JPH06155752A - Water repelling treatment of ink jet recording head - Google Patents
Water repelling treatment of ink jet recording headInfo
- Publication number
- JPH06155752A JPH06155752A JP31053892A JP31053892A JPH06155752A JP H06155752 A JPH06155752 A JP H06155752A JP 31053892 A JP31053892 A JP 31053892A JP 31053892 A JP31053892 A JP 31053892A JP H06155752 A JPH06155752 A JP H06155752A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording head
- ink jet
- jet recording
- layer
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドのノズル開口面への撥水処理方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a water repellent treatment method for a nozzle opening surface of an ink jet recording head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドはノズルより
インクをインク滴として吐出し被記録体に印字画像を形
成するが、水性インクを用いる場合、ノズル開口面の撥
水性が不十分であるとインクの液滴が付着し易くなり、
そのため吐出するインク滴の直進性が損なわれ印字画像
の乱れなどのトラブルにより記録不能となる事がある。2. Description of the Related Art An ink jet recording head discharges ink as ink droplets from a nozzle to form a printed image on a recording medium. However, when a water-based ink is used, if the water repellency of the nozzle opening surface is insufficient, the liquid of the ink will be discharged. Drops tend to adhere,
As a result, the straightness of the ejected ink drops may be impaired, and recording may not be possible due to troubles such as disturbance of the printed image.
【０００３】インクジェット記録ヘッドに於いて求めら
れるノズル開口面の撥水性は、接触角が９０度以上であ
ればインク滴の直進性が損なわれる事がなく十分な撥水
性を有していると言えるが、多くのインクジェット記録
ヘッドには金属・硝子・プラスティック・セラミックス
などの材料が用いられており、これらの殆どは接触角が
約３０〜８０度くらいであり十分な撥水性を有している
とは言えない。そこで従来、インクの付着をなくすため
ノズル開口面に撥水処理剤をコーティングする事が行わ
れており、コーティングする方法としては、例えば静電
粉体塗装（特開昭５７−１６７７６５号）、真空蒸着
（特開昭６０−１８３１６１号）や、その他にもスプレ
ーコート、スピンコートなど種々の方法が知られてい
る。Regarding the water repellency of the nozzle opening surface required for an ink jet recording head, it can be said that if the contact angle is 90 degrees or more, the straightness of the ink droplet is not impaired and the water repellency is sufficient. However, many ink jet recording heads use materials such as metal, glass, plastic, and ceramics, and most of these have a contact angle of about 30 to 80 degrees and have sufficient water repellency. I can't say. Therefore, conventionally, in order to eliminate the adhesion of ink, the nozzle opening surface is coated with a water repellent treatment agent. As a coating method, for example, electrostatic powder coating (JP-A-57-167765), vacuum Various methods such as vapor deposition (JP-A-60-183161) and other methods such as spray coating and spin coating are known.
【０００４】一方インクジェット記録ヘッドは、記録中
に被記録体から発生するゴミがノズル開口面に付着しイ
ンク滴の直進性が損なわれる事を防止するためにゴムや
布からなるワイパーを用いてノズル開口面を拭くワイピ
ングを行うが、このときワイパーはコーティング層上を
擦るためにワイピングの回数と共にコーティング層が磨
耗してゆく。そのため層厚が十分でないと数回のワイピ
ングでコーティング層がなくなってしまい撥水性の維持
が困難となり、長期的な使用が出来ないという問題があ
り、しかしながら数千回以上のワイピングによってもな
くならないだけの十分な層厚を有するコーティング層を
得ようとすると、従来より知られているコーティング方
法では撥水処理剤がノズル内に侵入し目詰まりを起こ
す、コーティング層がノズル上にも張って塞がってしま
うといった問題があった。On the other hand, the ink jet recording head uses a wiper made of rubber or cloth to prevent the dust generated from the recording medium from adhering to the nozzle opening surface during recording and impairing the straightness of the ink droplets. Wiping is performed to wipe the opening surface. At this time, since the wiper rubs the coating layer, the coating layer wears with the number of times of wiping. Therefore, if the layer thickness is not sufficient, the coating layer will be lost by wiping several times and it will be difficult to maintain water repellency, and there is a problem that it cannot be used for a long time.However, wiping more than several thousand times will not eliminate it. When trying to obtain a coating layer having a sufficient layer thickness of, the water repellent treatment agent penetrates into the nozzle and causes clogging in the conventionally known coating method. There was a problem of being lost.
【０００５】そこでこれらの問題を解決する為の方法と
して、特開平２−４８９５３号では切断砥石による切断
研磨や研磨剤による粗化によってノズル開口面に凹凸を
設け、次いで多孔質体または溶媒により膨潤する物質か
らなる転写媒体に撥水処理剤を塗布してこれを前記凹凸
面に転写する事によりワイピングが行われた後にも良好
な撥水性を有するコーティング層を得る方法が示されて
いる。As a method for solving these problems, Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 2-48953 provides unevenness on the nozzle opening surface by cutting with a cutting grindstone or roughening with an abrasive, and then swelling with a porous material or a solvent. There is disclosed a method of applying a water repellent treatment agent to a transfer medium made of a substance to be transferred and transferring it to the uneven surface to obtain a coating layer having good water repellency even after wiping is performed.
【０００６】しかしながらノズル開口面に砥粒を用いて
直接凹凸を形成する上記の方法では、凹凸面側と反対面
側の応力が著しく変化し基材が反ったり、また基材にク
ラックが入り割れるなどの現象が発生しヘッド形成部材
の変形や破損が発生した。更に緻密な粗面を得る事が困
難で凹凸が滑らか部分では基材とコーティング層の密着
性を十分に得る事が難しくワイピングによってコーティ
ング層が剥がれピンホールが発生し、剥がれた部分にイ
ンクが付着してノズルより吐出するインク滴の飛行軌跡
を曲げ良好な記録画像を形成が出来なくなり好ましいも
のではなかった。他にも直接基材表面に凹凸を得る方法
としてケミカルエッチングによる粗化なども知られてい
るが、それらの方法も基材を直接傷つけたり侵す方法で
あり、反ったりクラックが入るという問題の解決にはな
らないものであった。However, in the above method of directly forming irregularities on the nozzle opening surface by using abrasive grains, the stress on the surface opposite to the irregular surface changes remarkably and the base material warps or cracks occur in the base material. As a result, the head forming member is deformed or damaged. Furthermore, it is difficult to obtain a dense rough surface, and it is difficult to obtain sufficient adhesion between the base material and the coating layer in the part where the irregularities are smooth, and the coating layer peels off due to wiping and pinholes occur, and ink adheres to the peeled part. Then, the flight trajectory of the ink droplets ejected from the nozzle is bent, and a good recorded image cannot be formed, which is not preferable. Roughening by chemical etching is also known as a method of directly obtaining irregularities on the substrate surface, but these methods are also methods of directly damaging or attacking the substrate and solving the problem of warping or cracking It was something that couldn't be.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】従って本発明の第１の
目的は、ヘッド形成部材の変形や破壊を伴う事なく粗面
化を実現する事であり、第２の目的は、ノズル開口面を
均一で緻密な粗面とする事により、数千回以上のワイピ
ングによっても撥水性がノズル全面に於いて維持されイ
ンク滴の直進性が長期的に良好なインクジェット記録ヘ
ッドの撥水処理方法を提供する事にある。Therefore, a first object of the present invention is to realize a roughened surface without deformation or destruction of the head forming member, and a second object of the present invention is to provide a nozzle opening surface. Providing a water repellent treatment method for ink jet recording heads that keeps the water repellency on the entire nozzle surface even after wiping several thousand times or more by making the surface uniform and precise, and long-term good ink droplet straightness There is something to do.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】そのため本発明は、イン
クジェット記録ヘッドのノズル開口面に粗面化し得られ
た粗面に含弗素重合体をコーティングする撥水処理方法
に於いて、前記粗面化をメッキにより行う事を特徴とす
る。Therefore, the present invention provides a water repellent treatment method for roughening the nozzle opening surface of an ink jet recording head and coating the obtained rough surface with a fluoropolymer. Is characterized by being plated.
