JPH0542645B2 - - Google Patents
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- JPH0542645B2 JPH0542645B2 JP58047916A JP4791683A JPH0542645B2 JP H0542645 B2 JPH0542645 B2 JP H0542645B2 JP 58047916 A JP58047916 A JP 58047916A JP 4791683 A JP4791683 A JP 4791683A JP H0542645 B2 JPH0542645 B2 JP H0542645B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- group
- cemented
- microscope objective
- working distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 15
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
本発明は、倍率が50倍程度で作動距離が特に長
い像面の平坦な顕微鏡対物レンズを提供するもの
である。 像面が平坦な顕微鏡対物レンズには、第1群レ
ンズに物体側に強い凹面を向けたメニスカスレン
ズを配置したものや、後群に凹面を像側に向けた
メニスカスレンズを配置したもの等が知られてい
る。更に作動距離を長くしようとするためにガウ
スタイプを採用したものがあり、例えば7群9枚
構成レンズ系である特公昭50−30466号公報に記
載された顕微鏡対物レンズがある。 しかし上記従来例のように7群9枚のレンズ構
成では、作動距離は焦点距離の70%前後であり、
例えば焦点距離を4mmとすると作動距離は3mm以
下になり、工場などで微細な試料を観察しながら
加工を行なう際に用いる顕微鏡対物レンズとして
は不十分である。この場合、作動距離を長くする
ためには第1群レンズの屈折力を強くしなければ
光線を収束出来なくなる。しかし第1群レンズの
屈折力を強くするとその曲率半径が小さくなり球
面収差と色収差が増大し、これを補正しようとす
ると他のレンズに負担がかかり像面わん曲やコマ
収差などの補正が困難になる。 以上のような理由から作動距離が長く、しかも
十分広い視野にわたつて像面が平坦な顕微鏡対物
レンズはなかつた。 本発明は、以上の事情に鑑みなされたもので、
作動距離が焦点距離の2倍以上である8mm以上で
視野数27までの広視野にわたつて像面が平坦な顕
微鏡対物レンズを提供するものである。 長い作動距離を顕微鏡対物レンズを得るために
は、主点を物体側にもつて行くために像側に強い
負のレンズを配置する必要がある。そのために本
発明では、強い負の作用を有する面を像側に配
し、なおかつ物体側に3群以上を配置した。更に
アプラナテイツクに近い面を2面有するレンズを
物体側の第1群レンズに配置してレンズ系の収差
を良好に補正しつつ超長作動距離を確保すること
に成功したものである。 本発明の顕微鏡対物レンズは、物体側に凹面を
向けた単体の正のメニスカスレンズの第1群レン
ズと、接合レンズの第2群レンズと、3枚接
合レンズ又は2枚接合レンズを少なくとも2群配
置した第3群レンズと、像側に強い凹面を向け
た接合メニスカスレンズの第4群レンズと、接
合負レンズの第5群レンズとにて構成された5
群構成のレンズ系である。更に本発明の顕微鏡対
物レンズは、次の条件(1)乃至条件(4)を満足するよ
うにしたものである。 (1) 1.65<n〓-1 (2) −4.0f<r〓-2/(n〓-1−1)<−2.0f (3) d〓-1<1.5f (4) 1.8f<r〓-3/(n〓-2−1)<2.2f ただしfは対物レンズの総合の焦点距離、ni-j
はi群のj番目のレンズの屈折率、νi-jはi群の
j番目のレンズのアツベ数、ri-jは第i群のj番
目の面の曲率半径、di-jは第i群のj番目の面と
j+1番目の面の面間隔である。 次に上記の各条件の意味について説明する。 条件(1)は球面収差に関するもので下限を越える
と第1群レンズにて発生する球面収差が大きく
なり他のレンズにて補正出来なくなる。 条件(2)は球面収差に関するもので、それぞれ上
限、下限を越えるといずれもアプラナテイツクな
条件から遠ざかるために球面収差が悪化し他のレ
ンズでは補正出来なくなる。 条件(3)は、作動距離に関するもので、条件を越
えると像面わん曲は小さくなつて行くが、作動距
離が小になる。 条件(4)は、像面わん曲に関するもので、上限を
越えるとペツバパール和が大きくなり、像面の平
坦性が悪くなり他の面では補正出来なくなる。ま
た下限を越えるとペツツバール和は小さくなるが
コマ収差が増加してバランスが保てなくなる。 以上述べた条件の他に次の条件(5)を満足するよ
うにすれば色収差を一層良好に補正することが可
能である。 (5) ν〓-p、ν〓-p≧80 ただしνi-pは第i群レンズのうちの正レンズの
アツベ数である。 上記条件(5)よりはずれると色収差を十分に良好
に補正することが出来なくなる。 次に本発明の顕微鏡対物レンズの実施例を示
す。
い像面の平坦な顕微鏡対物レンズを提供するもの
である。 像面が平坦な顕微鏡対物レンズには、第1群レ
ンズに物体側に強い凹面を向けたメニスカスレン
ズを配置したものや、後群に凹面を像側に向けた
メニスカスレンズを配置したもの等が知られてい
る。更に作動距離を長くしようとするためにガウ
スタイプを採用したものがあり、例えば7群9枚
構成レンズ系である特公昭50−30466号公報に記
載された顕微鏡対物レンズがある。 しかし上記従来例のように7群9枚のレンズ構
成では、作動距離は焦点距離の70%前後であり、
例えば焦点距離を4mmとすると作動距離は3mm以
下になり、工場などで微細な試料を観察しながら
加工を行なう際に用いる顕微鏡対物レンズとして
は不十分である。この場合、作動距離を長くする
ためには第1群レンズの屈折力を強くしなければ
光線を収束出来なくなる。しかし第1群レンズの
屈折力を強くするとその曲率半径が小さくなり球
面収差と色収差が増大し、これを補正しようとす
ると他のレンズに負担がかかり像面わん曲やコマ
収差などの補正が困難になる。 以上のような理由から作動距離が長く、しかも
十分広い視野にわたつて像面が平坦な顕微鏡対物
レンズはなかつた。 本発明は、以上の事情に鑑みなされたもので、
作動距離が焦点距離の2倍以上である8mm以上で
視野数27までの広視野にわたつて像面が平坦な顕
微鏡対物レンズを提供するものである。 長い作動距離を顕微鏡対物レンズを得るために
は、主点を物体側にもつて行くために像側に強い
負のレンズを配置する必要がある。そのために本
発明では、強い負の作用を有する面を像側に配
し、なおかつ物体側に3群以上を配置した。更に
アプラナテイツクに近い面を2面有するレンズを
物体側の第1群レンズに配置してレンズ系の収差
を良好に補正しつつ超長作動距離を確保すること
に成功したものである。 本発明の顕微鏡対物レンズは、物体側に凹面を
向けた単体の正のメニスカスレンズの第1群レン
ズと、接合レンズの第2群レンズと、3枚接
合レンズ又は2枚接合レンズを少なくとも2群配
置した第3群レンズと、像側に強い凹面を向け
た接合メニスカスレンズの第4群レンズと、接
合負レンズの第5群レンズとにて構成された5
群構成のレンズ系である。更に本発明の顕微鏡対
物レンズは、次の条件(1)乃至条件(4)を満足するよ
うにしたものである。 (1) 1.65<n〓-1 (2) −4.0f<r〓-2/(n〓-1−1)<−2.0f (3) d〓-1<1.5f (4) 1.8f<r〓-3/(n〓-2−1)<2.2f ただしfは対物レンズの総合の焦点距離、ni-j
はi群のj番目のレンズの屈折率、νi-jはi群の
j番目のレンズのアツベ数、ri-jは第i群のj番
目の面の曲率半径、di-jは第i群のj番目の面と
j+1番目の面の面間隔である。 次に上記の各条件の意味について説明する。 条件(1)は球面収差に関するもので下限を越える
と第1群レンズにて発生する球面収差が大きく
なり他のレンズにて補正出来なくなる。 条件(2)は球面収差に関するもので、それぞれ上
限、下限を越えるといずれもアプラナテイツクな
条件から遠ざかるために球面収差が悪化し他のレ
ンズでは補正出来なくなる。 条件(3)は、作動距離に関するもので、条件を越
えると像面わん曲は小さくなつて行くが、作動距
離が小になる。 条件(4)は、像面わん曲に関するもので、上限を
越えるとペツバパール和が大きくなり、像面の平
坦性が悪くなり他の面では補正出来なくなる。ま
た下限を越えるとペツツバール和は小さくなるが
コマ収差が増加してバランスが保てなくなる。 以上述べた条件の他に次の条件(5)を満足するよ
うにすれば色収差を一層良好に補正することが可
能である。 (5) ν〓-p、ν〓-p≧80 ただしνi-pは第i群レンズのうちの正レンズの
アツベ数である。 上記条件(5)よりはずれると色収差を十分に良好
に補正することが出来なくなる。 次に本発明の顕微鏡対物レンズの実施例を示
す。
【表】
【表】
【表】
【表】
ただしr1、r2、……は各群のレンズ面の曲率半
径、d1、d2、……は各レンズの肉厚および空気間
隔、n1、n2、……は各レンズの屈折率、ν1、ν2、
……各レンズのアツベ数である。 上記の実施例のうち、実施例1は第1図に示す
レンズ構成のもので、第3群レンズは2枚の接合
レンズが二つからなつている。又実施例2は、第
3群レンズが一つの3枚接合レンズよりなつてい
る。 上記の実施例はいずれも無限遠設計であるので
これのみでは結像されない。そのために例えば第
5図に示すレンズ構成であつて下記のデーターを
有する結像レンズと共に用いられる。 r1=7.530 d1=1.020 n1=1.4875 ν1=70.15 r2=−31.310 d2=0.510 r3=−14.668 d3=0.510 n2=1.7400 ν2=28.29 r4=−31.179 d4=3.827 r5=11.207 d5=0.459 n3=1.4875 ν3=70.15 r6=5.011 上記結像レンズのデーターは、実施例1の全系
の焦点距離fをf=1とした時のものである。 上記実施例1、2の収差カーブは結像レンズと
組み合わせた時のものも示してある。 以上詳細に説明したように又実施例に示すよう
に本発明の顕微鏡対物レンズは、従来の長作動距
離対物レンズと同等の解像力を有していてしかも
焦点距離fの2倍以上の超長作動距離の8mm以上
であつて視野数27までの広視野にわたつて像面の
平坦なレンズ系である。更に実施例2の対物レン
ズは三枚接合レンズを用いることによつて10枚構
成のレンズであつてしかも各収差が良好に補正さ
れている。
径、d1、d2、……は各レンズの肉厚および空気間
隔、n1、n2、……は各レンズの屈折率、ν1、ν2、
……各レンズのアツベ数である。 上記の実施例のうち、実施例1は第1図に示す
レンズ構成のもので、第3群レンズは2枚の接合
レンズが二つからなつている。又実施例2は、第
3群レンズが一つの3枚接合レンズよりなつてい
る。 上記の実施例はいずれも無限遠設計であるので
これのみでは結像されない。そのために例えば第
5図に示すレンズ構成であつて下記のデーターを
有する結像レンズと共に用いられる。 r1=7.530 d1=1.020 n1=1.4875 ν1=70.15 r2=−31.310 d2=0.510 r3=−14.668 d3=0.510 n2=1.7400 ν2=28.29 r4=−31.179 d4=3.827 r5=11.207 d5=0.459 n3=1.4875 ν3=70.15 r6=5.011 上記結像レンズのデーターは、実施例1の全系
の焦点距離fをf=1とした時のものである。 上記実施例1、2の収差カーブは結像レンズと
組み合わせた時のものも示してある。 以上詳細に説明したように又実施例に示すよう
に本発明の顕微鏡対物レンズは、従来の長作動距
離対物レンズと同等の解像力を有していてしかも
焦点距離fの2倍以上の超長作動距離の8mm以上
であつて視野数27までの広視野にわたつて像面の
平坦なレンズ系である。更に実施例2の対物レン
ズは三枚接合レンズを用いることによつて10枚構
成のレンズであつてしかも各収差が良好に補正さ
れている。
第1図は本発明の実施例1の断面図、第2図は
本発明の実施例2の断面図、第3図は上記実施例
1の収差曲線図、第4図は上記実施例2の収差曲
線図、第5図は本発明の対物レンズと共に用いる
結像レンズの一例を示す断面図である。
本発明の実施例2の断面図、第3図は上記実施例
1の収差曲線図、第4図は上記実施例2の収差曲
線図、第5図は本発明の対物レンズと共に用いる
結像レンズの一例を示す断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 単体の正レンズよりなる第1群レンズと、接
合正レンズの第2群レンズと、少なくとも一つの
接合レンズからなる第3群レンズと、物体側に凸
面を向けた接合メニスカスレンズの第4群レンズ
と、接合負レンズの第5群レンズとからなるレン
ズ系で次の条件(1)乃至条件(4)を満足する顕微鏡対
物レンズ。 (1) 1.65<n〓-1 (2) −4.0f<r〓-2/n〓-1−1<−2.0f (3) d〓-1<1.5f (4) 1.8f<r〓-3/(n〓-2−1)<2.2f ただしfは全系の焦点距離、ni-jは第i群のj
番目のレンズの屈折率、rijは第i群の第j番目の
曲率半径、dijは第i群の第j番目の面と第j+1
番目の面間隔である。 2 更に次の条件(5)を満足する特許請求の範囲1
の顕微鏡対物レンズ。 (5) ν〓-p、ν〓-p≧80 ただしνi-pは第i群レンズ中の正レンズのアツ
ベ数である。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58047916A JPS59174812A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 顕微鏡対物レンズ |
US06/586,148 US4540248A (en) | 1983-03-24 | 1984-03-05 | Objective lens system for microscopes |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58047916A JPS59174812A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59174812A JPS59174812A (ja) | 1984-10-03 |
JPH0542645B2 true JPH0542645B2 (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=12788684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58047916A Granted JPS59174812A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 顕微鏡対物レンズ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4540248A (ja) |
JP (1) | JPS59174812A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9751411B2 (en) | 2012-03-29 | 2017-09-05 | Eaton Corporation | Variable speed hybrid electric supercharger assembly and method of control of vehicle having same |
