JPH05332655A - 極低温冷凍機の取付装置 - Google Patents

極低温冷凍機の取付装置

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JPH05332655A
JPH05332655A JP14126792A JP14126792A JPH05332655A JP H05332655 A JPH05332655 A JP H05332655A JP 14126792 A JP14126792 A JP 14126792A JP 14126792 A JP14126792 A JP 14126792A JP H05332655 A JPH05332655 A JP H05332655A
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refrigerator
dewar
packing
side flange
flange
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JP14126792A
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Shiyuuichi Sochi
修一 曽地
Satoru Fujimoto
悟 藤本
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Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 液冷媒を貯溜するデュワー(1)に、蒸発ガ
スを冷媒回路内で圧縮膨張させて冷却液化させる極低温
冷凍機(6)を装着する構造で、デュワー(1)の挿入
口(5)と冷凍機(6)の挿入部(30)との間隙を冷
凍機(6)の装着に伴って自動的にガスシールし、ガス
対流によるデュワー(1)内への熱侵入を防いで冷凍機
能力を向上させる。 【構成】 冷凍機挿入口(5)周縁に複数の同心かつ段
差状のパッキン受部(33),…を持つフランジ(3
1)を突設し、冷凍機(6)の挿入部(30)外周に、
パッキン受部(33),…にそれぞれ対応しかつパッキ
ン受部(33)と逆向き段差状のパッキン装着部(3
6),…を持つフランジ(34)を突設し、挿入部(3
0)の冷凍機挿入口(5)への挿入状態で、各パッキン
(37)をパッキン装着部(36)とパッキン受部(3
3)との間で挟圧してパッキン(37),(37)間に
閉塞空間(40)を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、極低温レベルにある
液化冷媒を貯溜するデュワーに対しデュワー内で蒸発し
た冷媒ガスを冷却液化する極低温冷凍機を取り付ける取
付装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、超電導磁石の利用により車体を軌
道上に浮かせて推進させるリニアモータカーが注目され
ている。この超電導磁石においては、コイルに用いる超
電導体を臨界温度に冷却保持するためにデュワー内に貯
溜した液体ヘリウムを利用しているが、この液体ヘリウ
ムがデュワー内で蒸発するので、この蒸発したヘリウム
ガスを冷却凝縮させて液化する必要があり、この目的で
極低温冷凍機が使用される。
【0003】このヘリウムガスを凝縮温度まで冷却する
冷凍機の一例として、従来、例えば米国特許第4223
540号等に記載されているように、予冷冷凍機とJ−
T冷凍機とを組み合わせた冷凍機がある。上記予冷冷凍
機は、改良ソルベーサイクルやGMサイクル(ギフォー
ド・マクマホンサイクル)等の冷凍機からなるもので、
圧縮機で圧縮されたヘリウムガス(冷媒ガス)を膨張機
で断熱膨張させてそのガスの温度降下によりヒートステ
ーションに極低温レベルの寒冷を発生させる。
【0004】一方、J−T冷凍機は、圧縮機から供給さ
れたヘリウムガスを上記予冷冷凍機における膨張機のヒ
ートステーションとの間で熱交換して予冷する予冷器
と、ヘリウムガスをジュール・トムソン膨張させるJ−
T弁とを閉回路に接続してなるもので、圧縮機からのヘ
リウムガスを予冷器で予冷するとともに、該予冷された
ヘリウムガスをJ−T弁でジュール・トムソン膨張させ
て4Kレベルの寒冷を発生させるようになっている。
【0005】そして、上記デュワー内の蒸発ヘリウムガ
スを冷凍機で冷却する場合、J−T冷凍機のヘリウム回
路の一部をJ−T弁下流側で開放してオープンサイクル
とし、その開放端をそれぞれガス吸込配管及び液吐出配
管を介してデュワー内に連通させ、ガス吸込配管からデ
ュワー内の蒸発ヘリウムガスをJ−T冷凍機のヘリウム
回路に吸い込んで圧縮機で圧縮するとともに、その圧縮
されたヘリウムガスをJ−T弁で膨張させて冷却液化
し、この液体ヘリウムを液吐出配管を経由してデュワー
内に戻すようになされている。
【0006】ところで、この場合、冷凍機のメンテナン
ス性等を考慮して、冷凍機をデュワーに対し取外し可能
に装着するようにしたプラグイン構造と呼ばれる構造が
採用される。すなわち、この構造では、真空容器におけ
る輻射シールド内部に収容されたデュワーに対し、その
デュワーの壁部から輻射シールドを経て真空容器の壁部
まで達する水平管を貫通状態に配置してその内部を冷凍
機挿入口とし、この挿入口にJ−T冷凍機の挿入管を嵌
挿するようになされている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のプ
ラグイン構造では、デュワーの冷凍機挿入口と冷凍機の
挿入管との間に間隙があり、この間隙でヘリウムガスの
対流が発生し、このガスの対流によりデュワー内への熱
侵入が生じて、冷凍機の冷凍能力が実質的に低下すると
いう問題がある。
【0008】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、上記デュワーの冷凍機挿入口と冷凍機
の挿入部との間の間隙を冷凍機のデュワーへの装着に伴
って自動的にガスシールできるようにし、間隙での冷媒
ガスの対流によるデュワー内への熱侵入を確実に防い
で、冷凍機の能力低下を防止しようとすることにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成すべ
く、請求項1及び2の発明では、デュワーの冷凍機挿入
