JPH06155265A - Holding of work and holding device - Google Patents
Holding of work and holding deviceInfo
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- JPH06155265A JPH06155265A JP32742092A JP32742092A JPH06155265A JP H06155265 A JPH06155265 A JP H06155265A JP 32742092 A JP32742092 A JP 32742092A JP 32742092 A JP32742092 A JP 32742092A JP H06155265 A JPH06155265 A JP H06155265A
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- holding
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Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、レンズ、プリズムなど
を研削研磨するワークの保持装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work holding device for grinding and polishing lenses, prisms and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レンズなどを研削研磨するワーク保持装
置における従来技術としては、例えば実公昭５４−１５
３５１号公報および特開昭６０−７１１５８号公報があ
る。この公報に記載されている技術を図７，図８，図９
にて説明する。図７は、実公昭５４−１５３５１号公報
に開示されている研磨用レンズ保持装置を示す断面図で
ある。図８は、図７に示すレンズ保持装置の底面図であ
る。2. Description of the Related Art As a conventional technique for a work holding device for grinding and polishing lenses and the like, for example, Japanese Utility Model Publication No. 54-15.
351 and JP-A-60-71158. The technology described in this publication is shown in FIGS.
Will be explained. FIG. 7 is a sectional view showing a polishing lens holding device disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 54-15351. FIG. 8 is a bottom view of the lens holding device shown in FIG. 7.
【０００３】図に示す符号１２０は、茸形状に形成され
て下端面中心に駆動軸１２１を備えた研磨盤である。こ
の研磨盤１２０の上面には、椀を伏せたような形状のレ
ンズ保持装置１０１に被研磨レンズ１１９を装着して押
圧すると共に、レンズ装置１０１を左右方向にトラバー
スさせるようその中心位置にセンター１２２を装着構成
されている。このレンズ保持装置１０１は、被研磨レン
ズ１１９の仕上げ済外周面（研磨済の面で、被加工面の
反対面）１１９ａと同曲率に形成した前面部１０３を有
し、金属材からなる円板状の当て板１０２に、ゴム製で
円形状の薄板１０５を貼着して位置決め面１０６を形成
している。更に当て板１０２の背面部１０４の中心部に
は、上記センター１２２の受け部材１０７が埋設構成し
ている。また、当て板１０２には、ベースクライトなど
の合成樹脂よりなる把持部材１０８がビス１１２により
固定されている。この把持部材１０８は、円筒形状をな
し、その円筒部１０９の先端部には外方に突出した突起
１１０を形成して軸方向に向けて多数の割溝１１１を刻
設することで、多数の把持爪１０９ａが形成されてい
る。Reference numeral 120 shown in the figure is a polishing machine which is formed into a mushroom shape and has a drive shaft 121 at the center of the lower end surface. On the upper surface of the polishing board 120, a lens holding device 101 having a bowl-like shape is mounted and pressed with a lens 119 to be polished, and a center 122 is provided at a central position of the lens device 101 so as to traverse the lens device 101 in the left-right direction. Is configured to be installed. This lens holding device 101 has a front surface 103 formed with the same curvature as a finished outer peripheral surface (polished surface, which is the surface opposite to the surface to be processed) 119a of the lens to be polished 119, and is a disk made of a metal material. A circular thin plate 105 made of rubber is adhered to the circular contact plate 102 to form a positioning surface 106. Further, the receiving member 107 of the center 122 is embedded in the central portion of the back surface portion 104 of the contact plate 102. A grip member 108 made of synthetic resin such as base clite is fixed to the backing plate 102 with screws 112. The gripping member 108 has a cylindrical shape, and a protrusion 110 protruding outward is formed at the tip of the cylindrical portion 109, and a large number of split grooves 111 are formed in the axial direction. The grip claw 109a is formed.
【０００４】上記把持爪１０９ａは、レンズ１１９を充
填したときその縁部１１９ｃが掛かるようになってい
る。また、上記当て板１０２の上面に穿孔した雌ネジ孔
１１８に、把持部材１０８を貫通して蝶ネジ１１７が螺
着されており、これにアルミニウム材などから形成され
た枠体１１３が、把持部材１０８の突起１１０に当接可
能のように構成されている。The grip claw 109a is adapted to be hooked by the edge portion 119c when the lens 119 is filled. Further, a thumbscrew 117 is screwed into the female screw hole 118 formed in the upper surface of the pad plate 102 so as to penetrate the gripping member 108, and the frame body 113 formed of an aluminum material or the like is attached to the gripping member 108. It is configured so that it can contact the protrusion 110 of 108.
【０００５】次に、上記構成の従来技術による作用を説
明する。被加工レンズ１１９をゴム製の薄板１０５に当
接して、その当接面を密着させた状態にて蝶ネジ１１７
を回転すると、把持部材１０８と枠体１１３とが互いに
締めつけられ、枠体１１３の先端係合部１１４ａが、把
持部材１０８の突起１１０に当接する。これにより把持
爪１０９ａの先端部は内方向へ撓み被加工レンズ１１９
の縁部１１９ｃを把持爪１０９ａで圧着して固定保持す
るように構成した技術である。Next, the operation of the above-described structure according to the prior art will be described. The lens 119 to be processed is brought into contact with the thin rubber plate 105, and the thumbscrew 117 is brought into contact with the contact surface.
When is rotated, the grip member 108 and the frame body 113 are fastened to each other, and the tip end engaging portion 114a of the frame body 113 abuts the projection 110 of the grip member 108. As a result, the tip of the grip claw 109a bends inward and the lens 119 to be processed is processed.
This is a technique in which the edge portion 119c is pressure-bonded by the grip claw 109a to be fixedly held.
【０００６】次に、上記した後者の公報、即ち特開昭６
０−７１１５８号公報に記載されている技術を図９にて
説明する。図９は、特開昭６０−７１１５８号公報に記
載されている第１図であって、この公報の発明を示すレ
ンズホルダーを取付けた面削り機の部分断面図である。
面削りすべき光学レンズ１１をレンズホルダー装置１６
の先端部に設けた室１９の内側に受け入れて（挿入し
て）光学レンズ１１の下面に配設した面削り工具１０の
作動面１４に当て、ホルダー装置１６の軸心に設けた管
２０より加圧液圧流体を室１９に供給する。Next, the latter publication mentioned above, that is, JP-A-6
The technique described in Japanese Patent Publication No. 0-71158 will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a first sectional view of JP-A-60-71158, which is a partial sectional view of a chamfering machine to which a lens holder showing the invention of this publication is attached.
The lens holder device 16 for the optical lens 11 to be surface-polished
It is received (inserted) inside the chamber 19 provided at the tip of the optical lens 11 and applied to the operating surface 14 of the chamfering tool 10 arranged on the lower surface of the optical lens 11, and the tube 20 provided at the axial center of the holder device 16 Pressurized hydraulic fluid is supplied to the chamber 19.
【０００７】この加圧液流体により、光学レンズ１１の
上面（非加工面）と室１９の上面（端壁２１）との間に
液圧クッション３４を構成し、光学レンズ１１の対面１
３に作用すると同時に、光学レンズ１１の周囲、即ち光
学レンズ１１の周縁２４と室１９内の側壁２２との間に
は液圧フィルムが形成される。このようにして、面取り
すべき光学レンズ１１は、レンズホルダー装置１６とは
直接に接触することがない。従って、光学レンズ１１は
それ自身の軸線を中心として回転することができるよう
に構成した技術である。With this pressurized fluid, a hydraulic cushion 34 is formed between the upper surface (non-processed surface) of the optical lens 11 and the upper surface (end wall 21) of the chamber 19, and the facing surface 1 of the optical lens 11 is formed.
At the same time as acting on 3, the hydraulic film is formed around the optical lens 11, that is, between the peripheral edge 24 of the optical lens 11 and the side wall 22 in the chamber 19. In this way, the optical lens 11 to be chamfered does not come into direct contact with the lens holder device 16. Therefore, the optical lens 11 is a technique configured to be rotatable about its own axis.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
公知の文献にあっては以下のような問題点がある。ま
ず、上記前者の公報（実公昭５４−１５３５１号）に記
載されている研磨用レンズ保持装置は、被研磨レンズを
加工する際に、加工する被研磨レンズをレンズ保持装置
に装着する度毎に蝶ネジを締め付けて装着しなくてはな
らないために生産性が悪く原価高になるという問題が生
じていた。また、被研磨レンズと工具の回転数を制御し
ながら研磨加工を行うという加工方法においては、被研
磨レンズと工具との加工抵抗が高くなるため、被研磨レ
ンズをレンズ保持装置内で回転させないように装着する
には、一層強力な力で被研磨レンズの外周をレンズ保持
装置内に保持しなければならない。この場合、強力に保
持するため被研磨レンズが変形する。特に薄い被研磨レ
ンズにおいては、その変形が著しく精度のよいレンズが
加工できないという問題が生じていた。However, the above-mentioned publicly known documents have the following problems. First, in the polishing lens holding device described in the former publication (Jpn. Pat. Appln. KOKAI Publication No. 54-15351), each time the lens to be polished is processed, the lens to be processed is to be mounted on the lens holding device. Since the thumbscrew must be tightened and attached, there is a problem that productivity is low and cost is high. Further, in the processing method in which the polishing is performed while controlling the number of rotations of the lens to be polished and the tool, the processing resistance between the lens to be polished and the tool becomes high, so that the lens to be polished should not be rotated in the lens holding device. In order to mount the lens on the lens holder, the outer periphery of the lens to be polished must be held in the lens holding device with a stronger force. In this case, the lens to be polished is deformed in order to hold it strongly. Particularly, in the case of a thin lens to be polished, there has been a problem that the deformation thereof is remarkable and a lens with high precision cannot be processed.
【０００９】次に、上記後者の公報（特開昭６０−７１
１５８号）に記載されているレンズホルダー装置は、被
加工レンズの非加工面（裏面）と外径周面とを液圧フィ
ルムでそれぞれ支持するよう構成されているため、被加
工レンズと工具との回転数を制御しながら加工しようと
しても、被加工レンズが保持装置内で回転してしまいレ
ンズに所望の回転数を与えることができないという問題
が生じていた。Next, the latter publication mentioned above (JP-A-60-71)
No. 158) is configured so that the non-processed surface (back surface) and the outer peripheral surface of the lens to be processed are supported by a hydraulic film, respectively. Even if an attempt is made to control the number of rotations, the lens to be processed rotates in the holding device, and the desired number of rotations cannot be given to the lens.
【００１０】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、ワークを能率よく着脱可能とし、かつワークと工
具の回転数をそれぞれ制御しながら行う研磨加工にも応
用できるなど生産性、原価性、品質性に優れたワーク保
持装置を提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above problems, and enables productivity to be attached and detached efficiently, and can be applied to polishing work performed while controlling the rotation speeds of the work and the tool. It is an object of the present invention to provide a work holding device excellent in quality and quality.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明の概念を図１と図
２により説明する。図１は、本発明のワーク保持方法お
よび保持装置の要部を示し、その正面よりの半分を断面
にて示した正面図である。図２は、図１にワークを装着
した状態を示し、その正面よりの半分を断面にて示した
正面図である。図に示す符号２は、円柱形状の回転軸
で、その上端部は図示されていないが駆動手段と連設さ
れており、下端部は逆カップ形状に形成された保持体１
の上面中心に垂直にかつ一体構成されている。保持体１
のカップ形状の外径周面は、軸方向に所望数と深さの切
り欠き４を設けて、数分割して多数の締付片５を形成
し、その内周面にワーク３を挿入装着するとき、外周側
面側よりの力を加えることによって内方向に撓むように
形成されている。更に、上記保持体１の外周側面、即ち
各締付片５は軸方向に対し下方向に向かって厚く形成し
て、後述する締めリング７の下降に伴って内方向に締付
け移動するようテーパ６を形成している。また、締付片
５の先端部内周面にはワーク３の外径周面を締付け支持
するように形成された外周支持部（段部）８が形成され
ている。また、外周支持部８との対応した外径周面位
置、即ち上記テーパ６の下端部位置には、嘴形状の鍔部
を形成し、上記した締めリング７の端部が当接するよう
締付用ストッパーを形成している。The concept of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a front view showing a main part of a work holding method and a holding device of the present invention, showing a half of the front of the work in cross section. FIG. 2 is a front view showing a state in which the work is mounted in FIG. 1, and a half of the front surface of the work is shown in cross section. Reference numeral 2 shown in the drawing is a cylindrical rotating shaft, the upper end of which is connected to a driving means (not shown), and the lower end of which is formed into an inverted cup shape.
Is formed vertically and integrally with the center of the upper surface of the. Holder 1
The cup-shaped outer diameter peripheral surface is provided with notches 4 of a desired number and depth in the axial direction, divided into several to form a large number of fastening pieces 5, and the work 3 is inserted and mounted on the inner peripheral surface thereof. In doing so, it is formed so as to bend inward by applying a force from the outer peripheral side surface side. Further, the outer peripheral side surface of the holding body 1, that is, each tightening piece 5 is formed thicker in the downward direction with respect to the axial direction, and the taper 6 is moved so as to move inwardly as the tightening ring 7 described later descends. Is formed. Further, an outer peripheral support portion (step portion) 8 formed so as to clamp and support the outer peripheral surface of the work 3 is formed on the inner peripheral surface of the front end portion of the clamping piece 5. Further, a beak-shaped brim is formed at the outer peripheral surface position corresponding to the outer peripheral support portion 8, that is, the lower end portion position of the taper 6, and tightened so that the end portion of the above-mentioned tightening ring 7 abuts. Forming a stopper for.
【００１２】上記保持体２内の上壁面には、図に示すよ
うに弾性材よりなるカップを伏せたような形状の弾性体
９の上面が一体的に配設されている。この弾性体９のカ
ップ形状の縁辺の先端縁面１０は、研磨するワーク３の
非加工面（裏面）と同一の曲率に形成されており、ワー
ク３を保持体２内に挿入し、ワーク３の非加工面を上記
弾性体９の先端面１０に当接して保持体２および弾性体
９の流体孔１０，１１より流体が噴出（供給）したと
き、弾性体９の下面とワーク３の非加工面との間に流体
クッション部１２が構成されるよう形成されている。上
記した保持体２と弾性体９の中心位置には、中空孔１０
と１１が連通するよう穿設されて流体クッション部１２
内に、外部に設けられた空圧手段（流体送排出手段）よ
りの流体を送気するよう構成されている。As shown in the drawing, the upper surface of an elastic body 9 having a shape like a cup made of an elastic material is laid down is integrally provided on the upper wall surface of the holding body 2. The tip edge surface 10 of the cup-shaped edge of the elastic body 9 is formed to have the same curvature as the non-machined surface (back surface) of the workpiece 3 to be polished, and the workpiece 3 is inserted into the holding body 2 to When the non-machined surface of the elastic body 9 is brought into contact with the tip end surface 10 of the elastic body 9 and the fluid is ejected (supplied) from the fluid holes 10 and 11 of the holding body 2 and the elastic body 9, the lower surface of the elastic body 9 and the work 3 are not in contact with each other. The fluid cushion 12 is formed between the machined surface and the machined surface. A hollow hole 10 is formed at the center position of the holding body 2 and the elastic body 9 described above.
And 11 are provided so as to communicate with each other, and the fluid cushion portion 12 is formed.
The inside is configured to supply the fluid from the pneumatic means (fluid sending / discharging means) provided outside.
【００１３】保持体２の外周囲には、保持体２の外周を
囲うように形成した環状形の締めリング７が配設されて
いる。この締めリング７の先端部内周面には段部を形成
し、その段部の内周面に上記保持体２の締付片５の外周
面に形成したテーパ６と対応した同一計上のテーパ１３
を形成嵌合し、上下摺動するように構成されている。締
めリング７の上面には、図に示すように、締めリング７
を上下に移動させる駆動手段１４と１５が対向した位置
に配設されている。即ち、駆動手段１４と１５の駆動に
より締めリング７は下降または上昇するように構成され
ている。この締めリング７が下降するとその先端部内周
面のテーパ１３と保持体２の締付片５の外周面のテーパ
６とは互いに摺動移動し、締付片５は内方向に撓み、保
持体２の外周支持部８内に配設したワーク３の外周面を
締付け保持されるよう構成されている。また、駆動手段
１４と１５を上昇駆動すると締めリング７は、テーパ１
３と６の互いの面は摺動移動し、外周支持部８は緩み、
その内周内に保持されたワーク３は締付けから開放され
るよう構成されている。On the outer periphery of the holding body 2, an annular tightening ring 7 is arranged so as to surround the outer circumference of the holding body 2. A step portion is formed on the inner peripheral surface of the front end portion of the tightening ring 7, and the same taper 13 corresponding to the taper 6 formed on the outer peripheral surface of the tightening piece 5 of the holding body 2 is formed on the inner peripheral surface of the step portion.
Is formed and fitted, and is configured to slide up and down. On the upper surface of the tightening ring 7, as shown in the figure,
The driving means 14 and 15 for moving up and down are arranged at opposite positions. That is, the tightening ring 7 is configured to be lowered or raised by driving the driving means 14 and 15. When the tightening ring 7 descends, the taper 13 on the inner peripheral surface of the distal end portion thereof and the taper 6 on the outer peripheral surface of the tightening piece 5 of the holding body 2 slide and move with each other, and the tightening piece 5 bends inward, so that the holding body The outer peripheral surface of the work 3 arranged in the second outer peripheral support portion 8 is clamped and held. Further, when the driving means 14 and 15 are driven to move upward, the tightening ring 7 becomes the taper 1
The surfaces of 3 and 6 slide with each other, the outer peripheral support 8 loosens,
The work 3 held inside the inner circumference is configured to be released from tightening.
【００１４】[0014]
【作用】上記構成よりなる本発明の作用を説明する。ま
ず、ワーク３の非加工面を保持体２の弾性体９に当接さ
せると共に、流体送排出手段を駆動してエアーを吸引し
てワーク３の非加工面を吸着する。続いて駆動手段１４
と１５を駆動して締めリング７を下方向に摺動移動させ
る。この締めリング７により保持体２の外周支持部８は
内側方向に締め付けられて締付片５は内方向（径方向）
に撓ませてワーク３の外径周面を強く支持させる。この
ワーク３を支持することにより、ワーク３は図に示す点
線のようにその形状は変形する。この変形状態のまま、
ワーク３の被研磨面を図示していない研磨工具にその加
工面を当接させる。この当接に伴ってエアーの吸引を解
除し、逆にエアーを所望の圧力にて排出（噴出）させて
流体クッション１２内に送りその圧力にてワーク３の上
記変形を押圧して取り除き元の正常な状態に戻す。上記
のワーク３の状態（圧力を加えた）にて所定の研磨加工
が行われる。研磨加工終了後は、エアーの排出を止め、
ワーク３を研磨工具より離反させ、駆動手段１４，１５
により締めリング７を上方向に移動させ、外周支持部８
を開作動し、研磨されたワーク３を外に取り出すことに
より作業を終える。The operation of the present invention having the above structure will be described. First, the non-machined surface of the work 3 is brought into contact with the elastic body 9 of the holding body 2, and the fluid sending / discharging means is driven to suck air to adsorb the non-machined surface of the work 3. Subsequently, the driving means 14
And 15 are driven to slide the tightening ring 7 downward. The outer peripheral support portion 8 of the holder 2 is tightened inward by the tightening ring 7, and the tightening piece 5 is moved inward (radially).
Then, the outer peripheral surface of the work 3 is strongly supported. By supporting the work 3, the shape of the work 3 is deformed as shown by the dotted line in the figure. In this deformed state,
The surface to be polished of the work 3 is brought into contact with a polishing tool (not shown). With this contact, the suction of the air is released, and conversely, the air is discharged (jetted) at a desired pressure and sent into the fluid cushion 12, and the deformation causes the work 3 to be pressed and removed. Return to normal. Predetermined polishing is performed in the state of the work 3 (with pressure applied). After finishing the polishing process, stop the air discharge,
The work 3 is moved away from the polishing tool, and the driving means 14, 15
To move the tightening ring 7 upward to move the outer peripheral support 8
Is opened and the polished work 3 is taken out to complete the work.
【００１５】[0015]
【実施例１】本発明のワーク保持装置の具体例を図面に
基づいて説明する。図３は、本発明のワーク保持装置の
実施例１の要部を示し、その一部（中心線より一方の半
分）を断面にて示す正面図である。図４は、図３の左側
面図を示し、その一部を破載にて示す側面図である。図
５は。図３および図４に示すワークの保持部を示し、そ
の中心線よりの一方の半分を断面にて示す正面図であ
る。なお、図中において上記本発明の概念の説明にて用
いた図１および図２と同一部材、同一形状および同一構
成については同一符号を付してその説明は省略する。First Embodiment A specific example of the work holding device of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 is a front view showing a main part of the first embodiment of the work holding device of the present invention, and a part thereof (one half from the center line) in a cross section. FIG. 4 is a left side view of FIG. 3, and a side view showing a part of the left side view. Figure 5: It is a front view which shows the holding part of the workpiece | work shown in FIG. 3 and FIG. 4, and shows one half from the centerline in a cross section. In the drawings, the same members, shapes and configurations as those of FIGS. 1 and 2 used in the description of the concept of the present invention are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００１６】図において符号１７にて示すのは、図示さ
れていないが、上方に配設した加圧機構により、上下動
可能に構成された研磨軸の上軸である。この上軸１７に
は、リング形状の取付け具１９がネジ１８により側方よ
り取付けられていると共に、この取付け具１９の下端面
には、図に示すようにアーム形状のステー２０が固設さ
れている。このステー２０の下端部には、図に示す様に
孔を穿設し、この孔内に嵌着構成されたリング状の受け
部材２４内に形成したネジとコの字形状の第１揺動部材
２１を水平方向位置に配設するようコの字形状の中心の
外周に軸受２２を介して植設した支軸２３を揺動中心と
して図に示す揺動ａ方向に揺動するように、螺合装着
し、ステー２０の背面よりナット２５によって締付け装
着されている。Although not shown in the figure, reference numeral 17 denotes an upper shaft of a polishing shaft which is vertically movable by a pressure mechanism arranged above. A ring-shaped fixture 19 is laterally attached to the upper shaft 17 with a screw 18, and an arm-shaped stay 20 is fixedly attached to the lower end surface of the fixture 19 as shown in the figure. ing. A hole is formed in the lower end portion of the stay 20 as shown in the drawing, and a screw and a U-shaped first swing formed in a ring-shaped receiving member 24 fitted and configured in the hole. In order to oscillate in the oscillating direction "a" shown in the figure with a support shaft 23 planted via a bearing 22 on the outer periphery of the center of the U-shape so as to arrange the member 21 in the horizontal position, The stay 20 is screwed on and is tightened from the back surface of the stay 20 by a nut 25.
【００１７】上記第１揺動部材２１のコの字形状の両端
部には、支軸２７および２８によってコの字形状の第２
揺動部材２６の両端部と接続構成されている。第２揺動
部材２６は、図に示すように支軸２７と２８を揺動中心
として揺動ｂ方向に揺動するよう構成されている。上記
第１揺動部材２１の支軸２３と、第２揺動部材２６の支
軸２７と２８の各軸線は、０点で交わるように構成され
ている。即ち、第１揺動部材２１および第２揺動部材２
６は図に示す０点を中心に矢印にて示す揺動ａおよび揺
動ｂ方向に作動するように構成されている。The U-shaped second ends of the first swinging member 21 are supported by the support shafts 27 and 28.
It is connected to both ends of the swinging member 26. As shown in the figure, the second swing member 26 is configured to swing in the swing b direction about the swing shafts 27 and 28 as swing centers. The axis of the support shaft 23 of the first swing member 21 and the axes of the support shafts 27 and 28 of the second swing member 26 are configured to intersect at a zero point. That is, the first swing member 21 and the second swing member 2
Reference numeral 6 is configured to operate in the swinging a and swinging b directions indicated by arrows around the 0 point shown in the figure.
【００１８】上記第２揺動部材２６の中央位置には、下
端部にて被研磨物であるワーク３を保持する保持部１が
その軸線が０点で交わるように軸受け２９および回転軸
２を介して回転自在に装着されている。また、保持部１
の下端は、軸方向に所望の溝４を所望の深さで、かつ間
隔に複数形成され、ワーク３を挿入配設したとき締付け
により内方向に撓み作動にて保持するため複数の締付片
５を形成している。更に、締付片５の下端部の内周面に
はワーク３の外径を挟持するように段部を形成した外部
支持部８が設けられている。上記保持部１内の上壁面に
は、ワーク３の非研磨加工面である裏面（被研磨面に対
しての）を支持するウレタン材により逆カップ状に形成
された受け部９が一体的に装着されている。上記保持部
１と受け部９の円形の中心位置には、流体の送気用また
は排気用の中空孔１１および１６を連通穿設されてお
り、図示されていないが、外部に配設された流体圧の送
出または排出手段と連通されて、上記上軸１７などの中
心に穿設された中空孔３０と１６および１１を経て、上
記保持部１内の受け部９と、装填されるワーク３の非加
工面との間に流体クッション部１２を設けて加工時に吸
引および加圧をするように構成されている。また、上記
流体クッション部１２内への圧力は、上記各中空孔３
０，１６，１１よりの流体の吸引または排出を制御する
制御部が設けられており、この制御部により流体の加圧
力または吸引力を増加させたり、減少させたりするよう
に構成されている。At the central position of the second swinging member 26, a bearing 29 and a rotary shaft 2 are provided so that the holding portion 1 for holding the work 3 to be polished at the lower end portion has its axis intersecting at zero point. It is mounted rotatably through. Also, the holding unit 1
The lower end of the plurality of grooves is formed with a plurality of desired grooves 4 in the axial direction at a desired depth and at intervals, and when the work 3 is inserted and arranged, the plurality of tightening pieces are held by bending inward to hold the work 3. 5 is formed. Further, on the inner peripheral surface of the lower end portion of the tightening piece 5, an external support portion 8 having a step portion so as to sandwich the outer diameter of the work 3 is provided. On the upper wall surface of the holding portion 1, there is integrally formed a receiving portion 9 formed in a reverse cup shape by a urethane material that supports a back surface (relative to a surface to be polished) which is a non-polished surface of the work 3. It is installed. Hollow holes 11 and 16 for fluid supply or exhaust of fluid are provided at the central positions of the circles of the holding portion 1 and the receiving portion 9 so as to communicate with each other. The receiving part 9 in the holding part 1 and the work 3 to be loaded are communicated with a means for delivering or discharging a fluid pressure, and through hollow holes 30, 16 and 11 formed in the center of the upper shaft 17 and the like. The fluid cushion portion 12 is provided between the non-machined surface and the non-machined surface so as to suck and pressurize during machining. Further, the pressure into the fluid cushion portion 12 is equal to that of the hollow holes 3
A control unit for controlling suction or discharge of the fluid from 0, 16, and 11 is provided, and the control unit is configured to increase or decrease the pressing force or suction force of the fluid.
【００１９】保持部１の外周面には、逆カップ形状の締
めリング７が保持部１の外周面に形成したテーパ部６と
嵌合するテーパ１３を内設して上下動に摺動することに
より保持部１の締付片５を内方向に締付け作動して撓ま
せてワーク３を締付け保持するように構成されている。
回転軸２の外周と第２揺動部材２６の中央位置、即ち、
回転軸２と第２揺動部材２６との間の位置の第２揺動部
材２６に固設された電磁石３１，３２が配設されてい
る。上記電磁石３１，３２は、図示されていないが、制
御手段と導線３３，３４にて接続構成されており、その
制御手段によりその両端の極が互いに切り換えられるよ
う構成されている。On the outer peripheral surface of the holding portion 1, a reverse cup-shaped tightening ring 7 is internally provided with a taper 13 for fitting with a taper portion 6 formed on the outer peripheral surface of the holding portion 1 and slid vertically. Thus, the clamping piece 5 of the holding portion 1 is clamped inwardly to bend the clamping piece 5 to clamp and hold the workpiece 3.
The outer periphery of the rotary shaft 2 and the central position of the second swing member 26, that is,
Electromagnets 31, 32 fixed to the second swinging member 26 at a position between the rotary shaft 2 and the second swinging member 26 are arranged. Although not shown, the electromagnets 31 and 32 are connected to the control means by conducting wires 33 and 34, and the control means can switch the poles at both ends to each other.
【００２０】上記電磁石３１と３２の下方向の締めリン
グ７の上面には、電磁石３１と３２に対向して配設され
たリング形状の永久磁石３５が一体的に配設されてい
る。また、この永久磁石３５の面、即ち電磁石３１と３
２と対向する永久磁石３５の面は、Ｓ極となっている。
ステー２０を装着した取付具１９の下端面には、プーリ
ー軸３６の上端部と上軸１７の下端部とを連結構成して
いる。この取付具１９とプーリー軸３６との間にはシー
ル３７を介在装着されている。また、プーリー軸３６に
は軸受け３８を介して後述する駆動手段と連結するプー
リー３９が回転自在に装着され、その下方端にシール４
０を介在装着している。On the upper surface of the tightening ring 7 in the downward direction of the electromagnets 31 and 32, a ring-shaped permanent magnet 35 is disposed integrally so as to face the electromagnets 31 and 32. The surface of the permanent magnet 35, that is, the electromagnets 31 and 3
The surface of the permanent magnet 35 that faces 2 is an S pole.
An upper end portion of the pulley shaft 36 and a lower end portion of the upper shaft 17 are connected to the lower end surface of the fixture 19 to which the stay 20 is attached. A seal 37 is interposed between the attachment 19 and the pulley shaft 36. Further, a pulley 39, which is connected to a driving means described later via a bearing 38, is rotatably mounted on the pulley shaft 36, and the seal 4 is attached to the lower end thereof.
0 is installed.
【００２１】上記プーリー軸３６の下端部と上記ワーク
３を保持する回転軸２の上端部との間には、可撓性を有
し、かつ流体に対して気密性を有する蛇腹形状の継手４
１にて連結構成されている。更に、この継手４１は、プ
ーリー３９の回転を軸２に伝達し得るように構成されて
いる。また、上記上軸１７，プーリー軸３６、プーリー
３９，継手４１，回転軸２，保持対１，受け部９のそれ
ぞれには中空に形成されており流体送排出手段により流
体の上軸１７の上端から受け部９内に送流したり、受け
部９内の流体を上軸２の先端を経て流体送排出手段より
外部に排出するよう連通構成されている。Between the lower end of the pulley shaft 36 and the upper end of the rotary shaft 2 for holding the work 3, there is a bellows-like joint 4 which is flexible and airtight to a fluid.
1 is connected. Further, the joint 41 is configured to be able to transmit the rotation of the pulley 39 to the shaft 2. Further, each of the upper shaft 17, the pulley shaft 36, the pulley 39, the joint 41, the rotating shaft 2, the holding pair 1, and the receiving portion 9 is formed in a hollow shape, and the upper end of the upper shaft 17 of the fluid is supplied by the fluid sending and discharging means. To the inside of the receiving portion 9 or to discharge the fluid in the receiving portion 9 to the outside from the fluid sending and discharging means via the tip of the upper shaft 2.
【００２２】上記取付具１９の側方位置には、図に示す
ように、上記プーリー３９を回転する駆動源であるモー
タ４２が並列に配設されており、そのモータ４２の回転
軸にはプーリー４３が装着されてベルト４４を介してプ
ーリー３９を回転するよう連結されている。また、モー
タ４２に配設されたプーリー４３は、軸方向に長く（幅
広く）形成されて、ベルト４４と連結された上軸１７の
上下動、即ちプーリー３９の上下動に伴って、ベルト４
４が上下方向に移動できるように構成されている。As shown in the drawing, a motor 42, which is a drive source for rotating the pulley 39, is arranged in parallel at a lateral position of the fixture 19, and the rotary shaft of the motor 42 has a pulley. 43 is mounted and connected via belt 44 to rotate pulley 39. Further, the pulley 43 arranged in the motor 42 is formed to be long (wide) in the axial direction, and as the upper shaft 17 connected to the belt 44 moves vertically, that is, as the pulley 39 moves vertically,
4 is configured to be movable in the vertical direction.
【００２３】なお、図中において、上記したワーク３の
下方向に点斜線にて示す半球形状は、ワーク３を所定の
曲率面に研磨加工するための研磨工具（砥石）４５であ
る。その下方位置には一体的に装着構成している台座
は、回転手段と連設構成された砥石皿４６を装着した回
転軸４７である。In the figure, the hemispherical shape shown by the dotted lines below the work 3 is a polishing tool (grinding stone) 45 for polishing the work 3 into a predetermined curvature surface. The pedestal integrally mounted on the lower position thereof is a rotary shaft 47 mounted with a grindstone plate 46 that is connected to the rotating means.
【００２４】次に、上記構成による本実施例の作用を説
明する。本実施例においては、メニスカスレンズを加工
する例を用いて説明する。一般に、メニスカスレンズを
加工する際、レンズの外径面をチャック等によて保持す
るのみであると、レンズの曲面の曲率が、小さくなる方
向に変形する。そのために、本実施例では、レンズの中
心部（光軸面）に生じた変形を矯正しようといるもので
ある。Next, the operation of this embodiment having the above structure will be described. In this embodiment, an example of processing a meniscus lens will be described. Generally, when the meniscus lens is processed, if only the outer diameter surface of the lens is held by a chuck or the like, the curvature of the curved surface of the lens is deformed in a direction in which the curvature decreases. Therefore, in this embodiment, it is intended to correct the deformation generated in the central portion (optical axis surface) of the lens.
【００２５】まず、ワーク３を保持部１内に挿入し、ワ
ーク３の非加工面（裏面）を受け部９に当接すると共に
流体吸排出手段を駆動して中空孔１１より流体クッショ
ン１２内を吸引してワーク３の非加工面を受け部９に吸
引保持する。次に、制御部により電磁石３１の下面の極
を永久磁石３５の極と同じくＳ極にする。極を同一にす
ることにより磁気は反発力を生じ、締めリング７は下方
向に押し下げられると保持部１の外周に形成したテーパ
６に、内側（軸心）方向の力が加えられ、各締付片５は
内側方向に、撓み現象が生じ外周支持部８の内周にワー
ク３の外径周面を締付けを保持する。First, the work 3 is inserted into the holding portion 1, the non-machined surface (back surface) of the work 3 is brought into contact with the receiving portion 9, and the fluid suction / discharge means is driven to move the inside of the fluid cushion 12 from the hollow hole 11. The non-processed surface of the work 3 is sucked and held in the receiving portion 9 by suction. Next, the control unit causes the pole on the lower surface of the electromagnet 31 to be the S pole like the pole of the permanent magnet 35. When the poles are made the same, the magnetic force produces a repulsive force, and when the tightening ring 7 is pushed downward, a force in the inner (axial) direction is applied to the taper 6 formed on the outer periphery of the holding portion 1 and each tightening ring 7 is tightened. The attachment piece 5 causes a bending phenomenon inward, and holds the outer peripheral surface of the work piece 3 tightly on the inner periphery of the outer peripheral support portion 8.
【００２６】次に、上軸１７を下降させて、ワーク３の
加工面を研磨工具（砥石）４５の上面に当接させる。続
いて流体（エアー）吸排出手段による吸引作動を解除
し、逆に排気作動させて流体クッション１２内に送流
し、所望の圧力に加圧させる。この加圧によって各締付
片５によるワーク３の変形状態は、解除される。しかる
後、加工液を研磨面に供給し、モータ４２を駆動してプ
ーリー４３，ベルト４４，プーリー３９，継手４１およ
び保持部１を介してワーク３を回転させると共に研磨工
具４５を回転させつつ第１揺動部材２１と第２揺動部材
２６にて揺動運動を与えてワーク３を所望の形状に研磨
加工が開始される。Next, the upper shaft 17 is lowered to bring the processed surface of the work 3 into contact with the upper surface of the polishing tool (grinding stone) 45. Subsequently, the suction operation by the fluid (air) suction and discharge means is released, and conversely, the suction operation is performed and the fluid is sent into the fluid cushion 12 to be pressurized to a desired pressure. By this pressurization, the deformed state of the work piece 3 due to each fastening piece 5 is released. Then, the machining liquid is supplied to the polishing surface, the motor 42 is driven to rotate the work 3 via the pulley 43, the belt 44, the pulley 39, the joint 41 and the holding portion 1, and the polishing tool 45 while rotating the polishing tool 45. The 1st swinging member 21 and the 2nd swinging member 26 give a swinging motion to start polishing the work 3 into a desired shape.
【００２７】研磨加工を終了する場合は、保持部１の回
転と揺動運動および研磨工具４５の回転を停止させると
共に、加工液の供給をも停止させ、流体（エアー）の排
出を解除（停止）する。続いて、上軸１７を上昇させて
ワーク３を研磨工具４５より離反させる。このワーク３
の離反に伴って、制御部（図示されていない）により電
磁石３１，３２の下端の極をＮ極に切り換えることによ
り保持部１の外周のテーパ６と摺動嵌合した締めリング
７の内周のテーパ１３とは摺動移動して締めリング７
は、上昇し、締付片５の先端の外周支持部８は開作動
し、研磨されたワーク３は外部に取り出される。When finishing the polishing process, the rotation and swing motion of the holder 1 and the rotation of the polishing tool 45 are stopped, the supply of the working liquid is stopped, and the discharge of the fluid (air) is released (stopped). ) Do. Then, the upper shaft 17 is raised to separate the work 3 from the polishing tool 45. This work 3
The control unit (not shown) switches the lower poles of the electromagnets 31 and 32 to the N pole in accordance with the separation of the inner circumference of the fastening ring 7 slidably fitted to the taper 6 of the outer circumference of the holding unit 1. Of the tightening ring 7 by slidingly moving with the taper 13 of
Rises, the outer peripheral support 8 at the tip of the fastening piece 5 is opened, and the ground work 3 is taken out.
【００２８】上記した本実施例中におけるワーク３を保
持部１の締付片５に装着する場合、ワーク３の外径周面
を各締付片５の内周に設けた外周支持部８への締付力
（外周面支持力）は、制御部により、電磁石３１，３２
の磁力を変えることにより所望の支持力に調節制御する
ことができる。また、本実施例においては、メニスカス
形状のレンズ加工のみについて言及したが、本実施例は
メニスカス形状のレンズの加工に限定するものではな
く、他の形状のレンズ、例えば両凹レンズ、平凸レン
ズ、平凹レンズなどにも適用できる。When the work 3 in the above-described embodiment is mounted on the fastening piece 5 of the holding portion 1, the outer peripheral surface of the work 3 is transferred to the outer peripheral support portion 8 provided on the inner circumference of each fastening piece 5. The tightening force (supporting force on the outer peripheral surface) of the electromagnets 31 and 32 is controlled by the control unit.
It is possible to adjust and control to a desired supporting force by changing the magnetic force of. Further, in the present embodiment, only the processing of the lens of the meniscus shape is mentioned, but the present embodiment is not limited to the processing of the lens of the meniscus shape, and lenses of other shapes such as a biconcave lens, a plano-convex lens, a plano-convex lens, It can also be applied to concave lenses.
【００２９】上記した適用レンズの研磨加工について以
下に説明する。両凹レンズの外径周面を支持して加工す
る場合、曲率の小さい側の光軸面が、より小さな曲率に
なるように変形する傾向がある。また、平凸レンズの外
径周面を支持して加工する場合、平面側に若干の変形を
生じる傾向がある。また、平凹レンズの外径周面を支持
して加工する場合、凹面の曲率が小さくなるように変形
する傾向がある。上記それぞれのレンズの形状によっ
て、レンズの変形する状態が変わるが、基本的には、レ
ンズの一方の面の中心部が凹み、他方の面の中心部が突
出するように変形するのである。従って、上記レンズ面
の変形を考慮して、流体の圧力を正の圧力とするか、ま
たは負の圧力にするかを設定し、加工を行うことでどの
ような対形状のレンズにも対応できるのである。例え
ば、中心部が凹むように変形した光軸面を加工する場合
は、レンズの中心部に対して正の圧力をかけて加工を行
えばよい。また、中心部が突出するように変形した面を
加工する場合は、レンズの中心部に対し負の圧力をかけ
て加工を行えばよいのである。The polishing process of the above-mentioned applicable lens will be described below. When the outer diameter peripheral surface of the biconcave lens is supported and processed, the optical axis surface on the smaller curvature side tends to be deformed to have a smaller curvature. Further, when the outer peripheral surface of the plano-convex lens is supported and processed, there is a tendency that a slight deformation occurs on the flat surface side. Further, when the outer peripheral surface of the plano-concave lens is supported and processed, the plano-concave lens tends to be deformed so that the curvature of the concave surface becomes small. The deformed state of the lens changes depending on the shape of each lens, but basically, the lens is deformed such that the center of one surface of the lens is recessed and the center of the other surface is projected. Therefore, in consideration of the deformation of the lens surface, it is possible to deal with any pair of lenses by setting whether the fluid pressure is a positive pressure or a negative pressure and performing processing. Of. For example, when processing the optical axis surface that is deformed so that the central portion is recessed, positive pressure may be applied to the central portion of the lens to perform the processing. Further, when processing the surface deformed so that the central portion projects, negative pressure may be applied to the central portion of the lens for processing.
【００３０】上記方法と構成による本実施例によれば保
持部にワークの外径周面を締付け保持し、かつワークの
非加工面と保持体の上壁面間に流体クッション部を構成
したことによりワークを能率よく保持体に装着脱がで
き、しかもワークと工具の回転数を制御しながら行う加
工にも応用でき、更に、ワークの変形を矯正して高精
度，高品質の光学素子を生産することができる。According to this embodiment having the above method and configuration, the outer peripheral surface of the work is clamped and held in the holding portion, and the fluid cushion portion is formed between the non-machined surface of the work and the upper wall surface of the holding body. Work can be efficiently attached to and detached from the holder, and it can also be applied to machining while controlling the rotation speed of the work and the tool. Furthermore, the deformation of the work can be corrected to produce high-precision and high-quality optical elements. You can
【００３１】[0031]
【実施例２】図６にて本発明のワークの保持方法および
保持装置の実施例２を説明する。図６は、本発明に係わ
るワークの保持装置の要部を示し、その要部の軸線より
の一方を断面にて示す正面図である。なお、図中におい
て上記実施例１と同一部材、同一形状および同一構成に
ついては、同一符号を付しその説明は省略する。Second Embodiment A second embodiment of the work holding method and the work holding apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a front view showing a main part of a work holding device according to the present invention and showing a cross section of one of the main parts from the axis. In the drawings, the same members, shapes and configurations as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００３２】本実施例と上記実施例１との構成上の相違
点は、ワーク３を支持する受け部９の構成が異なる。即
ち、実施例１においては、ワーク３の非加工面（裏面）
と保持部１の上壁面との間に流体クッション部１２を構
成したのに対し、本実施例は、保持部１内の上壁間にポ
リウレタンにて構成された環状形の中空バルーン４８を
一体的に装着して受け部５４を構成した点である。この
中空バルーン４８の上面（保持部１の上壁面側の中心位
置）には中空バルーン４８内に通じる流体（油）送排出
孔４９が形成されている。この流体送排出孔４９はの一
端は、実施例１に示した流体送排出手段と連設して設け
た中空孔３０、１６内に内管を形成した２重の管路で、
その外側管路（中空孔）５０の端部と接続構成とれてお
り、上記流体送排出手段とは別体に設けた流体（油）送
排出手段の駆動により流体を中空バルーン４８内に送流
または、中空バルーン４８内の流体を排出するように接
続構成されている。The structural difference between this embodiment and the first embodiment is the structure of the receiving portion 9 that supports the work 3. That is, in Example 1, the non-processed surface (back surface) of the work 3
While the fluid cushion portion 12 is formed between the upper wall surface of the holding portion 1 and the holding portion 1, the present embodiment integrally includes an annular hollow balloon 48 made of polyurethane between the upper walls of the holding portion 1. This is the point that the receiving portion 54 is configured by being mounted in a passive manner. A fluid (oil) feed / discharge hole 49 communicating with the inside of the hollow balloon 48 is formed on the upper surface of the hollow balloon 48 (center position on the upper wall surface side of the holding portion 1). One end of the fluid supply / discharge hole 49 is a double pipe line in which an inner pipe is formed in the hollow holes 30 and 16 provided continuously with the fluid supply / discharge means shown in the first embodiment.
The fluid is sent into the hollow balloon 48 by driving a fluid (oil) sending / discharging means provided separately from the fluid sending / discharging means, which is connected to the end of the outer conduit (hollow hole) 50. Alternatively, the connection is configured to discharge the fluid in the hollow balloon 48.
【００３３】上記実施例１に示す中空孔３０および１６
を２重管に構成した内側の管路、即ち中空孔５１，５２
は、上記実施例１と同様に、その一端は流体送排出手段
と接続し、他端は中空バルーン４８の中心に形成された
孔内を送通構成されており、ワーク３を保持部１内に挿
入し締付片５の先端部の外周支持部８に締付保持するま
での間吸着保持するよう構成されている。また、上記中
空バルーン４８は、ワーク３を外部支持部８に締付保持
され、研磨工具４５に当接したのち流体送排出手段（油
圧手段）を駆動して流体を中空バルーン４８内に流入し
てワーク３の非加工面に所望の圧力を与えてワーク３の
変形を矯正するよう構成されている。Hollow holes 30 and 16 shown in Example 1 above
Of the inner pipe, that is, the hollow holes 51 and 52 that are configured as a double pipe.
In the same manner as in the first embodiment, one end of the hollow balloon 48 is connected to the fluid feeding / discharging means, and the other end is fed through the hole formed in the center of the hollow balloon 48. It is configured to be sucked and held until it is inserted into the outer peripheral support portion 8 of the fastening piece 5 and fastened and held. Further, the hollow balloon 48 holds the work 3 by being clamped to the external support portion 8 and, after contacting the polishing tool 45, drives the fluid sending / discharging means (hydraulic means) to flow the fluid into the hollow balloon 48. By applying a desired pressure to the non-machined surface of the work 3, the deformation of the work 3 is corrected.
【００３４】上記構成の本実施例によれば、中空バルー
ン４８よりなる受け部５４内に、図示しない油圧手段に
より、油を供給することで流体クッションの圧力を変化
させることができる。この油圧により、ワーク３の変形
を矯正するようにしたものである。その外の作用（工
程）および利点については、上記した実施例１と同様に
付き説明は省略する。According to this embodiment having the above structure, the pressure of the fluid cushion can be changed by supplying oil into the receiving portion 54 formed of the hollow balloon 48 by the hydraulic means (not shown). The hydraulic pressure corrects the deformation of the work 3. The other actions (processes) and advantages are the same as in the first embodiment described above, and the description thereof is omitted.
【００３５】[0035]
【実施例３】本実施例は、上記実施例１とほぼ同一的構
成に付き、図面は図５を用いて説明する。上記した実施
例１と本実施例との相違する点は、図５に示す保持部１
内に形成したワーク３の受け部１２のワーク３の非加工
面と接する面の形状をワーク３の非加工面（裏面）の形
状に倣った形状とした点であり、それ以外の構成は実施
例１と同一である。[Embodiment 3] This embodiment has almost the same structure as that of Embodiment 1 and the drawing will be described with reference to FIG. The difference between the first embodiment described above and this embodiment is that the holding unit 1 shown in FIG.
The shape of the surface of the receiving portion 12 of the workpiece 3 that contacts the non-machined surface of the work 3 is a shape that follows the shape of the non-machined surface (back surface) of the workpiece 3, and other configurations are implemented. Same as Example 1.
【００３６】メニスカスレンズを研磨加工する際、レン
ズの外径周面を支持するのみであると、レンズの曲面の
曲率が小さくなるように変形するのは、既に説明したと
おりである。つまり、実施例１においては、凹面を研磨
加工するため、ワーク３の研磨加工面の中心部が加工工
具４５の加工面より離反する方向に変形する。本実施例
は、上記変形に対処するためにまず流体送排出手段を駆
動させてワーク３を保持部１内の受け部９に吸着し、駆
動手段を下方向に作動させてワーク３の被加工面を研磨
工具４５に当接させて実施例１と同様の研磨加工を始め
る。上記実施例１においては、研磨加工を始めると同時
に吸引を解除し、逆にエアを排出に切り換えてワーク３
の中心部を加圧（正の圧力をかける）するのであるが、
本実施例においては、ワーク３の変形を矯正する吸引加
工時は、解除せず研磨加工中もワーク３の非加工面の吸
引を続けて行う（負の圧力をかける）この吸引により、
ワーク３の中心部は、受け部９側に引き寄せられて、ワ
ーク３の変形が矯正される。この場合のワーク３の吸引
力は、ワーク３に生じる変形を抑えることができる範囲
内の吸引力に、適宜調節されて研磨加工が行われ、メニ
スカスレンズの凸面加工の変形を大幅に抑えることがで
きる。As described above, when the meniscus lens is polished, if only the outer peripheral surface of the lens is supported, the curved surface of the lens is deformed so that the curvature becomes small. That is, in the first embodiment, since the concave surface is polished, the center portion of the polished surface of the work 3 is deformed in a direction away from the processed surface of the processing tool 45. In the present embodiment, in order to cope with the above deformation, first, the fluid sending / discharging means is driven to adsorb the work 3 to the receiving portion 9 in the holding portion 1, and the driving means is operated downward to process the work 3 to be processed. The surface is brought into contact with the polishing tool 45, and polishing processing similar to that of the first embodiment is started. In the first embodiment, the suction is released at the same time when the polishing process is started, and conversely, the air is switched to the exhaust to change the work 3
It pressurizes (applies positive pressure) the central part of
In the present embodiment, during the suction processing for correcting the deformation of the work 3, the non-processed surface of the work 3 is continuously suctioned (negative pressure is applied) without being released and the suction processing is performed.
The central portion of the work 3 is pulled toward the receiving portion 9 side, and the deformation of the work 3 is corrected. In this case, the suction force of the work 3 is appropriately adjusted to a suction force within a range capable of suppressing the deformation of the work 3, and the polishing process is performed, so that the deformation of the convex surface of the meniscus lens can be significantly suppressed. it can.
【００３７】[0037]
【発明の効果】上記した本発明のワークの保持方法およ
び保持装置によれば、保持体内にワークに生じた変形を
圧力調節可能な流体クッションを有する受け部にて矯正
するように構成したり、また、ワークの回転と研磨工具
の回転とを制御しながら研磨加工するように構成した
り、また保持体にワークの装着脱を能率よくできるよう
に構成したので、生産性がよく、品質性に優れた光学素
子が安価に提供できるという効果は大きい。According to the above-described work holding method and holding device of the present invention, the deformation of the work in the holding body is corrected by the receiving portion having the fluid cushion capable of adjusting the pressure, In addition, since it is configured to perform polishing while controlling the rotation of the work and the rotation of the polishing tool, and to efficiently attach and detach the work to and from the holder, productivity is improved and quality is improved. The great effect that an excellent optical element can be provided at low cost is great.
【図１】本発明に係わるワークの保持方法と保持装置の
概念を示し、その正面の中心線より一方を断面にて示す
正面図である。FIG. 1 is a front view showing the concept of a method for holding a work and a holding apparatus according to the present invention, showing one of the front center lines in a cross section.
【図２】図１に示すワークの保持装置にワークを装着し
た状態を示し、その正面の中心線より、一方を断面にて
示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing a state in which a work is attached to the work holding device shown in FIG. 1, and one side is shown in a cross section from a front centerline.
【図３】本発明に係わるワークの保持方法と保持装置の
実施例１の要部を示し、その一部を断面にて示す正面図
である。FIG. 3 is a front view showing a main part of a holding method for a work and a holding device according to the first embodiment of the present invention, and a part of the part in section.
【図４】図３の左側面を示し、その一部を破載にて示す
側面図である。FIG. 4 is a side view showing the left side surface of FIG. 3 and a part thereof being disassembled.
【図５】図３および図４にて示すワークの保持部の正面
を拡大にて示し、その中心線より、一方の半分を断面に
て示す正面図である。5 is an enlarged front view of the holding portion of the work shown in FIG. 3 and FIG. 4, and is a front view showing one half of the cross section from the center line.
【図６】本発明に係わるワークの保持方法および保持装
置のワーク保持部の要部正面を示し、その中心線より一
方を断面にて示す正面図である。FIG. 6 is a front view showing a front surface of a main part of a work holding portion of a work holding method and a work holding apparatus according to the present invention, showing one side in a cross section from a center line thereof.
【図７】従来のワーク保持装置の要部を示す断面図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main part of a conventional work holding device.
【図８】図７に示すワーク保持装置の底面図である。8 is a bottom view of the work holding device shown in FIG. 7. FIG.
【図９】図７および図８とは別の従来のワーク保持装置
の要部を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing a main part of a conventional work holding device, which is different from FIGS. 7 and 8.
１ 保持部 ２，47 回転軸 ３ ワーク ４ 溝 ５ 締付片 ６，13 テーパ ７ 締めリング ８ 外周支持部 ９ 弾性体 10 先端縁面 11,16,30 流体（エアー）送排出中空孔 12 流体クッション部 14,15 駆動手段 17 上軸 18 ネジ 19 取付具 20 ステー 21 第１揺動部材 22,29 軸受 23,27,28 支軸 25 ナット 26 第２揺動部材 31,32 電磁石 33,34 導線 35 永久磁石 36 プーリー軸 37,40 シール 38 軸受 39,43 プーリー 41 継手 42 モータ 44 ベルト 45 研磨工具 46 砥石皿 48 中空バルーン 49,50 流体（油）送排出中空孔 51,52 中空孔 54 受け部 1 Holding part 2,47 Rotating shaft 3 Work 4 Groove 5 Tightening piece 6,13 Taper 7 Tightening ring 8 Outer peripheral support part 9 Elastic body 10 Tip edge surface 11,16,30 Fluid (air) sending and discharging hollow hole 12 Fluid cushion Part 14,15 Drive means 17 Upper shaft 18 Screw 19 Fixture 20 Stay 21 First swing member 22,29 Bearing 23,27,28 Spindle 25 Nut 26 Second swing member 31,32 Electromagnet 33,34 Conductor 35 Permanent magnet 36 Pulley shaft 37,40 Seal 38 Bearing 39,43 Pulley 41 Joint 42 Motor 44 Belt 45 Polishing tool 46 Grinding stone dish 48 Hollow balloon 49,50 Fluid (oil) discharge hollow hole 51,52 Hollow hole 54 Receiving part
Claims (2)
と共に、保持体の支持力にて生じたワークの変形をワー
クの非加工面の中心部より、流体送排出手段にて制御し
た圧力にて矯正するようにしたことを特徴とするワーク
の保持方法。1. An outer peripheral surface of a work is supported in a holder, and the deformation of the work caused by the supporting force of the holder is controlled by a fluid feeding / discharging means from the center of a non-machined surface of the work. A method of holding a work, which is characterized in that it is corrected by pressure.
た保持体と、この保持体内の上壁面と、ワークの非加工
面間に設けたワークの受け部と、この受け部の中央にワ
ークの変形を矯正するように正または負の圧力を送排出
する流体送排出手段を設けたことを特徴とするワークの
保持装置。2. A holding body configured to support an outer peripheral surface of a work, an upper wall surface of the holding body, a work receiving portion provided between non-machined surfaces of the work, and a center of the receiving portion. A work holding device comprising a fluid feeding / discharging means for feeding / discharging a positive or negative pressure so as to correct the deformation of the workpiece.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32742092A JPH06155265A (en) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | Holding of work and holding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32742092A JPH06155265A (en) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | Holding of work and holding device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155265A true JPH06155265A (en) | 1994-06-03 |
Family
ID=18198969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32742092A Withdrawn JPH06155265A (en) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | Holding of work and holding device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06155265A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102172867A (en) * | 2011-02-16 | 2011-09-07 | 厦门大学 | Parameter adjustable type polishing clamp device for heavy-calibre plane optical element |
| CN102172868A (en) * | 2011-02-16 | 2011-09-07 | 厦门大学 | Air floating big-calibre plane optical element polishing clamp |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP32742092A patent/JPH06155265A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102172867A (en) * | 2011-02-16 | 2011-09-07 | 厦门大学 | Parameter adjustable type polishing clamp device for heavy-calibre plane optical element |
| CN102172868A (en) * | 2011-02-16 | 2011-09-07 | 厦门大学 | Air floating big-calibre plane optical element polishing clamp |
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