JPH054150A - テーブルの撓みを考慮したワークの位置・姿勢修正方法及び装置 - Google Patents
テーブルの撓みを考慮したワークの位置・姿勢修正方法及び装置Info
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- JPH054150A JPH054150A JP18049591A JP18049591A JPH054150A JP H054150 A JPH054150 A JP H054150A JP 18049591 A JP18049591 A JP 18049591A JP 18049591 A JP18049591 A JP 18049591A JP H054150 A JPH054150 A JP H054150A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの撓み等によって
生じるワークの位置誤差と傾き誤差を修正するための方
法と、その方法の実施に使用する６軸テーブル装置を提
供すること。 【構成】 ６軸テーブル装置は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向にそ
れぞれ移動するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルと、その内、
最上位置にあるテーブルに具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の周り
に回動しうるようになっているワーク積載テーブルと、
前記ワーク積載テーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置におけ
る軸方向位置誤差と傾き誤差を記憶する記憶回路と、前
記記憶回路に記憶された前記軸方向位置誤差分と傾き誤
差分を補正して前記Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの軸方向
位置と前記ワーク積載テーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸周りの回
動角を修正する位置・傾き補正回路とを有している。ワ
ーク積載テーブルのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸座標位置における
軸方向位置誤差と傾き誤差を記憶回路に記憶させ、この
軸方向位置誤差分と傾き誤差分を位置・傾き補正回路に
より補正してワークの位置・姿勢を修正する。
生じるワークの位置誤差と傾き誤差を修正するための方
法と、その方法の実施に使用する６軸テーブル装置を提
供すること。 【構成】 ６軸テーブル装置は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向にそ
れぞれ移動するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルと、その内、
最上位置にあるテーブルに具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の周り
に回動しうるようになっているワーク積載テーブルと、
前記ワーク積載テーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置におけ
る軸方向位置誤差と傾き誤差を記憶する記憶回路と、前
記記憶回路に記憶された前記軸方向位置誤差分と傾き誤
差分を補正して前記Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの軸方向
位置と前記ワーク積載テーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸周りの回
動角を修正する位置・傾き補正回路とを有している。ワ
ーク積載テーブルのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸座標位置における
軸方向位置誤差と傾き誤差を記憶回路に記憶させ、この
軸方向位置誤差分と傾き誤差分を位置・傾き補正回路に
より補正してワークの位置・姿勢を修正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テー
ブルの撓み等によって生じるワークの位置誤差と傾き誤
差を修正して、ワークの３次元空間における絶対位置決
めをおこなうための方法と、その方法に使用する６軸テ
ーブル装置に関する。
ブルの撓み等によって生じるワークの位置誤差と傾き誤
差を修正して、ワークの３次元空間における絶対位置決
めをおこなうための方法と、その方法に使用する６軸テ
ーブル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、工作機械は、例えば、Ｘ、Ｙ、Ｚ
