JPH0534259A - 粒度分布測定装置 - Google Patents
粒度分布測定装置Info
- Publication number
- JPH0534259A JPH0534259A JP3188563A JP18856391A JPH0534259A JP H0534259 A JPH0534259 A JP H0534259A JP 3188563 A JP3188563 A JP 3188563A JP 18856391 A JP18856391 A JP 18856391A JP H0534259 A JPH0534259 A JP H0534259A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scattering
- light
- photodetectors
- particle size
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 28
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 特殊なフローセルを使用することなく、簡単
な構成のもとに大角度の散乱光を含めた広範囲の散乱光
の高精度測定が可能で、高精度の粒度分布測定結果を得
ることのできるレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置を
提供する。 【構成】 リングデテクタ24等を用いた通常の前方散
乱・回折光測定用光学系に加えて、異なる方向から照射
される平行レーザ光による散乱光を、二重スリットを介
して複数の角度位置で測定する複数の光検出器を設け
る。
な構成のもとに大角度の散乱光を含めた広範囲の散乱光
の高精度測定が可能で、高精度の粒度分布測定結果を得
ることのできるレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置を
提供する。 【構成】 リングデテクタ24等を用いた通常の前方散
乱・回折光測定用光学系に加えて、異なる方向から照射
される平行レーザ光による散乱光を、二重スリットを介
して複数の角度位置で測定する複数の光検出器を設け
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】 本発明は、分散飛翔状態の粒子
に光を照射することによって生ずる回折現象または散乱
現象を利用した、光回折/散乱法に基づく粒度分布測定
装置に関する。
に光を照射することによって生ずる回折現象または散乱
現象を利用した、光回折/散乱法に基づく粒度分布測定
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】 粒子による光の回折ないしは散乱現象
を利用した粒度分布測定装置では、粒子による回折光な
いしは散乱光の強度分布(回折角ないしは散乱角と光強
度の関係)を測定し、これにフラウンホーファ回折ない
しはミー散乱の理論に基づく演算処理を施すことによっ
て、試料の粒度分布を算出する。この種の測定装置にお
いては、回折光を測定を行う関係上、照射光としては一
般にレーザ光が使用されている。そして、通常はレーザ
光を平行光にしてフローセルを流れる試料懸濁液に照射
し、回折/散乱されたレーザ光をフーリエ変換レンズで
集光し、その焦点面上にリングデテクタと称されるリン
グ状のフォトセンサアレイを設けて、その強度分布を測
定している。
を利用した粒度分布測定装置では、粒子による回折光な
いしは散乱光の強度分布(回折角ないしは散乱角と光強
度の関係)を測定し、これにフラウンホーファ回折ない
しはミー散乱の理論に基づく演算処理を施すことによっ
て、試料の粒度分布を算出する。この種の測定装置にお
いては、回折光を測定を行う関係上、照射光としては一
般にレーザ光が使用されている。そして、通常はレーザ
光を平行光にしてフローセルを流れる試料懸濁液に照射
し、回折/散乱されたレーザ光をフーリエ変換レンズで
集光し、その焦点面上にリングデテクタと称されるリン
グ状のフォトセンサアレイを設けて、その強度分布を測
定している。
【0003】ところで、この方法による粒度分布測定で
は、測定下限をより小径側とするためには、より大角度
の散乱光を測定する必要がある。つまり、測定範囲を拡
大するためには広い角度範囲にわたって回折/散乱光の
強度分布を測定する必要がある。しかし、フーリエ変換
レンズやリングデテクタのサイズ上の制約等により、こ
の測定光学系では実際には前方約40°程度までしか測
定できない。
は、測定下限をより小径側とするためには、より大角度
の散乱光を測定する必要がある。つまり、測定範囲を拡
大するためには広い角度範囲にわたって回折/散乱光の
強度分布を測定する必要がある。しかし、フーリエ変換
レンズやリングデテクタのサイズ上の制約等により、こ
の測定光学系では実際には前方約40°程度までしか測
定できない。
【0004】広い角度範囲で回折/散乱光の強度分布を
測定する方法として、従来、上記したようなレンズとフ
