JPH05285758A - 直線送り装置の動特性制御システム - Google Patents
直線送り装置の動特性制御システムInfo
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- JPH05285758A JPH05285758A JP11530292A JP11530292A JPH05285758A JP H05285758 A JPH05285758 A JP H05285758A JP 11530292 A JP11530292 A JP 11530292A JP 11530292 A JP11530292 A JP 11530292A JP H05285758 A JPH05285758 A JP H05285758A
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Abstract
提供する。 【構成】 軌道レール1と、軌道レール1に沿って摺動
自在に設けられる摺動台3と、前記軌道レール1と摺動
台3に設けられた互いに対向する転動体転走溝間に介在
される転動体2と、前記摺動台3に取りつけられるテー
ブル等の被送り部材100と、該被送り部材100を駆
動する駆動系101と、を備えた直線送り装置におい
て、前記転動体2に加える予圧を調整することによって
直線送り装置の動特性を変化させることを特徴とする。
動特性は外力に対する変位振幅の比である動剛性であ
り、動作状態に応じて動剛性を可変とすることを特徴と
する。動特性は外部から加えられた振動を吸収する特性
である減衰性であり、予圧を大きくすることによって外
力に対する減衰性を高め位置決め制定時間を短くするこ
とを特徴とする。動特性は直線送り装置の固有振動数で
あり、予圧を大きくすることによって固有振動数を高く
して共振点をずらすことを特徴とする。
Description
置,工作機械,各種検査装置等に用いられる直線送り装
置に関し、特にその動特性を制御するシステムに関す
る。
細加工の高精度化の要求が高まっている。NC(数値制
御)が開発されて以来、位置制御により加工精度は飛躍
的に向上した。このような位置制御を高精度にするため
に、直線案内部に転がり接触形の直線運動用案内装置が
広く用いられている。
と、この軌道レールに転動体を介して摺動自在に設けら
れる摺動台と、から構成される。
位置決めを行う場合には、直線運動用案内装置に予圧を
与えることによって、転動体と転動体転走溝間の隙間を
ゼロにすると共に、剛性を高めて転動体に加わる荷重に
対する弾性変位量を小さくしている。
と考えられていた低摩擦が、動特性の面から考えると問
題になる。
際、摩擦が低いために駆動系で負荷を受けなければなら
ず、また位置決めは振動的になり、長い制定時間が必要
になる。
振幅変位が小さく、位置決めの制定時間も短くする効果
をもっているので動特性はよいことが知られている。し
かし、案内面の摩擦は位置決め誤差を増すことになり、
位置決め精度の上から好ましくない。
るためになされたもので、その目的とするところは、直
線送り装置の動特性を制御するシステムを提供すること
にある。
に、本発明にあっては、軌道レールと、該軌道レールに
沿って摺動自在に設けられる摺動台と、前記軌道レール
と摺動台に設けられた互いに対向する転動体転走溝間に
介在される転動体と、前記摺動台に取りつけられるテー
ブル等の被送り部材と、該被送り部材を駆動する駆動系
と、を備えた直線送り装置において、前記転動体に加え
る予圧を調整することによって直線運動装置の動特性を
変化させることを特徴とする。
くともいずれか一方に、転動体が介在される相対する転
動体転走溝間の間隔を調整可能とする予圧調整用伸縮部
を設け、該予圧調整用伸縮部を伸縮させることにより行
うことを特徴とする。
は、複数の摺動台のうち少なくとも一つの摺動台に予圧
調整用伸縮部を設けておけばよい。
動剛性であり、動作状態に応じて動剛性を可変とするこ
とを特徴とする。
る特性である減衰性であり、予圧を大きくすることによ
って外力に対する減衰性を高め位置決め制定時間を短く
することを特徴とする。
り、予圧を大きくすることによって固有振動数を高くし
て共振点をずらすことを特徴とする。
あっては、走行時等の低摩擦が要求される場合には予圧
を小さくして軽快に移動させる。また、位置決め停止時
の制定時間を短くしたい場合には予圧を大きくして減衰
性を高める。
あるいは停止状態で変動荷重が加わるような場合には、
動剛性を増大させるべく予圧を大きくして変位振幅を小
さくする。
装置の固有振動数に近い場合、予圧を大きくすることに
よって固有振動数を高くして共振点をずらし、共振を避
けることができる。さらに、予圧を大きくすれば、上記
したように減衰性も高まるので、振動を吸収して振幅自
体も小さくなる。
する。
システムのシステム構成を示している。直線送り装置
