JPH0544852A - 真空ポンプ用オイルシール - Google Patents
真空ポンプ用オイルシールInfo
- Publication number
- JPH0544852A JPH0544852A JP3200239A JP20023991A JPH0544852A JP H0544852 A JPH0544852 A JP H0544852A JP 3200239 A JP3200239 A JP 3200239A JP 20023991 A JP20023991 A JP 20023991A JP H0544852 A JPH0544852 A JP H0544852A
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- JP
- Japan
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- seal
- oil
- lip
- resin
- pressing
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- Pending
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- Sealing Of Bearings (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】オイルシールの背面部又は内周部に、ロータ機
内側と逆方向である高圧側に傾斜して延びるリップ形状
の樹脂製の副リップシール２０と、押し付け力を負荷す
るシール押し付け用ばね２１を設けた。 【効果】副リップシールとシール押し付け用ばねによ
り、メインリップからの漏洩油を阻止し、シール材が潤
滑性の良い樹脂でできているため、従来のようなグリー
ス潤滑が不要になり、あるいは副リップシールが摩耗し
てもばねにより常時押圧しているので安定した密封性能
が得られる。
内側と逆方向である高圧側に傾斜して延びるリップ形状
の樹脂製の副リップシール２０と、押し付け力を負荷す
るシール押し付け用ばね２１を設けた。 【効果】副リップシールとシール押し付け用ばねによ
り、メインリップからの漏洩油を阻止し、シール材が潤
滑性の良い樹脂でできているため、従来のようなグリー
ス潤滑が不要になり、あるいは副リップシールが摩耗し
てもばねにより常時押圧しているので安定した密封性能
が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置などに用
いられる真空ポンプ用軸封装置に係り、特に軸受潤滑油
がオイルフリーなロータ機内へ絶対に浸入しないように
するために好適な真空ポンプ用オイルシールに関する。
いられる真空ポンプ用軸封装置に係り、特に軸受潤滑油
がオイルフリーなロータ機内へ絶対に浸入しないように
するために好適な真空ポンプ用オイルシールに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置は、実開昭63−162168号公報
に記載のように、ダストリップ部がメインリップ部と反
対の方向に延びていた。また、ダストリップの潤滑はメ
インリップとダストリップの間に封入したグリースによ
り行っていた。このような構造のオイルシールにおいて
は、シールの背面側が真空になるとダストリップは緊迫
力が減少する方向に変形し、メインシールを通過した密
封油及びダストリツプの潤滑用グリースが真空側へ漏れ
やすい状態となっていた。
に記載のように、ダストリップ部がメインリップ部と反
対の方向に延びていた。また、ダストリップの潤滑はメ
インリップとダストリップの間に封入したグリースによ
り行っていた。このような構造のオイルシールにおいて
は、シールの背面側が真空になるとダストリップは緊迫
力が減少する方向に変形し、メインシールを通過した密
封油及びダストリツプの潤滑用グリースが真空側へ漏れ
やすい状態となっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、万
一、メインリップ部から油漏れがあった場合に、真空雰
囲気のロータ機内側への油もれを阻止するような予備手
段の点について考慮がなされておらず、漏れた潤滑油が
真空チャンバ内に浸入し、製品を汚染するという問題が
あった。
一、メインリップ部から油漏れがあった場合に、真空雰
囲気のロータ機内側への油もれを阻止するような予備手
段の点について考慮がなされておらず、漏れた潤滑油が
真空チャンバ内に浸入し、製品を汚染するという問題が
あった。
【０００４】本発明の目的は、万一、メインリップから
油が漏れた場合でも、絶対にロータ機内に油が浸入しな
いように予備手段を備えたことにある。