【０００９】本発明のインクジェット記録ヘッドの撥水
処理方法に於いては、先ずノズル開口面上にメッキによ
る粗面化を行い凹凸を有するメッキ層を形成する。凹凸
をヘッド形成部材のノズル開口面を直接加工し設けるの
でなくメッキ層として設ける事により、ヘッド形成部材
に対し反り等の形状変化やクラック等の破壊を起こす事
なく凹凸を得る事が出来る。得られるメッキ層が平滑で
あるとコーティング層の密着性がなくワイピングにより
コーティング層が剥がれ易く、逆に粗過ぎる場合は形成
される金属結晶粒が大きい為にメッキ層と基材の密着性
が得られない事から、メッキによる粗面化は陰極電流密
度が０．５〜４Ａ／ｄｍ2の範囲からなる電解メッキ法
により行う事が好ましく、また用いられる金属としては
耐蝕性や耐湿性、硬さから少なくともＮｉを含有する事
が望ましい。陰極電流密度が４Ａ／ｄｍ2より大きい場
合には得られるメッキ層表面が平滑になりコーティング
層との密着性が得られず、０．５Ａ／ｄｍ2より小さい
場合には金属結晶粒が大きくなり凹凸が非常に粗くメッ
キ層と基材の密着性が得られずワイピングでメッキ層自
体が容易に剥離し同時にコーティング層も剥離して撥水
性が維持出来ず、好ましくない。In the water repellent treatment method for an ink jet recording head of the present invention, first, the surface of the nozzle opening is roughened by plating to form a plating layer having irregularities. By providing the unevenness as a plated layer instead of directly processing the nozzle opening surface of the head forming member, it is possible to obtain the unevenness without causing a change in shape such as a warp or destruction such as a crack in the head forming member. If the obtained plating layer is smooth, there is no adhesion between the coating layer and the coating layer is easily peeled off by wiping. Conversely, if it is too rough, the metal crystal grains that are formed are large and the adhesion between the plating layer and the substrate is obtained. Therefore, the surface roughening by plating is preferably performed by an electrolytic plating method having a cathode current density in the range of 0.5 to 4 A / dm 2 , and the metals used are corrosion resistance, moisture resistance, and hardness. Therefore, it is desirable to contain at least Ni. When the cathode current density is higher than 4 A / dm 2, the surface of the plating layer obtained becomes smooth and adhesion with the coating layer cannot be obtained, and when it is lower than 0.5 A / dm 2 , metal crystal grains become large. The unevenness is very rough, and the adhesion between the plating layer and the substrate cannot be obtained, and the plating layer itself is easily peeled off by wiping, and at the same time the coating layer is peeled off, so that the water repellency cannot be maintained, which is not preferable.
【００１０】本発明のインクジェット記録ヘッドの撥水
処理方法を用いる事の出来るノズル開口面を形成する材
料としては、一般にインクジェット記録ヘッドに用いら
れるところの金属であれば任意に選択し用いる事が出来
る。またその他の材料としてインクジェット記録ヘッド
に用いられる硝子・プラスティック・セラミック等の材
料に対しては予めノズル開口面にＳｉＯ2、Ｃｒ、Ｎｉ
等の薄層をスパッタした後に用いる事が出来る。As a material for forming the nozzle opening surface for which the water repellent treatment method for an ink jet recording head of the present invention can be used, any metal generally used in ink jet recording heads can be selected and used. . As other materials such as glass, plastic and ceramics used for ink jet recording heads, SiO 2 , Cr, Ni are previously formed on the nozzle opening surface.
It can be used after sputtering a thin layer such as.
【００１１】本発明のインクジェット記録ヘッドの撥水
処理方法に於いて、コーティング剤として用いるところ
の含弗素重合体は、非晶質含弗素重合体である事が望ま
しい。具体的には、ポリジパーフルオロアルキルフマレ
ート、テフロンＡＦ（ＤｕＰｏｎｔ社商標）、サイトッ
プ（旭硝子（株）商標）のような含弗素重合体、あるい
は、ジパーフルオロアルキルフマレートとスチレンの交
互共重合体、三弗化塩化エチレンとビニルエーテルとの
交互共重合体、四弗化塩化エチレンとビニルエステルと
の交互共重合体などの含弗素エチレンと炭化水素系エチ
レンとの交互共重合体若しくはその類似体ないし誘導
体、フマライト（日本油脂（株）商標）が好ましく用い
られ得る。これら非晶質含弗素重合体は選択的に弗素系
有機溶剤に溶解する事から、溶媒に任意の濃度で溶解し
てコーティングする事により、粉体状または分散媒の形
態でしか塗布できないポリテトラフルオロエチレンやポ
リクロロトリフルオロエチレンなどに比べ形成されたコ
ーティング層のノズル開口面に対する密着性が高く、か
つ均一なコーティングが可能となる。なおコーティング
層の層厚は厚過ぎるとノズルがコーティング剤で塞が
り、薄過ぎるとコーティング不良によるピンホールが発
生する事から５０〜１５００オングストロームの範囲で
ある事が望ましい。In the water repellent treatment method for an ink jet recording head of the present invention, the fluorine-containing polymer used as the coating agent is preferably an amorphous fluorine-containing polymer. Specifically, a fluorine-containing polymer such as polydiperfluoroalkyl fumarate, Teflon AF (trademark of DuPont), Cytop (trademark of Asahi Glass Co., Ltd.), or an alternate copolymer of diperfluoroalkyl fumarate and styrene. Alternate copolymer of fluorine-containing ethylene and hydrocarbon ethylene such as polymer, alternating copolymer of trifluoroethylene chloride and vinyl ether, alternating copolymer of tetrafluoroethylene chloride and vinyl ester or the like The body or derivative, Fumalite (trademark of NOF CORPORATION) can be preferably used. Since these amorphous fluorine-containing polymers are selectively dissolved in a fluorine-based organic solvent, by dissolving them in a solvent at an arbitrary concentration and coating them, a polytetrafluoride that can be applied only in the form of powder or dispersion medium is used. As compared with fluoroethylene or polychlorotrifluoroethylene, the coating layer formed has higher adhesion to the nozzle opening surface, and uniform coating is possible. If the thickness of the coating layer is too thick, the nozzle will be clogged with the coating agent, and if it is too thin, pinholes will be generated due to defective coating, so that the thickness is preferably in the range of 50 to 1500 angstroms.
【００１２】本発明のインクジェット記録ヘッドの撥水
処理方法に於けるコーティング方法として好ましい第一
の形態は、含弗素重合体を溶解させてなる重合体溶液中
にノズル開口面を有するヘッド形成部材を漬けてこれを
等速で引上げるところのディッピング法によりコーティ
ング層を形成する。ディッピング法によればコーティン
グ層の層厚は、主に引上げ速度と前記重合体溶液の粘度
によって決まるが、このうちの引上げ速度の調整により
層厚のコントロールが非常に容易であり、簡単に所望の
層厚でコーティング層を得る事が出来、また非常に均一
に、かつ安定してコーティングを行う事が出来る。A first preferred embodiment of the coating method in the water repellent treatment method for an ink jet recording head of the present invention is a head forming member having a nozzle opening surface in a polymer solution prepared by dissolving a fluorine-containing polymer. A coating layer is formed by a dipping method in which the material is dipped and pulled at a constant speed. According to the dipping method, the layer thickness of the coating layer is mainly determined by the pulling rate and the viscosity of the polymer solution, but it is very easy to control the layer thickness by adjusting the pulling rate, and a desired thickness can be easily obtained. A coating layer can be obtained with a layer thickness, and coating can be performed very uniformly and stably.
【００１３】また本発明のインクジェット記録ヘッドの
撥水処理方法に於けるコーティング方法として好ましい
第二の形態は、含弗素重合体を溶解させてなる重合体溶
液を水面上に１〜数滴々下し展開させて溶媒を揮発させ
た後、得られた展開膜をノズル開口面に転写するところ
の水面展開法によりコーティング層を形成する。水面展
開法によればコーティング層の層厚は、前記重合体溶液
の含弗素重合体の濃度および単位面積当りの滴下量によ
って決まるが、層厚は滴下量を調整する事により層厚管
理が容易で簡単に所望の層厚でコーティング層を得る事
が出来、また予め水面上に展開膜として形成されるので
ノズル開口面全体に均一な層厚でコーティング層を得る
事が出来る。A second preferred embodiment of the coating method in the method for treating water repellency of an ink jet recording head of the present invention is a polymer solution obtained by dissolving a fluorine-containing polymer on the water surface in one to several drops. Then, the coating layer is formed by the water surface spreading method in which the obtained spreading film is transferred to the nozzle opening surface after the solvent is volatilized by spreading. According to the water surface development method, the layer thickness of the coating layer is determined by the concentration of the fluorine-containing polymer in the polymer solution and the dropping amount per unit area, but the layer thickness can be easily controlled by adjusting the dropping amount. It is possible to easily obtain a coating layer with a desired layer thickness, and since it is previously formed as a spreading film on the water surface, it is possible to obtain a coating layer with a uniform layer thickness on the entire nozzle opening surface.
【００１４】更に本発明のインクジェット記録ヘッドの
撥水処理方法に於けるコーティング方法として好ましい
第二の形態の別形態として、含弗素重合体を溶解させて
なる重合体溶液を水面上に１〜数滴々下し展開させて溶
媒を揮発させた後、バリアーを移動させて展開膜をラン
グミュアー膜とし、得られたラングミュアー膜をノズル
開口面に接触させる事によって、含弗素重合体からなる
ＬＢ膜をコーティング層として形成する。このようなＬ
Ｂ膜は２回以上同一面に接触させた際に積層が可能であ
る事から、接触回数を調整する事により所望の層厚のコ
ーティング層を容易に得る事が出来る。Further, as another embodiment of the second preferred embodiment as the coating method in the water repellent treatment method for an ink jet recording head of the present invention, a polymer solution in which a fluorine-containing polymer is dissolved is added to the water surface in an amount of 1 to several. After dripping down and spreading to evaporate the solvent, the barrier is moved to form the Langmuir film as the spreading film, and the obtained Langmuir film is brought into contact with the nozzle opening surface to form an LB containing a fluorine-containing polymer. The film is formed as a coating layer. L like this
Since the B film can be laminated when it is brought into contact with the same surface more than once, a coating layer having a desired layer thickness can be easily obtained by adjusting the number of contacts.
【００１５】また、本発明のインクジェット記録ヘッド
の撥水処理方法に於けるコーティング方法として好まし
い第三の形態は、鏡平面を有する転写用媒体の前記鏡平
面に含弗素重合体を溶解させてなる重合体溶液からなる
重合体層を形成し、次いで前記鏡平面の重合体層をノズ
ル開口面に転写するところの転写法によってコーティン
グ層を形成する。転写法によればコーティング層の層厚
は鏡平面上の重合体層の層厚によって決まり、これをコ
ントロールする事によりノズル開口面に対し所望の層厚
のコーティング層を容易に形成する事が出来る。前記重
合体層の層厚のコントロールは転写媒体への重合体層の
形成方法に委ねられるが、最も簡易な方法としてはディ
ッピング法があり、その他スピンコート法やスプレーコ
ート法を用いる事も可能である。また転写媒体の材質に
ついては任意のものを用いる事が可能であるが、転写媒
体の表面形状は重合体層を転写する際の転写のし易さに
係っており、鏡平面である場合には良好に転写可能であ
るが、凹凸構造であると転写され易い部分、され難い部
分ができピンホールを発生させる原因となるので好まし
くない。A third preferred embodiment as a coating method in the water repellent treatment method for an ink jet recording head of the present invention comprises dissolving a fluorine-containing polymer on the mirror plane of a transfer medium having a mirror plane. A polymer layer composed of a polymer solution is formed, and then a coating layer is formed by a transfer method in which the mirror-planar polymer layer is transferred to the nozzle opening surface. According to the transfer method, the layer thickness of the coating layer is determined by the layer thickness of the polymer layer on the mirror plane, and by controlling this, the coating layer with the desired layer thickness can be easily formed on the nozzle opening surface. . The control of the layer thickness of the polymer layer depends on the method for forming the polymer layer on the transfer medium, but the simplest method is a dipping method, and it is also possible to use a spin coating method or a spray coating method. is there. The transfer medium can be made of any material, but the surface shape of the transfer medium is related to the ease of transfer when transferring the polymer layer, and when the surface is a mirror plane. Can be satisfactorily transferred, but an uneven structure is not preferable because it causes a part that is easily transferred and a part that is difficult to be transferred, which causes pinholes.
【００１６】本発明のインクジェット記録ヘッドの撥水
処理方法に於いては、メッキによる粗面化を行い、これ
をオゾン雰囲気にさらした後にコーティングを行う事が
出来る。このようなオゾンを用いた表面洗浄処理を行う
事によってコーティングを行う面にある汚れを除去して
コーティング層の密着性を上げる事が出来、前記オゾン
雰囲気は酸素プラズマや紫外線照射により得る事が出来
る。またその他にも電解脱脂など種々の表面洗浄処理を
用いる事も出来、同様の効果を得る事が出来る。In the water repellent treatment method for the ink jet recording head of the present invention, the surface may be roughened by plating, and the surface may be exposed to an ozone atmosphere before coating. By performing such a surface cleaning treatment using ozone, it is possible to remove stains on the surface to be coated and improve the adhesion of the coating layer, and the ozone atmosphere can be obtained by oxygen plasma or ultraviolet irradiation. . In addition, various surface cleaning treatments such as electrolytic degreasing can be used, and the same effect can be obtained.
【００１７】[0017]
【実施例】以下に、図面を参照しながら本発明を詳細に
説明する。The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１８】（実施例１）図１は本発明の実施例１に述
べるインクジェット記録ヘッドの撥水処理方法によって
作成されたインクジェット記録ヘッド１を工程を追って
示すところの説明図である。先ず、オーステナイト型Ｃ
ｒ１８％Ｎｉ８％ステンレス鋼板（１００μｍ厚、以下
ステンレスプレートと略）を圧延型抜きしノズルプレー
ト２を作成する。次いでノズルプレート２のノズル開口
面３に対して反対側となる面４より光硬化型のレジスト
５をノズル６内に入れ、これを以下に示す組成のメッキ
液を用い、以下の条件でノズル開口面３にメッキによる
粗面化を行い層厚３μｍのメッキ層７を得た（図１
ａ）。このメッキ層７の表面粗さを測定したところＲａ
は０．０９μｍであり、また凸頂間の平均距離（以下ピ
ッチ）は７μｍであった。このメッキ層７を得たノズル
プレート２は反りやクラックといった形状変化や破損は
全くなかった。(Embodiment 1) FIG. 1 is an explanatory diagram showing step by step the ink jet recording head 1 produced by the water repellent treatment method for an ink jet recording head described in Embodiment 1 of the present invention. First, austenite type C
A r18% Ni8% stainless steel plate (100 μm thick, hereinafter abbreviated as stainless plate) is rolled and die-cut to form a nozzle plate 2. Next, a photo-curable resist 5 is put into the nozzle 6 from the surface 4 opposite to the nozzle opening surface 3 of the nozzle plate 2, and the resist is opened under the following conditions using a plating solution having the composition shown below. The surface 3 was roughened by plating to obtain a plated layer 7 having a layer thickness of 3 μm (see FIG. 1).
a). When the surface roughness of this plated layer 7 was measured, Ra
Was 0.09 μm, and the average distance between convex peaks (hereinafter referred to as the pitch) was 7 μm. The nozzle plate 2 obtained with this plating layer 7 had no shape change such as warpage or cracks or damage.
