JPH0563068A - ウエーハバスケツト - Google Patents

ウエーハバスケツト

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JPH0563068A
JPH0563068A JP24525691A JP24525691A JPH0563068A JP H0563068 A JPH0563068 A JP H0563068A JP 24525691 A JP24525691 A JP 24525691A JP 24525691 A JP24525691 A JP 24525691A JP H0563068 A JPH0563068 A JP H0563068A
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JP
Japan
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bar member
wafer basket
end wall
handle
wafer
Prior art date
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Pending
Application number
JP24525691A
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English (en)
Inventor
Nobuyoshi Ogino
信義 荻野
Toshitsugu Yajima
敏嗣 矢島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd, Shin Etsu Chemical Co Ltd, Shin Etsu Handotai Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Publication of JPH0563068A publication Critical patent/JPH0563068A/ja
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  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 [目的] ウエーハバスケットの変形を防止すること。 [構成] 端壁3−1のバー部材6の裏面側に、該バー
部材6の表面側に突設されたインデックス用突起7に対
応する別の突起8をインデックス用突起7と平行に突設
する。又、端壁3−2に把手9を含む補強部材11を略
全幅に亘って形成する。従って、バー部材6において
は、マスが表面側と裏面側とに略均等に配分される。こ
のため、当該ウエーハバスケット1の製造工程における
型成形後の冷却によって、バー部材6はその表面側と裏
面側が長さ方向に略均等に熱収縮し、従って、該バー部
材6に反りが発生することがなく、ウエーハバスケット
1全体の変形が防がれる。又、端壁3−2の剛性は補強
部材11によって高められるため、該端壁3−2に反り
が発生することがなく、これによってもウエーハバスケ
ット1全体の変形が防がれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数枚のウエーハを収
納するウエーハバスケットに関する。
【0002】
【従来の技術】図10は従来例に係るウエーハバスケッ
ト1の正面図であり、該ウエーハバスケット1は、相対
向する一対の側壁2−1,2−2と、該側壁2−1,2
−2を結合する一対の端壁3(一方のみ図示)とで矩形
枠状に成形され、一方の端壁3には水平なバー部材6が
設けられ、該バー部材6の表面には、断面半円形(図1
1参照)のインデックス用突起7がバー部材6の長さ方
向(水平方向)に突設されている。尚、図11は図10
のF−F線断面図である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ウエーハバ
スケット1は、耐薬品性及び耐熱性に優れたPFA(パ
ーフルオロアルキルビニールエーテルとテトラフルオロ
エチレンの共重合体)等で一体成形されるが、前述のよ
うにバー部材6の表面にはインデックス用突起7が突設
されているため、該バー部材6においては、その表面側
にマスが集中し、型成形後の冷却時にバー部材6の表面
側が裏面側よりも長さ方向により大きく縮むという現象
が生じ、この現象のためにバー部材6に反りが発生する
という問題が生ずる。そして、このバー部材6の反り
は、ウエーハバスケット1全体の変形を招く。
【0004】又、図10には図示しないが、ウエーハバ
スケット1の端壁3には把手が部分的に形成されていた
ため、該把手が端壁3を補強する剛性部材として機能せ
ず、端壁3に反りが発生し、この反りによってもウエー
ハバスケット1全体が変形するという問題があった。
【0005】本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
で、その目的とする処は、変形を最小限に抑えることが
できるウエーハバスケットを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
発明は、相対向する一対の側壁と、該側壁を結合する一
対の端壁とで矩形枠状に一体成形され、前記端壁の一方
には水平なバー部材が設けられ、該バー部材の表面にイ
ンデックス用突起を長さ方向に突設して成るウエーハバ
スケットにおいて、前記バー部材の裏面に、長さ方向に
沿って突起を突設したことを特徴とする。
【0007】又、本発明は、前記端壁の前記バー部材が
設けられる側とは反対側に把手を含む補強部材を略全幅
に亘って形成したことを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明によれば、端壁のバー部材の裏面側に
は、表面側に突設されたインデックス用突起に対応する
突起が設けられるため、該バー部材においては、マスが
表面側と裏面側とに略均等に配分される。このため、当
該ウエーハバスケットの製造工程における型成形後の冷
却によって、バー部材はその表面側と裏面側が長さ方向
に略均等に熱収縮し、従って、該バー部材に反りが発生
することがなく、ウエーハバスケット全体の変形が防が
れる。
【0009】又、本発明によれば、端壁には把手を含む
補強部材が略全幅に亘って形成されているため、補強部
材は端壁を補強する剛性部材として機能し、これによっ
て端壁の剛性が高められ、該端壁に反りが発生するのが
防がれ、ウエーハバスケット全体の変形が防がれる。
尚、把手をリブで補強すれば、上記効果が更に高められ
る。
【0010】
【実施例】以下に本発明の一実施例を添付図面に基づい
て説明する。
【0011】図1は本発明に係るウエーハバスケットの
平面図、図2は図1のA−A線断面図、図3は図1のB
−B線断面図、図4は図1の矢視C方向の図、図5は図
4のE−E線拡大断面図、図6は図1の矢視D方向の図
である。
【0012】本発明に係るウエーハバスケット1は、相
対向する一対の側壁2−1,2−2と、該側壁2−1,
2−2をその端部で結合する相対向する一対の端壁3−
1,3−2とで矩形枠状に一体成形されており、その
上、下面はそれぞれ開口している。尚、このウエーハバ
スケット1の材質としては、従来と同様にフッ素樹脂系
のPFA等が用いられている。
【0013】ところで、図3に示すように、前記側壁2
−1,2−2の下半部は内方へ後退しており、該側壁2
−1,2−2の各内面には、上下方向に長いウエーハ隔
離用のリブ4…が適当なピッチで図3の紙面垂直方向に
複数形成されている。そして、これらのリブ4…の間に
は複数の仕切り溝5…(図1及び図2参照)が適当なピ
ッチで形成されている。尚、両側壁2−1,2−2に各
々突設されたリブ4…の配列ピッチは互いに全く同一に
設定されており、従って、各側壁2−1,2−2のリブ
4…の間に形成される前記仕切り溝5…も互いに同一ピ
ッチで配列されている。
【0014】而して、側壁2−1,2−2の相対向する
仕切り溝5,5に1枚のウエーハWが嵌め込まれて収納
され、同様にして複数枚のウエーハW…が当該ウエーハ
バスケット1内に適当な間隔をあけて図3の紙面垂直方
向に整然と配列されて収納される。
【0015】一方、図4に示すように、前記端壁3−1
は水平なバー部材6を有しており、該バー部材6の表面
には断面半円状(図5参照)のインデックス用突起7が
全幅に亘って突設されている。又、バー部材6の下端縁
は裏面側(内方)へ折り返されて突起8を形成してお
り、この結果、バー部材6の表、裏面には突起7,8が
互いに平行に突設されることとなる。
【0016】又、前記端壁3−2の上部には、図1、図
2及び図6に示すように、補強部材11が全幅に亘って
形成されており、該補強部材11は端壁3−2の全幅に
亘って形成された把手9で構成されており、この把手9
は縦方向に長い複数のリブ10…によって補強されてい
る。
【0017】以上において、本実施例では、前述のよう
に端壁3−1のバー部材6の裏面側に、表面側に突設さ
れたインデックス用突起7に対応する突起8が突設され
るため、該バー部材6においてはマスが表面側と裏面側
とに略均等に配分される。このため、当該ウエーハバス
ケット1の製造工程における型成形後の冷却によって、
バー部材6はその表面側と裏面側が長さ方向に略均一等
に熱収縮し、従って、該バー部材6に反りが発生するこ
とがなく、ウエーハバスケット1全体の変形が防がれ
る。
【0018】尚、以上の実施例では、バー部材6の下端
