JPH05264217A - Projector - Google Patents
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- JPH05264217A JPH05264217A JP6203392A JP6203392A JPH05264217A JP H05264217 A JPH05264217 A JP H05264217A JP 6203392 A JP6203392 A JP 6203392A JP 6203392 A JP6203392 A JP 6203392A JP H05264217 A JPH05264217 A JP H05264217A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、照明光を被測定物に照
射し、その被測定物からの透過光または反射光を投影レ
ンズを介してスクリーン上に拡大投影する投影機に関す
る。特に、円筒やねじなどの丸物状被測定物の輪郭測定
を高精度にかつ能率的に行える投影機に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a projector for irradiating an object to be measured with illumination light and magnifying and projecting transmitted light or reflected light from the object to be measured on a screen through a projection lens. In particular, the present invention relates to a projector capable of highly accurately and efficiently measuring the contour of a round object such as a cylinder or a screw.
【０００２】[0002]
【背景技術】載物台に載置された被測定物に照明光を照
射し、その被測定物からの透過光または反射光を投影レ
ンズを介してスクリーン上に拡大投影し、その拡大投影
画像から被測定物の寸法や形状などを測定する投影機が
知られている。BACKGROUND ART Illumination light is applied to an object to be measured placed on a stage, and transmitted light or reflected light from the object to be measured is enlarged and projected on a screen through a projection lens, and an enlarged projection image thereof is obtained. There is known a projector for measuring the size and shape of an object to be measured.
【０００３】従来、投影機において、被測定物の輪郭測
定を行う場合、必要とする倍率の投影レンズを選択した
後、被測定物を載置した載物台を上下方向（Ｚ方向）へ
昇降させてピント合わせを行った後、載物台を水平面内
の直交する二軸方向（ＸおよびＹ方向）へ移動させなが
ら、スクリーン上に拡大投影された拡大投影画像から被
測定物の輪郭形状などを測定しいている。Conventionally, in the case of measuring the contour of an object to be measured in a projector, after selecting a projection lens having a required magnification, the stage on which the object to be measured is placed is moved up and down (Z direction). After performing the focusing by moving the stage in the biaxial directions (X and Y directions) orthogonal to each other in the horizontal plane, the contour shape of the object to be measured, etc. from the enlarged projection image enlarged and projected on the screen. I am measuring.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の投影
機では、被測定物の形状が円筒やねじなどの丸物状の場
合、スクリーン上に拡大投影された拡大投影画像の輪郭
に観測誤差が生じるという問題がある。つまり、投影光
軸に平行な照明光が被測定物の丸物状輪郭面に入射する
と、その丸物状輪郭面における入射位置により光の反射
角度が異なるため、スクリーン上に拡大投影された拡大
投影画像の輪郭に観測誤差が生じる。By the way, in the conventional projector, when the object to be measured has a round shape such as a cylinder or a screw, an observation error occurs in the contour of the enlarged projection image enlarged and projected on the screen. There is a problem that it will occur. That is, when the illumination light parallel to the projection optical axis is incident on the round-shaped contour surface of the DUT, the reflection angle of the light differs depending on the incident position on the round-shaped contour surface. An observation error occurs in the contour of the projected image.
【０００５】一般に、丸物状被測定物における輪郭の観
測誤差は、照明系の開口角とスクリーンの明るさなどに
起因する。なかでも、最も影響を与える要因は照明系の
開口角である。従って、輪郭の観測誤差が少なくなるよ
うに照明系の開口角を決定すればよいが、これは、丸物
状被測定物の直径によって異なる上、投影レンズの倍率
によっても異なるため、従来の投影機では、これらに対
応できなかった。In general, the error in observing the contour of a round object is caused by the aperture angle of the illumination system and the brightness of the screen. The most influential factor is the aperture angle of the illumination system. Therefore, the aperture angle of the illumination system may be determined so that the error in observing the contour is reduced, but it depends on the diameter of the round object to be measured and also depends on the magnification of the projection lens. The machine could not handle these.
【０００６】ここに、本発明の目的は、このような従来
の問題を全て解消し、丸物状被測定物の輪郭測定に際し
て、その丸物状被測定物の直径に適し、かつ、投影レン
ズの倍率に対応した開口角が容易に得られる投影機を提
供することにある。It is an object of the present invention to solve all of the problems of the prior art and to be suitable for the diameter of a round object to be measured when measuring the contour of the object to be measured. It is an object of the present invention to provide a projector that can easily obtain an aperture angle corresponding to the magnification.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】そのため、本発明の投影
機では、照明光を被測定物に照射する照明系を有し、被
測定物からの透過光または反射光を投影レンズを介して
スクリーン上に拡大投影する投影機において、前記照明
光の光軸上に設けられた可変開口絞りおよびその可変開
口絞りの絞り量を可変する駆動源を有する絞り可変手段
と、前記投影レンズの倍率に対応する照明倍率を選択す
る照明倍率選択手段と、前記可変開口絞りの絞り量を調
整指令する絞り量調整つまみと、前記照明倍率選択手段
によって選択された照明倍率に応じた最大開口角に前記
照明系を設定するとともに、前記絞り量調整つまみから
の調整指令に従って前記可変開口絞りの絞り量を調整す
る制御装置と、を備えたことを特徴としている。Therefore, the projector according to the present invention has an illumination system for irradiating an object to be measured with illumination light, and transmits or reflects light from the object to be measured through a projection lens to a screen. In a projector for magnifying and projecting upward, a variable aperture stop provided on the optical axis of the illumination light and an aperture variable means having a drive source for changing the aperture amount of the variable aperture stop, and a magnification of the projection lens Illumination magnification selecting means for selecting an illumination magnification to be adjusted, an aperture amount adjusting knob for instructing adjustment of the aperture amount of the variable aperture diaphragm, and the illumination system having the maximum aperture angle according to the illumination magnification selected by the illumination magnification selecting means. And a control device that adjusts the diaphragm amount of the variable aperture diaphragm according to an adjustment command from the diaphragm amount adjusting knob.
【０００８】[0008]
【作用】測定に当たって、まず、投影レンズの倍率に対
応する照明倍率を照明倍率選択手段によって選択する
と、その選択された照明倍率に応じた最大開口角に照明
系が設定される。次に、丸物状被測定物を測定する場
合、絞り量調整つまみを操作していく。すると、絞り量
調整つまみからの調整指令に従って可変開口絞りの絞り
量が調整されいくから、スクリーンを見ながら拡大投影
画像がシャープになった位置で操作を停止すればよい。
従って、丸物状被測定物の直径に適し、かつ、投影レン
ズの倍率に対応した開口角を容易に得ることができる。In the measurement, first, when the illumination magnification corresponding to the magnification of the projection lens is selected by the illumination magnification selecting means, the illumination system is set to the maximum aperture angle corresponding to the selected illumination magnification. Next, when measuring a round object to be measured, the diaphragm amount adjusting knob is operated. Then, the diaphragm amount of the variable aperture diaphragm is adjusted according to the adjustment command from the diaphragm amount adjusting knob, and therefore the operation may be stopped at the position where the enlarged projected image becomes sharp while looking at the screen.
Therefore, an aperture angle suitable for the diameter of the round object to be measured and corresponding to the magnification of the projection lens can be easily obtained.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の投影機について好適な実施例
を挙げ、添付図面を参照しながら詳細に説明する。The preferred embodiments of the projector of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
【００１０】図１は本実施例の投影機の外観を示してい
る。同図において、１は測定機本体、２は載物台であ
る。載物台２は、測定機本体１内の下部に設けられた光
源５（図２参照）からの照明光を上方へ透過できるよう
にガラスなどによって構成されているとともに、上下方
向（Ｚ方向）へ昇降可能かつ水平面内の直交する二軸方
向（Ｘ方向およびＹ方向）へスライド可能に構成されて
いる。３はスクリーン、４Ａ〜４Ｃは倍率の異なる３本
の投影レンズである。投影レンズ４Ａ〜４Ｃは、図示省
略のターレットに着脱可能に装着され、かつ、そのター
レットの旋回によっていずれかが光軸上に切り換えられ
るようになっている。６はケーブル、７は操作ボックス
スタンドである。FIG. 1 shows the appearance of the projector of this embodiment. In the figure, 1 is a main body of the measuring machine and 2 is a stage. The stage 2 is made of glass or the like so that the illumination light from the light source 5 (see FIG. 2) provided in the lower portion of the measuring machine body 1 can be transmitted upward, and also in the vertical direction (Z direction). It is configured to be able to move up and down and to be slidable in two orthogonal directions (X direction and Y direction) in a horizontal plane. Reference numeral 3 is a screen, and 4A to 4C are three projection lenses having different magnifications. The projection lenses 4A to 4C are detachably attached to a turret (not shown), and any of them can be switched on the optical axis by turning the turret. Reference numeral 6 is a cable, and 7 is an operation box stand.
【００１１】前記載物台２と前記光源５との間（測定機
本体１の内部）には、図２に示す如く、前記光源５から
の照明光の光軸と同軸に可変開口絞り１１が設けられて
いる。可変開口絞り１１は、ベルト伝達機構１２を介し
て連結された駆動源としてのステップモータ１３の回転
により絞り量が可変されるようになっている。ベルト伝
達機構１２は、前記可変開口絞り１１側に取り付けられ
た第１のプーリ１４と、前記ステップモータ１３の出力
軸に取り付けられた第２のプーリ１５と、この両プーリ
１４，１５間に掛け回されたベルト１６とから構成され
ている。ここに、可変開口絞り１１、ベルト伝達機構１
２およびステップモータ１３により、本実施例の絞り可
変手段１７が形成されている。なお、１８はステップモ
ータ１３の回転角度を検出する回転角検出器である。As shown in FIG. 2, a variable aperture stop 11 is provided between the object table 2 and the light source 5 (inside the measuring machine body 1) coaxially with the optical axis of the illumination light from the light source 5. It is provided. The variable aperture stop 11 is configured such that the stop amount is variable by rotation of a step motor 13 as a drive source connected via a belt transmission mechanism 12. The belt transmission mechanism 12 includes a first pulley 14 attached to the variable aperture stop 11 side, a second pulley 15 attached to an output shaft of the step motor 13, and a pulley between the pulleys 14 and 15. The belt 16 is rotated. Here, the variable aperture stop 11 and the belt transmission mechanism 1
The aperture variable means 17 of the present embodiment is formed by 2 and the step motor 13. Reference numeral 18 denotes a rotation angle detector that detects the rotation angle of the step motor 13.
【００１２】前記操作ボックススタンド７の上部には、
第１の操作ボックス２１と、第２の操作ボックス２２と
がそれぞれ設けられている。第１の操作ボックス２１に
は、前記載物台２を水平面内の直交する二軸方向（Ｘ方
向およびＹ方向）へスライドさせるジョイスティック２
３と、前記載物台２を上下方向（Ｚ方向）へ粗動および
微動させる内外二重のジョグシャトル２４とがそれぞれ
設けられている。On the upper part of the operation box stand 7,
A first operation box 21 and a second operation box 22 are provided respectively. The first operation box 21 has a joystick 2 for sliding the above-described object platform 2 in two axial directions (X direction and Y direction) orthogonal to each other in a horizontal plane.
3 and an inner / outer double jog shuttle 24 for roughly and finely moving the above-described object platform 2 in the vertical direction (Z direction).
【００１３】前記第２の操作ボックス２２には、図３に
示す如く、被測定物Ｗに対する照明光の照射方向を選択
する照明光選択スイッチ群３１と、前記投影レンズ４Ａ
〜４Ｃの中から使用する投影レンズを選択する投影レン
ズ選択スイッチ群３２と、使用する投影レンズの倍率に
対応する照明倍率を選択する照明倍率選択スイッチ群３
３と、前記可変開口絞り１１の絞り量を調整指令する絞
り量調整つまみ３４とがそれぞれ設けられている。In the second operation box 22, as shown in FIG. 3, an illumination light selection switch group 31 for selecting the irradiation direction of the illumination light to the object to be measured W, and the projection lens 4A.
4C to 4C, a projection lens selection switch group 32 for selecting a projection lens to be used, and an illumination magnification selection switch group 3 for selecting an illumination magnification corresponding to the magnification of the projection lens to be used.
3 and a diaphragm amount adjusting knob 34 for adjusting the diaphragm amount of the variable aperture diaphragm 11 are provided.
【００１４】前記照明光選択スイッチ群３１は、透過照
明、垂直反射照明および斜反射照明のいずれかを選択す
るスイッチ群３１Ａ〜３１Ｃを有する。スイッチ群３１
Ａは透過照明における光量の大小および消灯を選択する
スイッチ「Ｈ」「Ｌ」および「 OFF」を、スイッチ群３
１Ｂは垂直反射照明の使用の有無を選択するスイッチ
「ON」「 OFF」を、スイッチ群３１Ｃは斜反射照明の使
用の有無を選択するスイッチ「ON」「 OFF」を、それぞ
れ含む。前記投影レンズ選択スイッチ群３２は、３本の
投影レンズ４Ａ〜４Ｃの中から使用する投影レンズを選
択する投影レンズ選択スイッチ「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」を有
する。The illuminating light selection switch group 31 has switch groups 31A to 31C for selecting any one of transmission illumination, vertical reflection illumination and oblique reflection illumination. Switch group 31
A is a switch group 3 which includes switches "H", "L" and "OFF" for selecting the amount of light in transmitted illumination and turning off the light.
1B includes switches "ON" and "OFF" for selecting whether to use vertical reflection illumination, and the switch group 31C includes switches "ON" and "OFF" for selecting whether to use oblique reflection illumination. The projection lens selection switch group 32 includes projection lens selection switches “A”, “B”, and “C” that select a projection lens to be used from the three projection lenses 4A to 4C.
【００１５】前記照明倍率選択スイッチ群３３は、使用
する投影レンズの倍率に対応して選択される５種の照明
倍率に合致する５つの照明倍率選択スイッチ「５X 」
「10X」「20X 」「50X 」「 100X 」を有する。前記絞
り量調整つまみ３４には、図４に示す如く、時計方向へ
最大限回転させて止まった状態において、各倍率でそれ
ぞれ設定される最大開口角に対応する位置に各倍率「５
X 」「10X 」「20X 」「50X 」「 100X 」の最大開口角
を示す三角マークがそれぞれ付されている。The illumination magnification selection switch group 33 includes five illumination magnification selection switches "5 X " which match the five types of illumination magnification selected corresponding to the magnification of the projection lens used.
It has “10 X ”, “20 X ”, “50 X ”, and “100 X ”. As shown in FIG. 4, the aperture amount adjusting knob 34 has a magnification "5" at a position corresponding to the maximum opening angle set at each magnification in a state in which it is fully rotated clockwise and stopped.
Triangle marks indicating the maximum opening angles of " X ", "10 X ", "20 X ", "50 X ", and "100 X " are respectively attached.
【００１６】図５は図１に示す投影機の回路構成を示し
ている。同図において、４１は制御装置である。制御装
置４１は、前記第１、第２の操作ボックス２１，２２か
らの操作指令信号および回転角検出器１８からの検出信
号に基づいて、前記載物台２を水平面内の直交する二軸
方向（Ｘ方向およびＹ方向）へスライドさせるＸ−Ｙ駆
動系４２、前記載物台２を上下方向（Ｚ方向）へ粗動お
よび微動させるＺ軸駆動系４３、被測定物Ｗに対する照
明光の照射方向を変更させるとともに、前記本体１下部
内に内蔵されたレンズ群（図示省略）を相対移動させて
照明光を選択された照明倍率に対応する有効光束に設定
する照明系４４、投影レンズ４Ａ〜４Ｃを切り換える投
影レンズ切換系４５および前記ステップモータ１３など
を駆動させる。FIG. 5 shows a circuit configuration of the projector shown in FIG. In the figure, reference numeral 41 is a control device. Based on the operation command signals from the first and second operation boxes 21 and 22 and the detection signal from the rotation angle detector 18, the control device 41 sets the above-described object platform 2 in two orthogonal directions in a horizontal plane. XY drive system 42 that slides in the (X direction and Y direction), Z axis drive system 43 that roughly and finely moves the object table 2 in the vertical direction (Z direction), and irradiation of the measured object W with illumination light. In addition to changing the direction, a lens group (not shown) built in the lower portion of the main body 1 is relatively moved to set the illumination light to an effective light flux corresponding to the selected illumination magnification, the illumination system 44, the projection lenses 4A to The projection lens switching system 45 for switching 4C and the step motor 13 are driven.
【００１７】次に、本実施例の作用を説明する。丸物状
の被測定物Ｗの輪郭形状を測定する場合、まず、電源を
投入した後、照明光選択スイッチ群３１の中から透過照
明選択スイッチ３１Ａにおけるスイッチ「Ｈ」「Ｌ」の
いずれかを押すと、光源５が点灯される。次に、投影レ
ンズ４Ａ〜４Ｃの中から必要な倍率の投影レンズを選択
し、投影レンズ選択スイッチ群３２の中から選択した投
影レンズに対応するいずれかのスイッチ「Ａ」「Ｂ」
「Ｃ」を押し、続いて、照明倍率選択スイッチ群３３の
中から選択した投影レンズの倍率と合致した照明倍率に
対応するいずれかのスイッチ「５X 」「10X 」「20X」
「50X 」「 100X 」を押す。Next, the operation of this embodiment will be described. When measuring the contour shape of the round-shaped object to be measured W, first, after turning on the power, one of the switches “H” and “L” in the transmitted light selection switch 31A is selected from the illumination light selection switch group 31. When pressed, the light source 5 is turned on. Next, a projection lens having a required magnification is selected from the projection lenses 4A to 4C, and one of the switches "A" and "B" corresponding to the projection lens selected from the projection lens selection switch group 32 is selected.
Press "C", and then any switch corresponding to the illumination magnification that matches the magnification of the projection lens selected from the illumination magnification selection switch group 33, "5 X ""10 X ""20 X "
Press "50 X " and "100 X ".
【００１８】すると、制御装置４１は、まず、投影レン
ズ選択スイッチ群３２の中からいずれかのスイッチ
「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」が押されたとき、押されたスイッチ
に対応する投影レンズ４Ａ〜４Ｃが光軸上に位置するよ
うに投影レンズ切換系４５を駆動させる。また、照明倍
率選択スイッチ群３３の中からいずれかのスイッチ「５
X」「10X 」「20X 」「50X 」「 100X 」が押されたと
き、照明系４４のレンズ群（図示省略）を相対移動させ
て押されたスイッチに対応する照明倍率（投影レンズの
倍率）に適した有効光束に設定する。ここでは、照明系
４４を押されたスイッチの照明倍率に対応する最大開口
角に設定する。。Then, when one of the switches "A", "B", and "C" is pressed from the projection lens selection switch group 32, the control device 41 first projects the projection lens 4A corresponding to the pressed switch. The projection lens switching system 45 is driven so that .about.4C are located on the optical axis. In addition, one of the switches “5
When " X ", "10 X ", "20 X ", "50 X ", or "100 X " is pressed, the lens group (not shown) of the illumination system 44 is relatively moved and the illumination magnification (projection) corresponding to the pressed switch is projected. Set the effective light flux suitable for the lens magnification. Here, the illumination system 44 is set to the maximum opening angle corresponding to the illumination magnification of the pressed switch. .
【００１９】その後、載物台２上に被測定物Ｗを載せた
後、ピント合わせを行う。これには、ジョグシャトル２
４を回動操作すると、Ｚ軸駆動系４３を介して載物台２
が上下方向（Ｚ方向）へ粗動および微動するから、スク
リーン３上に拡大投影された被測定物Ｗの輪郭形状がシ
ャープになった位置で停止させる。After that, an object to be measured W is placed on the stage 2 and then focusing is performed. This includes Jog Shuttle 2
4 is rotated, the stage 2 is moved through the Z-axis drive system 43.
Moves roughly and finely in the up-down direction (Z direction), and is stopped at a position where the contour shape of the measured object W enlarged and projected on the screen 3 becomes sharp.
【００２０】ここで、被測定物Ｗが丸物状の場合には、
絞り量調整つまみ３４の回動操作によって丸物状被測定
物Ｗの直径に適切な開口角に調整する。このとき、使用
する投影レンズの倍率に応じて、最大開口角が設定され
ているから、絞り量調整つまみ３４を反時計方向へ回動
操作していくと、ステップモータ１３の駆動によって可
変開口絞り１１の絞り量が徐々に絞られていく。やが
て、スクリーン３上に拡大投影された被測定物Ｗの輪郭
形状がシャープになった位置で停止させると、この位置
が丸物状被測定物Ｗの直径に見合った開口角となる。Here, when the object to be measured W has a round shape,
By rotating the diaphragm amount adjusting knob 34, the opening angle is adjusted to be appropriate for the diameter of the round object W to be measured. At this time, since the maximum aperture angle is set according to the magnification of the projection lens used, when the aperture amount adjusting knob 34 is rotated counterclockwise, the variable aperture stop is driven by driving the step motor 13. The aperture amount of 11 is gradually reduced. Eventually, when the object W to be enlarged and projected on the screen 3 is stopped at a position where the contour shape becomes sharp, this position becomes an opening angle commensurate with the diameter of the round object W.
【００２１】従って、本実施例によれば、使用する投影
レンズ４Ａ〜４Ｃを選択し、その選択した投影レンズ４
Ａ〜４Ｃの倍率に対応する照明倍率を選択すれば、その
照明倍率に対応する最大開口角になるように照明系４４
が設定されるから、使用する投影レンズ４Ａ〜４Ｃの倍
率に対応した最大開口角を容易に得ることができる。Therefore, according to this embodiment, the projection lens 4A to 4C to be used is selected and the selected projection lens 4 is selected.
When the illumination magnification corresponding to the magnification of A to 4C is selected, the illumination system 44 is adjusted so that the maximum opening angle corresponding to the illumination magnification is obtained.
Is set, it is possible to easily obtain the maximum aperture angle corresponding to the magnification of the projection lenses 4A to 4C to be used.
【００２２】また、絞り量調整つまみ３４を回動操作す
れば、投影レンズ４Ａ〜４Ｃの倍率に応じて設定されて
いる最大開口角を基準として、可変開口絞り１１が作動
されるから、丸物状被測定物Ｗの直径に適した開口角に
容易に調整することができる。よって、丸物状被測定物
Ｗの輪郭測定に際しても輪郭の観測誤差を低減すること
ができるから、高精度測定を保障できる。しかも、絞り
量調整つまみ３４の回動操作に連動して可変開口絞り１
１を作動させるステップモータ１３を駆動させるように
したので操作性がよい。When the aperture amount adjusting knob 34 is rotated, the variable aperture diaphragm 11 is operated with the maximum aperture angle set according to the magnification of the projection lenses 4A to 4C as a reference. The opening angle suitable for the diameter of the object to be measured W can be easily adjusted. Therefore, even when measuring the contour of the round object W, the contour observing error can be reduced, and high precision measurement can be ensured. Moreover, the variable aperture stop 1 is interlocked with the turning operation of the stop amount adjusting knob 34.
Since the step motor 13 for operating 1 is driven, the operability is good.
【００２３】また、ジョイステッィク２３およびジョグ
シャトル２４を有する第１の操作ボックス２１と、各種
スイッチ群３１，３２，３３および絞り量調整つまみ３
４を有する第２の操作ボックス２２とを、測定機本体１
の近傍に配置した操作ボックススタンド７に集中配置し
たので、作業者はスクリーン３を見ながら各種調整操作
を能率的に行うことができる。更に、このような構成で
は、メンテナンスも容易になる利点がある。A first operation box 21 having a joystick 23 and a jog shuttle 24, various switch groups 31, 32, 33 and a diaphragm amount adjusting knob 3 are provided.
The second operation box 22 having the
Since they are concentrated on the operation box stand 7 arranged in the vicinity of, the operator can efficiently perform various adjustment operations while looking at the screen 3. Further, such a configuration has an advantage that maintenance is easy.