軸方向に移動するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの内、最上
位置にあるテーブルにワークを積載し、各テーブルをそ
れぞれの方向に移動させながら、このワークに各種の加
工を施すようになっている。各テーブルは、通常、精密
ボールねじによって移動する。しかし、ボールねじのね
じ軸にはピッチ誤差やバックラッシュ誤差がある。この
ため、このピッチ誤差やバックラッシュ誤差を予め記憶
させておき、その分を修正しながらテーブルを移動させ
るテーブルの位置修正方法がある。
軸方向に移動するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの内、最上
位置にあるテーブルにワークを積載し、各テーブルをそ
れぞれの方向に移動させながら、このワークに各種の加
工を施すようになっている。各テーブルは、通常、精密
ボールねじによって移動する。しかし、ボールねじのね
じ軸にはピッチ誤差やバックラッシュ誤差がある。この
ため、このピッチ誤差やバックラッシュ誤差を予め記憶
させておき、その分を修正しながらテーブルを移動させ
るテーブルの位置修正方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
修正方法は、例えば、図８に示すように、Ｚ軸テーブル
２１の昇降を案内する支柱２２がワークＷの重量等によ
って破線で示した状態に傾いた場合、各軸単体でのピッ
チ誤差補正やバックラッシュ補正だけではテーブルの位
置を正確に制御することはできない。すなわち、ピッチ
誤差補正やバックラッシュ誤差補正に基づき、Ｚ軸テー
ブル２１を昇降させ、且つＸ軸テーブル２３を移動さ
せ、ワークＷの位置を実線で示す位置に制御したとして
も、ワークＷは傾いたままであり、想像線で示すような
正規の姿勢に制御することができないという問題点を有
している。
修正方法は、例えば、図８に示すように、Ｚ軸テーブル
２１の昇降を案内する支柱２２がワークＷの重量等によ
って破線で示した状態に傾いた場合、各軸単体でのピッ
チ誤差補正やバックラッシュ補正だけではテーブルの位
置を正確に制御することはできない。すなわち、ピッチ
誤差補正やバックラッシュ誤差補正に基づき、Ｚ軸テー
ブル２１を昇降させ、且つＸ軸テーブル２３を移動さ
せ、ワークＷの位置を実線で示す位置に制御したとして
も、ワークＷは傾いたままであり、想像線で示すような
正規の姿勢に制御することができないという問題点を有
している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸
方向にそれぞれ移動するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの
内、最上位置にあるテーブルに具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の
周りに回動しうるようになっているワーク積載テーブル
にモデルワークを積載したとき前記ワーク積載テーブル
のＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置における軸方向位置誤差と傾き
誤差を記憶回路に記憶させ、実際のワーク加工時に前記
記憶回路に記憶された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差
分を位置・傾き補正回路により補正して、前記ワーク積
載テーブルの前記Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向位置と前記各軸周り
の回動角を修正することを特徴とするワークの位置・姿
勢修正方法と、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向にそれぞれ移動するＸ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルと、その内、最上位置にあるテ
ーブルに具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りに回動しうるよう
になっているワーク積載テーブルと、前記ワーク積載テ
ーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置における軸方向位置誤差
と傾き誤差を記憶する記憶回路と、前記記憶回路に記憶
された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差分を補正して前
記Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの軸方向位置と前記ワーク
