JPH0540095A - 顕微蛍光測定装置 - Google Patents

顕微蛍光測定装置

Info

Publication number
JPH0540095A
JPH0540095A JP19961591A JP19961591A JPH0540095A JP H0540095 A JPH0540095 A JP H0540095A JP 19961591 A JP19961591 A JP 19961591A JP 19961591 A JP19961591 A JP 19961591A JP H0540095 A JPH0540095 A JP H0540095A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
light
fluorescence
power meter
excitation light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19961591A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroto Takemi
浩人 武未
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP19961591A priority Critical patent/JPH0540095A/ja
Publication of JPH0540095A publication Critical patent/JPH0540095A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 顕微蛍光測定に際し、試料からの蛍光及び試
料の吸収を同時に測定することにより、信頼性の高い定
量評価を行う。 【構成】 光源1と顕微鏡とステージ13と蛍光検出器
4とステージ13に励起光強度モニター用パワーメータ
7とパワーメータの受光部保護カバーに、蛍光と吸光測
定を同時に行なうための窓12とを備えている。保護カ
バー11を取り除き、受光部10に照射される励起光9
の強度をモニターする。次に保護カバー11を設置し、
励起光軸上に試料14を設置する。試料14に励起光を
照射し、透過した励起光をパワーメータ7、試料からの
蛍光を検出器4によって検出する。試料の吸収、発光を
同時にモニターすることにより、一度の測定で信頼性の
高い定量評価を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は顕微蛍光分析装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】微小領域における化学種の識別、同定、
及び定量の手法として、顕微蛍光スペクトル法による測
定結果を用いた評価がなされている。化学種の定量は蛍
光強度により評価されるが、その際、励起光強度のモニ
ターが必要となる。さらに、蛍光強度の励起光強度依存
性を調べることにより、検出効率が最適となる測定条件
が決定される。一方、試料の吸光度を測定することによ
り、濃度、膜厚等の評価が行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】蛍光強度による発光種
の定量において、励起光強度のモニターは不可欠なデー
タであると共に、測定の頻度も高いため、より簡便な手
順による正確なモニターが要求される。また、発光種の
定量に際しては、蛍光強度と共に試料に対する励起光の
透過率をモニターすることも重要なパラメータである。
本発明の目的は、このような問題点に鑑み、励起光強度
を簡便且つ正確に測定できるとともに、試料の発光と吸
収を同時にモニターできる顕微蛍光測定装置を提供する
ことにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微蛍光測定装
置は、光源と試料設置用ステージと検出器とデータ処理
制御装置とから構成され、顕微鏡部分の試料設置用ステ
ージの中心またはその一部に励起光強度モニター用パワ
ーメータを具備していることを特徴とする。あるいは、
更にパワーメータの受光部保護カバーに、励起光に対し
て透明な窓を有していることを特徴としている。
【0005】
【作用】本発明においては、励起光強度モニター用パワ
ーメータを、試料設置用ステージと一体化させることに
より、励起光強度を簡便且つ正確にモニターすることが
可能である。また、受光部の上方に保護カバーを介して
試料を設置し、発光(蛍光)と吸収を同時にモニターす
ることにより、定量評価の信頼性が向上する。
【0006】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。
【0007】図1は本発明の一実施例である顕微蛍光測
定装置のブロック図である。図2は、本実施例である顕
微蛍光測定装置の試料設置用ステージに励起光強度モニ
ター用パワーメータを装備させた状態の装置の構成図で
ある。
【0008】図1に示した顕微蛍光測定装置のブロック
図は、光源1と、顕微鏡2と、分光器3と、蛍光検出器
4と、透過光検出器5と、データ処理制御装置6からな
り、光源1はレーザ等の単色光である方がよいが、白色
光を分光器あるいはバンドパスフィルターで波長選択し
たものであってもよい。但し、顕微鏡2がダイクロイッ
クミラー等の波長選択性を有している場合は、水銀ラン
プ等の白色光でよい。顕微鏡2のステージは、励起光の
照射軸に対して垂直な平面上で互いに直交する二軸方向
への移動制御が可能であることが望ましい。検出器4
は、分光器3により分光された光を検出するためのもの
であるが、この検出器はマルチチャンネル検出器であっ
ても、通常の検出器であってもよい。検出器5は、励起
光及び試料透過光モニター用パワーメータを示す。
【0009】図2において、励起光モニター用パワーメ
ータ7は、試料設置用ステージ13の中心またはその一
部に内蔵されており、ステージを移動させることによ
り、対物レンズ8を通過した励起光9は、受光部10の
受光面に対して鉛直方向から入射する。受光部保護カバ
ー11を装着することにより、ステージの凹凸は解消さ
れる。吸光測定では、受光部保護カバーとして、励起光
照射領域に、励起光に対して透明な窓12が取り付けら
れているものを使用する。
【0010】次に、この実施例の装置の動作を説明す
る。
【0011】まず、保護カバー11を取り外し、励起光
9が受光部10の中心で結像するように試料設置用ステ
ージ13の位置を調節する。光源1が安定した後、励起
光強度をモニターする。次に、保護カバー11を設置
し、その上に試料14を設置して蛍光測定を行う。蛍光
強度の励起光強度依存性を調べる際は、試料を設置した
状態で保護カバーの脱着を繰り返しながら、励起光強度
及び蛍光強度のモニターを行うことにより、同一部位の
蛍光強度を各励起光強度に対して簡便に測定できる。蛍
光強度と共に、励起光の試料吸収を同時モニターする場
合、保護カバーとしてその励起光照射領域に、励起光に
対して透明な窓を取り付けたものを使用する。
【0012】この実験系を用いて実際に蛍光測定を行っ
たところ、試料への照射光強度モニターが簡便且つ正確
になった。また、蛍光強度の励起光強度依存性を測定す
る際に、これまでの測定に比べ、測定時間が短縮され、
よい再現性を示した。吸収との同時測定では、試料の相
対量と蛍光強度の相関が得られるため、膜厚もしくは濃
度等のパラメータが未知の試料に対しても、一回の測定
で信頼性の高い評価が可能となった。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の顕微蛍光
測定装置は、励起光強度及び吸光度のモニターに効果を
有するものである。本発明により試料ステージが励起光
強度モニター用パワーメータと一体化され、励起光強度
及び試料の吸光度を簡便且つ正確にモニターすることが
可能となり、定量測定の再現性および信頼性が高まっ
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の顕微蛍光測定装置を説明す
るためのブロック図である。
【図2】本発明の一実施例の顕微蛍光測定装置を説明す
るための図である。
【符号の説明】 1 光源 2 顕微鏡 3 分光器 4 蛍光検出器 5 透過光検出器 6 データ処理制御装置 7 パワーメータ 8 対物レンズ 9 励起光 10 受光部 11 保護カバー 12 窓 13 ステージ 14 試料

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と顕微鏡と試料設置用ステージと検
    出器とデータ処理制御装置とから構成され、該試料設置
    用ステージ上に励起光強度モニター用パワーメータを装
    備していることを特徴とする顕微蛍光測定装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の顕微蛍光測定装置におい
    て、該パワーメータの受光部保護カバーに試料の蛍光及
    び吸光測定を同時に行うための、励起光に対して透明な
    窓を設けたことを特徴とする顕微蛍光測定装置。
JP19961591A 1991-08-08 1991-08-08 顕微蛍光測定装置 Pending JPH0540095A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19961591A JPH0540095A (ja) 1991-08-08 1991-08-08 顕微蛍光測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19961591A JPH0540095A (ja) 1991-08-08 1991-08-08 顕微蛍光測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0540095A true JPH0540095A (ja) 1993-02-19

Family

ID=16410804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19961591A Pending JPH0540095A (ja) 1991-08-08 1991-08-08 顕微蛍光測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0540095A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100571863B1 (ko) 대상물의 막 두께를 측정하는 장치, 대상물의분광반사율을 측정하는 장치 및 방법과, 대상물상의이물을 검사하는 장치 및 방법
JPH0915156A (ja) 分光測定方法及び測定装置
JP4092037B2 (ja) 物質同定装置
Zheng et al. Self-referencing Raman probes for quantitative analysis
KR100367240B1 (ko) 기판코팅의형광스펙트럼미분측정방법
WO1993022655A1 (en) Acousto-optic tunable filter-based surface scanning system and process
JP3422725B2 (ja) ラマン分光分析と粒度分布測定を同時に行う分析装置
JPH0540095A (ja) 顕微蛍光測定装置
JP3736361B2 (ja) 異物特定方法、異物特定装置、および発塵源特定方法
JPS58143254A (ja) 物質同定装置
JPS62278436A (ja) 蛍光測定法及び装置
EP0186704A1 (en) Automatic monochromator-testing system
TWI847724B (zh) 用於校準微弱螢光光譜測量值的方法和裝置與其電腦可讀媒介的編碼方法
JP2004527767A (ja) 濃縮媒質に含まれる化学種の光学検出方法
JP3624587B2 (ja) 蛍光測定装置
JP3070140B2 (ja) 表面状態の検査方法及び検査装置
JPH11218445A (ja) 光学プローブ
JPH07225186A (ja) 蛍光/ラマン分光光度計
RU2567119C1 (ru) Способ дистанционного беспробоотборного обнаружения и идентификации химических веществ и объектов органического происхождения и устройство для его осуществления
JPH04273145A (ja) 洗浄プリント基板上のフラックス残渣測定方法およびその装置
JP2001004544A (ja) ラマン分光装置
JPH06130005A (ja) 分析装置
JPS62212552A (ja) 濃度分析方法
JP3158603U (ja) 分光蛍光光度計
JPH08285772A (ja) 光分析装置