JPH0599972A - 導体装置検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検査の信頼性が高く経済性のよい検査を可能
にする検査方法及び装置を提供する。 【構成】 導体装置は電気場を印加され、該電気場によ
り形成される少なくとも１つの電位が個々の検査点で測
定ヘッド（Messsonde)（３）により検出され、別の検査
点の電位と基準値との少なくとも一方と比較される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、導体装置の検査点が測
定ヘッドと接触され、検出された測定結果が評価される
導体装置、特にプリント板の導体トラックの短絡及び／
又は遮断を検出する方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】前記方法は公知である。検査のために前
記測定ヘッド（Messsonden) により導体装置、例えばプ
リント板の導体トラックの検査点が接触され（kontakti
ert)、その際絶えず測定ヘッド対により検査電流が導体
装置を介して送られる。これにより、導体装置は短絡又
は遮断を有するかどうかを確定される。普通には、検査
すべき導体装置のチャージ(Charge)の検査の開始に先ず
無傷の試験片を検査し、その際検出される検査結果が基
準として記憶される。他の導体装置の検査を続いて行な
う場合には次いでこの測定結果との比較が行われる。差
異が確定可能であると、該当する導体装置は欠陥を有す
る。欠陥のある試験片は符号がつけられるか選び捨てら
れる。特に正確に欠陥場所が示される。

【０００３】公知の方法は、プリント板の個々の導体ト
ラックの例えば絶縁検査のために、各導体トラックを別
の各導体トラックに対して、測定ヘッドにより適当に接
触することにより検査されなければならないので、多数
の検査段階を必要とする。

【０００４】検査段階の数ｘは式ｘ＝（ｙ² −ｙ）／２
により示される。その際ｙは検査すべき回路網（導体ト
ラック）の数を示す。１つのプリント板が互いに絶縁さ
れる１０００の導体トラックを有すると仮定すると、前
記検査のためには約５００，０００検査段階を生ずるこ
とになる。この検査段階を実施するための測定ヘッドの
動きは相応する長い時間を必要とする。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、検査の信頼
性が高く経済性のよい検査を可能にする検査方法及び装
置を提供することを課題としている。特に非常に短い検
査時間で実施可能な検査方法及び装置を提供することを
課題としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題
を、導体装置の検査点の測定結果が検出され評価され
る、導体装置、特にプリント板の導体トラックの短絡と
遮断のうちの少なくとも一方を検査する方法において、
導体装置は電気場を印加され、該電気場により形成され
る少なくとも１つの電位が個々の検査点で測定ヘッド
（Messsonde)により検出され、別の検査点の電位と基準
値との少なくとも一方と比較されることを特徴とする導
体装置検査方法により解決した。更に上記の課題を、導
体装置の検査点と接触可能である測定ヘッドと評価装置
とを有する、導体装置特にプリント板の導体トラックの
短絡と遮断のうちの少なくとも一方を検査する装置にお
いて、導体装置に印加され、そこで電場強さにより電位
を発生する不均一な電気場を形成するために電極装置を
設け、前記電位は評価装置に測定ヘッドにより伝達され
ることを特徴とする導体装置の検査装置により解決し
た。

【０００７】

【作用及び効果】本発明により、導体装置を電気場内に
入れることにより、場の強さに基づいて導体装置に電位
を生じ、測定ヘッドにより測定されることが予定され
る。導体装置の導電性により、導通する（duerchgehend
em) プリント板配線(Leiterzng) における電位はこのプ
リント板配線の各場所で同電位である。例えばプリント
板配線の遮断部が存在すると、両方のプリント板配線部
分で異なる電位を生じ、その電位は測定ヘッドにより測
定され評価の際に適当に相違があるとして検知され、そ
のことは前記導体遮断部を逆推理させる。他方では互い
に絶縁して延びる導体装置、例えば１つのプリント板の
互いに絶縁されるトラックは電気場の不均一性により違
った電位を持ち、そのことはしたがって互いに絶縁され
たプリント板配線に係るものでなければならないことを
逆推理させる。個々の検査結果と比較され記憶された基
準値により、したがって試験片の機能性について言い表
されることになる。電場の前記不均一性は、欠陥のない
試験片の場合にはそこに存在する各導体装置／トラック
の別の絶縁された導体装置もしくはトラックに対する電
位は別であることが確保されると理解すべきであり、し
たがって明白な表明（Aussage)が可能である。すなわち
互いに分離されているプリント板配線が同じ電位(例え
ば適当する場強さ分布により) を持つとすると、このプ
リント配線が( 許容されない）互いに電気的接触を有す
るかどうか又は互いに絶縁されるがしかし（許容され
て）同じ電位をとる導体装置に関するものであるか否か
は区別されることができない。