積載テーブルの前記Ｘ、Ｙ、Ｚ軸周りの回動角を修正す
る位置・傾き補正回路とを有する６軸テーブル装置によ
り、前記の課題を解決したものである。
方向にそれぞれ移動するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの
内、最上位置にあるテーブルに具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の
周りに回動しうるようになっているワーク積載テーブル
にモデルワークを積載したとき前記ワーク積載テーブル
のＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置における軸方向位置誤差と傾き
誤差を記憶回路に記憶させ、実際のワーク加工時に前記
記憶回路に記憶された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差
分を位置・傾き補正回路により補正して、前記ワーク積
載テーブルの前記Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向位置と前記各軸周り
の回動角を修正することを特徴とするワークの位置・姿
勢修正方法と、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向にそれぞれ移動するＸ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルと、その内、最上位置にあるテ
ーブルに具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りに回動しうるよう
になっているワーク積載テーブルと、前記ワーク積載テ
ーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置における軸方向位置誤差
と傾き誤差を記憶する記憶回路と、前記記憶回路に記憶
された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差分を補正して前
記Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの軸方向位置と前記ワーク
積載テーブルの前記Ｘ、Ｙ、Ｚ軸周りの回動角を修正す
る位置・傾き補正回路とを有する６軸テーブル装置によ
り、前記の課題を解決したものである。
【０００５】
【作用】先ず、ワーク積載テーブルにモデルワークを載
せ、ワーク積載テーブルをＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の種々
の位置に移動させ、各位置における各テーブルの撓みに
よって生じる軸方向位置誤差、及び、傾きを測定し、そ
の軸方向位置誤差と、傾き誤差を記憶回路に予め記憶さ
せる。この記憶はワークの重量別に行なう。そして、実
際に加工するワークがワーク積載テーブルに載せられた
ときは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸テーブルは施すべき加工に応じて
種々の位置に移動させられるが、このとき、位置・傾き
補正回路は、記憶回路から上記軸方向位置誤差と傾き誤
差を修正値として読み出し、この軸方向位置誤差分と傾
き誤差分を補正しながら各テーブルを移動させ、且つワ
ーク積載テーブルを各軸の周りに回動させる。このよう
にして、ワークが載ったワーク積載テーブルは、撓みに
よる軸方向位置誤差と傾き誤差を修正されながら移動
し、且つ、ワークの姿勢も修正される。
せ、ワーク積載テーブルをＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の種々
の位置に移動させ、各位置における各テーブルの撓みに
よって生じる軸方向位置誤差、及び、傾きを測定し、そ
の軸方向位置誤差と、傾き誤差を記憶回路に予め記憶さ
せる。この記憶はワークの重量別に行なう。そして、実
際に加工するワークがワーク積載テーブルに載せられた
ときは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸テーブルは施すべき加工に応じて
種々の位置に移動させられるが、このとき、位置・傾き
補正回路は、記憶回路から上記軸方向位置誤差と傾き誤
差を修正値として読み出し、この軸方向位置誤差分と傾
き誤差分を補正しながら各テーブルを移動させ、且つワ
ーク積載テーブルを各軸の周りに回動させる。このよう
にして、ワークが載ったワーク積載テーブルは、撓みに
よる軸方向位置誤差と傾き誤差を修正されながら移動
し、且つ、ワークの姿勢も修正される。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。６軸テーブル装置３０（図１参照）の支柱３１に
