JPH0562034U - チップの取り出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】設備費の高騰を防止しつつ、チップ取り出しの
能率向上を図る。 【構成】カメラ８が映し込んだ映像により、薄膜１上面
のチップ４、４の良否判定を行なう。吸着ヘッド６は良
品のみを取り上げる。薄膜１上にチップ４、４が存在す
るか否かは、センサ１３、１３により行なう。カメラ８
の下方にチップ４が存在しない状態に迄、移動テーブル
９が移動した場合、何れかのセンサ１３からの信号に基
づきこれを検出する。そして、移動テーブル９の移動方
向を変換する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案に係るチップの取り出し装置は、発光ダイオード（ＬＥＤ）のウエハ を切断する事により造られた微小なＬＥＤチップをリードフレームに接着する為 、１個ずつ取り出す場合に利用する。

【０００２】

【従来の技術】

ＬＥＤにより各種表示装置等を構成する場合、図２に示す様に、可撓性を有す る薄膜１上に貼着されたＬＥＤのウエハ２に多数の切目３、３を入れる事で、多 数のチップ４、４とし、このチップ４、４を１個ずつ取り出して、図４に示す様 なリードフレーム７の所定部分に接着する、所謂ボンディング作業を行なう。

【０００３】 このボンディング作業は、図３に示す様に、突き上げピン５によって薄膜１上 のチップ４を１個ずつ浮き上がらせると共に、この浮き上がったチップ４を、吸 着ヘッド６により取り出して、上記リードフレーム７の所定部分に搬送し、この 所定部分に接着する。

【０００４】 上記薄膜１は、精密Ｘ−Ｙテーブルである移動テーブル上に載置され、上記チ ップ４を１個取り出す毎に、１ピッチ分ずつ水平方向に移動する。又、上記吸着 ヘッド６は、上記移動テーブル上の所定位置と上記リードフレーム７への接着位 置との間で水平移動すると共に、上記所定位置と接着位置とで昇降する。

【０００５】 ところで、薄膜１上に貼着された多数のチップ４、４は、その総てが使用可能 ではなく、使用不能のものも混ざっている。そして、上記リードフレーム７に接 着するものは、この内の使用可能なもののみである。従って、上記吸着ヘッド６ は、薄膜１上のチップ４、４を総て取り上げるのではなく、使用可能な良品のみ を取り上げ、使用不能な不良品は上記薄膜１上に貼着したままとしておく。

【０００６】 吸着ヘッド６により取り上げるべき良品とそのままにしておく不良品との判定 は、上記薄膜１の上方で、上記突き上げピン５の直上位置に設けられたカメラ８ の映像を解析する事で行なう。そして、チップ４が良品であると判定された場合 には、上記カメラ８の下方に吸着ヘッド６を進入させてこのチップ４を取り出し 、チップ４が不良品であると判定された場合には、カメラ８の下方に吸着ヘッド ６を進入させる事なく、上記移動テーブルをチップ４、４の１ピッチ分だけ水平 移動させ、次のチップ４をカメラ８の下方に位置させる。

【０００７】 尚、上述の様に、カメラ８により映し込んだ映像により、各チップ４、４の良 否判定を行なえる様にする為、薄膜１上のチップ４、４は、取り出し装置にセッ トする以前に検査器により全数検査し、各チップ４、４の上面に、その良否を表 わすマークを付けておく。

【０００８】 又、上記移動テーブルは、１列分のチップ４、４の取り上げを（不良品を除い て）総て行なった後、それ迄の移動方向と直角な方向に、チップ４、４の１ピッ チ分だけ移動させ、次いでそれ迄とは逆の方向に移動させる事で、隣の列のチッ プ４、４の取り上げを行なう。従って、上記移動テーブルの移動を制御する為の 制御器には、各チップ４、４の良否に基づく制御の他、上記薄膜１の内チップ４ 、４が存在する部分を、上記カメラ８の下方で移動させる機能を持たせなければ ならない。言い換えれば、上記カメラ８の下方にチップ４、４が存在しない状態 のまま、移動テーブルを移動させ続ける事がない様にしなければならない。

【０００９】 この様な目的を達成する為、特公平１−４５２２１号公報には、図５に示す様 な装置が装置が記載されている。この公報に記載された装置は、移動テーブル９ の上面に、チップ４、４の設置部分と同形同大の検出板１０を設けると共に、基 台１１に支持したセンサ１２により、この検出板１０の限界を検出し、カメラ８ の下方にチップ４、４が存在しない状態のまま、移動テーブル９が移動する事が ない様にしたものである。

