JPH0530626U - Metal ring - Google Patents

Metal ring

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JPH0530626U
JPH0530626U JP7926591U JP7926591U JPH0530626U JP H0530626 U JPH0530626 U JP H0530626U JP 7926591 U JP7926591 U JP 7926591U JP 7926591 U JP7926591 U JP 7926591U JP H0530626 U JPH0530626 U JP H0530626U
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metal
metal ring
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welded
ring
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JP7926591U
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Japanese (ja)
Inventor
井 賢 二 掘
Original Assignee
日本バルカー工業株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【構成】周方向に連続した環状中空部を有するととも
に、外周面或いは内周面に周方向に連続し互いに対向す
る一対の端部が形成された金属製外皮と、前記環状中空
部内に配置されたコイルスプリングとから成るメタルリ
ングにおいて、周方向に連続し互いに対向する前記一対
の端部が溶接されていることを特徴としている。 【効果】金属蒸着あるいは表面処理を実施する場合にマ
スキングを施す必要が無く、よって作業工程数が低減し
製作コストが安価となり、加えて、量産化に寄与する。
また、溶接部分が内周面或いは外周面に位置されるの
で、シール部に直接当たらず、これにより、シール性を
良好に維持することができる。更に、メタルリングの端
部を溶接し閉環形状としているので、中空部内に異物が
侵入することは勿論、異物が流出することもない。
(57) [Summary] [Structure] A metal outer skin having an annular hollow portion continuous in the circumferential direction, and a pair of end portions continuous in the circumferential direction and facing each other formed on the outer peripheral surface or the inner peripheral surface, and A metal ring including a coil spring arranged in the annular hollow portion is characterized in that the pair of end portions which are continuous in the circumferential direction and which face each other are welded. [Effect] It is not necessary to apply masking when performing metal vapor deposition or surface treatment, thus reducing the number of working steps and reducing the manufacturing cost, and in addition, contributing to mass production.
Further, since the welded portion is located on the inner peripheral surface or the outer peripheral surface, the welded portion does not directly contact the seal portion, whereby the sealability can be favorably maintained. Further, since the end portion of the metal ring is welded to form a closed ring shape, the foreign matter does not intrude into the hollow portion and the foreign matter does not flow out.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【考案の技術分野】[Technical field of invention]

本考案は、例えば超高真空機器用あるいは原子力機器用の管継手部並びにディ ーゼル車燃料噴射装置の圧力センサー、安全弁などの広範な用途に用いられるメ タルリングに関し、特に中空部内にコイルスプリングを備えたメタルリングに関 するものである。 The present invention relates to a metal ring used for a wide range of applications such as a pipe joint part for ultra-high vacuum equipment or nuclear equipment, a pressure sensor for a diesel vehicle fuel injection device, a safety valve, etc., and in particular, a coil spring is provided in the hollow portion. It is related to metal rings.

【0002】[0002]

【考案の技術的背景】[Technical background of the device]

水、油流体を扱う高温、高圧ラインの継手部に広く用いられているメタルリン グは、ニトリルゴム等の合成ゴム製ガスケットに比べ耐熱性に優れ、また、低い 締付力で高度の気密力を得ることができている。このようなメタルリングを、と りわけ厳しい気密性能が要求される真空分野などで用いる場合には、中空部内に コイルスプリングを配設したメタルリングを使用し、圧縮に対する復元力を増大 させている。また、コイルスプリングを内蔵したメタルリングは宇宙工学、原子 力、半導体分野等に適用されている。 Metal rings, which are widely used for joints of high-temperature and high-pressure lines that handle water and oil fluids, have superior heat resistance compared to synthetic rubber gaskets such as nitrile rubber. You can get it. When such a metal ring is used in a vacuum field where extremely tight airtightness is required, a metal ring with a coil spring inside the hollow is used to increase the restoring force against compression. .. In addition, metal rings with built-in coil springs are used in fields such as space engineering, atomic power, and semiconductors.