は、上下方向（Ｚ軸方向）に移動するＺ軸テーブル３２
が具えられている。Ｚ軸テーブル３２には、図１におい
て左右方向（Ｘ軸方向）に移動するＸ軸テーブル３３が
具えられている。Ｘ軸テーブル３３には、図１の表裏方
向（Ｙ軸方向）に移動するＹ軸テーブル３４が具えらて
いる。Ｙ軸テーブル３４には、Ｚ軸方向の回転軸３５を
中心に回転するＺ軸回転フレーム３６が具えられてい
る。Ｚ軸回転フレーム３６には、Ｘ軸方向の回転軸３７
を中心に傾動するＸ軸傾動フレーム３８が具えられてい
る。Ｘ軸傾動フレーム３８には、Ｙ軸方向の回転軸３９
を中心に傾動するワーク積載テーブル４０が具えられて
いる。
する。６軸テーブル装置３０（図１参照）の支柱３１に
は、上下方向（Ｚ軸方向）に移動するＺ軸テーブル３２
が具えられている。Ｚ軸テーブル３２には、図１におい
て左右方向（Ｘ軸方向）に移動するＸ軸テーブル３３が
具えられている。Ｘ軸テーブル３３には、図１の表裏方
向（Ｙ軸方向）に移動するＹ軸テーブル３４が具えらて
いる。Ｙ軸テーブル３４には、Ｚ軸方向の回転軸３５を
中心に回転するＺ軸回転フレーム３６が具えられてい
る。Ｚ軸回転フレーム３６には、Ｘ軸方向の回転軸３７
を中心に傾動するＸ軸傾動フレーム３８が具えられてい
る。Ｘ軸傾動フレーム３８には、Ｙ軸方向の回転軸３９
を中心に傾動するワーク積載テーブル４０が具えられて
いる。
【０００７】支柱３１とＺ軸テーブル３２との間、及
び、各テーブル３２，３３，３４間には、各テーブル３
２，３３，３４の移動を案内する公知の直線運動ベアリ
ング（図示省略）が設けられている。又、Ｘ軸、Ｙ軸、
Ｚ軸テーブル３３，３４，３２は公知の精密ボールねじ
４１，４２（Ｚ軸テーブル用のボールねじは図示省略）
によって移動するようになっている。各精密ボールねじ
はＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸テーブル用サーボモータ５１，５
２，５３（図２参照）によって作動するようになってい
る。さらに、Ｚ、Ｘ、Ｙ軸周りの回転軸３５，３７，３
９もＺ軸回転フレーム用サーボモータ５４、Ｘ軸傾動フ
レーム用サーボモータ５５、ワーク積載テーブル用サー
ボモータ５６によって回動するようになっている。
び、各テーブル３２，３３，３４間には、各テーブル３
２，３３，３４の移動を案内する公知の直線運動ベアリ
ング（図示省略）が設けられている。又、Ｘ軸、Ｙ軸、
Ｚ軸テーブル３３，３４，３２は公知の精密ボールねじ
４１，４２（Ｚ軸テーブル用のボールねじは図示省略）
によって移動するようになっている。各精密ボールねじ
はＺ軸、Ｘ軸、Ｙ軸テーブル用サーボモータ５１，５
２，５３（図２参照）によって作動するようになってい
る。さらに、Ｚ、Ｘ、Ｙ軸周りの回転軸３５，３７，３
９もＺ軸回転フレーム用サーボモータ５４、Ｘ軸傾動フ
レーム用サーボモータ５５、ワーク積載テーブル用サー
ボモータ５６によって回動するようになっている。
【０００８】この６軸テーブル装置３０は、図２に示す
ような制御手段６０を有している。この制御手段６０
は、補正データ記憶回路（記憶回路）６１と、位置・傾
き指令回路６２と、位置・傾き補正回路６３と、モータ
制御回路６４とを有している。補正データ記憶回路６１
は、モデルワークを積載したワーク積載テーブル４０の
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸座標位置におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テ
ーブル３３，３４，３２毎の、ピッチ誤差、バックラッ
シュ誤差、ピッチング誤差、ローリング誤差、ヨーイン
グ誤差等を記憶する回路である。ピッチング誤差、ロー
リング誤差、ヨーイング誤差は、支柱３１や、各テーブ
ル３２，３３，３４の撓み等によって生じる。
ような制御手段６０を有している。この制御手段６０
は、補正データ記憶回路（記憶回路）６１と、位置・傾
き指令回路６２と、位置・傾き補正回路６３と、モータ
制御回路６４とを有している。補正データ記憶回路６１
は、モデルワークを積載したワーク積載テーブル４０の
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸座標位置におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テ
ーブル３３，３４，３２毎の、ピッチ誤差、バックラッ
シュ誤差、ピッチング誤差、ローリング誤差、ヨーイン
グ誤差等を記憶する回路である。ピッチング誤差、ロー
リング誤差、ヨーイング誤差は、支柱３１や、各テーブ
ル３２，３３，３４の撓み等によって生じる。
【０００９】バックラッシュ誤差は、図３に示すよう
に、テーブル３２，３３，３４をａ点からｂ点に移動し