US9856781B2 (en) | 2011-09-30 | 2018-01-02 | Eaton Corporation | Supercharger assembly with independent superchargers and motor/generator |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6262317A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-19 | Mitsutoyo Mfg Corp | 顕微鏡用対物レンズ |
JPS6323119A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-01-30 | Mitsutoyo Corp | 顕微鏡用対物レンズ |
JPH046512A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 顕微鏡用対物レンズ |
JP4082015B2 (ja) * | 2001-10-17 | 2008-04-30 | 株式会社ニコン | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
US9874728B1 (en) | 2016-01-08 | 2018-01-23 | General Electric Company | Long working distance lens system, assembly, and method |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5130471A (ja) * | 1974-09-09 | 1976-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Deijitaruhoshikiisokairo |
JPS5675614A (en) * | 1979-11-21 | 1981-06-22 | American Optical Corp | Semiapochromatic airrgapptype microscope objectiive lense |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3525562A (en) * | 1967-08-16 | 1970-08-25 | Leitz Ernst Gmbh | Microscope objective |
JPS5030466A (ja) * | 1973-07-13 | 1975-03-26 | ||
US4231637A (en) * | 1979-03-22 | 1980-11-04 | American Optical Corporation | Seven-component microscope objective |
US4384765A (en) * | 1981-11-16 | 1983-05-24 | C. Reichert Optische Werke, Ag | Six-component microscope objective |
-
1983
- 1983-03-24 JP JP58047916A patent/JPS59174812A/ja active Granted
-
1984
- 1984-03-05 US US06/586,148 patent/US4540248A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5130471A (ja) * | 1974-09-09 | 1976-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Deijitaruhoshikiisokairo |
JPS5675614A (en) * | 1979-11-21 | 1981-06-22 | American Optical Corp | Semiapochromatic airrgapptype microscope objectiive lense |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9856781B2 (en) | 2011-09-30 | 2018-01-02 | Eaton Corporation | Supercharger assembly with independent superchargers and motor/generator |
US9751411B2 (en) | 2012-03-29 | 2017-09-05 | Eaton Corporation | Variable speed hybrid electric supercharger assembly and method of control of vehicle having same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59174812A (ja) | 1984-10-03 |
US4540248A (en) | 1985-09-10 |
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