口と冷凍機の挿入部との間の間隙を複数の同心状パッキ
ンによりシールし、この複数のパッキン間に形成される
密閉空間によりガスの対流を遮断することとした。
【0010】具体的には、請求項1の発明では、図1〜
図3に示すように、極低温レベルの液化冷媒を貯溜する
デュワー(1)に対し、挿入部(30)を該デュワー
(1)壁部に開口する冷凍機挿入口(5)に挿入して装
着され、デュワー(1)内で蒸発した冷媒ガスを冷媒回
路内に吸入して圧縮機で圧縮するとともに、膨張手段
(26)で膨張させて凝縮液化し、その液化冷媒をデュ
ワー(1)内に戻すようにした極低温冷凍機が前提であ
る。
【0011】そして、上記デュワー(1)の冷凍機挿入
口(5)周縁に突出するデュワー側フランジ(31)
と、冷凍機の挿入部(30)外周に、冷凍機挿入口
(5)への挿入時に上記デュワー側フランジ(31)と
対向するように突出する冷凍機側フランジ(34)とを
設ける。
【0012】また、上記デュワー側又は冷凍機側のフラ
ンジ(31),(34)の一方の他方のフランジ(3
4),(31)への対向面に複数の同心状のパッキン受
部(33),(33),…を段差状に設ける一方、他方
のフランジ(34),(31)の一方のフランジ(3
1),(34)への対向面に複数の同心状のパッキン装
着部(36),(36),…を、上記パッキン受部(3
3),(33),…にそれぞれ対応してかつパッキン受
部(33),(33),…と逆向きの段差状に設ける。
【0013】さらに、上記パッキン装着部(36),
(36),…にそれぞれ径の異なる複数のパッキン(3
7),(37),…を装着し、冷凍機の挿入部(30)
をデュワー(1)の冷凍機挿入口(5)へ挿入したと
き、各パッキン(37)をパッキン受部(33)とパッ
キン装着部(36)との間で挟圧して、パッキン(3
7),(37),…間に閉塞空間(40)を形成するよ
うに構成する。
【0014】一方、請求項2の発明では、上記前提の極
低温冷凍機において、図5及び図6に示す如く、請求項
1の発明と同様のデュワー側及び冷凍機側フランジ(3
1),(34)を設け、これらフランジ(31),(3
4)の一方の他方のフランジ(34),(31)への対
向面に、他方のフランジ(34),(31)側に延びる
複数の同心状のパッキン当接部(42),(42),…
を設ける一方、他方のフランジ(34),(31)の一
方のフランジ(31),(34)への対向面には、上記
パッキン当接部(42),(42),…が嵌挿される複
数の同心状のパッキン装着溝(43),(43),…を
設ける。
【0015】そして、上記各パッキン装着溝(43)に
それぞれ装着された径の異なる複数のパッキン(3
7),(37),…を設け、冷凍機の挿入部(30)を
デュワー(1)の冷凍機挿入口(5)へ挿入したとき、
各パッキン(37)をパッキン当接部(42)先端とパ
ッキン装着溝(43)との間で挟圧して、パッキン(3
7),(37),…間に閉塞空間(40)を形成するよ
うに構成する。
【0016】請求項3の発明では、極低温レベルでの熱
収縮率が大きいシールリングを用い、その特性を利用し
てデュワーの冷凍機挿入口と冷凍機の挿入部との間の間
隙を自動的にシールするようにしている。
【0017】すなわち、この発明では、上記前提の極低
温冷凍機において、図7〜図15に示すように、デュワ
ー側及び冷凍機側フランジ(31),(34)を設け、
デュワー側フランジ(31)の冷凍機側フランジ(3
4)への対向面に第1シールリング押え部(45)を設
ける一方、冷凍機側フランジ(34)のデュワー側フラ
ンジ(31)への対向面に第2シールリング押え部(4
6)を上記第1シールリング押え部(45)に冷凍機挿
入方向に対向して設ける。
【0018】さらに、上記第2シールリング押え部(4
6)に、少なくとも極低温レベルでの熱収縮率が上記デ
ュワー側及び冷凍機側フランジ(31),(34)より
も大きい材料からなるシールリング(48)を装着し、
上記第1又は第2シールリング押え部(45),(4
6)の少なくともいずれか一方を、冷凍機挿入口(5)
の中心に向かって第1又は第2シールリング押え部(4
5),(46)の他方に向かうように略テーパ状に変位
する案内面として、冷凍機の挿入部(30)をデュワー
(1)の冷凍機挿入口(5)へ挿入したとき、デュワー
(1)内の液冷媒による寒冷により冷却されてデュワー
側及び冷凍機側フランジ(31),(34)に対し相対
的に小径になったシールリング(48)を案内面の案内
により第1及び第2シールリング押え部(45),(4
6)にそれぞれ密着させてデュワー側及び冷凍機側フラ
ンジ(31),(34)間の間隙をシールするように構
成する。
【0019】
【作用】上記の構成により、請求項1の発明では、冷凍
機のデュワー(1)への装着のためにその挿入部(3
0)を冷凍機挿入口(5)へ挿入したとき、各パッキン
(37)がそれぞれパッキン受部(33)とパッキン装
着部(36)との間で挟圧される。上記パッキン受部
(33),(33),…はデュワー側又は冷凍機側フラ
ンジ(31),(34)の一方に、他方のフランジ(3
4),(31)側に向いて同心状かつ段差状に形成され
ている一方、パッキン装着部(36),(36),…は
他方のフランジ(34),(31)にパッキン受部(3
3),(33),…と逆向きの段差状に形成されている
ので、上記パッキン受部(33)及びパッキン装着部
(36)によるパッキン(37)の挟圧状態では、パッ
キン(37),(37),…間に閉塞空間(40)が形
成される。この閉塞空間(40)によりデュワー(1)
の冷凍機挿入口(5)と冷凍機の挿入部(30)との間
の間隙が閉塞シールされて、該間隙空間での冷媒ガスの
流れが遮断されることとなり、よってデュワー(1)内
への熱侵入を有効に防止して冷凍機の能力を向上させる
ことができる。
【0020】また、請求項2の発明では、冷凍機の挿入
部(30)をデュワー(1)の冷凍機挿入口(5)へ挿
入したとき、上記請求項1の発明と同様に、デュワー側
又は冷凍機側フランジ(31),(34)の他方におけ
る各パッキン装着溝(43)内のパッキン(37)がそ
れぞれ一方のフランジ(34),(31)の各パッキン
当接部(42)との間で挟圧される。上記パッキン当接
部(42),(42),…は、他方のフランジ(3
1),(34)側に向いて同心状に形成されている一
方、パッキン装着溝(43),(43),…は、パッキ