【０００８】試験片の関連するプリント板配線が許容さ
れない遮断部を有するかどうかを確定するためには、個
々の検査点（例えば後にプリント板にろう付けする電気
構造要素の接続点）を前記測定ヘッドと接触することが
必要である。もし全ての検査点で同じ電位が確保される
と、遮断部は存在しない。この同じ電位は評価装置に記
憶される。この方式及び態様で全てのプリント板配線が
検査される限り、このプリント板配線の間の許容されな
い短絡についてのテストが、記憶された測定値を互いに
比較することにより行われることができる。すなわち各
プリント板配線が他の各プリント板配線に対してこのよ
うな検査のために測定ヘッドにより接触されなければな
らないということは不必要である。この「数値検査」に
おいて、基本的に異なる電位が存在するが明示される
と、個々のプリント板配線間に許容されない短絡が存在
しないことが確定される。それにもかかわらず一度例え
ば２つの同じ電位のプリント板配線が見出されるべきだ
と、このことは２つの原因をもつ可能性がある。すなわ
ち許容されない短絡が存在するか又は個々の場分割によ
り及び試験片の個々の形成により、両方のプリント板配
線に偶然に同じ電位が与えられたか、すなわち電場が頭
初に述べた望まれる不均一分布を持たないかである。こ
こで除去対策を提供するため、場補正が行われ、従って
この両方のプリント板配線において違った電位が生じる
か又は従来技術におけるようにこの両方のプリント板配
線において２つの測定ヘッドによるテストループの形成
による検査が短絡又は遮断を検知することを可能にす
る。

【０００９】本発明により、前記検査のための各プリン
ト板配線に対し各プリント板配線は測定ヘッドにより接
触されるのでなく、記憶された値の数値的比較が行わ
れ、したがって測定時間は非常に短縮される。

【００１０】本発明の別の形態によると、電気場が電極
装置により発生されることが設けられる。この場合、例
えば１つの面内に配置された違った電圧が印加される個
々の電極に関するものであり、したがって個々の電極の
全装置の上側には希望する不均一な電場が形成される。

【００１１】本発明は、更に電場強さにより電極装置に
少なくとも１つの電位が発生され、把握され評価される
ように、導体装置の少なくとも１つの検査点に電圧を電
場を構成するために印加されるようにした、導体装置の
短絡及び／又は遮断を検査する方法に関するものであ
る。それ故試験片は測定ヘッドを介して１つもしくは複
数の電圧を電場を構成するために印加され、導体装置の
場分割に基づいて生ずる電位が把握されるので、前記方
法に対する反転に関するものである。その前に示した方
法では、電場は電極装置（アンテナ装置）により測定装
置に発生され、一方これまですでに記した方法において
は、導体装置（導体トラック等）は電場を発生するため
にアンテナ装置を形成する。最後に示した形態では、電
極装置に試験片が無傷でないと、すなわち短絡又は遮断
を有するとすぐに変化する所定の電位分割部が適合され
る。無傷の試験片を示す予め与えられた電位分割からの
偏倚は、したがってエラーを検知する可能性を生じる。
本発明の別形態によると、参照値との比較による評価が
行われる。このことは前にすでに述べた、すなわち基準
値（Reference werte)は前記参照値(Bezugsgroessen)を
形成する。

【００１２】更に特に導体装置と接触可能な接続手段が
検査電流の供給流出（Abfuerung)のために設けられる。
前記静電検査の外にしたがって個々の導体装置が又、例
えば電流容量を検査するために検査電流を印加されるこ
とができる。それ故にこの方法は従来技術より公知の検
査の別の検査方法に相当する。検査ループを発生するた
めに導体装置の一部は、検査電流を供給するためもしく
は流出するためにいつも少なくとも２つの測定ヘッドと
接触すべきである。

【００１３】測定ヘッドが接続手段を形成すると、特に
有利である。そのとき測定ヘッドは電位の取り出しのた
めもしくは電場を形成するための電圧の供給のために装
着されるか又は前記の電流検査の場合は検査電流の供給
兼流出のために作用するかによって二重機能を有する。