【００１０】 又、上記公報には、上記検出板１０とセンサ１２とを省略する代わりに、カメ ラ８が複数回チップ４、４の存在を確認しない場合に、上記移動テーブル９をそ れ迄の移動方向と直角な方向に、チップ４、４の１ピッチ分だけ移動させた後、 それ迄とは逆の方向に移動させる技術が開示されている。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、前記公報に記載された２種類の技術は、次に述べる様な面倒、不都 合を生じる。

【００１２】 先ず検出板１０とセンサ１２とを使用する技術の場合には、多数のチップ４、 ４を構成するウエハと同形同大の検出板１０を用意し、しかもこの検出板１０を 移動テーブル９に対して、ウエハの支持状態と同じ様に支持しなければならない 等、面倒な調整作業が必要となる。

【００１３】 又、カメラ８が複数回チップ４、４の存在を確認しない事を条件に、移動テー ブル９の移動方向の変更を行なう技術の場合には、設備費が嵩んだり、或はチッ プ４、４を取り上げる際の作業能率が低くなってしまう。即ち、不良のチップ４ 、４とチップ４、４が存在しない部分との相違を、カメラ８が映し込んだ映像に より判定するのは難しく、この相違を映像に基づいて判定しようとした場合には 、カメラ８及び映像処理回路として高性能のものを使用しなければならず、設備 費が嵩んでしまう。

【００１４】 この為、チップ４、４が存在しない事と不良のチップ４、４が存在する事とを 区別する事なく、上記移動テーブル９の移動方向変換を行なう事が考えられる。 ところが、チップ４、４の不良品は、連続して複数個発生し、その先に良品が存 在する場合が多い為、この様な場合にも先に存在する良品の取り上げを行なえる 様にする為には、カメラ８がチップ４、４の良品を多数回検出しない場合に、初 めて移動テーブル９の移動方向を変換する様にしなければならない。

【００１５】 ところが、この様に構成すると、ウエハの端縁がカメラ８の下方から大きく外 れた状態に迄、上記移動テーブル９が移動する事になり、この移動テーブル９が 無駄に移動する量が多くなって、チップ４、４の取り上げ作業の能率が悪くなっ てしまう。

【００１６】 本考案のチップの取り出し装置は、上述の様な不都合を何れも解消するもので ある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】

本考案のチップの取り出し装置は、前述した従来のチップの取り出し装置と同 様に、上面にチップを整列した状態で貼着した薄膜と、この薄膜を水平方向に張 設した状態で、水平方向に移動自在な移動テーブルと、この移動テーブルの上方 に設けたカメラと、このカメラの直下方に於いて、上記移動テーブルの下方に設 けられた、上記薄膜を突き上げ自在な突き上げピンと、昇降並びに水平方向の移 動自在で、上記薄膜の一部で、突き上げピンにより突き上げられた部分に貼着さ れた１個のチップを吸着して取り出す吸着ヘッドと、上記カメラが取り込んだ画 像情報に基づいてチップの良否を判定し、上記吸着ヘッドによるチップ取り出し の要否、並びに上記移動テーブルの移動の要否を判定する制御器とを備えている 。

【００１８】 特に、本考案のチップの取り出し装置に於いては、上記カメラの側方で移動テ ーブルの移動方向前方に、上記チップの存否を検出するセンサを設け、このセン サの信号を上記制御器に入力し、この制御器は、上記カメラの画像信号の他、こ のセンサからの信号に基づいて上記移動テーブルの移動を制御する事を特徴とし ている。

【００１９】

【作用】

上述の様に構成される本考案のチップの取り出し装置の場合、薄膜上面のチッ プの良否判定は、カメラが映し込んだ映像に基づいて行ない、薄膜の上面にチッ プが存在するか否かの判定は、センサからの信号に基づいて行なう。

【００２０】 従って、カメラ並びに映像処理回路に要求される性能は、チップの良否判定を 行なえる程度のもので足りる。又、チップが存在するか否かを検出する為のセン サ、並びにこのセンサからの信号を処理する処理回路は簡単なもので済む。

【００２１】

【実施例】

図１は本考案の実施例を示している。精密Ｘ−Ｙテーブルであり、水平方向に 移動自在な移動テーブル９の上面には、その上面に多数のチップ４、４を整列し た状態で貼着した半透明の薄膜１を、水平方向に張設している。この移動テーブ ル９の上方にはカメラ８を、このカメラ８の直下方に於いて、上記移動テーブル ９の下方には、上記薄膜１を突き上げ自在な突き上げピン５を設けている。

【００２２】 上記薄膜１の上面とカメラ８の下端部との間には、昇降並びに水平方向の移動 自在な吸着ヘッド６を進入自在としている。そして、この吸着ヘッド６により、 上記薄膜１の一部で、上記突き上げピン５により突き上げられた部分に貼着され た１個のチップ４を吸着して取り出せる様にしている。

【００２３】 又、図示しない制御器により、上記カメラ８が取り込んだ画像情報に基づいて チップ４、４の良否を判定し、上記吸着ヘッド６によるチップ４、４の取り出し の要否、並びに上記移動テーブル９の移動の要否を判定する様にしている。

【００２４】 更に、上記カメラ８の両側方で移動テーブル９の移動方向前後両方に、上記チ ップ４、４の存否を検出する、光透過式のセンサ１３、１３を設け、このセンサ １３、１３の信号を上記制御器に入力している。そしてこの制御器は、上記カメ ラ８の画像信号の他、このセンサ１３、１３からの信号に基づいて、上記移動テ ーブル９の移動を制御する様にしている。各センサ１３、１３は、投光器１４と 受光器１５とから成り、この投光器１４と受光器１５との間にチップ４が存在す るか否かにより、チップ４の存否を検出する。

【００２５】 上述の様に構成される本考案のチップの取り出し装置の場合、薄膜１の上面に 貼着されたチップ４、４の良否判定は、カメラ８が映し込んだ映像に基づいて行 ない、薄膜１の上面にチップ４、４が存在するか否かの判定は、センサ１３、１ ３からの信号に基づいて行なう。

【００２６】 即ち、上記吸着ヘッド６は、カメラ８の下方に良品のチップ４が存在する場合 にのみ、このカメラ８の下方に進入し、突き上げピン５により薄膜１の上面から 突き上げられたチップ４を吸着して取り出す。又、上記１対のセンサ１３、１３ の内、何れかのセンサ１３がチップ４が存在しない事を検出した場合に、上記移 動テーブル９をそれ迄の移動方向と直角な方向に、チップ４、４の１ピッチ分だ け移動させた後、それ迄とは逆の方向に移動させる。

【００２７】 本考案のチップ取り出し装置は、上述の様に構成される為、カメラ８並びに映 像処理回路に要求される性能は、チップ４、４の良否判定を行なえる程度のもの で足りる。又、チップ４、４が存在するか否かを検出する為のセンサ１３、１３ 、並びにこのセンサ１３、１３からの信号を処理する処理回路は簡単なもので済 む。尚、センサ１３、１３をカメラ８の前後両側に設けるのは、移動テーブル９ が何れの方向に移動する場合にも、チップ４、４の存否判定を行なえる様にする 為である。

【００２８】

【考案の効果】

本考案のチップの取り出し装置は、以上に述べた通り構成され作用する為、比 較的安価に製作出来るにも拘らず、微小チップの取り出しに要する時間の短縮化 により、ＬＥＤ表示装置等の製造の能率化を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す縦断面図。

【図２】チップに分割されたウエハを示す平面図。

【図３】チップを取り出す状態を示す側面図。

【図４】リードフレームの側面図。

【図５】従来装置を示す縦断面図。

【符号の説明】

１ 薄膜 ２ ウエハ ３ 切目 ４ チップ ５ 突き上げピン ６ 吸着ヘッド ７ リードフレーム ８ カメラ ９ 移動テーブル １０ 検出板 １１ 基台 １２ センサ １３ センサ １４ 投光器 １５ 受光器

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面にチップを整列した状態で貼着した
   薄膜と、この薄膜を水平方向に張設した状態で、水平方
   向に移動自在な移動テーブルと、この移動テーブルの上
   方に設けたカメラと、このカメラの直下方に於いて、上
   記移動テーブルの下方に設けられた、上記薄膜を突き上
   げ自在な突き上げピンと、昇降並びに水平方向の移動自
   在で、上記薄膜の一部で、突き上げピンにより突き上げ
   られた部分に貼着された１個のチップを吸着して取り出
   す吸着ヘッドと、上記カメラが取り込んだ画像情報に基
   づいてチップの良否を判定し、上記吸着ヘッドによるチ
   ップ取り出しの要否、並びに上記移動テーブルの移動の
   要否を判定する制御器とを備えたチップの取り出し装置
   に於いて、上記カメラの側方で移動テーブルの移動方向
   前方に、上記チップの存否を検出するセンサを設け、こ
   のセンサの信号を上記制御器に入力し、この制御器は、
   上記カメラの画像信号の他、このセンサからの信号に基
   づいて上記移動テーブルの移動を制御する事を特徴とす
   る、チップの取り出し装置。