JPH0590238A - 回転式基板処理装置の基板回転保持具 - Google Patents
回転式基板処理装置の基板回転保持具Info
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- JPH0590238A JPH0590238A JP27691591A JP27691591A JPH0590238A JP H0590238 A JPH0590238 A JP H0590238A JP 27691591 A JP27691591 A JP 27691591A JP 27691591 A JP27691591 A JP 27691591A JP H0590238 A JPH0590238 A JP H0590238A
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- H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構成を簡素化し、オリエンテーションフラッ
ト等の切り欠きを有する基板でも基板の向きを整合する
必要が無く、しかも、上記切り欠きの有無に関係なく、
基板を空転することなく回転保持できる基板の回転保持
具を提供する。 【構成】 水平回転自在に設けられた回転台1と、回転
台1上に配置付設された複数の基板支持部3及び空転規制
部4とにより回転式基板処理装置の基板回転保持具を構
成する。上記各基板支持部3で円形ないし略円形の基板W
を回転台1の上面から離間させて水平に支持する。上記
各空転規制部4に内接する内接円Rの中心Gが回転台1の回
転中心Zから偏位するように、各空転規制部4を円形に配
置し、各空転規制部4に上記基板Wの外周縁を当接させ、
その偏位に伴う遠心作用により当該基板Wを回転台1と一
体回転させる。
ト等の切り欠きを有する基板でも基板の向きを整合する
必要が無く、しかも、上記切り欠きの有無に関係なく、
基板を空転することなく回転保持できる基板の回転保持
具を提供する。 【構成】 水平回転自在に設けられた回転台1と、回転
台1上に配置付設された複数の基板支持部3及び空転規制
部4とにより回転式基板処理装置の基板回転保持具を構
成する。上記各基板支持部3で円形ないし略円形の基板W
を回転台1の上面から離間させて水平に支持する。上記
各空転規制部4に内接する内接円Rの中心Gが回転台1の回
転中心Zから偏位するように、各空転規制部4を円形に配
置し、各空転規制部4に上記基板Wの外周縁を当接させ、
その偏位に伴う遠心作用により当該基板Wを回転台1と一
体回転させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハのよう
にオリエンテーションフラットやノッチ等の切り欠きが
形成された略円形の基板、あるいは光ディスク用基板等
のように全く切り欠きを有しない円形の基板を回転台に
載置し、基板の上面に洗浄液やエッチング液等の各種処
理液を供給する回転式基板処理装置に関し、特に回転式
基板処理装置において基板を回転保持する回転保持具に
関する。
にオリエンテーションフラットやノッチ等の切り欠きが
形成された略円形の基板、あるいは光ディスク用基板等
のように全く切り欠きを有しない円形の基板を回転台に
載置し、基板の上面に洗浄液やエッチング液等の各種処
理液を供給する回転式基板処理装置に関し、特に回転式
基板処理装置において基板を回転保持する回転保持具に
関する。
【0002】
【従来の技術】この種の装置としては従来より、例えば
図7に示すもの(以下従来例1という)、あるいは図8
〜図9に示すもの(以下従来例2という)が知られてい
る。
図7に示すもの(以下従来例1という)、あるいは図8
〜図9に示すもの(以下従来例2という)が知られてい
る。
【0003】従来例1は、本出願人の提案により特公平
3−9607号公報に開示されたもので、水平回転自在
に設けられた回転台51と、回転台51の上面に付設さ
れた複数の基板保持部材52・52とを具備してなり、
基板保持部材52の内のいくつかを可動爪52aとして
構成し、可動爪52aの基板支持部53で円形ないし略
円形の基板Wを回転台51の上面から離間して水平に支
持するとともに、その基板Wを爪部54で挟持して回転
台51上に保持するように構成されている。なお同図中
の符号55は可動爪操作リンク、56はリンク回動板で
あり、図示しない付勢手段にて爪部54が基板Wを挟持
した状態で、基板Wは回転台51と一体回転する。
3−9607号公報に開示されたもので、水平回転自在
に設けられた回転台51と、回転台51の上面に付設さ
れた複数の基板保持部材52・52とを具備してなり、
基板保持部材52の内のいくつかを可動爪52aとして
構成し、可動爪52aの基板支持部53で円形ないし略
円形の基板Wを回転台51の上面から離間して水平に支
