JPH0560568A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPH0560568A JPH0560568A JP21966291A JP21966291A JPH0560568A JP H0560568 A JPH0560568 A JP H0560568A JP 21966291 A JP21966291 A JP 21966291A JP 21966291 A JP21966291 A JP 21966291A JP H0560568 A JPH0560568 A JP H0560568A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- pattern
- sensor
- sensitive pattern
- insulating substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置に組み込んだ場合の全体の小形化、分解
能の向上及び高出力化を実現する。 【構成】 磁気センサ１１を構成する矩形状絶縁基板１
５は、透明ガラスより成り、外周部に複数個の磁極を備
えた磁気ディスクの回転軌跡面と平行するように配置さ
れる。絶縁基板１５上には、磁気抵抗効果を持つＮｉ−
Ｃｏのような強磁性体より成る櫛歯状感磁パターン１６
を環状配置となるように形成する。具体的には、感磁パ
ターン１６は、前記磁極の回転軌跡と直交する複数本の
直線状単位パターン１６ａを、磁極のピッチと同じピッ
チで放射状配置すると共に、これらの単位パターン１６
ａを、連結用パターン１６ｂにより交互に異なる端部側
において連結して成る。感磁パターン１６の両端には、
一対の電流供給端子１６ｃ、１６ｄを形成する。
能の向上及び高出力化を実現する。 【構成】 磁気センサ１１を構成する矩形状絶縁基板１
５は、透明ガラスより成り、外周部に複数個の磁極を備
えた磁気ディスクの回転軌跡面と平行するように配置さ
れる。絶縁基板１５上には、磁気抵抗効果を持つＮｉ−
Ｃｏのような強磁性体より成る櫛歯状感磁パターン１６
を環状配置となるように形成する。具体的には、感磁パ
ターン１６は、前記磁極の回転軌跡と直交する複数本の
直線状単位パターン１６ａを、磁極のピッチと同じピッ
チで放射状配置すると共に、これらの単位パターン１６
ａを、連結用パターン１６ｂにより交互に異なる端部側
において連結して成る。感磁パターン１６の両端には、
一対の電流供給端子１６ｃ、１６ｄを形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗効果を持つ材
料を利用した磁気センサ、特には磁気式の小形ロータリ
エンコーダに好適する磁気センサに関する。
料を利用した磁気センサ、特には磁気式の小形ロータリ
エンコーダに好適する磁気センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば磁気式のロータリエンコーダにお
いては、磁気抵抗効果を利用した磁気センサを利用する
ことが行われており、この種のロータリエンコーダの一
例を図６に示す。
いては、磁気抵抗効果を利用した磁気センサを利用する
ことが行われており、この種のロータリエンコーダの一
例を図６に示す。
【０００３】即ち、図６において、軸１ａを中心に回転
する回転ドラム１は、少なくとも外周端面部が磁性体に
より形成されており、その磁性体部分を所定ピッチにて
交互に異なる極性に着磁することによって複数個の磁極
２が形成されている。磁気センサ３は、矩形状の絶縁基
板４の表面に櫛歯状の感磁パターン５を設けて成るもの
で、この感磁パターン５は、Ｎｉ−Ｃｏのような強磁性
体を蒸着などによりパターニングすることよって薄膜状
に形成されている。斯かる磁気センサ３にあっては、そ
の感磁パターン５の抵抗値が、これに作用する磁界の大
きさに対し反比例的に変化するものであり、感磁パター
ン５に定電流を供給しておくことにより、回転体１の回
転に応じた磁界変化に伴う感磁パターン５の抵抗値変化
状態を電圧信号として取り出すように構成される。
する回転ドラム１は、少なくとも外周端面部が磁性体に
より形成されており、その磁性体部分を所定ピッチにて
交互に異なる極性に着磁することによって複数個の磁極
２が形成されている。磁気センサ３は、矩形状の絶縁基
板４の表面に櫛歯状の感磁パターン５を設けて成るもの
で、この感磁パターン５は、Ｎｉ−Ｃｏのような強磁性
体を蒸着などによりパターニングすることよって薄膜状
に形成されている。斯かる磁気センサ３にあっては、そ
の感磁パターン５の抵抗値が、これに作用する磁界の大
きさに対し反比例的に変化するものであり、感磁パター
ン５に定電流を供給しておくことにより、回転体１の回
転に応じた磁界変化に伴う感磁パターン５の抵抗値変化
状態を電圧信号として取り出すように構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】磁気センサ３は、磁極
２の回転軌跡と対向した状態、つまり立てた状態で配置
されるものであるため、その配置のためには、高さ方向
（回転体の軸方向）に比較的大きなスペースを確保する
必要があり、これが全体の小形化を図る上での障害とな
る。また、回転体１における磁極２の着磁むらが磁気セ
ンサ３の出力に直接的に影響するから、分解能が高い良
質な出力を得るためには、磁極２の着磁精度を大幅に高
めねばならず、特に全体を小形化する場合には、着磁精
度をきわめて厳密に管理する必要が生じて製造性の悪化
を来たすことになる。
２の回転軌跡と対向した状態、つまり立てた状態で配置
されるものであるため、その配置のためには、高さ方向
（回転体の軸方向）に比較的大きなスペースを確保する
必要があり、これが全体の小形化を図る上での障害とな
る。また、回転体１における磁極２の着磁むらが磁気セ
ンサ３の出力に直接的に影響するから、分解能が高い良
質な出力を得るためには、磁極２の着磁精度を大幅に高
めねばならず、特に全体を小形化する場合には、着磁精
度をきわめて厳密に管理する必要が生じて製造性の悪化
を来たすことになる。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、装置に組み込んだ場合の全体の小形
化並びに分解能の向上を実現できると共に、高出力化も
同時に実現できるなどの効果を奏する磁気センサを提供
するにある。
あり、その目的は、装置に組み込んだ場合の全体の小形
化並びに分解能の向上を実現できると共に、高出力化も
同時に実現できるなどの効果を奏する磁気センサを提供
するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、複数個の磁極を所定ピッチにて円環状配置
して成る回転体の回転軌跡面と平行するように配置され
る絶縁基板を設けた上で、この絶縁基板上に、磁気抵抗
効果を持つ材料によって前記磁極群と対向した環状配置
となる櫛歯状感磁パターンを形成すると共に、この感磁
パターンの両端から一対の電流供給端子を引き出す構成
としたものである。
するために、複数個の磁極を所定ピッチにて円環状配置
して成る回転体の回転軌跡面と平行するように配置され
る絶縁基板を設けた上で、この絶縁基板上に、磁気抵抗
効果を持つ材料によって前記磁極群と対向した環状配置
となる櫛歯状感磁パターンを形成すると共に、この感磁
パターンの両端から一対の電流供給端子を引き出す構成
としたものである。
【０００７】この場合、絶縁基板における感磁パターン
の中心位置に、回転体の回転中心に対する位置決めを行
うための位置決め手段を設ける構成としても良い。
の中心位置に、回転体の回転中心に対する位置決めを行
うための位置決め手段を設ける構成としても良い。
【０００８】また、感磁パターンを複数に分割し、各分
割感磁パターンを前記磁極ピッチの１／ｎ（但し、ｎは
自然数）相当幅ずつずらして配置する構成とすることも
できる。
割感磁パターンを前記磁極ピッチの１／ｎ（但し、ｎは
自然数）相当幅ずつずらして配置する構成とすることも
できる。
【０００９】
【作用】回転体が回転されたときには、磁極群から磁気
抵抗効果を有する感磁パターンに作用する磁界の大きさ
が周期的に変化するようになり、これに応じて、感磁パ
ターンの抵抗値が変化する。従って、感磁パターンに対
し、その両端に設けられた一対の電流供給端子を通じて
定電流を供給しておけば、上記回転体の回転に応じた感
磁パターンの抵抗値変化を周期的に変化する電圧信号と
して取り出すことができる。
抵抗効果を有する感磁パターンに作用する磁界の大きさ
が周期的に変化するようになり、これに応じて、感磁パ
ターンの抵抗値が変化する。従って、感磁パターンに対
し、その両端に設けられた一対の電流供給端子を通じて
定電流を供給しておけば、上記回転体の回転に応じた感
磁パターンの抵抗値変化を周期的に変化する電圧信号と
して取り出すことができる。
【００１０】この場合、絶縁基板は、回転体の回転軌跡
面に対し平行した状態で配置されるものであるから、そ
の配置のために、回転体の軸方向に大きなスペースを確
保する必要がなくなり、全体の小形化を実現できる。ま
た、感磁パターンは、円環状配置された複数個の磁極と
対向した環状配置となるように形成されているから、磁
極群からの磁界の作用を受ける有効部分長が大きくなっ
て高出力化を実現できると共に、磁極の着磁むらがセン
サ出力に及ぼす影響を小さくできて分解能が向上するよ
