JPH0559768B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0559768B2 JPH0559768B2 JP14153285A JP14153285A JPH0559768B2 JP H0559768 B2 JPH0559768 B2 JP H0559768B2 JP 14153285 A JP14153285 A JP 14153285A JP 14153285 A JP14153285 A JP 14153285A JP H0559768 B2 JPH0559768 B2 JP H0559768B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- paper
- glass fibers
- fiber
- fiber diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 43
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 42
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000004887 air purification Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229920006317 cationic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Filtering Materials (AREA)
Description
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体工業におけるMOSダイナミ
ツクRAMなどの製造における空気清浄用の超高
性能エアフイルター用ガラス繊維紙に関する。 (従来の技術) 従来、エアフイルター用ガラス繊維紙とし
て、粒径0.3μの粒子を99.999%以上捕集する
HEPA紙は公知であり、これはジグザク状に
折り曲げ、その波状の折曲げて対向する紙面が
重ならないようにその各面間にジグザグ状のスペ
ーサーを挿入介在させたものを囲枠内に装入し、
その四周をシール材に介して気密に固着せしめて
エアフイルタユニツトとして、半導体工業の
MOSダイナミツクRAMの製造時における空気清
浄用のエアフイルターとして使用されている。こ
の場合、0.3μm以上の粒子を99.999%以上捕集し
且つ圧力損失が定格値で25mmAq以下(610×610
×150mm)であることが一般である。 (発明が解決しようとする問題点) 近年半導体工業における生産技術の進歩はめざ
ましく、ウエハの大口径化、パターン密度の微細
化、集積度の大容量化が進み、超LSI素子の製造
では、MOSダイナミツクRAMの場合、1Mbit〜
4Mbitの高集積化が進み、パターン寸法も0.5〜
1.5μmと超微細化され、従つて紙除去対象粒子
も0.1〜0.05μmと極めて微細なものとなり、これ
を低い圧力損失で高捕集効率のエアフイルター用
紙が望まれるが、未だ、粒径0.05μmの粒子を
99.999%捕集し得る紙は実在せずその実現が望
まれている。 (問題点を解決するための手段) 本発明は、従来実現し得なかつた微粒子径
0.05μmの粒子を低圧力損失で99.999%と云う高
捕集率で捕集し得る超高性能エアフイルター用ガ
ラス繊維紙を提供するもので、繊維径0.05μm
未満のガラス繊維2〜3重量%と、繊維径0.05〜
0.2μmのガラス繊維5〜15重量%と、これらと異
なる繊維径のガラス繊維93〜82重量%との配合か
ら成る。 (作用) 上記の本発明の特徴とする繊維径0.05μm未満
のガラス繊維2〜3重量%と、繊維径0.05〜0.2μ
mのガラス繊維5〜15重量%と、これらと異なる
繊維径のガラス繊維93〜82重量%とを配合抄造し
たガラス繊維紙により例えば、これを組み込ん
だエアフイルタユニツトとして使用した場合、従
来の紙を組み込んだエアフイルタユニツトに比
し、圧力損失25mmAq(0.7m/s)で以下の低い
値で粒径0.05μmの粒子を99.999%捕集すること
ができる。 (実施例) 本発明の実施例を次に説明する。 従来のガラス短繊維の製造装置により各種の繊
維径の異なるガラス繊維の配合組成のものが製造
されるが、本発明は特に、これらのガラス繊維径
の異なる各種配合組成のガラス繊維組を色々に混
ぜてサンプルを色々つくり、これを抄造した抄紙
型紙を、特にエアフイルタユニツトとして使用
し、特に粒径が0.05μmの粒子を99.999%捕集し
得られ而もその時の圧力損失は25mmAq以下と低
