JPH05315671A - レーザパワー測定装置 - Google Patents
レーザパワー測定装置Info
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- JPH05315671A JPH05315671A JP11649192A JP11649192A JPH05315671A JP H05315671 A JPH05315671 A JP H05315671A JP 11649192 A JP11649192 A JP 11649192A JP 11649192 A JP11649192 A JP 11649192A JP H05315671 A JPH05315671 A JP H05315671A
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- Japan
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- laser
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】実際に出射されるときの、単一パルス形，繰返
しパルス形の各レーザ光のパワーをリアルタイムに測定
する。 【構成】単一パルス形の場合の部分レーザ光は、フィル
タ１によって適当なレベルに抑制され、光検出器２によ
って強度が検出される。この光強度は、積分器３により
時間について積分されるが、その積分に係る時間領域の
規定を比較器４，時期検出器５がおこなう。つまり、光
検出器２の出力が、比較器４によって所定しきい値と比
較され、所定しきい値以上の光強度の始点，終点が各々
求められる。積分器３の出力の最終値が求めるべきレー
ザパワーで、次の変換器６によって出力値のレベル変換
や、Ａ／Ｄ変換がおこなわれた後に、表示器７によって
表示される。繰返しパルス形の場合には、積分器８によ
り単位時間だけ時間について積分される点が異なるだけ
である。
しパルス形の各レーザ光のパワーをリアルタイムに測定
する。 【構成】単一パルス形の場合の部分レーザ光は、フィル
タ１によって適当なレベルに抑制され、光検出器２によ
って強度が検出される。この光強度は、積分器３により
時間について積分されるが、その積分に係る時間領域の
規定を比較器４，時期検出器５がおこなう。つまり、光
検出器２の出力が、比較器４によって所定しきい値と比
較され、所定しきい値以上の光強度の始点，終点が各々
求められる。積分器３の出力の最終値が求めるべきレー
ザパワーで、次の変換器６によって出力値のレベル変換
や、Ａ／Ｄ変換がおこなわれた後に、表示器７によって
表示される。繰返しパルス形の場合には、積分器８によ
り単位時間だけ時間について積分される点が異なるだけ
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、実際に出射されると
きのレーザ光のパワーをリアルタイムに測定する、とく
に加工用の単一パルス形，繰返しパルス形の各レーザ光
に係るレーザパワー測定装置に関する。
きのレーザ光のパワーをリアルタイムに測定する、とく
に加工用の単一パルス形，繰返しパルス形の各レーザ光
に係るレーザパワー測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、加工条件適正化の重要な因子であ
るレーザ光のパワーについては、連続波のレーザ光の場
合の測定はおこなわれたが、単一パルス，繰返しパルス
形の各レーザ光の場合は精度高くはおこなわれていなか
ったのが実情である。
るレーザ光のパワーについては、連続波のレーザ光の場
合の測定はおこなわれたが、単一パルス，繰返しパルス
形の各レーザ光の場合は精度高くはおこなわれていなか
ったのが実情である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】加工用のレーザ光、と
くにＹＡＧレーザ光は、連続波より単一パルスまたは繰
返しパルス形の方が実用性が高く、その意味で単一パル
スまたは繰返しパルス形の各レーザ光のパワーを精度高
く測定することが要望されてきた。この発明の課題は、
従来の技術がもつ以上の問題点を解消し、実際に出射さ
れるときの、単一パルス形，繰返しパルス形の各レーザ
光のパワーをリアルタイムに測定するレーザパワー測定
装置を提供することにある。
くにＹＡＧレーザ光は、連続波より単一パルスまたは繰
返しパルス形の方が実用性が高く、その意味で単一パル
スまたは繰返しパルス形の各レーザ光のパワーを精度高
く測定することが要望されてきた。この発明の課題は、
従来の技術がもつ以上の問題点を解消し、実際に出射さ
れるときの、単一パルス形，繰返しパルス形の各レーザ
光のパワーをリアルタイムに測定するレーザパワー測定
装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に係るレーザパ
ワー測定装置は、レーザ発振器の単一パルス形出射レー
ザ光に応じて取り出される部分レーザ光の強度を求める
光検出器と；この光検出器の出力である部分レーザ光強
度を時間について積分する積分器と；を備え、この積分
器の出力に基づいて前記レーザ発振器の出射レーザ光の
パワーを求める。
ワー測定装置は、レーザ発振器の単一パルス形出射レー
ザ光に応じて取り出される部分レーザ光の強度を求める
光検出器と；この光検出器の出力である部分レーザ光強
度を時間について積分する積分器と；を備え、この積分
器の出力に基づいて前記レーザ発振器の出射レーザ光の
パワーを求める。
【０００５】請求項２に係るレーザパワー測定装置は、
レーザ発振器の繰返しパルス形出射レーザ光に応じて取
り出される部分レーザ光の強度を求める光検出器と；こ
の光検出器の出力である部分レーザ光強度を単位時間だ
け時間について積分する積分器と；を備え、この積分器
の出力に基づいて前記レーザ発振器の出射レーザ光のパ
ワーを求める。
レーザ発振器の繰返しパルス形出射レーザ光に応じて取
り出される部分レーザ光の強度を求める光検出器と；こ
の光検出器の出力である部分レーザ光強度を単位時間だ
け時間について積分する積分器と；を備え、この積分器
の出力に基づいて前記レーザ発振器の出射レーザ光のパ
ワーを求める。
【０００６】請求項３に係るレーザパワー測定装置は、
請求項１または２に記載の装置において、光検出器の出
力と所定しきい値とを比較する比較器と、この比較器の
出力の立ち上がり，立ち下がりの各時期をうち少なくと
も立ち下がり時期を検出し、これに基づいて前記積分器
の積分に係る時間領域が定められる時期検出器とを備え
る。
請求項１または２に記載の装置において、光検出器の出
力と所定しきい値とを比較する比較器と、この比較器の
出力の立ち上がり，立ち下がりの各時期をうち少なくと
も立ち下がり時期を検出し、これに基づいて前記積分器
の積分に係る時間領域が定められる時期検出器とを備え
る。
【０００７】請求項４に係るレーザパワー測定装置は、
請求項１ないし３のいずれかの項に記載の装置におい
て、光検出器の前段に部分レーザ光を抑制して透過させ
るフィルタを備える。請求項５に係るレーザパワー測定
装置は、請求項１ないし４のいずれかの項に記載の装置
において、部分レーザ光が、レーザ発振器の全反射ミラ
ーの透過光として取り出されるレーザ光である。
請求項１ないし３のいずれかの項に記載の装置におい
て、光検出器の前段に部分レーザ光を抑制して透過させ
るフィルタを備える。請求項５に係るレーザパワー測定
装置は、請求項１ないし４のいずれかの項に記載の装置
において、部分レーザ光が、レーザ発振器の全反射ミラ
ーの透過光として取り出されるレーザ光である。
【０００８】請求項６に係るレーザパワー測定装置は、
請求項１ないし４のいずれかの項に記載の装置におい
て、部分レーザ光が、レーザ発振器の出射レーザ光がビ
ームスプリッタによって分岐されるものである。
請求項１ないし４のいずれかの項に記載の装置におい
て、部分レーザ光が、レーザ発振器の出射レーザ光がビ
ームスプリッタによって分岐されるものである。
【０００９】
【作用】請求項１，３ないし６のいずれかの項に係るレ
ーザパワー測定装置では、光検出器によって、レーザ発
振器の単一パルス形出射レーザ光に応じて取り出される
部分レーザ光の強度が求められ、次に積分器によって、
部分レーザ光強度が時間について積分され、この積分値
に基づいてレーザ発振器の単一パルス形の出射レーザ光
のパワーが求められる。
ーザパワー測定装置では、光検出器によって、レーザ発
振器の単一パルス形出射レーザ光に応じて取り出される
部分レーザ光の強度が求められ、次に積分器によって、
部分レーザ光強度が時間について積分され、この積分値
に基づいてレーザ発振器の単一パルス形の出射レーザ光
のパワーが求められる。
【００１０】請求項２ないし６のいずれかの項に係るレ
ーザパワー測定装置では、光検出器によって、レーザ発
振器の繰返しパルス形出射レーザ光に応じて取り出され
る部分レーザ光の強度が求められ、次に積分器によっ