うになる。
面に対し平行した状態で配置されるものであるから、そ
の配置のために、回転体の軸方向に大きなスペースを確
保する必要がなくなり、全体の小形化を実現できる。ま
た、感磁パターンは、円環状配置された複数個の磁極と
対向した環状配置となるように形成されているから、磁
極群からの磁界の作用を受ける有効部分長が大きくなっ
て高出力化を実現できると共に、磁極の着磁むらがセン
サ出力に及ぼす影響を小さくできて分解能が向上するよ
うになる。
【００１１】位置決め手段が設けられていた場合には、
感磁パターンの中心位置と回転体の回転中心との間の位
置決め、ひいては感磁パターンと磁極群との間の位置決
めを厳密に行うことができる。
感磁パターンの中心位置と回転体の回転中心との間の位
置決め、ひいては感磁パターンと磁極群との間の位置決
めを厳密に行うことができる。
【００１２】感磁パターンが分割されていた場合には、
各分割パターンから夫々位相が異なる電圧信号を取り出
すことができるようになり、また、このような各電圧信
号を合成すれば、さらに分解能が高い出力を得ることが
可能になる。
各分割パターンから夫々位相が異なる電圧信号を取り出
すことができるようになり、また、このような各電圧信
号を合成すれば、さらに分解能が高い出力を得ることが
可能になる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の第１実施例について図１〜図
４を参照しながら説明する。
４を参照しながら説明する。
【００１４】図２において、磁気センサ１１は、軸１２
ａを中心に回転する回転体たる磁気ディスク１２と平行
するように配置され、以て磁気式のロータリエンコーダ
１３を構成している。上記磁気ディスク１２は、少なく
とも外周縁部が磁性体により構成されており、その磁性
体部分を所定ピッチにて交互に異なる極性に着磁するこ
とによって複数個の磁極１４が形成されている。
ａを中心に回転する回転体たる磁気ディスク１２と平行
するように配置され、以て磁気式のロータリエンコーダ
１３を構成している。上記磁気ディスク１２は、少なく
とも外周縁部が磁性体により構成されており、その磁性
体部分を所定ピッチにて交互に異なる極性に着磁するこ
とによって複数個の磁極１４が形成されている。
【００１５】図１において、磁気センサ１１を構成する
矩形状絶縁基板１５は、例えば透明ガラスより成るもの
で、前記磁気ディスク１２の回転軌跡面と平行するよう
に配置される。この絶縁基板１５上に環状配置となるよ
うに形成された櫛歯状感磁パターン１６は、磁気抵抗効
果を持つＮｉ−Ｃｏのような強磁性体をホト・エッチン
グ・プロセスなどにより薄膜状に蒸着して成るもので、
具体的には次に述べるような形状となっている。
矩形状絶縁基板１５は、例えば透明ガラスより成るもの
で、前記磁気ディスク１２の回転軌跡面と平行するよう
に配置される。この絶縁基板１５上に環状配置となるよ
うに形成された櫛歯状感磁パターン１６は、磁気抵抗効
果を持つＮｉ−Ｃｏのような強磁性体をホト・エッチン
グ・プロセスなどにより薄膜状に蒸着して成るもので、
具体的には次に述べるような形状となっている。
【００１６】即ち、感磁パターン１６は、磁極１４の回
転軌跡と直交する複数本の直線状単位パターン１６ａ
を、磁極１４のピッチと同じピッチで放射状配置すると
共に、これらの単位パターン１６ａを、連結用パターン
１６ｂにより交互に異なる端部側において連結すること
によって、磁極１４群と対向した環状配置を呈するよう
に形成されている。また、斯かる感磁パターン１６の両
端には、これらと電気的に接続された状態の一対の電流
供給端子１６ｃ、１６ｄが形成されている。
転軌跡と直交する複数本の直線状単位パターン１６ａ
を、磁極１４のピッチと同じピッチで放射状配置すると
共に、これらの単位パターン１６ａを、連結用パターン
１６ｂにより交互に異なる端部側において連結すること
によって、磁極１４群と対向した環状配置を呈するよう
に形成されている。また、斯かる感磁パターン１６の両
端には、これらと電気的に接続された状態の一対の電流
供給端子１６ｃ、１６ｄが形成されている。
【００１７】絶縁基板１５上には、その感磁パターン１
６の中心と対応した位置に、位置決め手段たるマーカ１
７が設けられており、このマーカ１７は、透明な絶縁基
板１５の裏側からも確認可能となっている。尚、このマ
ーカ１７は、感磁パターン１６の蒸着時において、その
蒸着手段により同時に形成すれば良い。さらに、絶縁基
板１５上には、これを電流供給端子１６ｃ、１６ｄ部分
を残して覆う保護膜１８（二点鎖線参照）がコーティン
グされており、この保護膜１８は、例えばＳｉＯ2 、Ｓ
ｉ3 Ｎ4 、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂のような絶縁
材料により形成されている。
６の中心と対応した位置に、位置決め手段たるマーカ１
７が設けられており、このマーカ１７は、透明な絶縁基
板１５の裏側からも確認可能となっている。尚、このマ
ーカ１７は、感磁パターン１６の蒸着時において、その
蒸着手段により同時に形成すれば良い。さらに、絶縁基
板１５上には、これを電流供給端子１６ｃ、１６ｄ部分
を残して覆う保護膜１８（二点鎖線参照）がコーティン
グされており、この保護膜１８は、例えばＳｉＯ2 、Ｓ
ｉ3 Ｎ4 、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂のような絶縁
材料により形成されている。
【００１８】上記構成においては、磁気センサ１２の感
磁パターン１６に対して、電流供給端子１６ｃ、１６ｄ
を介して定電流を流しておく。このような状態で磁気デ
ィスク１２が回転されたときには、磁気抵抗効果を有す
る感磁パターン１６に対し磁極１４群から作用する磁界
の大きさが周期的に変化するようになり、これに応じ
て、感磁パターン１６の抵抗値が変化する。
磁パターン１６に対して、電流供給端子１６ｃ、１６ｄ
を介して定電流を流しておく。このような状態で磁気デ
ィスク１２が回転されたときには、磁気抵抗効果を有す
る感磁パターン１６に対し磁極１４群から作用する磁界
の大きさが周期的に変化するようになり、これに応じ
て、感磁パターン１６の抵抗値が変化する。
【００１９】具体的には、強磁性体により構成された感
磁パターン１６は、これに作用する磁界の大きさに応じ
て抵抗値が反比例的に変化するという磁気抵抗効果を有
するから、その抵抗値は、図３（ａ）に示す状態（単位
パターン１６ａと磁極１４間の磁気中性点とが対向した
状態）と図３（ｂ）に示す状態（単位パターン１６ａと
磁極１４の中央部とが対向した状態）との間で最大変化
を示すようになる。従って、斯様な感磁パターン１６の
抵抗値変化を、図４に示すような周期的に変化する電圧
信号として取り出すことができるものであり、この電圧
信号の周期は、磁極１４の着磁ピッチ及び磁気ディスク
１２の回転数に依存して決まるようになる。
磁パターン１６は、これに作用する磁界の大きさに応じ
て抵抗値が反比例的に変化するという磁気抵抗効果を有
するから、その抵抗値は、図３（ａ）に示す状態（単位
パターン１６ａと磁極１４間の磁気中性点とが対向した
状態）と図３（ｂ）に示す状態（単位パターン１６ａと
磁極１４の中央部とが対向した状態）との間で最大変化
を示すようになる。従って、斯様な感磁パターン１６の
抵抗値変化を、図４に示すような周期的に変化する電圧
信号として取り出すことができるものであり、この電圧
信号の周期は、磁極１４の着磁ピッチ及び磁気ディスク
１２の回転数に依存して決まるようになる。
【００２０】上記した本実施例によれば、絶縁基板１５
は、磁気ディスク１２の回転軌跡面に対し平行した状態
で配置されるものであるから、その配置のために、磁気
ディスク１２の軸方向に大きなスペースを確保する必要
がなくなり、ロータリエンコーダ１３に組み込んだ場合
でも全体の小形化を実現できる。また、感磁パターン１
６は、円環状配置された複数個の磁極１４と対向した環
状配置となるように形成されているから、磁極１４群か
らの磁界の作用を受ける有効部分長、つまり単位パター
ン１６ａの総延長が大きくなり、磁気センサ１１の高出
力化を実現できるようになる。しかも、磁極１４に多少
の着磁むらがあった場合でも、その着磁むらが磁気セン
サ１１の出力に及ぼす影響を、感磁パターン１６の全周
に渡る積分効果により抑制できるようになって分解能が
向上する。この結果、磁極１４の着磁精度を従来構成の
ように厳密に管理する必要がなくなり、その製造性の向
上を期待できるようになる。
は、磁気ディスク１２の回転軌跡面に対し平行した状態
で配置されるものであるから、その配置のために、磁気
ディスク１２の軸方向に大きなスペースを確保する必要
がなくなり、ロータリエンコーダ１３に組み込んだ場合
でも全体の小形化を実現できる。また、感磁パターン１
６は、円環状配置された複数個の磁極１４と対向した環
状配置となるように形成されているから、磁極１４群か
らの磁界の作用を受ける有効部分長、つまり単位パター
ン１６ａの総延長が大きくなり、磁気センサ１１の高出
力化を実現できるようになる。しかも、磁極１４に多少
の着磁むらがあった場合でも、その着磁むらが磁気セン
サ１１の出力に及ぼす影響を、感磁パターン１６の全周
に渡る積分効果により抑制できるようになって分解能が
向上する。この結果、磁極１４の着磁精度を従来構成の
ように厳密に管理する必要がなくなり、その製造性の向
