JPH05317605A - Membrane vacuum deaerating method and device therefor - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To extremely decrease the residual concentration and increase the rapidity of deaeration treatment by connecting membrane modules to a pass system of liquid to be deaerated in series and in multiple stage and introducing gas as carrier gas to the reduced pressure side of a membrane module of the last stage. CONSTITUTION:Liquid is passed though the one side of the membrane of a membrane module where a separating membrane through which gas permeates and liquid does not permeate is incorporated into a hosing and the other side is evacuated to give the liquid deaerating treatment. Membrane modules 9, 10 are connected to each other in series and in multiple stage. When liquid 13 to be deaerated is introduced into the membrane module 9 on the liquid pass side, after it flows along the membrane, it turns into intermediate treat liquid 14 to flow out from a liquid discharge opening. Next, it is led to the 2nd stage module 10 on the liquid pass side and flows along the membrane and turns into treated liquid 15 to be discharged from a liquid discharge opening. At this time, carrier gas 16 is introduced into the 2nd membrane module 10 on the reduced pressure side of the last stage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は新規にして有用なる、膜
式真空脱気方法ならびに当該方法を実施するための膜式
真空脱気装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a novel and useful membrane vacuum degassing method and a membrane vacuum degassing apparatus for carrying out the method.

【０００２】さらに詳細には、本発明は、基本的には、
脱気処理すべき液体の流路系に、膜モジュールを、直列
に多段に接続し、最終段の膜モジュールの減圧側に、除
去すべき気体以外の気体を、搬送ガスとして導入するこ
とから成る、膜式真空脱気方法、ならびに処理すべき液
体の流路系に、膜モジュールが、直列に多段に接続され
ており、最終段の膜モジュールの減圧側に、搬送ガスの
導入機構を有することから成る、膜式真空脱気装置、す
なわち、液体から、液体中に溶解ないしは分散して存在
する気体や揮発性物質を除去する装置に関するものであ
って、改良された隔膜式真空脱気装置に関する。More specifically, the present invention basically comprises
Membrane modules are connected in series in multiple stages to the flow path system of the liquid to be degassed, and a gas other than the gas to be removed is introduced as a carrier gas to the depressurized side of the membrane module at the final stage. A membrane type vacuum degassing method, and a membrane module that is connected in multiple stages in series to the flow path system of the liquid to be treated, and has a carrier gas introduction mechanism on the depressurizing side of the membrane module at the final stage. The present invention relates to a membrane-type vacuum deaeration device, which is a device for removing a gas or a volatile substance dissolved or dispersed in a liquid from a liquid, which is an improved membrane-type vacuum deaeration device. .

【０００３】そして、本発明の膜式真空脱気方法ならび
に膜式真空脱気装置は、液体から、酸素、窒素、炭酸ガ
ス、塩素、水素または硫化水素の如き、種々の気体を除
去する用途として、たとえば、ボイラー供給水の脱酸
素、人工透析液の脱酸素、半導体洗浄用水の脱酸素、電
気部品や金属部品の洗浄用水の脱酸素、あるいは逆浸透
膜への供給水の脱酸素などをはじめ、さらには、脱酸素
による上・中水の赤水防止、貯蔵水の微生物繁殖防止、
冷却水の如き、各種の配管類の腐食防止、液体中の気泡
の除去および発生防止、廃水からの硫化水素の除去など
の、種々の廃水処理、食用油やジュース類の如き、各種
の液状食品の脱酸素、あるいは硫化油の脱硫化水素など
といった、広範なる分野において利用することが出来
る。The membrane type vacuum degassing method and the membrane type vacuum degassing apparatus of the present invention are used for removing various gases such as oxygen, nitrogen, carbon dioxide, chlorine, hydrogen or hydrogen sulfide from a liquid. , For example, deoxygenation of boiler feed water, deoxygenation of artificial dialysate, deoxygenation of semiconductor cleaning water, deoxidation of cleaning water of electric parts and metal parts, deoxidation of supply water to reverse osmosis membrane, etc. In addition, prevention of red water in clean water by deoxidation, prevention of microbial growth of stored water,
Various types of liquid food, such as cooling water, various types of wastewater treatment such as prevention of corrosion of various pipes, removal and generation of air bubbles in liquid, removal of hydrogen sulfide from wastewater, etc. It can be used in a wide range of fields, such as deoxygenation of hydrogen peroxide or dehydrogenation of sulfurized oil.

【０００４】また、水中に溶解ないしは分散して存在し
ている種々の揮発性物質の除去、たとえば、クロロホル
ム、トリクロロエチレン、メタノールあるいはアセトン
などを除去する用途としての、廃水処理や、上水の浄化
などにも、利用することが出来る。[0004] Further, for the purpose of removing various volatile substances existing in a state of being dissolved or dispersed in water, for example, for removing chloroform, trichloroethylene, methanol, acetone, etc., wastewater treatment, purification of tap water, etc. Also, it can be used.

【０００５】さらに、上・中水に含まれる、アンモニ
ア、クロラミンまたは２−メチルイソボルネオ−ルなど
の、いわゆる悪臭物質を除去するための脱臭装置として
も利用することが出来る。Further, it can be used as a deodorizing device for removing so-called malodorous substances such as ammonia, chloramine or 2-methylisoborneol contained in clean water.

【０００６】[0006]

【従来の技術】このように、液体から、該液体中に溶解
ないしは分散して存在している、気体や揮発性物質など
（以下、これらを総称して、気体と略記する。）を除去
せしめる方法（以下、脱気法と称する。）としては、バ
ブリング、充填塔などによる曝気法、充填塔などを使用
する真空脱気法、加熱脱気法、あるいは隔膜真空脱気法
などが知られている。2. Description of the Related Art As described above, a gas, a volatile substance or the like (hereinafter collectively referred to as a gas) existing in a dissolved or dispersed state in the liquid is removed from the liquid. Known methods (hereinafter referred to as deaeration method) include bubbling, aeration method using a packed tower, vacuum deaeration method using a packed tower, heating deaeration method, and diaphragm vacuum deaeration method. There is.

【０００７】これらのうちでも、隔膜真空脱気法は、省
エネルギーである上に、他の方法に比して、著しく、装
置をコンパクトにすることができ、今後、発展が期待さ
れる方法である。Of these methods, the diaphragm vacuum degassing method is energy saving and, in comparison with other methods, can significantly reduce the size of the apparatus and is expected to be developed in the future. .

【０００８】この隔膜真空脱気法は、気体は透過する
が、液体は、液体のままでは透過しない膜の、一方の側
に、脱気処理すべき液体を流し、他方の側を減圧するこ
とにより、液体中に含有される気体を、膜を通して、減
圧側に除去せしめるという方法である。In this diaphragm vacuum degassing method, the liquid to be degassed is made to flow on one side of the membrane which is permeable to gas but not liquid, and is depressurized to the other side. Is a method of removing the gas contained in the liquid through the membrane to the reduced pressure side.

【０００９】かかる隔膜真空脱気用の減圧装置として
は、種々の真空ポンプ類や、蒸気エジェクタまたは水流
アスピレータなどが用いられる。この際、減圧度を上げ
るほど、つまり、絶対圧力を低くするほど、処理液中の
残留気体濃度が低下し、また、同じ残留気体濃度で比較
するときは、時間当りの脱気処理量を多くすることが出
来る。Various vacuum pumps, steam ejectors, water flow aspirators, etc. are used as the decompression device for the vacuum degassing of the diaphragm. At this time, the higher the degree of pressure reduction, that is, the lower the absolute pressure, the lower the residual gas concentration in the treatment liquid. Also, when comparing the same residual gas concentration, the degassing treatment amount per hour is increased. You can do it.