【００１９】・メッキ組成 Ｎｉ（ＳＯ3ＮＨ2）2 ３００ｇ／ｌ ＮｉＣｌ2 １５ｇ／ｌ Ｈ3ＢＯ3 ４５ｇ／ｌ ・条件 ｐＨ ２．５ メッキ温度 ４０℃ 陰極電流密度 ３．０Ａ／ｄｍ2 これを適当な剥離剤を用いてレジスト５を除去した後、
面４に粘着層を有するポリイミドテープを貼り、表１に
示す組成よりなる含弗素重合体溶液を用い、引上げ速度
３５ｍｍ／分で前記ノズルプレート２をディッピング
し、ポリイミドテープを剥がした後、１５０℃のオーヴ
ンに１時間入れ溶媒を除去してメッキ層７上にコーティ
ング層８を得た（図１ｂ）。コーティング層８の層厚
は、ステンレスプレートの少なくとも片面を研磨により
鏡面としたものを前記と同じ方法でディッピングした後
に鏡面上のコーティング層を光学式膜厚計で測定する方
法で測ったところ、約２００オングストロームであっ
た。Plating composition Ni (SO 3 NH 2 ) 2 300 g / l NiCl 2 15 g / l H 3 BO 3 45 g / l Conditions pH 2.5 plating temperature 40 ° C. cathode current density 3.0 A / dm 2 After removing the resist 5 with an appropriate release agent,
A polyimide tape having an adhesive layer was attached to the surface 4, a fluorine-containing polymer solution having a composition shown in Table 1 was used, the nozzle plate 2 was dipped at a pulling rate of 35 mm / min, and the polyimide tape was peeled off. The solvent was removed by placing in an oven for 1 hour to obtain a coating layer 8 on the plating layer 7 (FIG. 1b). The layer thickness of the coating layer 8 was measured by a method of measuring the coating layer on the mirror surface with an optical film thickness meter after dipping a stainless plate having at least one surface mirror-polished by polishing in the same manner as above. It was 200 Å.
【００２０】[0020]
【表１】 [Table 1]
【００２１】その後、ポリカーボネートからなる、イン
ク流路を形成するヘッド形成部材９およびインクをヘッ
ド内に供給するための供給口を有するヘッド形成部材１
０を接着し、更にインク滴を吐出するための圧力を発生
させる厚電素子１１、前記ノズルプレート２をそれぞれ
接着して、インクジェット記録ヘッド１を得た（図１
ｃ）。Thereafter, a head forming member 9 made of polycarbonate for forming an ink flow path and a head forming member 1 having a supply port for supplying ink into the head.
No. 0 is adhered, and the thick electric element 11 for generating a pressure for ejecting ink droplets and the nozzle plate 2 are adhered to each other to obtain an ink jet recording head 1 (FIG. 1).
c).
【００２２】ヘッド１のコーティング層８は水に対する
接触角は約９９度であり、ノズル６の重合体溶液による
目詰まりやノズル６上にコーティング層が形成され塞が
る現象はなかった。またメッキ層７上に対しピンホール
等のコーティング不良もなく形成されていた。The coating layer 8 of the head 1 had a contact angle with water of about 99 degrees, and there was no clogging by the polymer solution in the nozzle 6 or the phenomenon that the coating layer was formed on the nozzle 6 and clogged. Further, it was formed on the plated layer 7 without coating defects such as pinholes.
【００２３】このヘッド１を用いて表２に示すところの
インクジェットインク１２をノズル６よりを吐出したと
ころインク滴１３はノズル６の開口方向に対し曲りなく
（０．５°以下）真直ぐ吐出・飛行し（図１ｄ）、被記
録体に対し印字精度の高い高品位な記録画像が形成出来
た。またインク吐出中、被記録体より繊維状のゴミが発
生しコーティング層８上に付着した場合のゴミ除去のた
め、シリコンゴムからなるゴミ除去ワイパー１４を用い
てワイピングを最大１００００回まで繰り返す試験を行
った（図１ｅ）結果、インク滴１３の直進性は全く損な
われる事なく１００００回のワイピングの後にも印字精
度の高い高品位な記録画像を形成する事が出来た。When the ink jet ink 12 shown in Table 2 is ejected from the nozzle 6 using the head 1, the ink droplet 13 is ejected and flies straight without bending (0.5 ° or less) in the opening direction of the nozzle 6. However, a high-quality recorded image with high printing accuracy could be formed on the recording medium. In addition, in order to remove dust when fibrous dust is generated from the recording medium and adheres to the coating layer 8 during ink ejection, a test for repeating wiping up to 10,000 times using a dust removing wiper 14 made of silicon rubber is performed. As a result (FIG. 1e), it was possible to form a high-quality recorded image with high printing accuracy even after wiping 10,000 times without impairing the straightness of the ink droplet 13.
【００２４】[0024]
【表２】 [Table 2]
【００２５】（実施例２）図２は本発明の実施例２に述
べるインクジェット記録ヘッドの撥水処理方法によって
作成されたインクジェット記録ヘッド１５を工程を追っ
て示すところの説明図である。先ず、エキシマレーザー
によりノズル１６、インク供給口１７を穿孔したポリ塩
化エーテルからなるヘッド形成部材１８のノズル開口面
１９にＮｉスパッタを施し、これに以下に示す組成より
なるメッキ液を用い、以下の条件にてノズル開口面１９
上にメッキによる粗面化を行い層厚１０μｍのメッキ層
２０を得た（図２ａ）。このメッキ層２０の表面粗さを
測定したところＲａは０．２０μｍであり、また凸頂間
の平均距離（以下ピッチ）は１０μｍであった。このメ
ッキ層２０を形成したノズル形成部材１８は反りやクラ
ックといった形状変化や破損はなかった。(Embodiment 2) FIG. 2 is an explanatory diagram showing, step by step, an ink jet recording head 15 produced by the water repellent treatment method for an ink jet recording head described in Embodiment 2 of the present invention. First, Ni spattering was performed on the nozzle opening surface 19 of the head forming member 18 made of polyether chloride having the nozzle 16 and the ink supply port 17 formed by an excimer laser, and a plating solution having the following composition was used for the Ni sputtering. Nozzle opening surface 19 depending on conditions
The surface was roughened by plating to obtain a plated layer 20 having a layer thickness of 10 μm (FIG. 2a). When the surface roughness of this plating layer 20 was measured, Ra was 0.20 μm, and the average distance between convex peaks (hereinafter referred to as pitch) was 10 μm. The nozzle forming member 18 on which the plating layer 20 was formed did not undergo any change in shape such as warpage or cracks or damage.