いものを得るため種々試験研究していたが、その
結果、その紙として、繊維径0.05μm未満のガ
ラス繊維2〜3重量%と、繊維径0.05〜0.2μmの
ガラス繊維5〜15重量%の範囲に含むように他の
繊維径のガラス繊維と配合し抄造し、好ましく
は、厚さ0.3〜0.50mm、目付量60〜85g/m2の抄
紙とすることにより、これを組み込みフイルタユ
ニツトとして使用した場合に、上記の低圧力損失
下で0.05μmの微粒子を99.999%捕集し得る紙
の実現をもたらした。 次にその詳細な実施例を説明する。 実施例 1 従来のガラス繊維の製造装置により夫々下記の
繊維径分布組成のガラス繊維A組とガラス繊維B
組とを製造した。
ツクRAMなどの製造における空気清浄用の超高
性能エアフイルター用ガラス繊維紙に関する。 (従来の技術) 従来、エアフイルター用ガラス繊維紙とし
て、粒径0.3μの粒子を99.999%以上捕集する
HEPA紙は公知であり、これはジグザク状に
折り曲げ、その波状の折曲げて対向する紙面が
重ならないようにその各面間にジグザグ状のスペ
ーサーを挿入介在させたものを囲枠内に装入し、
その四周をシール材に介して気密に固着せしめて
エアフイルタユニツトとして、半導体工業の
MOSダイナミツクRAMの製造時における空気清
浄用のエアフイルターとして使用されている。こ
の場合、0.3μm以上の粒子を99.999%以上捕集し
且つ圧力損失が定格値で25mmAq以下(610×610
×150mm)であることが一般である。 (発明が解決しようとする問題点) 近年半導体工業における生産技術の進歩はめざ
ましく、ウエハの大口径化、パターン密度の微細
化、集積度の大容量化が進み、超LSI素子の製造
では、MOSダイナミツクRAMの場合、1Mbit〜
4Mbitの高集積化が進み、パターン寸法も0.5〜
1.5μmと超微細化され、従つて紙除去対象粒子
も0.1〜0.05μmと極めて微細なものとなり、これ
を低い圧力損失で高捕集効率のエアフイルター用
紙が望まれるが、未だ、粒径0.05μmの粒子を
99.999%捕集し得る紙は実在せずその実現が望
まれている。 (問題点を解決するための手段) 本発明は、従来実現し得なかつた微粒子径
0.05μmの粒子を低圧力損失で99.999%と云う高
捕集率で捕集し得る超高性能エアフイルター用ガ
ラス繊維紙を提供するもので、繊維径0.05μm
未満のガラス繊維2〜3重量%と、繊維径0.05〜
0.2μmのガラス繊維5〜15重量%と、これらと異
なる繊維径のガラス繊維93〜82重量%との配合か
ら成る。 (作用) 上記の本発明の特徴とする繊維径0.05μm未満
のガラス繊維2〜3重量%と、繊維径0.05〜0.2μ
mのガラス繊維5〜15重量%と、これらと異なる
繊維径のガラス繊維93〜82重量%とを配合抄造し
たガラス繊維紙により例えば、これを組み込ん
だエアフイルタユニツトとして使用した場合、従
来の紙を組み込んだエアフイルタユニツトに比
し、圧力損失25mmAq(0.7m/s)で以下の低い
値で粒径0.05μmの粒子を99.999%捕集すること
ができる。 (実施例) 本発明の実施例を次に説明する。 従来のガラス短繊維の製造装置により各種の繊
維径の異なるガラス繊維の配合組成のものが製造
されるが、本発明は特に、これらのガラス繊維径
の異なる各種配合組成のガラス繊維組を色々に混
ぜてサンプルを色々つくり、これを抄造した抄紙
型紙を、特にエアフイルタユニツトとして使用
し、特に粒径が0.05μmの粒子を99.999%捕集し
得られ而もその時の圧力損失は25mmAq以下と低
いものを得るため種々試験研究していたが、その
結果、その紙として、繊維径0.05μm未満のガ
ラス繊維2〜3重量%と、繊維径0.05〜0.2μmの
ガラス繊維5〜15重量%の範囲に含むように他の
繊維径のガラス繊維と配合し抄造し、好ましく
は、厚さ0.3〜0.50mm、目付量60〜85g/m2の抄
紙とすることにより、これを組み込みフイルタユ
ニツトとして使用した場合に、上記の低圧力損失
下で0.05μmの微粒子を99.999%捕集し得る紙
の実現をもたらした。 次にその詳細な実施例を説明する。 実施例 1 従来のガラス繊維の製造装置により夫々下記の
繊維径分布組成のガラス繊維A組とガラス繊維B
組とを製造した。
【表】
【表】
上記のA組ガラス繊維(0.05〜0.2μmの繊維径
のガラス繊維45重量%含有)を25重量%とB組ガ
ラス繊維(0.05〜0.2μmの繊維径のガラス繊維3
重量%含有)を65重量%と更に繊維径7μmのガ
ラス長繊維(チヨツプドストランド)10重量%と
を繊維濃度0.35%となるようにパルパーに投入し
混合離解し、これを抄造した。得られた湿式紙を
