JPH0554821U - エアースピンドル - Google Patents
エアースピンドルInfo
- Publication number
- JPH0554821U JPH0554821U JP11205891U JP11205891U JPH0554821U JP H0554821 U JPH0554821 U JP H0554821U JP 11205891 U JP11205891 U JP 11205891U JP 11205891 U JP11205891 U JP 11205891U JP H0554821 U JPH0554821 U JP H0554821U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- spindle
- supply system
- air supply
- system path
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
- F16C32/0685—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for radial load only
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 エアースピンドルのエアーシール領域に、圧
力の高い未使用のエアーを供給することによりエアーシ
ール効果を高める。 【構成】 ダイシング装置等に使用されるエアースピン
ドルであって、このエアースピンドルは、回転軸とこの
回転軸をスラスト方向、ラジアル方向に非接触で支持す
るエアーベアリング領域及びコンタミの侵入を防止する
エアーシール領域を含むスピンドルハウジングとから構
成される。スピンドルハウジングには、エアーベアリン
グ領域までエアーを供給する第1のエアー供給系路が形
成されると共に、第1のエアー供給系路から分岐して又
は別系路でエアーシール領域までエアーを供給する第2
のエアー供給系路が形成される。
力の高い未使用のエアーを供給することによりエアーシ
ール効果を高める。 【構成】 ダイシング装置等に使用されるエアースピン
ドルであって、このエアースピンドルは、回転軸とこの
回転軸をスラスト方向、ラジアル方向に非接触で支持す
るエアーベアリング領域及びコンタミの侵入を防止する
エアーシール領域を含むスピンドルハウジングとから構
成される。スピンドルハウジングには、エアーベアリン
グ領域までエアーを供給する第1のエアー供給系路が形
成されると共に、第1のエアー供給系路から分岐して又
は別系路でエアーシール領域までエアーを供給する第2
のエアー供給系路が形成される。
Description
【0001】
本考案は、ダイシング装置等に使用されるエアースピンドルに関するものであ る。
【0002】
ダイシング装置等に使用されるエアースピンドルは、エアーを媒体として回転 軸が軸受けに非接触状態で保持されるものであり、従来例えば特開昭61−24 817号公報、特開昭61−25740号公報、特開昭58−68516号公報 等に開示されている。 このような従来のエアースピンドルにおいて、コンタミ等の切削屑が内部に侵 入するのを防止するために、図3に示すようにエアーベアリング領域aの先端部 にエアーシール領域bを設け、このエアーシール領域b内の一部のエアーを回転 軸cとの僅かな隙間dから外部に吹き出させ、その隙間dからコンタミ等の切削 屑が侵入するのを防ぐようにしている。
【0003】
前記エアースピンドルのエアーシールによると、エアーベアリング領域aに供 給される高圧エアーeの一部を前記エアーシール領域bに導いて再利用している ため、エアーの圧力が低下してエアーシール効果が充分でない問題点があった。
【0004】 本考案は、このような従来の問題点を技術的に解決するためになされ、圧力の 高い未使用のエアーをエアーシール領域に供給することによって、エアーシール の効果を著しく向上させた、エアースピンドルを提供することを課題としたもの である。
【0005】
この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、ダイシング装置等 に使用されるエアースピンドルであって、このエアースピンドルは、回転軸とこ の回転軸をスラスト方向、ラジアル方向に非接触で支持するエアーベアリング領 域及びコンタミの侵入を防止するエアーシール領域を含むスピンドルハウジング とから構成され、 このスピンドルハウジングには、エアーベアリング領域までエアーを供給する 第1のエアー供給系路が形成されていると共に、第1のエアー供給系路から分岐 して又は別系路でエアーシール領域までエアーを供給する第2のエアー供給系路 が形成されたことを要旨とするものである。
【0006】
高圧で未使用のエアーが、第1のエアー供給系路から分岐した、或は独立した 別系路の第2のエアー供給系路を経てエアーシール領域に供給されるので、エア ーの圧力低下を未然に防止してエアーシールの効果を著しく向上させることがで きる。
【0007】
以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。 図1は本考案の第1実施例を示すもので、1はスピンドルハウジングであり、シ リンダー2と、その内部に嵌着されたスリーブ3と、シリンダー2の先端部に取 り付けられた第1のスラストベアリング4、スラストカラー5、及び第2のスラ ストベアリング6とを備え、回転軸7をスラスト方向及びラジアル方向いずれも 接触しないで軸受け作用ができるようにしてある。
【0008】 前記スピンドルハウジング1には、エアーベアリング領域までエアーを供給す る第1のエアー供給系路Aが形成され、この第1のエアー供給系路Aは、前記シ リンダー2に設けられた給気路2aと、第1のスラストベアリング4に設けられ た給気路4aと、スラストカラー5に設けられた給気路5aと、第2のスラスト ベアリング6に設けられた給気路6aとから構成され、前記回転軸7のスラスト 方向のエアーベアリング領域S及びラジアル方向のエアーベアリング領域Rに高 圧のエアーを供給できるようにしてある。
【0009】 前記第1のエアー供給系路Aからエアーベアリング領域S、Rに供給された高 圧のエアーは、前記第2のスラストベアリング6に設けられた排気路6bと、第 1のスラストベアリング4に設けられた排気路4b、及び排気溜りP、Qを介し てシリンダー2に設けられた排気路2bに流入し、この排気路2bから殆ど大気 圧に近い低圧のエアーとなって外部に排気される。
【0010】 前記第2のスラストベアリング6には、途中で分岐6cしてシール用空気溜め Tに至る第2のエアー供給系路Bが設けられており、第1のエアー供給系路Aか ら供給された高圧のエアーの一部をシール用空気溜めTに供給できるようにして ある。 従って、このシール用空気溜めTに供給された高圧エアーが、回転軸7との僅 かな隙間から外部に強く吹き出し、コンタミ等の切削屑の侵入を防止することに よりエアーシール領域Uのエアーシール効果を著しく向上させることができる。
