JPH0566177A - 気流可視化装置 - Google Patents
気流可視化装置Info
- Publication number
- JPH0566177A JPH0566177A JP11662491A JP11662491A JPH0566177A JP H0566177 A JPH0566177 A JP H0566177A JP 11662491 A JP11662491 A JP 11662491A JP 11662491 A JP11662491 A JP 11662491A JP H0566177 A JPH0566177 A JP H0566177A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling medium
- air flow
- pipe
- detection rod
- air
- Prior art date
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- Pending
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- Aerodynamic Tests, Hydrodynamic Tests, Wind Tunnels, And Water Tanks (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 空間の環境を悪化させることなく、簡便かつ
正確に気流を可視化する。 【構成】 冷却媒体の導入管と排出管とを連通してその
内部にそなえ、周囲の空気を冷却してこの空気中の水分
を凝縮させて気流を可視化すべき検知棒１とともに、こ
の検知棒１に連結してこの検知棒１の冷却媒体の導入管
及び排出管にそれぞれ通ずる断熱導管２と、この断熱導
管２にそれぞれ連結する、冷却媒体を上記検知棒１へ不
断に供給可能な冷却媒体の供給容器３及び冷却媒体の排
出容器４とをそなえる気流可視化装置。
正確に気流を可視化する。 【構成】 冷却媒体の導入管と排出管とを連通してその
内部にそなえ、周囲の空気を冷却してこの空気中の水分
を凝縮させて気流を可視化すべき検知棒１とともに、こ
の検知棒１に連結してこの検知棒１の冷却媒体の導入管
及び排出管にそれぞれ通ずる断熱導管２と、この断熱導
管２にそれぞれ連結する、冷却媒体を上記検知棒１へ不
断に供給可能な冷却媒体の供給容器３及び冷却媒体の排
出容器４とをそなえる気流可視化装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、クリーンルームのよ
うに空気の流動状況を把握することが要請される空間に
用いて好適な、気流可視化装置に関し、特に空間の環境
を悪化させることなく、簡便かつ正確に気流を可視化で
きる装置を提案しようとするものである。
うに空気の流動状況を把握することが要請される空間に
用いて好適な、気流可視化装置に関し、特に空間の環境
を悪化させることなく、簡便かつ正確に気流を可視化で
きる装置を提案しようとするものである。
【０００２】医療分野や食品の製造もしくは半導体装置
の製造の分野において用いられるクリーンルームは、所
定の清浄度を維持することが必要であり、そのためには
定期的に換気を行ったり、また特に高清浄度が要求され
る場合には、清浄空気を供給しつつ他方から排出し、一
方向の気流を生じさせることで、塵埃を速やかに排出す
るようにしている。このようにクリーンルーム内では、
必ず空気の流れが生じているわけであるが、この空気の
流れをコントロールすることが、清浄度管理の上で重要
である。特に半導体装置の製造の際に使用されるクリー
ンルームのように高清浄度が要求される場合には、その
要請が顕著である。そのためには気流を可視化して気流
状態を把握する必要があり、気流可視化装置が望まれる
所以である。またクリーンルーム以外でも、空調設備の
近傍において、気流の方向を測定するために気流を可視
化することは特に有用である。
の製造の分野において用いられるクリーンルームは、所
定の清浄度を維持することが必要であり、そのためには
定期的に換気を行ったり、また特に高清浄度が要求され
る場合には、清浄空気を供給しつつ他方から排出し、一
方向の気流を生じさせることで、塵埃を速やかに排出す
るようにしている。このようにクリーンルーム内では、
必ず空気の流れが生じているわけであるが、この空気の
流れをコントロールすることが、清浄度管理の上で重要
である。特に半導体装置の製造の際に使用されるクリー
ンルームのように高清浄度が要求される場合には、その
要請が顕著である。そのためには気流を可視化して気流
状態を把握する必要があり、気流可視化装置が望まれる
所以である。またクリーンルーム以外でも、空調設備の
近傍において、気流の方向を測定するために気流を可視
化することは特に有用である。
【０００３】
【従来の技術】気流可視化装置として、煙草の煙、線香
の煙などを利用した装置が一般に知られている。しかし
クリーンルームへ適用しようとすると、かかる煙がクリ
ーンルーム内の清浄度を劣化させ、クリーンルーム内の
製造装置や被処理材を汚染させる問題があるため、実際
に適用することはできない。またタフトにより可視化す
る方法もあるが、１本の水平方向に張った糸に、ある間
隔毎に糸をたらし、その動きにより気流を見る方法であ
って、細い糸を使用するために取扱いが容易でなく、か
つ見やすさの面でも問題を残していた。その他、純水を
蒸発させた後、直ちに急冷し、凝縮させてノズル等から
霧を送り出すことで気流を可視化する装置が開発されて
いる。しかし、ノズル等からの噴出速度によっては気流
の正確な流動状況を捕らえることができず、また純水の
霧とはいえ水分をクリーンルーム内へを撒き散らすこと
になるため、ルーム内の湿度を高めることになって、精
密機械への影響が心配される等、恒温、恒湿が要求され
るクリーンルームには適用し難い。
の煙などを利用した装置が一般に知られている。しかし
クリーンルームへ適用しようとすると、かかる煙がクリ
ーンルーム内の清浄度を劣化させ、クリーンルーム内の
製造装置や被処理材を汚染させる問題があるため、実際
に適用することはできない。またタフトにより可視化す
る方法もあるが、１本の水平方向に張った糸に、ある間
隔毎に糸をたらし、その動きにより気流を見る方法であ
って、細い糸を使用するために取扱いが容易でなく、か
つ見やすさの面でも問題を残していた。その他、純水を
蒸発させた後、直ちに急冷し、凝縮させてノズル等から
霧を送り出すことで気流を可視化する装置が開発されて
いる。しかし、ノズル等からの噴出速度によっては気流
の正確な流動状況を捕らえることができず、また純水の
霧とはいえ水分をクリーンルーム内へを撒き散らすこと
になるため、ルーム内の湿度を高めることになって、精
密機械への影響が心配される等、恒温、恒湿が要求され
るクリーンルームには適用し難い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記の問題
を有利に解決するもので、恒温、恒湿でかつ塵埃の少な
い閉鎖されたクリーンルーム内を汚染させることがな
く、取扱いが容易でかつ気流を正確に捕らえることので
きる気流可視化装置を提案することをその目的とする。
を有利に解決するもので、恒温、恒湿でかつ塵埃の少な
い閉鎖されたクリーンルーム内を汚染させることがな
く、取扱いが容易でかつ気流を正確に捕らえることので
きる気流可視化装置を提案することをその目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、冷却媒体の
導入管と排出管とを連通してその内部にそなえ、周囲の
空気を冷却してこの空気中の水分を凝縮させて気流を可
視化すべき検知棒とともに、この検知棒に連結してこの
検知棒の冷却媒体の導入管及び排出管にそれぞれ通ずる
断熱導管と、この断熱導管にそれぞれ連結する、冷却媒
体を上記検知棒へ不断に供給可能な冷却媒体の供給容器
及び冷却媒体の排出容器とをそなえる気流可視化装置で
ある。
導入管と排出管とを連通してその内部にそなえ、周囲の
空気を冷却してこの空気中の水分を凝縮させて気流を可
視化すべき検知棒とともに、この検知棒に連結してこの
検知棒の冷却媒体の導入管及び排出管にそれぞれ通ずる
断熱導管と、この断熱導管にそれぞれ連結する、冷却媒
体を上記検知棒へ不断に供給可能な冷却媒体の供給容器
及び冷却媒体の排出容器とをそなえる気流可視化装置で
ある。
【０００６】
【作用】まずこの発明の解明経緯について発明する。発
明者らは、クリーンルーム内を汚染することなく、簡便
かつ正確に気流を可視化する方法として、以前は断熱ボ
トルに詰めた液体窒素内にステンレス棒を入れ、冷却さ
せた後、この棒を可視化したい場所に持っていきその周
囲の空気を冷却してこの空気中の水分を凝縮させて霧状
になった空気によって気流を観察していた。しかしこれ
ではステンレス棒が１〜２分間で室温に戻るために１回
における観察時間が短かった。そこで観察時間を延長す
べく、周囲の空気を冷却する検知棒を不断に冷却するた
めに、かかる検知棒を中空の例えば２重管として、この
検知棒へ冷却媒体、例えば液体窒素を連続的に供給する
ことにより、常に検知棒表面を低温に維持することが肝
要であることを知見し、この発明を開発するに至ったの