上を期待できるようになる。
【００２１】さらに、磁気センサ１１の絶縁基板１５を
透明に形成すると共に、この絶縁基板１５上における感
磁パターン１６の中心と対応した位置にマーカ１７を設
ける構成としたから、ロータリエンコーダ１３の組立時
において磁気センサ１１と磁気ディスク１２との間の位
置決めを行う際には、上記マーカ１７と磁気ディスク１
２の軸１２ａとを位置合わせするだけで、感磁パターン
１６の中心位置と磁気ディスク１２の回転中心との間の
位置決め、ひいては感磁パターン１６と磁極１４群との
間の位置決めを厳密に行うことができる。
透明に形成すると共に、この絶縁基板１５上における感
磁パターン１６の中心と対応した位置にマーカ１７を設
ける構成としたから、ロータリエンコーダ１３の組立時
において磁気センサ１１と磁気ディスク１２との間の位
置決めを行う際には、上記マーカ１７と磁気ディスク１
２の軸１２ａとを位置合わせするだけで、感磁パターン
１６の中心位置と磁気ディスク１２の回転中心との間の
位置決め、ひいては感磁パターン１６と磁極１４群との
間の位置決めを厳密に行うことができる。
【００２２】図５には本発明の第２実施例が示されてお
り、以下これについて前記第１実施例と異なる部分のみ
説明する。
り、以下これについて前記第１実施例と異なる部分のみ
説明する。
【００２３】即ち、絶縁基板１５上には、第１実施例に
おける感磁パターン１６を４個に分割した形態の感磁パ
ターン１９〜２２が形成されており、各感磁パターン１
９〜２２は、磁極１４の配列ピッチα（各感磁パターン
１９〜２２の単位パターン１９ａ〜２２ａのピッチに対
応）の１／４相当幅ずつずれた状態で環状配置されてい
る。また、各感磁パターン１９〜２２の両端には、これ
らと電気的に接続された状態の一対の電流供給端子１９
ｂ〜２２ｂ、１９ｃ〜２２ｃが夫々形成されている。
おける感磁パターン１６を４個に分割した形態の感磁パ
ターン１９〜２２が形成されており、各感磁パターン１
９〜２２は、磁極１４の配列ピッチα（各感磁パターン
１９〜２２の単位パターン１９ａ〜２２ａのピッチに対
応）の１／４相当幅ずつずれた状態で環状配置されてい
る。また、各感磁パターン１９〜２２の両端には、これ
らと電気的に接続された状態の一対の電流供給端子１９
ｂ〜２２ｂ、１９ｃ〜２２ｃが夫々形成されている。
【００２４】このような構成によれば、各分割パターン
１９〜２２から夫々位相が異なる電圧信号を取り出すこ
とができるようになり、このような各電圧信号を合成す
れば、磁気センサとしての分解能をさらに高めることが
可能になる。
１９〜２２から夫々位相が異なる電圧信号を取り出すこ
とができるようになり、このような各電圧信号を合成す
れば、磁気センサとしての分解能をさらに高めることが
可能になる。
【００２５】尚、上記各実施例では、感磁パターン１６
或は１９〜２２をＮｉ−Ｃｏにより形成したが、磁気抵
抗効果を持つ他の材料、例えばＮｉ−Ｆｅのような強磁
性体或はＩｎＳｂのような半導体により形成する構成と
しても良いものである。また、上記各実施例では、絶縁
基板１５における感磁パターン１６の中心位置に設ける
位置決め手段として、マーカ１７を例に挙げたが、透孔
を位置決め手段として設ける構成としても良い。
或は１９〜２２をＮｉ−Ｃｏにより形成したが、磁気抵
抗効果を持つ他の材料、例えばＮｉ−Ｆｅのような強磁
性体或はＩｎＳｂのような半導体により形成する構成と
しても良いものである。また、上記各実施例では、絶縁
基板１５における感磁パターン１６の中心位置に設ける
位置決め手段として、マーカ１７を例に挙げたが、透孔
を位置決め手段として設ける構成としても良い。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明によって明らかなように、請
求項１記載の発明によれば、複数個の磁極を円環状配置
して成る回転体の回転軌跡面と平行するように配置され
る絶縁基板を設けた上で、この絶縁基板上に、磁気抵抗
効果を持つ材料によって前記磁極群と対向した環状配置
となる櫛歯状感磁パターンを形成する構成としたので、
ロータリエンコーダのような装置に組み込んだ場合の全
体の小形化並びにその装置の製造性の向上を実現できる
共に、分解能並びに高出力化も同時に実現できるという
優れた効果を奏することができる。
求項１記載の発明によれば、複数個の磁極を円環状配置
して成る回転体の回転軌跡面と平行するように配置され
る絶縁基板を設けた上で、この絶縁基板上に、磁気抵抗
効果を持つ材料によって前記磁極群と対向した環状配置
となる櫛歯状感磁パターンを形成する構成としたので、
ロータリエンコーダのような装置に組み込んだ場合の全