【００２６】・メッキ組成 Ｎｉ（ＳＯ3ＮＨ2）2 ４００ｇ／ｌ ＮｉＣｌ2 ３０ｇ／ｌ Ｈ3ＢＯ3 ４０ｇ／ｌ ・条件 ｐＨ ３．５ メッキ温度 ４０℃ 陰極電流密度 ０．７Ａ／ｄｍ2 次いで、水槽２１に水２２を入れ、表３に示す組成より
なる重合体溶液を１〜２滴水面に滴下して溶媒を揮発さ
せた後、硝子製のバリアー２３で水面上の浮遊層を寄せ
てラングミュアー膜２４とし、メッキ層２０表面を静か
にラングミュアー膜２４に接触させる（図２ｂ）。接触
はメッキ層２０が水面に平行である事が好ましいが数度
程度の傾きはあっても支障なく行える。接触後しばらく
静置の後、静かにヘッド形成部材１８を引上げ付着した
水滴をエアーブローで除去する。メッキ層２０をラング
ミュアー膜２４へ接触させ水滴をエアーブローで除去す
るまでの工程を計１５回行った後、ヘッド形成部材１８
を１３０℃のオーヴンに１時間入れ、残留水分を完全に
除去し、コーティング層２５を得た。コーティング層２
５の層厚を実施例１と同様の方法で測定したところ、約
１８０オングストロームであった。Plating composition Ni (SO 3 NH 2 ) 2 400 g / l NiCl 2 30 g / l H 3 BO 3 40 g / l Conditions pH 3.5 Plating temperature 40 ° C. Cathode current density 0.7 A / dm 2 Water 22 is put in a water tank 21, and 1 to 2 drops of a polymer solution having the composition shown in Table 3 is dropped on the water surface to volatilize the solvent, and then a floating layer on the water surface is gathered by a glass barrier 23 to make a rung. As the Muir film 24, the surface of the plating layer 20 is gently brought into contact with the Langmuir film 24 (FIG. 2B). It is preferable that the plating layer 20 is in contact with the water surface, but the contact can be made without any trouble even if the plating layer 20 is inclined by several degrees. After leaving for a while after the contact, the head forming member 18 is gently pulled up to remove the attached water droplets by air blow. After the step of bringing the plating layer 20 into contact with the Langmuir film 24 and removing the water droplets by air blow is performed 15 times in total, the head forming member 18
Was placed in an oven at 130 ° C. for 1 hour to completely remove residual water, and a coating layer 25 was obtained. Coating layer 2
When the layer thickness of No. 5 was measured by the same method as in Example 1, it was about 180 Å.
【００２７】[0027]
【表３】 [Table 3]
【００２８】その後、ヘッド形成部材１８とポリ塩化エ
ーテルからなる振動板２６を接着し、更に厚電素子１１
ｂを振動板２６に接着してインクジェット記録ヘッド１
５を得た（図２ｃ）。After that, the head forming member 18 and the vibration plate 26 made of poly (ether chloride) are bonded, and the thick electric element 11 is further bonded.
Ink jet recording head 1 by adhering b to diaphragm 26
5 was obtained (Fig. 2c).
【００２９】ヘッド１５のコーティング層２５は水に対
する接触角は約１０５度であり、ノズル１６内への重合
体の侵入による詰まりまたはノズル１６上にコーティン
グ層が形成され塞がる事はなく、またメッキ層２０に対
しピンホール等のコーティング不良を起こす事なく形成
されていた。The coating layer 25 of the head 15 has a contact angle with water of about 105 degrees, so that the coating layer 25 will not be clogged due to the intrusion of the polymer into the nozzle 16 or the coating layer will not be formed on the nozzle 16 and will not be clogged. 20 was formed without causing a coating failure such as a pinhole.
【００３０】このヘッド１５を用いてインクジェットイ
ンク１２をノズル１６より吐出したがインク滴はノズル
１６の開口方向に対し曲りなく（０．５°以下）真直ぐ
吐出し、被記録体に対し印字精度の高い高品位な記録画
像が形成出来た。また実施例１と同様の方法によりワイ
ピングを行ったが、インク滴の直進性は全く損なわれる
事なく１００００回のワイピング後にも印字精度の高い
高品位な記録画像を形成することが出来た。The ink jet ink 12 was ejected from the nozzle 16 using this head 15, but the ink droplet was ejected straight without bending (0.5 ° or less) with respect to the opening direction of the nozzle 16 and the printing accuracy of the recording medium was improved. A high quality recorded image could be formed. Wiping was performed in the same manner as in Example 1, but the straightness of ink droplets was not impaired at all, and a high-quality recorded image with high printing accuracy could be formed even after 10,000 times of wiping.
【００３１】（実施例３）図３は本発明の実施例３に述
べるインクジェット記録ヘッドの撥水処理方法によって
作成されたインクジェット記録ヘッド２７を工程を追っ
て示すところの説明図である。先ず、以下に示す組成の
メッキ液を用い以下の条件でメッキによる粗面化を行う
以外は全て実施例１と同様の方法により、ノズルプレー
ト２８のノズル開口面２９上に層厚５μｍのメッキ層３
０を得た。このメッキ層３０の表面粗さを測定したとこ
ろＲａは０．１６μｍであり、またピッチは９μｍであ
った。このメッキ層３０を得たノズルプレート２８は反
りやクラックといった形状変化や破損は全くなかった。(Embodiment 3) FIG. 3 is an explanatory diagram showing step by step the ink jet recording head 27 produced by the water repellent treatment method for an ink jet recording head described in the third embodiment of the present invention. First, a plating layer having a layer thickness of 5 μm was formed on the nozzle opening surface 29 of the nozzle plate 28 by the same method as in Example 1 except that the plating solution having the following composition was used and the surface was roughened by plating under the following conditions. Three
I got 0. When the surface roughness of this plating layer 30 was measured, Ra was 0.16 μm and the pitch was 9 μm. The nozzle plate 28 obtained with this plating layer 30 had no shape change such as warpage or cracks or damage.
【００３２】・メッキ組成 ＮｉＳＯ4・７Ｈ2Ｏ ２５０ｇ／ｌ ＮｉＣｌ2・６Ｈ2Ｏ ４０ｇ／ｌ Ｈ3ＢＯ3 ３０ｇ／ｌ ・条件 ｐＨ ５．０ メッキ温度 ５０℃ 陰極電流密度 ３．５Ａ／ｄｍ2 次いで硝子からなる転写用媒体３１の鏡平面３２（Ｒａ
０．００２μｍ、ピッチ４０μｍ）上に表４よりなる重
合体溶液を１〜２滴々下し転写用媒体３１をモータ３３
を用いて２０００ｒｐｍ／分で１分間回転させ鏡平面３
２上に重合体層３４を得た（図３ａ）。これをしばらく
静置し溶媒を蒸発させた後、メッキ層３０の表面を重合
体層３４に２〜３分押し付け重合体層３４の一部をメッ
キ層３０上に転写し、ノズルプレート２８を２００℃の
オーヴンに１時間入れて、コーティング層３５を得た。
コーティング層３５の層厚を実施例１と同様の方法で測
定したところ、約１７０オングストロームであった。Plating composition NiSO 4 7H 2 O 250 g / l NiCl 2 6H 2 O 40 g / l H 3 BO 3 30 g / l Conditions pH 5.0 Plating temperature 50 ° C. Cathode current density 3.5 A / dm 2 Next, the mirror plane 32 (Ra of the transfer medium 31 made of glass is used).
0.002 μm, pitch 40 μm), 1 to 2 drops of the polymer solution shown in Table 4 was dropped onto the transfer medium 31 and the motor 33.
Mirror plane 3 by rotating at 2000 rpm / min for 1 minute
A polymer layer 34 was obtained on 2 (FIG. 3a). After allowing this to stand for a while to evaporate the solvent, the surface of the plating layer 30 is pressed against the polymer layer 34 for 2 to 3 minutes to transfer a part of the polymer layer 34 onto the plating layer 30. The coating layer 35 was obtained by placing it in an oven at 0 ° C. for 1 hour.
When the layer thickness of the coating layer 35 was measured by the same method as in Example 1, it was about 170 Å.
【００３３】[0033]
【表４】 [Table 4]
【００３４】その後、実施例１と同じヘッド形成部材お
よび振動板、厚電素子を各々接着し、これに前記ノズル
プレート２８を接着して、インクジェット記録ヘッド２
７を得た。Thereafter, the same head forming member, diaphragm and thick electric element as in Example 1 were adhered to each other, and the nozzle plate 28 was adhered thereto, and the ink jet recording head 2
Got 7.