油が漏れた場合でも、絶対にロータ機内に油が浸入しな
いように予備手段を備えたことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明はオイルシールの背面部あるいは内周部に
潤滑性の良い樹脂から成り、リップが高圧側に傾斜して
延びた副リップシールと副リップシールを押圧するため
のシール押し付け用ばねを設けたものである。
めに、本発明はオイルシールの背面部あるいは内周部に
潤滑性の良い樹脂から成り、リップが高圧側に傾斜して
延びた副リップシールと副リップシールを押圧するため
のシール押し付け用ばねを設けたものである。
【０００６】
【作用】従来のダストリップでは背面部が真空になると
リップの先端が開く方向に働くが、本発明の予備手段と
しての副リップは、真空雰囲気であるロータ機内と反対
の方向にリップが延びているので、軸受潤滑油側が大気
圧であっても運転中はリップ弾性の他に、真空と大気圧
との差圧による緊迫力とシール押し付け用ばねによる緊
迫力が増加されて摺接する。また、従来のシール形状で
は潤滑剤としてのグリースが真空側へ吸い込まれる可能
性が大きかったが、本発明ではグリースパックの代りに
潤滑性の良い樹脂で摺接部を形成しているので、グリー
スが漏れでるようなトラブルはない。
リップの先端が開く方向に働くが、本発明の予備手段と
しての副リップは、真空雰囲気であるロータ機内と反対
の方向にリップが延びているので、軸受潤滑油側が大気
圧であっても運転中はリップ弾性の他に、真空と大気圧
との差圧による緊迫力とシール押し付け用ばねによる緊
迫力が増加されて摺接する。また、従来のシール形状で
は潤滑剤としてのグリースが真空側へ吸い込まれる可能
性が大きかったが、本発明ではグリースパックの代りに
潤滑性の良い樹脂で摺接部を形成しているので、グリー
スが漏れでるようなトラブルはない。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図により説明する。
【０００８】図４は本発明を実施するスクリュー形ドラ
イ真空ポンプの断面図である。スクリュー形のロータ１
は図では一軸しか示していないが、雄ロータと雌ロータ
の二軸あり、回転軸２に固定され、タイミングギヤ３に
より非接触で同期回転する。また、回転軸２に装着され
たもう一つのピニオンギヤ４はモータ５からの動力をブ
ルギヤ６及びアイドラギヤ７により増速される。このよ
うにして、ロータ１が回転すると吸気口８から吸込まれ
た気体は両ロータにより圧縮移送され、排気口９から大
気圧まで昇圧されて排気される。
イ真空ポンプの断面図である。スクリュー形のロータ１
は図では一軸しか示していないが、雄ロータと雌ロータ
の二軸あり、回転軸２に固定され、タイミングギヤ３に
より非接触で同期回転する。また、回転軸２に装着され
たもう一つのピニオンギヤ４はモータ５からの動力をブ
ルギヤ６及びアイドラギヤ７により増速される。このよ
うにして、ロータ１が回転すると吸気口８から吸込まれ
た気体は両ロータにより圧縮移送され、排気口９から大
気圧まで昇圧されて排気される。
【０００９】一方、回転軸２は油潤滑軸受１０，１１で
支持されている。下部軸受１１の潤滑は浸漬により行っ
ているが、上部軸受１０、及び、ギヤ３，４，６，７の
潤滑は、回転軸２の下端部に装着した偏心ポンプ１２か
ら回転軸内部に設けられた給油孔２ａを通して油タンク
１３内の潤滑油１４を送り込むことで行っている。この
潤滑油１４がクリーンを要求されるロータ機内１５へ浸
入するのを防ぐためにオイルシール１６がスリーブ１７
とハウジング１８との間に装着される。このように構成
されたドライ真空ポンプの軸封装置において、図３に示
すような従来形のオイルシールを用いると、万一、メイ
ンリップ２３ａから油漏れを生じた場合には、グリース
溜り部２４、及び、ダストリップ２３ｂを容易に漏洩油
が通過し、ロータ機内へ浸入する可能性があった。すな
わち、従来例のオイルシールでは背面側が真空になった
場合、ダストリップ２３ｂは緊迫力が弱まる方向に延び
ているため、スリーブとの間で開口状態となり、容易に
油が漏れでたものと思われる。また、メインリップ２３
ａからの油漏れがない場合でも、リップ間に封入したグ
リースが真空側に吸い出され、飛散して真空槽を汚染す
る場合があった。いずれにしても、従来例のオイルシー
ルでは背面側が真空雰囲気になる場合には油漏れのトラ
ブルがあった。
支持されている。下部軸受１１の潤滑は浸漬により行っ
ているが、上部軸受１０、及び、ギヤ３，４，６，７の
潤滑は、回転軸２の下端部に装着した偏心ポンプ１２か
ら回転軸内部に設けられた給油孔２ａを通して油タンク
１３内の潤滑油１４を送り込むことで行っている。この
潤滑油１４がクリーンを要求されるロータ機内１５へ浸
入するのを防ぐためにオイルシール１６がスリーブ１７