ォトセンサアレイによる測定光学系を複数組配置する方
法や、光ファイバーを複数本用いて特定角度の散乱光を
ピックアップし、その強度をそれぞれフォトセンサで測
定する方法等がある。また、本発明者も既に、フーリエ
変換レンズとリングデテクタによる測定光学系に加え
て、干渉フィルタにより作成された単一波長光を試料懸
濁液に照射し、その散乱光を複数のフォトセンサによっ
て強度測定する装置(特開平2−173550号)や、
フローセル中心を中心とする円弧に沿って基板上に受光
素子を多数個配設した装置等を提案している。
測定する方法として、従来、上記したようなレンズとフ
ォトセンサアレイによる測定光学系を複数組配置する方
法や、光ファイバーを複数本用いて特定角度の散乱光を
ピックアップし、その強度をそれぞれフォトセンサで測
定する方法等がある。また、本発明者も既に、フーリエ
変換レンズとリングデテクタによる測定光学系に加え
て、干渉フィルタにより作成された単一波長光を試料懸
濁液に照射し、その散乱光を複数のフォトセンサによっ
て強度測定する装置(特開平2−173550号)や、
フローセル中心を中心とする円弧に沿って基板上に受光
素子を多数個配設した装置等を提案している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】 ところで、上記した
従来の方法のうち、レンズとフォトセンサアレイからな
る測定光学系を複数組設けるものでは、多数の散乱角に
おいて測定しようとすると、装置が大きくなるとともに
構造が複雑となって高価となる。また、光ファイバーを
使用するものはその加工が困難で、特に光ファイバーの
端面の処理等におけるばらつきに起因する機差が生じや
すいという欠点がある。
従来の方法のうち、レンズとフォトセンサアレイからな
る測定光学系を複数組設けるものでは、多数の散乱角に
おいて測定しようとすると、装置が大きくなるとともに
構造が複雑となって高価となる。また、光ファイバーを
使用するものはその加工が困難で、特に光ファイバーの
端面の処理等におけるばらつきに起因する機差が生じや
すいという欠点がある。
【0006】更に、干渉フィルタで単一波長光を作って
照射する方法によれば、フォトセンサで受光するのに充
分な散乱光強度を得にくいという問題があり、フローセ
ルの回りにこれを中心として多数の受光素子を設けたも
のでは、実際には特殊な形状のセルが必要となる。本発
明はこのような点に鑑みてなされたもので、少ない部品
点数と、通常のフローセルを用いた簡単な構造のもと
に、高精度で広範囲の回折・散乱光強度を測定すること
ができ、精度よく粒度分布を測定することのできる装置
の提供を目的としている。
照射する方法によれば、フォトセンサで受光するのに充
分な散乱光強度を得にくいという問題があり、フローセ
ルの回りにこれを中心として多数の受光素子を設けたも
のでは、実際には特殊な形状のセルが必要となる。本発
明はこのような点に鑑みてなされたもので、少ない部品
点数と、通常のフローセルを用いた簡単な構造のもと
に、高精度で広範囲の回折・散乱光強度を測定すること
ができ、精度よく粒度分布を測定することのできる装置
の提供を目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】 上記の目的を達成する
ため、本発明の粒度分布測定装置では、前方散乱・回折
光測定系によるレーザ光の照射方向と異なる方向からフ
ローセルに平行レーザ光を照射する手段と、この照射光
の被測定粒子による散乱光を、それぞれ互いに所定距離
を置いて配設された2つのスリットを介して複数の散乱
角上で測定する複数の光検出器を備え、この各光検出器
の出力と上記前方散乱・回折光測定系の出力とに基づい
て演算手段で被測定粒子の粒度分布を算出するよう構成
している。
ため、本発明の粒度分布測定装置では、前方散乱・回折
光測定系によるレーザ光の照射方向と異なる方向からフ
ローセルに平行レーザ光を照射する手段と、この照射光
の被測定粒子による散乱光を、それぞれ互いに所定距離
を置いて配設された2つのスリットを介して複数の散乱
角上で測定する複数の光検出器を備え、この各光検出器
の出力と上記前方散乱・回折光測定系の出力とに基づい
て演算手段で被測定粒子の粒度分布を算出するよう構成
している。
【0008】
【作用】 前方散乱・回折光測定系による比較的小角度
の回折・散乱光に加えて、比較的大角度の散乱光を複数
の角度上でそれぞれ2つのスリットを介して光検出器に
よって測定することにより、広い角度範囲での散乱・回
折光強度の測定を達成している。ここで、2つのスリッ
トを通して散乱光を光検出器に導くため、その各光検出
器に導かれる光はその角度範囲が極めて狭くなり、測定
精度は良好なものとなる反面、散乱光強度は低下するこ
とになるが、このスリットを介して測定する散乱光用の
光源としてレーザ光を用いることで、測定するのに充分
な強度を持つ散乱光が得られる。
の回折・散乱光に加えて、比較的大角度の散乱光を複数
