JPH06123461A - クリーンルームの空気排出部の構造 - Google Patents
クリーンルームの空気排出部の構造Info
- Publication number
- JPH06123461A JPH06123461A JP4272195A JP27219592A JPH06123461A JP H06123461 A JPH06123461 A JP H06123461A JP 4272195 A JP4272195 A JP 4272195A JP 27219592 A JP27219592 A JP 27219592A JP H06123461 A JPH06123461 A JP H06123461A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- air
- return duct
- passage plate
- air passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
力差に影響されずに、空気通過板を通して空気をクリー
ンルームからリターンダクトに排出させることができ、
気流のはね返りを防ぎ良好な垂直層流を確保することを
目的とする。 【構成】 リターンダクト4に接続するクリーンルーム
3の空気排出部5に、多数の空気流通孔7を有する空気
通過板6を配置したものにおいて、空気通過板6の空気
流通孔7を、その断面積がクリーンルーム側からリター
ンダクト側に向け漸次小となる形状に形成したことを特
徴とする。
Description
出部の構造に関するものである。
ためには、微細な粉塵などが存在しないクリーンな空気
の存する環境が必要である。このため、絶えずクリーン
な空気が一方向に流れるクリーンルームが用いられてい
る。
示している。図2において、1はファン、2はエアフィ
ルタ、3はクリーンルーム、4はリターンダクトであ
り、空気aはエアフィルタ2で濾過されてクリーンルー
ム3内に流入し、クリーンルーム3の空気排出部5から
リターンダクト4に排出される。
うな空気通過板6aを備えている。
aを有しており、かつこの空気流通孔7aは図4に示す
ように、その上部の断面積S1 と下部の断面積S2 とが
同一である構造であった。図5に示すような形状の空気
通過板6bも、その空気流通孔7bは同様の形状であっ
た。
おいて、空気aはクリーンルーム3よりリターンダクト
4に向け、垂直層流として流れることが望まれている。
クリーンルーム3内の圧力P1 がリターンダクト4内の
圧力P2 より十分高い場合には、前記垂直層流が確保さ
れるが、リターンダクト4内の圧力P2 がクリーンルー
ム3内の圧力P1と略等しいか、高い場合には、空気a
の流れは垂直層流とならず、図に仮想線a’で示すよう
に、空気通過板6aではね返されて、乱流が起こるきっ
かけとなる問題点を有していた。
ンダクト4のスペースを大きくとり、リターンダクト4
内の圧力P2 を低下させることが行われているが、大き
なスペースを必要とすると共にコスト高になるという問
題がある。
トのスペースを大きくすることなく、良好な気流を確保
することができるクリーンルームの空気排出部の構造を
提供することを目的とする。
するため、リターンダクトに接続するクリーンルームの
空気排出部に、多数の空気流通孔を有する空気通過板を
配置したものにおいて、空気通過板の空気流通孔を、そ
の断面積がクリーンルーム側からリターンダクト側に向
け漸次小となる形状に形成したことを特徴とする。
面積がクリーンルーム側からリターンダクト側に向け漸
次小となる形状に形成しているので、空気流の空気流通
孔内を流れる際の圧力変化を利用して、リターンダクト
内の圧力がクリーンルーム内の圧力より高い場合でも、
空気をスムースに空気通過板を通過させることができ、
クリーンルームとリターンダクトとの間の圧力差に影響
されずに、垂直層流を確保することができる。
しながら説明する。
ルタ、3はクリーンルーム、4はリターンダクトであ
り、空気aはエアフィルタで濾過されてクリーンルーム
3内に流入し、クリーンルーム3の空気排出部5からリ
ターンダクト4に排出される。
同様の格子状に形成された空気通過板6を備えている
が、多数の空気流通孔7の形状は図1に示すようになっ
ている。すなわち空気通過板6の空気流通孔7の周囲部
分の断面形状は略紡錘形状をしており、空気流通孔7の
断面積がクリーンルーム3側からリターンダクト4側に
向け漸次小となるように構成されている。
板6の空気流通孔7を通してリターンダクト4に流れる
が、リターンダクト4内の圧力P2 がクリーンルーム3
内の圧力P1 より高い場合でも、空気流通孔7を上記形
状に形成しているので、空気aはクリーンルーム3から
リターンダクト4側へスムースに垂直層流となって流れ
ていく。
3側の断面積をS1 、リターンダクト4側の断面積をS
2 、クリーンルーム3内の圧力をP1 、リターンダクト
4内の圧力をP2 、空気流通孔7の断面積S2 の部分の
圧力をP3 とすると、P1 、S1 、P3 、S2 の間には
次式が成立する。
はP1 より数倍大となる。それ故、リターンダクト4内
の圧力P2 がクリーンルーム3内の圧力P1 よりも高い
場合でも、空気流通孔7の出口部の圧力P3 が前記圧力
P2 より高くすることは容易であり、この場合には空気
aはスムースにクリーンルーム3からリターンダクト4
に流れるのである。
に構成することができ、例えば図5に示すような円形孔
を備えた空気通過板にも適用することができる。
ーンダクトとの間の圧力差に影響されずに、空気通過板
を通して空気をクリーンルームからリターンダクトに排
出させることができ、気流のはね返りを防ぎ良好な垂直
層流を確保することができる。
することが可能となる。
図である。
ある。
Claims (1)
- 【請求項1】 リターンダクトに接続するクリーンルー
ムの空気排出部に、多数の空気流通孔を有する空気通過
板を配置したものにおいて、空気通過板の空気流通孔
を、その断面積がクリーンルーム側からリターンダクト
側に向け漸次小となる形状に形成したことを特徴とする
クリーンルームの空気排出部の構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4272195A JPH06123461A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | クリーンルームの空気排出部の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4272195A JPH06123461A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | クリーンルームの空気排出部の構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06123461A true JPH06123461A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17510417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4272195A Pending JPH06123461A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | クリーンルームの空気排出部の構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06123461A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8109814B2 (en) * | 2008-07-28 | 2012-02-07 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Wind turbine generator system |
-
1992
- 1992-10-12 JP JP4272195A patent/JPH06123461A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8109814B2 (en) * | 2008-07-28 | 2012-02-07 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Wind turbine generator system |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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Effective date: 20040309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20040506 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20040608 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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