乾燥し、アクリル樹脂及び撥水剤の混合液でデイ
ツピングし、乾燥し、目付量75g/m2、厚さ0.40
mmのガラス繊維紙を得た。該紙の繊維径分布
組成は下記の通りである。
のガラス繊維45重量%含有)を25重量%とB組ガ
ラス繊維(0.05〜0.2μmの繊維径のガラス繊維3
重量%含有)を65重量%と更に繊維径7μmのガ
ラス長繊維(チヨツプドストランド)10重量%と
を繊維濃度0.35%となるようにパルパーに投入し
混合離解し、これを抄造した。得られた湿式紙を
乾燥し、アクリル樹脂及び撥水剤の混合液でデイ
ツピングし、乾燥し、目付量75g/m2、厚さ0.40
mmのガラス繊維紙を得た。該紙の繊維径分布
組成は下記の通りである。
【表】
尚、抄造時の水は、酸でPH3に調製したもの或
は酸を添加せずPH6.8の中性水に微量の例えば
8PPMのカチオン高分子を添加して調製したもの
のいづれを使用してもよい。 実施例 2 前記のA組ガラス繊維33重量%と別に製造した
下記の繊維径分布のC組ガラス繊維57重量%と繊
維径7μmの長繊維であるチヨツプドストランド
ガラス繊維10重量%とを、繊維濃度0.35%となる
ようにパルパーに投入し、混合離解し、これを前
記実施例1と同様に抄造し目付量85g/m2、厚さ
0.45mmの紙を得た。その紙の繊維径分布組成
は下記の通りである。
は酸を添加せずPH6.8の中性水に微量の例えば
8PPMのカチオン高分子を添加して調製したもの
のいづれを使用してもよい。 実施例 2 前記のA組ガラス繊維33重量%と別に製造した
下記の繊維径分布のC組ガラス繊維57重量%と繊
維径7μmの長繊維であるチヨツプドストランド
ガラス繊維10重量%とを、繊維濃度0.35%となる
ようにパルパーに投入し、混合離解し、これを前
記実施例1と同様に抄造し目付量85g/m2、厚さ
0.45mmの紙を得た。その紙の繊維径分布組成
は下記の通りである。
【表】
【表】
比較例
繊維径0.3〜4μmのガラス短繊維を90重量%と
繊維径7μmの長繊維ガラス繊維(チヨツプドス
トランド)10重量%とを配合し実施例1と同様に
抄造した目付量75g/m2、厚さ0.40mmの従来の
紙を作成した。 上記の本発明実施例1及び2の紙及び比較例
の紙につき、エアフイルターユニツトに組み込
まない紙自体のフイルター特性並びにエアフイ
ルタユニツトに構成したもののエアフイルター特
性を夫々試験した。その結果は下記表1の通りで
あつた。エアフイルタユニツトの寸法は全て610
×610×150mmとした。
繊維径7μmの長繊維ガラス繊維(チヨツプドス
トランド)10重量%とを配合し実施例1と同様に
抄造した目付量75g/m2、厚さ0.40mmの従来の
紙を作成した。 上記の本発明実施例1及び2の紙及び比較例
の紙につき、エアフイルターユニツトに組み込
まない紙自体のフイルター特性並びにエアフイ
ルタユニツトに構成したもののエアフイルター特
性を夫々試験した。その結果は下記表1の通りで
あつた。エアフイルタユニツトの寸法は全て610
×610×150mmとした。
【表】
上記表1から明らかなように、繊維径0.05μm
未満のガラス短繊維2〜3重量%と、繊維径0.05
〜0.2μmのガラス短繊維5〜15重量%を含有する
本発明の紙をエアフイルタとして使用するとき
は、0.05μm粒径の微細粒子を99.999%、25mmAq
(0.7m/sで)以下の低い圧力損失で捕集でき、
超高性能エアフイルター用に適用し得ることが認
められる。多くの実験研究の結果、繊維径0.05〜
0.2μmのガラス短繊維の含有量が5%未満では上
記の高捕集効率を維持できず、一方15%を越える
ときは、圧力損失が増大し実用的でなくなる。 又繊維径が0.05μm未満のガラス繊維の含有は、
数%までは差支えないが、それ以上の増加は、そ
の割には0.05μDOPの捕集効率の増大に効果がな
いことが認められた。紙の残部は繊維径0.2μm
を超える繊維径は9μmまでから選んだ任意の短
繊維で構成することにより上記の効果をもたらす
が、ジグザグ状の折り曲げ強度を増大するには7
〜9μmのチヨツプドストランド(ガラス長繊維)
を含有せしめることが好ましい。 又、本発明紙の秤量は60〜85g/m2、厚さ
0.3〜0.5mmであることが実用上好ましい。又繊維
径0.05μm未満、および繊維径0.05〜0.2μmの著し
い細かい短繊維は抄造時に抄造ネツトから抜けや
すいためガラス繊維の離解濃度0.5%以下望まし
くは0.35%で離解することにより、離解時に繊維
が短くなることを防ぐことができる。 (発明の効果) 本発明のガラス繊維紙は、繊維径0.05μm未
満のガラス繊維を2〜3重量%と、繊維径0.05〜
0.2μmのガラス繊維を5〜15重量%と、これらと
