示す位置に在
ると、右側面が反射面に形成されており、光路を右方向
へ90度転換させることができる。その結果、レンズ7
2を通過した光は第2のカメラ20へ送ることが可能に
なっている。一方、ミラーシャッタ74が図5に2点鎖
線で示す位置に在ると、レンズ72を通過した光は光路
78aで進み、障害物が無いので直接第1のカメラ10
へ送ることが可能になっている。すなわち、第2実施例
では第1実施例のX−Yテーブル22の代わりにミラー
シャッタ74が設けられている。
タであり、光路管70a内であって、光路管70bと連
絡している部分に設けられている。ミラーシャッタ74
は軸76を中心として矢印Xのように回動可能になって
いる。ミラーシャッタ74は図5に実線で示す位置に在
ると、右側面が反射面に形成されており、光路を右方向
へ90度転換させることができる。その結果、レンズ7
2を通過した光は第2のカメラ20へ送ることが可能に
なっている。一方、ミラーシャッタ74が図5に2点鎖
線で示す位置に在ると、レンズ72を通過した光は光路
78aで進み、障害物が無いので直接第1のカメラ10
へ送ることが可能になっている。すなわち、第2実施例
では第1実施例のX−Yテーブル22の代わりにミラー
シャッタ74が設けられている。
【0020】80はミラーシャッタ駆動部であり、モー
タ、ソレノイド等を含む回転アクチュエータから成り、
ミラーシャッタ74を矢印Xに示すように回動させる。
82は固定ミラーであり、光路管70aから光路管70
bへ曲折された光は光路78bで第2のカメラ20へ送
られる。従って、第2実施例では、検体であるリードフ
レーム14を移動させることなく、ミラーシャッタ74
を回動させることで第1のカメラ10と第2のカメラ2
0での計測を切り換えることができる。
タ、ソレノイド等を含む回転アクチュエータから成り、
ミラーシャッタ74を矢印Xに示すように回動させる。
82は固定ミラーであり、光路管70aから光路管70
bへ曲折された光は光路78bで第2のカメラ20へ送
られる。従って、第2実施例では、検体であるリードフ
レーム14を移動させることなく、ミラーシャッタ74
を回動させることで第1のカメラ10と第2のカメラ2
0での計測を切り換えることができる。
【0021】第2実施例において、例えばミラーシャッ
タ74や固定シャッタ74の機械的誤差、取付誤差によ
り第2のカメラ20への光路78b(光軸)が所定の光
路からずれることがある。その結果、第2のカメラ20
の第2の基準位置とリードフレーム14の特定位置(例
えばインナーリードの直線エッジ)との間にズレが生じ
ることがある。この場合であっても、第1実施例と同様
に予め偏倚量Dを求めておけば補正物理データを求める
ことができる。以上、本発明の好適な実施例について種
々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるの
ではなく、例えば入力手段の数は2以上の場合でもその
うちの2個の入力手段については本発明を採用し得る
等、発明の精神を逸脱しない範囲でさらに多くの改変を
施し得るのはもちろんである。
タ74や固定シャッタ74の機械的誤差、取付誤差によ
り第2のカメラ20への光路78b(光軸)が所定の光
路からずれることがある。その結果、第2のカメラ20
の第2の基準位置とリードフレーム14の特定位置(例
えばインナーリードの直線エッジ)との間にズレが生じ
ることがある。この場合であっても、第1実施例と同様
に予め偏倚量Dを求めておけば補正物理データを求める
ことができる。以上、本発明の好適な実施例について種
々述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるの
ではなく、例えば入力手段の数は2以上の場合でもその
うちの2個の入力手段については本発明を採用し得る
等、発明の精神を逸脱しない範囲でさらに多くの改変を
施し得るのはもちろんである。
【0022】
【発明の効果】本発明に係る画像処理装置を用いると、
まず請求項1の構成では、制御手段は第2の画像データ
を基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求め、そ
の物理データを予め計測しておいた偏倚量で補正した補
正物理データを求めるので、搬送機構の機械的誤差によ
り、第2の入力手段の第2の基準位置に対する検体の位
置ズレが生じても、当該ズレを補正した補正物理データ
を求めることが可能となる。また、請求項3の構成で
は、制御手段は第2の画像データを基に検体の指定部分
の寸法等の物理データを求め、その物理データを予め計
測しておいた偏倚量で補正した補正物理データを求める
ので、切換手段に起因する光軸ズレにより、第2の入力
手段の第2の基準位置に対する検体の位置ズレが生じて
も、当該ズレを補正した補正物理データを求めることが
可能となるので、第1の入力手段と第2の入力手段との
間の計測基準位置に対する検体のズレを確実に補正で
き、計測制度、計測信頼性の向上を図ることができる。
さらに、請求項2および4の構成では、演算手段は第1
の画像データを基に検体の指定部分の寸法等の物理デー
タを求め、制御手段は第1の画像データに基づく物理デ
ータと補正物理データとを比較する構成にすると、両デ
ータの差異を求めることが可能となる等の著効を奏す
る。
まず請求項1の構成では、制御手段は第2の画像データ
を基に検体の指定部分の寸法等の物理データを求め、そ
の物理データを予め計測しておいた偏倚量で補正した補
正物理データを求めるので、搬送機構の機械的誤差によ
り、第2の入力手段の第2の基準位置に対する検体の位
置ズレが生じても、当該ズレを補正した補正物理データ
を求めることが可能となる。また、請求項3の構成で
は、制御手段は第2の画像データを基に検体の指定部分
の寸法等の物理データを求め、その物理データを予め計
測しておいた偏倚量で補正した補正物理データを求める
ので、切換手段に起因する光軸ズレにより、第2の入力
手段の第2の基準位置に対する検体の位置ズレが生じて
も、当該ズレを補正した補正物理データを求めることが
可能となるので、第1の入力手段と第2の入力手段との