【0003】 従来、このようなメタルリングとしては、図6及び図7に示すようなものが知 られている。図6に示したメタルリング10は、環状で中空に形成された金属製 外皮1の内部空間2に、コイルスプリング3を収容し、大気に開口して周方向に 連続して形成される一対の端部4a、4bを、金属製外皮1の外周面5に配置し たもので、また、図7に示したメタルリング20は、上記一対の端部4a、4b を金属製外皮1の内周面6に配置したものである。Conventionally, as such a metal ring, those shown in FIGS. 6 and 7 are known. A metal ring 10 shown in FIG. 6 accommodates a coil spring 3 in an internal space 2 of an annular metal hollow outer shell 1 and is open to the atmosphere to form a pair of circumferentially continuous metal shells. The end portions 4a and 4b are arranged on the outer peripheral surface 5 of the metal outer cover 1, and the metal ring 20 shown in FIG. 7 has the pair of end portions 4a and 4b on the inner peripheral surface of the metal outer cover 1. It is arranged on the surface 6.

【0004】 このようなメタルリングは、例えば図8に示したメタルリング10のように、 シールすべくフランジ部7、8間に配置され、これらのフランジ部7、8とを締 め付ければ、端部4a、4bは互いに軸方向に押圧され、メタルリング10の断 面形状は長円形状に変形する。これにより、メタルリング10はフランジ部8及 び環状溝9の底面と密に接触すると共に、これらと接触する接触面積が増大し、 また、コイルスプリング3が金属製外皮1を押圧し、その結果、全周に渡って良 好なシール作用を得ることができる。Such a metal ring is arranged between the flange portions 7 and 8 for sealing, like the metal ring 10 shown in FIG. 8, and if these flange portions 7 and 8 are tightened, The ends 4a and 4b are pressed against each other in the axial direction, and the cross-sectional shape of the metal ring 10 is transformed into an elliptical shape. As a result, the metal ring 10 comes into close contact with the flange portion 8 and the bottom surface of the annular groove 9 and the contact area with which they are contacted is increased, and the coil spring 3 presses the metal outer skin 1 as a result. A good sealing effect can be obtained over the entire circumference.

【0005】 ところで、こうしたメタルリング10、20は、通常、金属メッキ、金属蒸着 などの表面処理あるいは表面研磨などを行なうことなくシールするフランジ部に 配置される。しかしながら、より信頼性の高い気密性能が要求された場合、ある いはシールするフランジ面が粗く形成されている場合には、金属メッキや金属蒸 着などの表面処理をメタルリング表面に実施し、これにより表面粒度を微細で且 つ均一なものとすることもある。また、特にクリーンルーム内で品物を製造する 半導体分野などでは、リング表面に付着した水分等のガスが放出された場合に、 製品に悪影響を及ぼす虞れがあるので、機械的、化学的あるいは電気的手法を用 いてリング表面に表面研磨を実施し、このリング表面からのガスの離脱を防止し ている。By the way, such metal rings 10 and 20 are usually arranged on a flange portion for sealing without performing surface treatment such as metal plating or metal deposition or surface polishing. However, when more reliable airtightness is required, or when the sealing flange surface is rough, surface treatment such as metal plating or metal deposition is performed on the metal ring surface, This may make the surface grain size fine and uniform. Also, especially in the semiconductor field where products are manufactured in a clean room, when gas such as moisture adhering to the ring surface is released, the product may be adversely affected. Using the method, the surface of the ring is polished to prevent the gas from desorbing from the surface of the ring.

【0006】 このように金属蒸着あるいは表面研磨等を金属製外皮1に施す場合、従来のメ タルリングは外周面5或いは内周面6に開口部が存在するため、その開口部から 微細なメッキ粉あるいは研磨粉が侵入する虞がある。もし、侵入したメッキ粉等 コイルスプリング内にまで至ると、超音波洗浄器などで洗浄しても全てのメッキ 粉等の異物を除去することができず、その結果、残存するメッキ粉等に起因して 気密性能が悪化したり、その異物が腐食し、管路を流れる流体が汚染される等の 種々の不具合を生じる。When metal vapor deposition or surface polishing is applied to the metal skin 1 as described above, since the conventional metal ring has an opening on the outer peripheral surface 5 or the inner peripheral surface 6, fine plating powder is generated from the opening. Alternatively, the polishing powder may enter. If the invading plating powder reaches the inside of the coil spring, it is not possible to remove all the foreign substances such as the plating powder even by cleaning with an ultrasonic cleaner, etc. As a result, various problems such as deterioration of the airtightness, corrosion of the foreign matter, and contamination of the fluid flowing through the pipeline occur.

【0007】 こうした不具合を改善するため従来は、表面処理等を施す場合に、例えばエラ ストマ樹脂などからなるリング状部材を用いて開口部を覆ってマスキングし、こ れにより微細な異物が開口部内に侵入することを予め防止している。In order to improve such a problem, conventionally, when a surface treatment or the like is performed, a ring-shaped member made of, for example, an elastomer resin is used to cover and mask the opening so that fine foreign matter can be prevented from entering the opening. It has been prevented in advance from entering.

【0008】 しかしながら、このような方法で金属蒸着或いは金属研磨を施す際の異物の侵 入を防止する場合には、必ずマスキングを行なう必要があり、作業工程が増え製 作コストの高騰を招来するばかりか量産性が悪いという問題があった。However, in order to prevent the entry of foreign matter when performing metal vapor deposition or metal polishing by such a method, it is necessary to carry out masking without fail, resulting in an increase in working steps and a rise in manufacturing cost. Not only that, there was the problem of poor mass productivity.

【0009】[0009]

【考案の目的】[The purpose of the device]

本考案は、このような実情に鑑みてなされたもので、金属蒸着あるいは表面研 磨等を実施する場合に、マスキングの作業を不要にし、作業工程数を低減し製作 コストが安価で、ひいては量産性に優れたメタルリングを提供することを目的と している。 The present invention has been made in view of such a situation, and when performing metal deposition or surface polishing, the work of masking is unnecessary, the number of working steps is reduced, the manufacturing cost is low, and eventually the mass production. The purpose is to provide a metal ring with excellent properties.

【0010】[0010]

【考案の概要】[Outline of the device]

このような目的を達成するために、本考案に係るメタルリングは、周方向に連 続した環状中空部を有するとともに、外周面或いは内周面に周方向に連続し互い に対向する一対の端部が形成された金属製外皮と、前記環状中空部内に配置され たコイルスプリングとから成るメタルリングにおいて、 周方向に連続し互いに対向する前記一対の端部が溶接されていることを特徴と している。 In order to achieve such an object, the metal ring according to the present invention has an annular hollow portion that is continuous in the circumferential direction, and has a pair of end portions that are circumferentially continuous with the outer peripheral surface or the inner peripheral surface and that face each other. In a metal ring including a metal outer shell having a portion formed therein and a coil spring arranged in the annular hollow portion, the pair of end portions that are circumferentially continuous and face each other are welded. ing.

【0011】 このような、本考案に係るメタルリングによれば、外周面或いは内周面に溶接 部分を有する断面0形状(閉断面形状)のメタルリングとするので、金属蒸着あ るいは表面処理を実施する場合にマスキングを施す必要が無く、よって作業工程 数が低減し製作コストが安価となる。加えて、マスキングを施す必要がないので 量産化に寄与する。According to such a metal ring according to the present invention, a metal ring having a zero cross-section (closed cross-sectional shape) having a welded portion on the outer peripheral surface or the inner peripheral surface is used, and therefore metal deposition or surface treatment is performed. There is no need to apply masking when carrying out, so the number of working steps is reduced and the manufacturing cost is reduced. In addition, it does not require masking, which contributes to mass production.

【0012】 また、溶接部分は内周面或いは外周面に位置されるので、シールするフランジ 等に直接当たらず、これにより、溶接部分を設けても、溶接ビードがシール性に 影響を及ぼすことはない。更に、金属製外皮の内部空間に収容されるコイルスプ リングは、この金属製外皮を内方から押圧するので、シール性は端部が開いた形 状のメタルリングに比べて優れている。Further, since the welded portion is located on the inner peripheral surface or the outer peripheral surface, it does not directly contact the sealing flange or the like, so that even if the welded portion is provided, the weld bead does not affect the sealing performance. Absent. Further, since the coil spring accommodated in the inner space of the metal outer cover presses the metal outer cover from the inside, the sealing property is superior to that of the metal ring having the open end.

【0013】 更に、メタルリングの端部を溶接し閉環形状としているので、中空部内に異物 が侵入することは勿論、異物が流出することもない。従って、半導体分野などで の使用に特に有効である。Further, since the end portion of the metal ring is welded to form the closed ring shape, the foreign matter does not intrude into the hollow portion and the foreign matter does not flow out. Therefore, it is particularly effective for use in the semiconductor field and the like.

【0014】[0014]

【考案の具体的説明】[Specific explanation of the device]

以下、本考案を図面に示す実施例に基づき詳細に説明する。 図1は本考案の一実施例により形成されたメタルリングの断面図、図2〜図4 はそれぞれ本考案の一実施態様に係るメメタルリングの製造方法の各工程を示す 断面図、図5は本考案の他の実施態様に係るメタルリングの断面図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the drawings. 1 is a cross-sectional view of a metal ring formed according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 to 4 are cross-sectional views showing respective steps of a method for manufacturing a metal ring according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is a sectional view of a metal ring according to another embodiment of the present invention.

【0015】 図1に示すメタルリング30は、周方向に連続したリング形状の金属製外皮1 1の内部に、周方向に連続した断面円形状の中空部12を有し、この中空部12 内にコイルスプリング13を内蔵したものである。A metal ring 30 shown in FIG. 1 has a hollow portion 12 having a circular cross section continuous in the circumferential direction inside a ring-shaped metal outer skin 11 continuous in the circumferential direction. The coil spring 13 is built in.

【0016】 金属製外皮11の外周部分には、図2及び図3に示したように、周方向に連続 した開口14を形成する一対の端部15、16が、周方向全周に渡って形成され ており、製造の途中でこれら一対の端部15、16は、互いに突き合わされて溶 接され、この溶接部分28によって開口部14が閉じられ閉環形状に形成されて いる。As shown in FIGS. 2 and 3, a pair of end portions 15 and 16 forming a continuous opening 14 in the circumferential direction are provided on the outer circumferential portion of the metal outer skin 11 over the entire circumferential direction. The pair of end portions 15 and 16 are abutted against each other and welded to each other during manufacturing, and the welded portion 28 closes the opening portion 14 to form a closed ring shape.

【0017】 メタルリング30のシール面(相手部材との当接面)は、上面31と下面32 なので、外周部分に溶接部分があったとしても、その溶接ビードがシール性能に 影響を与えることはない。Since the sealing surface of the metal ring 30 (contacting surface with the mating member) is the upper surface 31 and the lower surface 32, even if there is a welded portion on the outer peripheral portion, the weld bead does not affect the sealing performance. Absent.

【0018】 金属製外皮11の材質としては、特に限定されず、合金を含むあらゆる金属を 用いることが可能であるが、この実施例では、軟質なアルミニウムが採用されて いる。また、バネ鋼材を用いて金属性外皮11を構成すれば、得られるメタルリ ングの弾力性が更に向上する。The material of the metal outer cover 11 is not particularly limited, and any metal including an alloy can be used. In this embodiment, soft aluminum is adopted. Further, if the metallic outer cover 11 is made of a spring steel material, the elasticity of the obtained metal ring is further improved.

【0019】 次に、このようなメタルリング30の製造方法例を説明する。 例えば、図2Aに示すように、円盤状の金属製外皮用素材17を用意し、同図 Bに示すように、金型などで円盤状の低部18が形成されるようにプレス加工す る。その後、切断線19に沿って素材を切断し、同図Cに示すような断面L字形 状のリングを得る。こうして、リング状に加工された金属製外皮用素材17の周 面にコイルスプリング13を装着する。次いで、このリング状に加工された素材 を、同図D,Eに示すように金型などで断面円形状になるように折曲加工すれば 、素材17の端部15、16相互がリングの外周部で近接し、その間に開口部1 4が形成される。その後、開口部14を閉塞するように、端部15、16相互を 溶接すれば、図1に示すようなメタルリング30が得られる。Next, an example of a method of manufacturing such a metal ring 30 will be described. For example, as shown in FIG. 2A, a disk-shaped metal outer skin material 17 is prepared, and as shown in FIG. 2B, it is pressed so that a disk-shaped lower portion 18 is formed by a metal mold or the like. .. Then, the material is cut along the cutting line 19 to obtain a ring having an L-shaped cross section as shown in FIG. In this way, the coil spring 13 is attached to the peripheral surface of the metal outer skin material 17 processed into a ring shape. Then, the material processed into the ring shape is bent into a circular cross section with a mold as shown in FIGS. The outer peripheral portions are close to each other, and the opening 14 is formed therebetween. Then, the end portions 15 and 16 are welded to each other so as to close the opening portion 14 to obtain the metal ring 30 as shown in FIG.

【0020】 溶接手段として、特に限定されないが、TIG溶接、レーザー溶接、シーム溶 接、スポット溶接などが例示され、これらは自動化されることが好ましい。 図3に示す製造例では、まず同図Aに示すように、円筒形状の小径の金属製管 を金属製外皮用素材21として準備し、それを適当な長さに切断し、複数段階の 折曲加工の途中でコイルスプリング13を装着し、最終的に同図Cに示すような 断面円形状の中空部12を有するリングを得る。The welding means is not particularly limited, but TIG welding, laser welding, seam welding, spot welding, etc. are exemplified, and these are preferably automated. In the manufacturing example shown in FIG. 3, first, as shown in FIG. 3A, a cylindrical small-diameter metal pipe is prepared as a metal outer skin material 21, cut into an appropriate length, and then folded in multiple steps. The coil spring 13 is attached during the bending process, and finally a ring having a hollow portion 12 having a circular cross section as shown in FIG.

【0021】 その後、この周方向に連続して形成された中空部12の開口部14を閉塞する ように、端部15、16相互を溶接すれば、図1に示すようなメタルリング30 が得られる。このように、小径管をプレス成形してメタルリングを製造するため 、寸法の安定性と量産化を図ることができる。After that, the end portions 15 and 16 are welded to each other so as to close the opening portion 14 of the hollow portion 12 formed continuously in the circumferential direction, so that the metal ring 30 shown in FIG. 1 is obtained. Be done. In this way, since the metal ring is manufactured by press-molding the small-diameter pipe, dimensional stability and mass production can be achieved.

【0022】 図4に示す製造例では、比較的長尺の金属製管22を準備し、これを同図Bに 示すように、液圧成形方法等にて蛇腹状に形成し、各波形を軸方向に切断するよ うに破断線23に沿って切断し、金属製外皮用素材25、26を得る。一方の金 属製外皮用素材25は、内径側に凸であり、図3B,Cに示す工程と同様にして 、図1に示すようなメタルリング30を得ることができる。In the manufacturing example shown in FIG. 4, a relatively long metal pipe 22 is prepared, and as shown in FIG. B, it is formed into a bellows shape by a hydraulic forming method or the like, and each corrugation is formed. By cutting along the breaking line 23 like cutting in the axial direction, the metal outer skin materials 25 and 26 are obtained. One metal outer skin material 25 is convex on the inner diameter side, and the metal ring 30 as shown in FIG. 1 can be obtained in the same manner as the steps shown in FIGS. 3B and 3C.

【0023】 また、他方の金属製外皮用素材26は、外径側に凸であり、折曲加工方向を前 述と逆にすることにより、図5に示すように内周側に開口部を備えたメタルリン グ40を得ることができる。Further, the other metal outer sheath material 26 is convex on the outer diameter side, and by making the bending processing direction opposite to that described above, an opening is formed on the inner peripheral side as shown in FIG. The metal ring 40 provided can be obtained.

【0024】 図2、図3、図4で形成されたリング部材を溶接し、図1に示すメタルリング 30を得ても、このメタルリング30の溶接部分はシールするフランジ等に直接 当接しないので、従って溶接ビードを削除したりその削除した部分の後の研磨の 精度が均一にならなくとも、フランジ等のシール性に悪影響を及ぼすことはない 。また、得られたメタルリング30は閉管形状であるので、マスキングをせずに 金属蒸着あるいは表面処理を実施することができる。更に、これらの作業中に、 メッキ粉あるいは研磨粉等の異物が中空部内に侵入することはない。更に、閉管 形状であるので、シール部に設置した後に、以前から内壁等に付着して異物が存 在しても、その異物は、中空部の外方に流出されることはない。従って、こうし て形成されるメタルリング30は、塵埃等の存在を特に嫌う半導体の分野にも有 効に使用することができる。Even if the ring members formed in FIGS. 2, 3, and 4 are welded to obtain the metal ring 30 shown in FIG. 1, the welded portion of the metal ring 30 does not directly contact the sealing flange or the like. Therefore, even if the welding bead is removed or the accuracy of polishing after the removed portion is not uniform, the sealing property of the flange or the like is not adversely affected. Further, since the obtained metal ring 30 has a closed tube shape, metal deposition or surface treatment can be performed without masking. Furthermore, foreign substances such as plating powder or polishing powder do not enter the hollow portion during these operations. Furthermore, since it has a closed tube shape, even if foreign matter has been present on the inner wall or the like after it has been installed in the seal portion, the foreign matter will not flow out of the hollow portion. Therefore, the metal ring 30 formed in this way can be effectively used also in the field of semiconductors in which the presence of dust or the like is particularly disliked.

【0025】 なお、本考案は上述した実施態様に限定されず、本考案の範囲内で種々に改変 することができる。例えば、溶接部分28、28を図5に示したように、金属製 外皮11の内周部側に配置してもよい。この場合、図4に示した他方の金属製外 皮用素材26は、外形側に凸であるので、折曲加工方向を前述と逆にすることに より、溶接部を内径側に配置してなるメタルリング40を得ることができる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be variously modified within the scope of the present invention. For example, the welded portions 28, 28 may be arranged on the inner peripheral side of the metallic outer skin 11 as shown in FIG. In this case, since the other metal outer skin material 26 shown in FIG. 4 is convex on the outer shape side, the welding portion is arranged on the inner diameter side by reversing the bending processing direction to the above. The metal ring 40 can be obtained.

【0026】 また、上記実施例では、1つの金属性外皮内に1つのコイルリングを介在させ たものについて本考案を説明したが、2つの金属製外皮、例えば、外周側に軟質 金属からなる金属性外皮を配置し、その内周側に硬質金属からなる他の金属製外 皮を配置し、更にその内周側にコイルリングを配設した二重構造のメタルリング にも本考案は適用可能である。このようなメタルリングには、内周側の金属製外 皮と外周側金属性外皮との間に間隙を設けて配設したタイプのものと、これらの 金属製外皮同士を、熱間圧延等により密に接合したクラッド材タイプのものとが あるが、いずれのタイプのものにも適用可能である。Further, although the present invention has been described in the above embodiment in which one coil ring is interposed in one metallic outer skin, two metallic outer skins, for example, a metal made of a soft metal on the outer peripheral side. The present invention is also applicable to a double-structured metal ring in which a sex outer skin is arranged, another metal skin made of hard metal is arranged on the inner circumference side, and a coil ring is arranged on the inner circumference side. Is. Such metal rings are of a type in which a metal outer skin on the inner peripheral side and a metallic outer skin on the outer peripheral side are provided with a gap, and those metal outer skins are hot rolled or the like. There is a clad material type that is more closely bonded, but it is applicable to any type.

【0027】[0027]

【考案の効果】[Effect of the device]

以上説明してきたように、本考案に係るメタルリングによれば、外周面或いは 内周面に溶接部分を有する断面0形状のメタルリングとするので、金属蒸着ある いは表面処理を実施する場合にマスキングを施す必要が無く、よって作業工程数 が低減し製作コストが安価となる。加えて、マスキングを施す必要がないので量 産化に寄与する。また、溶接部分は内周面或いは外周面に位置されるので、シー ル部に直接当たらず、これにより、溶接ビードがシール性に影響を及ぼすことが ない。更に、金属製外皮の内部空間に収容されるコイルスプリングは、この金属 製外皮を内方から押圧するので、シール性は端部が開いた形状のコイルスプリン グに比べて優れている。更に、メタルリングの端部を溶接し閉環形状としている ので、中空部内に異物が侵入することは勿論、異物が流出することもない。従っ て、半導体分野などでの使用に特に有効である。 As described above, according to the metal ring of the present invention, a metal ring having a cross section of 0 shape having a welded portion on the outer peripheral surface or the inner peripheral surface is used. Therefore, when performing metal vapor deposition or surface treatment. There is no need to apply masking, which reduces the number of work steps and reduces the manufacturing cost. In addition, it does not require masking, which contributes to mass production. Further, since the welded portion is located on the inner peripheral surface or the outer peripheral surface, it does not directly contact the seal portion, and thus the weld bead does not affect the sealing performance. Further, since the coil spring housed in the inner space of the metal outer cover presses the metal outer cover from the inside, the sealability is superior to that of the coil spring having an open end. Furthermore, since the end of the metal ring is welded to form a closed ring, foreign matter does not intrude into the hollow portion, and it does not flow out. Therefore, it is particularly effective for use in the semiconductor field and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施態様に係るメタルリングの断面
図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a metal ring according to an embodiment of the present invention.

【図2】本図A〜Eは、本考案の一実施態様に係るメタ
ルリングの製造方法の各工程を示す断面図である。
2A to 2E are cross-sectional views showing respective steps of a method for manufacturing a metal ring according to an embodiment of the present invention.

【図3】本図A〜Cは、本考案の一実施態様に係るメタ
ルリングの製造方法の各工程を示す断面図である。
3A to 3C are cross-sectional views showing respective steps of a method for manufacturing a metal ring according to an embodiment of the present invention.

【図4】本図A〜Bは、本考案の一実施態様に係るメタ
ルリングの製造方法の各工程を示す断面図である。
FIG. 4A to FIG. 4B are cross-sectional views showing respective steps of a method for manufacturing a metal ring according to an embodiment of the present invention.

【図5】従来のメタルリングの一例を示す断面図であ
る。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a conventional metal ring.

【図6】従来のメタルリングの他例を示す断面図であ
る。
FIG. 6 is a sectional view showing another example of a conventional metal ring.

【図7】従来のメタルリングの更に他の例を示す断面図
である。
FIG. 7 is a sectional view showing still another example of a conventional metal ring.

【図8】従来のメタルリングの装着状態を示す断面図で
ある。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a mounted state of a conventional metal ring.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 金属製外皮 12 中空部 13 コイルスプリング 14 開口部 15 端部 16 端部 28 溶接部分 30 メタルリング 40 メタルリング 11 Metal Skin 12 Hollow Part 13 Coil Spring 14 Opening Part 15 End Part 16 End Part 28 Welding Part 30 Metal Ring 40 Metal Ring

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】周方向に連続した環状中空部を有するとと
もに、外周面或いは内周面に周方向に連続し互いに対向
する一対の端部が形成された金属製外皮と、前記環状中
空部内に配置されたコイルスプリングとから成るメタル
リングにおいて、 周方向に連続し互いに対向する前記一対の端部が溶接さ
れていることを特徴とするメタルリング。
1. A metal outer skin having a circumferentially continuous annular hollow portion, and a pair of end portions which are circumferentially continuous and are opposed to each other on an outer peripheral surface or an inner peripheral surface, and a metallic outer shell in the annular hollow portion. A metal ring comprising a coil spring arranged, wherein the pair of end portions which are circumferentially continuous and face each other are welded.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180063566A (en) * 2016-12-02 2018-06-12 이종철 Gasket
CN113864451A (en) * 2016-09-09 2021-12-31 李钟彻 Gasket ring

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57179470A (en) * 1981-04-30 1982-11-05 Akira Washida Packing
JPH0243558B2 (en) * 1982-08-26 1990-09-28

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57179470A (en) * 1981-04-30 1982-11-05 Akira Washida Packing
JPH0243558B2 (en) * 1982-08-26 1990-09-28

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113864451A (en) * 2016-09-09 2021-12-31 李钟彻 Gasket ring
KR20180063566A (en) * 2016-12-02 2018-06-12 이종철 Gasket

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