は異なる繊維径のガラス繊維を93〜82重量%との
配合から成るので、従来実現できなかつた粒径
0.05μmの粒子を、低圧力損失で、99.999%捕集
することができるフイルター特性を有し、電子工
業等における超高性能エアフイルタユニツトとし
て優れた性能をもたらす効果を有する。
未満のガラス短繊維2〜3重量%と、繊維径0.05
〜0.2μmのガラス短繊維5〜15重量%を含有する
本発明の紙をエアフイルタとして使用するとき
は、0.05μm粒径の微細粒子を99.999%、25mmAq
(0.7m/sで)以下の低い圧力損失で捕集でき、
超高性能エアフイルター用に適用し得ることが認
められる。多くの実験研究の結果、繊維径0.05〜
0.2μmのガラス短繊維の含有量が5%未満では上
記の高捕集効率を維持できず、一方15%を越える
ときは、圧力損失が増大し実用的でなくなる。 又繊維径が0.05μm未満のガラス繊維の含有は、
数%までは差支えないが、それ以上の増加は、そ
の割には0.05μDOPの捕集効率の増大に効果がな
いことが認められた。紙の残部は繊維径0.2μm
を超える繊維径は9μmまでから選んだ任意の短
繊維で構成することにより上記の効果をもたらす
が、ジグザグ状の折り曲げ強度を増大するには7
〜9μmのチヨツプドストランド(ガラス長繊維)
を含有せしめることが好ましい。 又、本発明紙の秤量は60〜85g/m2、厚さ
0.3〜0.5mmであることが実用上好ましい。又繊維
径0.05μm未満、および繊維径0.05〜0.2μmの著し
い細かい短繊維は抄造時に抄造ネツトから抜けや
すいためガラス繊維の離解濃度0.5%以下望まし
くは0.35%で離解することにより、離解時に繊維
が短くなることを防ぐことができる。 (発明の効果) 本発明のガラス繊維紙は、繊維径0.05μm未
満のガラス繊維を2〜3重量%と、繊維径0.05〜
0.2μmのガラス繊維を5〜15重量%と、これらと
は異なる繊維径のガラス繊維を93〜82重量%との
配合から成るので、従来実現できなかつた粒径
0.05μmの粒子を、低圧力損失で、99.999%捕集
することができるフイルター特性を有し、電子工
業等における超高性能エアフイルタユニツトとし
て優れた性能をもたらす効果を有する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 繊維径0.05μm未満のガラス繊維2〜3重量
%と、繊維径0.05〜0.2μmのガラス繊維5〜15重
量%と、これらと異なる繊維径のガラス繊維93〜
82重量%との配合から成る超高性能エアフイルタ
ー用ガラス繊維紙。 2 厚さ0.3〜0.5mm、目付量60〜85g/m2である
特許請求の範囲第1項に記載の紙。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14153285A JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14153285A JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS624418A JPS624418A (ja) | 1987-01-10 |
JPH0559768B2 true JPH0559768B2 (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=15294158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14153285A Granted JPS624418A (ja) | 1985-06-29 | 1985-06-29 | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS624418A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4213041A1 (en) | 2022-01-13 | 2023-07-19 | Fujifilm Business Innovation Corp. | Information processing apparatus, program, and information processing method |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0732851B2 (ja) * | 1991-03-13 | 1995-04-12 | 北越製紙株式会社 | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