ン当接部(42),(42),…に対応して同心状に形
成されているので、上記パッキン(37)の挟圧状態で
は、パッキン(37),(37),…間に閉塞空間(4
0)が形成され、この閉塞空間(40)によりデュワー
(1)の冷凍機挿入口(5)と冷凍機の挿入部(30)
との間の間隙を閉塞シールして、冷媒ガスの流れを遮断
することができる。
【0021】請求項3の発明では、冷凍機の挿入部(3
0)をデュワー(1)の冷凍機挿入口(5)へ挿入した
とき、冷凍機側フランジ(34)の第2シールリング押
え部(46)に装着されているシールリング(48)が
デュワー(1)内の液冷媒の寒冷により冷却されて収縮
するが、このシールリング(48)の熱収縮率はデュワ
ー側及び冷凍機側フランジ(31),(34)よりも大
きいので、シールリング(48)は収縮に伴い両フラン
ジ(31),(34)に対し相対的に小径になる。そし
て、上記両フランジ(31),(34)のシールリング
押え部(45),(46)の少なくとも一方が、冷凍機
挿入口(5)の中心に向かってシールリング押え部(4
5),(46)の他方に向かうようにテーパ状に変位す
る案内面とされているので、上記小径になったシールリ
ング(48)は、上記案内面による案内により両シール
リング押え部(45),(46)にそれぞれ密着するよ
うになり、このことでデュワー側及び冷凍機側フランジ
(31),(34)の間、つまりデュワー(1)の冷凍
機挿入口(5)と冷凍機の挿入部(30)との間の間隙
が閉塞シールされ、冷媒ガスの流れが遮断される。
【0022】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0023】(実施例1)図1〜図4は本発明の実施例
1を示す。図3において、(1)は液化した極低温レベ
ルの液体ヘリウムを貯溜するヘリウムデュワーで、図示
しないがリニアモータカーに搭載される超電導磁石の超
電導コイルを臨界温度以下に冷却保持するためのもので
ある。このデュワー(1)は真空容器(2)内に収容さ
れ、その周りにはデュワー(1)内に外部から輻射熱が
侵入するのを抑える輻射シールド(3)が配置されてい
る。
【0024】上記デュワー(1)の一側壁にはステンレ
ス鋼からなる水平管(4)の内端が貫通固定され、この
水平管(4)は輻射シールド(3)を貫通してその外側
に延び、外端は真空容器(2)の側壁に貫通固定され、
この水平管(4)内にデュワー(1)内部を真空容器
(2)外部に連通する冷凍機挿入口(5)が形成されて
おり、この挿入口(5)に後述のJ−T冷凍機(16)
の挿入管(30)を挿入することにより、冷凍機(6)
がデュワー(1)ないし真空容器(2)に装着される。
【0025】(6)はヘリウムデュワー(1)ないし真
空容器(2)に取外し可能に装着される極低温冷凍機
で、この冷凍機(6)により、デュワー(1)内で蒸発
したヘリウムガスをヘリウム回路内に吸入して圧縮しか
つ膨張させて凝縮液化させ、その液体ヘリウムをデュワ
ー(1)内に戻すようにしている。
【0026】すなわち、冷凍機(6)は、図4に示すよ
うに予冷冷凍機(7)とJ−T冷凍機(16)とを組み
合わせた冷凍機で構成されている。上記予冷冷凍機
(7)は、G−M(ギフォード・マクマホン)サイクル
の冷凍機で構成されていて、J−T冷凍機(16)にお
けるヘリウムガス(冷媒ガス)を予冷するためにヘリウ
ムガスを圧縮及び膨張させる。この冷凍機(7)は図外
の予冷用圧縮機と膨張機(8)とを閉回路に接続してな
る。上記膨張機(8)は密閉円筒状のケース(9)と、
該ケース(9)に連設された大小2段構造のシリンダ
(10)とを有する。上記ケース(9)には上記予冷用
圧縮機の吐出側に接続される高圧ガス入口(11)と、
同吸込側に接続される低圧ガス出口(12)とが開口さ
れている。一方、シリンダ(10)の大径部(10a)
の先端部は所定温度レベルに冷却保持される第1ヒート
ステーション(13)に、また小径部(10b)の先端
部は上記第1ヒートステーション(13)よりも低い温
度レベルに冷却保持される第2ヒートステーション(1
4)にそれぞれ形成されている。そして、ここでは図示
しないが、シリンダ(10)内には、上記各ヒートステ
ーション(13),(14)に対応する位置にそれぞれ
膨張空間を区画形成するフリータイプのディスプレーサ
(置換器)が往復動可能に嵌挿されている。一方、上記
ケース(9)内には、回転する毎に開閉するロータリバ
ルブと、該ロータリバルブを駆動するバルブモータとが
収容されている。ロータリバルブは、上記高圧ガス入口
(11)から流入したヘリウムガスを上記シリンダ(1
0)内の各膨張空間に供給し、又は各膨張空間内で膨張
したヘリウムガスを低圧ガス出口(12)から排出する
ように切り換わる。そして、このロータリバルブの開閉
により高圧ヘリウムガスをシリンダ(10)内の各膨張
空間でサイモン膨張させて、その膨張に伴う温度降下に
より極低温レベルの寒冷を発生させ、その寒冷をシリン
ダ(10)における第1及び第2ヒートステーション
(13),(14)にて保持する。つまり、予冷冷凍機
(7)では、圧縮機から吐出された高圧のヘリウムガス
を膨張機(8)に供給し、その膨張機(8)での断熱膨
張によりヒートステーション(13),(14)の温度
を低下させて、J−T冷凍機(16)における後述の予
冷器(22),(24)を予冷するとともに、膨張した
低圧ヘリウムガスを圧縮機に戻して再圧縮するように構
成されている。
【0027】一方、上記J−T冷凍機(16)は、ヘリ
ウムガスを4Kレベルの寒冷の発生により凝縮液化する
ために圧縮して膨張させる冷凍機であって、ヘリウムガ
スを圧縮するJ−T圧縮機(図示せず)と、その圧縮さ
れたヘリウムガスをジュール・トムソン膨張させる膨張
機(17)とを備え、そのヘリウム回路はデュワー
(1)内で開放されてオープンとされている。上記膨張
機(17)は第1〜第3のJ−T熱交換器(18)〜
(20)を有する。この各J−T熱交換器(18)〜
(20)は1次側及び2次側をそれぞれ通過するヘリウ
ムガス間で互いに熱交換させるもので、第1J−T熱交
換器(18)の1次側はJ−T圧縮機の吐出側に接続さ
れている。また、第1及び第2のJ−T熱交換器(1
8),(19)の各1次側同士はコンタミネーション除
去用の吸着器(21)、及び上記予冷冷凍機(7)にお
ける膨張機(8)の第1ヒートステーション(13)外