持するとともに、その基板Wを爪部54で挟持して回転
台51上に保持するように構成されている。なお同図中
の符号55は可動爪操作リンク、56はリンク回動板で
あり、図示しない付勢手段にて爪部54が基板Wを挟持
した状態で、基板Wは回転台51と一体回転する。
【0004】また従来例2は図8〜図9に示すように、
水平回転自在に設けられた回転台101と、回転台10
1上に配置付設された複数の基板保持部材102とから
成り、複数の基板保持部材102の各基板支持部103
で略円形の基板Wを回転台101の上面から離間して水
平に支持する。そしてこの従来例では、基板保持部材1
02の各空転規制部104に基板Wの外周縁を当接さ
せ、特に基板保持部材102の1つ102aを基板Wの
オリエンテーションフラットW0に対応させて、他の基
板保持部材よりも基板の中心側に偏位させて配置し、そ
の余の空転規制部103は、それに内接する内接円Rの
中心Gが回転台101の回転中心Zと一致するように配
置されている。
水平回転自在に設けられた回転台101と、回転台10
1上に配置付設された複数の基板保持部材102とから
成り、複数の基板保持部材102の各基板支持部103
で略円形の基板Wを回転台101の上面から離間して水
平に支持する。そしてこの従来例では、基板保持部材1
02の各空転規制部104に基板Wの外周縁を当接さ
せ、特に基板保持部材102の1つ102aを基板Wの
オリエンテーションフラットW0に対応させて、他の基
板保持部材よりも基板の中心側に偏位させて配置し、そ
の余の空転規制部103は、それに内接する内接円Rの
中心Gが回転台101の回転中心Zと一致するように配
置されている。
【0005】なお、この従来例2では、基板保持部材1
02aの空転規制部104bに、基板Wのオリエンテー
ションフラットW0が当接することで、回転台101上
で基板Wが空転するのが阻止され、基板W回転台101
と一体に回転する。ここで、基板の空転を阻止する基板
回転保持具を採用するのは、回転処理の最中に基板Wが
回転保持具に対して空回りすると、基板の下面が擦れて
発塵したり、処理液の流動を不均一にしたり、あるいは
基板の下面を傷つける等の弊害を生じるので、かかる弊
害を回避して円滑な回転処理を行うためである。
02aの空転規制部104bに、基板Wのオリエンテー
ションフラットW0が当接することで、回転台101上
で基板Wが空転するのが阻止され、基板W回転台101
と一体に回転する。ここで、基板の空転を阻止する基板
回転保持具を採用するのは、回転処理の最中に基板Wが
回転保持具に対して空回りすると、基板の下面が擦れて
発塵したり、処理液の流動を不均一にしたり、あるいは
基板の下面を傷つける等の弊害を生じるので、かかる弊
害を回避して円滑な回転処理を行うためである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例1は、基板
保持部材52の内のいくつかを可動爪52aとして構成
したことから、その構成が複雑でコスト高を招く。また
従来例2は、基板保持部材102の内の1つ102aを
基板WのオリエンテーションフラットW0に対応させて
配置したことから、基板Wの着脱に際して、回転台10
1の方向と基板Wの方向とを共に整合させる必要があ
る。このため、基板の供給装置側と回転台101側とに
それぞれ回転位置整合手段を設ける必要がある。
保持部材52の内のいくつかを可動爪52aとして構成
したことから、その構成が複雑でコスト高を招く。また
従来例2は、基板保持部材102の内の1つ102aを
基板WのオリエンテーションフラットW0に対応させて
配置したことから、基板Wの着脱に際して、回転台10
1の方向と基板Wの方向とを共に整合させる必要があ
る。このため、基板の供給装置側と回転台101側とに
それぞれ回転位置整合手段を設ける必要がある。
【0007】また近年ではオリエンテーションフラット
W0に代えて、V字状に切り欠いたノッチを有する基板
が登場するようになってきたが、ノッチはオリエンテー
ションフラットW0ほど基板の中心へ大きく入り込んだ
切り欠きではないので、ノッチに対応させて空転規制部
を少し偏位させるだけでは基板の空転を阻止することが
困難であり、また、光ディスク基板のように全く切り欠
きのない円形の基板では、空転規制部を偏位させること
もできず、なおさら基板が空回りするのを阻止すること
が困難である。従って、従来例2では、オリエンテーシ
ョンフラットが形成された半導体ウエハのように、ある
程度大きな切り欠きを有する基板しか、回転保持の対象
とすることができない。
W0に代えて、V字状に切り欠いたノッチを有する基板
が登場するようになってきたが、ノッチはオリエンテー
ションフラットW0ほど基板の中心へ大きく入り込んだ
切り欠きではないので、ノッチに対応させて空転規制部
を少し偏位させるだけでは基板の空転を阻止することが
困難であり、また、光ディスク基板のように全く切り欠
きのない円形の基板では、空転規制部を偏位させること
もできず、なおさら基板が空回りするのを阻止すること
が困難である。従って、従来例2では、オリエンテーシ
ョンフラットが形成された半導体ウエハのように、ある
程度大きな切り欠きを有する基板しか、回転保持の対象
とすることができない。
【0008】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、イ.構成の簡素化により製造コストの低減を
図ること、ロ.オリエンテーションフラットW0のよう
な大きな切り欠きを有する基板を基板回転保持具に載置
する際に、基板の切り欠きの向きと基板回転保持具の向
きとが整合するように、基板の向きを位置決めすること
を不要にすること、ハ.オリエンテーションフラットW
0のような大きな切り欠きではなく、ノッチしか有しな
い略円形の基板や、全く切り欠きを有しない円形の基板
でも、空回りすることなく回転保持できる基板の回転保
持具を提供すること、を技術課題とする。
たもので、イ.構成の簡素化により製造コストの低減を
図ること、ロ.オリエンテーションフラットW0のよう
な大きな切り欠きを有する基板を基板回転保持具に載置
する際に、基板の切り欠きの向きと基板回転保持具の向
きとが整合するように、基板の向きを位置決めすること
を不要にすること、ハ.オリエンテーションフラットW
0のような大きな切り欠きではなく、ノッチしか有しな
い略円形の基板や、全く切り欠きを有しない円形の基板
でも、空回りすることなく回転保持できる基板の回転保
持具を提供すること、を技術課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するものとして、以下のように構成される。即ち、円形
ないし略円形の基板を水平回転し、基板の上面に処理液
を供給する回転式基板処理装置において、円形ないし略
円形の基板を載置する回転台と、回転台に設けられて、
基板の外縁が当接することにより基板を回転台と一体に
回転するよう規制する空転規制部とから成り、空転規制
部を、回転台の回転中心から偏位した円形に沿って配備
することを特徴とする回転式基板処理装置の基板回転保
持具である。
するものとして、以下のように構成される。即ち、円形
ないし略円形の基板を水平回転し、基板の上面に処理液
を供給する回転式基板処理装置において、円形ないし略
円形の基板を載置する回転台と、回転台に設けられて、
基板の外縁が当接することにより基板を回転台と一体に
回転するよう規制する空転規制部とから成り、空転規制
部を、回転台の回転中心から偏位した円形に沿って配備
することを特徴とする回転式基板処理装置の基板回転保
持具である。
【0010】
【作 用】本発明は、上記各空転規制部に内接する内接
円の中心が回転台の回転中心から偏位するように、各空
転規制部を円形に配置したことから、円形ないし略円形
の基板を回転台上に載置したとき、当該基板の重心位置
は回転台の回転中心から偏位する。従って回転台を回転
したとき、当該基板には重心位置の偏位に伴う遠心力が
作用し、基板を偏位方向に位置する空転規制部に押圧付
勢する。この押圧付勢により当該基板は回転台と一体回
転する。これにより、従来例1のような可動爪は不要と
なり、また従来例2のように、基板保持部材を基板Wの
オリエンテーションフラットに対応させて配置する必要
もなくなる。
円の中心が回転台の回転中心から偏位するように、各空
転規制部を円形に配置したことから、円形ないし略円形
の基板を回転台上に載置したとき、当該基板の重心位置
は回転台の回転中心から偏位する。従って回転台を回転
したとき、当該基板には重心位置の偏位に伴う遠心力が
作用し、基板を偏位方向に位置する空転規制部に押圧付
勢する。この押圧付勢により当該基板は回転台と一体回
転する。これにより、従来例1のような可動爪は不要と
なり、また従来例2のように、基板保持部材を基板Wの
オリエンテーションフラットに対応させて配置する必要
もなくなる。
【0011】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図1は本発明の実施例に係る回転保持具の平面図、
図2はその側面図、図3は図2の要部拡大断面図、図4
は上記基板回転保持具を備えた回転式基板処理装置の一
部を切り欠いた側面図である。
る。図1は本発明の実施例に係る回転保持具の平面図、
図2はその側面図、図3は図2の要部拡大断面図、図4
は上記基板回転保持具を備えた回転式基板処理装置の一
部を切り欠いた側面図である。
【0012】この回転式基板処理装置は、図4に示すよ
うに、モータ21によって回転駆動される基板回転保持
具20と、基板Wの上面に、例えば酸やアルカリ、各種
溶剤、純水等からなる洗浄液や、フォトレジスト液、現
像液、あるいはエッチング液等の各種処理液を供給する
処理液供給ノズル22と、モータ21の回転駆動軸を挿
通し、基板Wの側方及び下方を囲って、基板Wから飛散
する処理液を回収する処理液回収カップ23とを具備し
て成り、基板回転保持具20で保持した基板Wの上面
に、所要の処理液を供給して、基板Wの表面処理をする
ように構成されている。
うに、モータ21によって回転駆動される基板回転保持
具20と、基板Wの上面に、例えば酸やアルカリ、各種
溶剤、純水等からなる洗浄液や、フォトレジスト液、現
像液、あるいはエッチング液等の各種処理液を供給する
処理液供給ノズル22と、モータ21の回転駆動軸を挿
通し、基板Wの側方及び下方を囲って、基板Wから飛散
する処理液を回収する処理液回収カップ23とを具備し
て成り、基板回転保持具20で保持した基板Wの上面
に、所要の処理液を供給して、基板Wの表面処理をする
ように構成されている。
【0013】この実施例に係る基板回転保持具20は、
図1〜図2に示すように、モータ21によって水平回転
される回転台1と、回転台1上の周縁部に配置付設され
た複数の基板保持部材2とを具備して成る。上記各基板
保持部材2は、図3で示すように、基端ねじ部2aと基
板支持部3及び空転規制部4とを一体に形成して成り、
基端ねじ部2aが回転台1にねじ込み固定されている。
そして各基板支持部3のゆるい円錐面で円形基板Wの外
周部を支えて、基板Wを回転台1から離間して水平に支
持するとともに、各空転規制部4に円形基板Wの外周縁
が当接するように構成されている。
図1〜図2に示すように、モータ21によって水平回転
される回転台1と、回転台1上の周縁部に配置付設され
た複数の基板保持部材2とを具備して成る。上記各基板
保持部材2は、図3で示すように、基端ねじ部2aと基
板支持部3及び空転規制部4とを一体に形成して成り、
基端ねじ部2aが回転台1にねじ込み固定されている。
そして各基板支持部3のゆるい円錐面で円形基板Wの外
周部を支えて、基板Wを回転台1から離間して水平に支
持するとともに、各空転規制部4に円形基板Wの外周縁
が当接するように構成されている。
【0014】そして図1に示すように、上記各基板保持
部材2は、その空転規制部4に内接する内接円Rの中心
Gが回転台1の回転中心ZからLだけ偏位するように、
円形に配置され、円形ないし円形の基板Wの偏位に伴う
前記遠心作用により、当該基板Wを回転台1と一体回転
させるように構成されている。従って従来例1のような
可動爪は不要となり、また従来例2のように、基板保持
部材を基板WのオリエンテーションフラットW0に対応
させて配置する必要もなくなる。
部材2は、その空転規制部4に内接する内接円Rの中心
Gが回転台1の回転中心ZからLだけ偏位するように、
円形に配置され、円形ないし円形の基板Wの偏位に伴う
前記遠心作用により、当該基板Wを回転台1と一体回転
させるように構成されている。従って従来例1のような
可動爪は不要となり、また従来例2のように、基板保持
部材を基板WのオリエンテーションフラットW0に対応
させて配置する必要もなくなる。
【0015】なお、本発明は上記実施例に限るものでは
なく、例えば図5で示すように、基板支持部3及び空転
規制部4とを別体に形成してもよい。また、本発明の特
許請求の範囲でいう「回転体」の形状は、前記実施例の
ように円盤状、つまり円形の板状体であるものに限ら
ず、例えば図6で示すように、花弁のように放射状に斜
め上方へ延出する8つの腕状の部分から成る放射状支持
部材11でもよく、その形状については限定しない。ま
た、基板保持部材2は、前記実施例のように、回転台1
にねじ込み式に固定するものに限らず、例えば基板保持
部材2と回転台1とが一体形成された単一の部材であっ
てもよい。また、図5に示す実施例において、基板支持
部3を設けずに、基板Wを回転台1にじか置きするよう
にしてもよい。その他、本発明に係る基板回転保持具
は、前記実施例に示すものに適宜変更を加えて実施し得
ることは、多言を要しない。
なく、例えば図5で示すように、基板支持部3及び空転
規制部4とを別体に形成してもよい。また、本発明の特
許請求の範囲でいう「回転体」の形状は、前記実施例の
ように円盤状、つまり円形の板状体であるものに限ら
ず、例えば図6で示すように、花弁のように放射状に斜
め上方へ延出する8つの腕状の部分から成る放射状支持
部材11でもよく、その形状については限定しない。ま
た、基板保持部材2は、前記実施例のように、回転台1
にねじ込み式に固定するものに限らず、例えば基板保持
部材2と回転台1とが一体形成された単一の部材であっ
てもよい。また、図5に示す実施例において、基板支持
部3を設けずに、基板Wを回転台1にじか置きするよう
にしてもよい。その他、本発明に係る基板回転保持具
は、前記実施例に示すものに適宜変更を加えて実施し得
ることは、多言を要しない。
【0016】
【発明の効果】本発明は、上記各空転規制部に内接する
内接円の中心が回転台の回転中心から偏位するように、
各空転規制部を円形に配置したことから、以下の効果を
奏する。 イ.円形ないし略円形の基板を回転台上に載置したと
き、基板の重心位置が回転台の回転中心から偏位し、こ
の重心位置の偏位に伴う遠心作用により、基板は回転台
と一体回転するので、従来例1のような可動爪は不要と
なり、構造の簡素化により製造コストの低減を図ること
ができる。 ロ.また、基板を基板保持具に載置する際に、従来例2
のように、基板Wのオリエンテーションフラットの向き
と基板回転保持具の向きとが整合するように、基板の向
きを位置決めすることが不要になり、回転式基板処理装
置への基板の搬入に要する作業時間が節約でき、基板の
向きを整合するための装置も不要にできる。 ハ.オリエンテーションフラットのような大きな切り欠
きではなく、ノッチしか有しない略円形の基板や、全く
切り欠きを有しない円形の基板でも、空回りすることな
く回転保持できる。
内接円の中心が回転台の回転中心から偏位するように、
各空転規制部を円形に配置したことから、以下の効果を
奏する。 イ.円形ないし略円形の基板を回転台上に載置したと
き、基板の重心位置が回転台の回転中心から偏位し、こ
の重心位置の偏位に伴う遠心作用により、基板は回転台
と一体回転するので、従来例1のような可動爪は不要と
なり、構造の簡素化により製造コストの低減を図ること
ができる。 ロ.また、基板を基板保持具に載置する際に、従来例2
のように、基板Wのオリエンテーションフラットの向き
と基板回転保持具の向きとが整合するように、基板の向
きを位置決めすることが不要になり、回転式基板処理装
置への基板の搬入に要する作業時間が節約でき、基板の
向きを整合するための装置も不要にできる。 ハ.オリエンテーションフラットのような大きな切り欠
きではなく、ノッチしか有しない略円形の基板や、全く
切り欠きを有しない円形の基板でも、空回りすることな
く回転保持できる。
【図1】本発明の実施例に係る回転保持具の平面図であ
る。
る。
【図2】本発明の実施例に係る回転保持具の側面図であ
る。
る。
【図3】図2の要部拡大断面図である。
【図4】本発明に係る基板回転保持具を備えた回転式基
板処理装置の一部を切り欠いた側面図である。
板処理装置の一部を切り欠いた側面図である。
【図5】本発明の別の実施例に係る基板回転保持具の側
面図である。
面図である。
【図6】本発明のさらに別の実施例に係る基板回転保持
具の側面図である。
具の側面図である。
【図7】従来例1の基板回転保持具の側面図である。
【図8】従来例2の基板回転保持具の平面図である。
【図9】従来例2の基板回転保持具の側面図である。
1…回転台、 3…基板支持部、 4…空転
規制部、W…基板、 R…内接円、 G…内
接円の中心、Z…回転台の回転中心。
規制部、W…基板、 R…内接円、 G…内
接円の中心、Z…回転台の回転中心。
Claims (1)
- 【請求項1】 円形ないし略円形の基板を水平回転し、
基板の上面に処理液を供給する回転式基板処理装置にお
いて、 円形ないし略円形の基板を載置する回転台と、回転台に
設けられて、基板の外縁が当接することにより基板を回
転台と一体に回転するよう規制する空転規制部とから成
り、 空転規制部を、回転台の回転中心から偏位した円形に沿
って配備することを特徴とする回転式基板処理装置の基
板回転保持具。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27691591A JPH0590238A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 回転式基板処理装置の基板回転保持具 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27691591A JPH0590238A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 回転式基板処理装置の基板回転保持具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=17576164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27691591A Pending JPH0590238A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 回転式基板処理装置の基板回転保持具 |
Country Status (2)
Country | Link |
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