JPH0569171A - Liquid crystal mask type laser marker - Google Patents
Liquid crystal mask type laser markerInfo
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- JPH0569171A JPH0569171A JP3227842A JP22784291A JPH0569171A JP H0569171 A JPH0569171 A JP H0569171A JP 3227842 A JP3227842 A JP 3227842A JP 22784291 A JP22784291 A JP 22784291A JP H0569171 A JPH0569171 A JP H0569171A
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はレーザ装置に係り、特
に、ワンショットごとに刻印内容を変化できる液晶マス
ク式レーザマーカに用いられる液晶マスク製作方法に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser device, and more particularly to a method of manufacturing a liquid crystal mask used for a liquid crystal mask type laser marker whose marking content can be changed for each shot.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、レーザパターン光を得る方式とし
ては、レーザ発振器より得られるパルスレーザ光を打ち
抜き板のような金属製マスクに代表されるパターン形成
手段に照射することによって、レーザ光の一部を遮り、
パターン光を形成する手段が知られている。得られるレ
ーザパターン光を結像することにより行われるレーザマ
ーキングは、電子部品製造産業界で広く普及している。
パターン形成用マスクとして金属製マスク,ガラスマス
クなどのレーザ光遮蔽型と、液晶素子を用いた液晶マス
クなどのレーザ光透過型が知られている。このうち、液
晶マスク方式は、外部よりマーキングパターンを自由に
変更できるので近年注目されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of obtaining a laser pattern light, a pulsed laser light obtained from a laser oscillator is irradiated onto a pattern forming means typified by a metal mask such as a punched plate to obtain one of the laser light. Block the part,
Means for forming patterned light are known. Laser marking performed by forming an image of the obtained laser pattern light is widely used in the electronic component manufacturing industry.
As a pattern forming mask, a laser light shielding type such as a metal mask and a glass mask, and a laser light transmitting type such as a liquid crystal mask using a liquid crystal element are known. Among them, the liquid crystal mask method has recently attracted attention because the marking pattern can be freely changed from the outside.
【0003】液晶マスクは、ディスプレイ用などに広く
普及している液晶素子と同様の製法で製作されている
が、レーザ光を透過するため、レーザ光の波長に対して
反射・吸収を少なくするような構成が検討されている。
例えば、使用されている材質を検討したり、液晶マスク
表面に、直接、使用するレーザ波長に対する減反射コー
ティングを施す方式がある。この種の液晶マスク構成に
関するものには、例えば、特開平1−176564 号公報が挙
げられる。The liquid crystal mask is manufactured by a manufacturing method similar to that of liquid crystal elements that are widely used for displays, etc., but since it transmits laser light, it is necessary to reduce reflection / absorption for the wavelength of laser light. Different configurations are being considered.
For example, there is a method in which the material used is examined or the surface of the liquid crystal mask is directly coated with an antireflection coating for the laser wavelength used. An example of this type of liquid crystal mask structure is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-176564.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術のうち、
液晶マスク表面に直接、減反射コーティングを施す方式
は、ガラスと空気の屈折率差に起因する反射を低減さ
せ、レーザ透過率を約8%向上することが期待できる。
しかし、実際の製作上は、次のような問題の発生が懸念
される。まず、減反射コーティングを施したガラス板を
用いて液晶封入作業を行うと、洗浄,搬送,加熱乾燥,
圧着などの工程上、コーティングに傷がつき、その性能
が損なわれてしまう恐れがある。コーティングを保護す
るために液晶マスク専用の製造ラインを構築するので
は、製品単価が高くなってしまう。次に、液晶封入作業
を終了した液晶マスクに減反射コーティングを施す方式
を考えると、コーティングするためには液晶マスクを真
空釜内で300℃以上の高温に加熱しなければならず、
液晶封止用に使用している接着材が剥離してしまう恐れ
がある。Of the above-mentioned conventional techniques,
The method of directly applying the antireflection coating on the surface of the liquid crystal mask is expected to reduce reflection caused by the difference in refractive index between glass and air and improve the laser transmittance by about 8%.
