JPH059023A - ペロブスカイト型複合酸化物粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ペロブスカイト型複合酸化物の前駆体であるよ
うなアルコキシドの混合物あるいは複合アルコキシド、
さらにはアルコキシドの混合物または複合アルコキシド
の加水分解生成物等から、焼結あるいは粉砕という煩雑
な工程を経由せず直接ペロブスカイト型複合酸化物粉末
を製造する方法を提供するにある。 【構成】ペロブスカイト型複合酸化物の前駆体、例えば
チタン酸バリウムの前駆体ゾル溶液から熱プラズマによ
り、チタン酸バリウム粉末を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ペロブスカイト型複合
酸化物粉末の製造方法に関する。さらに詳しくは、機能
性材料用等、例えばコンデンサー等の強誘電体薄膜、圧
電体薄膜等あるいは固体抵抗器の保護被膜等の形成に必
要な焼結性、結晶性、分散性、均一性、流動性等に優れ
た特性を有するペロブスカイト型複合酸化物粉末の製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ペロブスカイト型複合酸化物
粉末は、固相法あるいは共沈澱法等によって得られた前
駆体であるような材料からバインダー混合、焼結および
粉砕工程を経由して製造する方法が知られている。しか
しながら何れの製造方法も、ペロブスカイト型複合酸化
物粉末を製造する前駆体であるような材料および原材料
の焼結に際して多大なエネルギーを必要とし、また焼結
物の粉砕時に不純物が混入する恐れや、物理的な力によ
る構造的結晶歪が生起する可能性等種々の問題点を有す
る。そのため粉砕工程を伴わない方法、すなわち焼結に
よる粒成長を抑制するための抑制剤の添加、あるいは粒
成長が著しく進行する前の状態である仮焼程度に焼結を
留めておく方法等も試みられている。前者の粒成長抑制
剤を添加する方法は、添加する抑制剤の種類によっては
製品の特性、例えば誘電体薄膜を形成した場合に、その
誘電特性に悪影響を及ぼし、また予期せぬ不純物等が混
入する恐れもあるために、粒成長抑制剤の種類および添
加方法が限定され、さらには製造する製品の設計も制限
される。さらに後者の仮焼程度に留める場合でも、その
原材料の焼結が不完全であるために、使用に際して再度
高温で焼結する必要があり、製品として成型を行なう場
合、焼結過程で原料の収縮等によりひび割れ等が発生し
やすく、特別の注意を必要とする。

【０００３】他方、焼結あるいは粉砕工程を伴わないで
ペロブスカイト型複合酸化物粉末を得る水熱合成法およ
びゾル−ゲル法も考案されてはいる。しかしながら前者
の水熱合成法によるペロブスカイト型複合酸化物粉末の
製造には、およそ数十気圧、２００℃以上の反応条件を
必要とする工程が含まれるため、実験室レベルでの研究
はかなり行なわれているが、工業化する場合には製造装
置が複雑になり、実用的ではない。また後者のアルコキ
シドを使用したゾル−ゲル法によるペロブスカイト型複
合酸化物粉末の製造方法は、蒸留等により、純度の高い
アルコキシドが得られるため、高純度のペロブスカイト
型複合酸化物粉末が生成できる。そのため、近年電子材
料の分野における微細加工技術の面で注目され研究が行
なわれてはいるが、生成される粒子の大きさが極めて小
さく、二次凝集を起こし易いために取り扱いが複雑にな
る。このため粒子径をさらに大きくするために、少なく
とも１０００℃以上の熱処理が必要となるが、通常の前
記固相法あるいは共沈澱法等によって製造する場合より
比較的低温で焼成が可能である。しかしながら、固相法
あるいは共沈澱法等によって製造される粒子径に比較し
て、製造される粒子径が小さいため、焼成時間が長時間
になる等の欠点があり、場合によっては粉砕工程も必要
となるため、省エネルギー化が望めない。

