JPH05284697A - Coil body and manufacture thereof - Google Patents
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- JPH05284697A JPH05284697A JP7749192A JP7749192A JPH05284697A JP H05284697 A JPH05284697 A JP H05284697A JP 7749192 A JP7749192 A JP 7749192A JP 7749192 A JP7749192 A JP 7749192A JP H05284697 A JPH05284697 A JP H05284697A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、例えば回転電動機や
リニアモータ等の電磁界応用機器の電機子、固定子等や
小型変圧器等に用いられるコイル体およびその製造方法
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coil body used for an armature of an electromagnetic field application device such as a rotary motor or a linear motor, a stator or the like, a small transformer or the like, and a method for manufacturing the coil body.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図９の（ａ）および（ｂ）はそれぞれ従
来のラジアルギャップタイプの電動機のコイル体の一例
を示す断面図および平面図であり、図において２０は回
転軸、２１は接合部材、２２はスロット、２３はコア、
２４はロータ、２５はハウジング、２６は軸受、２７は
絶縁被覆された金属ワイヤからなるコイル、２８は永久
磁石からなるステータである。9 (a) and 9 (b) are a cross-sectional view and a plan view showing an example of a coil body of a conventional radial gap type electric motor, in which 20 is a rotating shaft and 21 is a joining member. , 22 is a slot, 23 is a core,
Reference numeral 24 is a rotor, 25 is a housing, 26 is a bearing, 27 is a coil made of an insulating coated metal wire, and 28 is a stator made of a permanent magnet.
【０００３】つぎに、上記従来の電動機のコイル体の製
造方法について説明する。まず、回転軸２０に接合部材
２１が固定され、さらにこの接合部材２１に、複数のス
ロット２２を有するコア２３が固定され、ロータ２４を
構成する。このコア２３の外周には、コイル２７が複数
回巻回されて、コイル体を構成している。一方、ハウジ
ング２５には、ロータ２４を回転支持する軸受２６が固
定されるとともに、ステータ２８がラジアル方向に磁束
を発生する磁極が回転軸２０の円周方向に等角度の間隔
となるようにロータ２４の外側に配設固定されている。
ついで、ハウジング２５にロータ２４を軸受２６により
回転自在に取り付けている。Next, a method of manufacturing the coil body of the conventional electric motor will be described. First, the joining member 21 is fixed to the rotating shaft 20, and the core 23 having the plurality of slots 22 is further fixed to the joining member 21 to form the rotor 24. A coil 27 is wound around the core 23 a plurality of times to form a coil body. On the other hand, a bearing 26 that rotatably supports the rotor 24 is fixed to the housing 25, and the rotor 28 is arranged so that the magnetic poles that generate magnetic flux in the radial direction of the stator 28 are equiangularly spaced in the circumferential direction of the rotating shaft 20. It is disposed and fixed to the outside of 24.
Then, the rotor 24 is rotatably attached to the housing 25 by the bearing 26.
【０００４】このように製造された電動機は、コイル２
７への給電によって、ラジアル方向に磁界を発生させて
交番磁界をつくり、ロータ２４を回転させている。The electric motor manufactured in this way has a coil 2
By feeding power to 7, a magnetic field is generated in the radial direction to create an alternating magnetic field, and the rotor 24 is rotated.
【０００５】しかし、上記従来の電動機のコイル体は、
コア２３とコイル２７との間に無駄なスペースができ、
電動機を小型化できない、さらにコア２３の形状が複雑
であり、アキシャルタイプの電動機のコイル体の製造に
用いられる方法、つまり作業ボビンにあらかじめコイル
２７を巻回し、これをコア２３に移設する方法が用いら
れず、巻線作業が難しいという欠点あった。However, the coil body of the above conventional electric motor is
There is a wasted space between the core 23 and the coil 27,
It is not possible to downsize the electric motor, and the shape of the core 23 is complicated. A method used for manufacturing a coil body of an axial type electric motor, that is, a method in which the coil 27 is wound around a work bobbin in advance and is transferred to the core 23 is There was a drawback that it was not used and winding work was difficult.
【０００６】その改善策として、コア２３を巻線部と非
巻線部とに分割する構造の電動機のコイル体が提案され
ている。As a countermeasure for the problem, a coil body of an electric motor having a structure in which the core 23 is divided into a winding portion and a non-winding portion is proposed.
【０００７】図１０は例えば特開昭５８−８９０４２号
公報に記載された従来のラジアルギャップタイプの電動
機のコイル体の他の例を示す要部断面図である。図にお
いて、２９は巻線部、２９ａはこの巻線部２９の内周部
に設けられた凸部、３０は非巻線部、３０ａはこの非巻
線部３０の外周部に設けられ、巻線部２９の内周部に設
けられた凸部２９ａと嵌合する凹部である。図１０に示
した従来の電動機のコイル体は、作業ボビンにコイル２
７を巻回した後、巻線部２９の内側から巻回したコイル
２７を挿入し、その後凸部２９ａに凹部３０ａを嵌合せ
しめ、巻線部２９と非巻線部３０とを一体化してコイル
体を形成している。FIG. 10 is a cross-sectional view of an essential part showing another example of a coil body of a conventional radial gap type electric motor described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 58-89042. In the figure, 29 is a winding portion, 29a is a convex portion provided on an inner peripheral portion of the winding portion 29, 30 is a non-winding portion, and 30a is provided on an outer peripheral portion of the non-winding portion 30. It is a concave portion that fits with a convex portion 29 a provided on the inner peripheral portion of the line portion 29. The coil body of the conventional electric motor shown in FIG.
After winding 7, the coil 27 wound from the inside of the winding portion 29 is inserted, and then the concave portion 30a is fitted into the convex portion 29a to integrate the winding portion 29 and the non-winding portion 30. It forms a coil body.
【０００８】図１１の（ａ）および（ｂ）はそれぞれ従
来のラジアルギャップタイプの電動機のコイル体のさら
に他の例を示すコアの平面図および要部平面図である。
図１１に示した従来の電動機のコイル体は、作業ボビン
にコイル２７を巻回した後、巻線部２９の外側から巻回
したコイル２７を挿入し、その後凸部２９ａに凹部３０
ａを嵌合せしめ、巻線部２９と非巻線部３０とを一体化
してコイル体を形成している。FIGS. 11 (a) and 11 (b) are a plan view and a plan view of a main portion of a core showing still another example of a coil body of a conventional radial gap type electric motor, respectively.
In the coil body of the conventional electric motor shown in FIG. 11, after winding the coil 27 around the work bobbin, the coil 27 wound from the outside of the winding portion 29 is inserted, and then the concave portion 30 is formed in the convex portion 29a.
a is fitted and the winding portion 29 and the non-winding portion 30 are integrated to form a coil body.
【０００９】このように、コア２３を巻線部２９と非巻
線部３０とに分割した構造の従来の電動機のコイル体で
は、あらかじめ作業ボビンに巻回したコイル２７をコア
２３に移設することができ、コイル体を簡便に作製する
ことができる。As described above, in the coil body of the conventional electric motor having the structure in which the core 23 is divided into the winding part 29 and the non-winding part 30, the coil 27 previously wound around the work bobbin is transferred to the core 23. Therefore, the coil body can be easily manufactured.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】従来の電動機のコイル
体は以上のように、巻線によって作製され、すなわち、
絶縁被覆された金属ワイヤからなるコイル２７を巻線機
で巻くことで作製されているので、小型化にともなって
単位空間当たりのコイル２７導体の占める割合（占有
率）が小さくなり効率が低下してしまい、あるいは作業
ボビンに巻回した後コア２３に挿入する際に、コイル２
７のハンドリングのためにコイル線径が小さくなるにし
たがってコイル２７の絶縁被膜の破壊が生じてしまい、
小型化を図るとともに、ある程度の出力が得られる機器
を製造することができないという課題があった。As described above, the coil body of the conventional electric motor is manufactured by the winding, that is,
Since it is manufactured by winding the coil 27 made of a metal wire coated with insulation with a winding machine, the ratio (occupancy rate) of the coil 27 conductor per unit space becomes smaller and the efficiency is reduced as the size is reduced. The coil 2 when it is inserted into the core 23 after being wound around the work bobbin.
As the coil wire diameter decreases due to the handling of No. 7, the insulation coating of the coil 27 is destroyed,
There is a problem in that it is not possible to manufacture a device that achieves a certain output while achieving miniaturization.
【００１１】また、ロータ２４やステータ２８の磁気的
飽和を防止し、漏洩磁束を少なくしようとすると、ロー
タ２４やステータ２８の形状が一層複雑となり、巻線作
業が困難となってしまい、コア２３を分割して巻線をす
る場合でも、直径が数ミリ以下のマイクロモータ等では
コイル２７の線径が数十ミクロン以下となるために、部
品の嵌合やハンドリングが困難となり、分割したコア２
３の嵌合時にコア２３の絶縁不良が生じて、コイル給電
時に渦電流が発生して効率が著しく低下してしまうとい
う課題もあった。If it is attempted to prevent magnetic saturation of the rotor 24 or the stator 28 and reduce the leakage flux, the shapes of the rotor 24 and the stator 28 become more complicated, and the winding work becomes difficult, and the core 23 becomes difficult. Even when the winding is divided into several parts, the wire diameter of the coil 27 is less than several tens of microns in a micromotor or the like having a diameter of several millimeters or less, which makes fitting and handling of parts difficult, and thus the divided core 2
There was also a problem that the insulation failure of the core 23 occurred during the fitting of No. 3, and an eddy current was generated during coil power feeding, resulting in a significant decrease in efficiency.
【００１２】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、単位空間当たりのコイルの占有
率が大きく、高効率の電磁界応用機器に用いられるコイ
ル体およびその製造方法を得ることを目的とする。ま
た、機器の小型化にともなってコイル径が小さくなって
も、ハンドリングにともなう絶縁不良を防止し、所定の
出力が得られる機器のコイル体およびその製造方法を得
ることを目的とする。さらに、ロータやステータが複雑
な形状を有しても、コイルの占有率が大きく、漏洩磁束
が小さく、高効率化が図られ、特に直径が数ミリ以下の
超小型の電磁界応用機器の高効率化や高出力化を達成で
きるコイル体およびその製造方法を得ることを目的とす
る。The present invention has been made in order to solve the above problems, and has a large coil occupancy rate per unit space, and a coil body used in a highly efficient electromagnetic field application device and a method for manufacturing the same. The purpose is to get. It is another object of the present invention to provide a coil body of a device that can prevent insulation failure due to handling even if the coil diameter becomes smaller as the device becomes smaller and a predetermined output can be obtained, and a manufacturing method thereof. Furthermore, even if the rotor or stator has a complicated shape, the coil occupancy is large, the leakage magnetic flux is small, and high efficiency is achieved, especially for the ultra-compact electromagnetic field application equipment with a diameter of several millimeters or less. It is an object of the present invention to obtain a coil body and a method for manufacturing the same that can achieve higher efficiency and higher output.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】この発明の第１の発明に
係るコイル体は、鉄心と、この鉄心のコア間に充填され
た絶縁性材料と、この絶縁性材料に設けられた複数の導
電路と、鉄心の両端面に設けられ、複数の導電路の端部
同士を直列に接続する接続導電部とを備え、鉄心のコア
回りに巻回する１本のコイル線を形成するものである。A coil body according to a first aspect of the present invention is an iron core, an insulating material filled between cores of the iron core, and a plurality of conductive materials provided in the insulating material. And a connecting conductive portion that is provided on both end surfaces of the iron core and that connects end portions of a plurality of conductive paths in series to form one coil wire wound around the core of the iron core. ..
【００１４】また、この発明の第２の発明に係るコイル
体の製造方法は、鉄心部材を鉄心形状にエッチングして
鉄心を形成し、この鉄心のコア間に絶縁性材料を充填
し、この絶縁性材料に複数の貫通孔を形成し、複数の貫
通孔内に導電性材料を充填して複数の導電路を形成した
後、コア回りに１本のコイル線が巻回するように複数の
導電路を直列に接続してコイル体を製造するものであ
る。In the coil body manufacturing method according to the second aspect of the present invention, the iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, and an insulating material is filled between the cores of the iron core. After forming a plurality of through holes in the conductive material and filling the plurality of through holes with a conductive material to form a plurality of conductive paths, a plurality of conductive wires are formed so that one coil wire is wound around the core. The coil body is manufactured by connecting the paths in series.
【００１５】また、この発明の第３の発明に係るコイル
体は、鉄心、この鉄心のコア間に充填された絶縁性材料
およびこの絶縁性材料に設けられた複数の導電路からな
る鉄心ブロックが複数積層され、かつ、隣合う鉄心ブロ
ックの導電路同士が電気的に接続されてなる鉄心ブロッ
ク積層体と、この鉄心ブロック積層体の両端面に設けら
れ、複数の導電路の端部同士を直列に接続する接続導電
部とを備え、コア回りに巻回する１本のコイル線を形成
するものである。In the coil body according to the third aspect of the present invention, an iron core block including an iron core, an insulating material filled between cores of the iron core, and a plurality of conductive paths provided in the insulating material is provided. An iron core block laminate in which a plurality of electrically conductive paths of adjacent iron core blocks are electrically connected to each other, and the end portions of the plurality of electrically conductive paths are provided in series on both end surfaces of the iron core block laminated body. And a connection conductive portion connected to the core, and forms one coil wire wound around the core.
【００１６】また、この発明の第４の発明に係るコイル
体の製造方法は、鉄心部材を鉄心形状にエッチングして
鉄心を形成し、この鉄心のコア間に絶縁性材料を充填
し、この絶縁性材料に複数の貫通孔を形成し、複数の貫
通孔内に導電性材料を充填して複数の導電路を形成して
鉄心ブロックを形成した後、この鉄心ブロックを導電路
同士が接続されるように複数積層して接合して鉄心ブロ
ック積層体を形成し、その後コア回りに１本のコイル線
が巻回するように鉄心ブロック積層体の両端面で導電路
同士を直列に接続してコイル体を製造するものである。Also, in the coil body manufacturing method according to the fourth aspect of the present invention, the iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, and an insulating material is filled between the cores of the iron core. After forming a plurality of through holes in the conductive material, filling the plurality of through holes with a conductive material to form a plurality of conductive paths to form an iron core block, the iron core blocks are connected to each other. To form an iron core block laminated body, and then connect the conductive paths in series on both end faces of the iron core block laminated body so that one coil wire is wound around the core to form a coil. The body is manufactured.
【００１７】また、この発明の第５の発明に係るコイル
体は、磁性材料からなる磁性膜と絶縁性材料からなる絶
縁膜とを交互に積層してなる積層膜で鉄心を構成するも
のである。In the coil body according to the fifth aspect of the present invention, the iron core is composed of a laminated film formed by alternately laminating a magnetic film made of a magnetic material and an insulating film made of an insulating material. ..
【００１８】さらに、この発明の第６の発明に係るコイ
ル体の製造方法は、基板上に形成された鉄心材料をエッ
チングして鉄心を形成し、鉄心のコア間に絶縁性材料を
充填し、この絶縁性材料に複数の貫通孔を形成し、複数
の貫通孔内に導電性材料を充填して複数の導電路を形成
して基板上に鉄心ブロックを形成し、さらに鉄心ブロッ
クの周囲に支持用簗を設けた後、基板を分離し、ついで
鉄心ブロックが一括支持された支持用簗を鉄心ブロック
が対向するように重ねあわせ、対向する導電路同士が接
続されるように接合して鉄心ブロック積層体を形成し、
その後コア回りに１本のコイル線が巻回するように鉄心
ブロック積層体の両端面で導電路同士を直列に接続して
コイル体を製造するものである。Further, in the method for manufacturing a coil body according to the sixth aspect of the present invention, the iron core material formed on the substrate is etched to form the iron core, and the insulating material is filled between the cores of the iron core. A plurality of through holes are formed in this insulating material, a conductive material is filled in the plurality of through holes to form a plurality of conductive paths to form an iron core block on the substrate, and further, supported around the iron core block. After providing the coil, the board is separated, and then the supporting blocks with the core blocks collectively supported are stacked so that the core blocks face each other, and the core blocks are joined so that the opposite conductive paths are connected to each other. Forming a laminate,
After that, the conductive paths are connected in series on both end faces of the core block laminated body so that one coil wire is wound around the core to manufacture the coil body.
【００１９】[0019]
【作用】この発明の第１の発明においては、鉄心と、こ
の鉄心のコア間に充填された絶縁性材料と、この絶縁性
材料に設けられた複数の導電路と、鉄心の両端面に設け
られ、複数の導電路の端部同士を直列に接続する接続導
電部とを備え、鉄心のコア回りに巻回する１本のコイル
線を形成しているので、機器の小型化、ロータ等の形状
によらず、単位空間当たりのコイル占有率を大きくで
き、コイル体の高効率化、高出力化、小型化が図られ
る。In the first aspect of the present invention, the iron core, the insulating material filled between the cores of the iron core, the plurality of conductive paths provided in the insulating material, and the both end surfaces of the iron core are provided. And a connecting conductive portion that connects the ends of a plurality of conductive paths in series and forms one coil wire that is wound around the core of the iron core. The coil occupancy rate per unit space can be increased irrespective of the shape, and the efficiency, output and size of the coil body can be improved.
【００２０】また、この発明の第２の発明においては、
鉄心部材を鉄心形状にエッチングして鉄心を形成し、こ
の鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、この絶縁性材料
に複数の貫通孔を形成し、複数の貫通孔内に導電性材料
を充填して複数の導電路を形成した後、コア回りに１本
のコイル線が巻回するように複数の導電路を直列に接続
してコイル体を製造しているので、巻線作業にともなう
コイル切れ等の不都合の発生を抑えることができ、高い
導体占有率を有し、高効率、高出力および小型の微小コ
イル体を高信頼性で容易に製造することができる。In the second invention of the present invention,
An iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, an insulating material is filled between the cores of the iron core, a plurality of through holes are formed in the insulating material, and a conductive material is provided in the plurality of through holes. After filling to form a plurality of conductive paths, a plurality of conductive paths are connected in series so that one coil wire is wound around the core to manufacture a coil body, which is accompanied by winding work. It is possible to suppress the occurrence of inconveniences such as coil breakage, have a high conductor occupancy rate, and easily manufacture a highly efficient, high output, and small micro coil body with high reliability.
【００２１】また、この発明の第３の発明においては、
鉄心ブロックを積層して鉄心ブロック積層体を構成して
いるので、長い導電路を構成することができ、より高出
力化を図ることができる。In the third aspect of the present invention,
Since the iron core blocks are laminated to form the iron core block laminate, a long conductive path can be formed, and higher output can be achieved.
