JPH06117830A - ホログラム干渉計による干渉縞の測定解析方法 - Google Patents
ホログラム干渉計による干渉縞の測定解析方法Info
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Abstract
回折する第2のパターンとが形成されたホログラム光学
素子を備えたホログラム干渉計を使用して干渉縞を測定
するについて、位相を順次変化させて干渉縞を測定する
フリンジスキャニングを可能とする。 【構成】 レーザー光を測定面とは異なる方向に参照光
10として回折する第1のパターンと、レーザー光を測定
面に照射する測定光11に回折する第2のパターンとが形
成されたホログラム光学素子9を備え、上記参照光と被
検体の測定面からの反射光とを干渉させた干渉縞を測定
するホログラム干渉計を使用し、ホログラム光学素子を
その面内で第1のパターンの格子に直角な方向Xに一定
量ずつ移動させて干渉縞の位相を順次変化させつつ干渉
縞を測定し、縞解析を行って表面形状を求める。
Description
用いたホログラム干渉計を使用し、被検体の測定面の表
面形状を求めるための干渉縞の測定解析方法に関するも
のである。
測定するための手法として干渉法が知られている。この
干渉法による形状測定は、精度の高い参照面(干渉原
器)に対して被検面がどの程度変位しているかを、それ
ぞれの面から反射した光を干渉させ発生した干渉縞に基
づき求めようとするものである。
時に確認できるという利点があり、この中でもコンピュ
ータ合成ホログラムを用いた干渉法は平面、球面以外の
特殊な形状についても測定できるため注目されている。
このコンピュータ合成ホログラムは、一般に、ガラス基
板上に塗布されたフォトレジストを電子ビーム等で走査
して所定のパターンを露光し、この後現像することによ
り顕在化させたものである。
用いたホログラム干渉計としては、上記ホログラム光学
素子がレーザー光を測定面とは異なる方向に参照光とし
て回折する第1のパターンと、レーザー光を測定面に照
射する測定光に回折する第2のパターンとを備え、この
2種のパターンを有するホログラム光学素子を介して上
記参照光と被検体の測定面からの反射光とが干渉した干
渉縞を測定するものが考えられ、このホログラム干渉計
では参照面を不要とすることができる。
間の距離に対応して起きる光干渉による干渉縞を測定す
るフィゾー型の干渉計が広く使用されている。このフィ
ゾー型の干渉計を使用した干渉縞測定方法として、被検
体と基準板との相対距離を変化させ、これに伴う所定位
置の輝度変化に基づき干渉縞の解析を行うフリンジスキ
ャニング法が知られている。この方法は測定面の表面形
状について精度の高い解析結果が得られることから用い
られている。
な2つのパターンを備えたホログラム光学素子を備えた
ホログラム干渉計による干渉縞の測定においては、基準
板を備えていないことから、この基準板と被検体の距離
を変更させるべく基準板を移動させて順次干渉縞を測定
するフリンジスキャンニング法の適用が困難となってい
る。
用されているフリンジスキャニング法では、基準板の基
準面で反射した参照光と基準板を透過して測定面から反
射した物体光との光路長の差を標準位置から順次変化さ
せるように、上記基準板の位置を光軸方向に微小変位さ
せて干渉縞の位相を変化させているものであり、このよ
うな技術をホログラム干渉計に適用して、ホログラム光
学素子を光軸方向にずらせてみても干渉縞の位相を変化
させることはできないものであり、フリンジスキャニン
グ法による干渉縞の測定およびその解析はできない。
ー光を測定面とは異なる方向に参照光として回折する第
1のパターンとレーザー光を測定面に照射する測定光に
回折する第2のパターンとを形成してなるホログラム光
学素子を備えたホログラム干渉計を使用して順次位相の
異なる干渉縞の測定が行えフリンジスキャニング法の適
用を可能にしたホログラム干渉計による干渉縞の測定解
析方法を提供することを目的とするものである。
の本発明のホログラム干渉計による干渉縞の測定解析方
法は、レーザー光を測定面とは異なる方向に参照光とし
て回折する第1のパターンと、レーザー光を測定面に照
射する測定光に回折する第2のパターンとが形成された
ホログラム光学素子を備え、レーザー光源から光学系を
介して射出されたレーザー光をホログラム光学素子を介
して被検体に照射し、上記参照光と被検体の測定面から
の反射光とをホログラム光学素子を介して干渉させた干
渉縞を測定するホログラム干渉計を使用し、前記ホログ
ラム光学素子をその面内で前記第1のパターンの格子に
直角な方向に一定量ずつ移動させて干渉縞の位相を順次
変化させつつ干渉縞を測定し、縞解析を行うことを特徴
とするものである。
ターンが、該ホログラム光学素子をその面内で前記第1
のパターンの格子に直角な方向に一定量ずつ移動した際
に、干渉縞の位相の変化量が座標によって異なる場合に
は、測定した干渉縞の一定の座標点における干渉縞のデ
ータを連立させて、縞解析を行うのが好適である。
ザー光源から光学系を介して射出されたレーザー光が、
2つのパターンを有するホログラム光学素子で2方向に
回折されるものであり、第1のパターンで回折された光
は、被検体の測定面が理想形状だった場合に、第2のパ
ターンで回折された光が被検体の測定面で反射された
後、第2のパターンで再び回折されたのと同様の特性を
有する参照光となり、また、第2のパターンで回折され
た光は被検体の測定面に照射される測定光となり、この
測定光は被検体の測定面で反射され、反射光すなわち物
体光が入射光路を戻って再び上記ホログラム光学素子に
入射され、第2のパターンで上記参照光と同方向に回折
されて両者は重なり合って干渉するものであり、この光
を収束してTVカメラあるいはスクリーンに入射させれ
ば被検体の表面形状に応じた干渉縞を測定することがで
きる。
おいて干渉縞を測定するのに続いて、上記ホログラム光
学素子を、その面内で第1のパターンの格子に直角な方
向に一定量ずつ移動することによって回折の位相が変化
するのに応じて干渉縞の位相も順次変化するものであ
り、この位相の変化した干渉縞を測定することで、フリ
ンジスキャニング法に必要なデータを得て縞解析を行
い、測定面の表面形状を求めるものである。
る。図1に本発明で使用するホログラム干渉計の一例に
おける概略構成を示す。
この光源1から射出されたレーザ光2を絞り込むコンデ
ンサレンズ3と、レーザビーム2のノイズ成分を取り除
いた発散光5に変換するピンホール4と、この発散光5
を90°回転した方向に反射せしめるビームスプリッタ6
と、この反射された発散光5を平行光8に変換するコリ
メータレンズ7と、この平行光8を入射方向に反射回折
した平行光による参照光10を形成するとともに、上記平
行光8を透過回折した収束光による測定光11を形成する
パターン9aを有するホログラム光学素子9(HOE)と
を備え、上記測定光11が被検体12の測定面12a に照射さ
れる。
物体光は、入射光路を逆行してホログラム光学素子9を
透過して平行光に変換され、前記参照光とともにコリメ
ータレンズ7を透過してビームスプリッタ6に達し、こ
の後このビームスプリッタ6を透過する。
には、参照光と物体光の両者を結像するための結像レン
ズ14と、この結像レンズ14の焦点面上に受光面を有し、
参照光と物体光により形成される干渉縞を観察するため
のTVカメラ15とが設置されている。
の画像を読み込んで記憶する画像メモリ16と、この画像
メモリ16に記憶された干渉縞データに基づき縞解析を行
う演算処理手段17(コンピュータ)と、その結果を表示
するCRT等の表示手段18とを備えている。
9b上に反射用のアルミニウム、クロム等をコーティング
した上にフォトレジストをコーティングし、電子ビーム
により2つのホログラムパターンを露光して現像した
後、エッチングを行い、参照光を得るための第1のパタ
ーンおよび測定光を得るための第2のパターンを同時に
形成してなる平板状の光学素子である。
1のパターン9a1 は、図2(A) に示すように、入射角α
の平行光8をそのまま入射方向に反射して参照光10を回
折するための格子縞模様形状となっており、図3(A) の
ような上記入射角α等に対応した等間隔に直線を平行に
配列した格子縞模様のパターンとなっている。
定面12a の形状に応じた縞模様形状となっており、例え
ば、被検体12の測定面12a が前記格子縞と直交する方向
に軸を有するシリンドリカル面(凸面)である場合に
は、図2(B) に示すように、入射角αの平行光8を焦点
距離fに収束するために、図3(B) のような上記入射角
αに対応した等間隔で焦点距離fすなわち屈折角等に応
じた曲線を平行に配列した縞模様(ピッチは前記第1の
パターン9a1 の2倍)のパターンとなっている。
の面内で前記第1のパターン9a1 の格子に直角な方向X
に移動調整可能に設置されている。この移動機構の具体
的構造は図示しないが、例えば、ホログラム光学素子9
を保持したホルダーを上記方向に平行移動可能に設置
し、ピエゾ素子を使用したアクチュエータによって微小
量ずつ移動するように構成されている。
透過光と反射光に分ける光学素子であって、ピンホール
4の方向から入射された発散光の約半分をコリメータレ
ンズ7方向に反射させ、一方コリメータレンズ7方向か
ら入射された収束光の約半分をTVカメラ15方向に透過
せしめるように機能する。
渉縞の測定解析方法を説明する。まず、前記ホログラム
干渉計においては、光源1から射出されたレーザー光2
は、コンデンサレンズ3からコリメータレンズ7による
光学系を経て平行光8に変換されてホログラム光学素子
9に入射され、このホログラム光学素子9によって入射
方向に反射する参照光10と、透過して収束する測定光11
とに回折される。
がシリンドリカル面をなす反射鏡の場合には、上記第2
のパターン9a2 は曲線が測定面12a の中心軸線方向と直
交する方向に等間隔に配列された縞模様(図3(B) 参
照)をなす。このように曲線の縞模様をなすホログラム
パターン9a2 に平行光8が照射されると、曲線の並んで
いる方向には収束せず、曲線の延びる方向に収束する測
定光11が射出されることとなる。この場合、測定光11は
線状に収束する前に被検体12の凸面状の測定面12a に垂
直に照射される。
物体光は、上記測定光11の光路を戻るようにしてホログ
ラム光学素子9に入射する。物体光はこのホログラム光
学素子9の第2のパターン9a2 によって平行光となり、
このホログラム光学素子9上で平行光として反射された
参照光10と重なり合って互いに干渉し、TVカメラ15の
受光面上に干渉縞を形成する。このTVカメラ15で読み
取られた測定面12a の干渉縞の画像データが画像メモリ
16に入力される。
行ってから、続いて、前記ホログラム光学素子9を第1
のパターン9a1 の格子と直交する方向Xに一定量移動さ
せてから、前記と同様に生成される干渉縞の測定を行
う。さらに、上記移動量と同量の一定量ずつホログラム
光学素子9を移動し、干渉縞の位相を順次変化させつつ
干渉縞を測定するものであり、順次干渉縞の画像データ
がTVカメラ15で読み取られて画像メモリ16に記憶され
る。
渉縞の画像データに基づき、演算処理手段17により所定
の演算処理を実行して縞解析を行い、測定面12a の表面
形状を求め、その結果を表示手段18に表示するものであ
る。
ラム光学素子9をその面内で前記第1のパターン9a1 の
格子に直角な方向Xに一定量ずつ移動して、順次測定し
た複数の画像データの一定の座標点における干渉縞のデ
ータを連立させて演算することで行うものである。
と干渉縞の明るさIとの間には、 I=I0 cos(2πd/λ +ψ)+In λ:光の波長 ψ:位相 In :ノイズ項 の関係がある。
9を一定量ずつ移動すると、前記位相ψが所定値Δψず
つ変動するものであり、順次変動した位置での明るさを
測定すると、 I1 =I0 cos(2πd/λ +ψ0 )+In I2 =I0 cos(2πd/λ +ψ0 +Δψ)+In I3 =I0 cos(2πd/λ +ψ0 +2Δψ)+In I4 =I0 cos(2πd/λ +ψ0 +3Δψ)+In の連立方程式が得られ、これを計算することによって前
記距離dが求められる。上記処理を測定面12a の各点に