【０００４】これらいずれの製造方法も、多工程でしか
も得られたペロブスカイト型複合酸化物粉末は、分散
性、流動性等に劣るという欠点を有する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明者等は以上のこ
とを鑑み、従来のペロブスカイト型複合酸化物粉末製造
における欠点、すなわち焼結および粉砕に多大のエネル
ギーを必要とし、しかも多工程であり、かつ得られた粉
末は分散性、流動性に劣るという欠点を克服するために
鋭意検討した結果、公知の手法である熱プラズマ法を使
用し、前駆体であるような材料である金属元素のアルコ
キシドの混合物あるいは複合アルコキシド、さらにはそ
れらの加水分解生成物から長時間の焼成、場合によって
は粉砕という煩雑な工程を経由することなく、直接ペロ
ブスカイト型複合酸化物粉末を製造できることを見出し
た。さらに特定の熱プラズマ条件の時に、球状のペロブ
スカイト型複合酸化物粉末を製造できることを見出し
た。加えて熱プラズマ条件をさらに適切に選ぶことによ
り、ペロブスカイト型複合酸化物の超微粒子が得られる
ことも知った。

【０００６】本発明者等は、かかる知見に基づきさらに
重ねて検討した結果、本発明を完成するに至ったもので
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、下記
一般式（１）における、Ａの金属元素が元素周期律表の
第IB族、第IIA 族、第IIB 族、第IIIA族、第ＩVB族、第
VB族、第VIII族から選ばれる少なくとも１種類以上の金
属元素のアルコキシドと、Ｂの金属元素が元素周期律表
の第IVA 族、第IVB 族、第VB族から選ばれる少なくとも
１種類以上の金属元素のアルコキシドの混合物、あるい
はＡ元素とＢ元素との複合アルコキシド、さらにはそれ
らの加水分解生成物を熱プラズマ中にて、下記一般式
（１）で表されるペロブスカイト型複合酸化物粉末を製
造する方法を提供するものである。ただし本発明におけ
る金属元素としては、元素周期律表の第IB 族、第IIA
族、第IIB 族、第IIIA族、第IVA 族、第IVB 族、第VB
族、第VIII族である。 一般式（１） ＡＢＯ₃

【０００８】本発明において上記Ａ元素としては、例え
ばＣｕ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｓｃ、
Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔ
ｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｐｂ、Ｂ
ｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を挙げることができ、さらに好
ましくはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｐｂを挙げることが
できるが、これのみに限定されるものではない。また上
記Ｂ元素としては、例えば、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｓｎ、
Ｓｂ等を挙げることができるが、これのみに限定される
ものではない。

【０００９】Ａ元素として元素周期律表の第IB 族、 第
IIA族、 第IIB 族、 第IIIA族、 第IVB 族、 第VB 族、 第V
III族から選ばれる少なくとも１種類以上の元素のアル
コキシドと、Ｂ元素として元素周期律表の第IVA族、第I
VB 族、第VB 族から選ばれる少なくとも１種類以上の
元素のアルコキシドの混合物、あるいはＡ元素とＢ元素
との複合アルコキシド、さらにはそれらの加水分解生成
物等何れでも良いが、単一のアルコキシドとしてはマグ
ネシウムメトキシド、マグネシウムエトキシド、マグネ
シウムプロポキシド、マグネシウムブトキシド、カルシ
ウムメトキシド、カルシウムエトキシド、カルシウムプ
ロポキシド、カルシウムブトキシド、ストロンチウムメ
トキシド、ストロンチウムエトキシド、ストロンチウム
プロポキシド、ストロンチウムブトキシド、バリウムメ
トキシド、バリウムエトキシド、バリウムプロポキシ
ド、バリウムブトキシド、鉛メトキシド、鉛エトキシ
ド、鉛プロポキシド、鉛ブトキシド、チタンメトキシ
ド、チタンエトキシド、チタンプロポキシド、チタンブ
トキシド、ジルコニウムメトキシド、ジルコニウムエト
キシド、ジルコニウムプロポキシド、ジルコニウムブト
キシド、ハフニウムメトキシド、ハフニウムエトキシ
ド、ハフニウムプロポキシド、ハフニウムブトキシド、
スズメトキシド、スズエトキシド、スズプロポキシド、
スズブトキシド、アンチモンメトキシド、アンチモンエ
トキシド、アンチモンプロポキシド、アンチモンブトキ
シド等を挙げることができるが、これのみに限定される
ものではない。この場合にアルコキシドとしては、中心
金属とハロゲン原子が１種類または２種類以上結合した
ものでも良いが、好ましくは１種類および１個以下が良
い。

【００１０】さらに複合アルコキシドとしてはバリウム
チタンメトキシド、バリウムチタンエトキシド、バリウ
ムチタンプロポキシド、バリウムチタンブトキシド、ス
トロンチウムチタンメトキシド、ストロンチウムチタン
エトキシド、ストロンチウムチタンプロポキシド、スト
ロンチウムチタンブトキシド、マグネシウムチタンメト
キシド、マグネシウムチタンエトキシド、マグネシウム
チタンプロポキシド、マグネシウムチタンブトキシド、
カルシウムチタンメトキシド、カルシウムチタンエトキ
シド、カルシウムチタンプロポキシド、カルシウムチタ
ンブトキシド、等を挙げることができるが、これのみに
限定されるものではない。この場合にアルコキシドとし
ては、中心金属とハロゲン原子が１種類または２種類以
上結合したものでも良いが、好ましくは１種類および１
個以下が良い。

【００１１】またアルコキシドを混合する場合、各アル
コキシドが均一に混合される方法であれば特に制限され
ないが、各アルコキシド間の相溶性が乏しい場合あるい
は固体の場合には必要に応じて溶媒を添加して、溶解さ
せても良い。この場合溶媒は公知の溶媒あるいは水が適
宜使用される。有機溶媒としては、メタノール、エタノ
ール、メチルエチルケトン、アセトン等必要に応じて何
れでも良い。

【００１２】加水分解は、アルコキシドの混合物または
複合アルコキシドに加水分解剤を添加することにより、
あるいは加水分解剤中にアルコキシドの混合物または複
合アルコキシドを添加することにより行なわれる。加水
分解剤は、酸またはアルカリ水溶液、さらには水等が使
用可能であるが、これらに限定されるものではない。酸
またはアルカリとしては無機酸、有機酸、有機アミン
類、水酸化物等何れでも良く、例えば無機酸としては硝
酸、リン酸、硫酸、塩酸、有機酸としては蟻酸、シュウ
酸、酢酸、プロピオン酸、コハク酸、リンゴ酸、酒石
酸、クエン酸、アジピン酸、ムチン酸、安息香酸、サリ
チル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリ
メリット酸、セバシン酸、ピロメリット酸、ステアリン
酸、有機アミン類としてはトリメチルアミン、ジメチル
アミン、水酸化物としては水酸化アンモニウム、水酸化
ナトリウム、水酸化カリウム等を挙げることができる
が、これのみに限定されるものではない。

【００１３】本発明において、アルコキシドの混合物あ
るいは複合アルコキシドを加水分解剤によって加水分解
すると、加水分解の条件によって、ゾル溶液あるいは生
成したゲルがスラリー状または塊状になる場合がある
が、何れの場合も使用可能である。スラリー状または塊
状になる場合には適宜ゲルを砕いて使用すれば良い。

【００１４】上述したそれぞれの元素のアルコキシドあ
るいは２種類以上の金属元素を含有している複合アルコ
キシドは、アルコキシド調製時あるいは加水分解時に、
Ａ元素またはＢ元素と置換可能な元素を金属化合物、例
えば金属酸化物として添加し、調製したものでも良い。
またアルコキシド溶液中に、さらに各種金属酸化物ある
いはガラス等を添加配合しても良い。これらを添加配合
する場合、上述した元素のアルコキシド調製時あるいは
加水分解時に、各種金属酸化物あるいはガラスを添加し
て、そのアルコキシドあるいは加水分解生成物中に混在
させても良い。もちろん混合した添加剤がアルコキシド
あるいは加水分解生成物中に完全に溶融している必要は
ないが、好ましくは溶融していた方が良い。さらにアル
コキシドあるいは複合アルコキシドの調製に必要なアル
コールは、異種のアルコールを混合したもの、例えばメ
タノールとエタノールを混合したものでも良い。

【００１５】Ａ元素から選ばれる少なくとも１種類以上
の金属元素のアルコキシドと、Ｂ元素から選ばれる少な
くとも１種類以上の元素のアルコキシドの混合物あるい
はＡ元素とＢ元素との複合アルコキシド、さらにはそれ
らの加水分解生成物等を熱プラズマ中に導入することに
より、下記一般式（１）で表される高い結晶性を有する
ペロブスカイト型複合酸化物粉末を得ることができ、さ
らに特定の熱プラズマ条件の時に、結晶性良好な球状の
ペロブスカイト型複合酸化物粉末も製造でき、加えて熱
プラズマ条件をさらに適切に選ぶことにより、ペロブス
カイト型複合酸化物の超微粒子が得られる。 一般式（１） ＡＢＯ₃