て、部分レーザ光強度が単位時間だけ時間について積分
され、この積分値に基づいてレーザ発振器の繰返しパル
ス形の出射レーザ光のパワーが求められる。
ーザパワー測定装置では、光検出器によって、レーザ発
振器の繰返しパルス形出射レーザ光に応じて取り出され
る部分レーザ光の強度が求められ、次に積分器によっ
て、部分レーザ光強度が単位時間だけ時間について積分
され、この積分値に基づいてレーザ発振器の繰返しパル
ス形の出射レーザ光のパワーが求められる。
【００１１】
【実施例】この発明に係るレーザパワー測定装置の実施
例について、以下に図を参照しながら説明する。図３は
後述する第１，第２の各実施例の適用に係る共通な一構
成図である。図３において、レーザ発振器20として、Ｙ
ＡＧレーザロッド21と、全反射ミラー22と、出力ミラー
23とだけが図示してある。全反射ミラー22の透過光とし
てレーザ光の一部を取り出し、部分レーザ光として第１
実施例である単一パルス形レーザ光のレーザパワー測定
装置10、または第２実施例である繰返しパルス形レーザ
光のレーザパワー測定装置11に入力することによって、
実際の出射レーザ光に応じたレーザパワーをリアルタイ
ムに測定することができる。
例について、以下に図を参照しながら説明する。図３は
後述する第１，第２の各実施例の適用に係る共通な一構
成図である。図３において、レーザ発振器20として、Ｙ
ＡＧレーザロッド21と、全反射ミラー22と、出力ミラー
23とだけが図示してある。全反射ミラー22の透過光とし
てレーザ光の一部を取り出し、部分レーザ光として第１
実施例である単一パルス形レーザ光のレーザパワー測定
装置10、または第２実施例である繰返しパルス形レーザ
光のレーザパワー測定装置11に入力することによって、
実際の出射レーザ光に応じたレーザパワーをリアルタイ
ムに測定することができる。
【００１２】図４は第１，第２の各実施例の適用に係る
共通な別の構成図である。この適用で図３におけるのと
異なる点は、部分レーザ光の取り出しが、レーザ発振器
20の出力ミラー23から出射されたレーザ光から、ハーフ
ミラー24を介しておこなわれることである。すなわち、
ハーフミラー24を透過する形の部分レーザ光は、それが
単一パルス形か、繰返しパルス形かに応じて各レーザパ
ワー測定装置10,11 のいずれかによってパワー測定され
る。なお、ハーフミラー24で反射される他のレーザ光が
加工用である。
共通な別の構成図である。この適用で図３におけるのと
異なる点は、部分レーザ光の取り出しが、レーザ発振器
20の出力ミラー23から出射されたレーザ光から、ハーフ
ミラー24を介しておこなわれることである。すなわち、
ハーフミラー24を透過する形の部分レーザ光は、それが
単一パルス形か、繰返しパルス形かに応じて各レーザパ
ワー測定装置10,11 のいずれかによってパワー測定され
る。なお、ハーフミラー24で反射される他のレーザ光が
加工用である。
【００１３】図１は第１，第２の各実施例の構成を示す
共通なブロック図である。図１において、第１実施例と
第２実施例との違いは積分器にある。すなわち、積分器
３が第１実施例に、積分器８が第２実施例に対応し、そ
の他のブロックは第１，第２の各実施例に共通である。
さて、１は入力される部分レーザ光を抑制するフィル
タ、２はそのレーザ光の強度を求める光検出器、３，８
はいずれもレーザ光強度を時間について積分する積分器
（詳しい内容は後述する）、４は光検出器２の出力を所
定しきい値と比較する比較器、５は比較器４の出力の立
ち上がり，立ち下がりの各時期を検出する時期検出器、
６は変換器、７は表示器である。なお、第１実施例の積
分器３は、部分レーザ光が単一パルス形であるから、そ
の単一パルス形レーザ光の強度を時間について積分して
パワーを求め、その後リセットをおこなう。第２実施例
の積分器３は、部分レーザ光が繰返しパルス形であるか
ら、その繰返しパルス形レーザ光の強度を単位時間だけ
時間について積分してパワーを求め、その後リセットを
おこなう。
共通なブロック図である。図１において、第１実施例と
第２実施例との違いは積分器にある。すなわち、積分器
３が第１実施例に、積分器８が第２実施例に対応し、そ
の他のブロックは第１，第２の各実施例に共通である。
さて、１は入力される部分レーザ光を抑制するフィル
タ、２はそのレーザ光の強度を求める光検出器、３，８
はいずれもレーザ光強度を時間について積分する積分器
（詳しい内容は後述する）、４は光検出器２の出力を所