た後、ａ点とｂ点の間のｃ点に戻り移動したときのボー
ルねじのねじ軸のバックラッシュによる位置誤差であ
る。破線の位置は正規の位置である。ピッチング誤差
は、図４に示すように、テーブル３２，３３，３４の移
動方向と平行な方向に傾いたときに生じる誤差である。
破線の位置は正規の位置である。ローリング誤差は、図
５に示すように、テーブル３２，３３，３４の移動方向
の軸の周りに傾いたときに生じる誤差である。破線の位
置は正規の位置である。そして、ヨーイング誤差は、図
６に示すように、テーブル３２，３３，３４の移動方向
の軸に対し直角な軸の周りに水平に傾いたときに生じる
誤差である。破線の位置は正規の位置である。
に、テーブル３２，３３，３４をａ点からｂ点に移動し
た後、ａ点とｂ点の間のｃ点に戻り移動したときのボー
ルねじのねじ軸のバックラッシュによる位置誤差であ
る。破線の位置は正規の位置である。ピッチング誤差
は、図４に示すように、テーブル３２，３３，３４の移
動方向と平行な方向に傾いたときに生じる誤差である。
破線の位置は正規の位置である。ローリング誤差は、図
５に示すように、テーブル３２，３３，３４の移動方向
の軸の周りに傾いたときに生じる誤差である。破線の位
置は正規の位置である。そして、ヨーイング誤差は、図
６に示すように、テーブル３２，３３，３４の移動方向
の軸に対し直角な軸の周りに水平に傾いたときに生じる
誤差である。破線の位置は正規の位置である。
【００１０】位置・傾き指令回路６２は、外部から入力
されたデータに基づき、ワーク積載テーブル４０を所望
の位置に移動させ、且つ所望の姿勢にすべく、各テーブ
ルの軸方向移動量と、各軸周りの回動角を設定する回路
である。位置・傾き補正回路６３は、位置・傾き指令回
路６２からの信号によるワーク積載テーブルの軸方向位
置設定データ及び回動角設定データを、補正データ回路
に記憶された補正データによって補正する回路である。
モータ制御回路６４は、位置・傾き補正回路６３からの
制御信号に基づき各サーボモータを制御する回路であ
る。
されたデータに基づき、ワーク積載テーブル４０を所望
の位置に移動させ、且つ所望の姿勢にすべく、各テーブ
ルの軸方向移動量と、各軸周りの回動角を設定する回路
である。位置・傾き補正回路６３は、位置・傾き指令回
路６２からの信号によるワーク積載テーブルの軸方向位
置設定データ及び回動角設定データを、補正データ回路
に記憶された補正データによって補正する回路である。
モータ制御回路６４は、位置・傾き補正回路６３からの
制御信号に基づき各サーボモータを制御する回路であ
る。
【００１１】次に動作を説明する。先ず、ワーク積載テ
ーブル４０にモデルワークを載せ、ワーク積載テーブル
４０をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の種々の位置に移動させ、各テ
ーブルの軸方向位置誤差、及び撓みによって生じる傾き
を測定し、ピッチ誤差、バックラッシュ誤差、ピッチン
グ誤差、ローリング誤差、ヨーイング誤差等として、位
置・傾き補正回路に記憶させる。この記憶はワークの重
量別に行なう。なお、このような値の測定方法は周知で
あるから、説明は省略する。測定点の数はできる限り多
くすべきであるが、一例をあげると、各軸方向のストロ
ーク長をボールねじのリード長で割った整数値を掛け合
わせた数である。実際に加工するワークがワーク積載テ
ーブル４０に載せられたときは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸テーブル
３３，３４，３２は施すべき加工に応じて種々の位置に
移動させられるが、このとき、位置・傾き補正回路６３
は、補正データ記憶回路６１から上記各誤差を修正値と
して読み出し、位置・傾き指令回路６２からの各テーブ
ルの軸方向移動量と、各軸周りの回動角を設定する値に
修正を加え、モータ制御回路６４にモータ制御信号を送
る。
ーブル４０にモデルワークを載せ、ワーク積載テーブル
４０をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の種々の位置に移動させ、各テ
ーブルの軸方向位置誤差、及び撓みによって生じる傾き
を測定し、ピッチ誤差、バックラッシュ誤差、ピッチン
グ誤差、ローリング誤差、ヨーイング誤差等として、位
置・傾き補正回路に記憶させる。この記憶はワークの重
量別に行なう。なお、このような値の測定方法は周知で
あるから、説明は省略する。測定点の数はできる限り多
くすべきであるが、一例をあげると、各軸方向のストロ
ーク長をボールねじのリード長で割った整数値を掛け合
わせた数である。実際に加工するワークがワーク積載テ
ーブル４０に載せられたときは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸テーブル
３３，３４，３２は施すべき加工に応じて種々の位置に
移動させられるが、このとき、位置・傾き補正回路６３
は、補正データ記憶回路６１から上記各誤差を修正値と
して読み出し、位置・傾き指令回路６２からの各テーブ
ルの軸方向移動量と、各軸周りの回動角を設定する値に
修正を加え、モータ制御回路６４にモータ制御信号を送
る。
【００１２】モータ制御信号を受けたモータ制御回路６
４は、アンプ７１乃至７６を介して各サーボモータを作
動させ、サーボモータの回転数及び回転角をパルスジェ
ネレータ８１乃至８６により検出しながら、位置・傾き
補正回路６３によって設定されたサーボモータの回転数
及び回転角と一致するまで各サーボモータを作動させ
る。このようにして、ワークが載ったワーク積載テーブ
ル４０は、ピッチ誤差、バックラッシュ誤差の他に、各
テーブルの撓みによって生じるピッチング誤差、ローリ
ング誤差、ヨーイング誤差等が補正され、正規の位置
に、正規の姿勢に制御される。
４は、アンプ７１乃至７６を介して各サーボモータを作
動させ、サーボモータの回転数及び回転角をパルスジェ
ネレータ８１乃至８６により検出しながら、位置・傾き
補正回路６３によって設定されたサーボモータの回転数
及び回転角と一致するまで各サーボモータを作動させ
る。このようにして、ワークが載ったワーク積載テーブ
ル４０は、ピッチ誤差、バックラッシュ誤差の他に、各
テーブルの撓みによって生じるピッチング誤差、ローリ
ング誤差、ヨーイング誤差等が補正され、正規の位置
に、正規の姿勢に制御される。
【００１３】図７は以上の動作を別の角度から理解しや
すく説明するため、図１の６軸テーブル装置３０の内、
Ｚ軸テーブル３２、（Ｙ）回転軸３９、Ｘ軸テーブル３
３を便宜上一箇所にまとめた変形図である。図７におい
て、本来実線の位置にあるべきワークＷが、ワークＷの
重量によって破線で示した様に支柱３１が傾き、破線の
位置に移動したとき、先ず、（Ｙ）回転軸３９を回転さ
せて、想像線で示すようにワークＷを水平の状態に姿勢
を直す。次に、支柱３１の撓みによって沈み込んだ高さ
分（Ｈ）と、右に位置がずれた分（Ｌ）とを、Ｚ軸テー
ブル３２の上昇と、Ｘ軸テーブル３３の左移動（ピッチ
ング補正）とによって修正する。このようにして、ワー
クＷは、制御手段６０によって、各誤差が修正されて、
正規の位置に、正規の姿勢にセットされることになる。
すく説明するため、図１の６軸テーブル装置３０の内、
Ｚ軸テーブル３２、（Ｙ）回転軸３９、Ｘ軸テーブル３
３を便宜上一箇所にまとめた変形図である。図７におい
て、本来実線の位置にあるべきワークＷが、ワークＷの
重量によって破線で示した様に支柱３１が傾き、破線の
位置に移動したとき、先ず、（Ｙ）回転軸３９を回転さ
せて、想像線で示すようにワークＷを水平の状態に姿勢
を直す。次に、支柱３１の撓みによって沈み込んだ高さ
分（Ｈ）と、右に位置がずれた分（Ｌ）とを、Ｚ軸テー
ブル３２の上昇と、Ｘ軸テーブル３３の左移動（ピッチ
ング補正）とによって修正する。このようにして、ワー
クＷは、制御手段６０によって、各誤差が修正されて、
正規の位置に、正規の姿勢にセットされることになる。
【００１４】なお、以上の実施例では、Ｚ軸上にＸ軸、
Ｙ軸テーブルが載っているが、Ｘ軸、Ｙ軸テーブル上に
Ｚ軸テーブルが載る構造であってもよい。又、周囲の温
度変化によって生じる各テーブルの軸方向位置誤差、傾
き誤差等も同様にして修正することができる。
Ｙ軸テーブルが載っているが、Ｘ軸、Ｙ軸テーブル上に
Ｚ軸テーブルが載る構造であってもよい。又、周囲の温
度変化によって生じる各テーブルの軸方向位置誤差、傾
き誤差等も同様にして修正することができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の位置修正方法と装置によると、
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの撓みによって生じる軸方向
位置誤差と傾き誤差を修正することができ、ワーク積載
テーブルを所望の位置に正確に移動させることができる
（絶対位置の補正、すなわち、姿勢の補正ができる）と
いう効果を奏する。逆にいうと、撓みを抑えるために機
械的に移動する部分の剛性を従来のように大きく設定す
る必要がなくなり、その結果、装置の全体的軽量化を図
ることができる。又、各テーブルの部品の加工精度が多
少悪くても、その精度に再現性がある場合は、ワークの
絶対位置決め精度を向上させることができる。
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの撓みによって生じる軸方向
位置誤差と傾き誤差を修正することができ、ワーク積載
テーブルを所望の位置に正確に移動させることができる
（絶対位置の補正、すなわち、姿勢の補正ができる）と
いう効果を奏する。逆にいうと、撓みを抑えるために機