【００１４】更に１つの測定ヘッド又は分割された測定
ヘッドとして形成されている複数の測定ヘッドが使用さ
れることが特に考慮されている。このことは互いに電気
的に絶縁され横に並べて配置された先端領域を有する２
分割測定先端を有することを意味する。試験片の接触の
際、両方の先端領域は、申し分ない機能が存在する限
り、導体装置と電気接触を生じる。特別の実施例による
と、測定ヘッドが長手に分割され、両方の半分の間には
絶縁層が存在する。このように分割された測定ヘッドに
より、４ーワイヤ測定（保護Guarding) が実施されるこ
とができる。更に接触ミス、接触不良の検査、分割され
た測定ヘッドの導体装置の検査点に関する位置精度の検
査及び／又はテスト装置に対する。試験片位置の検査を
行うことが可能である。このために分割された測定ヘッ
ドの両方の先端領域の間のテスト電流回路が発生され
る。このことは試験片の導体装置の実際の検査とは独立
して行われる。テスト電流は、その際両方の先端領域の
両方の接触位置を介して又夫々の検査点の、特に導体装
置の夫々の接触位置の導体領域を介して流れる。申し分
ないテスト電流が形成されると、申し分ない接触が存在
する。テスト電流は基準値(Referenzwert)に一致しない
と、接触不良( 例えば高い移行抵抗を伴う) に由来す
る。テスト電流が形成されないと、遮断が存在する。こ
のことは、測定ヘッドが導体装置と申し分ない接触をし
ていないか、移行抵抗が形成されるかを意味する。その
上又測定ヘッドは申し分なく試験片の検査点に対して載
るのではないかもしくは試験片は正常位置をとるのでは
なく、調節されない(Dejustrieren)ことが可能である。

【００１５】前記調節除去（Dejustage)を確定するため
及び試験片の位置補正による申し分ない位置決めを行う
ために分割された測定ヘッドがその限りでは又使用され
得る。測定ヘッドは導体装置の上に載置され、続いてテ
スト電流が作動される。テスト電流回路に遮断がある
と、テスト電流が申し分なく流れるまで位置補正が行わ
れる。このことは、測定ヘッドは申し分ない中心で例え
ば試験片の導体トラックの上に載るような所望の位置を
もはや試験片が占めることを意味する。その際測定ヘッ
ドはテスト装置の残りの部分に対してその目標位置を占
めることが想定される。特に導体装置の色々の領域の、
例えば検査すべきプリント板の多くのコーナーのこのよ
うな検査が行われる。

【００１６】試験片の位置決めは交互に又は付加的に又
基準装置すなわち基準試験片との光学的比較により、実
施されることができる。この基準試験片んは特に透明基
準板として形成されることができる。

【００１７】検査の際導体装置もしくは各導体トラック
に流れる電流の検出により容量設定が行われるときには
特に有利である。この電流は、時間的に一定なる電場で
は、近似的に現存するコンデンサ装置の充電電流に関す
るものであり、その板は一方では導体装置により及び他
方では電極により、電気場を構成するために形成され
る。確かに時間的に一定な電気場ではなく交番場が装着
される限り充電電流だけではなく形成されるキャパシタ
ンスによる連続電流、すなわち検知されることができ、
容量設定を許容する連続電流を生じる。ここで又、すで
に上記のように、設定された容量値を基準容量と比較す
ることが可能であり、したがって試験片の機能能力につ
いての表明が可能である。

【００１８】特別の実施例によると、電気場を形成する
電極装置の電極が切換可能に不均一な場を構成するため
の電圧に接続可能である。どの電極をどの電圧と接続す
るかの選択に応じて、電気場が左右される。その際所望
の不均一性が存在すること、したがって明らかな測定結
果が達成されることができることが絶えず努められる。

【００１９】本発明は、更に、導体装置の検査点と接触
可能である測定ヘッドと評価装置とを有する、導体装置
特にプリント板の導体トラックの短絡と遮断のうちの少
なくとも一方を検査し、その際電極装置が導体装置に印
加されそこに電気場強さに基づいて特定ヘッドにより評
価装置に供給される電位を発生する不均一電気場を構成
するために設けられる、電位配置の検査装置に関する。

【００２０】特に電極装置が多数の電源を有し、該電極
にゼネレータの適当する電圧が電気場を構成するために
印加される。

【００２１】電極は導体、特に導体細条、フォイル又は
同等のものにより形成されることが、代案として可能で
あり、前記フォイルは検査のための導体装置に組込まれ
る。この組込み特に負圧（Unterdruck) により行われる
ことができ、すなわちフォイルは真空により試験片に保
持される。接触のためには、フォイルを測定ヘッドが突
き通し、それにより、導体装置に対する電気的接触が可
能である。

【００２２】本発明の別の実施例によると、電極は互い
に絶縁されて検査面を張っておおう（Ueberspannen) 複
数のワイヤにより形成され、前記検査面は導体装置を有
する試験片を収容することに役立つ。