【００１０】しかしながら、液体の高度脱気において
は、膜モジュール内部または配管中での減圧系の圧力損
失や、液体の蒸気が減圧装置に吸入されることによる減
圧度の低下（絶対圧力の上昇）が無視し得ない程度とな
り、高度に脱気する場合には、単位時間当りの処理量が
非常に小さいものとなっていた。However, in the advanced degassing of liquid, the pressure loss of the decompression system inside the membrane module or in the piping and the reduction of the decompression degree (increase of absolute pressure) due to the suction of the liquid vapor into the decompression device. However, in the case of highly degassing, the processing amount per unit time was very small.

【００１１】こうした困難を回避するため、特開平３−
１０９９０４号公報に見られるように、脱気用膜モジュ
ールの減圧側に、搬送ガスを導入することによって、脱
気効果を向上せしめるという方法が提案されている。In order to avoid such difficulties, Japanese Unexamined Patent Publication No.
As seen in Japanese Patent No. 109904, a method has been proposed in which a degassing effect is improved by introducing a carrier gas into the depressurization side of a degassing membrane module.

【００１２】これは、減圧装置の減圧度がそれほど高く
なくとも、膜モジュールの減圧側における脱気すべき気
体の分圧を下げることによって、脱気効果を向上させる
ができるものと理解できる。It can be understood that even if the decompression degree of the decompression device is not so high, the deaeration effect can be improved by lowering the partial pressure of the gas to be deaerated on the decompression side of the membrane module.

【００１３】しかしながら、この技術によって、たとえ
ば、液体の高度脱酸素において、搬送ガスとして、窒素
を使用する場合には、窒素の消費が多くなり、コストが
嵩むというほかに、頻繁なる窒素ボンベの取り替えが必
要になるという不都合があった。However, according to this technique, when nitrogen is used as a carrier gas in the advanced deoxidation of a liquid, for example, the consumption of nitrogen is increased and the cost is increased, and the nitrogen cylinder is frequently replaced. There was an inconvenience that it was necessary.

【００１４】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかるに、本発明者
は、上述したような従来技術における種々の欠点ないし
は欠陥の存在に鑑みて、こうした従来技術における種々
の欠点ないしは欠陥を、悉く、解除し解決すべく、鋭
意、研究を開始した。SUMMARY OF THE INVENTION However, in view of the existence of various defects or defects in the prior art as described above, the present inventor grunts and eliminates these various defects or defects in the prior art. In order to do so, he earnestly started research.

【００１５】したがって、本発明が解決しようとする課
題は、端的に言えば、搬送ガスの消費量を少なくすると
いう方法の樹立であり、こうした斬新なる方法を実施す
るための、一段と改良された装置を提供することであ
る。Therefore, the problem to be solved by the present invention is, to put it simply, the establishment of a method for reducing the consumption of carrier gas, and a further improved apparatus for carrying out such a novel method. Is to provide.

【００１６】[0016]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、液
体の高度脱気方法として利点の多い搬送ガスの導入とい
う特定の手段を併用した形の、いわゆる隔膜真空脱気法
において、搬送ガスの消費量を少なくするという、斬新
なる方法について、鋭意、検討を重ねた結果、ここに、
本発明を完成させるに到った。Therefore, the inventor of the present invention, in a so-called diaphragm vacuum degassing method in which a specific means of introducing a carrier gas, which has many advantages as an advanced degassing method for liquids, is used in combination, As a result of earnest and repeated studies on a novel method of reducing the consumption of
The present invention has been completed.

【００１７】すなわち、本発明は、基本的には、気体は
透過し、液体は透過しない分離膜を、ハウジングに組み
込んだ膜モジュールの膜の一方の側に、液体を流し、他
方の側を減圧することにより脱気処理する膜式真空脱気
方法において、脱気処理すべき液体の流路系に、膜モジ
ュールを、直列に多段に接続し、最終段の膜モジュール
の減圧側に、除去すべき気体以外の気体を、搬送ガスと
して導入することから成る、膜式真空脱気方法を提供し
ようとするものであるし、That is, according to the present invention, basically, a separation membrane that allows gas to permeate and liquid does not permeate is allowed to flow through one side of a membrane of a membrane module having a housing, and the other side is decompressed. In the membrane-type vacuum degassing method in which degassing is performed, the membrane modules are connected in multiple stages in series to the flow path system of the liquid to be degassed, and the membrane module at the final stage is depressurized. It is intended to provide a membrane-type vacuum degassing method, which comprises introducing a gas other than a gas to be used as a carrier gas,

【００１８】他方、気体は透過し、液体は透過しない分
離膜を、ハウジングに組み込んだ膜モジュールと、減圧
装置と、さらに、これらを接続する配管とから構成さ
れ、膜の一方の側に、脱気処理すべき液体用の配管を有
し、かつ、他方の側に、減圧装置に続く減圧用の配管を
有する膜式真空脱気装置において、処理すべき液体の流
路系に、膜モジュールが、直列に多段に接続されてお
り、最終段の膜モジュールの減圧側に、搬送ガスの導入
機構を有することから成る、膜式真空脱気装置をも提供
しようとするものである。On the other hand, a separation membrane, which is permeable to gas and impermeable to liquid, is incorporated into a housing, a decompression device, and a pipe connecting these components. In the membrane type vacuum deaerator having a pipe for liquid to be vaporized, and having a pipe for decompressing following the decompressor on the other side, the membrane module is provided in the flow path system of the liquid to be treated. Another object of the present invention is to provide a membrane-type vacuum deaeration device which is connected in multiple stages in series and has a carrier gas introduction mechanism on the depressurization side of the final stage membrane module.

【００１９】つまり、本発明の要旨とする処は、気体は
透過し、液体は透過しない分離膜を、ハウジングに組み
込んだ膜モジュールの膜の、一方の側に液体を流し、他
方の側を減圧することによって、脱気処理するという膜
式真空脱気方法において、脱気処理する液体の流路系
に、膜モジュールを直列に多段に接続し、最終段の膜モ
ジュールの減圧側に、除去すべき気体以外の気体を、搬
送ガスとして導入することから成る、改良された膜式真
空脱気方法にあるし、加えて、当該方法を実施するため
の装置にある。That is, according to the gist of the present invention, a separation membrane that allows gas to permeate but does not allow liquid to permeate is passed through one side of a membrane of a membrane module having a housing, and the other side is depressurized. In the membrane-type vacuum degassing method of degassing, the membrane modules are connected in multiple stages in series to the flow path system of the liquid to be degassed, and the depressurization side of the membrane module at the final stage is removed. There is an improved membrane vacuum degassing method which consists of introducing a gas other than the power gas as the carrier gas, and in addition an apparatus for carrying out the method.

【００２０】本発明の膜式真空脱気装置（以下、脱気装
置ともいう。）の構成ならびに膜式真空脱気方法（以
下、脱気方法ともいう。）の概要を、図２に示されるよ
うな、本発明の実施例で使用する脱気装置の構成図につ
いて説明する。FIG. 2 shows the structure of the membrane vacuum degassing apparatus (hereinafter also referred to as degassing apparatus) and the outline of the membrane vacuum degassing method (hereinafter also referred to as degassing method) of the present invention. A configuration diagram of the deaerator used in the embodiment of the present invention will be described.