【００１６】用いる熱プラズマ源としては、好ましく
は、高周波誘導プラズマ、マイクロ波誘導プラズマある
いは直流アークプラズマのいずれでも良いが、これに限
定されるものではない。

【００１７】

【作用】上記一般式（１）に示したペロブスカイト型複
合酸化物あるいは従来の製造方法により仮焼程度に留め
ておいたペロブスカイト型複合酸化物を熱プラズマ炎中
に供給した場合には、熱プラズマ条件、原材料の粒度条
件によっては球状ないしは球状に近い粉末も製造するこ
とができるが、結晶性の低い粉末しか得られず、しかも
粉末の組成を要求される値にするためには、厳密に熱プ
ラズマ条件をコントロールする必要があり、技術的な困
難さを伴う。この原因としては、供給した材料が供給さ
れると同時に熱プラズマ炎中で昇温し、超高温で溶融さ
れるため、上記一般式（１）に示したペロブカイト型複
合酸化物粉末が酸素を放出して分解するか、あるいは還
元を受ける等の構造変化等が進行しやすいためであると
考えられる。

【００１８】一方本発明の如く、熱プラズマ炎中への供
給原料としてペロブスカイト型複合酸化物の前駆体であ
るようなアルコキシドあるいは２種類以上のアルコキシ
ドの混合物、または複合アルコキシドさらには２種類以
上の複合アルコキシドの混合物、あるいはそれらの加水
分解生成物等を用いた場合には、結晶性の高い、誘電特
性良好なペロブスカイト型複合酸化物粉末、さらには球
状ないしは球状に近い粉末が製造でき、しかも製造され
るペロブスカイト型複合酸化物粉末の組成を要求される
値にすることが比較的容易である。

【００１９】このことは以下のようであると考えられ
る。すなわちペロブスカイト型複合酸化物の前駆体であ
るようなアルコキシドあるいは２種類以上のアルコキシ
ドの混合物、または複合アルコキシドさらには２種類以
上の複合アルコキシドの混合物、あるいはそれらの加水
分解生成物等を使用した場合には、熱プラズマ中で超高
温が加わると、アルコキシドの熱分解反応あるいは加水
分解生成物であるゲルの残存する有機物の熱分解反応お
よび脱水反応と、熱分解により生成されたペロブスカイ
ト型複合酸化物の分解あるいはガラス化反応とが前後し
て起こるが、熱分解反応や脱水反応が遅いためか、ある
いは熱分解反応あるいは脱水反応により、熱プラズマに
よる超高温から、生成されつつあるペロブスカイト型複
合酸化物が保護されるために、構造変化を起こすような
分解等が抑制され、結晶性の高い、誘電特性良好なペロ
ブスカイト型複合酸化物粉末が製造されると推定され
る。

【００２０】

【発明の効果】本発明によれば、従来行なわれてきた、
焼結および粉砕工程を経由する方法と同程度の結晶性を
有するすなわちペロブスカイト型誘電性結晶相を多く含
有するペロブスカイト型複合酸化物粉末を製造すること
ができ、省力化および省エネルギー化を図ることができ
る。

【００２１】以下の実施例に示した表１から明らかな如
く、ペロブスカイト型複合酸化物の前駆体であるような
アルコキシドあるいは２種類以上のアルコキシドの混合
物、または複合アルコキシドさらには２種類以上の複合
アルコキシドの混合物、それらの加水分解生成物等を熱
プラズマ中に供給すれば、焼結法に匹敵するほどの良好
な結晶性を有するすなわちペロブスカイト型誘電性結晶
相を多く含有するペロブスカイト型複合酸化物粉末が得
られる。

【００２２】したがって、本発明により、熱プラズマ装
置を使用して、直接的にしかも連続的にペロブスカイト
型複合酸化物粉末を製造することが出来るようになった
ことは、安価なペロブスカイト型複合酸化物原料を提供
するものであり、その産業的意義は極めて多大である。

【００２３】

【実施例】以下実施例を挙げて、本発明を具体的に説明
する。ただし、本発明の範囲は、下記実施例により何等
限定されるものではない。

【００２４】実施例１ 撹拌機、還流器および滴下器を備えたフラスコ中に、表
面の酸化皮膜を除去し、細かく切断した金属バリウムを
５０ｇ仕込み、さらに予めモレキュラーシーブで脱水乾
燥させたイソプロピルアルコール１０００ｍｌを加え、
加熱、還流させてバリウムイソプロポキシドを合成し
た。これに市販のチタンイソプロポキシドを、バリウム
対チタンの割合が１対１になるように加え、２〜３時間
還流を行ない、バリウム−チタン混合アルコキシド溶液
を調製した。

【００２５】次に高周波誘導熱プラズマを発生させ、こ
の熱プラズマ炎中に上記試料を０．０１〜０．５ｍｌ／
分にて供給し、チタン酸バリウム粉末を得た。得られた
チタン酸バリウム粉末は、Ｘ線回折実験を行ないＸ線回
折パターンからシャープピークと、ブロードピークを分
離し、式（２）を用いて計算された結晶化度を表１に示
した。

【００２６】実施例２ 実施例１のバリウム−チタン混合アルコキシド溶液をさ
らに加熱乾燥装置で加熱しながら、過剰のアルコール溶
媒を乾燥させた。さらに予めモレキュラーシーブで脱水
乾燥させたメトキシエタノール１０００ｍｌを加え、超
音波振動器を用いて、混合アルコキシドのメトキシエタ
ノール溶液を得た。その後、撹拌しながら蒸留水を少量
ずつ加えることにより、ゾル状溶液あるいは部分的にゲ
ル化した溶液を調製した。

【００２７】次に直流アーク熱プラズマを発生させ、こ
の熱プラズマ炎中に上記試料を０．０１〜０．５ｍｌ／
分にて供給し、チタン酸バリウム粉末を得た。得られた
チタン酸バリウム粉末は、Ｘ線回折実験を行ないＸ線回
折パターンからシャープピークと、ブロードピークを分
離し、式（２）を用いて計算された結晶化度を表１に示
した。

【００２８】実施例３ 撹拌機、還流器および滴下器を備えたフラスコ中に、表
面の酸化皮膜を除去し、細かく切断した金属ストロンチ
ウムを３２ｇ仕込み、さらに予めモレキュラーシーブで
脱水乾燥させたイソプロピルアルコール１０００ｍｌを
加え、加熱、還流させてストロンチウムイソプロポキシ
ドを合成した。これに市販のチタンイソプロポキシド
を、ストロンチウム対チタンの割合が１対１になるよう
に加え、２〜３時間還流を行ない、ストロンチウム−チ
タン混合アルコキシド溶液を調製した。

【００２９】次にマイクロ波誘導熱プラズマを発生さ
せ、この熱プラズマ炎中に上記試料を０．０１〜０．５
ｍｌ／分にて供給し、チタン酸ストロンチウム粉末を得
た。実施した際の熱プラズマ発生条件は表１に示した。
得られたチタン酸ストロンチウム粉末は、Ｘ線回折実験
を行ないＸ線回折パターンからシャープピークと、ブロ
ードピークを分離し、式（２）を用いて計算された結晶
化度を表１に示した。

【００３０】実施例４ 実施例３のストロンチウム−チタン混合アルコキシド溶
液をさらに加熱乾燥装置で加熱しながら、過剰のアルコ
ール溶媒を乾燥させた。さらに予めモレキュラーシーブ
で脱水乾燥させたメトキシエタノール１０００ｍｌを加
え、超音波振動器を用いて、混合アルコキシドのメトキ
シエタノール溶液を得た。その後、撹拌しながら蒸留水
を少量ずつ加えることにより、ゾル状溶液あるいは部分
的にゲル化した溶液を調製した。

【００３１】次に高周波誘導熱プラズマを発生させ、こ
の熱プラズマ炎中に上記試料を０．０１〜０．５ｍｌ／
分にて供給し、チタン酸ストロンチウム粉末を得た。得
られたチタン酸ストロンチウム粉末は、Ｘ線回折実験を
行ないＸ線回折パターンからシャープピークと、ブロー
ドピークを分離し、式（２）を用いて計算された結晶化
度を表１に示した。