おいて行うことでそれぞれの点のdが求まり、測定面12
a の全体について連続形状データが求められ、この縞解
析による測定面12a の形状がCRTあるいはX−Yプロ
ッタ等の表示手段18上に視覚的に表される。
による位相のずれ量Δψは、該ホログラム光学素子9の
移動量から予め計算することもでき、これを使用して縞
解析するようにしてもよい。
ラム光学素子9を透過して形成され、測定面12a が凸面
であっても光路が確保される点で、特に凸面に対して有
効であるが、被検体の測定面が凹面の場合についても、
測定光11がシリンドリカル面の中心軸線上で一旦収束し
た後発散して被検体の凹面状の測定面に照射させるよう
に設定することで、同様に反射した物体光が入射光路を
戻るものであって同様に測定できる。
合に効率よく干渉縞を得ることができることから、被検
体12の反射率に応じた回折率を有するホログラムパター
ンを形成することが望ましい。
被検体の測定面の形状、配置方向等が変化した際には、
それに応じて変更されるものであり、例えば、被検体の
測定面が球面あるいはその他の非球面形状を有する反射
板であっても、前記ホログラム光学素子の第2のパター
ンを所定の曲線形状の縞模様とすれば上述した如きホロ
グラム干渉計によってその形状を測定解析することが可
能である。その際、ホログラム光学素子の第2のパター
ンの縞模様のピッチが不均等で該ホログラム光学素子を
一定量ずつ移動したときの干渉縞の位相の変化量が座標
によって異なるものについても、前記例の縞解析は適用
できるものである。
9の第2のパターン9a2 は等ピッチに形成され、その移
動に対応する位相のずれ量は画像データの座標に関係な
く一定となることから、縞解析の演算処理が簡素化可能
である。
成してもよく、反射型の場合には、ホログラム光学素子
のホログラムパターンは、第1のパターンによって平行
光を入射方向に反射回折した平行光による参照光を形成
するとともに、反射膜で形成された第2のパターンによ
って平行光を反射回折した収束光による測定光を形成す
るものであって、反射した測定光が被検体の測定面に照
射される。
ば、2つのホログラムパターンを有するホログラム光学
素子を備えたホログラム干渉計を利用して、上記ホログ
ラム光学素子をその面内で第1のパターンの格子に直角
な方向に一定量ずつ移動することによって干渉縞の位相
を順次変化させつつ干渉縞を測定するようにしたことに
より、位相が順次変化した干渉縞を測定することがで
き、この干渉縞データに基づいて縞解析を行うことで、
構成の簡素化が可能なホログラム干渉計を使用して精度
の高い測定面の表面形状を求めることができるものであ
る。
を示す概略構成図
態を示す説明図
を示す説明図
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザー光を測定面とは異なる方向に参
照光として回折する第1のパターンと、レーザー光を測
定面に照射する測定光に回折する第2のパターンとが形
成されたホログラム光学素子を備え、レーザー光源から
光学系を介して射出されたレーザー光を、前記ホログラ
ム光学素子を介して被検体に照射し、上記参照光と被検
体の測定面からの反射光とをホログラム光学素子を介し
て干渉させた干渉縞を測定するホログラム干渉計を使用
し、前記ホログラム光学素子をその面内で前記第1のパ
ターンの格子に直角な方向に一定量ずつ移動させて干渉
縞の位相を順次変化させつつ干渉縞を測定し、縞解析を
行うことを特徴とするホログラム干渉計による干渉縞の
測定解析方法。 - 【請求項2】 前記ホログラム光学素子の第2のパター
ンが、該ホログラム光学素子をその面内で前記第1のパ
ターンの格子に直角な方向に一定量ずつ移動した際に、
干渉縞の位相の変化量が座標によって異なる場合には、
測定した干渉縞の一定の座標点における干渉縞のデータ
を連立させて、縞解析を行うことを特徴とする請求項1
記載のホログラム干渉計による干渉縞の測定解析方法。
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