【００２１】すなわち、脱気処理する液体１３は、膜モ
ジュールの液体流路側に導入され、膜（図示せず。）に
沿って流れたのち、液体排出口から中間処理液１４とな
って排出され、続いて、第２段膜モジュール１０の液体
流路側に導入され、膜（図示せず。）に沿って流れたの
ち、液体排出口から処理液１５となって排出される。That is, the liquid 13 to be degassed is introduced into the liquid channel side of the membrane module, flows along the membrane (not shown), and is then discharged as the intermediate treatment liquid 14 from the liquid discharge port. Then, after being introduced to the liquid flow path side of the second stage membrane module 10 and flowing along the membrane (not shown), the treatment liquid 15 is discharged from the liquid discharge port.

【００２２】膜モジュール９および１０の減圧側は、そ
れぞれ、減圧装置（この例では、真空ポンプが用いられ
ている。）１１および１２が、さらに、必要に応じて設
置される圧力計（真空計）１９および２０が接続されて
いる。On the depressurizing side of the membrane modules 9 and 10, depressurizing devices (vacuum pumps are used in this example) 11 and 12, respectively, are further installed a pressure gauge (vacuum gauge). ) 19 and 20 are connected.

【００２３】最終段である第２段膜モジュール１０の減
圧側には、搬送ガス１６が、必要に応じて設置される流
量計２１を経て導入される。The carrier gas 16 is introduced into the pressure-reducing side of the second-stage membrane module 10, which is the final stage, via a flow meter 21 installed as necessary.

【００２４】真空ポンプ１１からは、第１段膜モジュー
ルにおいて、膜を透過した気体１７が排出され、真空ポ
ンプ１２からは、第２段膜モジュールにおいて、膜を透
過した気体と搬送ガスとの混合気体１８が排出される。The vacuum pump 11 discharges the gas 17 that has permeated the membrane in the first-stage membrane module, and the vacuum pump 12 mixes the gas that has permeated the membrane and the carrier gas in the second-stage membrane module. The gas 18 is discharged.

【００２５】本発明の装置は、脱気処理されるべき液体
の流路に関して、２段以上の膜モジュールを、直列に接
続せしめるという、いわゆる多段型のものであり、最終
段の膜モジュールの減圧側に、搬送ガスが導入されると
いうものである。The apparatus of the present invention is a so-called multi-stage type in which two or more stages of membrane modules are connected in series with respect to the flow path of the liquid to be degassed. The carrier gas is introduced into the side.

【００２６】本発明者は、膜モジュールから排出される
液体中の残留気体濃度が低い脱気条件であればあるほ
ど、搬送ガス導入の効果が高いこと、すなわち、少ない
ガス導入量で以て、残留気体濃度を低下させることが出
来ること、また、処理流量を増大せしめ得ることが出来
ることを見い出し、したがって、搬送ガスを最終段に導
入せしめるのが、最も効果的であることを見い出した。The inventor has found that the degassing condition in which the residual gas concentration in the liquid discharged from the membrane module is low, the effect of introducing the carrier gas is high, that is, the gas introduction amount is small. It has been found that the residual gas concentration can be reduced and that the processing flow rate can be increased, and therefore that introducing the carrier gas to the final stage is the most effective.

【００２７】最終段以外の膜モジュールにも搬送ガスを
導入することも可能であり、その場合には、最終段をも
含めて、最終段に近い膜モジュールに導入することが好
ましい。It is possible to introduce the carrier gas into a membrane module other than the final stage, and in that case, it is preferable to introduce the carrier gas into the membrane module close to the final stage, including the final stage.

【００２８】除去すべき気体が、比較的、沸点の高い揮
発性物質の蒸気である場合や、あるいは、たとえば、水
と炭酸ガスのように、気液の親和性が高い場合などにお
いて、複数段に、搬送ガスを導入することが好ましい。When the gas to be removed is a vapor of a volatile substance having a relatively high boiling point, or when the affinity between gas and liquid is high, such as water and carbon dioxide, there are a plurality of stages. In addition, it is preferable to introduce a carrier gas.

【００２９】しかしながら、搬送ガスを導入する段の数
が増せば増すほど、搬送ガスの消費量が多くなる処か
ら、特に、除去すべき気体が、常温で気体であるような
物質の場合には、最終段のみに、導入せしめるのが、費
用対効果比で以て、最も望ましい。However, since the consumption amount of the carrier gas increases as the number of stages for introducing the carrier gas increases, particularly when the gas to be removed is a substance which is a gas at room temperature. It is most desirable to introduce it only in the final stage in terms of cost-effectiveness ratio.

【００３０】また、最終段の膜モジュールの減圧側から
排出された、搬送ガスを含む脱気ガスを、他の段の膜モ
ジュールの減圧側に、搬送ガスとして導入することも可
能である。It is also possible to introduce the degassed gas containing the carrier gas discharged from the depressurized side of the membrane module of the final stage into the depressurized side of the membrane module of the other stage as the carrier gas.

【００３１】溶存気体の残存率などの設定条件や、搬送
ガス流量などの設計値にもよるが、これにより、同じ搬
送ガス消費量で以て、除去効率を上げることが出来る。
この場合には、膜モジュールの減圧装置接続口は、減圧
装置の代わりに、他の段のモジュールの搬送ガス導入口
に接続される。Although it depends on setting conditions such as the residual ratio of the dissolved gas and design values such as the carrier gas flow rate, the removal efficiency can be improved with the same carrier gas consumption.
In this case, the decompression device connection port of the membrane module is connected to the carrier gas introduction port of the module of another stage instead of the decompression device.

【００３２】このような方式は、全段に接続する場合で
あっても、単一の膜モジュールの搬送ガスを導入する方
式に比して、一層、効率が向上化する。Even in the case where all the stages are connected, such a system further improves the efficiency as compared with the system in which the carrier gas of a single membrane module is introduced.

【００３３】脱気処理されるべき液体の流路に関して、
膜モジュールを、直列に接続する段数は、気体の種類
や、原液から気体を除去すべき程度などによって決定さ
れる。除去すべき気体が、比較的、沸点の高い揮発性物
質の蒸気である場合や、気液の親和性が高い場合などに
おいては、段数を多くすることが望ましい。Regarding the flow path of the liquid to be degassed,
The number of stages in which the membrane modules are connected in series is determined by the type of gas, the degree to which the gas should be removed from the stock solution, and the like. When the gas to be removed is a vapor of a volatile substance having a relatively high boiling point, or when the gas-liquid affinity is high, it is desirable to increase the number of stages.

【００３４】また、それ以外の場合であっても、残存率
（処理液中の溶存濃度／原液中の溶存濃度）を小さくす
る場合や、残存濃度を極めて低くする場合などには、や
はり、段数を多くすることが望ましい。Even in other cases, when the residual ratio (dissolved concentration in the treatment liquid / dissolved concentration in the stock solution) is reduced or when the residual concentration is made extremely low, the number of steps is still required. It is desirable to increase.

【００３５】しかし、いずれの場合であっても、５段以
上にすることに依る効果は、ほとんど、見られない。However, in any case, almost no effect is obtained by making the number of stages 5 or more.

【００３６】本発明における、各段の膜モジュールは、
処理能力が異なる物であってもよいし、あるいは、複数
本を並列に接続したものであってもよい。また、本発明
においては、直列に多段に接続された膜モジュールの組
が、複数組、並列に設置された形のものであっても、勿
論よいし、それらが、さらに、直列に接続された形のも
のであっても、無論ながら良い。The membrane module of each stage in the present invention is
They may have different processing capacities, or a plurality of them may be connected in parallel. Further, in the present invention, it is of course possible that a plurality of sets of membrane modules connected in series in multiple stages are arranged in parallel, and they may be further connected in series. Needless to say, even if it is shaped, it is good.

【００３７】各段の膜モジュールが、処理能力が異なる
物である場合や、複数本を並列に接続した形のものであ
る場合には、装置の設計指針としては、最終段の膜モジ
ュールに導入される中間処理液中の、除去を目的とする
気体の溶存濃度が、原液中の濃度の２０％以下にするこ
とが好ましく、１０％以下にすることが、さらに好まし
い。When the membrane modules at each stage have different processing capacities, or when a plurality of membrane modules are connected in parallel, the device design guideline is to introduce the membrane modules at the final stage. The dissolved concentration of the gas for the purpose of removal in the intermediate treatment liquid is preferably 20% or less, more preferably 10% or less of the concentration in the stock solution.

【００３８】処理液の残存気体濃度を低くしたい場合ほ
ど、この値を小さくすることが好ましい。It is preferable to reduce this value as the residual gas concentration of the treatment liquid is desired to be lowered.

【００３９】このように設計することによって、同一数
の、または同一の総処理容量のモジュールを使用して、
最も高性能なる、すなわち、残存気体濃度の低い脱気装
置を、または処理速度の高い脱気装置を作製することが
出来る訳である。By designing in this way, using the same number or the same total processing capacity of modules,
That is, it is possible to manufacture a degassing device having the highest performance, that is, a degassing device having a low residual gas concentration or a degassing device having a high processing speed.

【００４０】本発明にける隔膜は、気体は透過するが、
液体は、そのままでは透過しないというような膜であれ
ば、隔膜の種類や構造などは、特に限定する必要は無
く、専ら、目的の系に適するものを選択して使用するこ
とが出来る。たとえば、非多孔層を有する複合膜や不均
質膜などが、あるいは非多孔均質膜や、疎水性の多孔質
膜などが使用できる。The membrane of the present invention is permeable to gas,
As long as the liquid is a membrane that does not permeate as it is, the type and structure of the diaphragm need not be particularly limited, and one that is suitable for the intended system can be selected and used exclusively. For example, a composite membrane having a non-porous layer, a heterogeneous membrane, or the like, or a non-porous homogeneous membrane, a hydrophobic porous membrane, or the like can be used.

【００４１】しかし、残存気体濃度を、極く低くまで脱
気するという目的には、液体蒸気の透過速度の低い、非
多孔層を有する複合膜や不均質膜などが適している。ま
た、本発明の膜式真空脱気方法および膜式真空脱気装置
は、平膜、中空糸膜あるいは管状膜などのような、任意
の膜に対して適用することが出来る。However, for the purpose of degassing the residual gas concentration to an extremely low level, a composite film having a non-porous layer and a heterogeneous film having a low liquid vapor permeation rate is suitable. Further, the membrane vacuum degassing method and the membrane vacuum degassing apparatus of the present invention can be applied to any membrane such as a flat membrane, a hollow fiber membrane or a tubular membrane.

【００４２】しかしながら、残存気体濃度を、極く低く
まで脱気するという目的には、表面積を大きく取ること
の出来る中空糸膜が適している。However, for the purpose of degassing the residual gas concentration to an extremely low level, a hollow fiber membrane which can have a large surface area is suitable.

【００４３】本発明において、前記した搬送ガスとは、
液体から除去すべき気体以外の気体を指称するものであ
るが、当該搬送ガスとして特に代表的なもののみを例示
するにとどめれば、空気、窒素、炭酸ガスあるいは不活
性ガス類などであり、目的に応じて、任意のものを選択
することが出来る。In the present invention, the above-mentioned carrier gas means
Although it refers to a gas other than the gas to be removed from the liquid, only typical examples of the carrier gas are air, nitrogen, carbon dioxide gas or inert gas, Any one can be selected according to the purpose.

【００４４】除去すべき気体が酸素である場合には、当
該搬送ガスとしては、窒素が特に好適であるし、除去す
べき気体が空気である場合には、当該搬送ガスとして
は、溶解度の小さい、ヘリウムまたはアルゴンの使用が
望ましい。When the gas to be removed is oxygen, nitrogen is particularly suitable as the carrier gas, and when the gas to be removed is air, the carrier gas has a low solubility. The use of helium or argon is preferred.

【００４５】また、揮発性物質の除去を目的とする場合
には、簡便であるという点で、当該搬送ガスとしては、
空気の使用が望ましい。When the purpose is to remove volatile substances, the carrier gas is simple in that it is simple.
Use of air is preferred.

【００４６】本発明の膜式真空脱気装置における、当該
搬送ガスの導入機構としては、オリフィス、バルブある
いはガス流量調節装置などが使用できるが、これらの搬
送ガスの導入機構によって流量を調節して、当該搬送ガ
スを、膜モジュールの減圧側に導入せしめる。In the membrane vacuum degassing apparatus of the present invention, an orifice, a valve, a gas flow rate adjusting device, or the like can be used as the carrier gas introduction mechanism. The carrier gas introduction mechanism adjusts the flow rate. , The carrier gas is introduced into the reduced pressure side of the membrane module.

【００４７】この際の膜モジュールの形状としては、膜
式真空脱気に使用できるようなものであれば、特に制約
されることは無く、たとえば、特開平３−１０９９０４
号公報に示されているような形状のものが使用できる。The shape of the membrane module at this time is not particularly limited as long as it can be used for membrane-type vacuum deaeration, and is, for example, JP-A-3-109904.
It is possible to use the shape as shown in the publication.

【００４８】膜モジュールにおける、当該搬送ガス導入
の位置としては、導入されたガスの流線が膜と接するよ
うな位置でさえあれば、膜モジュールの任意の部位であ
ってよいが、減圧装置の接続口から最も遠い位置に設
け、導入されたガスの流れが、膜を透過した気体を運び
去るような位置に設けるのが、最も効率がよく、したが
って、望ましい限りである。The position of introducing the carrier gas in the membrane module may be any part of the membrane module as long as the streamline of the introduced gas is in contact with the membrane. It is most efficient, and therefore desirable, if it is located furthest from the connection, so that the flow of the introduced gas carries away the gas that has permeated the membrane.

【００４９】たとえば、隔膜が中空糸型の膜モジュール
であるような場合には、中空糸の内側が減圧側である際
には、減圧装置の接続口側の中空糸端とは反対側の中空
糸端に、当該搬送ガスが導入されるというような構造が
望ましい。For example, in the case where the membrane is a hollow fiber type membrane module, when the inside of the hollow fiber is on the pressure reducing side, the hollow fiber on the side opposite to the hollow fiber end on the connection port side of the pressure reducing device is used. A structure in which the carrier gas is introduced into the yarn end is desirable.

【００５０】また、中空糸の外側が減圧側である際に
は、中空糸とガスとの接触効率を上げるために、中空糸
を編組体として、モジュールに封入することや、モジュ
ールに隔壁とか、絞りとか、あるいは、その他の、導入
された当該搬送ガスが、膜を透過した気体を、効率良
く、運び去るような、何らかの構造を付与することも可
能である。When the outside of the hollow fiber is on the reduced pressure side, in order to improve the contact efficiency between the hollow fiber and the gas, the hollow fiber is enclosed in a module as a braid, or the module is provided with a partition wall. It is also possible to provide some structure such as a restriction or other such that the introduced carrier gas efficiently carries away the gas that has permeated the membrane.

【００５１】本発明における、膜モジュールの減圧側の
圧力としては、当該搬送ガスを導入した状態で、１気圧
未満に減圧されている必要があり、就中、０．０１〜２
００ｔｏｒｒなる範囲内であるのが好ましく、０．１〜
５０ｔｏｒｒなる範囲内が特に好ましい。圧力を、これ
よりも低くするには、大排気量の真空ポンプが必要とな
るし、これよりも高い圧力にすると、溶存気体の除去効
果が低下したり、当該搬送ガスの消費量が増大化するよ
うになる。In the present invention, the pressure on the depressurizing side of the membrane module is required to be depressurized to less than 1 atm with the carrier gas introduced, and especially 0.01 to 2
It is preferably in the range of 00 torr,
The range of 50 torr is particularly preferable. To reduce the pressure below this, a vacuum pump with a large displacement is required, and if the pressure is higher than this, the effect of removing dissolved gas is reduced and the consumption of the carrier gas is increased. Come to do.

【００５２】導入する当該搬送ガスの流量は、減圧装置
の種類や、排気量、減圧度、モジュール減圧側の圧力損
失など、あるいは除去すべき気体の種類や、蒸気圧、膜
透過性ならびに透過量などによって異なるが、導入する
当該搬送ガスの流量としては、膜モジュールの減圧側の
圧力が、当該搬送ガスの非導入時よりも、０．００１〜
５０ｔｏｒｒほど、高くなるような流量が好ましい。こ
の範囲外では、除去効果が低下するか、大容量の減圧装
置が必要となるか、あるいは当該搬送ガスの消費量が多
くなる。The flow rate of the carrier gas to be introduced depends on the type of decompression device, the exhaust amount, the degree of decompression, the pressure loss on the module decompression side, the type of gas to be removed, the vapor pressure, the membrane permeability and the permeation amount. The pressure on the depressurized side of the membrane module is 0.001 to 0.001 as compared to when the carrier gas is not introduced, as the flow rate of the carrier gas to be introduced.
A flow rate as high as 50 torr is preferable. Outside of this range, the removal effect is reduced, a large-capacity decompression device is required, or the amount of the carrier gas consumed is increased.

【００５３】最適なる当該搬送ガス導入量は、ガス導入
量を変化させて、処理水中の残存気体濃度を測定すると
いう、簡単なる実験によって決定することが出来る。The optimum carrier gas introduction amount can be determined by a simple experiment in which the gas introduction amount is changed and the residual gas concentration in the treated water is measured.

【００５４】本発明においては、処理されるべき液体
が、膜モジュール内を、下方から上方へ向かって流れる
ように、あるいは横方向に流れるように、当該膜モジュ
ールを設置することが望ましく、液体が膜モジュール内
を下方から上方へ向かって流すことが最も望ましい。液
体を上方から下方に向かって流すと、高度の脱気が不可
能となったり、所望の残存気体濃度になるまでの、いわ
ゆる安定化時間が長くなるという不利益が生じる処とな
る。In the present invention, it is desirable to install the membrane module so that the liquid to be treated flows in the membrane module from the bottom to the top or in the lateral direction. It is most desirable to flow through the membrane module from bottom to top. If the liquid is made to flow from the upper side to the lower side, there is a disadvantage that a high degree of deaeration becomes impossible or a so-called stabilization time until the desired residual gas concentration is reached becomes long.

【００５５】さらに、上述した搬送ガスが、液体とほぼ
逆方向に流れるように導入すること（すなわち、化学工
学で言う向流の意味である。）が好ましい。このように
することよって、脱気効率を上げることが出来る。Further, it is preferable that the above-mentioned carrier gas is introduced so as to flow in a direction substantially opposite to that of the liquid (that is, the counterflow in chemical engineering). By doing so, the degassing efficiency can be improved.

【００５６】本発明の膜式真空脱気方法ならびに膜式真
空脱気装置が適用できる液体についても、特に制限は無
い。対象となる当該液体に適する隔膜を選択することに
よって、本発明をフルに適用することが出来る。There is no particular limitation on the liquid to which the membrane vacuum degassing method and the membrane vacuum degassing apparatus of the present invention can be applied. The present invention can be fully applied by selecting a suitable diaphragm for the liquid of interest.

【００５７】しかしながら、当該液体が水または水溶液
である場合が、産業面で、特に有用であるといえる。た
とえば、超純水、純水、無菌水、上水、中水、工業用
水、洗浄用水、冷却水、海水あるいは廃水などである。However, it can be said that the case where the liquid is water or an aqueous solution is particularly useful from the industrial viewpoint. For example, it is ultrapure water, pure water, sterile water, tap water, intermediate water, industrial water, cleaning water, cooling water, sea water or waste water.

【００５８】本発明の膜式真空脱気方法ならびに膜式真
空脱気装置は、当該液体の脱酸素において格段の効果を
発揮し、特に、残存酸素濃度を低くする場合、たとえ
ば、溶存酸素濃度を１０重量ｐｐｂ（ｐｐｂは１／１，
０００ｐｐｍを示す。）以下に、さらには、５重量ｐｐ
ｂ以下にする場合において効果的である。The film type vacuum degassing method and the film type vacuum degassing apparatus of the present invention exert a remarkable effect in deoxidizing the liquid, and particularly when the residual oxygen concentration is lowered, for example, the dissolved oxygen concentration is reduced. 10 weight ppb (ppb is 1/1,
Indicates 000 ppm. ) Below, 5 weight pp
It is effective in the case of b or less.

【００５９】とりわけ、搬送ガスとして窒素を使用する
ことによって、低コストで以て、高度の脱酸素化を実現
することが出来る。この場合も、当該液体が水である場
合が、特に有用である。In particular, by using nitrogen as the carrier gas, a high degree of deoxygenation can be realized at low cost. Again, it is particularly useful if the liquid is water.

【００６０】本発明に使用される減圧装置についても、
特に制約は無く、目的ならびに用途に応じて、適宜、選
択することが出来る。水からの脱気の場合には、水封式
ポンプ、ダイアフラム式真空ポンプ、スクロール型真空
ポンプあるいは水流アスピレ−タなどの使用が望まし
い。Regarding the decompression device used in the present invention,
There is no particular limitation, and it can be appropriately selected depending on the purpose and application. In the case of degassing from water, it is desirable to use a water ring pump, a diaphragm vacuum pump, a scroll vacuum pump, a water flow aspirator, or the like.

【００６１】当該減圧装置は、膜モジュールの各段ごと
に、専用のものを使用してもよいし、複数段に、共通の
減圧装置を使用してもよい。残留溶存気体を極限まで除
去する用途には、各段に、専用の減圧装置を使用するこ
とが望ましいが、本発明においては、複数段に、共通の
減圧装置を使用しても、脱気性能の劣化は、それほど大
きくならない。As the decompression device, a dedicated one may be used for each stage of the membrane module, or a common decompression device may be used for a plurality of stages. For the purpose of removing residual dissolved gas to the limit, it is desirable to use a dedicated pressure reducing device for each stage, but in the present invention, even if a common pressure reducing device is used for multiple stages, degassing performance is improved. Degradation of is not so great.

【００６２】したがって、１つの減圧装置で以て、全段
を減圧することも、費用対効果比から言って、望ましい
限りである。Therefore, it is also desirable to reduce the pressure of all the stages with one pressure reducing device in terms of cost-effectiveness ratio.

【００６３】[0063]

【実施例】次に、本発明を実施例および比較例により、
一層、具体的に説明するが、本発明は、決して、これら
の例のみに限定されるものではない。EXAMPLES Next, the present invention will be described with reference to Examples and Comparative Examples.
More specifically, the invention is in no way limited to these examples.

【００６４】実施例 １ （膜モジュールの作製）ポリ−４−メチルペンテン−１
を素材として、溶融成形法によって製造した、中空糸不
均質膜は、外径が２５３ミクロン（μｍ）で、かつ、内
径が１９９μｍであり、しかも、ＡＳＴＭ Ｄ−１４３
４に準じて測定された気体透過速度は、酸素透過速度が
２．４×１０^-5ｃｍ³ （ＳＴＰ）／ｃｍ² ・ｓｅｃ・ｃ
ｍＨｇであり、かつ、窒素透過速度が６．２×１０^-6ｃ
ｍ³ （ＳＴＰ）／ｃｍ² ・ｓｅｃ・ｃｍＨｇであった。Example 1 (Production of Membrane Module) Poly-4-methylpentene-1
A hollow fiber heterogeneous membrane produced by a melt molding method using as a raw material has an outer diameter of 253 μm (μm) and an inner diameter of 199 μm, and further, ASTM D-143
The gas permeation rate measured according to No. 4 is that the oxygen permeation rate is 2.4 × 10 ⁻⁵ cm ³ (STP) / cm ² · sec · c.
mHg and nitrogen permeation rate of 6.2 × 10 ^-6 c
It was m ³ (STP) / cm ² · sec · cmHg.

【００６５】この中空糸膜の６万本を、並行なる束状
で、モジュール・ハウジングに装填し、有効中空糸長が
４５０ｍｍなる、図１に示されるような内部潅流型モジ
ュールを作製した。このモジュール・ハウジングのキャ
ップ部には、液体の導入口５および液体の排出口６が、
また、該ハウジングの中空糸外側に繋がる空間部には、
搬送ガス導入口７と、真空ポンプとを接続する排出口８
が設けられている。60,000 hollow fiber membranes were loaded in parallel in a bundle into a module housing to prepare an internal perfusion type module having an effective hollow fiber length of 450 mm as shown in FIG. The cap of the module housing has a liquid inlet 5 and a liquid outlet 6,
Further, in the space portion connected to the outside of the hollow fiber of the housing,
Exhaust port 8 that connects the carrier gas introduction port 7 and the vacuum pump
Is provided.

【００６６】（脱気装置の作製）この膜モジュールの２
本を用いて、図２に、構成が示されるような脱気装置を
作製した。すなわち、第１段膜モジュール９および第２
段膜モジュール１０ともに、液体流入口５が下方となる
ようにして、縦置きに設置し、第１段膜モジュール９の
液体導入口５には、脱気すべき原水供給源に接続し、第
１段膜モジュール９の液体排出口６は、第２段膜モジュ
ール１０の液体導入口５に接続した。(Preparation of deaerator) 2 of this membrane module
Using the book, a deaerator having a structure shown in FIG. 2 was produced. That is, the first-stage membrane module 9 and the second-stage membrane module 9
Both the stage membrane module 10 are installed vertically with the liquid inlet 5 facing downward, and the liquid inlet 5 of the first stage membrane module 9 is connected to a raw water supply source to be degassed. The liquid outlet 6 of the first-stage membrane module 9 was connected to the liquid inlet 5 of the second-stage membrane module 10.

【００６７】第１段膜モジュール９の排気口７は、圧力
計（真空計）１９を経て、排気量が２６０リットル
（ｌ）／分なるスクロール型真空ポンプ１１に接続し、
同じく、第１段膜モジュール９の搬送ガス導入口７には
盲栓をした。The exhaust port 7 of the first-stage membrane module 9 is connected to a scroll type vacuum pump 11 having an exhaust volume of 260 liters (l) / min via a pressure gauge (vacuum gauge) 19.
Similarly, the carrier gas inlet 7 of the first stage membrane module 9 was blindly plugged.

【００６８】また、第２段膜モジュール１０の搬送ガス
導入口７は、流量調節バルブ付きガス流量計２１を経
て、窒素ガス供給源に接続し、同じく、第２段膜モジュ
ール１０の排気口７には、圧力計２０を経て、排気量が
２６０ｌ／分なるスクロール型真空ポンプ１２を接続し
た。The carrier gas inlet 7 of the second-stage membrane module 10 is connected to the nitrogen gas supply source via the gas flow meter 21 with a flow rate adjusting valve, and the exhaust port 7 of the second-stage membrane module 10 is also connected. A scroll-type vacuum pump 12 having a displacement of 260 l / min was connected to the pressure gauge 20 via a pressure gauge 20.

【００６９】（脱気試験）この脱気装置に、２０℃の水
道水を、４００ｌ／時で以て流し、また、搬送ガスとし
ての、純度が９９．９９％なる窒素を、３０Ｎミリ・リ
ットル（ｍｌ）／分（Ｎは、０℃で、かつ、１気圧にお
ける値であることを示す。）で以て導入した。減圧側の
圧力は、圧力計１９が１５．２ｔｏｒｒで、かつ、圧力
計２０が１５．１ｔｏｒｒであった。この際の原水１
３、中間処理水１４および処理水１５の溶存酸素濃度
は、それぞれ、８．８重量ｐｐｍ（以下、重量ｐｐｍ
を、単に、ｐｐｍと記載する。）、９０重量ｐｐｂ（以
下、重量ｐｐｂを、単に、ｐｐｂと記載する。）および
４ｐｐｂであった。(Deaeration Test) Tap water of 20 ° C. was passed through this deaerator at a rate of 400 l / hour, and 30 N milliliters of nitrogen having a purity of 99.99% was used as a carrier gas. (Ml) / min (N indicates a value at 0 ° C. and 1 atm). The pressure on the reduced pressure side was 15.2 torr for the pressure gauge 19 and 15.1 torr for the pressure gauge 20. Raw water 1 at this time
3, the dissolved oxygen concentration of the intermediate treated water 14 and the treated water 15, respectively, 8.8 wtppm (hereinafter, weight ppm
Is simply described as ppm. ), 90 weight ppb (hereinafter, weight ppb is simply referred to as ppb) and 4 ppb.

【００７０】比較例 １ 流量計２１付属の流量調節バルブを閉鎖し、搬送ガスの
導入を、一切、欠如するように変更した以外は、実施例
１と同様にして、脱気試験を行った。Comparative Example 1 A degassing test was conducted in the same manner as in Example 1 except that the flow rate control valve attached to the flow meter 21 was closed and the introduction of the carrier gas was changed so as to be completely absent.

【００７１】この結果、減圧側の圧力は、圧力計１９お
よび２０が、共に、１５．２ｔｏｒｒであり、原水１
３、中間処理水１４および処理水１５の溶存酸素濃度
は、それぞれ、８．８ｐｐｍ、９０ｐｐｂおよび８ｐｐ
ｂであった。As a result, the pressure on the pressure reducing side was 15.2 torr for both the pressure gauges 19 and 20, and the raw water 1
3. The dissolved oxygen concentrations of the intermediate treated water 14 and the treated water 15 are 8.8 ppm, 90 ppb and 8 pp, respectively.
It was b.

【００７２】実施例 ２ 真空ポンプ１１を使用せずに、第１段膜モジュール９の
排気口８には、真空ポンプ１８を、第２段膜モジュール
１０と並列に接続するように変更した以外は、実施例１
と同様にして、脱気試験を行った。Example 2 A vacuum pump 18 was connected to the second stage membrane module 10 in parallel to the exhaust port 8 of the first stage membrane module 9 without using the vacuum pump 11. Example 1
A deaeration test was conducted in the same manner as in.