【００３５】ヘッド２７のコーティング層３５は水に対
する接触角は約１０７度であり、ノズル３６が重合体層
により詰まったり塞がったりする事はなく、メッキ層３
０に対しピンホール等のコーティング不良もなく形成さ
れていた。The coating angle of the coating layer 35 of the head 27 with respect to water is about 107 degrees, the nozzle 36 is not clogged or blocked by the polymer layer, and the plating layer 3
In contrast to 0, it was formed without coating defects such as pinholes.
【００３６】このヘッド２７を用いてインクジェットイ
ンク１２をノズル３６より吐出したところインク滴１３
ｂはノズル３６の開口方向に対し曲りなく（０．５°以
下）真直ぐ吐出・飛行し、被記録体に対し、印字精度の
高い高品位な記録画像が形成出来た（図３ｂ）。また実
施例１と同様の方法によりワイピングを行ったが、イン
ク滴１３ｂの直進性は全く損なわれる事なく、１０００
０回のワイピング後にも印字精度の高い高品位な記録画
像を形成することが出来た。When the ink jet ink 12 is ejected from the nozzle 36 using the head 27, the ink droplet 13
The nozzle b was ejected and flew straight without bending (0.5 ° or less) in the opening direction of the nozzle 36, and a high-quality recorded image with high printing accuracy could be formed on the recording medium (FIG. 3b). Wiping was performed in the same manner as in Example 1, but the straightness of the ink droplet 13b was not impaired at all, and 1000
It was possible to form a high-quality recorded image with high printing accuracy even after wiping zero times.
【００３７】（比較例１）メッキによる粗面化を行う代
わりに、＃４０００微粒からなる研磨剤を用いて凹凸を
ノズル開口面３７に設け、ノズル開口面３７にコーティ
ングを行う以外は全て実施例１と同様の方法によりイン
クジェット記録ヘッド３８を得た。なお、ノズル開口面
３７の表面粗さをコーティング前に測定したところ、面
全体としてはＲａは０．４μｍ、ピッチは１５μｍであ
ったが、所々、凹凸が非常に滑らかな部分があり、その
部分のみを測定したところ、Ｒａは約０．００１〜０．
００４μｍであった。(Comparative Example 1) Instead of roughening by plating, an unevenness is provided on the nozzle opening surface 37 using an abrasive consisting of # 4000 fine particles, and coating is performed on the nozzle opening surface 37. An inkjet recording head 38 was obtained in the same manner as in 1. In addition, when the surface roughness of the nozzle opening surface 37 was measured before coating, Ra was 0.4 μm and the pitch was 15 μm on the entire surface, but there were some parts where the unevenness was very smooth. Only Ra was measured to be about 0.001 to 0.
It was 004 μm.
【００３８】ヘッド３８を用いてインクジェットインク
１２をノズル３９より吐出したところ、初期的にはイン
ク滴１３ｃはノズル３９の開口方向に対し曲りなく
（０．５°以下）真直ぐ吐出・飛行し被記録体に対し印
字精度の高い高品位な記録画像が形成できたが、実施例
１と同様の方法によりワイピングを行ったところ、２０
００回後、凹凸が滑らかな部分でコーティング層４０が
ピンホール状に剥離しインクが溜り、その結果、インク
滴が２〜５°曲り（図４、角度ａ）、被記録体に印字精
度の高い高品位な記録画像が形成できなくなった。When the ink jet ink 12 is ejected from the nozzle 39 using the head 38, initially, the ink droplet 13c is ejected and flies straight (0.5 ° or less) with respect to the opening direction of the nozzle 39 so as to be recorded. A high-quality recorded image with high printing accuracy was formed on the body, but when wiping was performed by the same method as in Example 1, it was 20
After 00 times, the coating layer 40 is peeled off in a pinhole shape at a portion where the unevenness is smooth, and the ink is accumulated. As a result, the ink droplet is bent by 2 to 5 ° (FIG. 4, angle a), and the recording accuracy of the recording medium is reduced. A high-quality recorded image cannot be formed.
【００３９】（比較例２）メッキによる粗面化を行う代
わりに、ポリ塩化エーテルからなるノズル形成部材４１
を＃２０００微粒からなる切削用砥石４２を装着したス
ライングマシン４３でＡ−Ａ線に沿って切削し（図５
ａ）、凹凸を有するノズル開口面を成形し、該ノズル開
口面にコーティングを行う以外は全て実施例２と同様の
操作によりインクジェット記録ヘッドを得ようとした
が、切削時にノズル形成部材４１に変形やクラック４４
が発生し（図５ｂ）、コーティングは行えたが組み立が
出来ず、ヘッドは得られなかった。(Comparative Example 2) Instead of roughening by plating, a nozzle forming member 41 made of polychlorinated ether is used.
Is cut along a line AA by a slashing machine 43 equipped with a grinding wheel 42 made of # 2000 fine particles (see FIG.
a), an inkjet recording head was obtained by the same operation as in Example 2 except that a nozzle opening surface having irregularities was formed and coating was performed on the nozzle opening surface, but the nozzle forming member 41 was deformed during cutting. And crack 44
Was generated (FIG. 5b), coating was performed but assembly could not be performed, and the head was not obtained.
【００４０】（比較例３）メッキ条件の内、陰極電流密
度を１０Ａ／ｄｍ2とする以外は全て実施例１と同様の
方法により、インクジェット記録ヘッド４５を得た。な
お、メッキ層４６の表面粗さをコーティング前に測定し
たところ、Ｒａは０．００７μｍ、ピッチは５μｍであ
った。(Comparative Example 3) An ink jet recording head 45 was obtained by the same method as in Example 1 except that the cathode current density was 10 A / dm 2 among the plating conditions. When the surface roughness of the plating layer 46 was measured before coating, Ra was 0.007 μm and the pitch was 5 μm.
【００４１】ヘッド４５を用いて、インクジェットイン
ク１２をノズル４７より吐出させたところ、初期的には
インク滴１３ｄはノズル４７の開口方向に対し曲りなく
（０．５°以下）真直ぐ吐出・飛行し被記録体に対し印
字精度の高い高品位な記録画像が形成できたが、実施例
１と同様の方法でワイピングを行ったところ、２０００
回後、コーティング層４８が剥離して撥水性がなくなり
インク溜りが発生し、インク滴が２〜９°曲り（図６、
角度ｂ）、高品位な記録画像を形成する事が出来なくな
った。When the ink jet ink 12 was ejected from the nozzle 47 using the head 45, initially, the ink droplet 13d was ejected and flew straight without bending (0.5 ° or less) in the opening direction of the nozzle 47. A high-quality recorded image with high printing accuracy could be formed on the recording medium, but when wiping was performed in the same manner as in Example 1, it was found to be 2000.
After the rotation, the coating layer 48 is peeled off, the water repellency is lost, the ink pool is generated, and the ink droplet is bent by 2 to 9 ° (see FIG. 6,
Angle b), it became impossible to form a high-quality recorded image.
【００４２】（比較例４）メッキ条件の内、陰極電流密
度を０．１Ａ／ｄｍ2とする以外は全て実施例３と同様
の方法により、インクジェット記録ヘッド４９を得た。
なお、メッキ層５０の表面粗さをコーティング前に測定
したところ、Ｒａは０．３μｍ、ピッチは１３μｍであ
った。Comparative Example 4 An ink jet recording head 49 was obtained in the same manner as in Example 3 except that the cathode current density was 0.1 A / dm 2 among the plating conditions.
When the surface roughness of the plated layer 50 was measured before coating, Ra was 0.3 μm and the pitch was 13 μm.