【００３２】なお、実施例１〜４における得られたペロ
ブスカイト型複合酸化物粉末の特性は下記方法によって
測定した。

【００３３】得られたペロブスカイト型複合酸化物粉末
の誘電特性を、直接測定することは粉末の誘電特性を測
定することであり、測定技術上大変困難である。しかも
測定された誘電特性の信頼性は乏しい。一般的に知られ
ているように、ペロブスカイト型複合酸化物においては
良好な結晶性を有する、すなわち結晶中にペロブスカイ
ト型誘電性結晶相を多く含有するものは高誘電性である
ため、調製したペロブスカイト型複合酸化物粉末を、Ｘ
線回折実験により、回折パターンを観測し、その結晶性
を、２θ＝１０〜４０度の間で式（２）により結晶性の
度合である結晶化度として見積り、従来法により製造し
たペロブスカイト型複合酸化物粉末と比較した。 式（２） 結晶化度＝（Ｘ／（Ｘ＋Ｙ））×１００ Ｘ；結晶質積分強度 Ｙ；非晶質積分強度

【００３４】上記式（２）において結晶質積分強度はＸ
線回折パターンのシャープピークの面積積分であり、非
晶質積分強度はＸ線回折パターンのブロードピークの面
積積分である。測定したＸ線回折パターンからシャープ
ピークと、ブロードピークを分離し、式（２）を用いて
結晶化度を計算した。

【００３５】なおＸ線回折装置は、日本電子社製Ｘ線回
折実験装置ＪＤＸ−８０３０を使用した。

【００３６】比較例 市販のチタン酸バリウム粉末、チタン酸ストロンチウム
粉末のＸ線回折実験を行なった結果、実施例１および３
とほぼ同程度の結晶化度であった。

【００３７】

【表１】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 光吉 裕介 東京都中央区京橋二丁目３番13号 東洋イ ンキ製造株式会社内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ｉ）２種類以上の金属元素を有するア
   ルコキシドの少なくとも一種類、 （ＩＩ）１種類の金属元素を有するアルコキシドの少な
   くとも１種類、 （Ｉ）および／または（ＩＩ）（ただし、（ＩＩ）のみ
   の場合には、金属元素が２種類以上となる混合物。）を
   用いた熱プラズマによるペロブスカイト型複合酸化物粉
   末の製造方法。
2. 【請求項２】 一般式（１）で表されるペロブスカイト
   型複合酸化物において、Ａの金属元素が元素周期律表の
   第IB族、第IIA 族、第IIB 族、第IIIA族、第IVB 族、第
   VB族、第VIII族から選ばれる少なくとも１種類以上であ
   り、Ｂの金属元素が元素周期律表の第IVA 族、第IVB
   族、第 VB 族から選ばれる少なくとも１種類以上を有す
   るアルコキシドを用いることを特徴とする請求項１記載
   のペロブスカイト型複合酸化物粉末の製造方法。 一般式（１） ＡＢＯ₃
3. 【請求項３】 一般式（１）において、Ａの金属元素が
   元素周期律表の第IB族、第IIA 族、第IIB 族、第IIIA
   族、第IVB 族、第VB族、第VIII族から選ばれる少なくと
   も１種類以上であり、Ｂの金属元素が元素周期律表の第
   IVA 族、第IVB 族、第 VB 族から選ばれる少なくとも１
   種類以上を有するアルコキシドの加水分解生成物を用い
   ることを特徴とする請求項１記載のペロブスカイト型複
   合酸化物粉末の製造方法。
4. 【請求項４】 一般式（１）において、Ａの金属元素が
   元素周期律表の第 IIA族、第IVB 族から選ばれる少なく
   とも１種類以上であり、Ｂの金属元素が元素周期律表の
   第IVA 族、第IVB 族、第 VB 族から選ばれる少なくとも
   １種類以上を有するアルコキシドを用いることを特徴と
   する請求項１記載のペロブスカイト型複合酸化物粉末の
   製造方法。
5. 【請求項５】 一般式（１）において、Ａの金属元素が
   元素周期律表の第 IIA族、第IVB 族から選ばれる少なく
   とも１種類以上であり、Ｂの金属元素が元素周期律表の
   第IVA 族、第IVB 族、第 VB 族から選ばれる少なくとも
   １種類以上を有するアルコキシドの加水分解生成物を用
   いることを特徴とする請求項１記載のペロブスカイト型
   複合酸化物粉末の製造方法。
6. 【請求項６】 熱プラズマ源として高周波誘導プラズ
   マ、マイクロ波誘導プラズマまたは直流アークプラズマ
   を用いることを特徴とする請求項１ないし５いずれか記
   載のペロブスカイト型複合酸化物粉末を製造する方法。