However, in actual production, the following problems may occur. First of all, when the liquid crystal encapsulation work is performed using the glass plate with the antireflection coating, cleaning, transportation, heat drying,
There is a risk that the coating may be damaged during the process of pressure bonding and the performance thereof may be impaired. If a dedicated production line for liquid crystal masks is constructed to protect the coating, the product unit price will increase. Next, considering the method of applying antireflection coating to the liquid crystal mask that has completed the liquid crystal encapsulation work, in order to perform coating, the liquid crystal mask must be heated to a high temperature of 300 ° C. or higher in a vacuum pot,
The adhesive used for liquid crystal sealing may peel off.
【0005】本発明の目的は、一般ディスプレー用液晶
素子と同一の工程で製作されたレーザマーカ用液晶マス
クに対して、レーザ透過率向上を図るための簡単な方法
を提供することにある。It is an object of the present invention to provide a simple method for improving the laser transmittance of a laser marker liquid crystal mask manufactured in the same process as a general display liquid crystal element.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、液晶封入ガラス両表面を挾み込むように、使用する
レーザ光に対して減反射コーティングを施した二枚のガ
ラス板を接着した。接着剤の屈折率は、接着する両ガラ
スの屈折率とほぼ等しい材質を選択した。In order to achieve the above object, two glass plates coated with antireflection coating for the laser light to be used are adhered so as to sandwich both surfaces of the liquid crystal-encapsulated glass. .. The refractive index of the adhesive was selected to be approximately the same as the refractive index of the two glasses to be bonded.
【0007】[0007]
【作用】液晶マスクの空気に接するガラス表面が、使用
するレーザ光に対する減反射コーティングで覆われるこ
とにより、液晶マスクに照射されるレーザ光がガラス表
面で反射されることが無くなる。また、接着する両ガラ
スの屈折率と接着剤の屈折率がほぼ等しいため、接着部
での反射損失は問題にならない。The glass surface of the liquid crystal mask which is in contact with the air is covered with the antireflection coating for the laser light used, so that the laser light applied to the liquid crystal mask is not reflected by the glass surface. Further, since the refractive indexes of the two glasses to be bonded and the refractive index of the adhesive are substantially equal to each other, the reflection loss at the bonded portion does not matter.
【0008】従って、液晶マスクのレーザ透過率を向上
することができる。Therefore, the laser transmittance of the liquid crystal mask can be improved.
【0009】[0009]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1,図2により
説明する。レーザ発振器1より出射されたレーザ光2
は、マスク制御部3によりパターンが形成されている液
晶マスク4に照射される。液晶マスク4を透過したレー
ザ光5は、折り返し鏡6で加工光学系7に導かれ、被加
工物8の表面に結像され、マーキングが行われる。この
ようなシステムで、液晶マスク4は、ディスプレイなど
に用いられている一般的な液晶素子と同一の液晶封入工
程により製作された素子9の大気側に、レーザ光2に対
して減反射コーティング10a,10bを施したガラス
板11a,11bを接着した。これにより、レーザ光2が
入射する大気側面より液晶マスク4中心の液晶層12ま
での断面構造は、大気側より、減反射コーティング10
a,ガラス板11a,接着剤13,液晶封入ガラス1
4,透明電極15,液晶配向膜16,液晶層12の順に
続くことになる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. Laser light 2 emitted from laser oscillator 1
Is applied to the liquid crystal mask 4 on which the pattern is formed by the mask controller 3. The laser light 5 transmitted through the liquid crystal mask 4 is guided to the processing optical system 7 by the folding mirror 6 and is imaged on the surface of the workpiece 8 for marking. In such a system, the liquid crystal mask 4 is provided with an antireflection coating 10a for the laser light 2 on the atmosphere side of an element 9 manufactured by the same liquid crystal encapsulation process as a general liquid crystal element used for a display or the like. , 10b are adhered to the glass plates 11a and 11b. As a result, the cross-sectional structure from the side of the atmosphere on which the laser light 2 is incident to the liquid crystal layer 12 at the center of the liquid crystal mask 4 is from the atmosphere side to the antireflection coating 10.
a, glass plate 11a, adhesive 13, liquid crystal filled glass 1
4, the transparent electrode 15, the liquid crystal alignment film 16, and the liquid crystal layer 12 are successively arranged.
【0010】接着剤13の屈折率は、ガラス板11a,
液晶封入ガラス14それぞれとほぼ等しい屈折率を持つ
ものを使用している。具体的には、使用しているガラス
の屈折率が1.45から1.52であるから、この範囲の
屈折率を有する接着剤であれば、接着層の反射率は0.
1% 以下にすることができる。The refractive index of the adhesive 13 is such that the glass plate 11a,
Each of the liquid crystal encapsulation glasses 14 has a refractive index substantially equal to that of the glass. Specifically, since the glass used has a refractive index of 1.45 to 1.52, an adhesive having a refractive index in this range has a reflectance of the adhesive layer of 0.5.
It can be 1% or less.
【0011】本実施例によれば、液晶マスクの空気に接
するガラス表面が、使用するレーザ光に対する減反射コ
ーティング、たとえば、フッ化マグネシウム(Mg
F),アルミナ(Al2O3)で覆われることにより、液
晶マスクに照射されるレーザ光がマスク表面で反射され
ることが無くなり、液晶マスクのレーザ透過率を向上す
ることができる。しかも、常温で接着するという簡単な
方法だけなので、液晶封入作業後の液晶マスクに対して
加熱する必要もなく、あらかじめ減反射コーティングを
施したガラス板を使用して液晶封入作業を行う場合に必
要となる専用の製造ラインをも必要としない。According to the present embodiment, the glass surface of the liquid crystal mask which is in contact with the air is provided with an antireflection coating for the laser light used, for example, magnesium fluoride (Mg).
F) and by being covered with alumina (Al 2 O 3 ), the laser beam applied to the liquid crystal mask is not reflected on the mask surface, and the laser transmittance of the liquid crystal mask can be improved. Moreover, since it is only a simple method of bonding at room temperature, it is not necessary to heat the liquid crystal mask after the liquid crystal encapsulation work, and it is necessary when performing the liquid crystal encapsulation work using a glass plate that has been pre-reflective coated. There is no need for a dedicated production line.
【0012】以上の実施例では、それぞれ基本的な構成
についてのみ記載しており、各要素の機能を引き出すた
めの補助的要素、例えば、液晶マスクとしてツィスト・
ネマチック液晶素子を用いた場合に偏光板を取り付けた
り、加工用のレンズ群などが付加されても効果は変わる
ものではない。In the above embodiments, only the basic structure is described, and auxiliary elements for bringing out the function of each element, for example, a twist mask as a liquid crystal mask.
Even if a polarizing plate is attached or a lens group for processing is added when a nematic liquid crystal element is used, the effect does not change.
【0013】また、実施例ではレーザ発振器としてパル
ス励起レーザを用いたシステムを考えて説明を行った
が、連続励起レーザ光を用いたシステムに適用しても、
パターン形成素子として液晶マスクを用いるかぎりで
は、効果は変わるものではない。Further, in the embodiment, the explanation has been made by considering the system using the pulsed pump laser as the laser oscillator, but even if it is applied to the system using the continuous pump laser light,
As long as the liquid crystal mask is used as the pattern forming element, the effect does not change.
【0014】[0014]
【発明の効果】本発明によれば、一般液晶素子製造技術
を適用しながら、簡便で安価な方法でレーザマーカ用と
して適した液晶マスクが製作できる。According to the present invention, a liquid crystal mask suitable for a laser marker can be manufactured by a simple and inexpensive method while applying general liquid crystal element manufacturing technology.
【0015】また、液晶マスクのレーザ透過率が約8%
向上した分、大面積マーキング,マーキングシステム全
体から見た効率向上が期待される。Further, the laser transmittance of the liquid crystal mask is about 8%.
As a result of the improvements, it is expected that efficiency will be improved from the perspective of the large area marking and marking system as a whole.
【図1】液晶マスクレーザマーキングシステムのブロッ
ク図。FIG. 1 is a block diagram of a liquid crystal mask laser marking system.
【図2】液晶マスク断面図。FIG. 2 is a sectional view of a liquid crystal mask.
1…レーザ発振器、2…レーザ光、3…マスク制御部、
4…液晶マスク、5…液晶マスクを透過したレーザ光、
6…折り返し鏡、7…加工光学系、8…被加工物、9…
素子、10a,10b…減反射コーティング、11a,
11b…ガラス板。1 ... Laser oscillator, 2 ... Laser light, 3 ... Mask control unit,
4 ... Liquid crystal mask, 5 ... Laser light transmitted through the liquid crystal mask,
6 ... Folding mirror, 7 ... Machining optical system, 8 ... Workpiece, 9 ...
Element, 10a, 10b ... Antireflection coating, 11a,
11b ... a glass plate.
Claims (2)
情報を与えた液晶マスクと、レーザ発振器から出射され
るレーザ光を前記液晶マスクに照射する手段と、上記液
晶マスクを透過したレーザ光を被加工面に照射させるレ
ンズ系とを少なくとも備えた液晶マスク式レーザマーカ
において、前記液晶マスクは、液晶封入作業後の外郭を
形成する液晶封入ガラス表面に、前記レーザ光に対する
減反射コーティングを施したガラス板を接着することに
より製作されていることを特徴とする液晶マスク式レー
ザマーカ。1. A liquid crystal mask to which marking pattern information to be imprinted is given from the outside, means for irradiating the liquid crystal mask with laser light emitted from a laser oscillator, and laser light transmitted through the liquid crystal mask to be processed. In a liquid crystal mask type laser marker including at least a lens system for irradiating a surface, the liquid crystal mask comprises a glass plate on which a liquid crystal-encapsulated glass surface forming an outline after liquid crystal encapsulation work is subjected to antireflection coating for the laser light. A liquid crystal mask type laser marker, which is manufactured by bonding.
表面に、前記減反射コーティングを施したガラス板を接
着するために用いる接着剤は、前記液晶封入ガラスおよ
び前記減反射コーティングを施したガラスの屈折率とほ
ぼ等しい屈折率をもつ液晶マスク式レーザマーカ。2. The adhesive used for bonding the glass plate having the antireflection coating to the surface of the liquid crystal encapsulating glass according to claim 1, wherein the liquid crystal encapsulating glass and the glass having the antireflection coating are used. Liquid crystal mask type laser marker with a refractive index almost equal to that of.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3227842A JPH0569171A (en) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Liquid crystal mask type laser marker |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3227842A JPH0569171A (en) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Liquid crystal mask type laser marker |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0569171A true JPH0569171A (en) | 1993-03-23 |
Family
ID=16867226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3227842A Pending JPH0569171A (en) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Liquid crystal mask type laser marker |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0569171A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7405779B2 (en) | 1999-01-22 | 2008-07-29 | White Electronic Designs Corp. | Super bright low reflectance liquid crystal display |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP3227842A patent/JPH0569171A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7405779B2 (en) | 1999-01-22 | 2008-07-29 | White Electronic Designs Corp. | Super bright low reflectance liquid crystal display |
US7649577B2 (en) | 1999-01-22 | 2010-01-19 | Sanelle Joseph J | Super bright low reflectance liquid crystal display |
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