定しきい値と比較する比較器、５は比較器４の出力の立
ち上がり，立ち下がりの各時期を検出する時期検出器、
６は変換器、７は表示器である。なお、第１実施例の積
分器３は、部分レーザ光が単一パルス形であるから、そ
の単一パルス形レーザ光の強度を時間について積分して
パワーを求め、その後リセットをおこなう。第２実施例
の積分器３は、部分レーザ光が繰返しパルス形であるか
ら、その繰返しパルス形レーザ光の強度を単位時間だけ
時間について積分してパワーを求め、その後リセットを
おこなう。
【００１４】第１実施例の動作について、図1, 図２を
参照しながら説明する。なお、図2は第１実施例の各信
号のタイムチャートで、図1 に付けた〜の各信号
が、時間軸Ｔを共通にして示される。図３の全反射ミラ
ー22の中心穴を通して導出された部分レーザ光、または
図4 のハーフミラー24を介して導出された部分レーザ光
は、フィルタ１によって適当なレベルに抑制され、光検
出器２によって光強度が検出される。この光強度に係る
信号の時間的特性は、図2 のを付けた特性図で示さ
れる。この光強度は、積分器３により時間について積分
されるが、その積分に係る時間領域の規定を比較器４，
時期検出器５がおこなう。つまり、光検出器２の出力
が、比較器４によって所定しきい値と比較され、所定し
きい値以上の光強度の始点と終点、言いかえれば光強度
の時間幅が求められる。比較器4 の出力信号のタイム
チャートは、図2 のを付けたもので示され、しきい値
以上の光強度信号部分については1 に、同じくその未満
の光強度信号については0 になる。出力信号のステッ
プ状変化時点である、立ち上がり時期Ｔ1 と立ち下がり
時期Ｔ2 とが、時期検出器5 によってとして求められ
る。なお、光強度は立ち下がり側で比較的緩慢に変化す
るから、時期検出器５で、立ち下がり時期の検出は必要
であるが、逆に光強度は立ち上がり側で極めて急峻であ
るから、時期検出器５で、立ち上がり時期の検出は省略
されてもよい。さて、積分器３の出力信号の、時期Ｔ
2 における最終値が求めるべき単一パルス形レーザ光の
パワーで、変換器６によって出力値のレベル変換や、Ａ
／Ｄ変換がおこなわれ、その結果が次の表示器７によっ
て表示される。
参照しながら説明する。なお、図2は第１実施例の各信
号のタイムチャートで、図1 に付けた〜の各信号
が、時間軸Ｔを共通にして示される。図３の全反射ミラ
ー22の中心穴を通して導出された部分レーザ光、または
図4 のハーフミラー24を介して導出された部分レーザ光
は、フィルタ１によって適当なレベルに抑制され、光検
出器２によって光強度が検出される。この光強度に係る
信号の時間的特性は、図2 のを付けた特性図で示さ
れる。この光強度は、積分器３により時間について積分
されるが、その積分に係る時間領域の規定を比較器４，
時期検出器５がおこなう。つまり、光検出器２の出力
が、比較器４によって所定しきい値と比較され、所定し
きい値以上の光強度の始点と終点、言いかえれば光強度
の時間幅が求められる。比較器4 の出力信号のタイム
チャートは、図2 のを付けたもので示され、しきい値
以上の光強度信号部分については1 に、同じくその未満
の光強度信号については0 になる。出力信号のステッ
プ状変化時点である、立ち上がり時期Ｔ1 と立ち下がり
時期Ｔ2 とが、時期検出器5 によってとして求められ
る。なお、光強度は立ち下がり側で比較的緩慢に変化す
るから、時期検出器５で、立ち下がり時期の検出は必要
であるが、逆に光強度は立ち上がり側で極めて急峻であ
るから、時期検出器５で、立ち上がり時期の検出は省略
されてもよい。さて、積分器３の出力信号の、時期Ｔ
2 における最終値が求めるべき単一パルス形レーザ光の
パワーで、変換器６によって出力値のレベル変換や、Ａ
／Ｄ変換がおこなわれ、その結果が次の表示器７によっ
て表示される。
【００１５】第２実施例においては、積分器８によっ
て、部分レーザ光である繰返しパルス形レーザ光の強度
が単位時間だけ時間について積分されパワーが求めら
れ、その後リセットがなされる。その時間積分のとき、
積分に係る時間領域の規定が比較器４，時期検出器５に
よっておこなわれるのは第１実施例のときと同様であ
る。ただ、単位時間中に複数個のパルスが存在するか
ら、各パルスについて時間領域が規制される点が異な
る。なお、時期検出器５で、立ち上がり時期の検出は省
略されてもよいことも第１実施例のときと同様である。
て、部分レーザ光である繰返しパルス形レーザ光の強度
が単位時間だけ時間について積分されパワーが求めら