【0011】 図2は本考案の第2実施例を示すもので、基本的な構成は前記第1実施例のも のと同じであるが、第2のエアー供給系路B′を第1のエアー供給系路Aから分 岐させないで独立の別系路として設けた点が異なる。即ち、第1実施例と同じ部 材は同一符号を付けて記述するが、スピンドルハウジング1におけるシリンダー 2、第1のスラストベアリング4、スラストカラー5及び第2のスラストベアリ ング6にそれぞれ設けた給気路2c、4c、5c、6cを連通させると共に、シ ール用空気溜めTに至る第2のエアー供給系路B′を設けてある。
【0012】 従って、この場合も第2のエアー供給系路B′からシール用空気溜めTに高圧 エアーが供給され、回転軸7との僅かな隙間から外部に強く吹き出すのでコンタ ミ等の切削屑の侵入を防止し、エアーシール領域Uのエアーシール効果を著しく 向上させることができる。
【0013】 尚、高圧エアーといっても第2のエアー供給系路B′はエアーシール領域にだ け供給するものであるから、第1実施例で用いる高圧エアー(5Kg/cm2 )より やや低い1.5〜2Kg/cm2 程度の中圧エアーで充分実施することが可能である 。
【0014】
以上説明したように、本考案は、ダイシング装置等に用いるエアースピンドル において、コンタミ等の切削屑の侵入を防ぐエアーシール領域には、回転軸のエ アーベアリング領域に高圧エアーを供給する第1のエアー供給系路から分岐させ た、或はこれとは独立した別系路の第2のエアー供給系路から供給する構成にし たので、シール用空気溜めに未使用の高圧エアーを供給することが可能となり、 このため回転軸との僅かな隙間から高圧エアーを強く吹き出させることにより、 コンタミ等の切削屑の侵入を確実に防止し、エアーシール効果を著しく向上させ る効果を奏する。
【図1】 本考案の第1実施例を示す主要部の概略断面
図である。
図である。
【図2】 本考案の第2実施例を示す主要部の概略断面
図である。
図である。
【図3】 従来例を示す主要部の概略断面図である。
1…スピンドルハウジング 2…シリンダー 2a
…給気路 2b…排気路 2c…給気路 3…ス
リーブ 4…第1のスラストベアリング 4a…給気路 4b…排気路 4c…給気路 5
…スラストカラー 5a…給気路 5c…給気路
6…第2のスラストベアリング 6a…給気路
6b…排気路 6c…給気路 7…回転軸 A…第1のエアー供給系路 B、B′…第2のエアー
供給系路 P、Q…排気溜り R、S…エアーベア
リング領域 T…シール用空気溜め U…エアーシ
ール領域
…給気路 2b…排気路 2c…給気路 3…ス
リーブ 4…第1のスラストベアリング 4a…給気路 4b…排気路 4c…給気路 5
…スラストカラー 5a…給気路 5c…給気路
6…第2のスラストベアリング 6a…給気路
6b…排気路 6c…給気路 7…回転軸 A…第1のエアー供給系路 B、B′…第2のエアー
供給系路 P、Q…排気溜り R、S…エアーベア
リング領域 T…シール用空気溜め U…エアーシ
ール領域
Claims (1)
- 【請求項1】 ダイシング装置等に使用されるエアース
ピンドルであって、このエアースピンドルは、回転軸と
この回転軸をスラスト方向、ラジアル方向に非接触で支
持するエアーベアリング領域及びコンタミの侵入を防止
するエアーシール領域を含むスピンドルハウジングとか
ら構成され、 このスピンドルハウジングには、エアーベアリング領域
までエアーを供給する第1のエアー供給系路が形成され
ていると共に、第1のエアー供給系路から分岐して又は
別系路でエアーシール領域までエアーを供給する第2の
エアー供給系路が形成されたことを特徴とするエアース
ピンドル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11205891U JPH0554821U (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | エアースピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11205891U JPH0554821U (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | エアースピンドル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0554821U true JPH0554821U (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=14576991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11205891U Pending JPH0554821U (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | エアースピンドル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0554821U (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006336826A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
JP2009279662A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンドルユニット及び切削装置 |
JP2011054847A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2013213558A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-17 | Matsuo Shigeto | 圧力バランスランド型スラスト軸受 |
KR101825112B1 (ko) * | 2016-12-15 | 2018-02-07 | 주식회사 세지테크 | 분체기계용 에어샤프트 실링장치 |
KR20180069490A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-25 | 엘지전자 주식회사 | 모터 |
WO2019083238A1 (ko) * | 2017-10-23 | 2019-05-02 | 엘지전자 주식회사 | 모터 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63176818A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静圧気体軸受装置 |
-
1991
- 1991-12-25 JP JP11205891U patent/JPH0554821U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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