JPH05333102A - Icのハンドリング装置 - Google Patents
Icのハンドリング装置Info
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- JPH05333102A JPH05333102A JP4138925A JP13892592A JPH05333102A JP H05333102 A JPH05333102 A JP H05333102A JP 4138925 A JP4138925 A JP 4138925A JP 13892592 A JP13892592 A JP 13892592A JP H05333102 A JPH05333102 A JP H05333102A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adapter
- section
- test board
- wiring pattern
- handling device
- Prior art date
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ICのリード部と電気的に接続さ
れるテストボード上に設けた配線パターン又はコンタク
トソケットの劣化を防止すると共に、測定異常によるハ
ンドラの停止時間を無くすことを目的とする。 【構成】 テストボード59上に設けた配線パターン又
はコンタクトソケットとICのリード部との電気的接続
を行なうアダプタ90を設け、測定異常時にアダプタ9
0を同じ新しいアダプタに自動交換するアダプタ交換機
構部60を設けている。これにより、ハンドラの停止時
間を減らし、ハンドラの生産性の向上を可能とする。
れるテストボード上に設けた配線パターン又はコンタク
トソケットの劣化を防止すると共に、測定異常によるハ
ンドラの停止時間を無くすことを目的とする。 【構成】 テストボード59上に設けた配線パターン又
はコンタクトソケットとICのリード部との電気的接続
を行なうアダプタ90を設け、測定異常時にアダプタ9
0を同じ新しいアダプタに自動交換するアダプタ交換機
構部60を設けている。これにより、ハンドラの停止時
間を減らし、ハンドラの生産性の向上を可能とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、IC(集積回路)の選
別工程において、自動的にICの電気的測定を行なう為
のテストシステムに関し、特にICのハンドリングを行
なうICのハンドリング装置(以下、ハンドラと称す)
に関する。
別工程において、自動的にICの電気的測定を行なう為
のテストシステムに関し、特にICのハンドリングを行
なうICのハンドリング装置(以下、ハンドラと称す)
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のハンドラは、テスタと電
気的に接続されたテストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケットとICのリード部との電気的接続を直
接行なっている。又、テストボード上の配線パターン又
はコンタクトソケットに異常が発生すると、測定異常
(例えば、不良品という測定結果が予めハンドラに設定
しておいた回数連続した場合)アラームとして、ハンド
ラを停止させていた。
気的に接続されたテストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケットとICのリード部との電気的接続を直
接行なっている。又、テストボード上の配線パターン又
はコンタクトソケットに異常が発生すると、測定異常
(例えば、不良品という測定結果が予めハンドラに設定
しておいた回数連続した場合)アラームとして、ハンド
ラを停止させていた。
【0003】図7は、従来のハンドラの概略構成を平面
図により示したものである。ハンドラにおいては、先ず
供給部ローダ51にICの入った供給トレー52が収納
され、供給トランスファ53に取付けられたハンド部5
5のチャッキング部54により、ICを1個チャッキン
グし、供給ウォーキング部56まで搬送し、ICをその
近傍に置く。
図により示したものである。ハンドラにおいては、先ず
供給部ローダ51にICの入った供給トレー52が収納
され、供給トランスファ53に取付けられたハンド部5
5のチャッキング部54により、ICを1個チャッキン
グし、供給ウォーキング部56まで搬送し、ICをその
近傍に置く。
【0004】一方、供給部ローダ51の一番上の供給ト
レー52が空となると、トレー搬送機構(図示せず)に
より、上方に搬送され、ストック部(図示せず)にスト
ックされる。その後、ICの入った供給トレー51がト
レー1枚分上昇する。
レー52が空となると、トレー搬送機構(図示せず)に
より、上方に搬送され、ストック部(図示せず)にスト
ックされる。その後、ICの入った供給トレー51がト
レー1枚分上昇する。
【0005】次に、供給ウォーキング部56に置かれた
ICは、矩形運動により、測定部側の先端まで搬送され
る。供給ウォーキング部56の測定部先端まで搬送され
たICは、測定部トランスファ57に取付けられたチャ
ッキング&プッシャー部58により、チャッキングさ
れ、テストボード59上の配線パターン又はコンタクト
ソケット部(何れも図示せず)上まで搬送され、そこに
押し付けられ(配線パターン又はコンタクトソケット
は、ICのリード部と測定器(図示せず)との電気的接
続を取る)、この状態で測定器によりICの電気的な測
定を行なう。
ICは、矩形運動により、測定部側の先端まで搬送され
る。供給ウォーキング部56の測定部先端まで搬送され
たICは、測定部トランスファ57に取付けられたチャ
ッキング&プッシャー部58により、チャッキングさ
れ、テストボード59上の配線パターン又はコンタクト
ソケット部(何れも図示せず)上まで搬送され、そこに
押し付けられ(配線パターン又はコンタクトソケット
は、ICのリード部と測定器(図示せず)との電気的接
続を取る)、この状態で測定器によりICの電気的な測
定を行なう。
【0006】測定が終了すると、チャッキング&プッシ
ャー部58が上昇し、測定部トランスファ57に取付け
られたハンド部62のチャッキング部61により、テス
トボード59上の測定済のICをチャッキングし、収納
ウォーキング部63まで搬送し、ICをその近傍に置
く。この時、チャッキング&プッシャー部58は、供給
ウォーキング部56より次のICをチャッキングし、テ
ストボード59まで搬送し、テストボード59上の配線
パターン又はコンタクトソケットに電気的に接続を取
る。
ャー部58が上昇し、測定部トランスファ57に取付け
られたハンド部62のチャッキング部61により、テス
トボード59上の測定済のICをチャッキングし、収納
ウォーキング部63まで搬送し、ICをその近傍に置
く。この時、チャッキング&プッシャー部58は、供給
ウォーキング部56より次のICをチャッキングし、テ
ストボード59まで搬送し、テストボード59上の配線
パターン又はコンタクトソケットに電気的に接続を取
る。
【0007】更に、収納ウォーキング部63に置かれた
ICは、矩形運動により、収納部側の先端まで搬送され
る。収納のウォーキング部63の収納部側の先端まで搬
送されたICは、収納トランスファ68に取付けられた
ハンド部70のチャッキング部69によりチャッキング
され、測定結果に基づき、良品収納部アンローダ64の
一番上の良品収納トレー65、又は不良品収納部アンロ
ーダ66の一番上の不良品収納トレー67に分類収納さ
れる。一方、良品収納部アンローダ64の一番上の良品
収納トレー65、又は不良品収納部アンローダ65の一
番上の不良品収納トレー66が満杯となると、トレー搬
送機構(図示せず)により、上方に搬送され、ストック
部にストックされる。それからトレー1枚分上昇する。
ICは、矩形運動により、収納部側の先端まで搬送され
る。収納のウォーキング部63の収納部側の先端まで搬
送されたICは、収納トランスファ68に取付けられた
ハンド部70のチャッキング部69によりチャッキング
され、測定結果に基づき、良品収納部アンローダ64の
一番上の良品収納トレー65、又は不良品収納部アンロ
ーダ66の一番上の不良品収納トレー67に分類収納さ
れる。一方、良品収納部アンローダ64の一番上の良品
収納トレー65、又は不良品収納部アンローダ65の一
番上の不良品収納トレー66が満杯となると、トレー搬
送機構(図示せず)により、上方に搬送され、ストック
部にストックされる。それからトレー1枚分上昇する。
【0008】これ以降、ハンドラは以上に説明した動作
を繰り返す。
を繰り返す。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述したハンドラは、
テスタと電気的に接続されたテストボード上の配線パタ
ーン又はコンタクトソケットとICのリードとの電気的
な接続を直接行なっていた為、多数のICを測定する
と、配線パターン又はコンタクトソケットの劣化が発生
し、結果として、測定異常アラームが発生し、停止状態
になることが多い。このようなアラームを解除する為に
は、テストボードを人手により交換する必要がある。
テスタと電気的に接続されたテストボード上の配線パタ
ーン又はコンタクトソケットとICのリードとの電気的
な接続を直接行なっていた為、多数のICを測定する
と、配線パターン又はコンタクトソケットの劣化が発生
し、結果として、測定異常アラームが発生し、停止状態
になることが多い。このようなアラームを解除する為に
は、テストボードを人手により交換する必要がある。
【0010】又、テストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケット上に、異物、(特に半田屑)が付着し
たとき等も、結果として、測定異常アラームが発生し、
ハンドラは停止状態となる。このアラームを解除する場
合にも、テストボード上の清掃を人手により行なう必要
がある。このように、トラブル時のハンドラは、人手を
要する為、高度に自動運転化を図る上で技術的に問題を
残している。特に、ICのリード間の間隔が小さいもの
を扱う程、ハンドラが停止状態になる傾向が高く、より