れ、その後リセットがなされる。その時間積分のとき、
積分に係る時間領域の規定が比較器４，時期検出器５に
よっておこなわれるのは第１実施例のときと同様であ
る。ただ、単位時間中に複数個のパルスが存在するか
ら、各パルスについて時間領域が規制される点が異な
る。なお、時期検出器５で、立ち上がり時期の検出は省
略されてもよいことも第１実施例のときと同様である。
【００１６】ところで、図１において、各積分器３，８
による積分のとき、もともと光強度はパルス状であるか
ら、とくに比較器４と時期検出器５とを用いて、積分に
係る時間領域の定める必要は必ずしもない。しかし、比
較器４と時期検出器５とを用いて、積分に係る時間領域
を明確に定めた方がパワー測定が正確かつ容易になる効
果がある。
による積分のとき、もともと光強度はパルス状であるか
ら、とくに比較器４と時期検出器５とを用いて、積分に
係る時間領域の定める必要は必ずしもない。しかし、比
較器４と時期検出器５とを用いて、積分に係る時間領域
を明確に定めた方がパワー測定が正確かつ容易になる効
果がある。
【００１７】
【発明の効果】請求項１，３ないし６のいずれかの項に
係るレーザパワー測定装置では、光検出器によって、レ
ーザ発振器の単一パルス形出射レーザ光に応じて取り出
される部分レーザ光の強度が求められ、次に積分器によ
って、部分レーザ光強度が時間について積分され、この
積分値に基づいてレーザ発振器の単一パルス形の出射レ
ーザ光のパワーが求められる。また、請求項２ないし６
のいずれかの項に係るレーザパワー測定装置では、光検
出器によって、レーザ発振器の繰返しパルス形出射レー
ザ光に応じて取り出される部分レーザ光の強度が求めら
れ、次に積分器によって、部分レーザ光強度が単位時間
だけ時間について積分され、この積分値に基づいてレー
ザ発振器の繰返しパルス形の出射レーザ光のパワーが求
められる。したがって、実際に出射されるときの、単一
パルス形，繰返しパルス形の各レーザ光のパワーをリア
ルタイムに測定することができ、その結果、とくに加工
用ではその最適条件が得られ、目的に適合させることが
できる。
係るレーザパワー測定装置では、光検出器によって、レ
ーザ発振器の単一パルス形出射レーザ光に応じて取り出
される部分レーザ光の強度が求められ、次に積分器によ
って、部分レーザ光強度が時間について積分され、この
積分値に基づいてレーザ発振器の単一パルス形の出射レ
ーザ光のパワーが求められる。また、請求項２ないし６
のいずれかの項に係るレーザパワー測定装置では、光検
出器によって、レーザ発振器の繰返しパルス形出射レー
ザ光に応じて取り出される部分レーザ光の強度が求めら
れ、次に積分器によって、部分レーザ光強度が単位時間
だけ時間について積分され、この積分値に基づいてレー
ザ発振器の繰返しパルス形の出射レーザ光のパワーが求
められる。したがって、実際に出射されるときの、単一
パルス形，繰返しパルス形の各レーザ光のパワーをリア
ルタイムに測定することができ、その結果、とくに加工
用ではその最適条件が得られ、目的に適合させることが
できる。
【００１８】とくに請求項３に係るレーザパワー測定装
置では、積分に係る時間領域が明確に定められるため、
測定が正確かつ容易におこなわれる。とくに請求項４に
係るレーザパワー測定装置では、同一光検出器を用い
て、パワー測定範囲が変更可能で測定上便利である。と
くに請求項５または６に係るレーザパワー測定装置で
は、部分レーザ光取り出しの方式に係る選択肢が増して
測定上便利である。
置では、積分に係る時間領域が明確に定められるため、
測定が正確かつ容易におこなわれる。とくに請求項４に
係るレーザパワー測定装置では、同一光検出器を用い
て、パワー測定範囲が変更可能で測定上便利である。と
くに請求項５または６に係るレーザパワー測定装置で
は、部分レーザ光取り出しの方式に係る選択肢が増して
測定上便利である。
【図１】本発明に係る第１，第２の各実施例の共通なブ
ロック図
ロック図
【図２】第１実施例における各信号のタイムチャート
【図３】第１，第２の各実施例の適用に係る共通な一構
成図
成図
【図４】第１，第２の各実施例の適用に係る共通な別の
構成図
構成図
１ フィルタ ２ 光検出器 ３ 積分器 ４ 比較器 ５ 時期検出器 ６ 変換器 ７ 表示器 ８ 積分器 １０，１１ レーザパワー測定装置 ２０ レーザ発振器 ２１ ＹＡＧレーザロッド ２２ 全反射ミラー ２３ 出力ミラー ２４ ハーフミラー
Claims (6)