の角度上でそれぞれ2つのスリットを介して光検出器に
よって測定することにより、広い角度範囲での散乱・回
折光強度の測定を達成している。ここで、2つのスリッ
トを通して散乱光を光検出器に導くため、その各光検出
器に導かれる光はその角度範囲が極めて狭くなり、測定
精度は良好なものとなる反面、散乱光強度は低下するこ
とになるが、このスリットを介して測定する散乱光用の
光源としてレーザ光を用いることで、測定するのに充分
な強度を持つ散乱光が得られる。
【0009】
【実施例】 図1本発明実施例の測定光学系の全体構成
を示す斜視図である。フローセル1は通常のもので、そ
の内部には媒液中に分散された試料粒子が流される。こ
のフローセル1には上下2箇所に互いに直交する方向か
らレーザ光が照射される。
を示す斜視図である。フローセル1は通常のもので、そ
の内部には媒液中に分散された試料粒子が流される。こ
のフローセル1には上下2箇所に互いに直交する方向か
らレーザ光が照射される。
【0010】上方のものは通常の前方散乱・回折光測定
用光学系2のレーザ光で、下方のものは側方散乱光測定
用光学系3のレーザ光である。前方散乱・回折光測定用
光学系2は、レーザダイオード21とその出力光を平行
光にするコリメータレンズ22、この平行レーザ光L1
の光軸上にフローセル1を挟んで反対側に置かれ、フロ
ーセル1内の粒子による散乱・回折光を集光するフーリ
エ変換レンズ23、およびその焦点面に置かれたリング
デテクタ24によって構成されている。
用光学系2のレーザ光で、下方のものは側方散乱光測定
用光学系3のレーザ光である。前方散乱・回折光測定用
光学系2は、レーザダイオード21とその出力光を平行
光にするコリメータレンズ22、この平行レーザ光L1
の光軸上にフローセル1を挟んで反対側に置かれ、フロ
ーセル1内の粒子による散乱・回折光を集光するフーリ
エ変換レンズ23、およびその焦点面に置かれたリング
デテクタ24によって構成されている。
【0011】側方散乱光測定用光学系3は、同じくレー
ザダイオード31とその出力光を平行光にするコリメー
タレンズ32、この平行レーザ光L2 のフローセル1へ
の照射面と直交する面に装着された側方散乱光測定用セ
ンサ構造体33によって構成されている。図2は側方散
乱光測定用センサ構造体33の分解斜視図で、図3は組
立状態での正面図(A)、平面図(B)および右側面図
(C)である。なお、図2では各光検出器の全て、図3
(C)では一部の光検出器について図示を省略してい
る。
ザダイオード31とその出力光を平行光にするコリメー
タレンズ32、この平行レーザ光L2 のフローセル1へ
の照射面と直交する面に装着された側方散乱光測定用セ
ンサ構造体33によって構成されている。図2は側方散
乱光測定用センサ構造体33の分解斜視図で、図3は組
立状態での正面図(A)、平面図(B)および右側面図
(C)である。なお、図2では各光検出器の全て、図3
(C)では一部の光検出器について図示を省略してい
る。
【0012】側方散乱光測定用センサ構造体33は、互
いに異なる半径の円筒状に湾曲された第1および第2の
スリット板331および332と、これらを同心円上に
保持する上下の保持リング333および334、更に保
持リング333と334の外周部分に固着された複数、
例えば5個の光検出器335a〜335eによって構成
されている。
いに異なる半径の円筒状に湾曲された第1および第2の
スリット板331および332と、これらを同心円上に
保持する上下の保持リング333および334、更に保
持リング333と334の外周部分に固着された複数、
例えば5個の光検出器335a〜335eによって構成
されている。
【0013】第1と第2のスリット板331および33
2は、それぞれ薄い金属板に複数のスリットS・・Sを形
成して保持リング333に沿わせて曲げたもので、この
各スリット板331および33にには、それぞれ光検出
器335a〜335eの数と同数のスリットS・・Sが刻
まれている。この各スリットS・・Sと光検出器335a
〜335eの位置関係は、図4に平面図で示すようにそ
れぞれ一点を中心として2つのスリットS,Sと1つの
光検出器が一直線状に並んだ放射線状の位置関係となっ
ている。
2は、それぞれ薄い金属板に複数のスリットS・・Sを形
成して保持リング333に沿わせて曲げたもので、この
各スリット板331および33にには、それぞれ光検出
器335a〜335eの数と同数のスリットS・・Sが刻
まれている。この各スリットS・・Sと光検出器335a
〜335eの位置関係は、図4に平面図で示すようにそ
れぞれ一点を中心として2つのスリットS,Sと1つの
光検出器が一直線状に並んだ放射線状の位置関係となっ
ている。
【0014】そして、この側方散乱光測定用センサ構造
体33が、平行レーザ光L2 の照射面と直交するフロー
セル1の一面の外側に固着され、平行レーザ光L2 のフ
ローセル1内の粒子による側方への散乱光、すなわち大
角度散乱光を、各スリットS・・Sおよび光検出器335
a〜335eの配設角に対応じた複数の角度において測