とハウジング１８との間に装着される。このように構成
されたドライ真空ポンプの軸封装置において、図３に示
すような従来形のオイルシールを用いると、万一、メイ
ンリップ２３ａから油漏れを生じた場合には、グリース
溜り部２４、及び、ダストリップ２３ｂを容易に漏洩油
が通過し、ロータ機内へ浸入する可能性があった。すな
わち、従来例のオイルシールでは背面側が真空になった
場合、ダストリップ２３ｂは緊迫力が弱まる方向に延び
ているため、スリーブとの間で開口状態となり、容易に
油が漏れでたものと思われる。また、メインリップ２３
ａからの油漏れがない場合でも、リップ間に封入したグ
リースが真空側に吸い出され、飛散して真空槽を汚染す
る場合があった。いずれにしても、従来例のオイルシー
ルでは背面側が真空雰囲気になる場合には油漏れのトラ
ブルがあった。
【００１０】本発明は上記のように万一、オイルシール
から油が漏れた場合の予備手段として考案したものであ
り、つぎに構成，動作及び効果を説明する。
から油が漏れた場合の予備手段として考案したものであ
り、つぎに構成，動作及び効果を説明する。
【００１１】本発明の第一の実施例を図１により説明す
る。この図は図４のオイルシール部付近を拡大したもの
である。図面の上側がロータ機内側であり、５００〜６
００mmＨｇの低真空雰囲気となる。下側が軸受潤滑油側
であり、給油孔２ａを通過してきた潤滑油１４が軸受１
０に供給されると同時にオイルシール１６によりロータ
機内１５への浸入を防止する。オイルシールのメインリ
ップ１６ａの先端はゴム弾性と円周上に巻かれたコイル
ばね１９の緊迫力により相手スリーブ１７に摺接しつつ
潤滑油１４を密封する。ところが、万一、潤滑油１４が
メインリップ１６ａを通過してきた場合、もし、その後
に摺接するリップがなければ油はそのままロータ機内１
５へ吸込まれてしまう。
る。この図は図４のオイルシール部付近を拡大したもの
である。図面の上側がロータ機内側であり、５００〜６
００mmＨｇの低真空雰囲気となる。下側が軸受潤滑油側
であり、給油孔２ａを通過してきた潤滑油１４が軸受１
０に供給されると同時にオイルシール１６によりロータ
機内１５への浸入を防止する。オイルシールのメインリ
ップ１６ａの先端はゴム弾性と円周上に巻かれたコイル
ばね１９の緊迫力により相手スリーブ１７に摺接しつつ
潤滑油１４を密封する。ところが、万一、潤滑油１４が
メインリップ１６ａを通過してきた場合、もし、その後
に摺接するリップがなければ油はそのままロータ機内１
５へ吸込まれてしまう。
【００１２】そこで、副リップシール２０をオイルシー
ル１６の背面側に設け、万一、メインリップ１６ａから
漏れがあった場合でもロータ機内１５へ油が浸入するの
を防止しようとしたものである。リップの形状は背面側
が真空雰囲気であることを考慮して、ロータ機内側と逆
方向である内周側に傾斜して延びるリップ形状とした。
また、オイルシール１６のメインリップ１６ａがスリー
ブ１７の外周面と摺接するのに対し、副リップシール２
０はスリーブ１７の側面と摺接する端面接触形とした。
さらに副リップシール２０の相手スリーブ１７の側面へ
の押し付け力はシール押し付け用ばね２１とリップの弾
性により行う。さらにリップ間２２には漏れる可能性の
大きいグリースなどの封入はやめ、ドライシール材とし
てよく用いられているＰＴＦＥやポリイミド樹脂など潤
滑性の良い樹脂をリップ材料として用いる。
ル１６の背面側に設け、万一、メインリップ１６ａから
漏れがあった場合でもロータ機内１５へ油が浸入するの
を防止しようとしたものである。リップの形状は背面側
が真空雰囲気であることを考慮して、ロータ機内側と逆
方向である内周側に傾斜して延びるリップ形状とした。
また、オイルシール１６のメインリップ１６ａがスリー
ブ１７の外周面と摺接するのに対し、副リップシール２
０はスリーブ１７の側面と摺接する端面接触形とした。
さらに副リップシール２０の相手スリーブ１７の側面へ
の押し付け力はシール押し付け用ばね２１とリップの弾
性により行う。さらにリップ間２２には漏れる可能性の
大きいグリースなどの封入はやめ、ドライシール材とし
てよく用いられているＰＴＦＥやポリイミド樹脂など潤
滑性の良い樹脂をリップ材料として用いる。
【００１３】以上のような形状及び構成にすることによ
り、シール背面側が真空になった場合でも副リップシー
ル２０のシール面押し付け力が大気の場合に比べ増加さ
れ、漏れにくくなる。また、グリース自体油を含んでお
り、その油が真空側へ吸い込まれる可能性が大きいが、
副リップシール２０自体を潤滑性の良い樹脂で構成する
ことにより、潤滑油の使用が回避でき、従って、リップ
間２２の潤滑剤がロータ機内側へ漏れることがない。ま
た、副リップシール２０が摩耗しても、シール押し付け