周に配置した第1予冷器(22)を介して接続されてい
る。同様に、第2及び第3J−T熱交換器(19),
(20)の各1次側同士は吸着器(23)、及び膨張機
(8)の第2ヒートステーション(14)外周に配置し
た第2予冷器(24)を介して接続されている。さら
に、上記第3J−T熱交換器(20)の1次側は吸着器
(25)を介してJ−T弁(26)に接続されている。
このJ−T弁(26)は高圧のヘリウムガスをジュール
・トムソン膨張させるもので、操作ロッド(26a)に
よって開度が調整される。J−T弁(26)は冷却器
(27)に接続され、この冷却器(27)には先端が開
口する液体ヘリウム吐出配管(28)が接続されてお
り、冷凍機(6)のデュワー(1)への装着時、このJ
−T冷凍機(16)の液体ヘリウム吐出配管(28)は
デュワー(1)内に臨むように冷凍機挿入口(5)から
挿入される。
【0028】上記第3J−T熱交換器(20)の2次側
には先端が開口するヘリウムガス吸込配管(29)が接
続されている。このヘリウムガス吸込配管(29)は、
上記液体ヘリウム吐出配管(28)と対応して並設され
るもので、冷凍機(6)のデュワー(1)への装着時に
液体ヘリウム吐出配管(28)と同様にデュワー(1)
内に臨むように冷凍機挿入口(5)から挿入される。そ
して、ヘリウムガス吸込配管(29)は第3及び第2J
−T熱交換器(20),(19)の各2次側を経て第1
J−T熱交換器(18)の2次側に接続され、該第1J
−T熱交換器(18)の2次側は上記J−T圧縮機の吸
込側に接続されている。
【0029】よって、J−T冷凍機(16)では、デュ
ワー(1)への装着時に該デュワー(1)内の空間でヘ
リウム回路の一部を構成し、デュワー(1)内の蒸発ヘ
リウムガスをヘリウムガス吸込配管(29)から吸い込
んで、これを第3〜第1J−T熱交換器(20)〜(1
8)の各2次側を通してJ−T圧縮機で圧縮するととも
に、この圧縮された高圧ヘリウムガスを膨張機(17)
に供給し、それを膨張機(17)の第1〜第3のJ−T
熱交換器(18)〜(20)において、上記圧縮機側に
至る低温低圧のヘリウムガスと熱交換させるとともに、
第1及び第2予冷器(22),(24)でそれぞれ膨張
機(8)の第1及び第2ヒートステーション(13),
(14)で冷却した後、J−T弁(26)でジュール・
トムソン膨張させて冷却器(27)で4Kの液体ヘリウ
ムとなし、この液体ヘリウムを液体ヘリウム吐出配管
(28)からデュワー(1)内に吐出して戻すようにな
されている。
【0030】図1及び図2に示すように、上記デュワー
(1)内外を連通する水平管(4)におけるデュワー
(1)内側に相当する端部(冷凍機挿入口(5)の周
縁)には冷凍機挿入口(5)の半径方向内側に向いたデ
ュワー側フランジ(31)が突設されている。
【0031】一方、上記J−T冷凍機(16)には、上
記液体ヘリウム吐出配管(28)及びヘリウムガス吸込
配管(29)を並置状態に保持する挿入管(30)が設
けられ、この挿入管(30)は上記デュワー(1)の水
平管(4)内の冷凍機挿入口(5)に挿入可能とされて
おり、その挿入時、挿入管(30)の先端は上記デュワ
ー側フランジ(31)内端の開口(31a)に若干の間
隙をあけて嵌挿されるようになっている。挿入管(3
0)の外周には、水平管(4)内の冷凍機挿入口(5)
に若干の間隙をあけて挿入可能なステンレス鋼からなる
冷凍機側フランジ(34)(パッキン押え部材)が上記
デュワー側フランジ(31)と挿入方向に対向するよう
に突設され、この冷凍機側フランジ(34)はその背面
(デュワー外側面)にて挿入管(30)外周に一体に突
設した、冷凍機側フランジ(34)と同径の取付フラン
ジ(38)に複数の取付ボルト(39),(39),…
を介して取付固定されている。
【0032】そして、上記デュワー側フランジ(31)
の冷凍機側フランジ(34)への対向面(デュワー外側
面)には互いに径の異なる3つの段部(32),(3
2),…が同心状にかつ挿入口(5)の中心側に向かう
ほどデュワー内側に向かうように形成され、各段部(3
2)のデュワー外側面は同心円環状のパッキン受部(3
3)とされている。すなわち、このデュワー側フランジ
(31)には3つの同心状のパッキン受部(33),
(33),…が段差状に形成されている。
【0033】一方、冷凍機側フランジ(34)のデュワ
ー側フランジ(31)への対向面(デュワー内側面)に
は径の異なる3つの段部(35),(35),…が同心
状にかつ挿入管(30)の中心側に向かうほど挿入管
(30)の背面からの寸法が大きくなるよう上記デュワ
ー側フランジ(31)の段部(32),(32),…と
逆向きに対応して形成され、この各段部(35)のデュ
ワー内側面は同心円環状のパッキン装着部(36)とさ
れている。つまり、冷凍機側フランジ(34)には3つ
の同心状のパッキン装着部(36),(36),…が上
記デュワー側フランジ(31)のパッキン受部(3
3),(33),…にそれぞれ対応してかつパッキン受
部(33),(33),…と逆向きの段差状に形成され
ている。
【0034】そして、上記冷凍機側フランジ(34)の
各パッキン装着部(36)にはそれぞれインジウムやメ
タルペースト等からなる薄肉円環状のパッキン(37)
が取り付けられており、図1に示すように、J−T冷凍
機(16)の挿入管(30)をデュワー(1)の冷凍機
挿入口(5)へ挿入したとき、冷凍機側フランジ(3
4)の各パッキン(37)をパッキン装着部(36)と
デュワー側フランジ(31)のパッキン受部(33)と
の間で挟圧して、パッキン(37),(37),…間に
2つの閉塞空間(40),(40)を形成するように構
成されている。
【0035】次に、上記実施例の作用について説明す
る。点検や修理等で取り外されている冷凍機(6)を真
空容器(2)ないしデュワー(1)に装着して運転する
場合、図1に示すように、J−T冷凍機(16)の挿入
管(30)を真空容器(2)の側壁に開口する水平管
(4)内の冷凍機挿入口(5)に挿入して、該挿入管
(30)内のヘリウムガス吸込配管(29)及び液体ヘ
リウム吐出配管(28)をデュワー(1)内に臨ませ、
その状態で冷凍機(6)を運転させる。この冷凍機
(6)の運転状態では、予冷冷凍機(7)における圧縮
機から供給された高圧のヘリウムガスが膨張機(8)の
各膨張空間で膨張し、このガスの膨張に伴う温度降下に
よりシリンダ(10)の第1ヒートステーション(1
3)が所定温度レベルに、また第2ヒートステーション
(14)が第1ヒートステーション(13)よりも低い
温度レベルにそれぞれ冷却される。
【0036】一方、これと同時に、J−T冷凍機(1
6)では、圧縮機から吐出された高圧のヘリウムガスが
第1J−T熱交換器(18)の1次側に入り、そこで圧
縮機側に至る2次側の低圧ヘリウムガスと熱交換されて
室温から約50Kまで冷却され、その後、上記膨張機
(8)の第1ヒートステーション(13)外周の第1予
冷器(22)に入ってさらに冷却される。この冷却され
たガスは第2J−T熱交換器(19)の1次側に入っ
て、同様に2次側の低圧ヘリウムガスとの熱交換により
約15Kまで冷却された後、膨張機(8)の第2ヒート
ステーション(14)外周の第2予冷器(24)に入っ
てさらに冷却される。この後、ガスは第3J−T熱交換
器(20)の1次側に入って2次側の低圧ヘリウムガス
との熱交換により約5Kまで冷却され、しかる後にJ−
T弁(26)に至る。このJ−T弁(26)では高圧ヘ
リウムガスは絞られてジュール・トムソン膨張し、4K
の液状態のヘリウムとなって冷却器(27)へ供給され
る。この冷却器(27)には上記液体ヘリウム吐出配管
(28)が接続されているので、上記液化ヘリウムは液
体ヘリウム吐出配管(28)を介してデュワー(1)内
に吐出される。このヘリウムデュワー(1)内の液体ヘ
リウムによりリニアモータカーにおける超電導コイルが
臨界温度以下に冷却保持される。
【0037】一方、デュワー(1)内で蒸発した低温低
圧のヘリウムガスは上記ヘリウムガス吸込配管(29)
から吸い込まれ、第3〜第1J−T熱交換器(20)〜
(18)の各2次側を通って1次側の高圧ヘリウムガス
を冷却した後、J−T圧縮機に吸入されて圧縮され、そ
の後の膨張機のJ−T弁(26)でのジュール・トムソ
ン膨張により再び液化してデュワー(1)内に戻され
る。このことによって、デュワー(1)内に液体ヘリウ
ムが所定量以上貯溜されて、超電導コイルが安定して冷
却される。
【0038】このとき、上記J−T冷凍機(16)の挿
入管(30)をデュワー(1)の水平管(4)内の冷凍
機挿入口(5)に挿入した状態では、挿入管(30)の
先端はデュワー側フランジ(31)内端の開口(31
a)に、また挿入管(30)外周の冷凍機側フランジ
(34)は水平管(4)内面にそれぞれ若干の間隙をあ
けて嵌挿され、上記冷凍機側フランジ(34)における
各パッキン装着部(36)上のパッキン(37)がそれ
ぞれデュワー側フランジ(31)のパッキン受部(3
3)に圧着して、パッキン受部(33)とパッキン装着
部(36)との間で挟圧される。そして、上記デュワー
側フランジ(31)の3つのパッキン受部(33),
(33),…は、冷凍機側フランジ(34)側に向いて
同心状かつ段差状に形成されている一方、冷凍機側フラ
ンジ(34)のパッキン装着部(36),(36),…
は、パッキン受部(33),(33),…と逆向きの段
差状に形成されているので、上記各パッキン(37)の
挟圧状態では、パッキン(37),(37),…間に2
つの閉塞空間(40),(40)が形成される。これら
の閉塞空間(40),(40)によりデュワー(1)の
冷凍機挿入口(5)とJ−T冷凍機(16)の挿入管
(30)との間の間隙を確実に閉塞シールし、この間隙
空間を経由してデュワー(1)内のヘリウムガスが外部
へ対流するのを遮断でき、デュワー(1)内への外部か
らの熱侵入が有効に防止された状態となり、よって冷凍
機(6)の能力を向上させることができる。
【0039】尚、この実施例では、各パッキン(37)
を冷凍機側フランジ(34)に装着しているが、冷凍機
側フランジ(34)にパッキン受部を設ける一方、デュ
ワー側フランジ(31)にパッキン装着部を形成するよ
うにして、パッキン(37)をデュワー側フランジ(3
1)に装着するようにしてもよい。しかし、その場合、
パッキン(37)が常時デュワー(1)内の液体ヘリウ
ムにより冷却保持されて劣化する虞れがあるので、これ
を避けるために、上記実施例1のようにパッキン(3
7)を冷凍機側フランジ(34)に装着するのが好まし
い。また、パッキン(37)の数は3つ以外の複数であ
ればよい。
【0040】(実施例2)図5及び図6は本発明の実施
例2を示し(尚、以下の各実施例では、図1及び図2と
同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は
省略する)、パッキン(37)の装着部を溝としたもの
である。
【0041】すなわち、この実施例では、水平管(4)
におけるデュワー側フランジ(31)の冷凍機側フラン
ジ(34)への対向面(デュワー外側面)には互いに径
の異なる2つの薄肉円筒状のパッキン当接部(42),
(42)が同心状に形成され、この両パッキン当接部
(42),(42)はデュワー外側に向かって同じ長さ
だけ突出されている。
【0042】一方、J−T冷凍機(16)の挿入管(3
0)外周に取り付けた冷凍機側フランジ(34)のデュ
ワー側フランジ(31)への対向面(デュワー内側面)
には、上記デュワー側フランジ(31)のパッキン当接
部(42),(42)をそれぞれ嵌挿可能な径の異なる
2つの円環状パッキン装着溝(43),(43)が同心
状に形成され、各パッキン装着溝(43)の深さはパッ
キン当接部(42)の突出長さよりも若干短く、また溝
幅はパッキン当接部(42)を嵌挿したときに両側に間
隙が生じるようパッキン当接部(42)の厚さよりも広
めにそれぞれ設定されている。
【0043】そして、上記冷凍機側フランジ(34)の
2つのパッキン装着溝(43),(43)の底部及び冷
凍機側フランジ(34)の先端面内周部にはそれぞれパ
ッキン(37),(37),…が取り付けられており、
図5に示すように、J−T冷凍機(16)の挿入管(3
0)をデュワー(1)の冷凍機挿入口(5)へ挿入した
とき、冷凍機側フランジ(34)の各パッキン装着溝
(43)におけるパッキン(37)をデュワー側フラン
ジ(31)のパッキン当接部(42)の先端に、また冷
凍機側フランジ(34)の先端面内周部のパッキン(3
7)をデュワー側フランジ(31)のデュワー外側面内
周部にそれぞれ圧着させて各パッキン(37)を挟圧
し、これらパッキン(37),(37),…間に2つの
閉塞空間(40),(40)を形成するように構成され
ている。その他の構成は上記実施例1と同様である。
【0044】したがって、この実施例では、J−T冷凍
機(16)の挿入管(30)をデュワー(1)の水平管
(4)内の冷凍機挿入口(5)へ挿入したとき、図5に
示す如く、挿入管(30)外周における冷凍機側フラン
ジ(34)の各パッキン装着溝(43)内にそれぞれ水
平管(4)のデュワー側フランジ(31)の各パッキン
当接部(42)が嵌挿され、パッキン装着溝(43)内
のパッキン(37)がそれぞれパッキン当接部(42)
の先端部に、また冷凍機側フランジ(34)の先端面内
周部のパッキン(37)がデュワー側フランジ(31)
のデュワー外側面内周部にそれぞれ圧着して、該各パッ
キン(37)が挟圧される。上記デュワー側フランジ
(31)のパッキン当接部(42)はデュワー外側に向
いて同心状に形成されている一方、冷凍機側フランジ
(34)の各パッキン装着溝(43)は、パッキン当接
部(42)に対応して同心状に形成されているので、上
記各パッキン(37)の挟圧状態では、パッキン(3
7),(37),…間に2つの閉塞空間(40),(4
0)が形成される。よって、この閉塞空間(40),
(40)によりデュワー(1)の冷凍機挿入口(5)と
J−T冷凍機(16)の挿入管(30)との間の間隙を
閉塞シールしてヘリウムガスの流れを遮断することがで
きる。
【0045】尚、この実施例においても、冷凍機側フラ
ンジ(34)にパッキン当接部を設ける一方、デュワー
側フランジ(31)にパッキン装着溝を形成するように
して、パッキン(37)の装着側をデュワー側フランジ
(31)としてもよく、またパッキン(37)の数は3
つに限定されない。
【0046】(実施例3)図7〜図9は実施例3を示
し、シール構造及びシール部材を変更したものである。
すなわち、この実施例では、水平管(4)におけるデュ
ワー側フランジ(31)のデュワー外側には第1シール
リング押え部(45)が形成されている。このシールリ
ング押え部(45)は、冷凍機挿入口(5)の中心に向
かってデュワー外側に向かうようにテーパ状に傾斜する
テーパ状の案内面とされている。
【0047】一方、J−T冷凍機(16)の挿入管(3
0)外周に取り付けた冷凍機側フランジ(34)のデュ
ワー内側面には第2シールリング押え部(46)が形成
され、このシールリング押え部(46)は、上記第1シ
ールリング押え部(45)とは逆に、冷凍機挿入口
(5)の中心に向かってデュワー内側に向かうように傾
斜するテーパ状の案内面とされ、第2シールリング押え
部(46)の内端はフランジ内端の開口よりも若干小径
の段部(47)に連続されている。つまり、この実施例
では、第1及び第2シールリング押え部(45),(4
6)の双方が、冷凍機挿入口(5)の中心に向かって相
対する他方のシールリング押え部(46),(45)に
向かうようにテーパ状に傾斜する案内面とされている。
【0048】さらに、上記冷凍機側フランジ(34)の
第2シールリング押え部(46)ないし段部(47)に
はOリングからなるシールリング(48)が係合状態で
保持されている。このシールリング(48)は、極低温
レベルでの熱収縮率が上記ステンレス鋼からなるデュワ
ー側及び冷凍機側フランジ(31),(34)よりも大
きいテフロン(登録商標)からなり、図7に実線にて示
すように常温ではシールリング(48)が第2シールリ
ング押え部(46)(又は第1シールリング押え部(4
5))の半径方向中間点よりも若干冷凍機挿入口(5)
の中心側に接触するように直径が設定されている。
【0049】そして、J−T冷凍機(16)の挿入管
(30)をデュワー(1)の冷凍機挿入口(5)へ挿入
したとき、シールリング(48)をデュワー(1)内の
液体ヘリウムによる寒冷により冷却してデュワー側及び
冷凍機側フランジ(31),(34)に対し相対的に小
径にし、この小径になったシールリング(48)を第1
及び第2シールリング押え部(45),(46)の案内
面による案内により両シールリング押え部(45),
(46)にそれぞれ密着させてデュワー側及び冷凍機側
フランジ(31),(34)間の間隙をシールするよう
になされている。
【0050】したがって、この実施例では、J−T冷凍
機(16)の挿入管(30)をデュワー(1)の冷凍機
挿入口(5)へ挿入したとき、挿入直後の状態では、図
7に実線にて示す如く、シールリング(48)はその中
心がO点の位置にあってデュワー側及び冷凍機側フラン
ジ(31),(34)のシールリング押え部(45),
(46)間に挟まれた状態となる。そして、この後、デ
ュワー(1)内の液体ヘリウムからの寒冷によりシール
リング(48)がデュワー側及び冷凍機側フランジ(3
1),(34)と共に冷却されて収縮するが、このシー
ルリング(48)の熱収縮率は両フランジ(31),
(34)よりも大きいので、シールリング(48)は収
縮に伴い中心がO点からO′点に移動して両フランジ
(31),(34)に対し相対的に寸法(d)だけ半径
が小径になる。そのとき、上記両フランジ(31),
(34)のシールリング押え部(45),(46)の双
方が、冷凍機挿入口(5)の中心に向かって相手方のシ
ールリング押え部(45),(46)に向かうようにテ
ーパ状に傾斜する案内面とされているので、上記シール
リング(48)は、図7に仮想線にて示すように、小径
になった分だけ上記案内面による案内により両シールリ
ング押え部(45),(46)にそれぞれ密着し、この
ことでデュワー側及び冷凍機側フランジ(31),(3
4)の間、つまりデュワー(1)の冷凍機挿入口(5)
とJ−T冷凍機(16)の挿入管(30)との間の間隙
が閉塞シールされ、ヘリウムガスの流れが遮断される。
よって、この実施例でも上記各実施例と同様の作用効果
を得ることができる。
【0051】(実施例4)図10〜図12は実施例4で
あり、この実施例では、冷凍機側フランジ(34)の第
1シールリング押え部(45)のみが上記実施例3と同
様にテーパ状に傾斜した案内面とされ、デュワー側フラ
ンジ(31)の第1シールリング押え部(45)は、冷
凍機挿入口(5)の中心線に対して直交する方向に延び
る平坦面とされている。その他は実施例3と同様であ
る。
【0052】したがって、この実施例でも、デュワー
(1)内の液体ヘリウムによりシールリング(48)が
冷却されて収縮して、両フランジ(31),(34)に
対し相対的に小径になると、このシールリング(48)
は、図10に仮想線にて示すように、小径になった分だ
け上記第1シールリング押え部(45)による案内によ
り両シールリング押え部(45),(46)にそれぞれ
密着し、デュワー側及び冷凍機側フランジ(31),
(34)の間の間隙を閉塞シールしてヘリウムガスの流
れを遮断することができる。
【0053】(実施例5)図13〜図15は実施例5を
示し、上記実施例3では第1及び第2シールリング押え
部(45),(46)の案内面を断面が直線状になるよ
うに傾斜させているのに対し、この実施例では、断面が
円弧状になるように変位させている。よって、この実施
例でも実施例3と同様の作用効果を奏することができ
る。
【0054】尚、上記各実施例は、リニアモータカーの
超電導磁石のコイルを冷却する場合であるが、その他、
液冷媒貯溜用のデュワーに冷凍機が一体的に設けられて
いる構造であれば本発明を適用することができる。
【0055】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明で
は、極低温レベルの液冷媒を貯溜するデュワーに対し、
デュワー内で蒸発した冷媒ガスを冷媒回路内で圧縮膨張
させて凝縮液化させる極低温冷凍機を取外し可能に装着
する構造において、デュワーの冷凍機挿入口周縁にデュ
ワー側フランジを突設するとともに、冷凍機の挿入部外
周に冷凍機側フランジを突設し、両フランジの一方の他
方フランジへの対向面に複数の同心状かつ段差状のパッ
キン受部を設ける一方、他方のフランジに、上記パッキ
ン受部にそれぞれ対応しかつパッキン受部と逆向き段差
状の複数のパッキン装着部を設け、冷凍機の挿入部をデ
ュワーの冷凍機挿入口へ挿入したとき、各パッキン装着
部のパッキンをパッキン受部との間で挟圧してパッキン
間に閉塞空間が形成されるようにした。また、請求項2
の発明では、デュワー側又は冷凍機側フランジの一方に
複数の同心状のパッキン当接部を設ける一方、他方のフ
ランジに、上記パッキン当接部が嵌挿される複数の同心
状のパッキン装着溝を設け、冷凍機の挿入部をデュワー
の冷凍機挿入口へ挿入したとき、冷凍機側フランジの各
パッキン装着溝の複数のパッキンをデュワー側フランジ
のパッキン当接部先端との間で挟圧してパッキン間に閉
塞空間が形成されるようにした。さらに、請求項3の発
明では、デュワー側フランジに第1シールリング押え部
を設ける一方、冷凍機側フランジに、第1シールリング
押え部に挿入方向に対向する第2シールリング押え部を
設け、この第2シールリング押え部に少なくとも極低温
レベルでの熱収縮率が両フランジよりも大きいシールリ
ングを装着し、シールリング押え部の少なくともいずれ
か一方を、冷凍機挿入口の中心に向かって他方のシール
リングに向かうように傾斜する案内面とし、冷凍機の挿
入部をデュワーの冷凍機挿入口へ挿入したとき、液冷媒
により冷却されて両フランジに対し相対的に小径になっ
たシールリングを案内面の案内により両シールリング押
え部にそれぞれ密着させて両フランジ間の間隙をシール
するようにした。従って、これら発明によると、デュワ
ーの冷凍機挿入口と冷凍機の挿入部との間の間隙を閉塞
シールして、間隙空間での冷媒ガスの流れを遮断でき、
よってデュワー内への熱侵入を有効に防止して冷凍機の
能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1において冷凍機の挿入完了状
態を示す要部断面図である。
【図2】実施例1において冷凍機の取外し状態を示す要
部断面図である。
【図3】デュワーに対する冷凍機の取付構造を示す断面
図である。
【図4】極低温冷凍機の回路構成を示す冷媒回路図であ
る。
【図5】実施例2における図1相当図である。
【図6】実施例2における図2相当図である。
【図7】実施例3におけるシール部分の拡大断面図であ
る。
【図8】実施例3における図1相当図である。
【図9】実施例3における図2相当図である。
【図10】実施例4におけるシール部分の拡大断面図で
ある。
【図11】実施例4における図1相当図である。
【図12】実施例4における図2相当図である。
【図13】実施例5におけるシール部分の拡大断面図で
ある。
【図14】実施例5における図1相当図である。
【図15】実施例5における図2相当図である。
【符号の説明】
(1) ヘリウムデュワー (4) 水平管 (5) 冷凍機挿入口 (6) 冷凍機 (7) 予冷冷凍機 (16) J−T冷凍機 (26) J−T弁(膨張手段) (28) 液体ヘリウム吐出配管 (29) ヘリウムガス吸込配管 (30) 挿入管(冷凍機の挿入部) (31) デュワー側フランジ (33) パッキン受部 (34) 冷凍機側フランジ (36) パッキン装着部 (37) パッキン (40) 閉塞空間 (42) パッキン当接部 (43) パッキン装着溝 (45) 第1シールリング押え部 (46) 第2シールリング押え部 (48) シールリング

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 極低温レベルの液化冷媒を貯溜するデュ
    ワー(1)に対し、挿入部(30)を該デュワー(1)
    壁部に開口する冷凍機挿入口(5)に挿入して装着さ
    れ、デュワー(1)内で蒸発した冷媒ガスを冷媒回路内
    に吸入して圧縮機で圧縮するとともに、膨張手段(2
    6)で膨張させて凝縮液化し、その液化冷媒をデュワー
    (1)内に戻すようにした極低温冷凍機において、 上記デュワー(1)の冷凍機挿入口(5)周縁に突設さ
    れたデュワー側フランジ(31)と、 上記冷凍機の挿入部(30)外周に、冷凍機挿入口
    (5)への挿入時に上記デュワー側フランジ(31)と
    対向するように突設された冷凍機側フランジ(34)と
    を備え、 上記デュワー側又は冷凍機側のフランジ(31),(3
    4)の一方の他方のフランジ(34),(31)への対
    向面には複数の同心状のパッキン受部(33),(3
    3),…が段差状に設けられる一方、 他方のフランジ(34),(31)の一方のフランジ
    (31),(34)への対向面には複数の同心状のパッ
    キン装着部(36),(36),…が、上記パッキン受
    部(33),(33),…にそれぞれ対応してかつパッ
    キン受部(33),(33),…と逆向きの段差状に設
    けられ、 上記パッキン装着部(36),(36),…にそれぞれ
    径の異なる複数のパッキン(37),(37),…が装
    着されており、 冷凍機の挿入部(30)をデュワー(1)の冷凍機挿入
    口(5)へ挿入したとき、各パッキン(37)をパッキ
    ン受部(33)とパッキン装着部(36)との間で挟圧
    して、パッキン(37),(37),…間に閉塞空間
    (40)を形成するように構成されていることを特徴と
    する極低温冷凍機の取付装置。
  2. 【請求項2】 極低温レベルの液化冷媒を貯溜するデュ
    ワー(1)に対し、挿入部(30)を該デュワー(1)
    壁部に開口する冷凍機挿入口(5)に挿入して装着さ
    れ、デュワー(1)内で蒸発した冷媒ガスを冷媒回路内
    に吸入して圧縮機で圧縮するとともに、膨張手段(2
    6)で膨張させて凝縮液化し、その液化冷媒をデュワー
    (1)内に戻すようにした極低温冷凍機において、 上記デュワー(1)の冷凍機挿入口(5)周縁に突設さ
    れたデュワー側フランジ(31)と、 上記冷凍機の挿入部(30)外周に上記デュワー側フラ
    ンジ(31)と対向して突設された冷凍機側フランジ
    (34)とを備え、 上記デュワー側又は冷凍機側のフランジ(31),(3
    4)の一方の他方のフランジ(34),(31)への対
    向面には、他方のフランジ(34),(31)側に延び
    る複数の同心状のパッキン当接部(42),(42),
    …が設けられる一方、 他方のフランジ(34),(31)の一方のフランジ
    (31),(34)への対向面には、上記パッキン当接
    部(42),(42),…が嵌挿される複数の同心状の
    パッキン装着溝(43),(43),…が設けられ、 上記パッキン装着溝(43),(43),…にそれぞれ
    径の異なる複数のパッキン(37),(37),…が装
    着されており、 冷凍機の挿入部(30)をデュワー(1)の冷凍機挿入
    口(5)へ挿入したとき、各パッキン(37)をパッキ
    ン当接部(42)先端とパッキン装着溝(43)との間
    で挟圧して、パッキン(37),(37),…間に閉塞
    空間(40)を形成するように構成されていることを特
    徴とする極低温冷凍機の取付装置。
  3. 【請求項3】 極低温レベルの液化冷媒を貯溜するデュ
    ワー(1)に対し、挿入部(30)を該デュワー(1)
    壁部に開口する冷凍機挿入口(5)に挿入して装着さ
    れ、デュワー(1)内で蒸発した冷媒ガスを冷媒回路内
    に吸入して圧縮機で圧縮するとともに、膨張手段(2
    6)で膨張させて凝縮液化し、その液化冷媒をデュワー
    (1)内に戻すようにした極低温冷凍機において、 上記デュワー(1)の冷凍機挿入口(5)周縁に突設さ
    れたデュワー側フランジ(31)と、 上記冷凍機の挿入部(30)外周に上記デュワー側フラ
    ンジ(31)と対向して突設された冷凍機側フランジ
    (34)とを備え、 上記デュワー側フランジ(31)の冷凍機側フランジ
    (34)への対向面には第1シールリング押え部(4
    5)が設けられる一方、 冷凍機側フランジ(34)のデュワー側フランジ(3
    1)への対向面には第2シールリング押え部(46)が
    上記第1シールリング押え部(45)に冷凍機挿入方向
    に対向して設けられ、 上記第第2シールリング押え部(46)には、少なくと
    も極低温レベルでの熱収縮率が上記デュワー側及び冷凍
    機側フランジ(31),(34)よりも大きい材料から
    なるシールリング(48)が装着され、 上記第1又は第2シールリング押え部(45),(4
    6)の少なくとも一方が、冷凍機挿入口(5)の中心に
    向かって他方の2シールリング押え部(46),(4
    5)に向かうように略テーパ状に変位する案内面とされ
    ており、 冷凍機の挿入部(30)をデュワー(1)の冷凍機挿入
    口(5)へ挿入したとき、デュワー(1)内の液冷媒に
    よる寒冷により冷却されてデュワー側及び冷凍機側フラ
    ンジ(31),(34)に対し相対的に小径になったシ
    ールリング(48)を案内面の案内により第1及び第2
    シールリング押え部(45),(46)にそれぞれ密着
    させてデュワー側及び冷凍機側フランジ(31),(3
    4)間の間隙をシールするように構成されていることを
    特徴とする極低温冷凍機の取付装置。
JP14126792A 1992-06-02 1992-06-02 極低温冷凍機の取付装置 Withdrawn JPH05332655A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3937204A1 (de) * 1988-11-12 1990-05-17 Matsushita Electric Works Ltd Konverter fuer planarantennen
JP2009516381A (ja) * 2005-11-18 2009-04-16 マグネックス サイエンティフィック リミテッド 超伝導磁石システム
WO2010011189A1 (en) * 2008-07-25 2010-01-28 Keng Nye Kao Device for transferring material
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CN109764636A (zh) * 2019-02-13 2019-05-17 中国电子科技集团公司第十六研究所 一种带有真空夹层的插拔式杜瓦结构
CN118129390A (zh) * 2024-05-07 2024-06-04 上海量羲技术有限公司 一种具有多重密封结构的稀释制冷装置

Cited By (7)

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CN109764636B (zh) * 2019-02-13 2024-03-15 中国电子科技集团公司第十六研究所 一种带有真空夹层的插拔式杜瓦结构
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