JP3461566B2 - 円錐形状測定用干渉計 - Google Patents
円錐形状測定用干渉計Info
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- JP3461566B2 JP3461566B2 JP11115994A JP11115994A JP3461566B2 JP 3461566 B2 JP3461566 B2 JP 3461566B2 JP 11115994 A JP11115994 A JP 11115994A JP 11115994 A JP11115994 A JP 11115994A JP 3461566 B2 JP3461566 B2 JP 3461566B2
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- conical
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円錐レンズ等の被測定
物の円錐形状の面の形状を精密に測定することができる
円錐形状測定用干渉計に関するものである。
物の円錐形状の面の形状を精密に測定することができる
円錐形状測定用干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、円錐レンズ等の円錐形状をなした
被測定物の形状を測定するには、この円錐レンズ等をニ
ュートン板に当てて目視によって干渉縞を観察すること
によって行うか、あるいは触針を当てることによって行
っていた。
被測定物の形状を測定するには、この円錐レンズ等をニ
ュートン板に当てて目視によって干渉縞を観察すること
によって行うか、あるいは触針を当てることによって行
っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ニュートン
板を用いる場合には、ニュートン板が平面形状であるた
め円錐形状には部分的にしか当接せず、円錐レンズ等の
全体形状は部分的な測定結果を総合することによって予
測することしかできなかった。
板を用いる場合には、ニュートン板が平面形状であるた
め円錐形状には部分的にしか当接せず、円錐レンズ等の
全体形状は部分的な測定結果を総合することによって予
測することしかできなかった。
【０００４】また、触針を当てる場合には、測定の精度
が低く、円錐レンズ等の測定においては十分な精度を得
ることが困難であった。
が低く、円錐レンズ等の測定においては十分な精度を得
ることが困難であった。
【０００５】そこで、本発明の目的は、円錐形状の面を
有する被測定物の円錐形状の面の形状を高精度に測定す
ることができる円錐形状測定用干渉計を提供することに
ある。
有する被測定物の円錐形状の面の形状を高精度に測定す
ることができる円錐形状測定用干渉計を提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、一定の波長の測定用の光を
供給する光供給手段と、光供給手段からの光を平行にす
るコリメーターレンズと、反射膜及び等間隔かつ同心円
状の回折格子が一方の面に形成された平板状の基準板で
あって、コリメーターレンズからの光のうちの一部の光
を反射するとともに、他の部分の光を回折させて被測定
物の円錐形状の面に垂直に入射させ、この面で反射した
光を再び回折させる基準板と、光供給手段及び基準板の
間に配置され、反射膜で反射した光、及び被測定物の面
で反射し回折格子で回折した光を反射する半透明鏡と、
半透明鏡で反射した２つの光を受光する受光部とを備え
ている。
に、請求項１に係る発明は、一定の波長の測定用の光を
供給する光供給手段と、光供給手段からの光を平行にす
るコリメーターレンズと、反射膜及び等間隔かつ同心円
状の回折格子が一方の面に形成された平板状の基準板で
あって、コリメーターレンズからの光のうちの一部の光
を反射するとともに、他の部分の光を回折させて被測定
物の円錐形状の面に垂直に入射させ、この面で反射した
光を再び回折させる基準板と、光供給手段及び基準板の
間に配置され、反射膜で反射した光、及び被測定物の面
で反射し回折格子で回折した光を反射する半透明鏡と、
半透明鏡で反射した２つの光を受光する受光部とを備え
ている。
【０００７】また、請求項２に係る発明は、一定の波長
の測定用の平行光を供給する光供給手段と、平行光を、
一部を透過させ他の部分を反射することによって２つに
分離する半透明鏡と、等間隔かつ同心円状の回折格子が
一方の面に形成された平板状の基準板であって、半透明
鏡によって分離された２つの光のうちの一方を回折させ
て被測定物の円錐形状の面に垂直に入射させ、この面で
反射した光を再び回折させる基準板と、半透明鏡によっ
て分離された２つの光のうちの他方を反射する平面鏡
と、半透明鏡によって再び１つにされた、基準板からの
光、及び平面鏡からの光を受光する受光部とを備えてい
る。
の測定用の平行光を供給する光供給手段と、平行光を、
一部を透過させ他の部分を反射することによって２つに
分離する半透明鏡と、等間隔かつ同心円状の回折格子が
一方の面に形成された平板状の基準板であって、半透明
鏡によって分離された２つの光のうちの一方を回折させ
て被測定物の円錐形状の面に垂直に入射させ、この面で
反射した光を再び回折させる基準板と、半透明鏡によっ
て分離された２つの光のうちの他方を反射する平面鏡
と、半透明鏡によって再び１つにされた、基準板からの
光、及び平面鏡からの光を受光する受光部とを備えてい
る。
【０００８】さらに、請求項１または２において、光供
給手段が波長可変レーザー光源を備えていてもよい。
給手段が波長可変レーザー光源を備えていてもよい。
【０００９】
【作用】本発明においては、回折格子によって光路を曲
げられ円錐形状の面で反射する光と、基準となる平面で
反射する光とが干渉して干渉縞を形成する。従って、こ
の干渉縞を観察することによって円錐形状の面の形状が
高精度に測定される。
げられ円錐形状の面で反射する光と、基準となる平面で
反射する光とが干渉して干渉縞を形成する。従って、こ
の干渉縞を観察することによって円錐形状の面の形状が
高精度に測定される。
【００１０】
【実施例】以下、添付図面に沿って本発明の実施例につ
いて説明する。なお、図面において同一又は相当部分に
は同一符号を用いるものとする。
いて説明する。なお、図面において同一又は相当部分に
は同一符号を用いるものとする。
【００１１】図１は、本発明に従って構成されたフィゾ
ー型の円錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。図
１において、レーザー光源１から供給された一定の波長
の測定用レーザー光は、ダイバージャーレンズ２及び半
透明鏡３を通った後、コリメーターレンズ４によって平
行光にされ、平板状の基準板５に至る。基準板５のコリ
メーターレンズ４と反対側の面にはクロム等から成る反
射膜６が形成されており、コリメーターレンズ４からの
光の一部は反射膜６で反射する。この反射光はコリメー
ターレンズ４によって収束され、半透明鏡３で反射して
光路を曲げられ、さらに結像レンズ７によって結像され
てテレビカメラ８によって受光される。
ー型の円錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。図
１において、レーザー光源１から供給された一定の波長
の測定用レーザー光は、ダイバージャーレンズ２及び半
透明鏡３を通った後、コリメーターレンズ４によって平
行光にされ、平板状の基準板５に至る。基準板５のコリ
メーターレンズ４と反対側の面にはクロム等から成る反
射膜６が形成されており、コリメーターレンズ４からの
光の一部は反射膜６で反射する。この反射光はコリメー
ターレンズ４によって収束され、半透明鏡３で反射して
光路を曲げられ、さらに結像レンズ７によって結像され
てテレビカメラ８によって受光される。
【００１２】一方、反射膜６には電子線描画等によって
等間隔かつ同心円状の回折格子が刻まれており、コリメ
ーターレンズ４から基準板５に向かう光の一部は回折格
子で回折される。回折された光は、同心円状の回折格子
の中心軸方向に光路を曲げられ、基準板５に対してコリ
メーターレンズ４と反対側に配置された被測定物である
円錐レンズ９の円錐形状の面に垂直に入射する。被測定
物としては、円錐形状の面を有するものであれば円錐レ
ンズ以外のものであってもよい。円錐レンズ９の面に垂
直に入射した光は、その面で反射され、元の光路を通っ
て基準板５の方に戻る。そして、再び回折格子によって
光路を曲げられ光束が平行になり、反射膜６で反射した
光と同一の光路を通って、テレビカメラ８によって受光
される。
等間隔かつ同心円状の回折格子が刻まれており、コリメ
ーターレンズ４から基準板５に向かう光の一部は回折格
子で回折される。回折された光は、同心円状の回折格子
の中心軸方向に光路を曲げられ、基準板５に対してコリ
メーターレンズ４と反対側に配置された被測定物である
円錐レンズ９の円錐形状の面に垂直に入射する。被測定
物としては、円錐形状の面を有するものであれば円錐レ