【００２３】装置は特に電極装置の電極の切換がマルチ
プレクサにより行われることを特徴とする。該マルチプ
レクサは特に切換のための評価ユニットにより起動され
る。切換により導体装置の確定された電極は一定の電圧
を印加されることができ、それにより適当する不均一性
を有する所望の電気場が設けられる。

【００２４】本発明の別の実施例によると、試験片の導
体装置の第１領域は電極装置を形成し、それにより形成
される電気場により試験片の導体装置の第２領域が検査
される。このやり方により、導体装置例えば試験片の多
数の電気網を有する導体装置の１つの領域により電気場
自体が形成されるようになる。試験片の残っている電気
網は次いでこの方法及び態様に形成された電気場により
検査されることができる。導体装置の第２領域の検査が
行われると、この領域又は所望の他の領域が電場構成の
ために使用され、前に電気場発生のために使用されてい
る導体装置の領域（第１領域又はその一部）はもはや検
査を受ける。

【００２５】別の有利な実施例によると、試験片自身は
その導体装置の検査のための電極装置を有する。前出の
実施例に対して、電気場構成のためにその導体装置の一
部が使用されるのではなく、別の電極装置が設けられ
る。この電極装置は特に多層プリント板の少なくとも１
つの導体層により形成されることができ、その際少なく
とも１つの別の導体層は検査すべき電極配置を形成す
る、それ故試験片は１つの多層プリント板からなり、若
干の層は電気網回路を、つまり導体装置を形成し、少な
くとも１つの別の層又は１つの別の層の一部が電気場構
成のために使用される。

【００２６】

【実施例】本発明の詳細を図に示す実施例に基づいて説
明する。

【００２７】図１は電気的導体装置の検査装置の第１実
施例のブロック図を示す。該装置は電極装置１を有し、
該電極装置は不均一な電気場の構成に役立つ。この電極
装置１は又「アンテナ装置」として示されることもでき
る。電極装置は試験片２に作用し、その際この作用は図
１では稲妻状矢印により示される。それ故試験片２は電
極装置１により発生した電気場に置かれる。試験片２は
例えばプリント板の導体トラックにより形成されている
導体装置を有する。この導体装置を短絡及び／又は遮断
に関するエラーについて検査することが目的である。

【００２８】機械的装置４により位置決め可能である測
定ヘッド３により、試験片の導体装置の個々の導体の複
数の検査点が接触され、したがって夫々電気場により導
体に形成される電位が取り出されることができる。この
測定値はＡ／Ｄ変換器を備える測定路５に供給される。
測定路５は評価装置６と接続されている。評価装置６は
一方では測定結果の評価による検査及び場合によっては
測定結果の基準値との比較を実施し、他方では機械的装
置４及びマルチプレクサ７を起動する。マルチプレクサ
７はゼネレータ８と接続され、該ゼネレータは電気場の
構成に適当する電圧を供給する。この電圧はマルチプレ
クサ７を介して電極装置１の個々の電極に供給される。

【００２９】導体装置の検査のために、この導体装置は
電極装置の電気場に挿入される。図２によると、測定ヘ
ッド３を前後して接触される導体装置に所望数の検査点
が設けられる。特に多数の測定ヘッド３が設けられ、該
測定ヘッドは例えば平行座標的座標系のｘ、ｙ、ｚ方向
に走行されることができる。現在到達すべき検査点Ｎが
図２のフローチャートにステップ１４で示されている。
ステップ１０では検査点Ｎに対する適当する測定ヘッド
３の位置決め及びこの測定点の接触が行われる。

【００３０】ステップ１１では、次いで測定サイクルが
実施される。このことは導体装置の適当する導体の検査
点の電位が検出され、そして測定路５を介して評価装置
６に供給されることを意味する。ステップ１２では全て
の設けられた検査点が接触されているか否かが検査され
る。否の場合（ｎ）にはループ１３を新たに実施し、ス
テップ１４を介してステップ１０に達する。ステップ１
４では更に加算(Weitergezaehlt)される。従ってＮ＝Ｎ
＋１の関係となる。

【００３１】全ての導体の全ての検査点が接触されてい
ると、ステップ１２が終わって分岐路ｊに進み、すなわ
ち装置の作動アルゴリズムが終了する。

【００３２】図３のフローチャートは装置の測定サイク
ルアルゴリズムを明らかにする。ステップ１５、１５′
では、一定のアンテナレコード(Antennensatz)Ａが選択
される。アンテナレコードＡは電極装置１の一定の電極
を示し、該電極は電気場を構成するために電圧を印加さ
れる。電極の選択はステップ１６においてマルチプレク
サ７により行われる。ステップ１７ではマルチプレクサ
７はゼネレータ８より供給される電圧を通すので、該電
圧は電極装置１の個々の電極に印加される。後続のステ
ップ１８では次いで導体装置の個々の検査点での電位測
定が行われる。必要であると、一定の場合には電気網の
容量が検出されることができる。このことはステップ１
９において電流を検出することにより行われる。ステッ
プ２０では所望数の電極配置（アンテナレコード）が達
成されているか否かが検査される。否（ｎ）の場合、ル
ープ２１を介してステップ１６が新たに行われる。した
がってループ２１では関連Ａ＝Ａ＋１が行われる。

【００３３】全てのアンテナレコードが実現されると、
ステップ２０は「ｊ（ｙｅｓ）」で終わる。

【００３４】図４は測定結果分析のアルゴリズムを明ら
かにする。Ｎ、Ｍで導体装置の現在到達すべき検査点が
示され（ステップ２２、２３）、その際、 Ｎ＝Ｎ
＋１となる。

【００３５】Ａでアンテナレコード（電極装置１の夫々
起動される電極）を示す（ステップ２４）。２つの場合
にはステップ２５を介してステップ２６へのアルゴリズ
ムが達成される（すなわちプリント板中のエラー）： １．検査点ＮとＭが１つの電気網に属し違った電位を有
するとき、 ２．検査点ＮとＭが違った電気網に属し全てのアンテナ
レコードについて同じ電位を有するとき。

【００３６】第１の場合には電気網に遮断が存在し、第
２の場合には両方の電気網の間に短絡が存在する。

【００３７】ステップ２５では ｜Ｕ（Ｎ，Ａ）−Ｕ（Ｍ、Ａ）｜＞ΔＵ の関係が与えられる。

【００３８】その際Ｕは電位をΔＵは可能な測定エラー
の範囲に存在することができる電位差を示す。前記関係
で示される電位差が予め定められた測定エラーより大き
いと、検査の際にエラーが存在し、Ｙｅｓ（ｊ）とな
る。ステップ２６では次いでエラー報告が行われる。検
出された電位差が測定エラーより小さいとＮＯ（ｎ）と
なり、ステップ２７に移行され、ステップ２７では前記
工程が別のアンテナレコード（Ａ＋１）により再度実施
される。アンテナレコードＡの数が予め与えられ、それ
が達成されると、フレープ２８は離れ、ステップ２９が
ステップ３０に移行する。ステップ３０では電気網の別
の検査点が選択され、ループ３１に応じてアンテナレコ
ードの変形が新しく実施される。ステップ３２により全
検査点が調べられると、ステップ３３、３４を経て次の
検査点に移行され、そこで該当する検査が同様に行われ
る。全試験片が検査されると、プログラムは終わる（ス
テップ３５）。

【００３９】図５は装置の別の実施例を示す。この実施
例は図１の実施例に対して逆に作動し、そのとき試験片
２の導体装置はアンテナ装置として使用され、電極装置
１で試験片により生じた電気場が評価される。それに応
じてゼネレータは個々の測定ヘッド３に電圧を印加し、
該測定ヘッドはゼネレータ８の電圧を印加し、該測定ヘ
ッドはゼネレータ８の電圧を試験片２の導体装置に伝達
する。そのように形成された電気場は電極装置１を付勢
し、その個々の電極はマルチプレクサ７及び測定路５を
介して評価装置６と接続されている。評価装置６は更に
測定ヘッド３の位置決めのための機械的装置４を起動す
る。

【００４０】図５の実施例の測定工程は図１の実施例の
場合と相当する態様で行われる。

【００４１】図６は格子状に配置されたワイヤ電極２３
からなる電極装置１の実施例を示し、個々の平行なもし
くは交叉するワイヤ電極２３は互いに電気的に絶縁され
ている。マルチプレクサ７により、一定の電極が選択さ
れることができ、ゼネレータ８の所望の電圧と接続され
ることができる。図６では更に試験片２の一部が図示さ
れており、該試験片はプリント板２４として形成され、
導体トラック２５を担持し、該導体トラック２５は導体
装置を形成する。電気場の構成のために該当するワイヤ
電極２３にゼネレータ８の所望の電圧が印加される（図
１の実施例）。代わって導体トラック２５にゼネレータ
８の適当する電圧を印加することも可能であり、したが
ってこれにより形成される電気場はワイヤ電極２３と協
働し、このワイヤ電極２３に適当する電位を生ずる（図
５の実施例）。