【００２２】また、この発明の第４の発明においては、
鉄心部材を鉄心形状にエッチングして鉄心を形成し、こ
の鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、この絶縁性材料
に複数の貫通孔を形成し、複数の貫通孔内に導電性材料
を充填して複数の導電路を形成して鉄心ブロックを形成
した後、この鉄心ブロックを導電路同士が接続されるよ
うに複数積層して接合して鉄心ブロック積層体を形成
し、その後コア回りに１本のコイル線が巻回するように
鉄心ブロック積層体の両端面で導電路同士を直列に接続
してコイル体を製造しているので、長い導電路を有し、
より高出力の微小コイル体を製造することができる。In the fourth invention of the present invention,
An iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, an insulating material is filled between the cores of the iron core, a plurality of through holes are formed in the insulating material, and a conductive material is provided in the plurality of through holes. After filling and forming a plurality of conductive paths to form an iron core block, a plurality of the iron core blocks are laminated and joined so that the conductive paths are connected to each other to form an iron core block laminated body, and then around the core. Since the coil body is manufactured by connecting the conductive paths in series on both end surfaces of the iron core block laminated body so that one coil wire is wound, a long conductive path is provided,
It is possible to manufacture a fine coil body with higher output.
【００２３】また、この発明の第５の発明においては、
磁性膜と絶縁膜とを交互に積層してなる積層膜で鉄心を
構成しているので、鉄心内の渦電流損を抑制し、渦電流
損に起因する効率低下を抑えることができる。According to the fifth aspect of the present invention,
Since the iron core is composed of the laminated film formed by alternately laminating the magnetic film and the insulating film, it is possible to suppress the eddy current loss in the iron core and suppress the efficiency decrease due to the eddy current loss.
【００２４】さらに、この発明の第６の発明において
は、基板上に形成された鉄心ブロックの周囲に支持用簗
を設けた後、基板を分離して鉄心ブロックと支持用簗と
を一体化しているので、特に微小コイル体を製造する場
合には、鉄心ブロックのハンドリングの際に、鉄心ブロ
ックに応力が加わらず、変形がなく、鉄心ブロックの積
層位置決めが容易に正確に行われ、生産性および歩留ま
りを向上することができる。Furthermore, in the sixth aspect of the present invention, after providing a supporting chest around the iron core block formed on the substrate, the substrate is separated to integrate the iron core block and the supporting chest. Therefore, especially when manufacturing a micro coil body, stress is not applied to the iron core block during handling of the iron core block, there is no deformation, and the iron core blocks can be easily and accurately stacked and positioned, which improves productivity and productivity. The yield can be improved.
【００２５】[0025]
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例１．この実施例１は、この発明の第１、第２およ
び第５の発明に係るコイル体の製造方法の一実施例であ
る。図１の（ａ）〜（ｆ）はそれぞれこの発明の実施例
１を示すコイル体の製造方法における鉄心ブロックの製
造工程図、図２の（ａ）〜（ｆ）はそれぞれこの発明の
実施例１を示すコイル体の製造方法における端部配線工
程図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Example 1. Example 1 is an example of a method for manufacturing a coil body according to the first, second and fifth aspects of the present invention. 1 (a) to 1 (f) are manufacturing process diagrams of an iron core block in a coil body manufacturing method showing Embodiment 1 of the present invention, and FIGS. 2 (a) to 2 (f) are embodiments of the present invention. 3 is an end wiring process diagram in the method for manufacturing the coil body showing No. 1 in FIG.
【００２６】つぎに、上記実施例１におけるコイル体の
製造方法について説明する。まず、鉄系の磁性材料と二
酸化珪素とをターゲットとして、スパッタリングにより
基板１上に９μｍのアモルファスの磁性膜２と１μｍの
絶縁膜３とを交互に複数層成膜し、図１の（ａ）に示す
ように、積層膜４を形成する。ついで、鉄心形状にパタ
ーニングが施されたエッチング用マスク６を用い、図１
の（ｂ）に示すように積層膜４をエッチングして、鉄心
７を形成する。Next, a method of manufacturing the coil body according to the first embodiment will be described. First, by using an iron-based magnetic material and silicon dioxide as a target, a plurality of layers of an amorphous magnetic film 2 of 9 μm and an insulating film 3 of 1 μm are alternately formed on a substrate 1 by sputtering, and FIG. As shown in, the laminated film 4 is formed. Then, using an etching mask 6 having a core-shaped pattern,
The laminated film 4 is etched as shown in FIG.
【００２７】ついで、エッチング用マスク６を除去し、
鉄心７のコア間に絶縁性材料８としての感光性高分子レ
ジストを充填した後、露光、現像、エッチングを施し
て、図１の（ｃ）に示すように、絶縁性材料８の所望の
位置に積層膜４の表面と直交する方向に貫通する複数の
貫通孔９を形成する。その後、貫通孔９内に導電性材料
を充填させ、図１の（ｄ）に示すように、導電路１０を
形成する。ここで、導電路１０を構成する導電性材料
は、例えば金のような軟質で表面に絶縁性被膜を形成し
にくい金属であることが望ましく、シアン化金めっき浴
を使用しためっき、真空蒸着法等の物理的成膜法、ＣＶ
Ｄ等の化学的成膜法を用いて形成することができる。つ
ぎに、図１の（ｅ）に示すように基板１から分離して、
図１の（ｆ）に示す鉄心ブロック１１を作製する。Then, the etching mask 6 is removed,
After filling the photosensitive polymer resist as the insulating material 8 between the cores of the iron core 7, exposure, development and etching are performed, and as shown in FIG. A plurality of through holes 9 are formed in the laminated film 4 so as to penetrate in a direction orthogonal to the surface of the laminated film 4. After that, the through hole 9 is filled with a conductive material to form a conductive path 10 as shown in FIG. Here, it is desirable that the conductive material forming the conductive path 10 is a metal such as gold that is soft and does not easily form an insulating coating on the surface, and plating using a cyanide gold plating bath or a vacuum deposition method. Physical film forming method such as CV
It can be formed by using a chemical film forming method such as D. Next, as shown in (e) of FIG.
An iron core block 11 shown in FIG. 1 (f) is produced.
【００２８】この鉄心ブロック１１に形成された導電路
１０のそれぞれは、図２の（ａ）に示すように、両端で
断線している。そこで、鉄心ブロック１１の端面に蒸
着、塗布あるいは電着等の方法により絶縁性材料１３を
形成した後、リソグラフィー技術を用いて、図２の
（ｂ）に示すように、コンタクトホールを設ける。つい
で、図２の（ｃ）に示すように、蒸着やめっき等の方法
により接続導電部としての導電性材料１４を形成した
後、エッチング用マスク６を用い所望のパターンにエッ
チングして、図２の（ｄ）に示すように、所望の導電路
１０同士を接続する。Each of the conductive paths 10 formed in the iron core block 11 is broken at both ends as shown in FIG. 2 (a). Therefore, after the insulating material 13 is formed on the end surface of the iron core block 11 by a method such as vapor deposition, coating, or electrodeposition, a contact hole is provided using a lithography technique as shown in FIG. Then, as shown in FIG. 2C, after forming the conductive material 14 as the connection conductive portion by a method such as vapor deposition or plating, the conductive material 14 is etched into a desired pattern using the etching mask 6, As shown in (d), the desired conductive paths 10 are connected to each other.
【００２９】さらに、蒸着、塗布あるいは電着等の方法
により絶縁性材料１３を形成した後、リソグラフィー技
術を用いて、図２の（ｅ）に示すように、コンタクトホ
ールを設ける。その後、蒸着やめっき等の方法により導
電性材料を形成した後、エッチング用マスク６を用い所
望のパターンにエッチングして、図２の（ｆ）に示すよ
うに、所望の導電路１０同士を接続する。このようにし
て、コアの周りを１本のコイル線が巻回するように、鉄
心ブロック１１の両端で全導電路１０を順次直列に接続
して、コイル体を作製する。Further, after the insulating material 13 is formed by a method such as vapor deposition, coating or electrodeposition, a contact hole is provided by using a lithography technique as shown in FIG. 2 (e). After that, a conductive material is formed by a method such as vapor deposition or plating, and then a desired pattern is etched using the etching mask 6 to connect the desired conductive paths 10 to each other as shown in FIG. To do. In this manner, all the conductive paths 10 are sequentially connected in series at both ends of the core block 11 so that one coil wire is wound around the core, and a coil body is manufactured.
【００３０】上記実施例１によれば、磁性膜２と絶縁膜
３とを複数層積層してなる積層膜４により鉄心７を構成
しているので、鉄心内における渦電流損が抑制され、こ
の渦電流損に起因する効率低下が抑えられ、高効率化を
図ることができる。According to the first embodiment, since the iron core 7 is constituted by the laminated film 4 formed by laminating the magnetic film 2 and the insulating film 3 in plural layers, the eddy current loss in the iron core is suppressed, Efficiency reduction due to eddy current loss is suppressed, and high efficiency can be achieved.
【００３１】また、鉄心ブロック１１のコア間に絶縁性
材料８が充填され、この絶縁性材料８に複数の導電路１
０が形成され、かつ導電路１０を接続導電部で直列に接
続しているので、単位空間当たりのコイル導体の占有率
を大きくでき、コイル径の縮小化、鉄心７の形状の複雑
化に対応でき、高効率、高出力かつ小型化を図ることが
できる。In addition, an insulating material 8 is filled between the cores of the iron core block 11, and the insulating material 8 is filled with a plurality of conductive paths 1.
Since 0 is formed and the conductive path 10 is connected in series by the connecting conductive portion, the occupancy rate of the coil conductor per unit space can be increased, and the coil diameter can be reduced and the shape of the iron core 7 can be complicated. Therefore, high efficiency, high output, and downsizing can be achieved.
【００３２】また、コイル線材の巻回作業を回避してコ
イル体を作製しているので、コイル線材の巻回作業にと
もなう断線や絶縁不良等の不具合がなく、単位空間当た
りのコイル導体の占有率を大きくでき、コイル径が小さ
くてもハンドリングが容易であり、さらに鉄心７の形状
に拘わらずコイルを形成でき、信頼性の高い高効率、高
出力かつ小型のコイル体を製造することができる。Further, since the coil body is manufactured while avoiding the winding work of the coil wire, there is no problem such as disconnection and insulation failure accompanying the winding work of the coil wire, and the coil conductor is occupied per unit space. The ratio can be increased, the handling is easy even if the coil diameter is small, the coil can be formed regardless of the shape of the iron core 7, and a highly reliable, high-efficiency, high-output and small-sized coil body can be manufactured. ..
【００３３】実施例２．この実施例２は、この発明の第
１、第２および第５の発明に係るコイル体の製造方法の
他の実施例である。図３の（ａ）〜（ｃ）はそれぞれこ
の発明の実施例２を示すコイル体の製造方法における端
部配線工程図である。Example 2. The second embodiment is another embodiment of the coil body manufacturing method according to the first, second and fifth aspects of the present invention. FIGS. 3A to 3C are end wiring process diagrams in the coil body manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.
【００３４】つぎに、上記実施例２におけるコイル体の
製造方法について説明する。まず、上記実施例１と同様
にして、鉄心ブロック１１を作製する。ついで、図３の
（ａ）に示すように、バンプ形成用ピット５が設けられ
た基板１上に、絶縁性材料１３を形成し、この絶縁性材
料１３内に導電性材料１４よりなる立体配線を形成す
る。ついで、図３の（ｂ）に示すように、基板１を取り
外して得られる３次元配線ブロック１７を鉄心ブロック
１１に形成された導電路１０同士を直列に接続するよう
な位置に配置した後、図３の（ｃ）に示すように、３次
元配線ブロック１７と鉄心ブロック１１とを接合する。
ここで、３次元配線ブロック１７と鉄心ブロック１１と
の接合においては、導電性材料１４の先端に形成された
バンプ１２が導電路１０に食い込んで電気的に確実に接
続されている。Next, a method of manufacturing the coil body according to the second embodiment will be described. First, the core block 11 is manufactured in the same manner as in Example 1 above. Then, as shown in FIG. 3A, an insulating material 13 is formed on the substrate 1 on which the bump forming pits 5 are provided, and a three-dimensional wiring made of a conductive material 14 is formed in the insulating material 13. To form. Next, as shown in FIG. 3B, after the three-dimensional wiring block 17 obtained by removing the substrate 1 is placed at a position where the conductive paths 10 formed in the iron core block 11 are connected in series, As shown in FIG. 3C, the three-dimensional wiring block 17 and the iron core block 11 are joined together.
Here, in joining the three-dimensional wiring block 17 and the iron core block 11, the bump 12 formed at the tip of the conductive material 14 bites into the conductive path 10 and is electrically connected reliably.
【００３５】上記実施例２によれば、３次元配線ブロッ
ク１７により鉄心ブロック１１の両端で全導電路１０を
直列に接続して、コアの周りを１本のコイル線が巻回す
るコイル体を作製しているので、上記実施例１と同様の
効果を奏する。According to the second embodiment, all the conductive paths 10 are connected in series at both ends of the iron core block 11 by the three-dimensional wiring block 17 to form a coil body in which one coil wire is wound around the core. Since it is manufactured, the same effect as that of the above-described first embodiment is obtained.
【００３６】実施例３．この実施例３は、この発明の第
３、第４および第５の発明に係るコイル体の製造方法の
一実施例である。図４の（ａ）〜（ｆ）はそれぞれこの
発明の実施例３を示すコイル体の製造方法における鉄心
ブロック積層体の製造工程図、図５の（ａ）〜（ｆ）は
それぞれこの発明の実施例３を示すコイル体の製造方法
における端部配線工程図、図６はこの発明の実施例３に
おける鉄心ブロック積層体の構造を示す斜視図である。Example 3. The third embodiment is an embodiment of the coil body manufacturing method according to the third, fourth and fifth aspects of the present invention. 4 (a) to 4 (f) are manufacturing process diagrams of an iron core block laminate in the method for manufacturing a coil body showing Embodiment 3 of the present invention, and FIGS. Example 3 An end wiring process diagram in a method of manufacturing a coil body showing Example 3, and FIG. 6 is a perspective view showing a structure of an iron core block laminate in Example 3 of the present invention.
【００３７】つぎに、上記実施例３におけるコイル体の
製造方法について説明する。まず、鉄系の磁性材料と二
酸化珪素とをターゲットとして、スパッタリングにより
バンプ形成用ピット５が形成された基板１上に９μｍの
アモルファスの磁性膜２と１μｍの絶縁膜３とを交互に
複数層成膜し、図４の（ａ）に示すように、積層膜４を
形成する。ついで、鉄心形状にパターニングが施された
エッチング用マスク６を用い、図４の（ｂ）に示すよう
に積層膜４をエッチングして、鉄心７を形成する。Next, a method of manufacturing the coil body according to the third embodiment will be described. First, using an iron-based magnetic material and silicon dioxide as a target, a plurality of layers of an amorphous magnetic film 2 of 9 μm and an insulating film 3 of 1 μm are alternately formed on a substrate 1 on which bump forming pits 5 are formed by sputtering. Then, the laminated film 4 is formed as shown in FIG. Then, the laminated film 4 is etched as shown in FIG. 4B using the etching mask 6 having the iron core-shaped patterning to form the iron core 7.
【００３８】ついで、エッチング用マスク６を除去し、
鉄心７のコア間に絶縁性材料８としての感光性高分子レ
ジストを充填した後、露光、現像、エッチングを施し
て、図４の（ｃ）に示すように、バンプ形成用ピット５
の位置を通り積層膜４の表面と直交する方向に絶縁性材
料８を貫通する複数の貫通孔９を形成する。その後、シ
アン化金めっき浴を使用しためっきを用いて、貫通孔９
内に導電性材料である金を堆積させ、図４の（ｄ）に示
すように、導電路１０を形成する。ついで、図４の
（ｅ）に示すように、基板１から分離して鉄心ブロック
１１を作製する。Then, the etching mask 6 is removed,
After the photosensitive polymer resist as the insulating material 8 is filled between the cores of the iron core 7, exposure, development and etching are performed, and as shown in FIG.
A plurality of through holes 9 penetrating the insulating material 8 is formed in the direction orthogonal to the surface of the laminated film 4 passing through the position. After that, the through holes 9 are formed by plating using a gold cyanide plating bath.
Gold, which is a conductive material, is deposited therein to form a conductive path 10 as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 4E, the iron core block 11 is manufactured by separating it from the substrate 1.
【００３９】つぎに、図４の（ｆ）および図６に示すよ
うに、各鉄心ブロック１１に形成された導電路１０同士
が重なるように位置合わせして、複数の鉄心ブロック１
１を積層して接合して、鉄心ブロック積層体１６を作製
する。ここで、一方の鉄心ブロック１１に形成された導
電路１０の先端に形成されたバンプ１２が、他方の鉄心
ブロック１１に形成された導電路１０に食い込んで電気
的に確実に接続されている。Next, as shown in (f) of FIG. 4 and FIG. 6, the conductive paths 10 formed in each iron core block 11 are aligned so as to overlap each other, and a plurality of iron core blocks 1 are formed.
1 is laminated and bonded to produce the core block laminated body 16. Here, the bump 12 formed at the tip of the conductive path 10 formed in one iron core block 11 bites into the conductive path 10 formed in the other iron core block 11 and is electrically connected reliably.
【００４０】この鉄心ブロック積層体１６に形成された
導電路１０のそれぞれは、図５の（ａ）に示すように、
両端で断線している。そこで、鉄心ブロック積層体１６
の端面に蒸着、塗布あるいは電着等の方法により絶縁性
材料１３を形成した後、リソグラフィー技術を用いて、
図５の（ｂ）に示すように、コンタクトホールを設け
る。ついで、図５の（ｃ）に示すように、Ｃ7Ｈ7Ｆ6Ｏ2
Ａｕ等の材料ガスを１７を吹き付けながら、Ｇａの収束
イオンビーム１８を照射して局部的に金からなる導電性
材料１４を堆積させ、図５の（ｄ）に示すように、所望
の導電路１０同士を接続する。Each of the conductive paths 10 formed in the iron core block laminated body 16 is, as shown in FIG.
The wires are broken at both ends. Therefore, the core block laminated body 16
After forming the insulating material 13 on the end face of the substrate by a method such as vapor deposition, coating, or electrodeposition, using a lithographic technique,
As shown in FIG. 5B, a contact hole is provided. Then, as shown in FIG. 5C, C 7 H 7 F 6 O 2
While the material gas 17 such as Au is sprayed, the focused ion beam 18 of Ga is irradiated to locally deposit the conductive material 14 made of gold, and as shown in FIG. Connect 10 to each other.
【００４１】さらに、図５の（ｅ）および（ｆ）に示す
ように、蒸着、塗布あるいは電着等の方法により絶縁性
材料１３を形成し、リソグラフィー技術を用いて、コン
タクトホールを設け、その後、導電性材料１４を形成し
て、所望の導電路１０同士を接続する。この作業を繰り
返し行い、コアの周りを１本のコイル線が巻回するよう
に、鉄心ブロック積層体１６の両端で全導電路１０を順
次直列に接続して、コイル体を作製する。Further, as shown in (e) and (f) of FIG. 5, an insulating material 13 is formed by a method such as vapor deposition, coating or electrodeposition, and a contact hole is formed by using a lithographic technique. , The conductive material 14 is formed, and the desired conductive paths 10 are connected to each other. By repeating this operation, all the conductive paths 10 are sequentially connected in series at both ends of the core block laminated body 16 so that one coil wire is wound around the core to produce a coil body.
【００４２】上記実施例３によれば、磁性膜２と絶縁膜
３とを複数層積層してなる積層膜４により鉄心７を構成
しているので、上記実施例１と同様に、鉄心内における
渦電流損を抑制でき、この渦電流損に起因する効率低下
が抑えられ、コイル体の高効率化が図られる。According to the third embodiment, the iron core 7 is constituted by the laminated film 4 formed by laminating the magnetic film 2 and the insulating film 3 in a plurality of layers. Therefore, as in the first embodiment, in the iron core. The eddy current loss can be suppressed, the efficiency reduction due to the eddy current loss can be suppressed, and the efficiency of the coil body can be improved.
【００４３】また、コイル線材の巻回作業を回避してコ
イル体を作製しているので、上記実施例１と同様に、コ
イル線材の巻回作業にともなう断線や絶縁不良等の不具
合がなく、単位空間当たりのコイル導体の占有率を大き
くでき、コイル径が小さくてもハンドリングが容易であ
り、さらに鉄心７の形状に拘わらずコイルを形成でき、
信頼性の高い高効率小型のコイル体を作製することがで
きる。Further, since the coil body is manufactured while avoiding the winding work of the coil wire, there is no problem such as disconnection and insulation failure accompanying the winding work of the coil wire, as in the first embodiment. The occupancy rate of the coil conductor per unit space can be increased, the handling is easy even if the coil diameter is small, and the coil can be formed regardless of the shape of the iron core 7.
It is possible to manufacture a highly reliable and highly efficient small-sized coil body.
【００４４】さらに、鉄心ブロック１１を複数個積層し
て構成された鉄心ブロック積層体１６の端面で導電路１
０同士を直列に接続して、コアの周りを１本のコイル線
が巻回するコイル体を作製しているので、長い導電路を
構成することができ、高出力のコイル体を作製すること
ができる。Further, the conductive path 1 is formed on the end face of the core block laminated body 16 which is formed by laminating a plurality of core blocks 11.
Since 0s are connected in series to form a coil body in which one coil wire is wound around the core, a long conductive path can be formed, and a high-output coil body can be produced. You can
【００４５】実施例４．この実施例４は、この発明の第
６の発明に係るコイル体の製造方法の一実施例である。
図７はこの発明の実施例４を示すコイル体の製造方法に
おける鉄心ブロックの平面図、図８の（ａ）および
（ｂ）はそれぞれこの発明の実施例４を示すコイル体の
製造方法における鉄心ブロックのハンドリング状態を示
す斜視図および要部拡大斜視図である。Example 4. Example 4 is an example of the method for manufacturing the coil body according to the sixth aspect of the present invention.
7 is a plan view of an iron core block in a coil body manufacturing method according to a fourth embodiment of the present invention, and FIGS. 8A and 8B are iron cores in a coil body manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention. It is a perspective view which shows the handling state of a block, and a principal part expanded perspective view.
【００４６】つぎに、上記実施例４におけるコイル体の
製造方法について説明する。まず、上記実施例３と同様
にして、基板１上に磁性膜２と絶縁膜３とからなる積層
膜４を形成する。ついで、所望の形状にパターニングが
施されたエッチング用マスクを用いて積層膜４をエッチ
ングし、図７に示すように、基板１上に複数の鉄心７お
よび各鉄心７の離散を防止するためのステー部１９を形
成する。その後、上記実施例３と同様にして、各鉄心７
のコア間に絶縁性材料８を充填し、導電路１０を形成し
て、基板１上に複数の鉄心ブロック１１を形成する。Next, a method of manufacturing the coil body according to the fourth embodiment will be described. First, in the same manner as in Example 3, the laminated film 4 including the magnetic film 2 and the insulating film 3 is formed on the substrate 1. Then, the laminated film 4 is etched by using an etching mask having a desired shape and patterned to prevent the iron cores 7 and the iron cores 7 from being separated from each other on the substrate 1, as shown in FIG. The stay portion 19 is formed. Then, in the same manner as in Example 3 above, each iron core 7
Insulating material 8 is filled between the cores to form conductive paths 10 to form a plurality of iron core blocks 11 on substrate 1.
【００４７】一方、例えば厚さ約１ｍｍの石英ガラス基
板を直系０．１μｍのダイヤモンド砥粒を用いて平面度
１μｍに精密研磨した後、この石英ガラスに格子状のエ
ッチング用マスクを用いたウエットエッチングを施して
所望の位置に貫通孔を設け、支持用簗２０を形成する。
そこで、複数の鉄心ブロック１１が形成された基板１上
の積層膜４に、石英ガラスで構成された支持用簗２０を
図８の（ａ）および（ｂ）に示すように接着した後、積
層膜４を基板１から分離する。ここで、各鉄心ブロック
１１は支持用簗２０にステー部１９を介して支持され、
一括してハンドリングできるように構成される。On the other hand, for example, a quartz glass substrate having a thickness of about 1 mm is precisely polished to a flatness of 1 μm by using direct 0.1 μm diamond abrasive grains, and then the quartz glass is wet-etched using a lattice-shaped etching mask. Then, a through hole is provided at a desired position to form a supporting elbow 20.
Then, after supporting a raft 20 made of quartz glass is adhered to the laminated film 4 on the substrate 1 on which the plurality of iron core blocks 11 are formed as shown in FIGS. The membrane 4 is separated from the substrate 1. Here, each core block 11 is supported by the supporting raft 20 via the stay portion 19,
It is configured so that it can be handled collectively.
【００４８】ついで、複数の鉄心ブロック１１を一括支
持する２つの支持用簗２０を、各鉄心ブロック１１に形
成された導電路１０同士が重なるように位置合わせした
後、一方の各鉄心ブロック１１に形成された導電路１０
の先端に形成されたバンプ１２を、他方の各鉄心ブロッ
ク１１に形成された導電路１０に食い込ませて、支持用
簗２０に支持されている鉄心ブロック１１同士を接合す
る。さらに、一方の支持用簗２０を分離し、２層接合構
造の鉄心ブロック積層体を複数支持する支持用簗２０を
作製する。さらにこの操作を繰り返し、所望の積層数の
鉄心ブロック積層体１６を一括して大量に作製する。Next, after aligning the two supporting shelves 20 for collectively supporting the plurality of iron core blocks 11 so that the conductive paths 10 formed in the respective iron core blocks 11 overlap each other, one of the iron core blocks 11 on the other side is positioned. Formed conductive path 10
The bumps 12 formed at the tips of the core blocks 11 are made to bite into the conductive paths 10 formed on the other core blocks 11 to join the core blocks 11 supported by the supporting yoke 20. Further, one supporting bran 20 is separated to prepare a supporting bran 20 that supports a plurality of core block laminates having a two-layer joint structure. Further, this operation is repeated to collectively produce a desired number of core block laminated bodies 16 in a large amount.
【００４９】つぎに、支持用簗２０に一括支持されてい
る各鉄心ブロック積層体１６に形成された導電路１０の
それぞれを、上記実施例３と同様にして、コア回りを１
本のコイル線が巻回するように、直列に接続してコイル
体を作製する。Next, each of the conductive paths 10 formed in each core block laminated body 16 collectively supported by the supporting bran 20 is subjected to 1 around the core in the same manner as in the third embodiment.
A coil body is manufactured by connecting in series so that a coil wire of a book is wound.
【００５０】上記実施例４では、基板１上に多数の鉄心
ブロック１１を一括して作製し、鋼性の高い支持用簗２
０を鉄心ブロック１１の周囲に設けて、支持用簗２０に
より多数の鉄心ブロック１１を一括支持してハンドリン
グしているので、多数のコイル体を一括して製造できる
とともに、例えばブロックの直径が１ｍｍ以下、厚みが
数百μｍ以下の微小コイル体を製造する場合でも、ハン
ドリング中の空気の変動にともなう鉄心ブロック１１の
変形を抑えることができ、応力を加えることなく鉄心ブ
ロック１１をハンドリングでき、容易に高精度に位置決
めでき、確実に接合することができる。In the fourth embodiment, a large number of iron core blocks 11 are collectively manufactured on the substrate 1, and the supporting bran 2 having a high steel property is used.
Since 0 is provided around the iron core block 11 and a large number of iron core blocks 11 are collectively supported and handled by the supporting cup 20, a large number of coil bodies can be manufactured at one time and, for example, the diameter of the block is 1 mm. Hereinafter, even when manufacturing a micro coil body having a thickness of several hundreds of μm or less, deformation of the iron core block 11 due to fluctuation of air during handling can be suppressed, and the iron core block 11 can be handled without applying stress. Can be positioned with high accuracy and can be reliably joined.
【００５１】このように、上記実施例４によれば、上記
実施例３と同様の効果を奏するとともに、生産性および
歩留まりを大幅に向上することができる。As described above, according to the fourth embodiment, the same effect as that of the third embodiment can be obtained, and the productivity and the yield can be greatly improved.
【００５２】実施例５．この実施例５は、この発明の第
６の発明に係るコイル体の製造方法の他の実施例であ
る。上記実施例４では、基板１上に多数の鉄心ブロック
１１を一括して作製し、支持用簗２０を鉄心ブロック１
１の周囲に設けて、支持用簗２０により多数の鉄心ブロ
ック１１を一括支持してハンドリングするものとしてい
るが、この実施例５では、基板１上に１つの鉄心ブロッ
ク１１を作製し、支持用簗２０を鉄心ブロック１１の周
囲に設けて、支持用簗２０により１つの鉄心ブロック１
１を支持してハンドリングするものとしている。Example 5. The fifth embodiment is another embodiment of the coil body manufacturing method according to the sixth aspect of the invention. In the fourth embodiment, a large number of iron core blocks 11 are collectively manufactured on the substrate 1, and the supporting yoke 20 is used as the iron core block 1.
1 is provided around the core 1, and a large number of iron core blocks 11 are collectively supported and handled by the supporting cup 20. In the fifth embodiment, one iron core block 11 is produced on the substrate 1 and is used for supporting. An elbow 20 is provided around the iron core block 11, and one iron core block 1 is provided by the supporting elbow 20.
1 is supported and handled.
【００５３】上記実施例５によれば、ハンドリング中の
空気の変動による鉄心ブロック１１の変形がなく、応力
を加えることなく容易に高精度で位置決めでき、微小コ
イル体の単品製造の生産性を向上することができる。According to the fifth embodiment described above, the iron core block 11 is not deformed due to the fluctuation of air during handling, and the positioning can be easily performed with high precision without applying stress, and the productivity of the single production of the minute coil body is improved. can do.
【００５４】なお、上記各実施例では、基板１上に磁性
膜２と絶縁膜３とからなる積層膜４をスパッタリング法
により形成するものとして説明しているが、スパッタリ
ング法に限らず、真空蒸着法等の物理的成膜法、ＣＶＤ
法等の化学的成膜法等により積層膜４を形成してもよ
い。In each of the above embodiments, the laminated film 4 including the magnetic film 2 and the insulating film 3 is formed on the substrate 1 by the sputtering method. However, the vacuum evaporation method is not limited to the sputtering method. Physical film forming method such as CVD, CVD
The laminated film 4 may be formed by a chemical film forming method such as a method.
【００５５】また、上記各実施例では、鉄心７のコア間
に絶縁性材料７として感光性高分子レジストを充填した
後、これに露光、現像、エッチングを施して、貫通孔９
を形成するものとして説明しているが、鉄心７のコア間
に絶縁性材料７として二酸化珪素や絶縁性セラミックを
真空蒸着法等の物理的成膜法、ＣＶＤ等の化学的成膜法
により堆積させた後、これにレーザや電子ビーム、イオ
ンビームを用いた除去加工して貫通孔９を形成するもの
としてもよい。Further, in each of the above-mentioned embodiments, after the photosensitive polymer resist as the insulating material 7 is filled between the cores of the iron core 7, this is exposed, developed and etched to form the through holes 9
However, silicon dioxide or an insulating ceramic is deposited as an insulating material 7 between the cores of the iron core 7 by a physical film forming method such as a vacuum deposition method or a chemical film forming method such as CVD. After this, the through hole 9 may be formed by removing this using a laser, an electron beam, or an ion beam.
【００５６】さらに、上記各実施例では、鉄心内におけ
る渦電流損を抑制するために、磁性膜２と絶縁膜３とを
交互に積層して積層膜４を形成するものとして説明して
いるが、渦電流損を考慮する必要のない場合には、鉄心
部材として磁性材料のみからなる単層磁性膜や、磁性材
料箔を用いるものとし、微小コイル体の製造工程数を大
幅に削減でき、生産性を向上することができる。Further, in each of the above embodiments, the magnetic film 2 and the insulating film 3 are alternately laminated to form the laminated film 4 in order to suppress the eddy current loss in the iron core. If it is not necessary to consider the eddy current loss, a single-layer magnetic film made of only magnetic material or a magnetic material foil should be used as the iron core member, and the number of manufacturing steps of the micro coil body can be significantly reduced. It is possible to improve the property.
【００５７】[0057]
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されるような効果を奏する。Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects.
【００５８】この発明の第１の発明によれば、鉄心と、
この鉄心のコア間に充填された絶縁性材料と、この絶縁
性材料に設けられた複数の導電路と、鉄心の両端面に設
けられ、複数の導電路の端部同士を直列に接続する接続
導電部とを備え、鉄心のコア回りに巻回する１本のコイ
ル線を形成しているので、単位空間当たりのコイル導体
の占有率を大きくでき、コイル径の縮小化、鉄心形状の
複雑化に対応でき、高効率、高出力かつ小型化を図るこ
とができる。According to the first aspect of the present invention, an iron core,
An insulating material filled between the cores of the iron core, a plurality of conductive paths provided on the insulating material, and a connection that is provided on both end surfaces of the iron core and that connects the ends of the plurality of conductive paths in series. Since it has a conductive part and forms one coil wire wound around the core of the iron core, the occupancy rate of the coil conductor per unit space can be increased, the coil diameter can be reduced, and the iron core shape can be complicated. It is possible to achieve high efficiency, high output and miniaturization.
【００５９】また、この発明の第２の発明によれば、鉄
心部材を鉄心形状にエッチングして鉄心を形成し、この
鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、この絶縁性材料に
複数の貫通孔を形成し、複数の貫通孔内に導電性材料を
充填して複数の導電路を形成した後、コア回りに１本の
コイル線が巻回するように複数の導電路を直列に接続し
てコイル体を製造しているので、コイル線材の巻回作業
にともなう断線や絶縁不良等の不具合がなく、単位空間
当たりのコイル導体の占有率を大きくでき、コイル径が
小さくてもハンドリングが容易であり、さらに鉄心形状
に拘わらずコイルを形成でき、信頼性の高い高効率、高
出力かつ小型のコイル体を製造することができる。Further, according to the second aspect of the present invention, the iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, and an insulating material is filled between the cores of the iron core. After forming a through hole and filling a plurality of through holes with a conductive material to form a plurality of conductive paths, the plurality of conductive paths are connected in series so that one coil wire is wound around the core. Since the coil body is manufactured in this way, there are no problems such as disconnection and insulation failure due to the winding work of the coil wire material, the occupancy rate of the coil conductor per unit space can be increased, and handling is possible even with a small coil diameter. It is easy, and a coil can be formed regardless of the shape of the iron core, and a highly reliable, highly efficient, high output, and small-sized coil body can be manufactured.
【００６０】また、この発明の第３の発明によれば、鉄
心、この鉄心のコア間に充填された絶縁性材料およびこ
の絶縁性材料に設けられた複数の導電路からなる鉄心ブ
ロックが複数積層され、かつ、隣合う鉄心ブロックの導
電路同士が電気的に接続されてなる鉄心ブロック積層体
と、この鉄心ブロック積層体の両端面に設けられ、複数
の導電路の端部同士を直列に接続する接続導電部とを備
え、コア回りに巻回する１本のコイル線を形成している
ので、長い導電路を構成して一層高出力化を図ることが
できる。According to the third aspect of the present invention, a plurality of iron core blocks each including an iron core, an insulating material filled between cores of the iron core, and a plurality of conductive paths provided in the insulating material are laminated. And the core block laminated body in which the conductive paths of the adjacent core blocks are electrically connected to each other, and the end portions of the plurality of conductive paths are connected in series provided on both end surfaces of the core block laminated body. Since a single coil wire that is wound around the core is formed, it is possible to configure a long conductive path and further increase the output.
【００６１】また、この発明の第４の発明によれば、鉄
心部材を鉄心形状にエッチングして鉄心を形成し、この
鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、この絶縁性材料に
複数の貫通孔を形成し、複数の貫通孔内に導電性材料を
充填して複数の導電路を形成して鉄心ブロックを形成し
た後、この鉄心ブロックを導電路同士が接続されるよう
に複数積層して接合して鉄心ブロック積層体を形成し、
その後コア回りに１本のコイル線が巻回するように鉄心
ブロック積層体の両端面で導電路同士を直列に接続して
コイル体を製造しているので、信頼性の高い高効率、高
出力かつ小型のコイル体を製造することができる。Further, according to the fourth aspect of the present invention, the iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, and an insulating material is filled between the cores of the iron core. After forming a through hole, filling a plurality of through holes with a conductive material to form a plurality of conductive paths to form an iron core block, a plurality of the iron core blocks are laminated so that the conductive paths are connected to each other. Joined together to form a core block laminate,
After that, the coil body is manufactured by connecting the conductive paths in series on both end surfaces of the iron core block laminate so that one coil wire is wound around the core, so that the coil body is manufactured with high reliability and high efficiency. Moreover, a small coil body can be manufactured.
【００６２】また、この発明の第５の発明によれば、磁
性材料からなる磁性膜と絶縁性材料からなる絶縁膜とを
交互に積層してなる積層膜で鉄心を構成しているので、
鉄心内における渦電流損を抑え、高効率化を図ることが
できる。Further, according to the fifth aspect of the present invention, since the iron core is composed of a laminated film in which a magnetic film made of a magnetic material and an insulating film made of an insulating material are alternately laminated,
It is possible to suppress eddy current loss in the iron core and achieve high efficiency.
【００６３】さらに、この発明の第６の発明によれば、
基板上に形成された鉄心材料をエッチングして鉄心を形
成し、鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、この絶縁性
材料に複数の貫通孔を形成し、複数の貫通孔内に導電性
材料を充填して複数の導電路を形成して基板上に鉄心ブ
ロックを形成し、さらに鉄心ブロックの周囲に支持用簗
を設けた後、基板を分離し、ついで鉄心ブロックが一括
支持された支持用簗を鉄心ブロックが対向するように重
ねあわせ、対向する導電路同士が接続されるように接合
して鉄心ブロック積層体を形成し、その後コア回りに１
本のコイル線が巻回するように鉄心ブロック積層体の両
端面で導電路同士を直列に接続してコイル体を製造して
いるので、微小コイル体の作製の際に、鉄心ブロックの
ハンドリングが簡便となり、高精度の鉄心ブロック移
動、位置決め、接合ができ、生産性および歩留まりを向
上でき、さらに鉄心ブロックの一括バッチ処理が可能と
なり、生産性の大幅な向上ができる。Furthermore, according to the sixth aspect of the present invention,
The iron core material formed on the substrate is etched to form the iron core, the insulating material is filled between the cores of the iron core, the through holes are formed in the insulating material, and the conductive material is formed in the through holes. After filling the material and forming multiple conductive paths to form an iron core block on the substrate, further providing a supporting bowl around the iron core block, separating the substrate, and then supporting the iron core blocks collectively Laying the utensils so that the core blocks face each other and joining them so that the conductive paths facing each other are connected to each other to form a core block laminated body.
Since the coil body is manufactured by connecting the conductive paths in series on both end surfaces of the core block laminated body so that the coil wire of the book is wound, the handling of the core block during the manufacture of the minute coil body The core blocks can be moved easily, positioned and joined with high accuracy, productivity and yield can be improved, and batch processing of the core blocks can be performed, which can greatly improve productivity.
【図１】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれこの発明の実施例１
を示すコイル体の製造方法における鉄心ブロックの製造
工程図である。1 (a) to 1 (f) are each a first embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a manufacturing step diagram of the iron core block in the coil body manufacturing method showing FIG.
【図２】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれこの発明の実施例１
を示すコイル体の製造方法における端部配線工程図であ
る。2 (a) to 2 (f) are each a first embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an end wiring process diagram in the method of manufacturing the coil body showing FIG.
【図３】（ａ）〜（ｃ）はこの発明の実施例２を示すコ
イル体の製造方法における端部配線工程図である。3A to 3C are end wiring process diagrams in the method of manufacturing the coil body according to the second embodiment of the present invention.
【図４】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれこの発明の実施例３
を示すコイル体の製造方法における鉄心ブロック積層体
の製造工程図である。4 (a) to 4 (f) are each a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a manufacturing step diagram of the core block laminated body in the coil body manufacturing method showing FIG.
【図５】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれこの発明の実施例３
を示すコイル体の製造方法における端部配線工程図であ
る。5 (a) to 5 (f) are each a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is an end wiring process diagram in the method of manufacturing the coil body showing FIG.
【図６】この発明の実施例３を示すコイル体の製造方法
における鉄心ブロック積層体の分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of an iron core block laminate in a method for manufacturing a coil body showing Embodiment 3 of the present invention.
【図７】この発明の実施例４を示すコイル体の製造方法
における鉄心ブロックの平面図である。FIG. 7 is a plan view of an iron core block in a coil body manufacturing method according to a fourth embodiment of the present invention.
【図８】（ａ）および（ｂ）はそれぞれこの発明の実施
例４を示すコイル体の製造方法における鉄心ブロックの
ハンドリング状態の斜視図および要部拡大斜視図であ
る。8A and 8B are respectively a perspective view and an enlarged perspective view of an essential part of a handling state of an iron core block in a method for manufacturing a coil body according to a fourth embodiment of the present invention.
【図９】従来の電動機のコイル体の一例を示す断面図お
よび平面図である。FIG. 9 is a sectional view and a plan view showing an example of a coil body of a conventional electric motor.
【図１０】従来の電動機のコイル体の他の例を示す要部
平面図である。FIG. 10 is a main part plan view showing another example of the coil body of the conventional electric motor.
【図１１】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ従来の電動機
のコイル体のさらに他の例を示す平面図および要部平面
図である。11 (a) and 11 (b) are respectively a plan view and a plan view of a main part showing still another example of the coil body of the conventional electric motor.
１ 基板 ２ 磁性膜 ３ 絶縁膜 ４ 積層膜 ７ 鉄心 ８ 絶縁性材料 ９ 貫通孔 １０ 導電路 １１ 鉄心ブロック １４ 導電性材料（接続導電部） １６ 鉄心ブロック積層体 ２０ 支持用簗 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Magnetic film 3 Insulating film 4 Laminated film 7 Iron core 8 Insulating material 9 Through hole 10 Conductive path 11 Iron core block 14 Conductive material (connection conductive part) 16 Iron core block laminated body 20 Supporting lun
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年７月２０日[Submission date] July 20, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００３[Name of item to be corrected] 0003
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００３】つぎに、上記従来の電動機のコイル体の製
造方法について説明する。まず、回転軸２０に接合部材
２１が固定され、さらにこの接合部材２１に、複数のス
ロット２２を有するコア２３が固定され、ロータ２４を
構成する。このコア２３の巻線部には、コイル２７が複
数回巻回されて、コイル体を構成している。一方、ハウ
ジング２５には、ロータ２４を回転支持する軸受２６が
固定されるとともに、ステータ２８がラジアル方向に磁
束を発生する磁極が回転軸２０の円周方向に等角度の間
隔となるようにロータ２４の外側に配設固定されてい
る。ついで、ハウジング２５にロータ２４を軸受２６に
より回転自在に取り付けている。Next, a method of manufacturing the coil body of the conventional electric motor will be described. First, the joining member 21 is fixed to the rotating shaft 20, and the core 23 having the plurality of slots 22 is further fixed to the joining member 21 to form the rotor 24. The coil 27 is wound around the winding portion of the core 23 a plurality of times to form a coil body. On the other hand, a bearing 26 that rotatably supports the rotor 24 is fixed to the housing 25, and the rotor 28 is arranged so that the magnetic poles that generate magnetic flux in the radial direction of the stator 28 are equiangularly spaced in the circumferential direction of the rotating shaft 20. It is disposed and fixed to the outside of 24. Then, the rotor 24 is rotatably attached to the housing 25 by the bearing 26.
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００５[Correction target item name] 0005
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００５】上記従来の電動機のコイル体の製造におい
ては、作業効率の向上を目的に、予め作業ボビンに巻回
したコイル２７を、コア２３の巻線部に移設する方法が
しばしば用いられる。しかし、この方法では、コア２３
とコイル２７との間に無駄な空間が生じ、電動機を小型
化できない問題があった。さらに、コア２３が複雑な形
状の場合、コイル２７の移設を利用したコイル体製造は
不可能であった。 In manufacturing the coil body of the above-mentioned conventional electric motor
The work bobbin in advance for the purpose of improving work efficiency.
The method of moving the coil 27 to the winding part of the core 23 is
Often used. However, in this method, the core 23
Space between the coil and coil 27
There was a problem that could not be realized. Furthermore, the core 23 has a complicated shape.
In the case of the shape, the coil body manufacturing using the transfer of the coil 27 is
It was impossible.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２０[Correction target item name] 0020
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２０】また、この発明の第２の発明においては、
鉄心部材を鉄心形状にエッチングして鉄心を形成し、こ
の鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、この絶縁性材料
に複数の貫通孔を形成し、複数の貫通孔内に導電性材料
を充填して複数の導電路を形成した後、コア回りに１本
のコイル線が巻回するように複数の導電路を直列に接続
してコイル体を製造しているので、巻線作業にともなう
コイル切れ等の不都合の発生を抑えることができ、高い
コイル導体占有率を有し、高効率、高出力および小型の
微小コイル体を高信頼性で容易に製造することができ
る。In the second invention of the present invention,
An iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, an insulating material is filled between the cores of the iron core, a plurality of through holes are formed in the insulating material, and a conductive material is provided in the plurality of through holes. After filling to form a plurality of conductive paths, a plurality of conductive paths are connected in series so that one coil wire is wound around the core to manufacture a coil body, which is accompanied by winding work. It is possible to suppress the occurrence of inconvenience such as coil breakage, and it is high
It is possible to easily manufacture a small coil body having a high coil conductor occupation rate, high efficiency, high output, and small size with high reliability.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４０[Item name to be corrected] 0040
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４０】この鉄心ブロック積層体１６に形成された
導電路１０のそれぞれは、図５の（ａ）に示すように、
両端で断線している。そこで、鉄心ブロック積層体１６
の端面に蒸着、塗布あるいは電着等の方法により絶縁性
材料１３を形成した後、リソグラフィー技術を用いて、
図５の（ｂ）に示すように、コンタクトホールを設け
る。ついで、図５の（ｃ）に示すように、Ｃ7Ｈ7Ｆ6Ｏ2
Ａｕ等の材料ガス１７を吹き付けながら、Ｇａの収束イ
オンビーム１８を照射して金からなる導電性材料１４を
局部的に堆積させ、図５の（ｄ）に示すように、所望の
導電路１０同士を接続する。Each of the conductive paths 10 formed in the iron core block laminated body 16 is, as shown in FIG.
The wires are broken at both ends. Therefore, the core block laminated body 16
After forming the insulating material 13 on the end face of the substrate by a method such as vapor deposition, coating, or electrodeposition, using a lithographic technique,
As shown in FIG. 5B, a contact hole is provided. Then, as shown in FIG. 5C, C 7 H 7 F 6 O 2
While blowing material gas 1 7 such as Au, the conductive material 14 made of gold by irradiating the focused ion beam 18 of Ga
It is locally deposited, and desired conductive paths 10 are connected to each other as shown in FIG.
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４１[Correction target item name] 0041
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４１】さらに、図５の（ｅ）および（ｆ）に示す
ように、蒸着、塗布あるいは電着等の方法により絶縁性
材料１３を堆積させ、リソグラフィー技術を用いて、コ
ンタクトホールを設け、その後、導電性材料１４を堆積
させて、所望の導電路１０同士を接続する。この作業を
繰り返し行い、コアの周りを１本のコイル線が巻回する
ように、鉄心ブロック積層体１６の両端で全導電路１０
を順次直列に接続して、コイル体を作製する。Further, as shown in (e) and (f) of FIG. 5, an insulating material 13 is deposited by a method such as vapor deposition, coating, or electrodeposition, and a contact hole is formed by using a lithographic technique. , Deposit conductive material 14
Then , the desired conductive paths 10 are connected to each other. By repeating this operation, all the conductive paths 10 are provided at both ends of the core block laminated body 16 so that one coil wire is wound around the core.
Are sequentially connected in series to produce a coil body.
【手続補正６】[Procedure Amendment 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４７[Correction target item name] 0047
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４７】一方、例えば厚さ約１ｍｍの石英ガラス基
板を直径０．１μｍのダイヤモンド砥粒を用いて平面度
１μｍに精密研磨した後、この石英ガラスに格子状のエ
ッチング用マスクを用いたウエットエッチングを施して
所望の位置に貫通孔を設け、図８の（ａ）に示すごとく
支持用簗２０を形成する。つぎに、複数の鉄心ブロック
１１が形成された基板１上の積層膜４に、石英ガラスで
構成された支持用簗２０を図８の（ｂ）に示すように接
着した後、積層膜４を基板１から分離する。ここで、各
鉄心ブロック１１は支持用簗２０にステー部１９を介し
て支持され、一括してハンドリングできるように構成さ
れる。Meanwhile, for example, after precision polishing to a thickness of about 1mm quartz glass substrate using diamond abrasive grains having a diameter 0.1μm flatness 1μm of wet using a grid-like etching mask to the quartz glass A through hole is provided at a desired position by etching, and a supporting bran 20 is formed as shown in FIG. 8 (a) . Next , as shown in ( b) of FIG. 8 , a supporting raft 20 made of quartz glass is adhered to the laminated film 4 on the substrate 1 on which the plurality of iron core blocks 11 are formed, and then the laminated film 4 is formed. Separated from the substrate 1. Here, each iron core block 11 is supported by the supporting raft 20 via the stay portion 19 and is configured to be handled collectively.
【手続補正８】[Procedure Amendment 8]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図７[Name of item to be corrected] Figure 7
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図７】 [Figure 7]
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 斎 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電機 株式会社中央研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Sai Ota 8-1-1 Tsukaguchihonmachi, Amagasaki City Mitsubishi Electric Corporation Central Research Laboratory
Claims (6)
絶縁性材料と、前記絶縁性材料に設けられた複数の導電
路と、前記鉄心の両端面に設けられ、複数の前記導電路
の端部同士を直列に接続する接続導電部とを備え、前記
鉄心のコア回りに巻回する１本のコイル線を形成したこ
とを特徴とするコイル体。1. An iron core, an insulating material filled between cores of the iron core, a plurality of conductive paths provided in the insulating material, and a plurality of the conductive paths provided on both end surfaces of the iron core. And a connecting conductive portion for connecting the ends of the core in series to each other, and forming a single coil wire wound around the core of the iron core.
心を形成し、前記鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、
前記絶縁性材料に複数の貫通孔を形成し、複数の前記貫
通孔内に導電性材料を充填して複数の導電路を形成した
後、前記コア回りに１本のコイル線が巻回するように複
数の前記導電路を直列に接続してコイル体を製造するこ
とを特徴とするコイル体の製造方法。2. An iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, and an insulating material is filled between cores of the iron core,
After forming a plurality of through-holes in the insulating material and filling a plurality of through-holes with a conductive material to form a plurality of conductive paths, one coil wire may be wound around the core. A method for manufacturing a coil body, comprising manufacturing a coil body by connecting a plurality of the conductive paths in series with each other.
縁性材料および前記絶縁性材料に設けられた複数の導電
路からなる鉄心ブロックが複数積層され、かつ、隣合う
前記鉄心ブロックの前記導電路同士が電気的に接続され
てなる鉄心ブロック積層体と、前記鉄心ブロック積層体
の両端面に設けられ、複数の前記導電路の端部同士を直
列に接続する接続導電部とを備え、前記コア回りに巻回
する１本のコイル線を形成したことを特徴とするコイル
体。3. A plurality of iron core blocks each comprising an iron core, an insulating material filled between cores of the iron core, and a plurality of conductive paths provided in the insulating material are stacked, and the core blocks of the adjacent core blocks are adjacent to each other. An iron core block laminated body in which conductive paths are electrically connected to each other, and a connecting conductive portion which is provided on both end surfaces of the iron core block laminated body and which connects the end portions of the plurality of conductive paths in series, A coil body, wherein one coil wire wound around the core is formed.
心を形成し、前記鉄心のコア間に絶縁性材料を充填し、
前記絶縁性材料に複数の貫通孔を形成し、複数の前記貫
通孔内に導電性材料を充填して複数の導電路を形成して
鉄心ブロックを形成した後、前記鉄心ブロックを前記導
電路同士が接続されるように複数積層して接合して鉄心
ブロック積層体を形成し、その後前記コア回りに１本の
コイル線が巻回するように前記鉄心ブロック積層体の両
端面で前記導電路同士を直列に接続してコイル体を製造
することを特徴とするコイル体の製造方法。4. An iron core member is etched into an iron core shape to form an iron core, and an insulating material is filled between cores of the iron core.
After forming a plurality of through-holes in the insulating material, filling a plurality of the through-holes with a conductive material to form a plurality of conductive paths to form an iron core block, the iron core blocks are connected to the conductive paths. To form a core block laminated body by connecting the conductive paths to each other on both end surfaces of the core block laminated body so that one coil wire is wound around the core. Is connected in series to manufacture a coil body.
絶縁性材料からなる絶縁膜とを交互に積層した積層膜で
あることを特徴とする請求項１または３記載のコイル
体。5. The coil body according to claim 1, wherein the iron core is a laminated film in which a magnetic film made of a magnetic material and an insulating film made of an insulating material are alternately laminated.
グして鉄心を形成し、前記鉄心のコア間に絶縁性材料を
充填し、前記絶縁性材料に複数の貫通孔を形成し、複数
の前記貫通孔内に導電性材料を充填して複数の導電路を
形成して前記基板上に鉄心ブロックを形成し、さらに前
記鉄心ブロックの周囲に支持用簗を設けた後、前記基板
を分離し、ついで前記鉄心ブロックが一括支持された前
記支持用簗を前記鉄心ブロックが対向するように重ねあ
わせ、対向する前記導電路同士が接続されるように接合
して鉄心ブロック積層体を形成し、その後前記コア回り
に１本のコイル線が巻回するように前記鉄心ブロック積
層体の両端面で前記導電路同士を直列に接続してコイル
体を製造することを特徴とするコイル体の製造方法。6. An iron core material formed on a substrate is etched to form an iron core, an insulating material is filled between cores of the iron core, a plurality of through holes are formed in the insulating material, and a plurality of through holes are formed. A conductive material is filled in the through-hole to form a plurality of conductive paths to form an iron core block on the substrate, and further, after providing a supporting bowl around the iron core block, the substrate is separated. Then, the supporting cores in which the iron core blocks are collectively supported are superposed so that the iron core blocks face each other, and the iron core block laminate is formed by joining so that the opposite conductive paths are connected to each other. A method for manufacturing a coil body, comprising manufacturing the coil body by connecting the conductive paths in series on both end faces of the core block laminated body so that one coil wire is wound around the core.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7749192A JPH05284697A (en) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | Coil body and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7749192A JPH05284697A (en) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | Coil body and manufacture thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05284697A true JPH05284697A (en) | 1993-10-29 |
Family
ID=13635462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7749192A Pending JPH05284697A (en) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | Coil body and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
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