ンズ以外のものであってもよい。円錐レンズ９の面に垂
直に入射した光は、その面で反射され、元の光路を通っ
て基準板５の方に戻る。そして、再び回折格子によって
光路を曲げられ光束が平行になり、反射膜６で反射した
光と同一の光路を通って、テレビカメラ８によって受光
される。
【００１３】なお、レーザー光源１及びダイバージャー
レンズ２によって光供給手段が構成され、テレビカメラ
８によって受光部が構成される。
レンズ２によって光供給手段が構成され、テレビカメラ
８によって受光部が構成される。
【００１４】テレビカメラ８によって受光された２つの
光、すなわち、反射膜６で反射した光と円錐レンズ９の
面で反射した光の間には、反射膜６の円錐レンズ９側の
面と円錐レンズ９の円錐形状の面との間の距離に応じた
光路差が存在する。従って、テレビカメラ８によって観
察される２つの光の干渉縞は、基準板５の反射膜６の形
成されている面の面形状が高精度になっている限り、円
錐レンズ９の円錐形状の面の形状を表したものとなる。
テレビカメラ８に接続されたモニター１０には、この干
渉縞が表示されており、表示された干渉縞から円錐レン
ズ９の円錐形状の面を高精度に測定することができる。
光、すなわち、反射膜６で反射した光と円錐レンズ９の
面で反射した光の間には、反射膜６の円錐レンズ９側の
面と円錐レンズ９の円錐形状の面との間の距離に応じた
光路差が存在する。従って、テレビカメラ８によって観
察される２つの光の干渉縞は、基準板５の反射膜６の形
成されている面の面形状が高精度になっている限り、円
錐レンズ９の円錐形状の面の形状を表したものとなる。
テレビカメラ８に接続されたモニター１０には、この干
渉縞が表示されており、表示された干渉縞から円錐レン
ズ９の円錐形状の面を高精度に測定することができる。
【００１５】なお、受光部はテレビカメラ８であるとし
たが、受光部として結像レンズ７の後方に配置されるス
クリーン（図示せず）を用いてもよい。この場合には、
スクリーン上に投影される干渉縞を肉眼等により観察す
ることによって、円錐レンズ９の円錐形状の面が高精度
に測定される。
たが、受光部として結像レンズ７の後方に配置されるス
クリーン（図示せず）を用いてもよい。この場合には、
スクリーン上に投影される干渉縞を肉眼等により観察す
ることによって、円錐レンズ９の円錐形状の面が高精度
に測定される。
【００１６】次に、図２に基づいて反射膜６上に形成さ
れる回折格子の詳細について説明する。図２( ａ) は基
準板５と円錐レンズ９との関係を示した図、図２( ｂ)
は( ａ) の側面図であり反射膜６を正面から見た図であ
る。まず、円錐レンズ９の円錐形状の面に垂直に入射す
る光はすべて同一の回折角θで曲げられるから、同心円
の間隔ｄは一定になる。また、測定される円錐レンズ９
の頂角をαとした場合、αとθとの間には、図２より、 θ＝（π−α）／２ … ( １) の関係がある。このθを用いれば、レーザー光源１のレ
ーザー光の波長をλとして、同心円の間隔ｄは、 ｄ＝λ／ｓｉｎθ … ( ２) のように求まる。例えば、波長λ＝６３２．８ｎｍのレ
ーザー光を用いて、頂角α＝１２０°の被測定物を測定
するには、回折格子の間隔ｄは約０．７μｍとなる。ま
た、間隔ｄ＝１μｍの回折格子を用いて、波長λ＝６３
２．８ｎｍのレーザー光によって測定できる被測定物の
頂角αは約１０１．５°となる。
れる回折格子の詳細について説明する。図２( ａ) は基
準板５と円錐レンズ９との関係を示した図、図２( ｂ)
は( ａ) の側面図であり反射膜６を正面から見た図であ
る。まず、円錐レンズ９の円錐形状の面に垂直に入射す
る光はすべて同一の回折角θで曲げられるから、同心円
の間隔ｄは一定になる。また、測定される円錐レンズ９
の頂角をαとした場合、αとθとの間には、図２より、 θ＝（π−α）／２ … ( １) の関係がある。このθを用いれば、レーザー光源１のレ
ーザー光の波長をλとして、同心円の間隔ｄは、 ｄ＝λ／ｓｉｎθ … ( ２) のように求まる。例えば、波長λ＝６３２．８ｎｍのレ
ーザー光を用いて、頂角α＝１２０°の被測定物を測定
するには、回折格子の間隔ｄは約０．７μｍとなる。ま
た、間隔ｄ＝１μｍの回折格子を用いて、波長λ＝６３
２．８ｎｍのレーザー光によって測定できる被測定物の
頂角αは約１０１．５°となる。
【００１７】このように求められたｄの間隔で、同心円
状の回折格子を電子線描画の方法によって反射膜６上に
描く。なお、この回折格子はエッチングによって形成し
てもよい。また、図２からわかるように反射膜６の中央
には回折格子を形成する必要がない。
状の回折格子を電子線描画の方法によって反射膜６上に
描く。なお、この回折格子はエッチングによって形成し
てもよい。また、図２からわかるように反射膜６の中央
には回折格子を形成する必要がない。
【００１８】この実施例においては、回折格子の間隔ｄ
が決まると円錐の頂角αが決まってしまうから、同一の
頂角αを有する被測定物しか測定できなかった。そこ
で、レーザー光源１から供給されるレーザー光の波長を
可変にすれば、１つの基準板５によって種々の頂角の被
測定物を測定することができる。例えば、回折格子の間
隔をｄ＝１μｍ、レーザー光源１のレーザー光の波長が
λ1 ＝６９０ｎｍとλ２＝８２５ｎｍとの間で可変であ
るとすれば、式（ ２) よりθの可動範囲が求まり、従
って、式( １) より測定可能な頂角αの範囲がα1 ＝９
２．７゜〜α2 ＝６８．８゜と求まる。すなわち、この
場合には、頂角が６８．８゜から９２．７゜までの円錐
形状の面の形状を測定することができる。
が決まると円錐の頂角αが決まってしまうから、同一の
頂角αを有する被測定物しか測定できなかった。そこ
で、レーザー光源１から供給されるレーザー光の波長を
可変にすれば、１つの基準板５によって種々の頂角の被
測定物を測定することができる。例えば、回折格子の間
隔をｄ＝１μｍ、レーザー光源１のレーザー光の波長が
λ1 ＝６９０ｎｍとλ２＝８２５ｎｍとの間で可変であ
るとすれば、式（ ２) よりθの可動範囲が求まり、従
って、式( １) より測定可能な頂角αの範囲がα1 ＝９
２．７゜〜α2 ＝６８．８゜と求まる。すなわち、この
場合には、頂角が６８．８゜から９２．７゜までの円錐
形状の面の形状を測定することができる。
【００１９】以上の実施例は、フィゾー型の干渉計につ
いて説明してきたが、マイケルソン型やトワイマン・グ
リーン型の干渉計を用いることもできる。
いて説明してきたが、マイケルソン型やトワイマン・グ
リーン型の干渉計を用いることもできる。
【００２０】図３は、マイケルソン型の干渉計を用いた
円錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。レーザー
光源１から供給されたレーザー光はレンズ１１によって
光束を広げられ、コリメーターレンズ１２によって平行
光に変換される。この平行光の一部は半透明鏡１３を透
過し、図１の場合と同様に回折格子を経て円錐レンズ９
の円錐形状の面で反射し、半透明鏡１３で反射してテレ
ビカメラ８に至る。一方、半透明鏡１３で反射した光は
平面鏡１４で反射し、半透明鏡１３を透過して、テレビ
カメラ８に至る。なお、レーザー光源１、レンズ１１及
びコリメーターレンズ１２によって光供給手段が構成さ
れる。そして、テレビカメラ８に入射した２つの光が、
図３の場合と同様に干渉縞を形成するため、円錐レンズ
９の円錐形状の面の形状を高精度に測定することができ
る。
円錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。レーザー
光源１から供給されたレーザー光はレンズ１１によって
光束を広げられ、コリメーターレンズ１２によって平行
光に変換される。この平行光の一部は半透明鏡１３を透
過し、図１の場合と同様に回折格子を経て円錐レンズ９
の円錐形状の面で反射し、半透明鏡１３で反射してテレ
ビカメラ８に至る。一方、半透明鏡１３で反射した光は
平面鏡１４で反射し、半透明鏡１３を透過して、テレビ
カメラ８に至る。なお、レーザー光源１、レンズ１１及
びコリメーターレンズ１２によって光供給手段が構成さ
れる。そして、テレビカメラ８に入射した２つの光が、
図３の場合と同様に干渉縞を形成するため、円錐レンズ
９の円錐形状の面の形状を高精度に測定することができ
る。
【００２１】なお、フィゾー型の干渉計を用いた図１の
場合には、基準板５の２つの面のうち、円錐レンズ９側
の面に反射膜６を形成するのが好ましい。これは、基準
板５内の光路を、反射膜６で反射する光と被測定物で反
射する光とで共通にすれば、反射膜６を形成しない方の
基準板５の面を高精度に加工しなくて済むからである。
一方、マイケルソン型の干渉計を用いた図３の場合に
は、反射膜６を形成しない方の基準板５の面は高精度に
加工する必要がある。これは、基準板５を通過する光
が、干渉する２つの光のうちの一方のみであるから、基
準板５の厚さが測定精度に直接影響するためである。
場合には、基準板５の２つの面のうち、円錐レンズ９側
の面に反射膜６を形成するのが好ましい。これは、基準
板５内の光路を、反射膜６で反射する光と被測定物で反
射する光とで共通にすれば、反射膜６を形成しない方の
基準板５の面を高精度に加工しなくて済むからである。
一方、マイケルソン型の干渉計を用いた図３の場合に
は、反射膜６を形成しない方の基準板５の面は高精度に
加工する必要がある。これは、基準板５を通過する光
が、干渉する２つの光のうちの一方のみであるから、基
準板５の厚さが測定精度に直接影響するためである。
【００２２】また、以上の実施例においては、光源をレ
ーザー光源であるとしたが、単色の光源としてもよい。
ーザー光源であるとしたが、単色の光源としてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、回折格
子によって光路を曲げられ円錐形状の面で反射する光
と、基準となる平面で反射する光とが干渉して干渉縞を
形成するので、円錐形状の面を有する被測定物の表面形
状を高精度に測定することのできる円錐形状測定用干渉
計を得ることができる。
子によって光路を曲げられ円錐形状の面で反射する光
と、基準となる平面で反射する光とが干渉して干渉縞を
形成するので、円錐形状の面を有する被測定物の表面形
状を高精度に測定することのできる円錐形状測定用干渉
計を得ることができる。
【図１】本発明に従って構成されたフィゾー型による円
錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。
錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。
【図２】( ａ) は基準板と被測定物である円錐レンズと
の関係を示した図、( ｂ) は( ａ) の側面図であり反射
膜を正面から見た図である。
の関係を示した図、( ｂ) は( ａ) の側面図であり反射
膜を正面から見た図である。
【図３】本発明に従って構成されたマイケルソン型の円
錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。
錐形状測定用干渉計の構成を示す図である。
１…レーザー光源、２…ダイバージャーレンズ、３…半
透明鏡、４…コリメーターレンズ、５…基準板、６…反
射膜、９…円錐レンズ、１１…レンズ、１２…コリメー
ターレンズ、１３…半透明鏡。
透明鏡、４…コリメーターレンズ、５…基準板、６…反
射膜、９…円錐レンズ、１１…レンズ、１２…コリメー
ターレンズ、１３…半透明鏡。
Claims (3)
- 【請求項１】 一定の波長の測定用の光を供給する光供
給手段と、 前記光供給手段からの光を平行にするコリメーターレン
ズと、 反射膜及び等間隔かつ同心円状の回折格子が一方の面に
形成された平板状の基準板であって、前記コリメーター
レンズからの光のうちの一部の光を反射するとともに、
他の部分の光を回折させて被測定物の円錐形状の面に垂
直に入射させ、この面で反射した光を再び回折させる基
準板と、 前記光供給手段及び前記基準板の間に配置され、前記反
射膜で反射した光、及び被測定物の面で反射し前記回折
格子で回折した光を反射する半透明鏡と、 前記半透明鏡で反射した２つの光を受光する受光部と、
を備え、前記受光部で受光された２つの光の干渉によっ
て被測定物の円錐形状の面の形状を測定する円錐形状測
定用干渉計。 - 【請求項２】 一定の波長の測定用の平行光を供給する
光供給手段と、 前記平行光を、一部を透過させ他の部分を反射すること
によって２つに分離する半透明鏡と、 等間隔かつ同心円状の回折格子が一方の面に形成された
平板状の基準板であって、前記半透明鏡によって分離さ
れた２つの光のうちの一方を回折させて被測定物の円錐
形状の面に垂直に入射させ、この面で反射した光を再び
回折させる基準板と、 前記半透明鏡によって分離された２つの光のうちの他方
を反射する平面鏡と、 前記半透明鏡によって再び１つにされた、前記基準板か
らの光、及び前記平面鏡からの光を受光する受光部と、
を備え、前記受光部で受光された２つの光の干渉によっ
て被測定物の円錐形状の面の形状を測定する円錐形状測
定用干渉計。 - 【請求項３】 前記光供給手段が波長可変レーザー光源
を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の円
錐形状測定用干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11115994A JP3461566B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 円錐形状測定用干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11115994A JP3461566B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 円錐形状測定用干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07318307A JPH07318307A (ja) | 1995-12-08 |
| JP3461566B2 true JP3461566B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=14553980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11115994A Expired - Fee Related JP3461566B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 円錐形状測定用干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3461566B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103115583A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-05-22 | 哈尔滨工业大学 | 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置 |
| CN103278105A (zh) * | 2013-05-16 | 2013-09-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 轴锥镜面形和锥角的检测方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NO320062B1 (no) * | 2003-11-19 | 2005-10-17 | New Interaction Devices And Te | Anordning til a detektere naerhet mellom et forste objekt (malobjekt) og et annet objekt (referanseobjekt), samt tegne-, skrive- og/eller pekeredskap for datapresentasjon etc. |
-
1994
- 1994-05-25 JP JP11115994A patent/JP3461566B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103115583A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-05-22 | 哈尔滨工业大学 | 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置 |
| CN103115583B (zh) * | 2013-01-29 | 2015-07-29 | 哈尔滨工业大学 | 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置 |
| CN103278105A (zh) * | 2013-05-16 | 2013-09-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 轴锥镜面形和锥角的检测方法 |
| CN103278105B (zh) * | 2013-05-16 | 2016-03-09 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 轴锥镜面形和锥角的检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07318307A (ja) | 1995-12-08 |
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Legal Events
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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