JPH06148525A - Confocal laser microscope - Google Patents
Confocal laser microscopeInfo
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- JPH06148525A JPH06148525A JP4316023A JP31602392A JPH06148525A JP H06148525 A JPH06148525 A JP H06148525A JP 4316023 A JP4316023 A JP 4316023A JP 31602392 A JP31602392 A JP 31602392A JP H06148525 A JPH06148525 A JP H06148525A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は共焦点レーザー顕微鏡に
関する。FIELD OF THE INVENTION This invention relates to confocal laser scanning microscopes.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に共焦点レーザー顕微鏡は１ミクロ
ン前後に絞ったレーザー光スポットで資料面を走査し、
個々の位置（点）の明暗情報を光電変換センサーで受光
し、その電気的に変換した明暗情報を集積してモニター
テレビの拡大画面で観察するものである。これは常に個
々の位置だけが照射され、不要な或は有害な光が混合し
ないこと、及び資料面と共役位置で資料面走査スポット
光に準じる大きさのピンホールを介して受光するので、
デフォーカス光及び有害な光を除外できる特徴がある。
このため、従来の光学顕微鏡と較べ、同じ対物レンズを
使用しても高解像力、高コントラストが得られる。2. Description of the Related Art Generally, a confocal laser microscope scans the surface of a material with a laser beam spot that is narrowed down to around 1 micron.
The photoelectric conversion sensor receives light and dark information of each position (point), and the electrically converted light and dark information is integrated and observed on an enlarged screen of a monitor television. This is because only individual positions are always illuminated, unnecessary or harmful light is not mixed, and light is received at a conjugate position with the material surface through a pinhole of a size similar to the light scanning spot on the material surface.
There is a feature that defocused light and harmful light can be excluded.
Therefore, as compared with the conventional optical microscope, high resolution and high contrast can be obtained even if the same objective lens is used.
【０００３】従来の共焦点レーザー顕微鏡の代表的構成
は、図６に示す概略構成のものが一般的である。このレ
ーザー顕微鏡は、光源１からレーザー光を発光させ、エ
クスパンダー２によってその光束を太くし、ビームスプ
リッター３を透過させて、偏光手段であるミラー付きガ
ロバノメータであるガロバノミラー４，５によって、横
方向（Ｘ），縦方向（Ｙ）方向に走査される。ついでリ
レーレンズ６により視野絞り７位置（対物レンズの結像
位置相当）で一度収束させ、対物レンズ８を通して資料
９に結像し、資料９にをスポット光によって走査させ
る。そして資料９からの戻る明暗情報をビームスプリッ
ター３で方向変換させて集光レンズ１０で収束させ、ピ
ンホール１１を通して受光素子からなる資料情報検出セ
ンサー１２に当て、光電変換して電気信号をメモリに送
り込むようにしている。A typical configuration of a conventional confocal laser microscope has a general configuration shown in FIG. In this laser microscope, a laser beam is emitted from a light source 1, an expander 2 thickens the luminous flux, a beam splitter 3 transmits the laser beam, and galvanometer mirrors 4 and 5 which are galvanometers with a mirror serving as a polarization unit laterally ( X), and the vertical (Y) direction is scanned. Then, the light is converged once by the relay lens 6 at the position of the field stop 7 (corresponding to the image forming position of the objective lens), an image is formed on the material 9 through the objective lens 8, and the material 9 is scanned by the spot light. Then, the light / dark information returned from the material 9 is converted in direction by the beam splitter 3 and converged by the condenser lens 10, applied to the material information detection sensor 12 composed of a light receiving element through the pinhole 11, and photoelectrically converted to an electric signal in a memory. I try to send it in.
【０００４】走査手段位置では、ガロバノミラー４でＸ
方向に約±４°振られ、更にガロバノミラー５でＹ方向
に約±３°振られ、これがリレーレンズ６によりスポッ
ト光となり、図７に示すように視野絞り位置面を走査す
る。図７は視野絞り７位置でａ１点からｂ１点までスポ
ット光が移動した場合の光路を示しており、この場合対
物レンズ８を通して資料９がａ２点からｂ２点に移動さ
れ、資料面を走査することとなる。At the position of the scanning means, the galvanometer mirror 4 moves the X
About ± 4 ° in the direction, and further about ± 3 ° in the Y direction by the Galvano mirror 5, which becomes spot light by the relay lens 6 and scans the field stop position plane as shown in FIG. FIG. 7 shows an optical path when the spot light moves from the point a 1 to the point b 1 at the position of the field stop 7. In this case, the material 9 is moved from the point a 2 to the point b 2 through the objective lens 8, The surface will be scanned.
【０００５】この場合、次の関係が成立する。In this case, the following relationship holds.
【０００６】視野絞りの大きさ＝資料面上の大きさ×対
物レンズの倍率 資料に当たる光束の中心は、試料面に垂直（デレセント
リック）であるから、資料面からの光は資料面の特徴に
対応する情報をもって同じ光路で戻って行き、ガロバノ
ミラー５，４を通ると、走査のないレーザー光と同じレ
ベルの平行光束となり、ビームスプリッター３により曲
げられ、集光レンズ１０によりピンホール１１に集光さ
れ、資料情報検出センサー１２に導かれる。Size of field stop = size on material surface × magnification of objective lens Since the center of the light beam striking the material is perpendicular (delecentric) to the sample surface, the light from the material surface is characteristic of the material surface. When returning through the same optical path with the information corresponding to, and passing through the Galvano mirrors 5 and 4, it becomes a parallel light flux of the same level as the laser light without scanning, it is bent by the beam splitter 3, and it is focused on the pinhole 11 by the condenser lens 10. The light is emitted and guided to the material information detection sensor 12.
【０００７】なお資料面上の各点は、常にピンホール１
１と共役（等価）位置にある。このために共焦点レーザ
ー顕微鏡と名付けられている。Each point on the document surface is always a pinhole 1.
It is in a conjugate (equivalent) position with 1. For this reason, it is named a confocal laser microscope.
【０００８】また、レーザー顕微鏡の場合は、コンピュ
ーターによる画像処理によって複数個の画面を合成した
り、移動、回転等出来ることが一つの特徴であるので、
各情報（光量）はメモリーに入れておくのが普通であ
る。Further, in the case of a laser microscope, one feature is that a plurality of screens can be combined, moved, rotated, etc. by image processing by a computer.
It is usual to store each information (light intensity) in the memory.
【０００９】最も普通の型では、コンピューターのモニ
ターに合わせてＸ方向の画素を６４０，Ｙ方向の画素を
４８０としている。The most common type uses 640 pixels in the X direction and 480 pixels in the Y direction in accordance with the computer monitor.
【００１０】即ち、受光素子では１画面当り６４０×４
８０＝３０７，２００個の情報を資料面の位置に合わせ
たタイミングで採らねばらない。That is, in the light receiving element, one screen is 640 × 4.
80 = 307,200 pieces of information must be taken at the timing matched with the position of the document surface.
【００１１】試料面の位置はガロバノミラー４，５の回
転角で決められることはゆうまでもない。Needless to say, the position of the sample surface is determined by the rotation angles of the Galvano mirrors 4 and 5.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】今、速度の遅い例とし
て１秒間に１画面の情報をとる場合を考える。Now, as an example of slow speed, let us consider a case where one screen of information is taken per second.
【００１３】ガロバノミラー４は４８０Ｈｚで±２°
（ミラー回転角は光フレ角の１／２）、ガロバノミラー
５は１Ｈｚで±１．５°振ればよいことになる。The galvano mirror 4 is ± 2 ° at 480 Hz.
(The mirror rotation angle is 1/2 of the light deflection angle), and the Galvano mirror 5 should be shaken at ± 1.5 ° at 1 Hz.
【００１４】そこでガロバノミラー４は、図８に示すよ
うに鋸歯状の入力信号で駆動させる。この鋸歯状波４８
０Ｈｚで周期が２．０８ｍｓｅｃであり、読取に必要な
範囲はグラフの直線に近いところにする必要があるた
め、グラフの上Ａ点とＢ点の間となる。この間は時間に
して約１ｍｓｅｃである。Therefore, the Galvano mirror 4 is driven by a sawtooth input signal as shown in FIG. This sawtooth wave 48
The cycle is 2.08 msec at 0 Hz, and the range required for reading needs to be close to the straight line of the graph, so it is between the points A and B on the graph. During this period, the time is about 1 msec.
【００１５】Ａ点にきた時から受光素子より情報をとり
始め、４°／６４０即ち、約０．３７５′の位置の時毎
に情報をとればよいことになる。It is sufficient to start collecting information from the light receiving element when the point A is reached, and to collect information every 4 ° / 640, that is, about 0.375 '.
【００１６】即ちガロバノミラーの回転がＡ点の時から
０．３７５′回転する毎に読取信号を出してそのタイミ
ングで受光素子１２の情報を読み取ればよいことにな
る。That is, it is sufficient to output a read signal every time the Galvano mirror rotates 0.375 'rotations from the point A and read the information of the light receiving element 12 at that timing.
【００１７】Ａ点のみを検出することはガロバノミラー
直結のエンコーダー、ポテンシオメーター等の回転セン
サーにより、そのタイミングを得ることは僅かの誤差範
囲内で可能である。It is possible to detect only the point A with a rotation sensor such as an encoder directly connected to a galvanometer mirror or a potentiometer, and to obtain the timing within a slight error range.
【００１８】しかしながら以後０．３７５′毎の正しい
回転位置で連続して信号をとることは非常に困難であ
る。その理由の第１は、非常に小さい角度であることで
ある。センサー部分を大き目に考えφ３０ｍｍとした時
でもその円周上の直線距離（約円弧長）は僅か１．６ミ
クロンに過ぎない。第２には、非常に高速で動いている
ことである。４８０Ｈｚを単純にモーターの回転数に換
算すれば２８，８００ｒｐｍに相当する。However, it is very difficult to take a signal continuously at the correct rotational position every 0.375 '. The first reason is that the angle is very small. Even if the sensor part is considered large and the diameter is set to 30 mm, the linear distance (about arc length) on the circumference is only 1.6 microns. Second, it is moving very fast. If 480 Hz is simply converted to the rotation speed of the motor, it corresponds to 28,800 rpm.
【００１９】この速度で４°（実際には６°以上必要）
の間を正逆転するわけで、０．３７５′を通過する時間
は第３図に示すＡ，Ｂ間の時間より１ｍｓｅｃ／６４０
＝１．５６μｓｅｃとなる。4 ° at this speed (actually 6 ° or more is required)
The time for passing 0.375 'is 1 msec / 640 from the time between A and B shown in FIG.
= 1.56 μsec.
【００２０】以上で明らかなようにしてこの間隔（変位
量・時間）で信号をとり出すことは極めて困難であり、
ガロバノミラーは慣性をできるだけ小さくする必要があ
ることから、大型で複雑なセンサーをつけることが難し
いことも困難の一因である。As is clear from the above, it is extremely difficult to extract a signal at this interval (displacement amount / time).
Since it is necessary to make the inertia of the galobano mirror as small as possible, one of the difficulties is that it is difficult to attach a large and complicated sensor.
【００２１】そこで普通はＡ点位置に来たときより受光
素子の読取りを始め、以後等時間間隔（１．５６μｓｅ
ｃ）で６４０回読取るようにしている。この場合、図８
中のＡ，Ｂ間が完全に直線であればよいが、前記のよう
に高速・微小角揺動のため、完全な直線性は望めない。
即ち６４０個の各位置が計画位置よりずれる可能性もあ
る。これは画面上では等間隔の目盛をみた時、その間隔
が不揃いになることを意味する。Therefore, normally, reading of the light receiving element is started when the position A is reached, and thereafter, at equal time intervals (1.56 μse).
In c), it is read 640 times. In this case,
It suffices if the line between A and B is completely straight, but as mentioned above, because of the high speed and small angle swing, perfect linearity cannot be expected.
That is, each of the 640 positions may be displaced from the planned position. This means that when the scales with equal intervals are seen on the screen, the intervals become uneven.
【００２２】他方、Ｙ方向を走査するガロバノミラー５
については、回転角は小さい（±１．５°）が周波数が
Ｘ方向ガロバノミラー４より数百倍遅い（約１Ｈｚ）の
で立上がり部分を除けば略完全に近い直線性を得ること
ができるので、Ｙ方向の画像の歪みはほとんどないと考
えて良くＸ方向ガロバノミラーとの同期さえとれば問題
はない。従ってＸ方向の画像の歪みがとれれば寸法が正
確な画面が得られる。On the other hand, the Galvano mirror 5 for scanning in the Y direction
With respect to, the rotation angle is small (± 1.5 °), but the frequency is several hundred times slower than the X-direction Galvano mirror 4 (about 1 Hz), so almost perfect linearity can be obtained except for the rising portion. It can be considered that there is almost no image distortion in the direction, and there is no problem as long as it is synchronized with the X-direction Galvano mirror. Therefore, if the distortion of the image in the X direction can be removed, a screen with accurate dimensions can be obtained.
【００２３】このような従来の問題にかんがみ、本発明
は前述したＸ方向の画像歪みを完全に除き、画面上の各
位置関係が資料面と全く同じ率になる共焦点レーザー顕
微鏡の提供を目的としたものである。In view of such conventional problems, it is an object of the present invention to provide a confocal laser microscope in which the positional relationship on the screen is exactly the same as that of the material surface, except for the above-mentioned image distortion in the X direction. It is what
【００２４】[0024]
【課題を解決するための手段】上述の如き従来の問題を
解決し、所期の目的を達成するための本発明の特徴は、
レーザー光を放射する光源と、該光源からの光を横方向
及び縦方向に走査させるガロバノミラーからなる走査手
段と、この走査光を対物レンズの結像位置である視野絞
り内を走査し、更に対物レンズを経由して資料面を縮小
走査するようにしたリレーレンズと、資料からの光を受
けて明暗情報を電気信号に変換させる資料情報検出セン
サーとを備えてなる共焦点レーザー顕微鏡において、前
記光源から対物レンズに到る光学系における前記視野絞
りと同等位置に、横走査方向にスリットを並べたストラ
イプマスクにより受光面を覆った資料情報読取りタイミ
ング検出用の受光素子を置き、該受光素子の検出信号に
同期させて前記資料情報検出センサーの情報を読み取ら
せるようにしたことにある。The features of the present invention for solving the above-mentioned conventional problems and achieving the intended purpose are as follows.
A light source that emits a laser beam, a scanning unit that includes a Galvano mirror that scans the light from the light source in a horizontal direction and a vertical direction, and a scanning unit that scans the scanning light in a field stop, which is an image forming position of an objective lens, and further A confocal laser microscope comprising a relay lens configured to scan a document surface through a lens, and a document information detection sensor that receives light from the document and converts light and dark information into an electric signal. A light receiving element for detecting the material information reading timing, in which the light receiving surface is covered with a stripe mask having slits arranged in the horizontal scanning direction, is placed at the same position as the field stop in the optical system from the objective lens to the detection of the light receiving element. The information of the material information detection sensor is read in synchronization with the signal.
【００２５】[0025]
【作用】本発明の共焦点レーザー顕微鏡は、光源から発
っせられたレーザー光をガロバノミラーにより横及び縦
方向に走査させ、リレーレンズ、対物レンズを通して資
料面をスポット光により走査させ、資料からの光を前述
と同じ光路を逆に通って資料情報検出センサーにより資
料からの明暗情報を検出させる。The confocal laser microscope of the present invention scans laser light emitted from a light source horizontally and vertically by a galvano mirror, and scans the surface of the material with a spot light through a relay lens and an objective lens. The light information from the material is detected by the material information detection sensor through the same optical path as above.
【００２６】一方、資料に到る照光の一部は資料に到る
光学系の視野絞りと同等位置にある受光素子の表面をス
ポット光にて走査することとなり、その受光素子の表面
がＸ走査方向に向けてスリットを並べたストライプマス
クにより覆われているため、スポット光の移動に合わせ
て受光信号が得られる。この信号に同期させて資料情報
検出センサーの検出タイミングを取ることにより走査速
度に変化があってもストライプマスクのスリット間隔に
対応する資料照射位置の明暗情報が得られる。On the other hand, a part of the illumination light reaching the material scans the surface of the light receiving element located at the same position as the field stop of the optical system reaching the material with the spot light, and the surface of the light receiving element is X-scanned. Since it is covered with a stripe mask in which slits are arranged in the direction, a light reception signal can be obtained according to the movement of the spot light. By adjusting the detection timing of the material information detection sensor in synchronization with this signal, it is possible to obtain the light / dark information of the material irradiation position corresponding to the slit interval of the stripe mask even if the scanning speed changes.
【００２７】[0027]
【実施例】次に本発明の実施例を図１〜図５について説
明する。EXAMPLE An example of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００２８】図１は本発明に係る共焦点レーザー顕微鏡
の一例の概略構成を示したものであり、前述した従来例
と同じ部分には同じ符号を付して、その説明を省略す
る。同図において、１は光源、２はエスクパンダー、３
はビームスプリッター、４はＸ方向ガロバノミラー、５
はＹ方向ガロバノミラー、６はリレーレンズ、７は視野
絞り、８は対物レンズ、９は資料、１０は集光レンズ、
１１はピンホール、１２は資料情報検出センサーであ
る。FIG. 1 shows a schematic structure of an example of a confocal laser microscope according to the present invention. The same parts as those in the conventional example described above are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. In the figure, 1 is a light source, 2 is an expander, and 3
Is a beam splitter, 4 is an X-direction galvanometer mirror, 5
Is a Y-direction Galvano mirror, 6 is a relay lens, 7 is a field stop, 8 is an objective lens, 9 is a document, 10 is a condenser lens,
Reference numeral 11 is a pinhole, and 12 is a material information detection sensor.
【００２９】本発明では、リレーレンズ６と視野絞り７
との間に半透明プリズム１３を置き、資料照射光路から
一部の光を反射させ、その反射方向側で視野絞り７と同
等位置、即ち、リレーレンズ６による収束位置に受光素
子１４を置いている。この受光素子１４の受光面は、図
３に示すようにＸ走査方向にスリット１５，１５……を
並べたスリットマスク１６をもって覆っている。In the present invention, the relay lens 6 and the field stop 7 are provided.
A semi-transparent prism 13 is placed between and to reflect a part of the light from the material irradiation optical path, and the light receiving element 14 is placed at the same position as the field stop 7 on the reflection direction side, that is, at the converging position by the relay lens 6. There is. The light receiving surface of the light receiving element 14 is covered with a slit mask 16 in which slits 15, 15, ... Are arranged in the X scanning direction as shown in FIG.
【００３０】受光素子１４には受光面（１８ｍｍ×１５
ｍｍ程度）上のどの部分でも光が当れば、位置とは無関
係に光の強さに応じた電流が得られる特性を持つ、高速
かつ高感度の光電変換素子が好ましく、一例として大面
積ピンホトダイオードを使用する。The light receiving element 14 has a light receiving surface (18 mm × 15
A high-speed and high-sensitivity photoelectric conversion element is preferable, which has a characteristic that if any part of the area above is exposed to light, a current according to the intensity of light can be obtained regardless of the position. Use a photodiode.
【００３１】なお、本実施例では視野絞り７の大きさφ
２０ｍｍ（走査範囲換算Ｘ＝１６ｍｍ，Ｙ＝１２ｍ
ｍ）、スリットマスク１６は１６ｍｍ×１２ｍｍの範囲
で構成され、Ｙ方向は検出の必要はないのでＸ方向（１
６ｍｍ）に６４０本のスリットが並び、そのピッチは１
６／６４０＝２５ミクロンである。In this embodiment, the size φ of the field stop 7 is
20mm (scan range conversion X = 16mm, Y = 12m
m), the slit mask 16 is configured in a range of 16 mm × 12 mm, and there is no need to detect the Y direction, so the X direction (1
6mm) has 640 slits, and the pitch is 1
6/640 = 25 microns.
【００３２】この部分を走査するレーザー光のスポット
径は２５ミクロンである。The spot diameter of the laser beam scanning this portion is 25 μm.
【００３３】スリットの透過部分は１０ミクロン巾、遮
光部分の巾は１５ミクロンとしてダイオード出力信号の
Ｐ．Ｐ．を大きくするようにしてある。なお図３中左端
の巾の広いスリット１５ａは読取開始信号をとるために
つけている。The slit transmission part has a width of 10 μm and the light shielding part has a width of 15 μm. P. Is designed to be large. The wide slit 15a at the left end in FIG. 3 is provided to receive a reading start signal.
【００３４】このように構成されるレーザー顕微鏡で
は、リレーレンズ６を出た光は視野絞りに行く前に半透
明プリズム１３でその一部が曲げられ、スリットマスク
１６上を走査する。受光素子１４では２５ミクロンのス
ポット光１７がスリットマスク１６に遮られ、図５中の
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのように受光面積が変化する。（最大は
Ａの時、最小はＣの時）。これに応じてダイオード出力
は図４のような脈流となる。なお戻り時はキャンセルす
るようにしてある。In the laser microscope constructed as described above, a part of the light emitted from the relay lens 6 is bent by the semitransparent prism 13 before it goes to the field stop, and scans the slit mask 16. In the light receiving element 14, the 25-micron spot light 17 is blocked by the slit mask 16, and the light receiving area changes like A, B, C, and D in FIG. (Maximum is A, minimum is C). In response to this, the diode output has a pulsating flow as shown in FIG. It should be noted that the cancellation is made when returning.
【００３５】照射されるレーザー光は強さ、大きさは一
定であるので、この脈流は全て同じレベルであり、ピー
クの位置はスリット１５，１５……の中心位置である。Since the intensity and size of the laser light to be applied are constant, all the pulsating flows are at the same level, and the peak position is the central position of the slits 15, 15 ....
【００３６】この脈流を動作点を脈流の谷付近に合わせ
増巾するとパルス状の波形となるので、こけれをクロッ
クパルスとしてこのタイミングで資料情報検出センサー
１２にて情報を読み取らせる。When the operating point is widened by adjusting the operating point to the vicinity of the valley of the pulsating flow, a pulse-like waveform is obtained, so that the information is read by the material information detecting sensor 12 at this timing using the broke as a clock pulse.
【００３７】[0037]
【発明の効果】上述したように本発明によればスリット
マスクのスリット間隔は正しく走査域を、例えば６４０
等分することができるため、脈流のピークの現れる時刻
は正しく６４０等分の位置に来た時になり、ガロバノミ
ラーの動作の直線性が不完全であればそのピークの現れ
る時刻の間隔が狂うだけで、その非直線性は完全にキャ
ンセルされる。As described above, according to the present invention, the slit interval of the slit mask is set in the correct scanning range, eg, 640.
Since it can be divided into equal parts, the time when the peak of the pulsating flow appears at the correct position of 640 equal parts, and if the linearity of the operation of the galvanomirror is incomplete, the interval between the times when the peak appears will be incorrect. Then, the nonlinearity is completely canceled.
【００３８】従って本発明によればＸ走査方向ガロバノ
ミラーには直線動作性を考える必要がなく、ある範囲以
上振れれば良いことになる。そして同軸センサーの類も
全く不要となり、そして画面上では全く歪みのない画面
が得られるのである。Therefore, according to the present invention, it is not necessary to consider the linear movement of the Galvano mirror in the X scanning direction, and it suffices if the movement exceeds a certain range. And the kind of coaxial sensor is completely unnecessary, and a screen with no distortion on the screen can be obtained.
【図１】本発明に係る共焦点レーザー顕微鏡の一構成例
を示すダイヤグラムである。FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a confocal laser microscope according to the present invention.
【図２】同上の読取タイミング検出用受光素子部分の概
略図である。FIG. 2 is a schematic view of a reading timing detection light receiving element portion of the above.
【図３】同上のスポット光がストライプマスク上を走査
する状態を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a state in which the above spot light scans a stripe mask.
【図４】読取タイミング検出用受光素子による出力信号
波形を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing an output signal waveform by a light receiving element for reading timing detection.
【図５】Ａ〜Ｄはスポット光が１つのストライプマスク
上を通過する工程を示す平面図である。5A to 5D are plan views showing steps in which spot light passes over one stripe mask.
【図６】従来の共焦点レーザー顕微鏡の構成を示すブロ
ックダイヤグラムである。FIG. 6 is a block diagram showing a configuration of a conventional confocal laser scanning microscope.
【図７】同上の資料走査状態を示す線図である。FIG. 7 is a diagram showing a material scanning state of the above.
【図８】同上のＸ方向ガロバノミラーの動作波形を示す
グラフである。FIG. 8 is a graph showing operating waveforms of the X-direction Galvano mirror of the above.
１ 光源 ２ エスクパンダー ３ ビームスプリッター ４ Ｘ（横）方向ガロバノミラー ５ Ｙ（縦）方向ガロバノミラー ６ リレーレンズ ７ 視野絞り ８ 対物レンズ ９ 資料 １０ 集光レンズ １１ ピンホール １２ 資料情報検出センサー １３ 半透明プリズム １４ 受光素子 １５ スリット １６ スリットマスク １７ スポット光 1 Light Source 2 Escupander 3 Beam Splitter 4 X (Horizontal) Directional Galvano Mirror 5 Y (Vertical) Directional Galovano Mirror 6 Relay Lens 7 Field Stop 8 Objective Lens 9 Material 10 Condensing Lens 11 Pinhole 12 Material Information Detection Sensor 13 Semi-Transparent Prism 14 Light receiving element 15 Slit 16 Slit mask 17 Spot light
Claims (1)
らの光を横方向及び縦方向に走査させるガロバノミラー
からなる走査手段と、この走査光を対物レンズの結像位
置である視野絞り内を走査し、更に対物レンズを経由し
て資料面を縮小走査するようにしたリレーレンズと、資
料からの光を受けて明暗情報を電気信号に変換させる資
料情報検出センサーとを備えてなる共焦点レーザー顕微
鏡において、前記光源から対物レンズに到る光学系にお
ける前記視野絞りと同等位置に、横走査方向にスリット
を並べたストライプマスクにより受光面を覆った資料情
報読取りタイミング検出用の受光素子を置き、該受光素
子の検出信号に同期させて前記資料情報検出センサーの
情報を読み取らせるようにしたことを特徴としてなる共
焦点レーザー顕微鏡。1. A light source that emits a laser beam, a scanning unit that includes a Galvano mirror that scans the light from the light source in a horizontal direction and a vertical direction, and a field stop that is an imaging position of the objective lens with the scanning light. A confocal laser that includes a relay lens that scans and further scans the surface of the material through an objective lens in a contracted manner, and a material information detection sensor that receives light from the material and converts light and dark information into an electrical signal. In the microscope, at the same position as the field stop in the optical system from the light source to the objective lens, a light receiving element for detecting the material information reading timing, which covers the light receiving surface with a stripe mask in which slits are arranged in the horizontal scanning direction, is placed, A confocal laser microscope characterized in that the information of the material information detection sensor is read in synchronization with the detection signal of the light receiving element. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316023A JPH06148525A (en) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | Confocal laser microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4316023A JPH06148525A (en) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | Confocal laser microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148525A true JPH06148525A (en) | 1994-05-27 |
Family
ID=18072393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4316023A Pending JPH06148525A (en) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | Confocal laser microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06148525A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-10-30 JP JP4316023A patent/JPH06148525A/en active Pending
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