【００４３】ヘッド４９を用いて、インクジェットイン
ク１２をノズル５１より吐出させたところ、初期的には
インク滴１３ｅはノズル５１の開口方向に対し曲りなく
（０．５°以下）真直ぐ吐出・飛行し被記録体に対し印
字精度の高い高品位な記録画像が形成できたが、実施例
１と同様の方法でワイピングを行ったところ、１０００
回後、メッキ層５０がノズルプレート５２より剥離し、
それに伴ってコーティング層５３も剥がれて撥水性がな
くなり、インク溜りが発生してインク滴が３〜９°曲り
（図７、角度ｃ）、高品位な記録画像を形成することが
出来なくなった。When the ink jet ink 12 was ejected from the nozzle 51 using the head 49, initially, the ink droplet 13e was ejected and flew straight without bending (0.5 ° or less) in the opening direction of the nozzle 51. A high-quality recorded image with high printing accuracy could be formed on the recording medium, but when wiping was performed in the same manner as in Example 1, it was 1000
After the rotation, the plating layer 50 is peeled off from the nozzle plate 52,
Along with that, the coating layer 53 was also peeled off and the water repellency was lost, and an ink pool was generated and the ink droplet was bent by 3 to 9 ° (FIG. 7, angle c), and it was not possible to form a high-quality recorded image.
【００４４】以上の結果をまとめると表５が得られる。Table 5 is obtained by summarizing the above results.
【００４５】[0045]
【表５】 [Table 5]
【００４６】表５より、実施例１〜３に示すようにノズ
ル開口面に陰極電流密度０．５〜４Ａ／ｄｍ2の範囲か
らなる電解メッキによってメッキ層を形成しコーティン
グ層を積層した場合には、ヘッド形成部材の変形を起こ
す事なく均一で緻密な粗面が得られ、初期は勿論の事、
ワイピング１００００回後に於いてもコーティング層の
剥離を起こさず、その結果インク滴の直進性を保ち被記
録体に良好な記録画像を長期にわたり形成する事を可能
とするインクジェット記録ヘッドを得る事が出来る。し
かし比較例１、２の様にヘッド形成部材を加工する方法
で凹凸を形成しコーティングする方法では、均一で緻密
な粗面が得られずコーティング層の密着性が十分得られ
なかったり、ヘッド形成部材が変形や破損しインクジェ
ット記録ヘッドが作成出来なくなる。また比較例３の様
に４Ａ／ｄｍ2を越える陰極電流密度でメッキを行うと
粗面が得られずにコーティング層が容易に剥がれ、比較
例４の様に０．５Ａ／ｄｍ2未満の電流密度でメッキを
行うとメッキ層と基材との密着性が得られず、メッキ層
がワイピングにより剥離し、何れの場合も撥水性を維持
する事が出来ずインク滴の直進性が保てずに良好な記録
画像が得られなくなる。From Table 5, as shown in Examples 1 to 3, when a plating layer was formed on the nozzle opening surface by electrolytic plating having a cathode current density of 0.5 to 4 A / dm 2 and a coating layer was laminated, Provides a uniform and dense rough surface without causing deformation of the head forming member.
It is possible to obtain an ink jet recording head which does not cause the peeling of the coating layer even after 10,000 wiping operations and as a result can maintain a straightness of ink droplets and form a good recorded image on a recording medium for a long period of time. . However, in the method of forming unevenness by the method of processing a head forming member as in Comparative Examples 1 and 2, a uniform and dense rough surface cannot be obtained and the adhesion of the coating layer cannot be sufficiently obtained, or the head formation is difficult. The member is deformed or damaged, and the inkjet recording head cannot be created. Further, when plating is performed at a cathode current density exceeding 4 A / dm 2 as in Comparative Example 3, a rough surface is not obtained and the coating layer is easily peeled off, and a current of less than 0.5 A / dm 2 is obtained as in Comparative Example 4. If plating is performed at a density, the adhesion between the plating layer and the base material cannot be obtained, the plating layer peels off by wiping, and in any case the water repellency cannot be maintained and the straightness of the ink droplet cannot be maintained. A good recorded image cannot be obtained.
【００４７】[0047]
【発明の効果】以上の説明により、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの撥水処理方法によれば、ノズル開口面
の粗面化を陰極電流密度０．５〜４Ａ／ｄｍ2の範囲の
電解メッキによって行う事により、ヘッド形成部材の変
形や破壊を伴う事なく粗面化が実現され、かつ緻密な粗
面が得られる事により、長期的な使用の中でワイピング
を繰り返し行った後にもメッキ層の凹部にコーティング
層が残り撥水性が維持され、インク滴の直進性が保持さ
れ良好な記録画像を形成する事が可能なインクジェット
記録ヘッドを得る事が出来る。As described above, according to the water repellent treatment method for an ink jet recording head of the present invention, the nozzle opening surface is roughened by electrolytic plating in the range of a cathode current density of 0.5 to 4 A / dm 2 . By doing so, it is possible to roughen the surface without causing deformation or destruction of the head forming member and to obtain a dense rough surface, so that the plating layer can be formed even after repeated wiping during long-term use. It is possible to obtain an ink jet recording head in which the coating layer remains in the recesses, the water repellency is maintained, the straightness of the ink droplets is maintained, and a good recorded image can be formed.
【図１】本発明の実施例１を行う工程の一部説明図およ
び得られたインクジェット記録ヘッドの一部断面図であ
る。FIG. 1 is a partial explanatory view of a process of carrying out a first embodiment of the present invention and a partial sectional view of an obtained ink jet recording head.
【図２】本発明の実施例２を行う工程の一部説明図であ
る。FIG. 2 is a partial explanatory view of a process of performing Example 2 of the present invention.
【図３】本発明の実施例３を行う工程の一部説明図及び
得られたインクジェット記録ヘッドの一部断面図であ
る。FIG. 3 is a partial explanatory view of a process of performing Example 3 of the present invention and a partial cross-sectional view of the obtained ink jet recording head.
【図４】本発明の比較例１により得られたインクジェッ
ト記録ヘッドの一部断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view of an inkjet recording head obtained in Comparative Example 1 of the present invention.
【図５】本発明の比較例２を行う工程の一部説明図であ
る。FIG. 5 is a partial explanatory view of a step of performing Comparative Example 2 of the present invention.
【図６】本発明の比較例３により得られたインクジェッ
ト記録ヘッドの一部断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view of an inkjet recording head obtained in Comparative Example 3 of the present invention.
【図７】本発明の比較例４により得られたインクジェッ
ト記録ヘッドの一部断面図である。FIG. 7 is a partial cross-sectional view of an inkjet recording head obtained in Comparative Example 4 of the present invention.
