JPH0921871A - 半導体レーザ距離測定装置 - Google Patents

半導体レーザ距離測定装置

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JPH0921871A
JPH0921871A JP17077895A JP17077895A JPH0921871A JP H0921871 A JPH0921871 A JP H0921871A JP 17077895 A JP17077895 A JP 17077895A JP 17077895 A JP17077895 A JP 17077895A JP H0921871 A JPH0921871 A JP H0921871A
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JP
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signal
pulse
distance
measurement
light
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JP17077895A
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Inventor
Hiroshi Ikefuchi
博 池淵
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体レーザを用いた距離測定装置に関し、
粗測定と精測定を同時に行い、高精度、短時間で長距離
での測定を可能にする。 【解決手段】 クロック発生部1からの基準パルス15
とパルス生成部2からのパルス信号16とをAND演算
器3に入力し、投光信号17を出力し、レーザ駆動部4
とパルス半導体レーザ5で物体に投光し、その反射を受
光素子8、増幅器9で受信し、位相検出器11と受光タ
イミング検出部10へ出力する。精測定では位相検出器
11で基準パルス15との位相差を、粗測定では時間計
測部12でパルス信号16との時間差を、同時に測定
し、両出力20,21を演算部13で演算して距離を算
出し、表示部14へ表示するので高精度、短時間、かつ
大出力で半導体レーザにより長距離の測定を可能にす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体レーザを用い
た距離の測定に適用され、特に測距範囲が10cm以上の
長距離を高精度で測定できる半導体レーザ距離測定装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体レーザを用いた距離測定の
方法としては、(a)単一パルス光を用いて、発光して
から物体に反射して返ってくるまでの飛行時間を計測す
る方法(飛行時間計測方式)、(b)単一周波数の変調
光を用いて、発光してから物体に反射して返ってくる間
の位相差を検知する方法(位相差検知方式)が用いられ
ている。
【0003】図8はこのような従来の半導体レーザを用
いた距離計測方式の構成を示す図であり、発光信号40
でドライバ42を駆動し、半導体レーザ43からレーザ
光を発し、光学系44を通して距離Lにある物体37に
照射する。物体37より反射したレーザ光は受光系45
で集光して受光素子46で受光し、アンプ47で増幅さ
れて受光信号48となる。
【0004】図9(a)はこのような距離測定の方法の
1つとして前述した飛行時間計測方式の計測原理を示
し、前述の発光信号40と受光信号48が物体37から
反射して返ってくるまでの時間Δtを測定し、距離を;
L=(C/2)×Δtとして求める。但し、Cは光速で
ある。
【0005】図9(b)は前述の位相差検出方式の原理
を示し、発光信号40としては周波数f1 のパルス列で
あり、受光信号48はこのパルス列が物体37に反射し
て返ってくると位相差θが生ずるので、距離を;L=
(C/2f1 )×(θ/2π)として求める。但し、C
は光速である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来の図9
(a)に示す飛行時間計測方式では、パルス半導体レー
ザを使用することにより高出力が得られ、長距離の測距
が可能である。しかしながら、1cmの精度を得るために
は数100psの時間分解能が必要となるが、高分解能
の時間計測カウンタ及び短発光パルス生成の実現性及び
受光レベル変化による受光タイミング検出時間ずれの誤
差により、高精度化が困難である。現状、携行型のもの
では精度5cm程度のものが製品化されている。
【0007】図9(b)で説明の位相差検出方式では、
位相検出器を使用することにより高精度の測距が可能で
ある。現状では測量用として精度5mm程度のものが製品
化されている。しかしながら、CW半導体レーザを使用
するために低出力であり、長距離の測距が困難であり、
反射板を目標物とする場合が多い。
【0008】また、この位相差検出方式では位相が2π
ずれると同位相となるため0〜2πに相当する距離しか
計測できず、長距離の測距を行うためには、2種以上の
周波数に対して位相差を検出し、演算する必要があるた
め、1回の距離出力に対して、数回の計測が必要であり
時間がかかるという問題がある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために、クロック発生部、パルス生成部、
駆動部、パルス半導体レーザ装置、受光部、受光部から
の信号により精測位相信号を出力する位相検出部、同じ
く受光部からの信号より粗測時間信号を出力する時間計
測部、これら精測位相信号及び粗測時間信号を入力し、
距離を算出する演算部及び表示部からなることを特徴と
する。
【0010】即ち、本発明は、基準信号となるクロック
パルスを発生するクロック発生部と、出力パルスを発生
するパルス生成部と、同パルス生成部からの出力パルス
の間で前記クロックパルスを出力させて投光信号とする
駆動部と、同駆動部からの投光信号で物体に向けてパル
スレーザ光を発するパルス半導体レーザ装置と、同パル
ス半導体レーザ装置から発し、前記物体から反射するパ
ルスレーザ光を受光する受光部と、同受光部からの受光
信号を入力し、前記クロックパルスとの位相差を検出
し、精測位相信号を出力する位相検出部と、前記受光部
からの受光信号を入力し、前記出力パルス生成部からの
出力パルス信号と比較し、それとの時間差を求め、粗測
時間信号を出力する時間計測部と、前記位相検出部から
の精測位相信号及び前記時間計測部からの粗測時間信号
を入力し、精測距離及び粗測距離を求めると共に、これ
らの値に基づいて前記物体までの距離を算出する演算部
と、同演算部の出力を受け、これを表示する表示部とを
具備してなることを特徴とする半導体レーザ距離測定装
置を提供する。
【0011】本発明はこのような手段により次のような
作用を奏する。クロック発生部からは基準信号となるク
ロックパルスが発しており、まず、パルス生成部が出力
パルスを発すると駆動部がこの出力パルス幅の間でクロ
ックパルスを出力させる投光信号を出力する。パルス半
導体レーザ装置はこの駆動部の投光信号を受け、物体に
対してパルスレーザ光を発する。
【0012】物体から反射し、戻ってくるパルスレーザ
光は受光部で受光され、位相検出部と時間計測部に受光
信号を出力する。この受光信号により位相検出部では受
光信号とクロックパルスとを比較し、位相を計測するこ
とにより、精測位相信号を出力し、位相差検出方式と同
等の精度の距離計測を可能とする。同時に時間計測部で
は受光信号と出力パルス信号とを比較し、その時間を計
測することにより粗測時間信号を出力し、おおまかな距
離計測を可能とする。
【0013】これら精測位相信号と粗測時間信号とを演
算部に入力し、演算部では、光速、周波数により精測距
離及び粗測距離を算出し、これらの精測距離の結果と粗
測距離の結果を演算することにより物体の距離を距離に
制限なく位相差検出方式と同等の精度で計測可能とな
る。これらの距離情報は必要に応じて表示部に表示され
る。
【0014】また、粗測と精測は1回の発光で同時に処
理できるため、計測時間が短い。さらに高出力のパルス
半導体レーザ装置を使用することにより長距離の距離計
測が可能である。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて具体的に説明する。図1は本発明の実
施の一形態に係る半導体レーザ距離測定装置の構成を示
すブロック図である。図において、1はクロックパルス
を発生するクロック発生部、2はクロック発生部1から
の基準信号15を受け、パルス信号16を発生するパル
ス生成部、3は基準信号15とパルス生成部2からのパ
ルス信号16とを入力し、投光信号17を出力するAN
D演算器、4はこの投光信号17によりパルス半導体レ
ーザ5を駆動するレーザ駆動部、5は前述のパルスレー
ザ光を発するパルス半導体レーザ、6は物体にレーザ光
を投光する投光光学系である。
【0016】7は物体より反射して戻ってくるパルスレ
ーザ光を受ける受光光学系、8は受光素子、9は増幅
器、10は受光タイミング検出部、11は増幅器9で増
幅された受光信号18と基準信号15とを入力し、位相
差を検出する位相検出部、12は受光タイミング検出部
10からの受光タイミング信号19とパルス生成部2か
らのパルス信号16とを入力し、時間差を計測する時間
計測部、13は位相検出部11からの精測位相出力20
と時間計測部12からの粗測時間出力21とを入力し、
距離を演算する演算部、14は演算部13からの測距出
力22を受け、これを表示する表示部である。
【0017】図2は図1に示す距離測定装置における各
信号とそれらのタイミングを示す波形図であり、(a)
はクロック発生部1の発生する基準信号15を、(b)
はパルス生成部2が発生し、パルス幅24を有するパル
ス信号16を、(c)は基準信号15とパルス信号16
とによりAND演算器3が出力する投光信号17を、
