JPH0548211A - 半導体レーザセンサの制御方式 - Google Patents

半導体レーザセンサの制御方式

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JPH0548211A
JPH0548211A JP22531391A JP22531391A JPH0548211A JP H0548211 A JPH0548211 A JP H0548211A JP 22531391 A JP22531391 A JP 22531391A JP 22531391 A JP22531391 A JP 22531391A JP H0548211 A JPH0548211 A JP H0548211A
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JP22531391A
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Nobutoshi Torii
信利 鳥居
Akira Nihei
亮 二瓶
Hiroshi Wakio
宏志 脇尾
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体レーザセンサの出力を最適な値に設定
保持できるようにする。 【構成】 CCD受光素子2で検出された受光量のピー
ク値を求める(3,4)。該ピーク値と、この時受光素
子が受光した時のレーザ指令値を記憶する2段目バッフ
ァ7(レーザ出力して受光素子のピーク値を求めるには
2周期遅れる)の出力を半導体メモリ5のアドレスとす
る。半導体メモリ5の各アドレスには、ピーク検出値が
設定値になるようにレーザ指令値が記憶されており、レ
ーザ指令値が順次修正されて増減し、ピーク検出値が設
定値になるようにフィードバック制御が行われる(8,
9,10)。レーザセンサを使用したロボットの教示時
と再生運転時には切換指令により設定値が変えられ、夫
々に適したレーザ出力が得られるようにする。可視光の
レーザビームを出力する場合でも教示時にオペレータの
目を傷めることはない。また、CCD素子が飽和するこ
とも避けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ロボット等に取り付け
られて用いられるアークセンサや、測距装置等に使用さ
れる半導体レーザセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】アーク溶接ロボットやシーリングロボッ
ト等には、溶接位置やシーリング位置を検出するため
に、半導体レーザセンサが用いられている。この半導体
レーザセンサは、レーザ発振器から投射されたレーザビ
ームを揺動ミラー(ガルバノメータ)で揺動させて対象
物上にレーザビームを当て走査し、対象物からの反射光
を捕らえて受光素子に像を作り、受光素子で受光した位
置から、位置を検出するものである。受光素子には、非
分割型・積分型素子のPSD(Position Se
nsitive Detector)か、分割型素子の
CCD(Charge Coupled Devic
e)などが使用される。
【0003】受光素子にPSDを使用した場合には、該
PSDは非分割型・積分型素子であり、受光面に当たっ
た光は全て光電流に変換されて、素子両端の電極から出
力され、この出力によって対象物の位置を検出する。受
光素子としてCCDを用いた場合には、CCDを構成す
る各セル単位で別個に光電変換を行い、各セルの出力に
おけるピーク位置により、対象物の位置を検出するもの
である(特願平3−165038号参照)。
【0004】また、溶接ロボット等に用いられるアーク
センサは従来、赤外光のレーザが用いられている。この
レーザは不可視光であるため、ロボット教示の場合など
には、センサがどの部分を見ているのか、すなわち、レ
ーザビームがどの位置に当たっているのかはっきり分か
らないという問題が有り、教示が非常に不便であった。
しかし、最近、可視光のレーザで従来のレーザと同程度
の特性,出力をもつものが開発,生産されるようになっ
た。この半導体レーザを用いれば、センサがどこを見て
