JPH0592807A - チツプバー端面整列装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体素子の製造工程において、チップバー
の端面を損傷を与えることなく一定方向に整列させる装
置を得る。 【構成】 搬送板４により搬送されてくるチップバー５
に吸着ノズル対２または３を接触させ、チップバー５端
面の電極と吸着ノズル対２または３との電気的導通の有
無により、チップバー５端面の方向性を認識し、駆動部
１で所定の場所にチップバー５を移動，整列させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はチップバー端面整列装
置に関し、特に半導体素子の製造工程において、チップ
バーの端面を一定方向に整列させるチップバー端面整列
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の製造工程において、不規則
に供給されるチップバー端面を一定方向に整列させる操
作が必要である。従来のチップバー端面整列装置とし
て、供給されたチップバーを同一平板上に並べ、端面を
整列させるために機械的振動を加える装置を使用してい
た。また、人手によりチップバーを１本ずつ並べ替える
等の方法もとられていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来のチップバー端面
整列装置は以上のように構成されているので、チップバ
ーの端面が完全に整列することはなく、最終的には人手
により整列させることが必要で、また、機械的振動を加
えることによりチップバーの折れや欠けが発生するなど
の問題点があった。

【０００４】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、機械的振動を与えることなく、
チップバーの断面形状（正方形または長方形）にも左右
されず、一定方向にチップバー端面を整列させることが
できるチップバー端面整列装置を得ることを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明に係るチップバ
ー端面整列装置は、整列を行うべきチップバーを搬送す
る搬送板と、この搬送板により搬送されてきたチップバ
ーの電極が前記搬送板に対して垂直方向にある場合、チ
ップバーの電極面に前方から接触し電気的導通が生じる
ことによりチップバーを吸着し、これを水平方向に移動
させて他の所定の場所へ移動させる第１の吸着ノズル対
と、搬送板により搬送されてきたチップバーの電極が搬
送板に対して水平方向にある場合、チップバーの電極面
に上方から接触し電気的導通が生じることによりチップ
バーを吸着し、これを９０°上方に持ち上げ、その状態
で水平方向に移動して、他の所定の場所へ移動させる第
２の吸着ノズル対と、第１，第２の吸着ノズル対が吸着
したチップバーを他の所定の場所へ配置させる、上下に
移動可能に設けられた駆動部とを備えたものである。

【０００６】

【作用】この発明におけるチップバー端面整列装置は、
第１，第２の吸着ノズル対が電極であり、これら吸着ノ
ズル対がチップバー端面の電極と接触した場合、電気的
導通が生ずることによりチップバー端面の方向性を認識
できるので、チップバーに損傷を与えることなく、確実
にチップバーの端面を一定方向に整列することができ
る。

【０００７】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の一実施例によるチップバー端面
整列装置を上方より見た平面図であり、図において、５
は整列を行うべきチップバー、６はチップバー５端面の
電極、４は整列を行うべきチップバー５を搬送する搬送
板、１は吸着ノズル対２，３を保持し、これら吸着ノズ
ル対２，３がチップバー５を吸着した際には駆動してチ
ップバー５を所定の場所へ配置する、上下移動可能な駆
動部、２は搬送板４により搬送されてきたチップバー５
の電極６面が搬送板４に対して垂直の方向の場合に、電
極６面に前方より接触して吸着する、駆動部１の下方に
設けられた、吸着ノズル２ａ，２ｂよりなる第１の吸着
ノズル対、３は搬送板４により搬送されてきたチップバ
ー５の電極６面が搬送板４に対して水平の方向の場合
に、電極６面に上方より接触して吸着する、駆動部１の
側方に設けられた、吸着ノズル３ａ，３ｂよりなる第２
の吸着ノズル対であり、これら吸着ノズル対２，３は電
極として使用される。

【０００８】次に動作について説明する。図２はこの発
明の一実施例によるチップバー端面整列装置の一連の動
作行程を示した側面図であり、図中の符号は、図１の符
号で示した部分と同様のものを示す。

【０００９】チップバー５が搬送板４に乗せられ、吸引
ノズルの方向へ搬送されてくる。このとき、搬送されて
きたチップバー５ａ端面の電極が搬送板に対して垂直方
向にある場合は、図２(a) に示すように、吸着ノズル対
２（吸着ノズル２ａ，２ｂ）はチップバー５ａの電極６
ａ面に前方より接触する。こうして、吸着ノズル対２と
チップバー５ａの電極６ａ面が接触することにより、吸
着ノズル２ａ，チップバー５ａの電極６ａ，吸着ノズル
２ｂ間に電気的な回路が形成され、電気的導通を生じ
る。

【００１０】このように電気的導通が確認されると、吸
着ノズル２ａ，２ｂによりチップバー５ａの吸着が開始
される。吸着を完了すると、駆動部１は図２(b) のよう
にチップバー５ａが他の障害物と接触しない十分な高さ
まで上方に移動し、所定の場所へ吸着したチップバー５
ａを搬送する。チップバー５ａの搬送を終了した駆動部
１は、初期の位置に戻り、次のチップバー５ｂの搬送を
行う。

【００１１】次に搬送板４により搬送されてきたチップ
バー５ｂのように、電極６ｂ面が搬送板４に対して水平
方向にある場合は、吸着ノズル対２がチップバー５ｂに
前方より接触するが、この際、吸着ノズル対２はチップ
バー５ｂの電極６ｂ面と接触していないので、吸着ノズ
ル対とチップバー５ｂとの間に電気的導通が生じない。
すると、駆動部１は図２(c) に示すように、吸着ノズル
対３がチップバー５ｂのチップバー電極６ｂに接触する
位置まで下方に移動する。吸着ノズル３ａ，３ｂ間で電
気的導通の有無について確認が行われ、吸着ノズル３
ａ，チップバー電極６ｂ，吸着ノズル３ｂ間で電気的導
通有り、と確認されると、吸着ノズル対３での吸着が開
始される。

【００１２】その後、他のチップバー端面と向きを合わ
せるため、図２(d)に示すように吸着ノズル対３はチッ
プバー５ｂを吸着した状態のまま９０°上方に回転し、
その状態で所定の場所へチップバー５ｂを搬送する。チ
ップバー５ｂの搬送が終了したら、駆動部１は元の高さ
に戻り、吸着ノズル対３も９０°下へ下がると同時に、
初期の位置に復帰する。

【００１３】このように、上記実施例では、不規則に供
給されるチップバー５の端面の方向性を、吸着ノズル対
２あるいは３とチップバー５との間の電気的導通の有無
により認識するようにしたことにより、チップバー５を
損傷することもなく、自動的にチップバー５の端面を整
列させることができる。

【００１４】

【発明の効果】以上のように、この発明に係るチップバ
ー端面整列装置によれば、吸着ノズルとチップバー端面
の電極との電気的導通を検出することにより、チップバ
ー端面の方向性を認識することができるので、チップバ
ーに与える損傷がなく、また、チップバーの断面形状に
もかかわらず、自動的にチップバー端面を整列させるこ
とができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるチップバー端面整列
装置を上方より見た平面図である。

【図２】この発明の一実施例によるチップバー端面整列
装置の動作を示した側面図である。

【符号の説明】

１ 駆動部 ２ 吸着ノズル（下方） ３ 吸着ノズル（上方） ４ 搬送板 ５ チップバー ６ チップバー電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チップバーの端面を整列する装置であっ
   て、 整列を行うべきチップバーを搬送する搬送板と、 前記搬送板により搬送されてきたチップバーの電極が前
   記搬送板に対して垂直方向にある場合、前記チップバー
   の電極面に前方から接触し電気的導通が生じることによ
   り前記チップバーを吸着し、これを水平方向に移動させ
   て他の所定の場所へ移動させる第１の吸着ノズル対と、 前記搬送板により搬送されてきたチップバーの電極が前
   記搬送板に対して水平方向にある場合、前記チップバー
   の電極面に上方から接触し電気的導通が生じることによ
   り前記チップバーを吸着し、これを９０°上方に持ち上
   げ、その状態で水平方向に移動して、他の所定の場所へ
   移動させる第２の吸着ノズル対と、 前記第１および第２の吸着ノズル対を保持し、第１の吸
   着ノズル対がチップバーを吸着した後、あるいは、第２
   の吸着ノズル対がチップバーを吸着し、９０°上方に持
   ち上げた後、第１，第２の吸着ノズル対が吸着している
   チップバーを他の所定の場所へ配置させる、上下に移動
   可能に設けられた駆動部とを備えたことを特徴とするチ
   ップバー端面整列装置。