である。
明者らは、クリーンルーム内を汚染することなく、簡便
かつ正確に気流を可視化する方法として、以前は断熱ボ
トルに詰めた液体窒素内にステンレス棒を入れ、冷却さ
せた後、この棒を可視化したい場所に持っていきその周
囲の空気を冷却してこの空気中の水分を凝縮させて霧状
になった空気によって気流を観察していた。しかしこれ
ではステンレス棒が１〜２分間で室温に戻るために１回
における観察時間が短かった。そこで観察時間を延長す
べく、周囲の空気を冷却する検知棒を不断に冷却するた
めに、かかる検知棒を中空の例えば２重管として、この
検知棒へ冷却媒体、例えば液体窒素を連続的に供給する
ことにより、常に検知棒表面を低温に維持することが肝
要であることを知見し、この発明を開発するに至ったの
である。
【０００７】かようにこの発明では、冷却された検知棒
により可視化するところの周囲の空気を冷却して、この
空気中の水分を凝縮して霧状にすることで可視化するた
め、煙による可視化のように清浄度を劣化させるうれい
がなく、またクリーンルーム内の湿度を上昇させること
もなしに、簡便かつ正確に気流を観察することが可能に
なる。
により可視化するところの周囲の空気を冷却して、この
空気中の水分を凝縮して霧状にすることで可視化するた
め、煙による可視化のように清浄度を劣化させるうれい
がなく、またクリーンルーム内の湿度を上昇させること
もなしに、簡便かつ正確に気流を観察することが可能に
なる。
【０００８】
【実施例】以下この発明を図面を用いて具体的に説明す
る。この発明に従う気流可視化装置の一例を図１に示
す。図中１は検知棒、２は断熱導管、３は冷却媒体の供
給容器、４は冷却媒体の排出容器である。
る。この発明に従う気流可視化装置の一例を図１に示
す。図中１は検知棒、２は断熱導管、３は冷却媒体の供
給容器、４は冷却媒体の排出容器である。
【０００９】検知棒１に断熱導管２を連結する。この断
熱導管２は内部にそれぞれ独立した冷却媒体の供給管と
排出管とをそなえていて、また例えばSUS 304 や SUS 3
16製のフレキシブルチューブとし、検知棒１を自在に移
動可能とする。この断熱導管２内で冷却媒体が昇温する
のを抑制するために断熱する。例えばポリエチレンフォ
ームや発泡スチロール等により断熱する。
熱導管２は内部にそれぞれ独立した冷却媒体の供給管と
排出管とをそなえていて、また例えばSUS 304 や SUS 3
16製のフレキシブルチューブとし、検知棒１を自在に移
動可能とする。この断熱導管２内で冷却媒体が昇温する
のを抑制するために断熱する。例えばポリエチレンフォ
ームや発泡スチロール等により断熱する。
【００１０】この断熱導管２の、検知棒１と連結する端
と逆の端では、冷却媒体の供給容器３及び冷却媒体の排
出容器４のそれぞれに連結する。かくして冷却媒体の供
給容器３から断熱導管２を通して冷却媒体を検知棒１へ
導き、また検知棒１から断熱導管２を通して冷却媒体を
冷却媒体の排出容器４ヘ排出するのである。
と逆の端では、冷却媒体の供給容器３及び冷却媒体の排
出容器４のそれぞれに連結する。かくして冷却媒体の供
給容器３から断熱導管２を通して冷却媒体を検知棒１へ
導き、また検知棒１から断熱導管２を通して冷却媒体を
冷却媒体の排出容器４ヘ排出するのである。
【００１１】検知棒１の具体例を図２に示す。検知棒１
は冷却媒体の導入管と排出管とを連通してその内部にそ
なえる。図示した検知棒では２重管となっている。かつ
この２重管の内管１a と外管１b との隔壁に貫通孔１c
を形成して互いに連通している。この２重管は、ステン
レス鋼製を好適として、内管１a が冷却媒体の導入管、
外管１b が冷却媒体の排出管となるのが好ましい。この
ような検知棒１に冷却媒体例えば液化窒素を供給するこ
とで、その周囲の空気を冷却して、空気中の水分を凝縮
させて気流を可視化する。なお図２中、１d は検出棒１
の柄、１e は内管１a と外管１b との管継手である。検
知棒１は２重管に限らず、例えば冷却媒体の導入管と冷
却媒体の排出管とを検知棒の先端でつないだＵ字管であ
ってもよい。
は冷却媒体の導入管と排出管とを連通してその内部にそ
なえる。図示した検知棒では２重管となっている。かつ
この２重管の内管１a と外管１b との隔壁に貫通孔１c
を形成して互いに連通している。この２重管は、ステン
レス鋼製を好適として、内管１a が冷却媒体の導入管、
外管１b が冷却媒体の排出管となるのが好ましい。この
ような検知棒１に冷却媒体例えば液化窒素を供給するこ
とで、その周囲の空気を冷却して、空気中の水分を凝縮
させて気流を可視化する。なお図２中、１d は検出棒１
の柄、１e は内管１a と外管１b との管継手である。検
知棒１は２重管に限らず、例えば冷却媒体の導入管と冷
却媒体の排出管とを検知棒の先端でつないだＵ字管であ
ってもよい。
【００１２】図３に冷却媒体の供給装置３の一例を示
す。同図のように、冷却媒体の供給装置３は、市販の液
化ガス自加圧容器を用いればよい。冷却媒体は、前述し
た液化窒素に限らず、この他液化CO2 等が挙げられる。
す。同図のように、冷却媒体の供給装置３は、市販の液
化ガス自加圧容器を用いればよい。冷却媒体は、前述し
た液化窒素に限らず、この他液化CO2 等が挙げられる。
【００１３】冷却媒体の排出容器４は、冷却媒体の供給
装置３の近傍に配設する。このため冷却媒体は検知棒１
近傍で排出されることがないから、冷却媒体による気流
の乱れは防止される。
装置３の近傍に配設する。このため冷却媒体は検知棒１
近傍で排出されることがないから、冷却媒体による気流
の乱れは防止される。
【００１４】
【発明の効果】この発明の気流可視化装置は、冷却され
た検知棒を用い、周囲の空気を冷却してこの空気中の水
分を凝縮させることから、環境の汚染のうれいなく、簡
便かつ正確に可視化することができる。またこの検知棒
に冷却媒体を不断に供給可能としたことから長時間にわ
たって気流の観察ができる。
た検知棒を用い、周囲の空気を冷却してこの空気中の水
分を凝縮させることから、環境の汚染のうれいなく、簡
便かつ正確に可視化することができる。またこの検知棒
に冷却媒体を不断に供給可能としたことから長時間にわ
たって気流の観察ができる。
【図１】この発明に従う気流可視化装置の一例をの説明
図である。
図である。
【図２】検知棒の一例を示す説明図である。
【図３】冷却媒体の供給装置の一例を示す説明図であ
る。
る。
１ 検知棒 ２ 断熱導管 ３ 冷却媒体の供給容器 ４ 冷却媒体の排出容器
Claims (1)
- 【請求項１】 冷却媒体の導入管と排出管とを連通して
その内部にそなえ、周囲の空気を冷却してこの空気中の
水分を凝縮させて気流を可視化すべき検知棒とともに、 この検知棒に連結してこの検知棒の冷却媒体の導入管及
び排出管にそれぞれ通ずる断熱導管と、 この断熱導管にそれぞれ連結する、冷却媒体を上記検知
棒へ不断に供給可能な冷却媒体の供給容器及び冷却媒体
の排出容器とをそなえる気流可視化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11662491A JPH0566177A (ja) | 1991-04-22 | 1991-04-22 | 気流可視化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11662491A JPH0566177A (ja) | 1991-04-22 | 1991-04-22 | 気流可視化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566177A true JPH0566177A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=14691803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11662491A Pending JPH0566177A (ja) | 1991-04-22 | 1991-04-22 | 気流可視化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0566177A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9950125B2 (en) | 2012-04-06 | 2018-04-24 | Antares Pharma, Inc. | Needle assisted jet injection administration of testosterone compositions |
-
1991
- 1991-04-22 JP JP11662491A patent/JPH0566177A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9950125B2 (en) | 2012-04-06 | 2018-04-24 | Antares Pharma, Inc. | Needle assisted jet injection administration of testosterone compositions |
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