いるのか明確であり、教示がしやすく、操作性が向上す
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、一般にセンサ
が必要とする半導体レーザの光出力は比較的大きい(1
0〜20mW)。これに対して、人間の目は非常に感度
が高いため、1mW以下の出力でも充分すぎる程であ
る。そのため、溶接ロボット(シーリングロボット)等
にこの半導体レーザセンサを用いた場合、ロボット教示
の際には溶接トーチ(シーリングガンのノズル)の先端
部分(すなわち、レーザ光の投射されている部分)に目
を近付けて操作する場合が多いので、レーザ光が眩しす
ぎ、最悪の場合には目を傷める恐れがある。
【0006】また、受光素子にCCD素子を用いると、
CCD素子は一般的にダイナミックレンジが小さく、一
定出力のレーザ光を投射した場合、ワーク表面の反射率
の違いにより出力が飽和したり、あるいは反射光が弱す
ぎて検出できないことがある。
【0007】そこで、本発明の目的は、半導体レーザの
出力を最適の値に設定保持できる半導体レーザの制御方
式を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】レーザビームを出力する
半導体レーザセンサにおいて、本発明は、センサの受光
素子に受光される受光量を求め、該受光量が予め設定さ
れた設定値になるようにフィードバック制御を行なって
半導体レーザを駆動制御し、上記設定値を任意に変更す
ることによって、レーザ出力を変更できるようにして受
光素子で検出される光量を最適状態にできるようにし
た。
【0009】
【作用】半導体レーザセンサの受光素子に受光される受
光量は、該半導体レーザセンサのレーザ出力に比例す
る。そして、この受光量が設定値になるようにフィード
バック制御を行なえば、レーザ出力は上記設定値によっ
て変動させることができることを意味する。そのため、
可視光のレーザビームを出力するレーザセンサを使用し
たロボットに対して教示時には上記設定値を小さくし、
レーザ出力を小さな値になるようにする。また、再生運
転時には、上記設定値を大きくし、必要とするレーザ出
力を得るようにすることができる。
【0010】
【実施例】図1は受光素子としてCCD素子を用いたレ
ーザセンサに本発明を適用した一実施例のレーザ出力制
御回路のブロック図である。レーザセンサの構成は従来
のものとほぼ同一であり、レーザ出力制御回路としてこ
の図1に示すフィードバック制御回路が付加されたもの
である。タイミングIC1はゲート信号TG,サンプル
ホールド信号SHを出力し、該サンプルホールド信号S
Hはゲート信号TGの出力周期間にCCD受光素子2の
セル数の数だけ出力される。また、ゲート信号TGは、
レーザセンサの揺動ミラーを所定角度揺動させる信号と
して利用されるものである。
【0011】CCD受光素子2はゲート信号TGでリセ
ットされ、サンプルホールド信号SHが入力される毎に
受光セル出力を出力部に出力すると共に、出力部に記憶
するゲート信号TG1周期前の各セル出力を順次A/D
コンバータ3に出力し、A/Dコンバータ3はサンプル
ホールド信号SHにより、CCD受光素子2から出力さ
れるセル出力をアナログ値からディジタル値に変換し、
ピーク検出回路4に出力する。ピーク検出回路4はサン
プルホールド信号SH毎A/Dコンバータから出力され
る値におけるピーク値を記憶し、ゲート信号TGが入力
されるとこのピーク値を半導体メモリ5のアドレスとし
て出力するとともにリセットされる。また、1段目,2
段目のバッファ6,7は半導体メモリ5の出力を記憶す
るバッファで上記ゲート信号TG毎、1段目のバッファ
のデータを2段目のバッファに格納し、1段目のバッフ
ァに半導体メモリ5の出力を格納する。半導体メモリ5
は教示かは再生かによって切換えられる切換信号を入力
すると共に、ピーク検出回路4で検出されたピーク値と
2段目のバッファ7の出力をアドレスとし、該アドレス
に記憶するデータを出力するものである。また、半導体
メモリ5の出力はD/Aコンバータ8に入力されアナロ
グ信号に変換され、該アナログ信号でレーザ駆動回路9
を駆動し半導体レーザ10からレーザビームが出力され
ることになる。
【0012】次に、図2に示す本実施例のタイミングチ
ヤートとともに本実施例の動作を説明する。まず、初め
に、ゲート信号TG1の時、半導体メモリ5の出力が初
期設定値のA1Dで半導体レーザ11からの出力がA1
であったとする。そのため、1段目のバッファ6には半
導体メモリ5の出力A1Dが格納されている。そして、
ゲート信号TG1後に発生するサンプリングホールド信
号SH毎、CCD受光素子2の受光セルの出力は出力部
に順次シフトされる。次のゲート信号TG2の時、半導
体メモリ5の出力が初期設定値のB1Dで半導体レーザ
11からの出力がB1であったとすると、2番目のバッ
ファ7にはデータA1Dが、1番目のバッファ6にはデ
ータB1Dが格納されることになる。ゲート信号TG2
後に発生するサンプリングホールド信号SH毎、CCD
受光素子2の出力部のからレーザ出力A1の受光出力が
A/Dコンバータ3に出力され、ピーク検出回路4でピ
ーク値が検出される。それと共に、レーザ出力B1を受
光したの受光セルの出力は出力部に順次シフトされる。
【0013】次に、ゲート信号TG3が出力されたとき
には、ピーク検出回路4からは、レーザ出力A1に対す
るピーク値A1Pが出力され、2段目のバッファ7から
は半導体レーザからの出力がA1になるように指令した
指令値である半導体メモリ5の出力データA1Dが出力
され、これらのデータがアドレスとして半導体メモリに
入力される。そして、このアドレス位置に記憶されたデ
ータA2Dが半導体メモリ5から出力される。この出力
はD/Aコンバータ8に入力され、アナログ信号に変換
されて増幅され、レーザ駆動回路9を介して半導体レー
ザ11を駆動し、レーザ出力A2を出力する。以下同様
に、ピーク検出回路4と2段目のバッファ7の出力をア
ドレスとして、該アドレス位置より読みだされた半導体
メモリ5からの出力により、半導体レーザは駆動制御さ
れることになる。
【0014】すなわち、CCD受光による出力とピーク
検出による処理のためにゲート信号TGの2周期分が遅
れるため、この遅れ分を2つのバッファ6,7で記憶し
ておき、半導体レーザ10の対応する指令と出力とを半
導体メモリ5のアドレスとし、そのアドレス位置に、指
令と出力の関係に応じて、次に指令する値を決定してフ
ィードバック制御を行なうものである。
【0015】さらに、半導体メモリ5には、ロボットの
教示時か再生時かによって切替わる信号が入力されてお
り、教示時には再生時よりも半導体レーザの出力が小さ
くなるように半導体メモリ5に記憶されているデータの
値は再生時に比べ小さな値が記憶されている。このよう
に、半導体メモリ5にはピーク検出回路4及び2段目バ
ッファ7の同一値に対して教示時用と再生時用の2つの
データが記憶されている。
【0016】次に、上記半導体メモリ5に記憶させる制
御データ(半導体レーザへの指令値)について、説明す
る。本実施例においては、半導体メモリ5のアドレスの
上位8ビットは前々回に決定したレーザ指令値を記憶す
る2段目のバッファ7の出力に、下位8ビットはピーク
検出回路4の出力に接続されているものとする。すなわ
ち、ピーク検出回路4の出力は8ビットで10進数で0
〜255の値を出力し、該半導体メモリ5の出力は8ビ
ットで10進数で0〜255の値を出力するものとして
している。
【0017】まず、CCD素子の出力のピーク値を幾つ
に安定させるか決定する。例えば、この目標値(設定
値)を10進数で127とすると、図3に示すように、
ピーク検出回路4で検出した値が、この目標値127よ
り小さい場合には、2段目のバッファの出力値(前々回
のレーザ指令値)より「1」多い値を、該2段目のバッ
ファ7とピーク検出回路4の出力によるアドレス位置に
記憶させる。また、目標値より大きいときには2段目の
バッファの出力値(前々回のレーザ指令値)より「1」
小さい値を記憶させる。すなわち、図3に示すように、
目標値「127」より小さいピーク検出回路4によるア
ドレス位置には、2段目のバッファによるアドレスの値
よりも「1」大きい値を、ピーク検出回路4と2段目の
バッファ7の出力に対応するアドレス位置に記憶させ
る。また、目標値「127」より大きいピーク検出回路
の値によるアドレスに対しては2段目バッファの出力に
対応する各アドレス(0〜255)に対して、2段目バ
ッファの出力より「1」小さい値を記憶させる。 そし
て、ピーク検出回路の出力値が目標値「127」と同じ
であれば、2段目バッファの出力に対応する各アドレス
(0〜255)に対して、このアドレス(2段目バッフ
ァ出力)と同一の値を記憶させる。
【0018】さらに、本実施例では、可視光のレーザを
出力する半導体レーザセンサをロボットに使用するとき
の教示モード時と再生モード時用のために目標値を変え
るようにしている。そのために、再生時には目標値を大
きく教示時には小さくして2種類のテーブルを作成し記
憶させる。切換指令として、教示時には例えば「1」の
信号を、再生時には「0」の信号を該半導体メモリに入
力することによって、ピーク検出回路4と2段目バッフ
ァの出力によるアドレスが同一でも、上記切換信号によ
って教示用か再生用かのテーブルを選択して、当該アド
レス値のデータ(レーザ指令値)を出力するようにす
る。そうすれば、教示時には、レーザからは大きな出力
が出力されず、レーザビームがワークに投射されている
位置をオペレータが観察しても、光量が少なく、目を傷
めるようなことがない。また、再生運転時にはレーザ出
力が大きくなり、CCD素子で受光する受光量も大きく
なって安定して位置を検出することができる。
【0019】このCCD受光素子を使用したレーザセン
サの場合、上述したように、レーザビームを投射してそ
の投射によるCCD受光素子のピーク値検出は、投射周
期2回遅れるため、ピーク検出回路4で検出したピーク
値は2段目のバッファに記憶する前々回のレーザ指令値
によるものである。そのため、半導体メモリ5にアドレ
スとして入力される値はレーザ指令値に対するピーク値
であり、このアドレスに対して、新たなレーザ指令値を
求めるようにしたもので、指令に対し検出ピーク値が目
標値に達してなければ指令値を上昇し、目標値を越えて
いれば、指令値を小さくし、目標値と一致していれば指
令値をそのまま保持するようにしたものである。
【0020】例えば、目標値(設定値)を「127」と
し作動を開始させると、初めはピーク値は「0」であ
り、2段目バッファの出力も「0」であるので、新しい
レーザ指令値「1」が出力されることになる。この指令
値に対して2周期遅れてピーク値が検出されるが、この
ピーク値は恐らく目標値「127」よりも小さいので、
新しいレーザ指令値として「2」が出力される。以下順
次レーザ指令値は増大していき、例えば、ピーク値が
「126」を検出したとき2段目のバッファの出力が
「125」であったとする。そうすると、新しいレーザ
指令値は「126」となる。そして、このレーザ指令値
「126」に対してピーク値が目標値「127」になっ
たことが検出されると、新しいレーザ指令値は「12
6」となり、ピーク値が「127」を保持する限り、レ
ーザ指令値は「126」を保持することになる。また、
レーザ指令値が「126」の状態で検出ピーク値が「1
28」となると、新しい指令値は「125」となり、検
出ピーク値が「127」になるようにレーザ指令値が補
正されることになる。
【0021】上記例では、前々回の指令値(当該ピーク
値検出に対する指令値)に対する加減量を「1」とした
が、この加減量を大きくすれば応答性は早くなり、小さ
くすれば応答は遅くなる。ただし、この加減量を大きく
するとレーザ出力の変化率が大きくなり、ワークの表面
反射率が大きい場合にはCCD素子が飽和したり、ある
いは受光量が不足するなどの問題が生じる。ワークを鉄
板などにした条件ではこの加減量を2〜3以上にすると
制御できない場合が生じる。そこで、CCD出力のピー
ク値が目標値より低い場合には新しい指令値を(前々回
の指令値×定数)、CCD出力のピーク値が目標値より
高い場合には新しい指令値を(前々回の指令値/定数)
として、各種ワークに対して最適の定数を求め半導体メ
モリに制御データ(指令値)を記憶させる。例えば、上
記定数を「1.24」として上記制御データを作成し半
導体メモリに記憶させたときには、前述した方式(目標
値より小さいときは前々回の指令値より「1」大きく、
目標値より大きいときには「1」小さい値を新しい指令
値とする方式)に比べ約10倍の応答性が得られた。
【0022】上述した実施例では受光素子としてCCD
素子を使用した例を述べたが、受光素子としてPSD素
子を使用した場合には、このPSD素子は非分割型・積
分型素子で受光素子の両端からの電極から出力される電
流値によって対象物の位置を検出するものであり、位置
検出に遅れをほとんど伴わない。そのため、受光素子の
両端からの電極から出力される電流値の総和を設定値に
保持するようにフィードバック制御を行なうようにすれ
ばよく、上記電流値の総和を求め該総和と設定値との差
を差動増幅器等で増幅しレーザ指令値とすればよいもの
である。この場合においても、ロボット教示時と再生運
転時では上記設定値を変えることによってレーザ出力を
変えるようにすればよい。
【0023】
【発明の効果】本発明は、半導体レーザセンサの出力を
設定値に保持されるようにフィードバック制御を行なう
ようにしたから、レーザ出力を最適な値に設定すること
ができる。可視光を出力するレーザセンサを溶接ロボッ
トに用いた場合に、教示時においては上記設定値を小さ
くし、レーザ出力を小さくしレーザビームがワークに当
たる位置をオペレータが観察しても目を傷めないような
光量にすることができるので、教示が正確でかつ容易に
なる。また、受光素子としてCCD素子を使用した場合
でも、レーザ出力を設定値になるように制御されるか
ら、CCD素子が飽和したり、受光量不足等が生じな
く、最適の状態を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例におけるレーザ出力制御回路
のブロック図である。
【図2】同実施例におけるタイミングチャートである。
【図3】同実施例における半導体メモリに記憶させる制
御データの説明図である。
【符号の説明】
1 タイミングIC 2 CCD受光素子 3 A/Dコンバータ 4 ピーク検出回路 5 半導体メモリ 6,7 バッファ 8 D/Aコンバータ 9 レーザ駆動回路 10 半導体レーザ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体レーザセンサにおいて、センサの
    受光素子に受光される受光量を求め、該受光量が予め設
    定された設定値になるようにフィードバック制御を行な
    って半導体レーザを駆動制御する半導体レーザセンサの
    制御方式。
  2. 【請求項2】 センサの受光素子にCCD受光素子を用
    いた半導体レーザセンサにおいて、上記受光素子に受光
    される受光量のピーク値を求め、上記半導体レーザセン
    サのレーザ出力指令値から上記ピーク値が求められる間
    での遅れ分上記出力指令値を記憶しておき、検出された
    上記ピーク値と該ピーク値に対応する記憶された出力指
    令値に基づいてレーザ出力のピーク値が設定値になるよ
    うにレーザ出力指令値を変えるようにした半導体レーザ
    センサの制御方式。
  3. 【請求項3】 上記半導体レーザセンサに可視光のレー
    ザビームを出力する半導体レーザセンサを用い、該半導
    体レーザセンサを使用したロボットに教示するときに
    は、ロボット再生運転時より上記設定値を下げて制御す
    る請求項1若しくは請求項2記載の半導体レーザセンサ
    の制御方式。
JP22531391A 1991-08-12 1991-08-12 半導体レーザセンサの制御方式 Pending JPH0548211A (ja)

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Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110645907A (zh) * 2018-06-26 2020-01-03 精工爱普生株式会社 三维计测装置、控制装置及机器人***

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