用ばね２１で常に押圧しているので、緊迫力が極端に弱
まるようなことはない。この実施例におけるシール押し
付け用ばね２１はスラスト方向の押し付けであるため、
副リップシール２０の後方面に波ばねあるいは円周上数
カ所に設けたコイルばねなどを設けた。
り、シール背面側が真空になった場合でも副リップシー
ル２０のシール面押し付け力が大気の場合に比べ増加さ
れ、漏れにくくなる。また、グリース自体油を含んでお
り、その油が真空側へ吸い込まれる可能性が大きいが、
副リップシール２０自体を潤滑性の良い樹脂で構成する
ことにより、潤滑油の使用が回避でき、従って、リップ
間２２の潤滑剤がロータ機内側へ漏れることがない。ま
た、副リップシール２０が摩耗しても、シール押し付け
用ばね２１で常に押圧しているので、緊迫力が極端に弱
まるようなことはない。この実施例におけるシール押し
付け用ばね２１はスラスト方向の押し付けであるため、
副リップシール２０の後方面に波ばねあるいは円周上数
カ所に設けたコイルばねなどを設けた。
【００１４】つぎに、本発明の第二の実施例を図２に示
す。第一の実施例の副リップシールがオイルシールの背
面部に設けたのに対し、第二実施例ではオイルシールの
内周部へ設けた。すなわち、オイルシール２５にメイン
リップ２５ａから漏れた潤滑油１４はリップ間２２を通
り、予備手段としての副リップシール２６とスリーブ１
７の外周面との間でシールされ、真空側への油の浸入が
阻止される。副リップシール２６の形状もシール背面側
が真空になるとシール面の緊迫力が増加するように、下
方のメインリップ２５ａ側に傾斜して延びた形状とし
た。また、副リップシール２６の材質は第一実施例と同
様に潤滑性の良い樹脂で構成した。さらに、副リップシ
ール２６が摩耗しても、緊迫力が弱まることのないよう
にシール押し付け用ばね２７を設けた。この場合、ばね
は、第一実施例ではスラスト方向の押し付け用であった
が、第二実施例ではラジアル方向の押し付け用であるた
めガータースプリングなどを用いるとよい。
す。第一の実施例の副リップシールがオイルシールの背
面部に設けたのに対し、第二実施例ではオイルシールの
内周部へ設けた。すなわち、オイルシール２５にメイン
リップ２５ａから漏れた潤滑油１４はリップ間２２を通
り、予備手段としての副リップシール２６とスリーブ１
７の外周面との間でシールされ、真空側への油の浸入が
阻止される。副リップシール２６の形状もシール背面側
が真空になるとシール面の緊迫力が増加するように、下
方のメインリップ２５ａ側に傾斜して延びた形状とし
た。また、副リップシール２６の材質は第一実施例と同
様に潤滑性の良い樹脂で構成した。さらに、副リップシ
ール２６が摩耗しても、緊迫力が弱まることのないよう
にシール押し付け用ばね２７を設けた。この場合、ばね
は、第一実施例ではスラスト方向の押し付け用であった
が、第二実施例ではラジアル方向の押し付け用であるた
めガータースプリングなどを用いるとよい。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、万一、オイルシールの
メインリップより油もれを生じても副リップシールでロ
ータ機内への油もれを防ぐことができ、クリーンな真空
ポンプが供給できるので、製品の歩留り向上に寄与でき
る。
メインリップより油もれを生じても副リップシールでロ
ータ機内への油もれを防ぐことができ、クリーンな真空
ポンプが供給できるので、製品の歩留り向上に寄与でき
る。
【図１】本発明の一実施例を示す軸封部の縦断面図。
【図２】本発明の第二の実施例を示す軸封部の縦断面
図。
図。
【図３】従来例を示す軸封部の断面図。
【図４】本発明を実施するスクリュードライ真空ポンプ
の縦断面図。
の縦断面図。
１６，２５…オイルシール、１６ａ，２５ａ…メインリ
ップ、２０，２６…副リップシール、２１，２７…シー
ル押し付け用ばね。
ップ、２０，２６…副リップシール、２１，２７…シー
ル押し付け用ばね。
Claims (1)
- 【請求項１】ハウジングに組込んで回転軸又はスリーブ
と摺接しつつ、軸受潤滑油などを密封する環状オイルシ
ールの背面部あるいは内周部に、潤滑性の良い樹脂から
なり、リップが高圧側に傾斜して延び、相手回転軸又は
スリーブと摺接する副リップシールと前記副リップシー
ルを回転軸又はスリーブに押圧させるためのシール押し
付け用ばねを設けたことを特徴とする真空ポンプ用オイ
ルシール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3200239A JPH0544852A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 真空ポンプ用オイルシール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3200239A JPH0544852A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 真空ポンプ用オイルシール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0544852A true JPH0544852A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16421120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3200239A Pending JPH0544852A (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | 真空ポンプ用オイルシール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0544852A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
| WO2013018272A1 (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | 国立大学法人東北大学 | ガス排気用ポンプシステム及びガス排気方法 |
| JP2020510787A (ja) * | 2017-03-14 | 2020-04-09 | レイボルド ゲーエムベーハー | 潤滑剤封入式真空ポンプ |
| CN115030896A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-09-09 | 中船重工(重庆)西南装备研究院有限公司 | 一种防漏油爪式氢气循环泵 |
-
1991
- 1991-08-09 JP JP3200239A patent/JPH0544852A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
| KR101160242B1 (ko) * | 2006-11-14 | 2012-06-26 | 가부시키가이샤 알박 | 회전 도입 기구, 기판 반송 장치 및 진공 처리 장치 |
| US8366375B2 (en) | 2006-11-14 | 2013-02-05 | Ulvac, Inc. | Rotation introduction mechanism, substrate transfer apparatus, and vacuum processing apparatus |
| JP5210878B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2013-06-12 | 株式会社アルバック | 回転導入機構、基板搬送装置、及び真空処理装置 |
| TWI427732B (zh) * | 2006-11-14 | 2014-02-21 | Ulvac Inc | Substrate handling device and vacuum processing device |
| WO2013018272A1 (ja) * | 2011-08-02 | 2013-02-07 | 国立大学法人東北大学 | ガス排気用ポンプシステム及びガス排気方法 |
| CN103717902A (zh) * | 2011-08-02 | 2014-04-09 | 国立大学法人东北大学 | 气体排气用泵***和气体排气方法 |
| JP5499411B2 (ja) * | 2011-08-02 | 2014-05-21 | 国立大学法人東北大学 | ガス排気用ポンプシステム及びガス排気方法 |
| KR101412644B1 (ko) * | 2011-08-02 | 2014-07-03 | 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 | 가스 배기용 펌프 시스템 및 가스 배기방법 |
| JP2020510787A (ja) * | 2017-03-14 | 2020-04-09 | レイボルド ゲーエムベーハー | 潤滑剤封入式真空ポンプ |
| CN115030896A (zh) * | 2022-06-24 | 2022-09-09 | 中船重工(重庆)西南装备研究院有限公司 | 一种防漏油爪式氢气循环泵 |
| CN115030896B (zh) * | 2022-06-24 | 2024-02-27 | 中船重工(重庆)西南装备研究院有限公司 | 一种防漏油爪式氢气循环泵 |
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