JP5154738B2 (ja) * | 2004-07-26 | 2013-02-27 | 日本板硝子株式会社 | 耐熱セラミックシート |
JP5579055B2 (ja) | 2008-03-25 | 2014-08-27 | 北越紀州製紙株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
-
1985
- 1985-06-29 JP JP14153285A patent/JPS624418A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4213041A1 (en) | 2022-01-13 | 2023-07-19 | Fujifilm Business Innovation Corp. | Information processing apparatus, program, and information processing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS624418A (ja) | 1987-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0106908B1 (de) | Mehrschichtiges Filtermaterial, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung desselben | |
DE2647701A1 (de) | Sole und gele und verfahren zu ihrer herstellung | |
DE4010526C2 (de) | Filtermaterial in Form von flexiblen Blättern oder Bahnen und Verfahren zu seiner Herstellung | |
EP3212846B1 (de) | Schnell fibrillierende lyocellfasern und deren verwendung | |
DE2721511A1 (de) | Adsorbierender, nichtgewebter stoff und verfahren zu dessen herstellung | |
DE60103862T2 (de) | Kombiniertes filter für dämpfe und partikel | |
DE1904483C3 (de) | Nach Gebrauch wegwerfbare Sackoder Taschenfilter aus Faserstoff | |
DE69833493T2 (de) | Gewebe | |
DE4309845A1 (de) | Filtermaterial | |
JPH0559768B2 (ja) | ||
DE69831399T2 (de) | Vlies aus Metall und Glas | |
JPS54140800A (en) | Cigarette filter | |
US2787542A (en) | Glass paper | |
DE3127995A1 (de) | Poroese formkoerper, die aus einer angesammelten masse aus schnur- oder fadenfoermigen extrudaten hergestellt sind | |
CN113073492A (zh) | 一种***过滤纸及其制备方法 | |
DE2241420A1 (de) | Flaechensorptionsmaterial | |
JP3669798B2 (ja) | 難燃減容高性能エアフィルタ濾材およびその製造方法 | |
US3249491A (en) | Process for molding a glass fiber aerosol filter | |
JP6964033B2 (ja) | エアフィルタ用濾材 | |
JP7215871B2 (ja) | エアフィルタ用濾材及びその製造方法 | |
JPH03202108A (ja) | 活性炭素繊維シート及びフィルター | |
JP3046347B2 (ja) | 脱臭用フィルター濾材およびその製造法 | |
JPS63236512A (ja) | エアフイルタ−濾過材 | |
JPS62155914A (ja) | 空気清浄用濾紙 | |
CN113201960B (zh) | 一种光催化纸及其制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |