JPH06123461A - クリーンルームの空気排出部の構造 - Google Patents
クリーンルームの空気排出部の構造Info
- Publication number
- JPH06123461A JPH06123461A JP4272195A JP27219592A JPH06123461A JP H06123461 A JPH06123461 A JP H06123461A JP 4272195 A JP4272195 A JP 4272195A JP 27219592 A JP27219592 A JP 27219592A JP H06123461 A JPH06123461 A JP H06123461A
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- JP
- Japan
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- clean room
- air
- return duct
- passage plate
- air passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームとリターンダクトとの間の圧
力差に影響されずに、空気通過板を通して空気をクリー
ンルームからリターンダクトに排出させることができ、
気流のはね返りを防ぎ良好な垂直層流を確保することを
目的とする。 【構成】 リターンダクト４に接続するクリーンルーム
３の空気排出部５に、多数の空気流通孔７を有する空気
通過板６を配置したものにおいて、空気通過板６の空気
流通孔７を、その断面積がクリーンルーム側からリター
ンダクト側に向け漸次小となる形状に形成したことを特
徴とする。
力差に影響されずに、空気通過板を通して空気をクリー
ンルームからリターンダクトに排出させることができ、
気流のはね返りを防ぎ良好な垂直層流を確保することを
目的とする。 【構成】 リターンダクト４に接続するクリーンルーム
３の空気排出部５に、多数の空気流通孔７を有する空気
通過板６を配置したものにおいて、空気通過板６の空気
流通孔７を、その断面積がクリーンルーム側からリター
ンダクト側に向け漸次小となる形状に形成したことを特
徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの空気排
出部の構造に関するものである。
出部の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製品その他精密製品の製造を行う
ためには、微細な粉塵などが存在しないクリーンな空気
の存する環境が必要である。このため、絶えずクリーン
な空気が一方向に流れるクリーンルームが用いられてい
る。
ためには、微細な粉塵などが存在しないクリーンな空気
の存する環境が必要である。このため、絶えずクリーン
な空気が一方向に流れるクリーンルームが用いられてい
る。
【０００３】図２は、クリーンルームシステムの構成を
示している。図２において、１はファン、２はエアフィ
ルタ、３はクリーンルーム、４はリターンダクトであ
り、空気ａはエアフィルタ２で濾過されてクリーンルー
ム３内に流入し、クリーンルーム３の空気排出部５から
リターンダクト４に排出される。
示している。図２において、１はファン、２はエアフィ
ルタ、３はクリーンルーム、４はリターンダクトであ
り、空気ａはエアフィルタ２で濾過されてクリーンルー
ム３内に流入し、クリーンルーム３の空気排出部５から
リターンダクト４に排出される。
【０００４】前記空気排出部５には、従来図３に示すよ
うな空気通過板６ａを備えている。
うな空気通過板６ａを備えている。
【０００５】この空気通過板６ａは多数の空気流通孔７
ａを有しており、かつこの空気流通孔７ａは図４に示す
ように、その上部の断面積Ｓ1 と下部の断面積Ｓ2 とが
同一である構造であった。図５に示すような形状の空気
通過板６ｂも、その空気流通孔７ｂは同様の形状であっ
た。
ａを有しており、かつこの空気流通孔７ａは図４に示す
ように、その上部の断面積Ｓ1 と下部の断面積Ｓ2 とが
同一である構造であった。図５に示すような形状の空気
通過板６ｂも、その空気流通孔７ｂは同様の形状であっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記空気通過板６ａに
おいて、空気ａはクリーンルーム３よりリターンダクト
４に向け、垂直層流として流れることが望まれている。
クリーンルーム３内の圧力Ｐ1 がリターンダクト４内の
圧力Ｐ2 より十分高い場合には、前記垂直層流が確保さ
れるが、リターンダクト４内の圧力Ｐ2 がクリーンルー
ム３内の圧力Ｐ1と略等しいか、高い場合には、空気ａ
の流れは垂直層流とならず、図に仮想線ａ’で示すよう
に、空気通過板６ａではね返されて、乱流が起こるきっ
かけとなる問題点を有していた。
おいて、空気ａはクリーンルーム３よりリターンダクト
４に向け、垂直層流として流れることが望まれている。
クリーンルーム３内の圧力Ｐ1 がリターンダクト４内の
圧力Ｐ2 より十分高い場合には、前記垂直層流が確保さ
れるが、リターンダクト４内の圧力Ｐ2 がクリーンルー
ム３内の圧力Ｐ1と略等しいか、高い場合には、空気ａ
の流れは垂直層流とならず、図に仮想線ａ’で示すよう
に、空気通過板６ａではね返されて、乱流が起こるきっ
かけとなる問題点を有していた。
【０００７】このような問題点を解決するため、リター
ンダクト４のスペースを大きくとり、リターンダクト４
内の圧力Ｐ2 を低下させることが行われているが、大き
なスペースを必要とすると共にコスト高になるという問
題がある。
ンダクト４のスペースを大きくとり、リターンダクト４
内の圧力Ｐ2 を低下させることが行われているが、大き
なスペースを必要とすると共にコスト高になるという問
題がある。
【０００８】本発明は上記問題点に鑑み、リターンダク
トのスペースを大きくすることなく、良好な気流を確保
することができるクリーンルームの空気排出部の構造を
提供することを目的とする。
トのスペースを大きくすることなく、良好な気流を確保
することができるクリーンルームの空気排出部の構造を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、リターンダクトに接続するクリーンルームの
空気排出部に、多数の空気流通孔を有する空気通過板を
配置したものにおいて、空気通過板の空気流通孔を、そ
の断面積がクリーンルーム側からリターンダクト側に向
け漸次小となる形状に形成したことを特徴とする。
するため、リターンダクトに接続するクリーンルームの
空気排出部に、多数の空気流通孔を有する空気通過板を
配置したものにおいて、空気通過板の空気流通孔を、そ
の断面積がクリーンルーム側からリターンダクト側に向
け漸次小となる形状に形成したことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明は、空気通過板の空気流通孔を、その断
面積がクリーンルーム側からリターンダクト側に向け漸
次小となる形状に形成しているので、空気流の空気流通
孔内を流れる際の圧力変化を利用して、リターンダクト
内の圧力がクリーンルーム内の圧力より高い場合でも、
空気をスムースに空気通過板を通過させることができ、
クリーンルームとリターンダクトとの間の圧力差に影響
されずに、垂直層流を確保することができる。
面積がクリーンルーム側からリターンダクト側に向け漸
次小となる形状に形成しているので、空気流の空気流通
孔内を流れる際の圧力変化を利用して、リターンダクト
内の圧力がクリーンルーム内の圧力より高い場合でも、
空気をスムースに空気通過板を通過させることができ、
クリーンルームとリターンダクトとの間の圧力差に影響
されずに、垂直層流を確保することができる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１２】図２において、１はファン、２はエアフィ
ルタ、３はクリーンルーム、４はリターンダクトであ
り、空気ａはエアフィルタで濾過されてクリーンルーム
３内に流入し、クリーンルーム３の空気排出部５からリ
ターンダクト４に排出される。
ルタ、３はクリーンルーム、４はリターンダクトであ
り、空気ａはエアフィルタで濾過されてクリーンルーム
３内に流入し、クリーンルーム３の空気排出部５からリ
ターンダクト４に排出される。
【００１３】前記空気排出部５には、図３に示すものと
同様の格子状に形成された空気通過板６を備えている
が、多数の空気流通孔７の形状は図１に示すようになっ
ている。すなわち空気通過板６の空気流通孔７の周囲部
分の断面形状は略紡錘形状をしており、空気流通孔７の
断面積がクリーンルーム３側からリターンダクト４側に
向け漸次小となるように構成されている。
同様の格子状に形成された空気通過板６を備えている
が、多数の空気流通孔７の形状は図１に示すようになっ
ている。すなわち空気通過板６の空気流通孔７の周囲部
分の断面形状は略紡錘形状をしており、空気流通孔７の
断面積がクリーンルーム３側からリターンダクト４側に
向け漸次小となるように構成されている。
【００１４】クリーンルーム３内の空気ａは、空気通過
板６の空気流通孔７を通してリターンダクト４に流れる
が、リターンダクト４内の圧力Ｐ2 がクリーンルーム３
内の圧力Ｐ1 より高い場合でも、空気流通孔７を上記形
状に形成しているので、空気ａはクリーンルーム３から
リターンダクト４側へスムースに垂直層流となって流れ
ていく。
板６の空気流通孔７を通してリターンダクト４に流れる
が、リターンダクト４内の圧力Ｐ2 がクリーンルーム３
内の圧力Ｐ1 より高い場合でも、空気流通孔７を上記形
状に形成しているので、空気ａはクリーンルーム３から
リターンダクト４側へスムースに垂直層流となって流れ
ていく。
【００１５】すなわち、空気流通孔７のクリーンルーム
３側の断面積をＳ1 、リターンダクト４側の断面積をＳ
2 、クリーンルーム３内の圧力をＰ1 、リターンダクト
４内の圧力をＰ2 、空気流通孔７の断面積Ｓ2 の部分の
圧力をＰ3 とすると、Ｐ1 、Ｓ1 、Ｐ3 、Ｓ2 の間には
次式が成立する。
３側の断面積をＳ1 、リターンダクト４側の断面積をＳ
2 、クリーンルーム３内の圧力をＰ1 、リターンダクト
４内の圧力をＰ2 、空気流通孔７の断面積Ｓ2 の部分の
圧力をＰ3 とすると、Ｐ1 、Ｓ1 、Ｐ3 、Ｓ2 の間には
次式が成立する。
【００１６】Ｐ1 ×Ｓ1 ＝Ｐ3 ×Ｓ2 従って、Ｓ1 をＳ2 より数倍大となるようにすればＰ3
はＰ1 より数倍大となる。それ故、リターンダクト４内
の圧力Ｐ2 がクリーンルーム３内の圧力Ｐ1 よりも高い