問題視されている。
ンタクトソケット上に、異物、(特に半田屑)が付着し
たとき等も、結果として、測定異常アラームが発生し、
ハンドラは停止状態となる。このアラームを解除する場
合にも、テストボード上の清掃を人手により行なう必要
がある。このように、トラブル時のハンドラは、人手を
要する為、高度に自動運転化を図る上で技術的に問題を
残している。特に、ICのリード間の間隔が小さいもの
を扱う程、ハンドラが停止状態になる傾向が高く、より
問題視されている。
【0011】本発明はかかる事情を鑑みなされたもの
で、その技術的課題は、人為的作業を可能な限り不要と
し、長時間の連続自動運転を行い得るICのハンドリン
グ装置を提供することにある。
で、その技術的課題は、人為的作業を可能な限り不要と
し、長時間の連続自動運転を行い得るICのハンドリン
グ装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、テスタ
と電気的に接続されたテストボード上の配線パターンと
ICのリード部との電気的接続を行なうアダプタを持つ
ICのハンドリング装置において、アダプタを自動的に
交換するアダプタ交換機能を有するICのハンドリング
装置が得られる。
と電気的に接続されたテストボード上の配線パターンと
ICのリード部との電気的接続を行なうアダプタを持つ
ICのハンドリング装置において、アダプタを自動的に
交換するアダプタ交換機能を有するICのハンドリング
装置が得られる。
【0013】又、本発明によれば、テスタと電気的に接
続されたテストボード上のコンタクトソケットとICの
リード部との電気的接続を行なうアダプタを持つICの
ハンドリング装置において、アダプタを自動的に交換す
るアダプタ交換機能を有するICのハンドリング装置が
得られる。
続されたテストボード上のコンタクトソケットとICの
リード部との電気的接続を行なうアダプタを持つICの
ハンドリング装置において、アダプタを自動的に交換す
るアダプタ交換機能を有するICのハンドリング装置が
得られる。
【0014】更に、本発明によれば、上記ICのハンド
リング装置において、アダプタは異方導電ゴムで構成さ
れたものであるICのハンドリング装置が得られる。
リング装置において、アダプタは異方導電ゴムで構成さ
れたものであるICのハンドリング装置が得られる。
【0015】加えて、本発明によれば、上記ICのハン
ドリング装置において、メモリを備え、アダプタに対す
る交換指令は、メモリに予め設定した指令値に基づいて
出されるICのハンドリング装置や、或いはアダプタに
対する交換指令は、テスタでの測定結果に応じて出され
るICのハンドリング装置が得られる。
ドリング装置において、メモリを備え、アダプタに対す
る交換指令は、メモリに予め設定した指令値に基づいて
出されるICのハンドリング装置や、或いはアダプタに
対する交換指令は、テスタでの測定結果に応じて出され
るICのハンドリング装置が得られる。
【0016】
【作用】本発明のハンドラは、テスタと電気的に接続さ
れたテストボード上の配線パターン又はコンタクトソケ
ットとICのリード部との電気的な接続を行なうアダプ
タと同アダプタを自動交換するためのアダプタ交換機能
を備えている。
れたテストボード上の配線パターン又はコンタクトソケ
ットとICのリード部との電気的な接続を行なうアダプ
タと同アダプタを自動交換するためのアダプタ交換機能
を備えている。
【0017】
【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明のハンドラにつ
いて、図面を参照して詳細に説明する。
いて、図面を参照して詳細に説明する。
【0018】図1は、本発明の一実施例であるハンドラ
の概略構成を示した平面図である。従来のハンドラに対
し、本発明のものでは、測定部(後述する)にアダプタ
交換機構部60が追加されたもので、他の機構部の構成
及び動作は、上述した従来の場合と同様である。
の概略構成を示した平面図である。従来のハンドラに対
し、本発明のものでは、測定部(後述する)にアダプタ
交換機構部60が追加されたもので、他の機構部の構成
及び動作は、上述した従来の場合と同様である。
【0019】そこで、以下は図2の図1に示すハンドラ
のアダプタ交換機構部60におけるアダプタ交換時の概
略構成を示した正面図と、図3のアダプタ交換機構部6
0における測定時の概略構成を示した正面図と、図4の
アダプタ交換時のアダプタ交換機構部60の概略構成を
示す側面図とを参照して、測定部のアダプタ交換機構部
60の動作を説明する。
のアダプタ交換機構部60におけるアダプタ交換時の概
略構成を示した正面図と、図3のアダプタ交換機構部6
0における測定時の概略構成を示した正面図と、図4の
アダプタ交換時のアダプタ交換機構部60の概略構成を
示す側面図とを参照して、測定部のアダプタ交換機構部
60の動作を説明する。
【0020】先ず、アダプタ交換機構部60では、テス
トボード59上の配線パターン又はコンタクトソケット
(何れも図示せず)とICのリード部との電気的な接続
を行なう為に、アダプタ90(このアダプタ90は、例
えば圧力を加えることにより、圧力を加えた方向に対し
て導通が得られる異方性導電ゴムを使用するものとする
が、他にも、同様な機能が得られるものであれば、使用
可能である。)をリール状に設けている。
トボード59上の配線パターン又はコンタクトソケット
(何れも図示せず)とICのリード部との電気的な接続
を行なう為に、アダプタ90(このアダプタ90は、例
えば圧力を加えることにより、圧力を加えた方向に対し
て導通が得られる異方性導電ゴムを使用するものとする
が、他にも、同様な機能が得られるものであれば、使用
可能である。)をリール状に設けている。
【0021】このアダプタ90は、未使用状態ではロー
ラ82aに巻かれており、使用済状態ではローラ82b
に巻き取られる。これらローラ82a、ローラ82b
は、アダプタ交換機構部ベース81にブラケット84で
固定されているモータ83により駆動される。又、アダ
プタ90は、アダプタ交換機構部ベース81にブラケッ
ト89で固定されているシリンダ85の先端のアダプタ
押さえ86(アダプタ押さえ86は、アダプタ押さえ取
付け金具87及び接続金具88を介してシリンダ85に
取付けられている)を下降させることにより、テストボ
ード59の上の配線パターン又はコンタクトソケットと
電気的な接続を取る(図3参照)。
ラ82aに巻かれており、使用済状態ではローラ82b
に巻き取られる。これらローラ82a、ローラ82b
は、アダプタ交換機構部ベース81にブラケット84で
固定されているモータ83により駆動される。又、アダ
プタ90は、アダプタ交換機構部ベース81にブラケッ
ト89で固定されているシリンダ85の先端のアダプタ
押さえ86(アダプタ押さえ86は、アダプタ押さえ取
付け金具87及び接続金具88を介してシリンダ85に
取付けられている)を下降させることにより、テストボ
ード59の上の配線パターン又はコンタクトソケットと
電気的な接続を取る(図3参照)。
【0022】ところで、このアダプタ90を交換する時
は、シリンダ85を上昇させ(図2参照)、モータ83
を駆動してローラ82a及びローラ82bを回し、新し
いアダプタ90をテストボード59上方に持って来る。
そして、再びシリンダ85を下降させ、新しいアダプタ
90をテストボード59上の配線パターン又はコンタク
トソケットに電気的に接続する。
は、シリンダ85を上昇させ(図2参照)、モータ83
を駆動してローラ82a及びローラ82bを回し、新し
いアダプタ90をテストボード59上方に持って来る。
そして、再びシリンダ85を下降させ、新しいアダプタ
90をテストボード59上の配線パターン又はコンタク
トソケットに電気的に接続する。
【0023】このようなアダプタ交換機構部60を備え
るハンドラは、装置内に予め設定した指令値に基づいて
指令を出すことにより、アダプタを新しいものに自動交
換することができる。
るハンドラは、装置内に予め設定した指令値に基づいて
指令を出すことにより、アダプタを新しいものに自動交
換することができる。
【0024】そこで、次にアダプタ交換機構部60の動
作指令を図5に示すハンドラのシステム図に基づいて説
明する。ハンドラ本体1は、測定部異常検出部2、ハン
ドラ本体制御部3、測定部4、テスタI/F制御部5よ
り構成される。
作指令を図5に示すハンドラのシステム図に基づいて説
明する。ハンドラ本体1は、測定部異常検出部2、ハン
ドラ本体制御部3、測定部4、テスタI/F制御部5よ
り構成される。
【0025】このうち、測定部異常検出部2は、交換指
令条件入力部6(アダプタ90の交換条件を予め入力し
て置く部分)、交換指令条件メモリ7(本実施例の場
合、累積測定回数16と設備の累積稼働時間としてお
り、指令値データは予め交換指令条件入力部に入力して
おいたものを読み出す)、カウンタ回路9(テスタI/
F制御部5から得られる測定回数のカウンタ20とハン
ドラ制御部3より得られる設備の稼働時間の累積カウン
タ21より構成されている)、実データメモリ8(メモ
リの内容は、カウンタ回路9より得られる実測定回路1
8と稼働時間の累積時間19である)、及び交換指令条
件メモリ7の内容と実データメモリ8の内容とを比較す
る比較回路A10及び比較回路B11、比較回路A10
又は比較回路B11でデータの一致が得られた場合、条
件検出回路12により、ハンドラ本体制御部3にアダプ
タ90の交換条件が整った指令を出す。
令条件入力部6(アダプタ90の交換条件を予め入力し
て置く部分)、交換指令条件メモリ7(本実施例の場
合、累積測定回数16と設備の累積稼働時間としてお
り、指令値データは予め交換指令条件入力部に入力して
おいたものを読み出す)、カウンタ回路9(テスタI/
F制御部5から得られる測定回数のカウンタ20とハン
ドラ制御部3より得られる設備の稼働時間の累積カウン
タ21より構成されている)、実データメモリ8(メモ
リの内容は、カウンタ回路9より得られる実測定回路1
8と稼働時間の累積時間19である)、及び交換指令条
件メモリ7の内容と実データメモリ8の内容とを比較す
る比較回路A10及び比較回路B11、比較回路A10
又は比較回路B11でデータの一致が得られた場合、条
件検出回路12により、ハンドラ本体制御部3にアダプ
タ90の交換条件が整った指令を出す。
【0026】ハンドラ本体制御部3はアダプタ90の交
換条件が整った指令を受けると、テスタI/F制御部5
より、測定終了を受信した後、測定部4のアダプタ交換
機構部駆動回路13に交換指令を行なう。これにより、
アダプタ交換機構部60が先に説明した動作を行なう。
換条件が整った指令を受けると、テスタI/F制御部5
より、測定終了を受信した後、測定部4のアダプタ交換
機構部駆動回路13に交換指令を行なう。これにより、
アダプタ交換機構部60が先に説明した動作を行なう。
【0027】ところで、ハンドラのシステムは、テスタ
での測定結果に応じて指令を出すことにより、アダプタ
を新しいものに自動交換することもできる。
での測定結果に応じて指令を出すことにより、アダプタ
を新しいものに自動交換することもできる。
【0028】図6は本発明の他の実施例であるハンドラ
のアダプタ交換機構部60の動作指令のシステム図を示
したものである。上述した実施例との相違は、アダプタ
90の交換指令の条件が、テスタの測定結果より得られ
る歩留り値及び不良品の連続発生数に変えた点で、他の
動作は上述した実施例と同様である。
のアダプタ交換機構部60の動作指令のシステム図を示
したものである。上述した実施例との相違は、アダプタ
90の交換指令の条件が、テスタの測定結果より得られ
る歩留り値及び不良品の連続発生数に変えた点で、他の
動作は上述した実施例と同様である。
【0029】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のハンド
ラによれば、テスタと電気的に接続されたテストボード
上の配線パターン又はコンタクトソケットとICのリー
ド部との電気的な接続を行なうアダプタを自動交換出来
るようにしているので、テストボード上の配線パターン
又はコンタクトソケットの劣化を防止することができる
ようになる。これにより、高価なテストボードの製作を
不要とすることができるので、選別コストの低減化が可
能になる。
ラによれば、テスタと電気的に接続されたテストボード
上の配線パターン又はコンタクトソケットとICのリー
ド部との電気的な接続を行なうアダプタを自動交換出来
るようにしているので、テストボード上の配線パターン
又はコンタクトソケットの劣化を防止することができる
ようになる。これにより、高価なテストボードの製作を
不要とすることができるので、選別コストの低減化が可
能になる。
【0030】又、テストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケットの劣化によるテストボードの作業者
(人手)による交換作業を不要とできるので、ハンドラ
の連続自動運転がより長時間に渡って行い得るようにな
り、ICの生産性を向上させることができる。
ンタクトソケットの劣化によるテストボードの作業者
(人手)による交換作業を不要とできるので、ハンドラ
の連続自動運転がより長時間に渡って行い得るようにな
り、ICの生産性を向上させることができる。
【図1】本発明の一実施例であるハンドラの概略構成を
示した平面図。
示した平面図。
【図2】図1に示すハンドラのアダプタ交換機構部にお
けるアダプタ交換時の概略構成を示した正面図。
けるアダプタ交換時の概略構成を示した正面図。
【図3】図1に示すハンドラのアダプタ交換機構部にお
ける測定時の概略構成を示した正面図。
ける測定時の概略構成を示した正面図。
【図4】図2に示すアダプタ交換機構部の概略構成を示
した側面図。
した側面図。
【図5】本発明の一実施例のハンドラに関するシステム
図。
図。
【図6】本発明の他の実施例のハンドラに関するシステ
ム図。
ム図。
【図7】従来のハンドラの概略構成を示した平面図。
【符号の説明】 1 ハンドラ本体 2 測定異常検出部 3 ハンドラ本体制御部 4 測定部 5 テスタI/F制御部 6 交換指令条件入力部 7 交換指令条件メモリ 8 実データメモリ 9 カウンタ回路 10 比較回路A 11 比較回路B 12 条件検出回路 13 アダプタ交換機構部駆動回路 15 テストボード 16 測定回数 17 稼働時間 18 実測定回数 19 累計時間 20 測定回数カウンタ 21 累積稼働時間カウンタ 22 テスタ本体 23 テストヘッド 26 測定異常条件入力部 27 測定異常条件メモリ 29 演算回路 36 基準歩留り値 37 連続不良数 38 歩留り値 39 実連続不良数 40 歩留り算出回路 41 連続不良カウント回路 51 供給部ローダ 52 供給トレー 53 供給トランスファ 54 チャッキング部 55 ハンド部 56 供給ウォーキング部 57 測定トランスファ 58 チャッキング&プッシャー部 59 テストボード 60 アダプタ交換機構部 61 チャッキング部 62 ハンド部 63 収納ウォーキング部 64 良品収納部アンローダ 65 良品収納トレー 66 不良品収納部アンローダ 67 不良品収納トレー 68 収納トランスファ 69 チャッキング部 70 ハンド部 71 ハンドラベース 81 アダプタ交換機構部ベース 82a ローラ(左) 82b ローラ(右) 83 モータ 84 ブラケット 85 シリンダ 86 アダプタ押さえ 87 アダプタ押さえ取付け金具 88 接続金具 89 ブラケット 90 アダプタ
Claims (5)
- 【請求項1】 テスタと電気的に接続されたテストボー
ド上の配線パターンとICのリード部との電気的接続を
行なうアダプタを持つICのハンドリング装置におい
て、前記アダプタを自動的に交換するアダプタ交換機能
を有することを特徴とするICのハンドリング装置。 - 【請求項2】 テスタと電気的に接続されたテストボー
ド上のコンタクトソケットとICのリード部との電気的
接続を行なうアダプタを持つICのハンドリング装置に
おいて、前記アダプタを自動的に交換するアダプタ交換
機能を有することを特徴とするICのハンドリング装
置。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のICのハンドリン
グ装置において、前記アダプタは異方導電ゴムで構成さ
れたものであることを特徴とするICのハンドリング装
置。 - 【請求項4】 請求項3記載のICのハンドリング装置
において、メモリを備え、前記アダプタに対する交換指
令は、前記メモリに予め設定した指令値に基づいて出さ
れることを特徴とするICのハンドリング装置。 - 【請求項5】 請求項3記載のICのハンドリング装置
において、前記アダプタに対する交換指令は、前記テス
タでの測定結果に応じて出されることを特徴とするにI
Cのハンドリング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4138925A JPH05333102A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Icのハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4138925A JPH05333102A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Icのハンドリング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05333102A true JPH05333102A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15233344
Family Applications (1)
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JP4138925A Withdrawn JPH05333102A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Icのハンドリング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH05333102A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11326446A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Matsushita Electron Corp | 半導体集積回路の検査方法および検査装置 |
WO2007026663A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Jsr Corporation | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクター |
CN117310451A (zh) * | 2023-11-27 | 2023-12-29 | 深圳市晶导电子有限公司 | 一种应用于矮尺寸直插式的塑封芯片的检测装置 |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP4138925A patent/JPH05333102A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11326446A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Matsushita Electron Corp | 半導体集積回路の検査方法および検査装置 |
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CN117310451A (zh) * | 2023-11-27 | 2023-12-29 | 深圳市晶导电子有限公司 | 一种应用于矮尺寸直插式的塑封芯片的检测装置 |
CN117310451B (zh) * | 2023-11-27 | 2024-02-23 | 深圳市晶导电子有限公司 | 一种应用于矮尺寸直插式的塑封芯片的检测装置 |
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