- 【請求項１】レーザ発振器の単一パルス形出射レーザ光
に応じて取り出される部分レーザ光の強度を求める光検
出器と；この光検出器の出力である部分レーザ光強度を
時間について積分する積分器と；を備え、この積分器の
出力に基づいて前記レーザ発振器の出射レーザ光のパワ
ーを求める構成にしたことを特徴とするレーザパワー測
定装置。 - 【請求項２】レーザ発振器の繰返しパルス形出射レーザ
光に応じて取り出される部分レーザ光の強度を求める光
検出器と；この光検出器の出力である部分レーザ光強度
を単位時間だけ時間について積分する積分器と；を備
え、この積分器の出力に基づいて前記レーザ発振器の出
射レーザ光のパワーを求める構成にしたことを特徴とす
るレーザパワー測定装置。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の装置において、
光検出器の出力と所定しきい値とを比較する比較器と、
この比較器の出力の立ち上がり，立ち下がりの各時期を
うち少なくとも立ち下がり時期を検出し、これに基づい
て前記積分器の積分に係る時間領域が定められる時期検
出器とを備えることを特徴とするレーザパワー測定装
置。 - 【請求項４】請求項１ないし３のいずれかの項に記載の
装置において、光検出器の前段に部分レーザ光を抑制し
て透過させるフィルタを備えることを特徴とするレーザ
パワー測定装置。 - 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかの項に記載の
装置において、部分レーザ光は、レーザ発振器の全反射
ミラーの透過光として取り出されるレーザ光であること
を特徴とするレーザパワー測定装置。 - 【請求項６】請求項１ないし４のいずれかの項に記載の
装置において、部分レーザ光は、レーザ発振器の出射レ
ーザ光がビームスプリッタによって分岐されるレーザ光
であることを特徴とするレーザパワー測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11649192A JPH05315671A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | レーザパワー測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11649192A JPH05315671A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | レーザパワー測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05315671A true JPH05315671A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=14688446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11649192A Pending JPH05315671A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | レーザパワー測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05315671A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109921274A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-06-21 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光器光路的保护电路及保护方法 |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP11649192A patent/JPH05315671A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109921274A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-06-21 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光器光路的保护电路及保护方法 |
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