縁を裏面側に折り返して突起8を形成したが、該突起8
はバー部材6の上端縁を同様に折り返して形成しても良
く、或いはバー部材6の裏面の適宜の高さ位置に長さ方
向に平行に突起8を突設しても良い。又、突起8の本数
や突設高さ、寸法及び形状は、該突起8が突設されたバ
ー部材6の表面側と裏面側が長さ方向に略均等に熱収縮
する限り、任意であって、具体的には図5に示した横断
面矩形状のものの他、横断面半円状、楕円状、台形状の
もの等が考えられる。
【0019】又、本実施例によれば、把手9で構成され
る補強部材11は端壁3−2の全幅に亘って形成されて
いるため、端壁3−2を補強する剛性部材として機能
し、これによって端壁3−2の剛性が高められ、該端壁
3−2の剛性が高められてその反りの発生が防がれ、ウ
エーハバスケット1全体の変形が防がれる。又、把手9
はリブ10…によって補強されているため、補強部材1
1の剛性部材としての機能が更に高められる。
【0020】尚、以上の実施例では、補強部材11を端
壁3−2の全幅に亘って形成された把手9で構成した
が、図7に示すように、端壁3−2の幅方向中央部に部
分的に形成された把手9−1と該把手9−1の両端に接
続されるリブ12,12によって補強部材11を構成し
ても良い。又、図8及び図9に示すように、把手9−1
としては、指を掛けるためにその自由端を下方へ折り返
しただけのものであっても良い。
【0021】
【発明の効果】以上の説明で明らかな如く、本発明によ
れば、相対向する一対の側壁と、該側壁を結合する一対
の端壁とで矩形枠状に一体成形され、前記端壁の一方に
は水平なバー部材が設けられ、該バー部材の表面にイン
デックス用突起を長さ方向に突設して成るウエーハバス
ケットにおいて、前記バー部材の裏面に、長さ方向に沿
って突起を突設し、更には前記端壁のバー部材が設けら
れる側とは反対側に把手を含む補強部材を略全幅に亘っ
て形成したため、端壁のバー部材や端壁の反りの問題を
解消することができ、ウエーハバスケット全体の変形を
防ぐことができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るウエーハバスケットの平面図であ
る。
【図2】図1のA−A線断面図である。
【図3】図1のB−B線断面図である。
【図4】図1の矢視C方向の図である。
【図5】図4のE−E線拡大断面図である。
【図6】図1の矢視D方向の図である。
【図7】本発明の別実施例を示すウエーハバスケットの
部分平面図である。
【図8】本発明の別実施例を示すウエーハバスケットの
部分側断面図である。
【図9】図8の矢視G方向の図である。
【図10】従来のウエーハバスケットの正面図である。
【図11】図7のF−F線断面図である。
【符号の説明】
1 ウエーハバスケット 2−1,2−2 側壁 3−1,3−2 端壁 6 バー部材 7 インデックス用突起 8 突起 9 把手 10 リブ 11 補強部材 12 リブ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 相対向する一対の側壁と、該側壁を結合
    する一対の端壁とで矩形枠状に一体成形され、前記端壁
    の一方には水平なバー部材が設けられ、該バー部材の表
    面にインデックス用突起を長さ方向に突設して成るウエ
    ーハバスケットにおいて、前記バー部材の裏面に、長さ
    方向に沿って突起を突設したことを特徴とするウエーハ
    バスケット。
  2. 【請求項2】 前記突起は、前記バー部材の上端縁又は
    下端縁に沿って裏面側に折り返されて形成されることを
    特徴とする請求項1記載のウエーハバスケット。
  3. 【請求項3】 前記端壁の前記バー部材が設けられる側
    とは反対側に把手を含む補強部材を略全幅に亘って形成
    したことを特徴とする請求項1記載のウエーハバスケッ
    ト。
  4. 【請求項4】 前記補強部材は、端壁の略全幅に亘って
    形成された把手で構成されることを特徴とする請求項3
    記載のウエーハバスケット。
  5. 【請求項5】 前記補強部材は、端壁の幅方向略中央部
    に部分的に形成された把手と、該把手の両端に接続され
    たリブで構成されることを特徴とする請求項3記載のウ
    エーハバスケット。
  6. 【請求項6】 前記把手は、縦方向に長い複数のリブに
    よって補強されていることを特徴とする請求項3,4又
    は5記載のウエーハバスケット。
JP24525691A 1991-08-30 1991-08-30 ウエーハバスケツト Pending JPH0563068A (ja)

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