体の小形化並びにその装置の製造性の向上を実現できる
共に、分解能並びに高出力化も同時に実現できるという
優れた効果を奏することができる。
【００２７】また、請求項２に記載の発明によれば、感
磁パターンと磁極群との間の位置決めを厳密に行い得る
ようになり、請求項３に記載の発明によれば、さらに分
解能が高い出力を得ることが可能になる。
磁パターンと磁極群との間の位置決めを厳密に行い得る
ようになり、請求項３に記載の発明によれば、さらに分
解能が高い出力を得ることが可能になる。
【図１】本発明の第１実施例を示す平面図
【図２】ロータリエンコーダに組み込んだ状態での斜視
図
図
【図３】要部を直線方向に展開した状態で示す摸式図
【図４】作用説明用の波形図
【図５】本発明の第２実施例を示す平面図
【図６】従来例を概略的に示す斜視図
図中、１１は磁気センサ、１２は磁気ディスク（回転
体）、１３はロータリエンコーダ、１４は磁極、１５は
絶縁基板、１６は感磁パターン、１７はマーカ（位置決
め手段）、１９〜２２は感磁パターンを示す。
体）、１３はロータリエンコーダ、１４は磁極、１５は
絶縁基板、１６は感磁パターン、１７はマーカ（位置決
め手段）、１９〜２２は感磁パターンを示す。
Claims (3)
- 【請求項１】 複数個の磁極を所定ピッチにて円環状配
置して成る回転体の回転軌跡面と平行するように配置さ
れる絶縁基板と、この絶縁基板上に磁気抵抗効果を持つ
材料によって前記磁極群と対向した環状配置となるよう
に形成された櫛歯状感磁パターンと、この感磁パターン
の両端から引き出された一対の電流供給端子とを備えた
ことを特徴とする磁気センサ。 - 【請求項２】 絶縁基板における感磁パターンの中心位
置には、回転体の回転中心に対する位置決めを行うため
の位置決め手段が設けられていることを特徴とする請求
項１記載の磁気センサ。 - 【請求項３】 感磁パターンを複数に分割した状態で備
え、各分割感磁パターンを磁極ピッチの１／ｎ（但し、
ｎは自然数）相当幅ずつずらして配置したことを特徴と
する請求項１記載の磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21966291A JPH0560568A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21966291A JPH0560568A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560568A true JPH0560568A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=16739015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21966291A Pending JPH0560568A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0560568A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013234939A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置及び磁気エンコーダ |
| JP2016169966A (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-23 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサおよびモータ |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP21966291A patent/JPH0560568A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013234939A (ja) * | 2012-05-10 | 2013-11-21 | Alps Electric Co Ltd | 磁気検出装置及び磁気エンコーダ |
| JP2016169966A (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-23 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサおよびモータ |
| TWI679401B (zh) * | 2015-03-11 | 2019-12-11 | 日商日本電產三協股份有限公司 | 磁性感測器及馬達 |
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