JPH05280951A - 放物面鏡形状測定干渉計 - Google Patents
放物面鏡形状測定干渉計Info
- Publication number
- JPH05280951A JPH05280951A JP11226392A JP11226392A JPH05280951A JP H05280951 A JPH05280951 A JP H05280951A JP 11226392 A JP11226392 A JP 11226392A JP 11226392 A JP11226392 A JP 11226392A JP H05280951 A JPH05280951 A JP H05280951A
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- Japan
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- parabolic mirror
- pinhole
- interferometer
- laser light
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検物である放物面鏡を少ない光学素子で高
精度に測定することが可能な干渉計を得る。 【構成】 干渉計１内のレーザ光源２より射出したレー
ザ光路上には平行平面板３，ピンホール４および放物面
鏡取り付け部６に取り付けられた放物面鏡５が順次配設
されている。レーザ光源２と平行平面板３との間にはビ
ームスプリッタ７が配置され、観察手段８が設けられて
いる。
精度に測定することが可能な干渉計を得る。 【構成】 干渉計１内のレーザ光源２より射出したレー
ザ光路上には平行平面板３，ピンホール４および放物面
鏡取り付け部６に取り付けられた放物面鏡５が順次配設
されている。レーザ光源２と平行平面板３との間にはビ
ームスプリッタ７が配置され、観察手段８が設けられて
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放物面鏡の面形状を測
定する干渉計に関する。
定する干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、放物面鏡の面形状を測定する干渉
計としては、例えば特開昭６１−２９４３２７号公報記
載の発明がある。上記発明は、図６に示す様に、レーザ
光源５１から射出したレーザ光がミラーＭ１により曲げ
られてビームスプリッタＢＳ１により二分される。二分
されたレーザ光のうち一方はミラーＭ２により曲げられ
た後、コリメータレンズＬ５により拡大されてビームス
プリッタＢＳ２で反射され、さらに参照平面５２で反射
した後、ビームスプリッタＢＳ２に入射する。
計としては、例えば特開昭６１−２９４３２７号公報記
載の発明がある。上記発明は、図６に示す様に、レーザ
光源５１から射出したレーザ光がミラーＭ１により曲げ
られてビームスプリッタＢＳ１により二分される。二分
されたレーザ光のうち一方はミラーＭ２により曲げられ
た後、コリメータレンズＬ５により拡大されてビームス
プリッタＢＳ２で反射され、さらに参照平面５２で反射
した後、ビームスプリッタＢＳ２に入射する。
【０００３】また、他方のレーザ光はミラーＭ３により
曲げられた後、集光レンズＬ６により発散光となりビー
ムスプリッタＢＳ３で反射され、さらに被検物である放
物面５３で反射されて平行光となりビームスプリッタＢ
Ｓ２に入射する。この参照平面５２からの反射光と被検
物である放物面５３からの反射光の干渉による干渉縞を
結像レンズＬ７を通してテレビカメラ５４で観察し、放
物面５３の面形状を測定する。
曲げられた後、集光レンズＬ６により発散光となりビー
ムスプリッタＢＳ３で反射され、さらに被検物である放
物面５３で反射されて平行光となりビームスプリッタＢ
Ｓ２に入射する。この参照平面５２からの反射光と被検
物である放物面５３からの反射光の干渉による干渉縞を
結像レンズＬ７を通してテレビカメラ５４で観察し、放
物面５３の面形状を測定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術では参照光と測定光が全く別の光路を通る構成である
ため、光路中に多くの光学素子を必要とする。このた
め、被検面である放物面鏡を高精度に測定するには、多
くの光学素子を高精度なものにしなければならない。
術では参照光と測定光が全く別の光路を通る構成である
ため、光路中に多くの光学素子を必要とする。このた
め、被検面である放物面鏡を高精度に測定するには、多
くの光学素子を高精度なものにしなければならない。
【０００５】因って、本発明は前記従来技術における欠
点に鑑みて開発されたもので、被検物である放物面を少
ない光学素子で高精度に測定できる放物面鏡形状測定干
渉計の提供を目的とする。
点に鑑みて開発されたもので、被検物である放物面を少
ない光学素子で高精度に測定できる放物面鏡形状測定干
渉計の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】本発明は、レ
ーザ光源とビームスプリッタと縞観察用手段とを有する
干渉計において、レーザ光の光軸に対して垂直に設置し
た平行平面板と、該平行平面板を透過したレーザ光中に
設置したピンホールと、被検物の放物面鏡取り付け部と
を具備したものである。
ーザ光源とビームスプリッタと縞観察用手段とを有する
干渉計において、レーザ光の光軸に対して垂直に設置し
た平行平面板と、該平行平面板を透過したレーザ光中に
設置したピンホールと、被検物の放物面鏡取り付け部と
を具備したものである。
【０００７】図１は本発明の概念図である。本発明の放
物面鏡形状測定干渉計は、干渉計１内のレーザ光源２か
ら射出した平行なレーザ光に垂直となるように置かれた
平行平面板３と、平行平面板３の後方に平行平面板３を
透過したレーザ光に垂直となるように置かれたピンホー
ル４と、さらに前記ピンホール４の後方に被検面である
放物面鏡５の焦点が前記ピンホール４と一致するように
調整配置するための放物面鏡取り付け部６と、レーザ光
源２と平行平面板３との間に設置された光路を分けるビ
ームスプリッタ７と、干渉縞を観察する観察系８とから
構成されている。
物面鏡形状測定干渉計は、干渉計１内のレーザ光源２か
ら射出した平行なレーザ光に垂直となるように置かれた
平行平面板３と、平行平面板３の後方に平行平面板３を
透過したレーザ光に垂直となるように置かれたピンホー
ル４と、さらに前記ピンホール４の後方に被検面である
放物面鏡５の焦点が前記ピンホール４と一致するように
調整配置するための放物面鏡取り付け部６と、レーザ光
源２と平行平面板３との間に設置された光路を分けるビ
ームスプリッタ７と、干渉縞を観察する観察系８とから
構成されている。
【０００８】以上の構成から成る放物面鏡形状測定干渉
計は、干渉計１内のレーザ光源２から射出して平行光束
となったレーザ光が平行平面板３に垂直に入射し、一部
は透過光となり、一部は反射光となる。前記透過光の一
部はピンホール４に入射する。このピンホール４に入射
したレーザ光はピンホール４を中心とした球面波となり
被検物である放物面鏡５に入射する。
計は、干渉計１内のレーザ光源２から射出して平行光束
となったレーザ光が平行平面板３に垂直に入射し、一部
は透過光となり、一部は反射光となる。前記透過光の一
部はピンホール４に入射する。このピンホール４に入射
したレーザ光はピンホール４を中心とした球面波となり
被検物である放物面鏡５に入射する。
【０００９】ここで放物面鏡取り付け部６によりピンホ
ール４と放物面鏡５の焦点が一致しているので、ピンホ
ール４から発生した球面波は放物面鏡５で反射されて平
行光束となる。前記平行平面板３による反射光と放物面
鏡５からの反射光かとが干渉しあい干渉縞を形成する。
この干渉縞を干渉計１内のビームスプリッター７により
別光路に分けて観察手段８により観察する。
ール４と放物面鏡５の焦点が一致しているので、ピンホ
ール４から発生した球面波は放物面鏡５で反射されて平
行光束となる。前記平行平面板３による反射光と放物面
鏡５からの反射光かとが干渉しあい干渉縞を形成する。
この干渉縞を干渉計１内のビームスプリッター７により
別光路に分けて観察手段８により観察する。
【００１０】この干渉縞における干渉縞ピッチＤとずれ
量ｄおよび被検面の形状誤差Δｈの間には、λを波長と
して Δｈ＝（ｄ／Ｄ）・（λ／２） の関係があるから、図２に示す様に干渉縞ピッチＤとず
れ量ｄから形状誤差Δｈを求め、被検物である放物面鏡
５の表面形状を測定することができる。
量ｄおよび被検面の形状誤差Δｈの間には、λを波長と
して Δｈ＝（ｄ／Ｄ）・（λ／２） の関係があるから、図２に示す様に干渉縞ピッチＤとず
れ量ｄから形状誤差Δｈを求め、被検物である放物面鏡
５の表面形状を測定することができる。
【００１１】
【実施例１】図３は本実施例を示す概略構成図である。
本実施例は、干渉計１１内のレーザ光源１２と、該レー
ザ光源１２から射出したレーザ光を拡大するように置か
れたコリメータレンズＬ１と、コリメータレンズＬ１の
後方に前記光束に対し垂直に置かれた透明な平行平面板
１３と、さらに前記平行平面板１３の後方にこの光束に
対して垂直に置かれたピンホール１４と、該ピンホール
１４の後方に前記レーザの光軸方向およびこれに垂直な
方向に移動可能で、かつ前記光軸に対する傾きも調整可
能なステージ１６ａを有し、この光束と放物面の光軸が
平行でかつ放物面の焦点が前記ピンホール１４に一致す
るように被検面である放物面鏡１５を保持する放物面鏡
取り付け部１６と、前記レーザ光源１２と前記平行平面
板１３との間に置かれた干渉計１１内のビームスプリッ
タ１７と、該ビームスプリッタ１７からの反射光を取り
込むように置かれた結像レンズＬ３と、該結像レンズＬ
３の後方に置かれた干渉計１１内のテレビカメラ１９と
からなる観察系１８とにより構成されている。ここで、
前記ピンホール１４の形状は直径λ（波長）／２程度の
円形が適当である。
本実施例は、干渉計１１内のレーザ光源１２と、該レー
ザ光源１２から射出したレーザ光を拡大するように置か
れたコリメータレンズＬ１と、コリメータレンズＬ１の
後方に前記光束に対し垂直に置かれた透明な平行平面板
１３と、さらに前記平行平面板１３の後方にこの光束に
対して垂直に置かれたピンホール１４と、該ピンホール
１４の後方に前記レーザの光軸方向およびこれに垂直な
方向に移動可能で、かつ前記光軸に対する傾きも調整可
能なステージ１６ａを有し、この光束と放物面の光軸が
平行でかつ放物面の焦点が前記ピンホール１４に一致す
るように被検面である放物面鏡１５を保持する放物面鏡
取り付け部１６と、前記レーザ光源１２と前記平行平面
板１３との間に置かれた干渉計１１内のビームスプリッ
タ１７と、該ビームスプリッタ１７からの反射光を取り
込むように置かれた結像レンズＬ３と、該結像レンズＬ
３の後方に置かれた干渉計１１内のテレビカメラ１９と
からなる観察系１８とにより構成されている。ここで、
前記ピンホール１４の形状は直径λ（波長）／２程度の
円形が適当である。
【００１２】以上の構成から成る放物面鏡形状測定干渉
計は、レーザ光源１２から射出されたレーザ光が、コリ
メータレンズＬ１により拡大されて平行光束となる。こ
の平行光束が平行平面板１３に垂直に入射し、一部は反
射光となり、一部は透過光となる。この透過光はピンホ
ール１４に入射する。該ピンホール１４に入射したレー
ザ光は、前記ピンホール１４を中心とした球面波となり
被検物である放物面鏡１５に入射する。
計は、レーザ光源１２から射出されたレーザ光が、コリ
メータレンズＬ１により拡大されて平行光束となる。こ
の平行光束が平行平面板１３に垂直に入射し、一部は反
射光となり、一部は透過光となる。この透過光はピンホ
ール１４に入射する。該ピンホール１４に入射したレー
ザ光は、前記ピンホール１４を中心とした球面波となり
被検物である放物面鏡１５に入射する。
【００１３】ここで、放物面鏡取り付け部１６にあるス
テージ１６ａにより前記放物面鏡１５の光軸と前記ピン
ホール１４を透過する光束の光軸とを合わせ、かつ前記
ピンホール１４と前記放物面鏡１５との理論的な焦点の
位置が一致するように前記放物面鏡１５を移動する。す
ると、前記ピンホール１４から発生した球面波は前記放
物面鏡１５で反射されてほぼ平行光束となり、前記平行
平面板１３による反射光と前記放物面鏡１５からの反射
光とが干渉しあい干渉縞を形成する。
テージ１６ａにより前記放物面鏡１５の光軸と前記ピン
ホール１４を透過する光束の光軸とを合わせ、かつ前記
ピンホール１４と前記放物面鏡１５との理論的な焦点の
位置が一致するように前記放物面鏡１５を移動する。す
ると、前記ピンホール１４から発生した球面波は前記放
物面鏡１５で反射されてほぼ平行光束となり、前記平行
平面板１３による反射光と前記放物面鏡１５からの反射
光とが干渉しあい干渉縞を形成する。
【００１４】この干渉縞をビームスプリッタ１７により
別の光路として、結像レンズＬ３を通してテレビカメラ
１９により観察する。この干渉縞を見ながら、前記ステ
ージ１６ａにより前記放物面鏡１５を微調整すると前記
図２に示すような干渉縞となり、放物面鏡１５の表面形
状を測定することができる。
別の光路として、結像レンズＬ３を通してテレビカメラ
１９により観察する。この干渉縞を見ながら、前記ステ
ージ１６ａにより前記放物面鏡１５を微調整すると前記
図２に示すような干渉縞となり、放物面鏡１５の表面形
状を測定することができる。
【００１５】本実施例によれば、干渉計の構成が従来の
干渉計よりも簡単になり、かつ測定光と参照光は同一の
光学素子により干渉するので干渉計自体の精度が測定値
に与える影響も少ない。
干渉計よりも簡単になり、かつ測定光と参照光は同一の
光学素子により干渉するので干渉計自体の精度が測定値
に与える影響も少ない。
【００１６】
【実施例２】図４は本実施例を示す概略構成図である。
本実施例は、前記実施例１におけるピンホール１４を廃
止し、代わりに平行平面板２１の被検面である放物面鏡
１５側にピンホール２１ａを有する膜を蒸着して構成し
た点が異なり、他の構成は同一な構成部分から成るもの
で、同一構成部分には同一番号を付し、構成の説明を省
略する。
本実施例は、前記実施例１におけるピンホール１４を廃
止し、代わりに平行平面板２１の被検面である放物面鏡
１５側にピンホール２１ａを有する膜を蒸着して構成し
た点が異なり、他の構成は同一な構成部分から成るもの
で、同一構成部分には同一番号を付し、構成の説明を省
略する。
【００１７】上記構成の放物面鏡形状測定干渉計は、レ
ーザ光源１２から射出されたレーザ光がコリメータレン
ズＬ１により拡大されて平行光束となる。この平行光束
が平行平面板２１に垂直に入射し、一部は反射光とな
り、一部は透過光となる。この透過光は前記平行平面板
２１に蒸着してある膜のピンホール２１ａに入射し、該
ピンホール２１ａを中心とした球面波となり被検物であ
る放物面鏡１５に入射する。以下、前記実施例１と同様
な作用であり、作用の説明を省略する。
ーザ光源１２から射出されたレーザ光がコリメータレン
ズＬ１により拡大されて平行光束となる。この平行光束
が平行平面板２１に垂直に入射し、一部は反射光とな
り、一部は透過光となる。この透過光は前記平行平面板
２１に蒸着してある膜のピンホール２１ａに入射し、該
ピンホール２１ａを中心とした球面波となり被検物であ
る放物面鏡１５に入射する。以下、前記実施例１と同様
な作用であり、作用の説明を省略する。
【００１８】本実施例によれば、前記実施例１よりも光
学素子が少なくてすみ、構成や調整が簡単である。
学素子が少なくてすみ、構成や調整が簡単である。
【００１９】
【実施例３】図５は本実施例に示す概略構成図である。
本実施例は、前記実施例１におけるピンホール１４を廃
止、代わりに移動可能なピンホール３１にて構成した点
が異なり、他の構成は同一な構成部分から成るもので、
同一構成部分には同一番号を付してその説明を省略す
る。ピンホール３１は平行平面板１３と被検物である放
物面鏡１５との間を光軸方向にピンホール３１ａの位置
まで移動可能である。また、図５には示していないが、
前記ピンホール３１を保持し、光軸方向に前記ピンホー
ル３１ａの位置まで移動可能な機構が設けられている。
本実施例は、前記実施例１におけるピンホール１４を廃
止、代わりに移動可能なピンホール３１にて構成した点
が異なり、他の構成は同一な構成部分から成るもので、
同一構成部分には同一番号を付してその説明を省略す
る。ピンホール３１は平行平面板１３と被検物である放
物面鏡１５との間を光軸方向にピンホール３１ａの位置
まで移動可能である。また、図５には示していないが、
前記ピンホール３１を保持し、光軸方向に前記ピンホー
ル３１ａの位置まで移動可能な機構が設けられている。
【００２０】上記構成の放物面鏡形状測定干渉計は、レ
ーザ光源１２から射出されたレーザ光がコリメータレン
ズＬ１により拡大され平行光束となる。この平行光束が
平行平面板１３に垂直に入射し、一部は反射光となり、
一部は透過光となる。この透過光はピンホール３１に入
射し、該ピンホール３１を中心とした球面波となり被検
物である放物面鏡１５に入射する。被検物である放物面
鏡１５を他の放物面鏡と交換するときに、前記ピンホー
ル３１をピンホール３１ａの位置まで移動させる。以
下、前記実施例１と同様な作用であり、作用の説明を省
略する。
ーザ光源１２から射出されたレーザ光がコリメータレン
ズＬ１により拡大され平行光束となる。この平行光束が
平行平面板１３に垂直に入射し、一部は反射光となり、
一部は透過光となる。この透過光はピンホール３１に入
射し、該ピンホール３１を中心とした球面波となり被検
物である放物面鏡１５に入射する。被検物である放物面
鏡１５を他の放物面鏡と交換するときに、前記ピンホー
ル３１をピンホール３１ａの位置まで移動させる。以
下、前記実施例１と同様な作用であり、作用の説明を省
略する。
【００２１】本実施例によれば、ピンホール３１をピン
ホール３１ａの位置まで移動させることにより、被検物
を他の被検物と交換するときにピンホール３１が邪魔に
ならず、被検物の交換作業が容易にできる。
ホール３１ａの位置まで移動させることにより、被検物
を他の被検物と交換するときにピンホール３１が邪魔に
ならず、被検物の交換作業が容易にできる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係る放物面
鏡形状測定干渉計によれば、被検物である放物面鏡を少
ない光学素子で高精度に測定することが可能な干渉計が
得られる。
鏡形状測定干渉計によれば、被検物である放物面鏡を少
ない光学素子で高精度に測定することが可能な干渉計が
得られる。
【図１】本発明を示す概念図である。
【図２】干渉縞ピッチとズレ量の説明図である。
【図３】実施例１を示す概略構成図である。
【図４】実施例２を示す概略構成図である。
【図５】実施例３を示す概略構成図である。
【図６】従来例を示す概略構成図である。
１ 干渉計 ２ レーザ光源 ３ 平行平面板 ４ ピンホール ５ 放物面鏡 ６ 放物面鏡取り付け部 ７ ビームスプリッタ ８ 観察系
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光源とビームスプリッタと縞観察
用手段とを有する干渉計において、レーザ光の光軸に対
して垂直に設置した平行平面板と、該平行平面板を透過
したレーザ光中に設置したピンホールと、被検物の放射
面鏡取り付け部とを具備したことを特徴とする放物面鏡
形状測定干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11226392A JPH05280951A (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 放物面鏡形状測定干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11226392A JPH05280951A (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 放物面鏡形状測定干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05280951A true JPH05280951A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=14582329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11226392A Withdrawn JPH05280951A (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 放物面鏡形状測定干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05280951A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008185532A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
-
1992
- 1992-04-03 JP JP11226392A patent/JPH05280951A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008185532A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |