JPH0614233A - 固体撮像素子の微調整装置及び保持部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 固体撮像素子の微調整装置の改良を目的とす
る。 【構成】基盤５８上に載置した第１の調整装置５３と第
２の調整装置５７とからなり、前記第１の調整装置５３
は、固体撮像素子５１を取り付けた保持部材５２を保持
する撮像素子保持機構５９と、バックフォーカスを調整
するための直進状送り機構６１と、前記固体撮像素子５
１の傾きを調整するための第１のあおり機構６０と第２
のあおり機構６２とを備え、一方、前記第２の調整装置
５７は、光学系５６を保持するための光学系保持機構６
３と、前記光学系５６と前記固体撮像素子５１との光軸
ずれを調整するための水平直進状送り機構６６と垂直直
進状送り機構６５と、前記光学系５６の光軸Ｌを中心軸
にして前記光学系５６を回転させて画像傾斜調整をする
ための回転機構６４とを備えた固体撮像素子の微調整装
置５０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子（ＣＣＤ
素子）を用いた多板式テレビカメラなどにおいて、固体
撮像素子を光学部品（撮像レンズ，プリズム）に対し位
置調整するための固体撮像素子の微調整装置及び保持部
材に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、多板式テレビカメラなどにお
いては、撮像レンズ群から射出される被写体の撮像光を
三色分解プリズム（色分解プリズム）により赤色
（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の三色に分解し、その
分解した各色成分の被写体像を３個の夫々の固体撮像素
子にて撮像し、各色の映像信号にそれぞれ光電変換し、
各種の信号を処理して、例えばＮＴＳＣ方式の複合カラ
ー映像信号（テレビ信号）を得るようになっていること
は周知のことである。上記した各色成分の被写体像を撮
像するための固体撮像素子は、固体撮像素子を保持する
保持部材を介して色分解プリズムの各射出面側に固定さ
れている。

【０００３】これら色分解プリズムの各射出面側に固定
された固体撮像素子は、各光軸上においてバックフォー
カス調整やミクロンオーダのレジストレーションずれ補
正調整を、それぞれの動作状態で正確に調整した後、固
定されている。

【０００４】その調整のために、上述した固体撮像素子
を保持する保持部材自身に調整手段を設けることもでき
るが、保持部材が大型化し、重量も重くなるという欠点
がある。

【０００５】また、撮像部（撮像レンズ，プリズム，固
体撮像素子）の組み立てに際し、微調整装置を用いて調
整を行なった後、固体撮像素子を固定する方法が一般に
行われている。

【０００６】以下、この固体撮像素子の微調整装置につ
いて説明する。

【０００７】図５は、固体撮像素子の微調整装置１０の
一従来例を示した斜視図で、光学部品１１（若しくはそ
の保持部）と分離して使用するように構成されたもので
ある。即ち、固体撮像素子１２を保持する保持具１３
が、左右方向に回転する第１のあおり機構１４に取り付
けられ、第１のあおり機構１４が上下方向に回転する第
２のあおり機構１５に取り付けられている。第２のあお
り機構１５は、左右の直線方向（Ｘ軸方向）に移動する
第１の直進状送り機構１６に取り付けられ、第１の直進
状送り機構１６は上下の直線方向（Ｙ軸方向）に移送す
る第２の直進状送り機構１７に取付けられている。第２
の直進状送り機構１７は上下方向に回転する回転機構１
８に取り付けられ、回転機構１８は光軸方向（Ｚ軸方
向）に移動する第３の直進状送り機構１９に取り付けら
れ、この第３の直進状送り機構１９に基板２０上に取り
付けられている。第１と第２のあおり機構１４，１５及
び回転機構１８は、ウォームとウォームホィールなどの
組み合わせにより微動することができ、第１，第２及び
第３の直進状送り機構１６，１７及び１９はねじ軸とナ
ットの螺合等により微動することができるようになって
いる。従って、固体撮像素子１２は、第１と第２のあお
り機構１４，１５によって面平行が調整され、第１と第
２の直進状送り機構１６，１７により光軸が合わされ
る。また第３の直進状送り機構１９の前進後退によって
焦点が合わされ、回転機構１８によって回転方向が調整
されるようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の各
調整は、いずれもミクロンオーダの高精度が要求され、
これを確保するには微調整装置１０自身が調整操作の際
に移動しないように安定させる必要があり、したがって
装置の安定のため微調整装置が大型化し、かつ、高重量
となる。また、固体撮像素子を保持する微調整装置１０
にすべての調整手段を設けると、微調整装置が複雑化す
ると共に、不安定な形状の微調整装置となり、ミクロン
オーダの高精度の調整には不適であるなどの問題があっ
た。そこで本発明は装置全体の軽量化及び安定性を図
り、高精度の調整を容易とした固体撮像素子の微調整装
置及び保持部材を提供しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたものであり、撮像レンズとプリズ
ムとから構成される多板式撮像装置の光学系の射出面に
固体撮像素子を固定する際に行われる、バックフォーカ
ス調整と、前記光学系の光軸Ｌに垂直な平面に対して前
記固体撮像素子の傾きを調整するあおり調整と、前記光
学系と前記固体撮像素子の光軸合わせ調整と、前記固体
撮像素子の出力画像と被写体との画像傾斜調整に用いら
れる固体撮像素子の微調整装置であって、前記調整の際
の基準となる水平なる仮想基準軸Ｚを設定した第１の調
整装置と、前記第１の調整装置と対向させて前記仮想基
準軸Ｚ上に設けた第２の調整装置とからなり、前記第１
の調整装置には、前記仮想基準軸Ｚが前記固体撮像素子
の撮像面内を通るように、保持部材を介して前記固体撮
像素子を保持するための撮像素子保持機構と、前記仮想
基準軸Ｚ上を微動させてバックフォーカスを調整するた
めの直進状送り機構と、前記仮想基準軸Ｚと直交する垂
直軸Ｙに対して前記固体撮像素子の傾きを調整するため
の、前記仮想基準軸Ｚと直交するあおり軸を有する第１
のあおり機構と、 前記仮想基準軸Ｚと直交する水平軸
Ｘに対して前記固体撮像素子の傾きを調整するための、
前記仮想基準軸Ｚから垂下し前記固体撮像素子の撮像面
を通る鉛直線Ｇ上にあおり軸を有する第２のあおり機構
とを備え、一方、前記第２の調整装置には、前記仮想基
準軸Ｚと前記光学系の光軸Ｌが略直線となるように、前
記光学系を保持するための第２の保持機構と、前記仮想
基準軸Ｚと前記光学系の光軸Ｌとの前記水平軸Ｘ方向の
ずれを調整するための水平直進状送り機構と、前記仮想
基準軸Ｚと前記光学系の光軸Ｌとの前記垂直軸Ｙ方向の
ずれを調整するための垂直直進状送り機構と、前記仮想
基準軸Ｚを中心軸にして前記光学系を回転させて前記画
像傾斜の調整をするための回転機構とを備えたことを特
徴とする固体撮像素子の微調整装置を提供するものであ
り、さらに、前記固体撮像素子の微調整装置に用いる固
体撮像素子の保持部材であって、前記プリズムの射出面
を遮らない開口部と、前記プリズムの両側面を挟持する
突出片を一面に形成した第１の保持部材と、前記固体撮
像素子を取り付けるための、前記固体撮像素子の厚さよ
り大なる深さの凹部を形成した第２の保持部材とからな
り、前記第１の保持部材の他面に対向させて、前記固体
撮像素子を取り付けた前記第２の保持部材を、前記開口
部より前記固体撮像素子が露出するように仮固定し、前
記バックフォーカスと前記あおりの調整を行った後、第
１の保持部材を前記突出片を介して前記プリズムに固定
し、さらに、前記仮固定を解除して第２の保持部材を微
動させて、前記光学系と前記固体撮像素子の光軸合わせ
の調整と、前記画像傾斜の調整を行った後、第１の保持
部材に第２の保持部材を固定するように構成したことを
特徴とする前記固体撮像素子の保持部材を提供するもの
である。

【００１０】

【実施例】図１は、本発明の一実施例である固体撮像素
子の微調整装置５０の概略図である。

【００１１】本発明の固体撮像素子の微調整装置５０
は、固体撮像素子５１が取り付けられた保持部材５２を
保持する第１の調整装置５３と、撮像レンズ５４とプリ
ズム５５とからなる光学系５６を保持する第２の調整装
置５７とに大別され、この第１の調整装置５３と第２の
調整装置５７とは、第１の調整装置５３の後述する仮想
基準軸Ｚと、第２の調整装置５７が保持する光学系５６
の光軸Ｌが略直線となるように基盤５８上に載置されて
いる。

【００１２】この第１の調整装置５３は、光学系５６に
対し固体撮像素子５１のバックフォーカスと、光学系５
６の光軸Ｌに垂直な平面の傾きを調整するもので、撮像
素子保持機構５９と、第１のあおり機構６０と、直進状
送り機構６１と、第２のあおり機構６２とを備えてい
る。また、これら機構の基準軸となる仮想基準軸Ｚが設
定されている。

【００１３】さらに、第２の調整装置５７は、光学系５
６と固体撮像素子５１の光軸合わせ調整と、固体撮像素
子５１の出力する画像傾斜を調整するもので、光学系保
持機構６３と、回転機構６４と、垂直直進状送り機構６
５と、水平直進状送り機構６６とを備えている。

【００１４】上述した各機構について図を用いて詳述す
る。

【００１５】図２は、第１の調整装置５３の側断面図で
ある。

【００１６】第１の保持機構５９は、後述する保持部材
５２を介して固体撮像素子５１を挟持するものであり、
第１の調整装置５３に設けた仮想基準軸Ｚが挟持された
固体撮像素子５１の撮像面内を通るように設計されてい
る。

【００１７】また、この固体撮像素子５１が取り付けら
れた保持部材５２を挟持した撮像素子保持機構５９は、
第１のあおり機構６０の可動部材６０ｄに取り付けられ
ている。この第１のあおり機構６０は、円弧状の蟻溝６
０ａを有する支持部材６０ｂと、円弧状の蟻掛け６０ｃ
を有する可動部材６０ｄを摺動自在に係止した機構から
なるもので、円弧状の蟻溝６０ａ及び蟻掛け６０ｃの円
中心軸は仮想基準軸Ｚと水平直交するように設計されて
いる。また、摺動する可動部材６０ｄは、一方をスプリ
ング６０ｅで押圧し、他方を調整ねじ６０ｆで係止され
ており、この調整ねじ６０ｆを回転させて可動部材６０
ｄを押圧することによりスプリング６０ｅの押圧力に抗
して可動部材６０ｄを微動させて、円中心軸をあおり軸
にしてあおりを可能とするものである。

【００１８】したがって、この第１のあおり機構６０の
調整により垂直軸Ｙに対して固体撮像素子５１の傾きを
垂直に調整することができる。

【００１９】さらに、この第１のあおり機構６０の支持
部材６０ｂは、直進状送り機構６１の可動部材６１ｄ上
に取り付けられている。この直進状送り機構６１は、直
線状の蟻溝６１ａを仮想基準軸Ｚと平行に設けた支持部
材６１ｂと、直線状の蟻掛け６１ｃを有する可動部材６
１ｄを摺動自在に係止されており、可動部材６１ｄの摺
動方向の一方はスプリング６１ｅで他方向に押圧され、
他方向を調整ねじ６１ｆで係止し、この調整ねじ６１ｆ
を回転させて可動部材６１ｄを押圧して直進状送りを可
能とするものである。したがって、この直進状送り機構
６１の調整により固体撮像素子５１を、仮想基準軸Ｚ上
を微動させてバックフォーカスを調整することができ
る。

【００２０】また、この直進状送り機構６１の支持部材
６１ｂは、第２のあおり機構６２の可動部材６２ｄ上に
取り付けられている。この第２のあおり機構６２は、前
述した第１のあおり機構６０と同一の機構からなるもの
で、その説明は省略するが、る。しかし、第１のあおり
機構６０と異なる点は、第１のあおり機構６０の円弧状
の蟻溝６０ａ及び蟻掛け６０ｃの円中心軸は仮想基準軸
Ｚと水平直交するのに対し、第２のあおり機構６２の円
弧状の蟻溝６２ａ及び蟻掛け６２ｃの円中心軸は、仮想
基準軸Ｚより垂下し固体撮像素子５１の撮像面を通る鉛
直線Ｇ上に設けた点である。即ち、第１のあおり機構６
０は垂直面を回動するが、第２のあおり機構６２は水平
面を回動するものであり、この第２のあおり機構６２の
調整により水平軸Ｘに対して固体撮像素子５１の傾きを
水平に調整することができる。

【００２１】さらに、第２の調整装置５７について説明
する。

【００２２】図３は、第２の調整装置５７の射出側から
見た断面図である。

【００２３】光学系保持機構６３は、ネジ６３ｂを介し
て撮像レンズ５４の取付部５４ａを固定保持するための
光学系取付部材６３ａからなり、この光学系取付部材６
３ａは回転機構６４の可動部材６４ｄ上に垂設されてい
る。

【００２４】回転機構６４は、前述した第１のあおり機
構６０と第２のあおり機構６２と同様に、円弧状の蟻溝
６４ａを有する支持部材６４ｂと、円弧状の蟻掛け６０
ｃを有する可動部材６４ｄを摺動自在に係止した機構か
らなるもので、円弧状の蟻掛け６４ｃを有する可動部材
６４ｄの回動軸は、第２の保持機構６３が保持する光学
系５６の光軸Ｌと一致するように設計されている。ま
た、摺動する可動部材６４ｄは、一方をスプリング６４
ｅで押圧し、他方を調整ねじ６４ｆで係止されており、
この調整ねじ６４ｆを回転させて可動部材６４ｄを押圧
することによりスプリング６４ｅの押圧力に抗して可動
部材６４ｄを円弧状に微動可能とするものである。即
ち、調整ねじ６４ｆを回転させることにより、光軸Ｌを
中心にして光学系５６を回転方向に微動させることがで
きる。

【００２５】また、回転機構６４の支持部材６４ｂは、
垂直直進状送り機構６５の可動部材６５ｄ上に取り付け
られている。

【００２６】この垂直直進状送り機構６５は、直線状の
蟻溝６５ａを垂直に設けた支持部材６５ｂと、直線状の
蟻掛け６５ｃを垂直に設けた可動部材６５ｄを上下摺動
自在に係止した機構からなるもので、調整ねじ６５ｆを
回転させて可動部材６５ｄを上方に押圧あるいは可動部
材６５ｄを自重降下させて垂直直進状送りを可能とする
ものである。したがって、この垂直直進状送り機構６５
の調整により光学系５６の光軸Ｌを上下方向に調節し
て、固体撮像素子５４と光学系５６の光軸の上下方向の
位置ずれを調整することができる。

【００２７】さらに、垂直直進状送り機構６５の支持部
材６５ｂは、水平直進状送り機構６６の可動部材６６ｄ
上に取り付けられている。

【００２８】この水平直進状送り機構６６は、光学系５
６の光軸Ｌと直交する水平軸と平行する直線状の蟻溝６
６ａを有する支持部材６６ｂと、直線状の蟻掛け６６ｃ
を有する可動部材６６ｄを摺動自在に係止した機構から
なるもので、調整ねじ６６ｆを回転させることにより可
動部材６６ｄの水平直進状送りを可能とするものであ
る。したがって、この水平直進状送り機構６６の調整に
より光学系５６の光軸Ｌを水平方向に調節して、固体撮
像素子５１と光学系５６の光軸Ｌの水平方向の位置ずれ
を調整することができる。

【００２９】上述した如く本発明の固体撮像素子の微調
整装置５０は構成されているが、この固体撮像素子の微
調整装置５０に用いられる保持部材５２について更に説
明する。

【００３０】図４は、固体撮像素子５１の保持部材５２
の一実施例の斜視図である。

【００３１】プリズム５５の射出面を遮らない開口部５
２ｃと、プリズム５５の両側面を挟持する突出片５２ｄ
を一面に形成した第１の保持部材５２ａと、固体撮像素
子５１を取り付けるための、固体撮像素子５１の厚さよ
り大なる深さの段部５２ｅを形成した第２の保持部材５
２ｂとからなり、この第１の保持部材５２ａを突出片５
２ｄを介してプリズム５５に固定し、この第１の保持部
材５２ａに対向させて、固体撮像素子５１を取り付けた
第２の保持部材５２ｂを、開口部５２ｃを介してその固
体撮像素子５１がプリズム５５の射出面に対向するよう
に第１の保持部材５２ａに固定するものである。

【００３２】上述した本発明の固体撮像素子５１の微調
整装置５０と保持部材５２を用いた調整方法について工
程順に説明する。 工程１、第１の保持部材５２ａの突出片５２ｄが形成さ
れた対面と、第２の保持部材５２ｂの固体撮像素子５１
を取り付けた面を対向させて仮固定し、第２の保持部材
５２ｂの固体撮像素子５１を取り付けた段部５２ｅを、
第１の調整装置５３の保持機構５９で挟持する工程と、
工程２、撮像レンズ５４とプリズム５５とから構成され
る光学系５６を、第２の調整装置５７の保持機構６３に
ネジ６３ｂを用いて固定する工程と、工程３、第１の調
整装置５３の直進状送り機構６１の調整ねじ６１ｆを調
節して、 仮想基準軸Ｚ上を微動させて固体撮像素
子５１のバックフォーカスを調整 する工程と、工
程４、第１の調整装置５３の第１のあおり機構６０の調
整ねじ６０ｆを調節して、仮想基準軸Ｚに垂直な平面の
垂直方向の固体撮像素子５１の傾きを調整する工程と、
工程５、第１の調整装置５３の第２のあおり機構６２の
調整ねじ６２ｆを調節して、仮想基準軸Ｚに垂直な平面
の水平方向の固体撮像素子５１の傾きを調整する工程
と、工程６、第１の保持部材５２ａを突出片５２ｄを介
してプリズム５５に接着固定した後、第１の保持部材５
２ａと第２の保持部材５２ｂの仮固定を開放し、
第２の保持部材５２ｂを微動可能にする工程と、工程
７、第２の調整装置５７の水平直進状送り機構６６の調
整ねじ６６ｆを調節して、光学系５６と固体撮像素子５
１の水平方向の光軸を合致させる工程と、工程８、第２
の調整装置５７の垂直直進状送り機構６５の調整ねじ６
５ｆを調節して、光学系５６と固体撮像素子５１の垂直
方向の光軸を合致させる工程と、工程９、第２の調整装
置５７の回転機構６４の調整ねじ６４ｆを調節して、仮
想基準軸Ｚ（光学系５６の光軸Ｌ）を回転中心とし回転
方向の調整をする工程と、工程10、第１の保持部材５２
ａに第２の保持部材５２ｂを固定する工程とによって、
固体撮像素子５１と、撮像レンズ５４とプリズム５５か
らなる光学系５６の調整は全て完了する。

【００３３】上述した如く本発明の固体撮像素子の微調
整装置５０は、仮想基準軸Ｚを基準軸にして全ての調整
を行なうものであり、Ｘ軸方向とＹ軸方向のあおり調整
と回転方向の調整をバックフォーカス調整後に行って
も、バックフォーカスがずれたりすることがなくなり、
従来行われていた修正作業を省くことができるという効
果がある。

【００３４】

【発明の効果】上述したように本発明は、撮像レンズと
プリズムとから構成される多板式撮像装置の光学系の射
出面に固体撮像素子を固定する際に行われる、バックフ
ォーカス調整と、光学系の光軸Ｌに垂直な平面に対して
固体撮像素子の傾きを調整するあおり調整と、光学系と
固体撮像素子の光軸合わせ調整と、固体撮像素子の出力
画像と被写体との画像傾斜調整に用いられる固体撮像素
子の微調整装置であって、調整の際の基準となる水平な
る仮想基準軸Ｚを設定した第１の調整装置と、第１の調
整装置と対向させて仮想基準軸Ｚ上に設けた第２の調整
装置とからなり、第１の調整装置には、仮想基準軸Ｚが
固体撮像素子の撮像面内を通るように、保持部材を介し
て固体撮像素子を保持するための撮像素子保持機構と、
仮想基準軸Ｚ上を微動させてバックフォーカスを調整す
るための直進状送り機構と、仮想基準軸Ｚと直交する垂
直軸Ｙに対して固体撮像素子の傾きを調整するための、
仮想基準軸Ｚと直交するあおり軸を有する第１のあおり
機構と、仮想基準軸Ｚと直交する水平軸Ｘに対して固体
撮像素子の傾きを調整するための、仮想基準軸Ｚから垂
下し固体撮像素子の撮像面を通る鉛直線Ｇ上にあおり軸
を有する第２のあおり機構とを備え、一方、第２の調整
装置には、仮想基準軸Ｚと光学系の光軸Ｌが略直線とな
るように、光学系を保持するための光学系保持機構と、
仮想基準軸Ｚと光学系の光軸Ｌとの水平軸Ｘ方向のずれ
を調整するための水平直進状送り機構と、仮想基準軸Ｚ
と光学系の光軸Ｌとの垂直軸Ｙ方向のずれを調整するた
めの垂直直進状送り機構と、仮想基準軸Ｚを中心軸にし
て光学系を回転させて画像傾斜の調整をするための回転
機構とを備えたことにより、水平軸Ｘ方向と垂直軸Ｙ方
向のあおり調整と回転方向の調整を仮想基準軸Ｚ（光軸
Ｌ）を中心軸にして行なうことができるのでバックフォ
ーカス調整を行った後に、バックフォーカスがずれるこ
とがなくなり、従来行われていた修正作業を省くことが
できるという効果がある。

【００３５】また、固体撮像素子の微調整装置５０に用
いる保持部材を、プリズムの射出面を遮らない開口部
と、プリズムの両側面を挟持する突出片を一面に形成し
た第１の保持部材と、固体撮像素子を取り付けるため
の、固体撮像素子の厚さより大なる深さの凹部を形成し
た第２の保持部材とから構成して、固体撮像素子を取り
付けた第２の保持部材を第１の保持部材の他面に対向さ
せて、開口部より固体撮像素子が露出するように仮固定
し、バックフォーカスとあおりの調整を行った後、第１
の保持部材を突出片を介してプリズムに固定し、さら
に、仮固定を解除して第２の保持部材を微動させて、光
学系と固体撮像素子の光軸合わせの調整と、画像傾斜の
調整を行った後、第１の保持部材に第２の保持部材を固
定するように構成したことにより、固体撮像素子を取り
付けた光学系が小型軽量化され、かつ高精度な調整作業
が極めて容易になるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である固体撮像素子の微調整
装置の概略図である。

【図２】第１の調整装置の側断面図である。

【図３】第２の調整装置の射出側から見た断面図であ
る。

【図４】固体撮像素子の保持部材の一実施例の斜視図で
ある。

【図５】固体撮像素子の微調整装置の一従来例を示した
斜視図である。

【符号の説明】

５０ 本発明の固体撮像素子の微調整装置 ５１ 固体撮像素子 ５２ 保持部材 ５３ 第１の調整装置 ５４ 撮像レンズ ５５ プリズム ５６ 光学系 ５７ 第２の調整装置 ５８ 基盤 ５９ 撮像素子保持機構 ６０ 第１のあおり機構 ６１ 直進状送り機構 ６２ 第２のあおり機構 ６３ 光学系保持機構 ６４ 回転機構 ６５ 垂直直進状送り機構 ６６ 水平直進状送り機構

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】撮像レンズとプリズムとから構成される多
   板式撮像装置の光学系の射出面に固体撮像素子を固定す
   る際に行われる、バックフォーカス調整と、前記光学系
   の光軸Ｌに垂直な平面に対して前記固体撮像素子の傾き
   を調整するあおり調整と、前記光学系と前記固体撮像素
   子の光軸合わせ調整と、前記固体撮像素子の出力画像と
   被写体との画像傾斜調整に用いられる固体撮像素子の微
   調整装置であって、 前記調整の際の基準となる水平なる仮想基準軸Ｚを設定
   した第１の調整装置と、前記第１の調整装置と対向させ
   て前記仮想基準軸Ｚ上に設けた第２の調整装置とからな
   り、 前記第１の調整装置には、 前記仮想基準軸Ｚが前記固体撮像素子の撮像面内を通る
   ように、保持部材を介して前記固体撮像素子を保持する
   ための撮像素子保持機構と、 前記仮想基準軸Ｚ上を微動させてバックフォーカスを調
   整するための直進状送り機構と、 前記仮想基準軸Ｚと直交する垂直軸Ｙに対して前記固体
   撮像素子の傾きを調整するための、前記仮想基準軸Ｚと
   直交するあおり軸を有する第１のあおり機構と、 前記
   仮想基準軸Ｚと直交する水平軸Ｘに対して前記固体撮像
   素子の傾きを調整するための、前記仮想基準軸Ｚから垂
   下し前記固体撮像素子の撮像面を通る鉛直線Ｇ上にあお
   り軸を有する第２のあおり機構とを備え、 一方、前記第２の調整装置には、 前記仮想基準軸Ｚと前記光学系の光軸Ｌが略直線となる
   ように、前記光学系を保持するための光学系保持機構
   と、 前記仮想基準軸Ｚと前記光学系の光軸Ｌとの前記水平軸
   Ｘ方向のずれを調整するための水平直進状送り機構と、 前記仮想基準軸Ｚと前記光学系の光軸Ｌとの前記垂直軸
   Ｙ方向のずれを調整するための垂直直進状送り機構と、 前記仮想基準軸Ｚを中心軸にして前記光学系を回転させ
   て前記画像傾斜の調整をするための回転機構とを備えた
   ことを特徴とする固体撮像素子の微調整装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の固体撮像素子の微調整装置
   に用いる固体撮像素子の保持部材であって、 前記プリズムの射出面を遮らない開口部と、前記プリズ
   ムの両側面を挟持する突出片を一面に形成した第１の保
   持部材と、 前記固体撮像素子を取り付けるための、前記固体撮像素
   子の厚さより大なる深さの段部を形成した第２の保持部
   材とからなり、 前記第１の保持部材の他面に対向させて、前記固体撮像
   素子を取り付けた前記第２の保持部材を、前記開口部よ
   り前記固体撮像素子が露出するように仮固定し、前記バ
   ックフォーカスと前記あおりの調整を行った後、第１の
   保持部材を前記突出片を介して前記プリズムに固定し、 さらに、前記仮固定を解除して第２の保持部材を微動さ
   せて、前記光学系と前記固体撮像素子の光軸合わせの調
   整と、前記画像傾斜の調整を行った後、第１の保持部材
   に第２の保持部材を固定するように構成したことを特徴
   とする固体撮像素子の保持部材。