【００４２】本発明の図示しない実施例によると、電極
装置１は埋め込まれた導体細条を有するフォイル又は同
等のものにより形成されることができる。このフォイル
は試験片、例えばプリント板の片側又は両側に配置され
ることができるか又は特に真空により吸引されることが
できる。この吸引は組込むべき測定ヘッドの接触力によ
りプリント板のゆがみを生ずることができ、その際１つ
又は複数のフォイルはこのゆがみ／撓み（Verbiegung/D
urchbiegung)を受けるので場変化を生じないという利点
を有する。次いで測定ヘッドの接触は測定ヘッドの先端
がフォイルを突き刺し、試験片の導体トラックに接触さ
せることにより行われる。

【００４３】別の実施例によると、又試験片の自身の幾
つかの電気網が不均一な電気場を構成するために引き寄
せられ(herangezogen)ることができる。次いで当面いつ
も試験片の複数の電気網(Netze) は電気場を構成するた
めに引き寄せられ、一時的に検査されない。続いての測
定サイクルでは、次いで例えば逆のことが行われる。す
なわち、予め場形成のために引き寄せられる電気網が検
査すべきであり、その際先に検査を受けている電気網に
より電気場の印加が行われる。

【００４４】別の変形によると、試験片自身が電気場形
成のこめに必要である電極装置を有することは同様に可
能である。しかしこれに対し、前記実施例とは逆に、電
極装置と試験片の導体トラック又は同等物との分離が行
われ、そのとき例えば多層プリント板において１つ又は
多数の位置が場形成のため電極装置として使用される。
他の位置はあたかも試験片自身を、すなわちその導体装
置を形成する。

【００４５】別の実施例によると、空間的に試験片に接
近させられる不均一電気場を発生するための電極装置を
形成するレール又は棒を有する枠又は同等のものが設け
られることができる。この場合、測定ヘッドを供給でき
るようにするため十分な自由空間が残っている。

【００４６】最後にプリント板又は類似物は特に片側テ
ストにおいて、電極装置（適当する導体トラック装置）
を具備し、該電極装置により電気場が発生されることが
可能である。試験片は検査のため、このプリント板に載
せられるか又はプリント板に通じるようにされる。

【００４７】図７によると、測定ヘッド３としてナイフ
状接触先端が使用されることができる。この接触先端は
パッド、穴、穴壁等々を接触するために特に良好に適し
ている。ナイフ状形態は、図７に係る広幅例の図で図８
に係る狭幅側の図より大きな寸法を有する。図７の測定
ヘッド３は対称に延びる先端を有する。

【００４８】図９と図１０は長手に分割されている測定
ヘッド３の別の実施例を示す。このことは絶縁層３０に
より行われる。絶縁層３０により互いに分離された両方
の半体３１、３２は夫々別々に適当する検査装置と電気
的に接続される。２つの絶縁された先端領域を有するこ
の分離された装置は簡単な方法で４ワイヤ測定（ガード
イングGuarding) を可能にする。更に接触を正確に検査
することを可能にする。接触ミス又は接触不良（移行抵
抗）は簡単な態様で検知される。このことは例えば、検
査の間、両方の半体３１と３２の間のテスト電流回路が
発生されるときに可能である。電流の流れが申し分ない
と、接触は正常である。高い移行抵抗の電流の流れを検
知するか、全く電流の流れが存在しないと、接触不十分
であるか、又は阻害されている。

【００４９】試験片の位置決めは違った態様で行われる
ことができる。一方では基準板による粗／精度検査を行
うことは可能である。基準板はしたがって基準試験片を
示す別の可能性として該当する試験片の位置決めを光学
的に検査することが考えられる。この光学的検査は、１
つのカメラ等により試験片の位置が目標位置に対して比
較されることにより、特に行われることができ、カメラ
により試験片の導体トラックの一定の見本が簡単な態様
で見つけ出される。この導体見本はレイアウトにより公
知（例えばキャドデータとの比較が行われることができ
る）である。最後に又試験片の位置決めを観察する電子
機械的可能性が存在する。このことは図９と図１０に係
る分割された測定ヘッド３により、この測定ヘッドを一
定のパッドの上に置くことにより行われることができ、
その際測定ヘッド３の適当する半体を通る電流流れによ
り位置が検査される。電流流れが存在すると、測定ヘッ
ド３は導体トラックの上にあり、電流流れが存在しない
と、測定ヘッドは導体トラックに対して横にずれてお
り、すなわち絶縁層の上にある。このような検査は例え
ば色々の領域（例えは試験片の２つ又は３つのコーナー
点）で行われることができ、それにより試験片の目標位
置に対する申し分ない又は誤りのある位置が確定可能で
ある。