は、軌道レール1と、この軌道レール1に沿ってボール
やコロ等の転動体2を介して摺動自在に設けられる摺動
台3と、この摺動台3に取り付けられるテーブル等の被
送り部材100と、被送り部材100を駆動するボール
ねじ等の駆動系101と、から構成されている。転動体
2は、軌道レール1と摺動台3に設けられた互いに対向
する転動体転走溝4,5間に介在されており、予圧調整
手段102で転動体2の予圧を調整することにより、直
線送り装置の動特性を制御するようになっている。
され、検出情報が動特性制御回路にフィードバックされ
てている。
摺動台3を介して被送り部材100を支持しており、こ
の摺動台3の少なくとも一つについて、予圧調整手段を
設けておけば動剛性を変化させることができる。また、
4つ摺動台3とは別に、図1(b) に示すように、摺動台
3の間に動特性を可変とするための予圧調整手段付きの
摺動台3を設けてもよい。
荷重、あるいはテーブル等の加減速によって生じる慣性
力等が加わった時等、これらの外力に対する影響除去能
力のことをいい、予圧を調整することによって動特性を
向上させる。
とえば動剛性と、減衰性と、固有振動数である。
加えた時の、荷重変化の振幅に対する変位変化振幅の比
である。荷重と変位は周波数の関数になる。
位の振幅が小さくなる。
械内部で吸収する特性のことであり、減衰性がよいと位
置決め制定時間を短くできる。
時に共振を起こす周波数のことであり、予圧を与えるこ
とにより固有振動数を高くすることができ、共振を避け
ることができる。
動きの状態を加速度ピックアップ等の動き監視手段10
3を通じてモニタしたり、予めプログラムされたプログ
ラム情報104から動特性に関する動特性情報105を
得てこの動特性情報105を動特性制御回路106に入
力する。動きの監視は、予圧検出手段9により予圧状態
の変化によってもモニタすることができ、この予圧状態
を動きの情報として利用するようにしてもよい。
所定の動特性を得るための予圧量を演算し、予圧調整手
段102対して指令信号を出力する。この指令信号に基
づいて予圧調整手段102が作動して予圧量を適切な大
きさに調整する。
態を示している。
ので、予圧を加えると共振点がf0→f1にずれ、かつ
振幅AがA0→A1に小さくなった状態を示している。
ることにより、制定時間がt0→t1と短くなった状態
を示している。
状態を示すもので、予圧を大きくすることによってオー
バーシュートの量が短くなり、位置決め精度の向上を図
ることができる。
しい動特性としては、高速で移動させる場合には予圧を
小さくして高速で動けるようにする。停止時には予圧を
大きくして減衰性を高め制定時間を短くする。このよう
な特性は、走行停止の作動状態によって定まるもので、
作動状態が予め分かっている場合には、作動状態に応じ
て予め予圧量をデータとして入れておけば、この作動状
態に応じ動特性となるように適切な予圧量が調整され
る。
特性情報として常時監視し、検出された動特性情報に基
づいて、作動状態における最も適切な動特性が得られる
ように予圧を調整すればよい。
避けるために、振動を状態状態をモニタしておいて共振
が起こりかけると、共振しないように予圧を高くして固
有振動数を高め、共振点をずらす。
動が発生した場合、加速度を検出することによって予圧
を増大させ、加減速時の振動を吸収する。また、加速度
を検出するのではなく振動自体を検出して、振動が発生
し始めると、振動を減衰させるように予圧を増大させる
ようにしてもよい。
圧調整手段102としては、予圧を調整可能な構成であ
ればよく、特定の構成に限定されるものではないが、図
3以下に示す可変予圧直線運動用案内装置を用いること
が好適である。
ムに用いる可変予圧直線運動用案内装置の基本的な構成
を示している。すなわち、Aは直線運動用案内装置全体
を示すもので、直線的に延びる軌道レール1と、この軌
道レール1に転動体としての左右二列のボール2を介し
て組みつけられる摺動台3と、から構成される。摺動台
3は軌道レール1を跨ぐように配置される下面側が開い
た断面コ字形状のブロック体で、上面部31と、この上
面部31の左右両端から下方に伸びる左右スカート部3
2,33と、から構成されている。そして、軌道レ−ル
1の左右両側面と対向する摺動台3の左右両スカート部
32,33内側面に、それぞれ転動体転動溝4,5が形
成されており、ボール2はこの転動体転動溝4,5間に
転動自在に介在されている。そして、この軌道レール1
と摺動台3の少なくともいずれか一方に、転動体転動溝
4,5間の間隔を調整する予圧調整用伸縮部6を設けて
いる。この予圧調整用伸縮部6は、転動体転動溝4,5
間の間隔を拡大縮小する方向に伸縮可能で、転動体転走
溝4,5間の間隔を可変制御することにより予圧量を制
御するようになっている。そして、予圧調整用伸縮部6
には、予圧量を検出するための予圧検出手段9が設けら
れている。この予圧検出手段9については、代表例とし
て図3(a) にのみ図示するものとする。
(b) に示すように摺動台3側に設ける場合と、図3(c)
に示すように軌道レール1側に設ける場合がある。
伸縮する予圧調整用伸縮部6を設けたものであり、予圧
調整用伸縮部6を収縮させることにより、予圧を付与す
るようになっている。
3に左右に伸縮する予圧調整用伸縮部6を形成したもの
である。
部6を軌道レール1に設けたものである。すなわち、予
圧調整用伸縮部6を伸長させることで、左右のボール2
に予圧を付与する。
ールに予圧を付与するようにしたものである。すなわ
ち、予圧調整用伸縮部6を伸縮作動させることによって
摺動台3を軌道レール1の回りに回転させるモーメント
を作用させ、左右のボールの転動体転走溝4,5間が狭
まる方向に加圧してボール2に予圧を付与するようにし
たものである。
Aの概略斜視図である。
面に上下二列づつ計4列のボール2を有する直線運動用
案内装置、特に左右2列ずつのボール2が軌道レール1
の左右側面に突出形成した突堤部7を上下から挟むよう
に配置されるタイプの直線運動用案内装置に、予圧調整
用伸縮部6を形成する場合の各種変形例を示す。
もので、摺動台3の上面部31に左右に伸縮する予圧調
整用伸縮部6を設けたものである。
2,33に上下に伸縮する予圧調整用伸縮部6を設けた
もので、予圧調整用伸縮部6を収縮させることで上下の
ボール2に予圧を付与している。
伸縮する予圧調整用伸縮部6を形成したもので、この予
圧調整用伸縮部6を伸長させることで上下のボール2に
予圧を付与するようになっている。
3に左右に伸縮する予圧調整用伸縮部6を設けたもので
あり、図3(b) に示す例と同様である。
予圧調整用伸縮部6を設けたもので、図3(c) と同様で
ある。
予圧調整用伸縮部6を設けたもので、この予圧調整用伸
縮部6を伸長させることにより、上下のボール2に予圧
を付与するようになっている。
ル1の左右側面に上下二列づつ計4列のボール2を有す
る直線運動用案内装置であるが、この例は特に左右2列
ずつのボール2が摺動台3の左右のスカート部32,3
3の内側面に形成した突堤部左右の今Mス軌道レール1
の左右側面に突出形成した突堤部8を上下から挟むよう
に配置されるタイプの直線運動用案内装置に、予圧調整
用伸縮部6を形成する場合の各種変形例を示す。
もので、摺動台3の上面部31に左右に伸縮する予圧調
整用伸縮部6を設けたものである。
左右スカート部32,33に上下に伸縮する予圧調整用
伸縮部6を設けたもので、予圧調整用伸縮部6を伸長さ
せることで上下のボール2に予圧を付与している。
伸縮する予圧調整用伸縮部6を形成したもので、この予
圧調整用伸縮部6を収縮させることで上下のボール2に
予圧を付与するようになっている。
3に左右に伸縮する予圧調整用伸縮部6を設けたもので
あり、図3(b) に示す例と同様である。
予圧調整用伸縮部6を設けたもので、図3(c) と同様で
ある。
予圧調整用伸縮部6を設けたもので、この予圧調整用伸
縮部6を伸長させることにより、上下のボール2に予圧
を付与するようになっている。予圧検出手段7として
は、図6(a) に示すように予圧調整用伸縮部6の変位を
検出する変位検出手段10を用い、予圧に対応する変位
から予圧を検出するものと、図6(b) に示すように、予
圧調整用伸縮部6に加わる荷重を検出する力検出手段1
1を用い、予圧に対応する軸方向荷重から予圧を検出も
のがある。
基本構成を示すもので、いずれの例も、予圧調整方向に
弾性変形可能でかつその他の方向には剛な弾性部材12
と、この弾性部材12を軸方向に伸縮させるための微小
変位手段13と、を備えている。図7(a) に示す例は、
弾性部材12と微小変位手段13を互いに並べて設けた
ものである。図7(b) に示す例は、摺動台3あるいは軌
道レール1の予圧調整用伸縮部6を介して互いに対向す
る対向端部14,15間には弾性部材12のみを介在さ
せ、対向端部14,15に設けた第1,第2フランジ部
14a,15aに係合する連結部材16を用いたもので
ある。すなわち、連結部材16の両端には、対向端部1
4,15の第1,第2フランジ部14a,15aと対向
するように第1,第2座部16a,16bが突出してお
り、第1,第2座部16a,16bの内の一方の座部、
図示例では第2座部16bを第2フランジ部15aに固
定し、第1座部16aと第1フランジ部14aとの間に
微小変位手段13を介在させている。もちろん、微小変
位手段13を第2座部12bと第2フランジ部15a間
に介在させる構成としてもよい。この微小変位手段13
は、指令値を与えると指令値に比例して伸縮する手段で
あり、たとえば、圧電素子または電歪素子の他に、物体
の熱膨張を利用して伸縮される熱アクチュエータや、図
7(c) ,(d) に示すような流体圧によって伸縮するアク
チュエータ13a、その他ボイスコイルや磁歪素子を用
いたアクチュエータ等、要するに指令値に基づいて指令
値に比例して伸縮する各種アクチュエータを適用するこ
とができる。図7(e) は、弾性部材の一例を示してい
る。この弾性部材12Aは平板形状の薄肉部によって構
成される板ばねであり、形状的に予圧調整のための伸縮
方向に弾性変形可能でかつその他の方向に剛な構造にな
っている。変位検出手段10としては、たとえば、図8
(a) に示すようなひずみゲージ等の抵抗式センサ10
a、同図(b) に示すような圧電素子や電歪素子等を用い
て変位を電圧変化として検出する電圧式センサ10b、
同図(c) に示すような作動トランスやうず電流センサ等
の電磁誘導式センサ10c、同図(d) に示すような静電
容量式のセンサ10d、同図(e) に示すような光りファ
イバ等を用いた光干渉方式のセンサ10e等、微小変位
を検出可能な公知の種々のセンサを用いることができ
る。また、図8(f) , (g)には力検出手段11の一例を
示している。すなわち、図8(f) に示すものは、軸方向
荷重に応じて軸方向に弾性変形する弾性部材11bと、
この弾性部材11bの歪み量を検出する抵抗式センサ1
0aと、から構成されており、弾性部材11bの歪み量
の検出値から軸方向荷重を検出するものである。
この弾性部材11bと並べて配置される圧電素子11c
とから構成したものである。 もちろん、力検出手段と
しては、この図示例の他種々の検出手段を用いることが
できる。図9は本発明の第1の具体例を示している。
もので、予圧調整用伸縮部6の構成として図7(a) の構
成を採用したものである。すなわち、摺動台3を摺動台
本体3Aと摺動台本体3Aの外周を取り囲む外枠部材1
7とから構成し、摺動台本体3Aの上面部31に図7
(e) に示したような板ばね状の弾性部材12Aを介在さ
せ、この弾性部材12Aに変位検出手段としての抵抗式
センサ10aが貼着されている。そして、外枠部材17
内側面と摺動台本体3Aの左右スカート部32,33の
背面との間に圧電素子等の微小変位手段13が介在され
ている。
示している。すなわち、圧電素子等の微小変位手段13
を動作させるため、指令値をアナログ信号に変換するD
/Aコンバータ200と、この信号を増幅するドライブ
アンプ201と、弾性部材12に張りつけられた抵抗式
センサ10aの抵抗値を読むためのストレインアンプ2
02と、ストレインアンプ102から出力されたアナロ
グの検出値をディジタル信号に変換するA/Dコンバー
タ203と、それを処理しコントロールする演算回路1
04と、から構成されている。そして、抵抗式センサ1
0aによって予圧状態を常時モニタし、検出値を演算回
路204にフィードバックして適切な予圧状態となるよ
うに圧電素子等の微小変位手段11を制御する。
センサ10aからのアナログ情報をディジタル情報に変
換しないで、直接アナログ情報のままで比較するように
クローズドループを構成することもできる。
情報は、荷重変化等の動特性変化に対応して変化するの
で、この検出情報を動特性情報として動特性の制御に用
いることができる。
る。
もので、予圧調整用伸縮部の構成として図8(b) の構成
を採用したものである。すなわち、摺動台3の左右スカ
ート部32,33に上下方向に伸縮する弾性部材12を
介在させている。また、摺動台3の上面部31左右両端
から下方に向かって側板18,18が延びており、この
側板18,18の下端に内向きに屈曲して左右スカート
部32,33の下面に対向する係合座部18a,18a
が設けられ、この係合座部18aと左右スカート部3
2,33下面の間に微小変位手段13,13が介在され
ている。
る。
もので、予圧調整用伸縮部の構成として図6(a) の構成
を採用したものである。すなわち、摺動台3は、左右に
配されるボール2,2,2,2のうち、上側のボール
2,2が転動するボール転動溝4,4を有するレース部
材19と、このレース部材19を取り囲むように設けら
れる断面略リップ付きコ字形断面の外枠20と、から構
成され、このレース部材19と外枠20の上面部21の
間に、弾性部材12と微小変位手段13が介在されてい
る。
この例は図4(e) に示す基本構成を具体化したものであ
る。すなわち、軌道レール1を左右のボール転動溝5,
5を分離するように縦割りに分割し、この軌道レール1
の左右半体1A,1Aの間に微小変位手段13を介在さ
せたものである。
る。
道レール1を完全に分離しないで、軌道レール1に縦溝
1Aを設けて左右に弾性変形可能とし、縦溝1Aに微小
変位手段13を介在させたものである。そして、微小変
位手段13として軌道レール1よりも熱膨張率の高い異
材質の熱アクチュエータを用い、軌道レール1との接触
部には断熱材を介在させている。この熱アクチュエータ
13Aの材質としては、たとえば軌道レール1が鉄系の
材料の場合にアルミ系材料が用いられる。
る。
もので、予圧調整用伸縮部の構成として図7(e) の構成
を採用したものである。この摺動台3は、ボール摺動台
本体部と予圧調整用伸縮部が分離され別体構成となって
いる。
するボールは、軌道レールの右側方に突出形成される突
堤1Aと、この突堤1Aの下面と対向して設けられる摺
動台本体31の左スカート部32に形成されるリップ部
34の間に介装されている。一方、軌道レール1の図中
右側に位置するボール2は、軌道レール1上面の右側縁
に形成された転動体転動溝5と、摺動台本体31下面に
形成された転動体転動溝4間に介在されている。
(e) の板ばね状の弾性部材12と変位手段13とが並列
して設けられた構成で、変位手段13の位置を図中右側
ボール2の方に近づけてある。
と、摺動台本体31を軌道レール1回りに図中時計回り
に回転させようとするモーメントが作用することにな
り、左側のボールが2介在される転動体転動溝4,5間
の間隔および、右側のボール2が介在される転動体転動
溝4,5間の間隔を狭められて予圧が大きくなる。
る。
体例の変形例に相当するもので、第3具体例と異なり、
予圧調整用伸縮部6を流体圧アクチュエータのみにより
構成したものである。
付けられる取付台部21を設け、この取付台部21と、
外枠20内に設けられるレース部材19を連結部材22
を介して一体的に連結している。この連結部材22は、
外枠22に設けられるガイド孔23に流体密の状態で摺
動自在に挿入されており、レース部材19と外枠20の
間に油等の流体室24を形成している。そして、流体室
24に油等の所定圧の流体25を封入し、この流体圧を
制御することによってレース部材19と外枠20との締
めつけ力を変化させて、予圧量を制御するものである。
を可変とすることによって、静的に剛性を適切な値に制
御するだけでなく動剛性を可変にして、走行状態では予
圧を軽減させて軽快に高速で動けるようにし、停止後は
予圧を大きくして剛性を大きくするように制御すること
が可能である。
転動体転走溝4,5は、図17(a)に示すような2点で
接触する断面円弧状のサーキュラアーク溝よりも、同図
(b)に示すような4点で接触するゴシックアーチ溝の構
成とすることが好ましい。もっとも、ゴシックアーチ溝
に限定されるものではない。
ルと摺動台の少なくとも一方に設けた予圧調整用伸縮部
を伸縮させるようにしたので、予圧を適切な値に調整す
ることができる。
出し、伸縮部を伸縮させて予圧を調整することにより、
予圧状態を正確に制御することができる。
システムのシステム構成を示す図、同図(b) は動剛性制
御用の摺動台を設けた直線送り装置の平面図、同図(c)
は直線運動用案内装置の一例を模式的に示す断面図であ
る。
圧を変化させた場合の送り装置に加える加振周波数と送
り装置の振幅の関係を示すグラフ、同図(b) ,(c) は予
圧を加えない場合と予圧を加えた場合の制定時間を示す
グラフ、同図(d) は位置決め字のオーバーシュート状態
を示す図である。
案内装置の概念構成を示す図、同図(e) は概略斜視図で
ある。
する可変予圧直線運動用案内装置の各種変形例の概念構
成を示す図である。
る他の可変予圧直線運動用案内装置の各種変形例を示す
概念構成を示す図である。
用いた場合の予圧調整用伸縮部近傍の構成図、同図(b)
は予圧検出手段として力検出手段を用いた場合の予圧調
整用伸縮部近傍の構成図である。
図、同図(b) は連結部材を用いた予圧調整用伸縮部の構
成を示す図、同図(c) ,(d) は微小変位手段として流体
圧シリンダを用いた場合の概略構成を示す図、同図(e)
は弾性部材の一例を示す要部断面図である。
式的に示す構成図である。
第1の具体例を示す概略断面図である。
る。
置の第2の具体例を示す概略断面図である。
置の第3の具体例を示す概略断面図である。
置の第4の具体例を示す概略断面図である。
置の第5の具体例を示す概略断面図である。
置の第6の具体例を示す概略断面図である。
置の第7の具体例を示す概略断面図である。
同図(b) はゴシックアーチ溝の断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 軌道レールと、該軌道レールに沿って摺
動自在に設けられる摺動台と、前記軌道レールと摺動台
に設けられた互いに対向する転動体転走溝間に介在され
る転動体と、前記摺動台に取りつけられるテーブル等の
被送り部材と、該被送り部材を駆動する駆動系と、を備
えた直線送り装置において、 前記転動体に加える予圧を調整することによって直線運
動装置の動特性を変化させることを特徴とする直線送り
装置の動特性制御システム。 - 【請求項2】 軌道レールと摺動台の少なくともいずれ
か一方に、転動体が介在される相対する転動体転走溝間
の間隔を調整可能とする予圧調整用伸縮部を設け、該予
圧調整用伸縮部を伸縮させることにより予圧を調整する
請求項1に記載の直線送り装置の動特性制御システム。 - 【請求項3】 摺動台は複数設けられ、該複数の摺動台
のうち少なくとも一つの摺動台に予圧調整用伸縮部を設
けた請求項1または2に記載の直線送り装置の動特性制
御システム。 - 【請求項4】 動特性は外力に対する変位振幅の比であ
る動剛性であり、動作状態に応じて動剛性を可変とする
請求項1,2または3に記載の直線送り装置の動特性制
御システム。 - 【請求項5】 動特性は外部から加えられた振動を吸収
する特性である減衰性であり、予圧を大きくすることに
よって外力に対する減衰性を高め位置決め制定時間を短
くする請求項1,2または3に記載の直線送り装置の動
特性制御システム。 - 【請求項6】 動特性は直線送り装置の固有振動数であ
り、予圧を大きくすることによって固有振動数を高くし
て共振点をずらす請求項1,2または3に記載の直線送
り装置の動特性制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4115302A JP2522741B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 直線送り装置の動特性制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4115302A JP2522741B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 直線送り装置の動特性制御システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05285758A true JPH05285758A (ja) | 1993-11-02 |
JP2522741B2 JP2522741B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=14659272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4115302A Expired - Lifetime JP2522741B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 直線送り装置の動特性制御システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2522741B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014027061A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Nsk Ltd | 位置決め装置、露光装置及び工作機械 |
JP2015094382A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | 三菱重工業株式会社 | 軸受装置、アタッチメント、及び工作機械 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03221337A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-30 | Toyoda Mach Works Ltd | 工作機械の送り案内における予圧自動調整装置 |
-
1992
- 1992-04-09 JP JP4115302A patent/JP2522741B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03221337A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-30 | Toyoda Mach Works Ltd | 工作機械の送り案内における予圧自動調整装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014027061A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Nsk Ltd | 位置決め装置、露光装置及び工作機械 |
JP2015094382A (ja) * | 2013-11-08 | 2015-05-18 | 三菱重工業株式会社 | 軸受装置、アタッチメント、及び工作機械 |
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Publication number | Publication date |
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JP2522741B2 (ja) | 1996-08-07 |
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