１、１５、２７、３８、４５、４９‥‥インクジェット
記録ヘッド ２、２８、５２‥‥ノズルプレート ３、１９、２９、３７‥‥ノズル開口面 ４‥‥面 ５‥‥レジスト ６、１６、３６、３９、４７、５１‥‥ノズル ７、２０、３０、４６、５０‥‥メッキ層 ８、２５、３５、４０、４８、５３‥‥コーティング層 ９、１０、１８、４１‥‥ヘッド形成部材 １１、１１ｂ‥‥厚電素子 １２‥‥インクジェットインク １３、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅ‥‥インク滴 １４‥‥ゴミ除去ワイパー １７‥‥インク供給口 ２１‥‥水槽 ２２‥‥水 ２３‥‥バリアー ２４‥‥ラングミュアー膜 ２６‥‥振動板 ３１‥‥転写用媒体 ３２‥‥鏡平面 ３３‥‥モーター ３４‥‥重合体層 ４２‥‥切削用砥石 ４３‥‥スライングマシン ４４‥‥クラック ａ、ｂ、ｃ‥‥角度1, 15, 27, 38, 45, 49 ... Inkjet recording head 2, 28, 52 ... Nozzle plate 3, 19, 29, 37 ... Nozzle opening surface 4 ... Surface 5 ... Resist 6, 16, 36 , 39, 47, 51 ... Nozzle 7, 20, 30, 46, 50 ... Plating layer 8, 25, 35, 40, 48, 53 ... Coating layer 9, 10, 18, 41 ... Head forming member 11 , 11b ... Thick electric element 12 ... Inkjet ink 13, 13b, 13c, 13d, 13e ... Ink droplet 14 ... Dust removal wiper 17 ... Ink supply port 21 ... Water tank 22 ... Water 23 ... Barrier 24 Langmuir film 26 Vibrating plate 31 Transfer medium 32 Mirror plane 33 Motor 34 Polymer layer 42 Cutting grindstone 43 Slashing machine 44 ... cracks a, b, c ... angle
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２５Ｄ 5/36 Ｂ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location C25D 5/36 B
Claims (7)
面を粗面化し得られた粗面に含弗素重合体をコーティン
グする撥水処理方法であって、前記粗面化が陰極電流密
度が０．５〜４Ａ／ｄｍ2の範囲からなる電解メッキよ
る粗面化である事を特徴とするインクジェット記録ヘッ
ドの撥水処理方法。1. A water repellent treatment method comprising roughening a nozzle opening surface of an ink jet recording head and coating the obtained rough surface with a fluorine-containing polymer, wherein the roughening has a cathode current density of 0.5 to A water repellent treatment method for an inkjet recording head, characterized in that the surface is roughened by electrolytic plating in the range of 4 A / dm 2 .
メッキ層が少なくともＮｉを含有する事を特徴とする請
求項１記載のインクジェット記録ヘッドの撥水処理方
法。2. The water repellent treatment method for an ink jet recording head according to claim 1, wherein the plating layer obtained by roughening the surface by plating contains at least Ni.
体である事を特徴とする請求項１記載のインクジェット
記録ヘッドの撥水処理方法。3. The water repellent treatment method for an ink jet recording head according to claim 1, wherein the fluorine-containing polymer is an amorphous fluorine-containing polymer.
グによる方法である事を特徴とする請求項１記載のイン
クジェット記録ヘッドの撥水処理方法。4. The method for treating water repellency of an ink jet recording head according to claim 1, wherein the coating method is a dipping method.
体を溶解させてなる重合体溶液を水面上に展開させて溶
媒を揮発させた後、得られた展開膜をメッキ層上に転写
させてコーティング層を形成する方法である事を特徴と
する請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの撥水処
理方法。5. The coating method is such that a polymer solution obtained by dissolving a fluorine-containing polymer is spread on a water surface to volatilize a solvent, and then the spread film obtained is transferred onto a plating layer. The water repellent treatment method for an inkjet recording head according to claim 1, wherein the method is a method of forming a coating layer.
体を溶解させてなる重合体溶液を水面上に展開させて溶
媒を揮発させた後、バリアーを移動させて展開膜をラン
グミュアー膜とし、得られたラングミュアー膜をメッキ
層上に１回以上接触させてコーティング層を形成する方
法である事を特徴とする請求項１記載のインクジェット
記録ヘッドの撥水処理方法。6. The coating method, wherein a polymer solution obtained by dissolving a fluorine-containing polymer is spread on the water surface to volatilize the solvent, and then the barrier is moved to form a Langmuir film as the spreading film. 2. The method for treating water repellency of an inkjet recording head according to claim 1, wherein the Langmuir film thus obtained is brought into contact with the plating layer one or more times to form a coating layer.
する転写用媒体の前記鏡平面に含弗素重合体を溶解させ
てなる重合体溶液からなる重合体層を形成し、次いで前
記転写用媒体表面上の重合体層をメッキ層上に転写する
方法である事を特徴とする請求項１記載のインクジェッ
ト記録ヘッドの撥水処理方法。7. The method of coating comprises forming a polymer layer comprising a polymer solution obtained by dissolving a fluorine-containing polymer on the mirror plane of a transfer medium having a mirror plane, and then forming the surface of the transfer medium. 2. The water repellent treatment method for an ink jet recording head according to claim 1, which is a method of transferring the upper polymer layer onto the plating layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31053892A JPH06155752A (en) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | Water repelling treatment of ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31053892A JPH06155752A (en) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | Water repelling treatment of ink jet recording head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155752A true JPH06155752A (en) | 1994-06-03 |
Family
ID=18006446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31053892A Pending JPH06155752A (en) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | Water repelling treatment of ink jet recording head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06155752A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08207291A (en) * | 1994-07-14 | 1996-08-13 | Hitachi Koki Co Ltd | Manufacture of ink jet recording head and recording device |
| JPH1071721A (en) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Ricoh Co Ltd | Ink jet head, its manufacture, and ink jet recorder |
| US6243112B1 (en) | 1996-07-01 | 2001-06-05 | Xerox Corporation | High density remote plasma deposited fluoropolymer films |
| JP2014043029A (en) * | 2012-08-25 | 2014-03-13 | Ricoh Co Ltd | Liquid discharge head and image formation device |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP31053892A patent/JPH06155752A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08207291A (en) * | 1994-07-14 | 1996-08-13 | Hitachi Koki Co Ltd | Manufacture of ink jet recording head and recording device |
| US6243112B1 (en) | 1996-07-01 | 2001-06-05 | Xerox Corporation | High density remote plasma deposited fluoropolymer films |
| US6444275B1 (en) | 1996-07-01 | 2002-09-03 | Xerox Corporation | Method for remote plasma deposition of fluoropolymer films |
| JPH1071721A (en) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Ricoh Co Ltd | Ink jet head, its manufacture, and ink jet recorder |
| JP2014043029A (en) * | 2012-08-25 | 2014-03-13 | Ricoh Co Ltd | Liquid discharge head and image formation device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0576007B1 (en) | Method of forming a nozzle for an ink-jet printer head | |
| JP3160908B2 (en) | Ink jet recording head and method of manufacturing the same | |
| WO1999012740A1 (en) | Porous structure, ink jet recording head, methods of their production, and ink jet recorder | |
| JP2007253485A (en) | Liquid-repellent film-coated member, component member of liquid jet apparatus, nozzle plate of liquid jet head, liquid jet head, and liquid jet apparatus | |
| JP3379119B2 (en) | Ink jet recording head and method of manufacturing the same | |
| JP3178115B2 (en) | Ink jet recording head and water repellent treatment method thereof | |
| JPH06155752A (en) | Water repelling treatment of ink jet recording head | |
| US5581285A (en) | Ink jet recording head with discharge opening surface treatment | |
| JP3161106B2 (en) | Ink jet recording head and method of manufacturing the same | |
| JP3785852B2 (en) | Inkjet head manufacturing method | |
| JPH07125219A (en) | Water-repelling treatment of ink jet recording head | |
| JPH05345419A (en) | Ink jet recording head | |
| JPH09267478A (en) | Ink jet recording head, its manufacture and ink jet printer | |
| JPH05338180A (en) | Surface treatment of ink jet recording head | |
| KR20070084877A (en) | Method for coating of ink-jet printer head nozzle | |
| JP2001018398A (en) | Manufacture of nozzle plate of ink jet head | |
| JP3804359B2 (en) | Inkjet head manufacturing method | |
| JP3815225B2 (en) | Water repellent article and method for producing the same, ink jet head and method for producing the same, and ink jet printer | |
| JP2004122684A (en) | Inkjet head and manufacturing method therefor | |
| JP2709084B2 (en) | Method of manufacturing ink jet recording head | |
| JP3010728B2 (en) | INK JET RECORDING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | |
| JP2003251810A (en) | Inkjet recording head and its manufacturing method | |
| JPH05330060A (en) | Ink jet recording head and production thereof | |
| JP2002127429A (en) | Method for manufacturing ink jet recording head and ink jet recording head | |
| JPH0248953A (en) | Ink jet recording head and its surface treating |