定することができるようになっている。
体33が、平行レーザ光L2 の照射面と直交するフロー
セル1の一面の外側に固着され、平行レーザ光L2 のフ
ローセル1内の粒子による側方への散乱光、すなわち大
角度散乱光を、各スリットS・・Sおよび光検出器335
a〜335eの配設角に対応じた複数の角度において測
定することができるようになっている。
【0015】ここで、各光検出器335a〜335eに
は、二重スリットを介して散乱光が入射するので、それ
ぞれの光検出器に入射する光の散乱角の範囲は極めて狭
くなり、高精度の散乱光強度分布測定が可能である。ま
た、散乱光は二重スリットを介して各光検出器に入射す
るのでその強度は低下することになるが、この側方散乱
光測定用光学系3の光源にレーザ光を用いているので、
各光検出器への入射光強度は測定に充分なものとなる。
は、二重スリットを介して散乱光が入射するので、それ
ぞれの光検出器に入射する光の散乱角の範囲は極めて狭
くなり、高精度の散乱光強度分布測定が可能である。ま
た、散乱光は二重スリットを介して各光検出器に入射す
るのでその強度は低下することになるが、この側方散乱
光測定用光学系3の光源にレーザ光を用いているので、
各光検出器への入射光強度は測定に充分なものとなる。
【0016】そして、この各光検出器335a〜335
eの出力は、前方散乱光測定用光学系2のリングデテク
タ24の出力とともに、増幅器およびA−D変換器(い
ずれも図示せず)等を介してコンピュータ4に採り込ま
れる。コンピュータ4では、これら双方の測定光学系の
出力を用いて、フラウンホーファ回折理論ないしはミー
の散乱理論に基づく公知のアルゴリズムにより、被測定
粒子の粒度分布を算出する。
eの出力は、前方散乱光測定用光学系2のリングデテク
タ24の出力とともに、増幅器およびA−D変換器(い
ずれも図示せず)等を介してコンピュータ4に採り込ま
れる。コンピュータ4では、これら双方の測定光学系の
出力を用いて、フラウンホーファ回折理論ないしはミー
の散乱理論に基づく公知のアルゴリズムにより、被測定
粒子の粒度分布を算出する。
【0017】なお、以上の説明において各光検出器と二
重スリットによる大角度散乱光の測定光学系を、側方散
乱光測定用光学系3と称したが、図1,図4から明らか
なように、この光学系では側方のみならず実際には後方
散乱光と称すべき大散乱光をも測定することが可能であ
る。なお、以上の実施例においては、各光検出器335
a〜335eの前段に設ける二重スリットを、それぞれ
複数のスリットS・・Sを刻んだ薄い金属板からなる第1
と第2のスリット板331および332を、異なる曲率
で同心上に曲げることによって得ているが、本発明は特
にこれに限定されることなく、例えば直線状に2つのス
リットを組み合わせた二重スリットを各光検出器の前段
に個別に配置することもできる。ただし、前記した実施
例のようなスリット板331,332の組合せとするこ
とにより、各部品の配置が容易で、しかも安価となる。
重スリットによる大角度散乱光の測定光学系を、側方散
乱光測定用光学系3と称したが、図1,図4から明らか
なように、この光学系では側方のみならず実際には後方
散乱光と称すべき大散乱光をも測定することが可能であ
る。なお、以上の実施例においては、各光検出器335
a〜335eの前段に設ける二重スリットを、それぞれ
複数のスリットS・・Sを刻んだ薄い金属板からなる第1
と第2のスリット板331および332を、異なる曲率
で同心上に曲げることによって得ているが、本発明は特
にこれに限定されることなく、例えば直線状に2つのス
リットを組み合わせた二重スリットを各光検出器の前段
に個別に配置することもできる。ただし、前記した実施
例のようなスリット板331,332の組合せとするこ
とにより、各部品の配置が容易で、しかも安価となる。
【0018】また、以上の実施例では、説明の簡略化の
ために光検出器ないしは二重スリットを5組設けた例を
示したが、その数は任意であり、例えば10組以上設け
ることも可能である。
ために光検出器ないしは二重スリットを5組設けた例を
示したが、その数は任意であり、例えば10組以上設け
ることも可能である。
【0019】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明によれ
ば、フーリエ変換レンズおよびリングデテクタ等を用い
た通常の前方散乱・回折光測定用光学系のほかに、この
前方散乱・回折光測定用光学系の平行レーザ光と異なる
方向に照射される平行レーザ光と、平行レーザ光の粒子
による散乱光を二重スリットを介して入射する複数の光
検出器からなる側方散乱光測定用光学系を設けて、大角
度の散乱光を高精度に測定し得るように構成しているの
で、前方散乱光測定用光学系の測定限界である40°以
下の回折・散乱光に加えて、40°〜90°の間の複数
角度の散乱光や、更に大角度の散乱光を含めた広範囲の
散乱光の強度分布データを粒度分布の換算に用いること
が可能となり、従来に比して大幅に粒度分布測定精度が
向上する。