(d)は受光素子8で受光し、増幅器9で増幅された受
光信号18と基準信号15との位相差θを、(e)は受
光タイミング検出部10で検出された受光タイミング信
号19とパルス信号16からの時間おくれΔt26とを
それぞれ示す。
【0018】このような距離測定装置において、クロッ
ク発生部1より周波数f1 の基準信号15が出力され、
この基準信号15とパルス生成部2より出力されたパル
ス信号16とがAND演算器3に入力し、ここでAND
演算が行われ、投光信号17が生成される。この投光信
号17は図2(b),(c)に示すように基準信号15
のパルスのうちパルス信号16のパルス幅24の間だけ
パルスを発生させる。この投光信号17でレーザ駆動部
4を駆動し、パルス半導体レーザ5からレーザ光を発す
る。
【0019】パルス半導体レーザ5からの光は投光光学
系6を通して物体に反射し、受光光学系7で集光して受
光素子8に入射した後、増幅器9により受光信号18と
なる。
【0020】受光信号18を受け、距離を求める場合
に、まず、精測方法について説明を行う。受光信号18
は位相検出部11により基準信号15と位相比較され
る。図3に位相検出部11の内部構成を示す。
【0021】図3において、基準信号15をsin(2
πf1 t)と表したとき、受光信号18はsin(2π
1 −θ)と表される。これらの信号15と18を入力
した乗算器27の出力はcos(4πf1 t−θ)とc
osθの成分からなる。この出力を積分器28により積
分するとcosθが精測位相出力20として出力され
る。これを演算部13において逆変換することによりθ
が求まり、次の(1)式に示す位相差θと距離R1 の関
係により精測距離R1 が求められる。
【0022】
【数1】
【0023】ここで、d1 は光学系及び回路における位
相遅れに対する距離補正値であり、あらかじめ距離が既
知の物体を計測又はミラー等により投光した光を直接受
光することにより求められる。
【0024】次に、粗測方法について説明を行う。受光
信号18は受光タイミング検出部10に入力され、受光
タイミングが検出される。図4,図5,図6に受光タイ
ミング検出部10の代表的な構成を示す。
【0025】図4は(a)に示すようにコンパレータ2
9、ラッチ30、リセット信号33で受光信号18の立
上り時間を計測し、(b)に示すように受光タイミング
信号19を出力する(方法1)。
【0026】図5は(a)に示すように、受光信号18
を検波器31で検波し、検波信号32を出力し、これを
コンパレータ29で比較し、ラッチ30、リセット信号
33とでしきい値を超えると受光タイミング信号19を
出力する。この方法は(b)に示すように、受光信号1
8の検波信号32と所定のしきい値35とを比較し、時
間おくれΔt′36を求め、この時間Δt′で受光タイ
ミング信号19を出力する(方法2)。
【0027】図6は(a)に示すように受光信号18を
検波器31で検波し、検波信号32を出力し、これを微
分器33で微分し、微分信号34をコンパレータ29に
入力して検波信号32のピークを求め、ラッチ30とリ
セット信号33でこのピーク時に受光タイミング信号1
9を出力する。この方法は(b)に示すように、受光信
号18を検波した検波信号32を微粉した微分信号34
を求め、この信号により検波信号32のピークとなる時
間を時間おくれΔt′36とし、このΔt′で受光タイ
ミング信号19を出力する。
【0028】ここで、図5,図6の方法の場合、受光タ
イミング検出部10内での時間おくれΔt′36が図2
(e)に示す受光タイミング信号の時間おくれΔt26
に含まれる。図1に戻り、パルス信号16の立上りより
受光タイミング信号19の立上りまでの時間おくれΔt
26が時間計測部12により計測され、粗測時間出力2
1として出力される。これを次の(2)式により演算部
13において時間おくれΔt26と距離R2 の関係から
粗測距離R2 が求められる。
【0029】
【数2】
【0030】ここで、d2 は光学系及び回路(受光タイ
ミング検出部における時間遅れΔt′36を含む)にお
ける時間遅れに対する距離補正値であり、精測距離にお
けるd1 と同様な方法で求められる。
【0031】次に精測距離R1 と粗測距離R2 より物体
の距離Rを求める方法について説明を行う。ここで精測
距離誤差を±ΔR1 、粗測距離誤差を±ΔR2 とする。
精測は位相が2πずれると同位相になることによる距離
のくり返しがあり、物体の距離Rは次の(3)式のよう
に表される。
【0032】
【数3】
【0033】図7に精測・粗測距離と物体の距離の関係
を示す。この(3)式において、粗測距離R2 との差が
最小になるnを求めることにより、物体37の距離Rが
求められる。ただし、周波数f1 は次の(4)式を満足
するように選定される。この条件のときの距離精度は±
ΔR1 となる。
【0034】
【数4】
【0035】図1において、以上により求められた物体
の位置Rが測距出力22として表示部14に渡され、外
部に表示又は出力される。また、このような距離測定装
置においては、精測と粗測は同時に処理されるため、1
回の発光で測距が可能である。
【0036】以上説明の実施の形態によれば、クロック
発生部1、パルス生成部2、AND演算器3、レーザ駆
動部4及びパルス半導体レーザ5でパルスを発生し、受
光素子8、増幅器9、受光タイミング検出部10及び時
間計測部12で物体に反射して返ってくるまでの時間を
計測することによりおおまかな距離計測(粗測)が可能
であり、基準パルス15内の変調信号の位相を位相検出
部11で計測することにより位相差検出方式と同等の精
度の距離計測(精測)が可能である。これらの粗測結果
と精測結果を演算部13で演算することにより物体の距
離Rを距離に制限なく位相差検出方式と同等の精度で計
測可能となる。
【0037】また、粗測と精測は1回の発光で同時に処
理できるため、計測時間が短い。さらに、高出力のパル
ス半導体レーザ5を使用することにより長距離の距離計
測が可能である。
【0038】
【発明の効果】以上、具体的に説明したように本発明
は、クロック発生部、パルス生成部、駆動部、パルス半
導体レーザ装置、受光部、受光部からの信号により精測
位相信号を出力する位相検出部、同じく受光部からの信
号より粗測時間信号を出力する時間計測部、これら精測
位相信号及び粗測時間信号を入力し、距離を算出する演
算部及び表示部からなることを特徴とする半導体レーザ
距離測定装置を特徴とするので、パルスの遅れ時間測定
(粗測)と位相差検出(精測)により、距離に制限なく
位相差検出方式と同等の精度で短時間に計測が可能とな
る。また、パルス半導体レーザを使用することにより長
距離の距離計測が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態に係る半導体レーザ距離
測定装置の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の実施の一形態に係る半導体レーザ距離
測定装置における信号のタイミングと波形図である。
【図3】図1における位相検出部の内部の詳細なブロッ
ク図である。
【図4】図1における(a)受光タイミング検出部内部
の詳細なブロック図(方法1)と(b)その波形図であ
る。
【図5】図1における(a)受光タイミング検出部内部
の詳細なブロック図(方法2)と(b)その波形図であ
る。
【図6】図1における(a)受光タイミング検出部内部
の詳細なブロック図(方法3)と(b)その波形図であ
る。
【図7】本発明の実施の一形態に係る半導体レーザ距離
測定装置における精測距離、粗測距離と物体の距離との
関係を示す図である。
【図8】従来の距離計測方式の構成図である。
【図9】従来の距離計測方式の原理を示し、(a)は飛
行時間計測方式、(b)は位相差検出方式を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 クロック発生部 2 パルス生成部 3 AND演算器 4 レーザ駆動部 5 パルス半導体レーザ 8 受光素子 9 増幅器 10 受光タイミング検出器 11 位相検出部 12 時間計測部 13 演算部 14 表示部 15 基準信号 16 パルス信号 17 投光信号 18 受光信号 19 受光タイミング信号 20 精測位相出力 21 粗測時間出力 22 測距出力

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基準信号となるクロックパルスを発生す
    るクロック発生部と、出力パルスを発生するパルス生成
    部と、同パルス生成部からの出力パルスの間で前記クロ
    ックパルスを出力させて投光信号とする駆動部と、同駆
    動部からの投光信号で物体に向けてパルスレーザ光を発
    するパルス半導体レーザ装置と、同パルス半導体レーザ
    装置から発し、前記物体から反射するパルスレーザ光を
    受光する受光部と、同受光部からの受光信号を入力し、
    前記クロックパルスとの位相差を検出し、精測位相信号
    を出力する位相検出部と、前記受光部からの受光信号を
    入力し、前記出力パルス生成部からの出力パルス信号と
    比較し、それとの時間差を求め、粗測時間信号を出力す
    る時間計測部と、前記位相検出部からの精測位相信号及
    び前記時間計測部からの粗測時間信号を入力し、精測距
    離及び粗測距離を求めると共に、これらの値に基づいて
    前記物体までの距離を算出する演算部と、同演算部の出
    力を受け、これを表示する表示部とを具備してなること
    を特徴とする半導体レーザ距離測定装置。
JP17077895A 1995-07-06 1995-07-06 半導体レーザ距離測定装置 Withdrawn JPH0921871A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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