【００７３】この結果、減圧側の圧力は１５．３ｔｏｒ
ｒであったし、原水１３、中間処理水１４および処理水
１５の溶存酸素濃度は、それぞれ、８．８ｐｐｍ、１０
８ｐｐｂおよび６ｐｐｂであった。As a result, the pressure on the pressure reducing side is 15.3 torr.
The dissolved oxygen concentrations of the raw water 13, the intermediate treated water 14 and the treated water 15 were 8.8 ppm and 10 respectively.
It was 8 ppb and 6 ppb.

【００７４】比較例 ２ 流量計２１付属の流量調節バルブを閉鎖し、搬送ガスの
導入を、一切、欠如するように変更した以外は、実施例
２と同様にして、脱気試験を行った。Comparative Example 2 A degassing test was conducted in the same manner as in Example 2 except that the flow rate control valve attached to the flow meter 21 was closed and the introduction of the carrier gas was changed so as to be completely absent.

【００７５】この時、減圧側の圧力は圧力計１９、圧力
計２０共に１５．２ｔｏｒｒであり、原水１３、中間処
理水１４、および処理水１５の溶存酸素濃度は、８．８
ｐｐｍ、１５０ｐｐｂおよび１０ｐｐｂであった。At this time, the pressure on the pressure reducing side was 15.2 torr for both the pressure gauge 19 and the pressure gauge 20, and the dissolved oxygen concentrations of the raw water 13, the intermediate treated water 14, and the treated water 15 were 8.8.
ppm, 150 ppb and 10 ppb.

【００７６】実施例 ３ 図３に示されるように、真空ポンプ１２を使用せずに、
第２段膜モジュール１０の排気口８に、真空ポンプを接
続する代わりに、第１段膜モジュール９の搬送ガス導入
口７に接続するように変更した以外は、実施例１と同様
にして、脱気試験を行った。Example 3 As shown in FIG. 3, without using the vacuum pump 12,
In the same manner as in Example 1, except that instead of connecting the vacuum pump to the exhaust port 8 of the second-stage membrane module 10, it was connected to the carrier gas introduction port 7 of the first-stage membrane module 9, A deaeration test was conducted.

【００７７】この結果、減圧側の圧力は１５．３ｔｏｒ
ｒであったし、原水１３、中間処理水１４および処理水
１５の溶存酸素濃度は、それぞれ、８．８ｐｐｍ、９７
ｐｐｂおよび５ｐｐｂであった。As a result, the pressure on the pressure reducing side was 15.3 torr.
The dissolved oxygen concentrations of the raw water 13, the intermediate treated water 14 and the treated water 15 were 8.8 ppm and 97, respectively.
ppb and 5 ppb.

【００７８】比較例 ３ 膜モジュール９および１０を、液体流路系、減圧系、搬
送ガス導入系のすべてにおいて、並列に接続するように
変更し、併せて、真空ポンプは、唯だ１台とするように
変更した以外は、実施例１と同様にして、脱気試験を行
った。搬送ガス流量を調節しながら、処理水１５の溶存
酸素濃度を測定した処、溶存酸素濃度が４ｐｐｍとなる
搬送ガス流量は５Ｎｌ／分であったし、５ｐｐｍとなる
搬送ガス流量は１Ｎｌ／分であったし、６ｐｐｍとなる
搬送ガス流量は４００Ｎｃｃ／分であった。Comparative Example 3 The membrane modules 9 and 10 were changed so as to be connected in parallel in all of the liquid channel system, the pressure reducing system and the carrier gas introducing system, and in addition, only one vacuum pump was used. A degassing test was conducted in the same manner as in Example 1 except that the above was changed. When the dissolved oxygen concentration of the treated water 15 was measured while adjusting the carrier gas flow rate, the carrier gas flow rate at which the dissolved oxygen concentration was 4 ppm was 5 Nl / min, and the carrier gas flow rate at which it was 5 ppm was 1 Nl / min. The carrier gas flow rate of 6 ppm was 400 Ncc / min.

【００７９】[0079]

【発明の効果】本発明は液体の脱気を行なうに当たっ
て、すなわち、液体に溶解している気体または揮発性物
質を除去せしめるに当たって、残存濃度を極く低くする
ことが可能であり、脱気処理速度を増加化させることが
出来る。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention makes it possible to make the residual concentration extremely low in degassing a liquid, that is, in removing a gas or a volatile substance dissolved in the liquid. The speed can be increased.

【００８０】また、これまでの搬送ガス導入方法を併用
する隔膜真空脱気法に比して、搬送ガスの消費量を少な
くすることが出来る。かくして、本発明の膜式真空脱気
方法ならびに膜式真空脱気装置は、共に、溶存気体濃度
の低い処理水を製造する場合ほど、大きな効果を、もた
らすものである。Further, the consumption amount of the carrier gas can be reduced as compared with the conventional membrane vacuum degassing method in which the carrier gas introducing method is used together. Thus, both the membrane vacuum degassing method and the membrane vacuum degassing apparatus of the present invention bring about a great effect as in the case of producing treated water having a low dissolved gas concentration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の脱気方法の一実施態様を説明するた
めの、脱気装置の構成図たる部分断面率面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional surface view showing the configuration of a degassing apparatus for explaining one embodiment of the degassing method of the present invention.

【図２】 本発明の脱気方法の一実施態様を説明するた
めの、フロー・シートである。FIG. 2 is a flow sheet for explaining one embodiment of the degassing method of the present invention.

【図３】 本発明の脱気方法の一実施態様を説明するた
めの、フロー・シートである。FIG. 3 is a flow sheet for explaining one embodiment of the degassing method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 中空糸膜 ２ モジュール・ハウジング ３ 封止部 ４ 封止部端面 ５ 液体流入口 ６ 液体流出口 ７ 搬送ガス導入口 ８ 排気口 ９ 第１段膜モジュール １０ 第２段膜モジュール １１ 第１段真空ポンプ １２ 第２段真空ポンプ １３ 原液 １４ 中間処理液 １５ 処理液 １６ 搬送ガス １７および１８ 真空ポンプ排気 １９および２０ 圧力計 ２１ 流量計 ２２ 第２段モジュールの排出気体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hollow fiber membrane 2 Module housing 3 Sealing part 4 End face of sealing part 5 Liquid inlet 6 Liquid outlet 7 Carrier gas inlet 8 Exhaust port 9 First stage membrane module 10 Second stage membrane module 11 First stage vacuum Pump 12 Second stage vacuum pump 13 Undiluted solution 14 Intermediate processing solution 15 Processing solution 16 Carrier gas 17 and 18 Vacuum pump exhaust 19 and 20 Pressure gauge 21 Flowmeter 22 Second stage module exhaust gas

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 気体は透過し、液体は透過しない分離膜
を、ハウジングに組み込んだ膜モジュールの膜の一方の
側に、液体を流し、他方の側を減圧することにより脱気
処理する膜式真空脱気方法において、脱気処理すべき液
体の流路系に、膜モジュールを、直列に多段に接続し、
最終段の膜モジュールの減圧側に、除去すべき気体以外
の気体を、搬送ガスとして導入することを特徴とする、
膜式真空脱気方法。1. A membrane type in which a separation membrane that allows gas to permeate and liquid does not permeate is passed through one side of a membrane of a membrane module in which a housing is installed, and the other side is decompressed by decompressing the other side. In the vacuum degassing method, the membrane module is connected in series to the flow path system of the liquid to be degassed,
A gas other than the gas to be removed is introduced as a carrier gas on the depressurizing side of the final stage membrane module,
Membrane vacuum degassing method. 【請求項２】 気体は透過し、液体は透過しない分離膜
を、ハウジングに組み込んだ膜モジュールの膜の一方の
側に、液体を流し、他方の側を減圧することにより脱気
処理する膜式真空脱気方法において、全段の膜モジュー
ルを、単一の減圧装置で減圧することを特徴とする、膜
式真空脱気方法。2. A membrane type in which a gas is permeable and a liquid is impermeable to a membrane module in which a liquid is caused to flow through one side of a membrane module in which a housing is incorporated, and the other side is decompressed. In the vacuum degassing method, the pressure of all the membrane modules is reduced by a single depressurizing device, which is a membrane type vacuum degassing method. 【請求項３】 気体は透過し、液体は透過しない分離膜
を、ハウジングに組み込んだ膜モジュールの膜の一方の
側に、液体を流し、他方の側を減圧することにより脱気
処理する膜式真空脱気方法において、最終段の膜モジュ
ールの減圧側から排出された搬送ガスを含む脱気ガス
を、他の段の膜モジュールの減圧側に、搬送ガスとして
導入することを特徴とする、膜式真空脱気方法。3. A membrane type in which a separation membrane that is permeable to gas and impermeable to liquid is degassed by flowing the liquid to one side of the membrane of a membrane module having a housing and depressurizing the other side. In the vacuum degassing method, the degassing gas containing the carrier gas discharged from the depressurization side of the final stage membrane module is introduced as a carrier gas to the depressurization side of the membrane module of the other stage, the membrane. Vacuum degassing method. 【請求項４】 前記した、直列に接続された膜モジュー
ルの段数が２段である、請求項１〜３のいずれか一つに
記載の膜式真空脱気方法。4. The membrane vacuum degassing method according to claim 1, wherein the number of stages of the membrane modules connected in series is two. 【請求項５】 前記した、最終段の膜モジュールに導入
される中間処理液中の、除去すべき気体の溶存濃度が、
未処理液中の該気体の溶存濃度の１／１０以下である、
請求項１〜３のいずれか一つに記載の膜式真空脱気方
法。5. The dissolved concentration of the gas to be removed in the intermediate treatment liquid introduced into the membrane module at the final stage described above,
1/10 or less of the dissolved concentration of the gas in the untreated liquid,
The film-type vacuum deaeration method according to claim 1. 【請求項６】 前記した液体が水または水溶液である、
請求項１〜３のいずれか一つに記載の膜式真空脱気方
法。6. The liquid is water or an aqueous solution,
The film-type vacuum deaeration method according to claim 1. 【請求項７】 前記した除去すべき気体が酸素であり、
かつ、前記した搬送ガスが窒素である、請求項１〜３の
いずれか一つに記載の膜式真空脱気方法。7. The gas to be removed is oxygen,
Moreover, the film-type vacuum deaeration method according to any one of claims 1 to 3, wherein the carrier gas is nitrogen. 【請求項８】 前記した分離膜が中空糸膜である、請求
項１〜７のいずれか一つに記載の膜式真空脱気方法。8. The membrane type vacuum degassing method according to claim 1, wherein the separation membrane is a hollow fiber membrane. 【請求項９】 前記した膜モジュール内にて、前記した
搬送ガスを、前記した液体と向流方向に流す、請求項１
〜８のいずれか一つに記載の膜式真空脱気方法。9. The carrier gas is caused to flow countercurrently with the liquid in the membrane module.
The membrane-type vacuum degassing method according to any one of items 1 to 8. 【請求項１０】 気体は透過し、液体は透過しない分離
膜を、ハウジングに組み込んだ膜モジュールと、減圧装
置と、さらに、これらを接続する配管とから構成され、
膜の一方の側に、脱気処理すべき液体用の配管を有し、
かつ、他方の側に、減圧装置に続く減圧用の配管を有す
る膜式真空脱気装置において、処理すべき液体の流路系
に、膜モジュールが、直列に多段に接続されており、最
終段の膜モジュールの減圧側に、搬送ガスの導入機構を
有することを特徴とする、膜式真空脱気装置。10. A membrane module having a housing in which a separation membrane permeable to gas and impermeable to liquid is incorporated, a decompression device, and a pipe connecting these components,
On one side of the membrane has a pipe for the liquid to be degassed,
And, on the other side, in the membrane type vacuum deaerator having a pipe for decompressing subsequent to the decompressor, the membrane module is connected in series to the flow path system of the liquid to be treated, and the final stage A membrane-type vacuum deaeration device having a carrier gas introduction mechanism on the reduced pressure side of the membrane module. 【請求項１１】 気体は透過し、液体は透過しない分離
膜を、ハウジングに組み込んだ膜モジュールと、減圧装
置と、さらに、これらを接続する配管とから構成され、
膜の一方の側に、脱気処理すべき液体用の配管を有し、
かつ、他方の側に、減圧装置に続く減圧用の配管を有す
る膜式真空脱気装置において、全段の膜モジュールを単
一の減圧装置で減圧すべく構成されていることを特徴と
する、膜式真空脱気装置。11. A membrane module in which a housing is provided with a separation membrane which is permeable to gas and impermeable to liquid, a decompression device, and a pipe connecting these components,
On one side of the membrane has a pipe for the liquid to be degassed,
And, on the other side, in the membrane-type vacuum deaerator having a piping for decompression following the decompression device, characterized in that it is configured to decompress the membrane module of all stages with a single decompression device, Membrane type vacuum degassing equipment. 【請求項１２】 気体は透過し、液体は透過しない分離
膜を、ハウジングに組み込んだ膜モジュールと、減圧装
置と、さらに、これらを接続する配管とから構成され、
膜の一方の側に、脱気処理すべき液体用の配管を有し、
かつ、他方の側に、減圧装置に続く減圧用の配管を有す
る膜式真空脱気装置において、最終段の膜モジュールの
減圧側から排出された搬送ガスを含む脱気ガスを、他の
段の膜モジュールの減圧側に、搬送ガスとして導入する
構造を有することを特徴とする、膜式真空脱気装置。12. A membrane module, in which a separation membrane that allows gas to permeate and liquid does not permeate is incorporated in a housing, a decompression device, and a pipe connecting these components,
On one side of the membrane has a pipe for the liquid to be degassed,
And, on the other side, in the membrane type vacuum deaerator having a depressurizing pipe subsequent to the depressurizer, the degassing gas containing the carrier gas discharged from the depressurizing side of the membrane module at the final stage is fed to the other stage. A membrane-type vacuum deaeration device having a structure for introducing it as a carrier gas on the reduced pressure side of the membrane module. 【請求項１３】 前記した、直列に接続された膜モジュ
ールの段数が２段である、請求項１０〜１２のいずれか
一つに記載の膜式真空脱気装置。13. The membrane vacuum degassing apparatus according to claim 10, wherein the number of stages of the membrane modules connected in series is two. 【請求項１４】 前記した膜モジュールが水または水溶
液の脱気処理用の膜モジュールである、請求項１０〜１
２または１３のいずれか一つに記載の膜式真空脱気装
置。14. The membrane module according to claim 10, wherein the membrane module is for degassing water or an aqueous solution.
The membrane-type vacuum deaeration device according to any one of 2 and 13. 【請求項１５】 前記した分離膜が中空糸膜である、請
求項１０〜１２のいずれか一つに記載の膜式真空脱気装
置。15. The membrane type vacuum deaerator according to claim 10, wherein the separation membrane is a hollow fiber membrane. 【請求項１６】 前記した搬送ガスの流れが、液体と向
流となる膜モジュール構造を有している、請求項１０〜
１２のいずれか一つに記載の膜式真空脱気装置。16. The film module structure according to claim 10, wherein the flow of the carrier gas is countercurrent to the liquid.
12. The membrane type vacuum deaeration device according to any one of 12.