【００５０】本発明の実施の態様は以下の通りである。

【００５１】（１）電気場が電極装置（１）により発生
されることを特徴とする請求項１に記載の方法。

【００５２】（２）導体装置の少なくとも１つの検査点
に電気場を構成するための電圧が印加され、該電気場は
その場強さにより電極装置（１）に少なくとも１つの電
位を発生し、該電位は捕捉され評価されることを特徴と
する電気的導体装置の短絡及び／又は遮断の検査方法。

【００５３】（３）評価が基準量との比較により行われ
ることを特徴とする前記第２項に記載の方法。

【００５４】（４）検査電流の供給及び取り出しのため
導体装置と接触可能な接触手段を特徴とする請求項１又
は前記第１項〜第３項のいずれか１つに記載の方法。

【００５５】（５）測定結果を検出するために接続手段
を形成する測定ヘッド（３）が使用されることを特徴と
する請求項１又は前記第１項〜第４項のいずれか１つに
記載の方法。

【００５６】（６）１つ又は複数の測定ヘッド（３）
（分割された測定ヘッド３）が使用され、測定ヘッドは
多分割され、特に２分割された測定先端が互いに電気的
に絶縁され横に配置された先端領域（半体３１、３２）
を有することを特徴とする請求項１又は前記第１項〜第
５項のいずれか１つに記載の方法。

【００５７】（７）測定ヘッド（３）が絶縁層（３０）
により長手分割されることを特徴とする前記第６項に記
載の方法。

【００５８】（８）分割された測定ヘッド（３）により
４ワイヤ測定（ガーディング）が実施されることを特徴
とする請求項１又は前記第１項〜第７項のいずれか１つ
に記載の方法。

【００５９】（９）接触エラー、接触不良の検査のた
め、分割された測定ヘッド（３）の導体装置の夫々の検
査点に対する位置決め精度の検査のため、及び／又はテ
スト装置に対する試験片位置の検査のため、両方の先端
領域の間にテスト電流回路が形成され、その際テスト電
流が両方の先端領域の接触位置及び夫々の検査点の導体
領域をを介して流れることを特徴とする請求項１又は前
記第１項〜第８項のいずれか１つに記載の方法。

【００６０】（１０）試験片のテスト装置に対して行わ
れる位置補正の実施による申し分ない又は欠陥のある位
置決め夫々の設定のために、少なくとも１つの分割され
た測定ヘッド（３）が導体装置の上に載せられテスト電
流が作動されることと、導体装置の該当する導体に対す
る測定ヘッドの横ずれによりテスト電流回路が遮断され
る場合には欠陥通報及び／又は試験片の位置補正がテス
ト電流回路が申し分なく流れるまで行われることを特徴
とする前記第９項に記載の方法。

【００６１】（１１）導体装置の多くの異なる領域に分
割された測定ヘッド（３）が当たることを特徴とする前
記第１０項に記載の方法。

【００６２】（１２）テスト装置に対する試験片の位置
決めが基準試験片、特に透明基準板との光学的比較によ
り行われることを特徴とする請求項１又は前記第１項〜
第１１項のいずれか１つに記載の方法。

【００６３】（１３）導体装置が多くの互いに絶縁され
た電気網（プリント板配線）を有することと、各電気網
用電位が検出され記憶されることと、記憶された電位が
互いに算出過程で特にコンピュータによって比較される
ことを特徴とする請求項１又は前記第１項〜第１２項の
いずれか１つに記載の方法。

【００６４】（１４）１つの電気網に属する検出点
（Ｎ、Ｍ）が夫々電位を検出され同一性を検査されるこ
とを特徴とする請求項１又は前記第１項〜第１３項のい
ずれか１つに記載の方法。

【００６５】（１５）１つの電気網に属さない検出点
（Ｎ、Ｍ）が夫々電位を検出され非同一性を検査される
ことを特徴とする請求項１又は前記第１項〜第１３項の
いずれか１つに記載の方法。

【００６６】（１６）コンデンサ設定が導体装置若しく
は各導体トラックに流れる電流の検出により行われるこ
とを特徴とする請求項１又は前記第１項〜第１５項のい
ずれか１つに記載の方法。

【００６７】（１７）基準コンデンサ値と比較すること
により定められたコンデンサ値が短絡及び／又は遮断の
検出のための使用されることを特徴とする請求項１又は
前記第１項〜第１６項のいずれか１つに記載の方法。

【００６８】（１８）電気場を形成する電極装置（１）
の電極が切換可能に電圧に不均一場を構成するために接
続可能であることを特徴とする請求項１又は前記第１項
〜第１７項のいずれか１つに記載の方法。

