JPH06155176A - リードフレームマガジンのクランプ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体組立て装置のリードフレームマガジン
のクランプ方法において、クランプ時の振動や衝撃をな
くし、かつ多品種のマガジン幅に対し、フレキシブルで
あり、ロボットによる自動搬送を可能にするものであ
る。 【構成】 エアシリンダ４のロッド４ａの一端に設けた
プッシュプレート７と、このプッシュプレート７に圧縮
バネ９を介して設けたプッシュコマ１１と、このプッシ
ュコマ１１に対向して設けた基準プレート１から構成
し、エアシリンダ４の動作により、プッシュプレート７
を移動し、圧縮バネによって押し込む１段目クランプ動
作と、エアシリンダ４によって押し込む２段目クランプ
動作によってクランプするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はダイスボンディング装
置、ワイヤボンディング装置、封入装置等の半導体組立
て装置のリードフレームを収納するリードフレームマガ
ジンのクランプ方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のリードフレームマガジン
のクランプ方法は（Ａ）板ばねで直接リードフレームマ
ガジンを基準プレートに押しつける方法であり、作業者
はリードフレームムガジンを板バネと基準プレートの間
に押し込むものである。（Ｂ）ローラ付板バネでリード
フレームマガジンを基準フレートに押しつける方法、あ
るいは（Ｃ）エアシリンダ、もしくはロータリーアクチ
ュエータ等の空気圧機器を用いて、リードフレームマガ
ジンを基準プレートに押しつける方法、などが提案され
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上述
べたいずれの方法であっても、（Ｄ）リードフレームマ
ガジンのクランプ時（セット時）、あるいは取り出し時
に、収納されているリードフレームに振動、衝撃を与
え、ワイヤボンド後の金線変形もしくは、断線を誘発す
ること、（Ｅ）板ばねの圧力を受けながら、作業者はリ
ードフレームマガジンを押し込むため、確実なクランプ
（セット）が保証できず、上下動すること、（Ｆ）リー
ドフレームマガジン幅の変更に対して、フレキシブルで
ないため、作業者の熟練を必要とすること、（Ｇ）ロボ
ットによるリードフレームマガジンの供給、取り出しに
対応できないこと、（Ｈ）特に、空気圧機器を用いてリ
ードフレームマガジンの固定を行なった場合、エレベー
ターとして上下動作をする為エアーチューブの折れ、引
っかかり、センサー類の断線等のトラブルが発生し易い
こと、などという問題点があった。

【０００４】本発明は、以上述べた、ワイヤボンド後の
金線変形もしくは断線を誘発すること、確実なクランプ
ができないこと、作業者の熟練を必要とすること、ロボ
ットによる対応ができないこと、空気圧機器の使用では
トラブルが発生し易いこと、などの問題点を除去するた
め、圧縮バネによるソフトな押し込みをする１段目と、
エアシリンダによって押し付けてクランプする２段目か
らなる２段階で、リードフレームマガジンを基準プレー
トにクランプする優れたリードフレームマガジンのクラ
ンプ方法を提供することを目的とする。また、ベース移
動体および移動ブロックの上下動作に伴なうマガジンセ
ットベースの上下動作に連動して、左右のクランパの開
放動作とクランプ動作を行なうようにした優れたリード
フレームマガジンのクランプ方法を提供することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係るリードフレ
ームマガジンのクランプ方法は、エアシリンダのロッド
の一端に設けたプッシュプレートと、このプッシュプレ
ートに圧縮バネを介して設けたプッシュコマと、このプ
ッシュコマに対向して設けた基準プレートとを備え、エ
アシリンダの動作によりプッシュプレートを移動し、圧
縮バネによってプッシュコマをリードフレームマガジン
にソフトに押し込む１段目クランプ手段と、エアシリン
ダの動作によりプッシュコマをリードフレームマガジン
に押し付ける２段目クランプ手段とを有するものであ
る。

【０００６】また、本発明に係るリードフレームマガジ
ンのクランプ方法は、リードフレームマガジンを載せる
マガジンセットベースを設けたベース移動体と、このベ
ース移動体の上下方向の移動により、時計方向または反
時計方向に回動する第１手段と、この第１手段の一端の
上下方向動作を水平方向移動動作に変換する第２手段
と、この第２手段の各一端に結合し、ベース移動体に水
平方向に移動自在に設けた第３手段と、この第３手段間
に設けた引っぱりバネ手段と、この第３手段に設けた左
右のクランパとを備え、前記ベース移動体の上下方向の
動作により、左右のクランパを開閉動作し、リードフレ
ームマガジンをクランプあるいは開放するものである。