場合でも、空気流通孔７の出口部の圧力Ｐ3 が前記圧力
Ｐ2 より高くすることは容易であり、この場合には空気
ａはスムースにクリーンルーム３からリターンダクト４
に流れるのである。
はＰ1 より数倍大となる。それ故、リターンダクト４内
の圧力Ｐ2 がクリーンルーム３内の圧力Ｐ1 よりも高い
場合でも、空気流通孔７の出口部の圧力Ｐ3 が前記圧力
Ｐ2 より高くすることは容易であり、この場合には空気
ａはスムースにクリーンルーム３からリターンダクト４
に流れるのである。
【００１７】本発明は上記実施例に示す他、種々の態様
に構成することができ、例えば図５に示すような円形孔
を備えた空気通過板にも適用することができる。
に構成することができ、例えば図５に示すような円形孔
を備えた空気通過板にも適用することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、クリーンルームとリタ
ーンダクトとの間の圧力差に影響されずに、空気通過板
を通して空気をクリーンルームからリターンダクトに排
出させることができ、気流のはね返りを防ぎ良好な垂直
層流を確保することができる。
ーンダクトとの間の圧力差に影響されずに、空気通過板
を通して空気をクリーンルームからリターンダクトに排
出させることができ、気流のはね返りを防ぎ良好な垂直
層流を確保することができる。
【００１９】このためリターンダクトのスペースを小と
することが可能となる。
することが可能となる。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】クリーンルームシステムの基本構成を示す構成
図である。
図である。
【図３】従来例の空気通過板を示す斜視図である。
【図４】その断面図である。
【図５】従来例の他の態様の空気通過板を示す斜視図で
ある。
ある。
３ クリーンルーム ４ リターンダクト ５ 空気排出部 ６ 空気通過板 ７ 空気流通孔
Claims (1)
- 【請求項１】 リターンダクトに接続するクリーンルー
ムの空気排出部に、多数の空気流通孔を有する空気通過
板を配置したものにおいて、空気通過板の空気流通孔
を、その断面積がクリーンルーム側からリターンダクト
側に向け漸次小となる形状に形成したことを特徴とする
クリーンルームの空気排出部の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4272195A JPH06123461A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | クリーンルームの空気排出部の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4272195A JPH06123461A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | クリーンルームの空気排出部の構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06123461A true JPH06123461A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17510417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4272195A Pending JPH06123461A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | クリーンルームの空気排出部の構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06123461A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8109814B2 (en) * | 2008-07-28 | 2012-02-07 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Wind turbine generator system |
-
1992
- 1992-10-12 JP JP4272195A patent/JPH06123461A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8109814B2 (en) * | 2008-07-28 | 2012-02-07 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Wind turbine generator system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040506 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20040608 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040621 |
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| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |