JPH05322751A - ガス分析装置 - Google Patents
ガス分析装置Info
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- JPH05322751A JPH05322751A JP14988692A JP14988692A JPH05322751A JP H05322751 A JPH05322751 A JP H05322751A JP 14988692 A JP14988692 A JP 14988692A JP 14988692 A JP14988692 A JP 14988692A JP H05322751 A JPH05322751 A JP H05322751A
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- Japan
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- signal processing
- interference
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- phase
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の分析部を設けることなく、単一の分析
部からの出力信号を処理するだけで、干渉成分の干渉影
響を排除することができ、測定対象成分の濃度を精度よ
く測定できるガス分析装置を得ること。 【構成】 検出器５から測定対象成分に対応する信号と
干渉成分に対応する信号とが重畳された状態の出力信号
ｓ0 を得るようにし、この出力信号ｓ0 を、２つの信号
処理ライン15, 16に供給し、一方の信号処理ライン15に
おいては、測定対象成分信号が発生する位相に対応する
ように同期位相検波および整流し、他方の信号処理ライ
ン16においては、干渉成分信号が発生する位相に対応す
るように同期位相検波および整流し、前記一方の測定対
象成分信号に入り込んだ干渉成分信号を、他方の信号処
理ラインによって求められる干渉成分信号によって相殺
するようにした。
部からの出力信号を処理するだけで、干渉成分の干渉影
響を排除することができ、測定対象成分の濃度を精度よ
く測定できるガス分析装置を得ること。 【構成】 検出器５から測定対象成分に対応する信号と
干渉成分に対応する信号とが重畳された状態の出力信号
ｓ0 を得るようにし、この出力信号ｓ0 を、２つの信号
処理ライン15, 16に供給し、一方の信号処理ライン15に
おいては、測定対象成分信号が発生する位相に対応する
ように同期位相検波および整流し、他方の信号処理ライ
ン16においては、干渉成分信号が発生する位相に対応す
るように同期位相検波および整流し、前記一方の測定対
象成分信号に入り込んだ干渉成分信号を、他方の信号処
理ラインによって求められる干渉成分信号によって相殺
するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サンプルガス中の特定
の成分の濃度を測定するためのガス分析装置に関する。
の成分の濃度を測定するためのガス分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば光源からの紫外光を、サンプルガ
スが導入されるセルに照射し、セル透過後の紫外光を検
出器によって検出し、そのときの紫外光の吸収量に基づ
いてＳＯ2 の濃度を測定することができる。ところで、
このようにしてＳＯ2 濃度を測定する場合、ＣＯ2 が干
渉成分となるところから、従来の紫外吸収ＳＯ2 分析装
置は、図４に示すように構成されていた。
スが導入されるセルに照射し、セル透過後の紫外光を検
出器によって検出し、そのときの紫外光の吸収量に基づ
いてＳＯ2 の濃度を測定することができる。ところで、
このようにしてＳＯ2 濃度を測定する場合、ＣＯ2 が干
渉成分となるところから、従来の紫外吸収ＳＯ2 分析装
置は、図４に示すように構成されていた。
【０００３】すなわち、図４において、40, 50は同一の
サンプルガス源からのサンプルガスが分岐して供給され
るＳＯ2 計、ＣＯ2 計である。そして、ＳＯ2 計40は、
分析部41、検出器42、プリアンプ43、ローパスフィルタ
44、同期検波整流回路45、平滑回路46よりなる。また、
ＣＯ2 計50は、分析部51、検出器52、プリアンプ53、ロ
ーパスフィルタ54、同期検波整流回路55、平滑回路56よ
りなる。なお、61は同期検波整流回路45, 55に対して同
期信号を出力する同期信号発生器、62はＳＯ2計40の出
力からＣＯ2 計の出力を差し引く減算器である。このよ
うに構成した紫外吸収ＳＯ2 分析装置によれば、ＣＯ2
の干渉影響を除去したＳＯ2 濃度を得ることができる。
サンプルガス源からのサンプルガスが分岐して供給され
るＳＯ2 計、ＣＯ2 計である。そして、ＳＯ2 計40は、
分析部41、検出器42、プリアンプ43、ローパスフィルタ
44、同期検波整流回路45、平滑回路46よりなる。また、
ＣＯ2 計50は、分析部51、検出器52、プリアンプ53、ロ
ーパスフィルタ54、同期検波整流回路55、平滑回路56よ
りなる。なお、61は同期検波整流回路45, 55に対して同
期信号を出力する同期信号発生器、62はＳＯ2計40の出
力からＣＯ2 計の出力を差し引く減算器である。このよ
うに構成した紫外吸収ＳＯ2 分析装置によれば、ＣＯ2
の干渉影響を除去したＳＯ2 濃度を得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
構成の紫外吸収ＳＯ2 分析装置においては、次のような
不都合がある。すなわち、ＳＯ2 計40とＣＯ2 計50と
が、全く同時に同一のサンプルガスを測定することがで
きないため、ＳＯ2 計40とＣＯ2 計50とにおいて時間差
が生じた場合、測定結果に誤差が生ずることになる。そ
して、ＳＯ2 計40と同様の構成のＣＯ2 計50が余分に必
要であるので、それだけコストアップになると共に、部
品点数が増え、しかも、ＳＯ2 計40とＣＯ2 計50とにお
ける測定精度を揃える必要があるなど、紫外吸収ＳＯ2
分析装置の信頼性を維持するのが困難である。
構成の紫外吸収ＳＯ2 分析装置においては、次のような
不都合がある。すなわち、ＳＯ2 計40とＣＯ2 計50と
が、全く同時に同一のサンプルガスを測定することがで
きないため、ＳＯ2 計40とＣＯ2 計50とにおいて時間差
が生じた場合、測定結果に誤差が生ずることになる。そ
して、ＳＯ2 計40と同様の構成のＣＯ2 計50が余分に必
要であるので、それだけコストアップになると共に、部
品点数が増え、しかも、ＳＯ2 計40とＣＯ2 計50とにお
ける測定精度を揃える必要があるなど、紫外吸収ＳＯ2
分析装置の信頼性を維持するのが困難である。
【０００５】ところで、上述のように、ＳＯ2 の濃度を
測定する場合、ＣＯ2 が干渉成分となるが、図３（ａ）
に示すように、ＳＯ2 に対応する信号（測定対象成分信
号）ａ（実線で示す）が発生する位相と、ＣＯ2 に対応
する信号（干渉成分信号）ｂ（仮想線で示す）が発生す
る位相とが異なっている。本発明は、このような事柄に
留意してなされたもので、その目的とするところは、複
数の分析部を設けることなく、単一の分析部からの出力
信号を処理するだけで、干渉成分の干渉影響を排除する
ことができ、測定対象成分の濃度を精度よく測定できる
ガス分析装置を得ることにある。
測定する場合、ＣＯ2 が干渉成分となるが、図３（ａ）
に示すように、ＳＯ2 に対応する信号（測定対象成分信
号）ａ（実線で示す）が発生する位相と、ＣＯ2 に対応
する信号（干渉成分信号）ｂ（仮想線で示す）が発生す
る位相とが異なっている。本発明は、このような事柄に
留意してなされたもので、その目的とするところは、複
数の分析部を設けることなく、単一の分析部からの出力
信号を処理するだけで、干渉成分の干渉影響を排除する
ことができ、測定対象成分の濃度を精度よく測定できる
ガス分析装置を得ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るガス分析装置は、検出器からの測定対
象成分に対応する信号と干渉成分に対応する信号とが重
畳された状態の出力信号を２つの信号処理ラインに供給
し、一方の信号処理ラインにおいては、測定対象成分信
号が発生する位相に対応するように同期位相検波および
整流し、他方の信号処理ラインにおいては、干渉成分信
号が発生する位相に対応するように同期位相検波および
整流し、前記一方の測定対象成分信号に入り込んだ干渉
成分信号を、他方の信号処理ラインによって求められる
干渉成分信号によって相殺するようにしている。
め、本発明に係るガス分析装置は、検出器からの測定対
象成分に対応する信号と干渉成分に対応する信号とが重
畳された状態の出力信号を２つの信号処理ラインに供給
し、一方の信号処理ラインにおいては、測定対象成分信
号が発生する位相に対応するように同期位相検波および
整流し、他方の信号処理ラインにおいては、干渉成分信
号が発生する位相に対応するように同期位相検波および
整流し、前記一方の測定対象成分信号に入り込んだ干渉
成分信号を、他方の信号処理ラインによって求められる
干渉成分信号によって相殺するようにしている。
【０００７】
【作用】例えばＳＯ2 の濃度を測定する場合、ＣＯ2 が
干渉成分となるが、ＳＯ2 に対応する信号、すなわち、
測定対象成分信号が発生する位相と、ＣＯ2 に対応する
信号、すなわち、干渉成分信号が発生する位相とが異な
っているので、検出器の出力信号を、２つの信号処理ラ
インに供給し、一方の信号処理ラインにおいては、測定
対象成分信号が発生する位相に対応するように同期位相
検波および整流し、他方の信号処理ラインにおいては、
干渉成分信号が発生する位相に対応するように同期位相
検波および整流し、一方の測定対象成分信号に入り込ん
でいる干渉成分信号を、他方の信号処理ラインによって
求められる干渉成分信号によって相殺することによっ
て、干渉成分信号を除去した測定対象成分信号のみを得
ることができる。
干渉成分となるが、ＳＯ2 に対応する信号、すなわち、
測定対象成分信号が発生する位相と、ＣＯ2 に対応する
信号、すなわち、干渉成分信号が発生する位相とが異な
っているので、検出器の出力信号を、２つの信号処理ラ
インに供給し、一方の信号処理ラインにおいては、測定
対象成分信号が発生する位相に対応するように同期位相
検波および整流し、他方の信号処理ラインにおいては、
干渉成分信号が発生する位相に対応するように同期位相
検波および整流し、一方の測定対象成分信号に入り込ん
でいる干渉成分信号を、他方の信号処理ラインによって
求められる干渉成分信号によって相殺することによっ
て、干渉成分信号を除去した測定対象成分信号のみを得
ることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。図２は、本発明に係るガス分析装置の一例
としてのＳＯ2 分析装置における分析部の構成例を示す
もので、この図において、１は例えば低圧水銀ランプよ
りなる紫外光源である。２はサンプルガスＳとリファレ
ンスガスＲとが一定周期で交互に供給されるセルで、ガ
ス入口３とガス出口４とが設けられると共に、詳細に図
示してないが、光源１に臨む端部および後述する紫外線
検出器５に臨む端部は、紫外線透過性のセル窓によって
封止されている。５は光電管やフォトダイオードあるい
は光電子増倍管などよりなる紫外線検出器（以下、検出
器と云う）、６はプリアンプである。
ら説明する。図２は、本発明に係るガス分析装置の一例
としてのＳＯ2 分析装置における分析部の構成例を示す
もので、この図において、１は例えば低圧水銀ランプよ
りなる紫外光源である。２はサンプルガスＳとリファレ
ンスガスＲとが一定周期で交互に供給されるセルで、ガ
ス入口３とガス出口４とが設けられると共に、詳細に図
示してないが、光源１に臨む端部および後述する紫外線
検出器５に臨む端部は、紫外線透過性のセル窓によって
封止されている。５は光電管やフォトダイオードあるい
は光電子増倍管などよりなる紫外線検出器（以下、検出
器と云う）、６はプリアンプである。
【０００９】そして、７はセル２に対しサンプルガスＳ
とリファレンスガスＲとを一定周期で交互に切換え供給
するためのガス切換え供給器で、この実施例において
は、ロータリバルブよりなる。すなわち、そのバルブ本
体８には、周囲を４等分するように、２つのガス入口
９，10と２つのガス出口11，12が設けられると共に、そ
の内部には、図外のモータによって矢印方向に回転駆動
される仕切りを兼ねたロータ13が設けられている。そし
て、一方のガス入口９は、適宜の配管を介して図外のサ
ンプルガス源に接続されており、他方のガス入口10は、
適宜の配管を介して図外のリファレンスガス源に接続さ
れている。また、一方のガス出口11は、セル２のガス入
口３に接続されており、他方のガス出口12は、セル２の
ガス出口４と共に図外の排気流路に接続されている。
とリファレンスガスＲとを一定周期で交互に切換え供給
するためのガス切換え供給器で、この実施例において
は、ロータリバルブよりなる。すなわち、そのバルブ本
体８には、周囲を４等分するように、２つのガス入口
９，10と２つのガス出口11，12が設けられると共に、そ
の内部には、図外のモータによって矢印方向に回転駆動
される仕切りを兼ねたロータ13が設けられている。そし
て、一方のガス入口９は、適宜の配管を介して図外のサ
ンプルガス源に接続されており、他方のガス入口10は、
適宜の配管を介して図外のリファレンスガス源に接続さ
れている。また、一方のガス出口11は、セル２のガス入
口３に接続されており、他方のガス出口12は、セル２の
ガス出口４と共に図外の排気流路に接続されている。
【００１０】上述のように構成されたＳＯ2 分析装置に
おいて、紫外光源１からセル２に対して紫外線を照射さ
せながら、ガス切換え供給器７を介して、セル２にサン
プルガスＳとリファレンスガスＲとを一定周期で交互に
切換え供給すると、所謂流体変調が行われることによ
り、検出器５からは交流信号が出力される。この場合、
サンプルガスＳ中に測定対象成分であるＳＯ2 の他に、
干渉成分であるＣＯ2 が混入していた場合、検出器５か
らは、図３（ｂ）に示すように、ＳＯ2 に対応する信号
（以下、ＳＯ2 信号と云う）ａに対して、ＣＯ2 に対応
する信号（以下、ＣＯ2 信号と云う）ｂが重畳された信
号ｓ0 が出力される。
おいて、紫外光源１からセル２に対して紫外線を照射さ
せながら、ガス切換え供給器７を介して、セル２にサン
プルガスＳとリファレンスガスＲとを一定周期で交互に
切換え供給すると、所謂流体変調が行われることによ
り、検出器５からは交流信号が出力される。この場合、
サンプルガスＳ中に測定対象成分であるＳＯ2 の他に、
干渉成分であるＣＯ2 が混入していた場合、検出器５か
らは、図３（ｂ）に示すように、ＳＯ2 に対応する信号
（以下、ＳＯ2 信号と云う）ａに対して、ＣＯ2 に対応
する信号（以下、ＣＯ2 信号と云う）ｂが重畳された信
号ｓ0 が出力される。
【００１１】本発明においては、前記ＳＯ2 信号ａから
ＣＯ2 信号ｂを分離除去するため、プリアンプ６の出力
側に図１に示すような信号処理部を設けている。すなわ
ち、この図において、14は検出器５からの出力に含まれ
るノイズを除去するためのバンドパスフィルタである。
そして、このバンドパスフィルタ14の出力側には、２つ
の信号処理ライン15, 16が互いに並列的に設けられてい
る。両信号処理ライン15，16は何れも、同期検波整流回
路17, 18と平滑回路19, 20とからなり、前記前記ＳＯ2
信号ａにＣＯ2 信号ｂが重畳した信号ｓ0 がそれぞれ入
力される。また、21は同期信号発生器、22は信号処理ラ
イン15，16でそれぞれ処理された信号どうしを加算する
加算器である。なお、23は信号処理ライン16の出力信号
のレベルを信号処理ライン15の出力信号のレベルに合わ
せるためのレベル調整器である。
ＣＯ2 信号ｂを分離除去するため、プリアンプ６の出力
側に図１に示すような信号処理部を設けている。すなわ
ち、この図において、14は検出器５からの出力に含まれ
るノイズを除去するためのバンドパスフィルタである。
そして、このバンドパスフィルタ14の出力側には、２つ
の信号処理ライン15, 16が互いに並列的に設けられてい
る。両信号処理ライン15，16は何れも、同期検波整流回
路17, 18と平滑回路19, 20とからなり、前記前記ＳＯ2
信号ａにＣＯ2 信号ｂが重畳した信号ｓ0 がそれぞれ入
力される。また、21は同期信号発生器、22は信号処理ラ
イン15，16でそれぞれ処理された信号どうしを加算する
加算器である。なお、23は信号処理ライン16の出力信号
のレベルを信号処理ライン15の出力信号のレベルに合わ
せるためのレベル調整器である。
【００１２】前記同期検波整流回路17, 18は、同期信号
発生器21から出力される同じタイミングの同期信号ｔに
よって、前記信号ｓ0 を同期検波するが、同期検波する
際における位相が互いに異なるようにしてある。つま
り、同期検波整流回路17においては、ＳＯ2 信号ａが発
生する位相に対応するように同期位相検波および整流
し、同期検波整流回路18においては、ＣＯ2 信号ｂが発
生する位相に対応するように同期位相検波および整流す
るのである。これら両回路17, 18における処理位相のズ
レの調整は、これらの回路17, 18に組み込まれた位相調
整回路（図外）によって行われる。
発生器21から出力される同じタイミングの同期信号ｔに
よって、前記信号ｓ0 を同期検波するが、同期検波する
際における位相が互いに異なるようにしてある。つま
り、同期検波整流回路17においては、ＳＯ2 信号ａが発
生する位相に対応するように同期位相検波および整流
し、同期検波整流回路18においては、ＣＯ2 信号ｂが発
生する位相に対応するように同期位相検波および整流す
るのである。これら両回路17, 18における処理位相のズ
レの調整は、これらの回路17, 18に組み込まれた位相調
整回路（図外）によって行われる。
【００１３】次に、上述のように構成された信号処理部
における信号処理動作について、図３を参照しながら説
明する。今、プリアンプ６から図３（ｂ）に示すような
信号ｓ0 がバンドパスフィルタ14に入力されると、この
バンドパスフィルタ14においては、信号ｓ0 に含まれる
余分なノイズが除去される。このノイズ除去後の信号ｓ
0 は、信号処理ライン15，16にそれぞれ入力される。同
期検波整流回路17においては、ＳＯ2 信号ａが発生する
位相に対応するように同期位相検波および整流が行わ
れ、同図（ｃ）に示すような信号が出力される。また、
同期検波整流回路18においては、ＣＯ2 信号ｂが発生す
る位相に対応するように同期位相検波および整流が行わ
れ、同図（ｄ）に示すような信号が出力される。
における信号処理動作について、図３を参照しながら説
明する。今、プリアンプ６から図３（ｂ）に示すような
信号ｓ0 がバンドパスフィルタ14に入力されると、この
バンドパスフィルタ14においては、信号ｓ0 に含まれる
余分なノイズが除去される。このノイズ除去後の信号ｓ
0 は、信号処理ライン15，16にそれぞれ入力される。同
期検波整流回路17においては、ＳＯ2 信号ａが発生する
位相に対応するように同期位相検波および整流が行わ
れ、同図（ｃ）に示すような信号が出力される。また、
同期検波整流回路18においては、ＣＯ2 信号ｂが発生す
る位相に対応するように同期位相検波および整流が行わ
れ、同図（ｄ）に示すような信号が出力される。
【００１４】前記同期検波整流回路17，18からそれぞれ
出力される信号は、平滑回路19, 20においてそれぞれ平
滑処理され、同図（ｅ）, （ｆ）に示すような信号とな
る。すなわち、信号処理ライン15の出力信号には、正の
ＳＯ2 信号ａと負のＣＯ2 信号ｂとが含まれている。一
方、信号処理ライン16の出力信号には、前記正のＳＯ2
信号ａよりもかなり絶対値が小さい負のＳＯ2 信号ａと
前記負のＣＯ2 信号ｂと絶対値が等しい正のＣＯ2 信号
ｂとが含まれている。
出力される信号は、平滑回路19, 20においてそれぞれ平
滑処理され、同図（ｅ）, （ｆ）に示すような信号とな
る。すなわち、信号処理ライン15の出力信号には、正の
ＳＯ2 信号ａと負のＣＯ2 信号ｂとが含まれている。一
方、信号処理ライン16の出力信号には、前記正のＳＯ2
信号ａよりもかなり絶対値が小さい負のＳＯ2 信号ａと
前記負のＣＯ2 信号ｂと絶対値が等しい正のＣＯ2 信号
ｂとが含まれている。
【００１５】そこで、信号処理ライン15の出力信号と、
レベル調整をした後の信号処理ライン16の出力信号とを
加算器22において加算することにより、上記正負のＣＯ
2 信号ｂが相殺され、同図（ｇ）に示すように、ＣＯ2
信号ｂを含まないＳＯ2 信号ａのみが出力される。
レベル調整をした後の信号処理ライン16の出力信号とを
加算器22において加算することにより、上記正負のＣＯ
2 信号ｂが相殺され、同図（ｇ）に示すように、ＣＯ2
信号ｂを含まないＳＯ2 信号ａのみが出力される。
【００１６】上述の実施例においては、信号ｓ0 を反転
するタイミングが互いに異なるように、信号ｓ0 の位相
を同期検波整流回路17，18でそれぞれ調整すると共に、
同期信号発生器21から同じタイミングの同期信号ｔを同
期検波整流回路17，18に入力するようにしていたが、同
期検波整流回路17，18として全く同じものを用い、同期
信号発生器21から相異なるタイミングの同期信号を前記
回路17，18にそれぞれ入力するようにしてもよい。
するタイミングが互いに異なるように、信号ｓ0 の位相
を同期検波整流回路17，18でそれぞれ調整すると共に、
同期信号発生器21から同じタイミングの同期信号ｔを同
期検波整流回路17，18に入力するようにしていたが、同
期検波整流回路17，18として全く同じものを用い、同期
信号発生器21から相異なるタイミングの同期信号を前記
回路17，18にそれぞれ入力するようにしてもよい。
【００１７】また、上述の実施例においては、検出器５
からの信号をアナログ的に処理していたが、これに代え
て、ディジタル的に処理するようにしてもよい。
からの信号をアナログ的に処理していたが、これに代え
て、ディジタル的に処理するようにしてもよい。
【００１８】そして、上述の実施例においては、検出器
５から交流的に変化する信号ｓ0 を得るため、サンプル
ガスＳとリファレンスガスＲとを一定周期で切換え、こ
れらを交互にセル２に供給する所謂流体変調方式を採用
しているが、これに代えて、例えば紫外光源１とセル２
との間にチョッパを設ける所謂チョッパによる変調方式
を採用してもよい。
５から交流的に変化する信号ｓ0 を得るため、サンプル
ガスＳとリファレンスガスＲとを一定周期で切換え、こ
れらを交互にセル２に供給する所謂流体変調方式を採用
しているが、これに代えて、例えば紫外光源１とセル２
との間にチョッパを設ける所謂チョッパによる変調方式
を採用してもよい。
【００１９】さらに、上述の実施例においては、ＳＯ2
濃度を測定する場合におけるＣＯ2の干渉を補償する場
合であったが、本発明は、測定対象成分に対応する信号
と干渉成分に対応する信号とが相異なる位相で発生する
ものに広く適用できることは云うまでもない。
濃度を測定する場合におけるＣＯ2の干渉を補償する場
合であったが、本発明は、測定対象成分に対応する信号
と干渉成分に対応する信号とが相異なる位相で発生する
ものに広く適用できることは云うまでもない。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の分析部を設けることなく、単一の分析部からの出
力信号を処理するだけで、干渉成分の干渉影響を排除す
ることができ、測定対象成分の濃度を精度よく測定する
ことができる。
複数の分析部を設けることなく、単一の分析部からの出
力信号を処理するだけで、干渉成分の干渉影響を排除す
ることができ、測定対象成分の濃度を精度よく測定する
ことができる。
【図１】本発明に係るガス分析装置の信号処理部の構成
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
【図２】本発明に係るガス分析装置の分析部の構成例を
示す図である。
示す図である。
【図３】本発明の動作を説明するための波形図である。
【図４】従来のガス分析装置を示すブロック図である。
５…検出器、15, 16…信号処理ライン、ｓ0 …検出器の
出力信号、ａ…測定対象成分信号、ｂ…干渉成分信号。
出力信号、ａ…測定対象成分信号、ｂ…干渉成分信号。
Claims (1)
- 【請求項１】 検出器からの測定対象成分に対応する信
号と干渉成分に対応する信号とが重畳された状態の出力
信号を２つの信号処理ラインに供給し、一方の信号処理
ラインにおいては、測定対象成分信号が発生する位相に
対応するように同期位相検波および整流し、他方の信号
処理ラインにおいては、干渉成分信号が発生する位相に
対応するように同期位相検波および整流し、前記一方の
測定対象成分信号に入り込んだ干渉成分信号を、他方の
信号処理ラインによって求められる干渉成分信号によっ
て相殺するようにしたことを特徴とするガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14988692A JP3174623B2 (ja) | 1992-05-16 | 1992-05-16 | ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14988692A JP3174623B2 (ja) | 1992-05-16 | 1992-05-16 | ガス分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322751A true JPH05322751A (ja) | 1993-12-07 |
| JP3174623B2 JP3174623B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=15484789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14988692A Expired - Fee Related JP3174623B2 (ja) | 1992-05-16 | 1992-05-16 | ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3174623B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006317207A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Shikoku Res Inst Inc | 三酸化硫黄濃度連続測定方法および装置 |
-
1992
- 1992-05-16 JP JP14988692A patent/JP3174623B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006317207A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Shikoku Res Inst Inc | 三酸化硫黄濃度連続測定方法および装置 |
| JP4683624B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2011-05-18 | 株式会社四国総合研究所 | 三酸化硫黄濃度連続測定方法および装置 |
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