【０００７】

【作用】本発明は、リードフレームマガジンのクランプ
時の振動や衝撃をなくし、しかも多品種のリードフレー
ムマガジンに対してフレキシブルに対応することがで
き、また、ロボットによる自動搬送を可能にするもので
ある。

【０００８】

【実施例】図１は本発明に係るリードフレームマガジン
のクランプ方法の一実施例を示す概略斜視図である。図
において、１はリードフレームマガジン２（図２
（Ａ）、図２（Ｂ）参照）が搭載される基準プレート、
３ａおよび３ｂはこの基準プレート１に固定された移動
ブロック、４はこの移動ブロック３ａ，３ｂ間に設けら
れ、基準プレート１に固定されたエアシリダ、５ａおよ
び５ｂはそれぞれ移動ブロック３ａ，３ｂの透孔内に挿
入されたガイド棒である。このガイド棒５ａおよび５ｂ
は、移動ブロック３ａ，３ｂの上下移動に対してガイド
として働く。６は図示せぬステッピングモータの回転駆
動により回転されるボールネジであり、このボールネジ
６の正逆方向の回転により基準プレート１が上下方向に
移動する。７はプッシュプレートであり、このプッシュ
プレート７は、前記エアシリンダ４のロッド４ａの一端
に固定されており、しかも、プッシュガイド８ａ，８ｂ
によりガイドされ、このエアシリンダ４の動作により、
このプッシュプレート７は左右方向に移動する。９はリ
ニアベアリング１０（図２（Ａ），図２（Ｂ）参照）に
より、プッシュプレート７に移動可能（左右方向）に設
けられたプッシュ軸、１１はこのプッシュ軸９の一端に
取り付けられたプッシュコマ、１２はプッシュプレート
７とプッシュコマ１１の間に設けられた圧縮バネであ
る。

【０００９】なお、上記の基準プレート１、移動ブロッ
ク３ａ，３ｂ，ボールネジ６によってエレベータを構成
し、上記のエアシリンダ４、プッシュプレート７、プッ
シュガイド８ａおよび８ｂ、プッシュ軸９、リニアベア
リング１０、プッシュコマ１１、および圧縮バネ１２に
よりクランプ機構を構成する。また、図２（Ａ）はこの
クランプ機構が開放状態を示し、Ｌは最大マガジン幅を
示す。図２（Ｂ）はクランプ機構のクランプ状態を示
す。次に、上記構成によるリードフレームマガジンのク
ランプ方法の動作について説明する。まず、エレベータ
の動作により基準プレート１が所定の位置に位置決めさ
れる。そして、リードフレームマガジン２が図２（Ａ）
に示すように、基準プレート１上に載せられると、エア
シリンダ４が駆動される。このエアシリンダ４の動作に
より、そのロッド４ａが伸びるため、プッシュプレート
７は、プッシュガイド８ａ，８ｂにガイドされ、図２
（Ｂ）に示すように移動する。このため、プッシュプレ
ート７に取り付けられたプッシュコマ１１が圧縮バネ１
２によりリードフレームマガジン２を基準プレート１に
ソフトに押しつける。更に、エアシリンダ４を駆動し、
ロッド４ａを伸ばすと、図示せぬストッパにより、圧縮
ばね１２はそれ以上縮まない構想になっており、リード
フレームマガジン２を確実にクランプすることができ
る。

【００１０】このように、リードフレームマガジン２を
２段階の力で、クランプすることにより、たとえ、リー
ドフレームマガジン２をセットした時に、基準プレート
１との間に、わずかなすき間があったとしても、１段目
でソフトに押し込み、基準プレート１に押しつけ、２段
目に、エアシリダ４の力で押しつけてクランプするの
で、確実にクランプすることができる。なお、エアシリ
ンダとしては、そのチューブ内部にフッ素グリスを封入
して、最低速度、例えば１０ｍｍ／ｓｅｃまで、スピー
ドをおさえられる低速用エアシリンダを使用し、低速で
クランプしてもよいことはもちろんである。図３は本発
明に係るリードフレームマガジンのクランプ方法の他の
実施例を示す概略斜視図であり、図４は図３の詳細な要
部側面図である。図において、１３はエレベータトップ
プレート、１４はエレベータボトムプレート、１５はマ
ガジンセットベース１６を備えたベース移動体、１７は
このベース移動体１５に取り付けられた移動ブロック、
１８ａおよび１８ｂはこの移動体ブロック１７の透孔内
に挿入されたガイド棒である。このガイド棒１８ａおよ
び１８ｂは移動ブロック１７の上下移動に対してガイド
として働く。１９はステッピングモータ、２０はこのス
テッピングモータ１９の回転駆動により回転されるボー
ルネジであり、このボールネジ２０の正逆方向の回転に
より、ベース移動体１５および移動ブロック１７が上下
方向に移動する。２１はリードフレームマガジン２がマ
ガジンセットベース１６にセットされたことを検出する
マガジン検出センサ、２２はガイドブロック、２３は図
４に示すように、移動ブロック１７にリニアモーション
ベアリング２４を介して上下方向に移動可能に設けられ
たプッシュ棒、２５はベース移動体１５に取り付けられ
たブラケット、２６はこのブラケット２５に軸２７で回
動自在に軸支されたレバーである。このレバー２６の一
端にはカムフォロワー２８が回転自在に取り付けられて
いる。そして、このカムフォロワー２８は上記プッシュ
棒２３の下端に当接する。２９ａおよび２９ｂはリンク
開閉用カムフワロワー３０により開閉動作するリンクで
ある。このリンク開閉用カムフォロワー３０はレバー２
６の他端２６ａに当接する。３１は上記ベース移動体１
５に取り付けられたＬＭガイド、３２ａ及び３２ｂは、
このＬＭガイド３１によって左右方向に移動可能に設け
られたＬＭ移動体、３３ａおよび３３ｂはそれぞれこの
ＬＭ移動体３２ａおよび３２ｂに取り付けられたリング
用ブラケットである。このリンク用ブラケット３３ａお
よび３３ｂには、それぞれリンク２９ａおよび２９ｂの
他端が回動自在に取り付けられている。３４ａおよび３
４ｂはそれぞれリンク用ブラケット３３ａおよび３３ｂ
に固定された左クランパおよび右クランパ、３５はこの
左クランパ３４ａおよび右クラパ３４ｂのクランプ位置
を調整するクランプ位置調整ねじ、３６はリンク用ブラ
ケット３３ａおよび３３ｂ間に取り付けられた引っぱり
ばねである。

【００１１】なお、図３および図４は、移動ブロック１
７が上限にあるときであり、左クランパ３４ａおよび右
クランパ３４ｂが開いている状態を示す。次に、上記構
成によるリードフレームマガジンのクランプ方法の動作
について説明する。 （Ａ）、左クランパ３４ａおよび右クランパ３４ｂが開
くまでの動作について説明すると、ステッピングモータ
１９を回転駆動すると、ボールネジ２０が回転する。こ
のボールネジ２０の回転により、移動ブロック１７はガ
イド棒１８ａおよび１８ｂによってガイドされ、上限に
向って移動する。そして、この移動ブロック１７が上限
に到達する以前、例えば１０ｍｍ前に、プッシュ棒２３
の上端はエレベータトッププレート１３に当接する。そ
して、この移動ブロック１７はさらに上限へと移動する
と、ベース移動体１５も上昇する。このベース移動体１
５の上昇により、このベース移動体１５のブラケット２
５に軸２７で軸支されたレバー２６も上昇する。このレ
バー２６の上昇に対し、レバー２６の一端に取り付けら
れたカムフォロワー２８は、プッシュ棒２３の下端に当
接しているため、このレバー２６は軸２７を中心にして
反時計方向に回動する。このレバー２６の反時計方向の
回動により、その一端２６ａは上昇するため、当接して
いるリンク開閉用カムフォロワ３０が上昇する。このリ
ンク開閉用カムフォロワ３０の上昇により、リンク２９
ａおよび２９ｂが押されて角度を広げる。このため、リ
ンク２９ａおよび２９ｂはこのリンク開閉用カムフォロ
ワ３０を中心に左右に同ストローク移動する。そこで、
このリンク２９ａおよび２９ｂの他端に取り付けられた
リンク用ブラケット３３ａおよび３３ｂが左右に同スト
ローク移動し、さらにこのリンク用ブラケット３３ａお
よび３３ｂに取り付けられたＬＭ移動体３２ａおよび３
２ｂも、ＬＭガイド３１でガイドされ、左右に同ストロ
ーク移動する。このため、このＬＭ移動体３２ａおよび
３２ｂに取り付けられた左クランパ３４ａおよび３４ｂ
は左右に同ストローク移動し、クランプ開の状態にする
ことができる。

【００１２】なお、上記リンク開閉用カムフォロワ３０
は、上下方向の動作時、センターを保持するように、図
示せぬ溝ガイドによってガイドされていることはもちろ
んである。 （Ｂ）次に、左クランパ３４ａおよび右クランパ３４ｂ
が閉じるまでの動作について説明する。まず、ステッピ
ングモータ１９を逆方向に回転すると、ボールネジ２０
も逆方向に回転する。このボールネジ２０の逆方向の回
転により、移動ブロック１７はガイド棒１８ａおよび１
８ｂによってガイドされ、下限に向って移動する。この
移動ブロック１７の下方への移動によって、前記の各部
は詳細な動作を省略するが、前記した動作と逆の動作を
行なう。このため、ＬＭ移動体３２ａおよび３２ｂに取
り付けられた左クランパ３４ａおよび３４ｂは左右に同
ストローク移動し、クランプ閉の状態にすることができ
る。なお、上記構成のリードフレームマガジンのクラン
プ方法を、ダイスボンディング装置、ワイヤーボンディ
ング装置、ワイヤー検査装置、チップコート装置、モー
ルド装置に有効に用いることができる。

【００１３】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係るリードフレームマガジンのクランプ方法によれば、
マガジンのクランプ時、振動や衝撃を与えることなく、
ソフトにクランプすることができる。しかも、クランプ
開のマガシ幅を広く取ることができるので、幅の狭いマ
ガジンから幅の広いマガジンまで、多品種のマガジンに
対して、フレキシブルに対応することができる。また、
ロボットによる自動搬送用としても適するなどの効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るリードフレームマガジンのクラン
プ方法の一実施例を示す概略斜視図である。

【図２】図１の動作を説明するための要部側面図であ
る。

【図３】本発明に係るリードフレームマガジンのクラン
プ方法の他の実施例を示す概略斜視図である。

【図４】図３の動作を説明するための要部側面図であ
る。

【符号の説明】

１ 基準プレート ２ リードフレームマガジン ３ａ，３ｂ 移動ブロック ４ エアシリンダ ７ プッシュプレート １５ ベース移動体 １６ マガジンセットベース １７ 移動ブロック ２３ プッシュ棒 ２６ レバー ２９ａ，２９ｂ リンク ３２ａ，３２ｂ ＬＭ移動体 ３４ａ，３４ｂ 左クランパ、右クランパ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エアシリンダのロッドの一端に設けたプ
   ッシュプレートと、このプッシュプレートに圧縮バネを
   介して設けたプッシュコマと、このプッシュコマに対向
   して設けた基準プレートとを備え、エアシリンダの動作
   によりプッシュプレートを移動し、圧縮バネによってプ
   ッシュコマをリードフレームマガジンに押し込む１段目
   クランプ手段と、エアシリンダの動作によりプッシュコ
   マをリードフレームマガジンに押し付ける２段目クラン
   プ手段により、リードフレームマガジンを基準プレート
   にクランプすることを特徴とするリードフレームマガジ
   ンのクランプ方法。
2. 【請求項２】 リードフレームマガジンを載せるマガジ
   ンセットベースを設けたベース移動体と、このベース移
   動体の上下方向の移動により、時計方向または反時計方
   向に回動する第１手段と、この第１手段の一端の上下方
   向動作を水平方向移動動作に変換する第２手段と、この
   第２手段の各一端に結合し、ベース移動体に水平方向に
   移動自在に設けた第３手段と、この第３手段間に設けた
   引っぱりバネ手段と、この第３手段に設けた左右のクラ
   ンパとを備え、前記ベース移動体の上下方向の動作によ
   り、左右のクランパを開閉動作し、リードフレームマガ
   ジンをクランプあるいは開放することを特徴とするリー
   ドフレームマガジンのクランプ方法。