ば、フーリエ変換レンズおよびリングデテクタ等を用い
た通常の前方散乱・回折光測定用光学系のほかに、この
前方散乱・回折光測定用光学系の平行レーザ光と異なる
方向に照射される平行レーザ光と、平行レーザ光の粒子
による散乱光を二重スリットを介して入射する複数の光
検出器からなる側方散乱光測定用光学系を設けて、大角
度の散乱光を高精度に測定し得るように構成しているの
で、前方散乱光測定用光学系の測定限界である40°以
下の回折・散乱光に加えて、40°〜90°の間の複数
角度の散乱光や、更に大角度の散乱光を含めた広範囲の
散乱光の強度分布データを粒度分布の換算に用いること
が可能となり、従来に比して大幅に粒度分布測定精度が
向上する。
【0020】しかも、側方散乱光測定用光学系は、通常
のフローセルをそのまま共用し、かつ少ない部品点数に
よって構成された比較的簡単な構造であり、特に高価格
になる恐れはない。
のフローセルをそのまま共用し、かつ少ない部品点数に
よって構成された比較的簡単な構造であり、特に高価格
になる恐れはない。
【図1】 本発明実施例の測定光学系の全体構成を示す
斜視図
斜視図
【図2】 その側方散乱光測定用センサ構造体33の分
解斜視図
解斜視図
【図3】 同じく側方散乱光測定用センサ構造体33の
組立状態での正面図(A)、平面図(B)および右側面
図(C)
組立状態での正面図(A)、平面図(B)および右側面
図(C)
【図4】 同じく側方散乱光測定用センサ構造体33の
各スリットS・・Sおよび光検出器335a〜335eの
位置関係を示す模式的平面図
各スリットS・・Sおよび光検出器335a〜335eの
位置関係を示す模式的平面図
1・・・・フローセル 2・・・・前方散乱・回折光測定用光学系 21・・・・レーザダイオード 22・・・・コリメータレンズ 23・・・・フーリエ変換レンズ 24・・・・リングデテクタ 3・・・・側方散乱光測定用光学系 31・・・・レーザダイオード 32・・・・コリメータレンズ 33・・・・側方散乱光測定用センサ構造体 331・・・・第1のスリット板 332・・・・第2のスリット板 333,334・・・・保持リング 335a・・335e・・・・光検出器 S・・S・・・・スリット 4・・・・コンピュータ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 被測定粒子を媒液中に分散させた懸濁液
が流されるフローセルと、このフローセルに対して所定
方向から平行レーザ光を照射して被測定粒子による散乱
・回折光の強度分布を前方所定角度範囲で測定する前方
散乱・回折光測定系と、その強度分布の測定結果に基づ
いて被測定粒子の粒度分布を求める演算手段を備えた装
置において、上記前方散乱・回折光測定系によるレーザ
光の照射方向と異なる方向から上記フローセルに平行レ
ーザ光を照射する手段と、この照射光の被測定粒子によ
る散乱光を、それぞれ互いに所定距離を置いて配設され
た2つのスリットを介して複数の散乱角上で測定する複
数の光検出器を備え、上記演算手段は、この各光検出器
の出力と上記前方散乱・回折光測定系の出力とに基づい
て被測定粒子の粒度分布を算出するよう構成されている
ことを特徴とする粒度分布測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3188563A JPH0534259A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 粒度分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3188563A JPH0534259A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 粒度分布測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0534259A true JPH0534259A (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=16225882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3188563A Pending JPH0534259A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 粒度分布測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0534259A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000121540A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Horiba Ltd | 粒径分布測定装置 |
US6778271B2 (en) * | 1998-08-22 | 2004-08-17 | Malvern Instruments Limited | Measurement of particle size distribution |
JP2010243374A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Chuo Univ | ナノ粒子の粒径測定装置及びナノ粒子の粒径測定方法 |
CN103063573A (zh) * | 2011-10-18 | 2013-04-24 | 波特诺瓦分析有限公司 | 用于多角度光散射检测器的光圈*** |
JP2021004793A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置および光散乱検出方法 |
-
1991
- 1991-07-29 JP JP3188563A patent/JPH0534259A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6778271B2 (en) * | 1998-08-22 | 2004-08-17 | Malvern Instruments Limited | Measurement of particle size distribution |
JP2000121540A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Horiba Ltd | 粒径分布測定装置 |
JP2010243374A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Chuo Univ | ナノ粒子の粒径測定装置及びナノ粒子の粒径測定方法 |
CN103063573A (zh) * | 2011-10-18 | 2013-04-24 | 波特诺瓦分析有限公司 | 用于多角度光散射检测器的光圈*** |
CN103063573B (zh) * | 2011-10-18 | 2015-09-02 | 波特诺瓦分析有限公司 | 用于多角度光散射检测器的光圈*** |
JP2021004793A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置および光散乱検出方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4595291A (en) | Particle diameter measuring device | |
JP3412606B2 (ja) | レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置 | |
EP0167272A2 (en) | Particle size measuring apparatus | |
JP2910596B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPH0534259A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPH09189653A (ja) | 散乱式粒度分布測定装置における光軸調整方法 | |
JPH09126984A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPS59160741A (ja) | 粒径測定装置 | |
JPH05172730A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPS5970944A (ja) | 粒径測定装置 | |
JP2626009B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPH02193041A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JP4105888B2 (ja) | 粒子径分布測定装置 | |
JPH0277636A (ja) | 粒子測定装置 | |
JPH07260669A (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPH0436622A (ja) | レーザ光の波長検出方法及び装置 | |
JPH05340866A (ja) | 塵粒子検出器 | |
JP2674128B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JP5974714B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
JPH0442621B2 (ja) | ||
JP2001330551A (ja) | 粒子測定装置 | |
JPS6244645A (ja) | 噴霧粒子の粒径計測装置 | |
JPH0237977B2 (ja) | ||
JP3256764B2 (ja) | 広範囲位置ディテクター | |
JP2836481B2 (ja) | 粒度分布測定装置 |