間の計測基準位置に対する検体のズレを確実に補正で
き、計測制度、計測信頼性の向上を図ることができる。
さらに、請求項2および4の構成では、演算手段は第1
の画像データを基に検体の指定部分の寸法等の物理デー
タを求め、制御手段は第1の画像データに基づく物理デ
ータと補正物理データとを比較する構成にすると、両デ
ータの差異を求めることが可能となる等の著効を奏す
る。
【図1】本発明に係る画像処理装置の第1実施例を示し
たブロックダイアグラム。
たブロックダイアグラム。
【図2】第1実施例の機械的構成を示した説明図。
【図3】第1実施例においてサンプリング計測時の第1
のカメラの画像を示した説明図。
のカメラの画像を示した説明図。
【図4】第1実施例においてサンプリング計測時の第2
のカメラの画像を示した説明図。
のカメラの画像を示した説明図。
【図5】第2実施例の画像処理装置の機械的構成を示し
た説明図。
た説明図。
10 第1のカメラ 14 リードフレーム 20 第2のカメラ 22 X−Yテーブル 28 MPU 32 第1のメモリ 34 第2のメモリ 36 第3のメモリ 42 インナーリード 44 直線エッジ 74 ミラーシャッタ 80 ミラーシャッタ駆動部 82 固定ミラー
Claims (4)
- 【請求項1】 第1の計測位置に在る検体の画像を画素
毎の電圧データを基に第1の画像データを生成する第1
の入力手段と、 該第1の入力手段に対する位置が固定され、第2の計測
位置に在る検体の画像を画素毎の電圧データを基に第2
の画像データを生成する第2の入力手段と、 検体を前記第1の計測位置から第2の計測位置へ移動さ
せるための搬送機構と、 前記第1の画像データを記憶するための第1の記憶手段
と、 前記第2の画像データを記憶するための第2の記憶手段
と、 基準検体が前記第1の計測位置に在る場合の前記第1の
入力手段の視野内における基準検体の特定箇所の位置
を、第1の入力手段の視野内における第1の基準位置と
し、前記搬送機構を介して基準検体が前記第2の計測位
置へ移動された際に前記第2の入力手段の視野内におけ
る基準検体の前記特定箇所の位置と、第2の入力手段の
視野内における前記第1の基準位置に対応する第2の基
準位置との偏倚量を予め記憶しておくための第3の記憶
手段と、 前記第2の画像データを基に検体の指定部分の寸法等の
物理データを求め、該物理データを前記偏倚量で補正し
た補正物理データを求める演算手段と、 前記第2の入力手段を介して検体の第2の画像データを
生成し、該第2の画像データを前記第2の記憶手段へ記
憶し、該第2の画像データを基に前記演算手段を介して
検体の前記補正物理データを求める制御手段とを具備す
ることを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項2】 前記演算手段は第1の画像データを基に
検体の指定部分の寸法等の物理データを求め、 前記制御手段は前記第1の画像データに基づく物理デー
タと前記補正物理データとを比較することを特徴とする
請求項1記載の画像処理装置。 - 【請求項3】 計測位置に在る検体の画像を画素毎の電
圧データを基に第1の画像データを生成する第1の入力
手段と、 該第1の入力手段に対する位置が固定され、前記計測位
置に在る検体の画像を画素毎の電圧データを基に第2の
画像データを生成する第2の入力手段と、 画像データの生成を前記第1の入力手段と前記第2の入
力手段で切り換えるための切換手段と、 前記第1の画像データを記憶するための第1の記憶手段
と、 前記第2の画像データを記憶するための第2の記憶手段
と、 基準検体が前記計測位置に在る場合の前記第1の入力手
段の視野内における基準検体の特定箇所の位置を、第1
の入力手段の視野内における第1の基準位置とし、前記
切換手段を介して画像データ切り換えた際に前記第2の
入力手段の視野内における基準検体の前記特定箇所の位
置と、第2の入力手段の視野内における前記第1の基準
位置に対応する第2の基準位置との偏倚量を予め記憶し
ておくための第3の記憶手段と、 前記第2の画像データを基に検体の指定部分の寸法等の
物理データを求め、該物理データを前記偏倚量で補正し
た補正物理データを求める演算手段と、 前記第2の入力手段を介して検体の第2の画像データを
生成し、該第2の画像データを前記第2の記憶手段へ記
憶し、該第2の画像データを基に前記演算手段を介して
検体の前記補正物理データを求める制御手段とを具備す
ることを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項4】 前記演算手段は第1の画像データを基に
検体の指定部分の寸法等の物理データを求め、 前記制御手段は前記第1の画像データに基づく物理デー
タと前記補正物理データとを比較することを特徴とする
請求項3記載の画像処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4332529A JPH06160054A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4332529A JPH06160054A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 画像処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06160054A true JPH06160054A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18255942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4332529A Pending JPH06160054A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 画像処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06160054A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4902732A (en) * | 1985-09-30 | 1990-02-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Epoxy resin-based curable compositions |
EP0448823A2 (de) * | 1990-02-24 | 1991-10-02 | MERCK PATENT GmbH | Trennmaterialien |
JPH0981736A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Fuji Electric Co Ltd | 傷検査装置 |
JP2007040904A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | 測定装置 |
JP2013104860A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-05-30 | Toray Eng Co Ltd | 自動外観検査装置 |
US20180356624A1 (en) * | 2015-10-01 | 2018-12-13 | Nakamura Sangyo Gakuen | Correlation microscope |
-
1992
- 1992-11-17 JP JP4332529A patent/JPH06160054A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4902732A (en) * | 1985-09-30 | 1990-02-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Epoxy resin-based curable compositions |
EP0448823A2 (de) * | 1990-02-24 | 1991-10-02 | MERCK PATENT GmbH | Trennmaterialien |
EP0448823B1 (de) * | 1990-02-24 | 1994-02-16 | MERCK PATENT GmbH | Trennmaterialien |
JPH0981736A (ja) * | 1995-09-08 | 1997-03-28 | Fuji Electric Co Ltd | 傷検査装置 |
JP2007040904A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Seiko Epson Corp | 測定装置 |
JP2013104860A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-05-30 | Toray Eng Co Ltd | 自動外観検査装置 |
TWI586959B (zh) * | 2011-11-17 | 2017-06-11 | Toray Engineering Company Limited | Automatic appearance inspection device |
US20180356624A1 (en) * | 2015-10-01 | 2018-12-13 | Nakamura Sangyo Gakuen | Correlation microscope |
US10663708B2 (en) * | 2015-10-01 | 2020-05-26 | Nakamura Sangyo Gakuen | Correlation microscope |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5541856A (en) | X-ray inspection system | |
KR101110145B1 (ko) | X선 투시 장치 | |
US11421983B2 (en) | Structured light projection for specular surfaces | |
JPH06160054A (ja) | 画像処理装置 | |
JP2012078330A (ja) | レンズ検査機のカメラユニット移動調整方法及びフォーカスチェック治具 | |
JPS62110248A (ja) | 回転角度補正方法およびその装置 | |
JP6854514B2 (ja) | ラインセンサの角度調整装置、欠陥検査装置、ラインセンサの角度調整方法 | |
JP2003029163A (ja) | 顕微鏡システム | |
JP2003098216A (ja) | 回路基板検査装置 | |
JP4133657B2 (ja) | 精密計測用x線透視装置 | |
JP2005172610A (ja) | 3次元測定装置 | |
US8885051B2 (en) | Camera calibration method and camera calibration apparatus | |
JPH10311705A (ja) | 画像入力装置 | |
JPH0989527A (ja) | 計測装置の演算パラメータ計測方法、および計測装置 | |
JP7310541B2 (ja) | 位置測定方法 | |
JP2795790B2 (ja) | 3次元計測装置のセンサ座標補正方法 | |
JPH08233554A (ja) | 画像取込み装置 | |
JP3143527B2 (ja) | 光軸補正手段の特性検査装置及び特性検査方法 | |
JPH0829129A (ja) | 長さ測定装置 | |
JPH09289160A (ja) | 露光装置 | |
JP4187511B2 (ja) | 撮像カメラの絶対傾き計測装置および絶対傾き計測方法 | |
JP3247925B2 (ja) | 電子部品実装方法 | |
JP4696826B2 (ja) | X線検査装置 | |
JPH01144019A (ja) | Lcd基板のアライメント方法 | |
JP3068325B2 (ja) | 3次元位置計測装置 |