械的に移動する部分の剛性を従来のように大きく設定す
る必要がなくなり、その結果、装置の全体的軽量化を図
ることができる。又、各テーブルの部品の加工精度が多
少悪くても、その精度に再現性がある場合は、ワークの
絶対位置決め精度を向上させることができる。
【図１】本発明の位置・姿勢修正方法に使用される６軸
テーブル装置の斜視図である。
テーブル装置の斜視図である。
【図２】制御手段の回路図である。
【図３】バックラッシュ誤差を説明する図である。
【図４】ピッチング誤差を説明する図である。
【図５】ローリング誤差を説明する図である。
【図６】ヨーイング誤差を説明する図である。
【図７】簡略化した動作説明図である。
【図８】従来の動作説明図である。
３０ ６軸テーブル装置
３２ Ｚ軸テーブル
３３ Ｘ軸テーブル
３４ Ｙ軸テーブル
３５ 回転軸
３７ 回転軸
３９ 回転軸
４０ ワーク積載テーブル
６１ 補正データ記憶回路（記憶回路）
６３ 位置・傾き補正回路
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向にそれぞれ移動するＸ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの内、最上位置にあるテーブル
に具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りに回動しうるようになっ
ているワーク積載テーブルにモデルワークを積載したと
き前記ワーク積載テーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置にお
ける軸方向位置誤差と傾き誤差を記憶回路に記憶させ、
実際のワーク加工時に前記記憶回路に記憶された前記軸
方向位置誤差分と傾き誤差分を位置・傾き補正回路によ
り補正して、前記ワーク積載テーブルの前記Ｘ、Ｙ、Ｚ
軸方向位置と前記各軸周りの回動角を修正することを特
徴とする、ワークの位置・姿勢修正方法。 - 【請求項２】 Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向にそれぞれ移動するＸ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルと、その内、最上位置にあるテ
ーブルに具えられＸ、Ｙ、Ｚ軸の周りに回動しうるよう
になっているワーク積載テーブルと、前記ワーク積載テ
ーブルのＸ、Ｙ、Ｚ軸座標位置における軸方向位置誤差
と傾き誤差を記憶する記憶回路と、前記記憶回路に記憶
された前記軸方向位置誤差分と傾き誤差分を補正して前
記Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸テーブルの軸方向位置と前記ワーク
積載テーブルの前記Ｘ、Ｙ、Ｚ軸周りの回動角を修正す
る位置・傾き補正回路とを有することを特徴とする、６
軸テーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18049591A JPH054150A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | テーブルの撓みを考慮したワークの位置・姿勢修正方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18049591A JPH054150A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | テーブルの撓みを考慮したワークの位置・姿勢修正方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH054150A true JPH054150A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=16084245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18049591A Pending JPH054150A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | テーブルの撓みを考慮したワークの位置・姿勢修正方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH054150A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1991
- 1991-06-26 JP JP18049591A patent/JPH054150A/ja active Pending
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