【００６９】（１９）電極装置（１）が多数の電極を有
し、該電極に電気場を形成するためのゼネレータ（８）
の対応する電極が接続されることを特徴とする請求項２
記載の装置。

【００７０】（２０）電極がワイヤにより形成され、該
ワイヤは互いに絶縁状に検査面を覆って張り、該検査面
は導体装置を有する試験片の収容のために作用すること
を特徴とする請求項２又は前記第１９項に記載の装置。

【００７１】（２１）電極が導体、特に細条導体、フォ
イル等により形成されることを特徴とする請求項２又は
前記第１９項〜第２０項のいずれか１つに記載の装置。

【００７２】（２２）フォイルが負圧で試験片に保持さ
れていることを特徴とする前記第２１項に記載の装置。

【００７３】（２３）測定ヘッド（３）が試験片の接触
のためにフォイルを突き刺していることを特徴とする前
記第２１項に記載の装置。

【００７４】（２４）測定ヘッド（３）をｘ座標、ｙ座
標に沿って走行可能にし、導体装置の接触のためにｚ方
向に移動可能である位置決め装置を特徴とする請求項２
又は前記第１９項〜前記第２３項のいずれか１つに記載
の装置。

【００７５】（２５）電極装置（１）の電極の切換がマ
ルチプレクサ（７）により行われることを特徴とする請
求項２又は前記第１９項〜前記第２４項のいずれか１つ
に記載の装置。

【００７６】（２６）マルチプレクサ（７）が切換のた
めに評価装置（６）により起動されることを特徴とする
請求項２又は前記第１９項〜前記第２５項のいずれか１
つに記載の装置。

【００７７】（２７）試験片の導体装置の第１領域が電
極装置（１）を形成することと、それにより形成される
電気場により試験片の導体装置の第２領域が検査される
ことを特徴とする請求項２又は前記第１９項〜前記第２
６項のいずれか１つに記載の装置。

【００７８】（２８）試験片自身がその導体装置の検査
のために電極装置（１）を有することを特徴とする請求
項２又は前記第１９項〜前記第２７項のいずれか１つに
記載の装置。

【００７９】（２９）電極装置（１）が多層プリント板
の少なくとも１つの導体層により形成され、該プリント
板は少なくとも１つの別の層に検査すべき導体装置を有
することを特徴とする請求項２又は前記第１９項〜前記
第２８項のいずれか１つに記載の装置。

【図面の簡単な説明】

【図１】電気導体装置の検査装置のブロック図である。

【図２】装置の作動アルゴリズムのフローチャートであ
る。

【図３】本発明に係る測定サイクルアルゴリズムのフロ
ーチャートである。

【図４】測定結果分断器のアルゴリズムのフローチャー
トダイヤフラムである。

【図５】本装置の別の実施例のブロック図である。

【図６】試験片の電極装置により印加される領域の略平
面図である。

【図７】測定ヘッドの広幅を示す図である。

【図８】図７に係る測定ヘッドの狭幅側図である。

【図９】広幅側の分割された測定ヘッドを示す図であ
る。

【図１０】図９に係る測定ヘッドの狭側図である。

【符号の説明】

１ 電極装置 ２ 試験片 ３ 測定ヘッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アレクサンドル チヤネヴイツチ シエー ン ロシア連邦共和国 03031 モスクワ モ スクヴイーナ ５ カー ５／２ (72)発明者 アンドレイ ユレヴイツチ ポスカチエー フ ロシア連邦共和国 25438 モスクワ オ ネイスカ17 カー Ｉ ６／２ (72)発明者 エフゲニー オクタヴイーヴイツチ ヤネ ンコ ロシア連邦共和国 23373 モスクワ ブ ル ライニサ 43 カー 459／２

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導体装置の検査点の測定結果が検出され
   評価される、導体装置、特にプリント板の導体トラック
   の短絡と遮断のうちの少なくとも一方を検査する方法に
   おいて、導体装置は電気場を印加され、該電気場により
   形成される少なくとも１つの電位が個々の検査点で測定
   ヘッド（Messsonde)により検出され、別の検査点の電位
   と基準値との少なくとも一方と比較されることを特徴と
   する導体装置検査方法。
2. 【請求項２】 導体装置の検査点と接触可能である測定
   ヘッドと評価装置とを有する、導体装置特にプリント板
   の導体トラックの短絡と遮断のうちの少なくとも一方を
   検査する装置において、導体装置に印加され、そこで電
   場強さにより電位を発生する不均一な電気場を形成する
   ために電極装置（１）を設け、前記電位は評価装置
   （６）に測定ヘッド（３）により伝達されることを特徴
   とする導体装置の検査装置。