【００２４】なお、本発明は、上記実施例の構成に限定
されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の改良並びに設計変更できる。The present invention is not limited to the configuration of the above embodiment, and various improvements and design changes can be made without departing from the gist of the present invention.
【００２５】例えば、上記実施例では、被測定物に照明
光を照射し、その透過光をスクリーン上に拡大投影する
投影機について説明したが、被測定物からの反射光をス
クリーン上に拡大投影する形式の投影機にも適用でき
る。For example, in the above embodiment, the projector for illuminating the object to be measured with the illumination light and enlarging and projecting the transmitted light on the screen was described. However, the reflected light from the object to be measured is magnified and projected on the screen. It can also be applied to projectors of the type.
【００２６】また、上記実施例では、３本の投影レンズ
４Ａ〜４Ｃの中から必要な投影レンズを選択し、その選
択した投影レンズの倍率に合致する照明倍率を照明倍率
選択スイッチ群３３によって選択するようにしたが、投
影レンズの本数および照明倍率選択スイッチ群３３のス
イッチ数（つまり、投影レンズの倍率に合致する照明倍
率の種類）についても、上記実施例に限らず任意でよ
い。In the above embodiment, the required projection lens is selected from the three projection lenses 4A to 4C, and the illumination magnification that matches the magnification of the selected projection lens is selected by the illumination magnification selection switch group 33. However, the number of projection lenses and the number of switches of the illumination magnification selection switch group 33 (that is, the type of illumination magnification that matches the magnification of the projection lens) are not limited to those in the above embodiment, and may be arbitrary.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上の通り、本発明の投影機によれば、
丸物状被測定物の輪郭測定に際して、その丸物状被測定
物の直径に適し、かつ、投影レンズの倍率に対応した開
口角が容易に得られるという効果が期待できる。As described above, according to the projector of the present invention,
When measuring the contour of a round object, it is expected that an effect suitable for the diameter of the round object and that an aperture angle corresponding to the magnification of the projection lens can be easily obtained.
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図２】同上実施例の主に可変絞り手段の部分を示す図
である。FIG. 2 is a view mainly showing a part of a variable diaphragm means of the embodiment.
【図３】同上実施例の操作ボックスを示す正面図であ
る。FIG. 3 is a front view showing an operation box of the embodiment.
【図４】同上実施例の絞り量調整つまみを示す図であ
る。FIG. 4 is a diagram showing a diaphragm amount adjusting knob according to the embodiment.
【図５】同上実施例の回路構成を示すブロック図であ
る。FIG. 5 is a block diagram showing a circuit configuration of the above embodiment.
１ 測定機本体 ２ 載物台 ３ スクリーン ４Ａ〜４Ｂ 投影レンズ ５ 光源 １１ 可変開口絞り １３ ステップモータ（駆動源） １７ 絞り可変手段 ３３ 照明倍率選択スイッチ群（照明倍率選択手段） ３４ 絞り量調整つまみ ４１ 制御装置 ４４ 照明系 1 Measuring Machine Main Body 2 Screen 3 Screen 4A-4B Projection Lens 5 Light Source 11 Variable Aperture Stopper 13 Step Motor (Drive Source) 17 Aperture Adjusting Means 33 Illumination Magnification Selection Switch Group (Illumination Magnification Selection Means) 34 Aperture Amount Adjustment Knob 41 Controller 44 Lighting system
Claims (1)
し、被測定物からの透過光または反射光を投影レンズを
介してスクリーン上に拡大投影する投影機において、 前記照明光の光軸上に設けられた可変開口絞りおよびそ
の可変開口絞りの絞り量を可変する駆動源を有する絞り
可変手段と、 前記投影レンズの倍率に対応する照明倍率を選択する照
明倍率選択手段と、 前記可変開口絞りの絞り量を調整指令する絞り量調整つ
まみと、 前記照明倍率選択手段によって選択された照明倍率に応
じた最大開口角に前記照明系を設定するとともに、前記
絞り量調整つまみからの調整指令に従って前記可変開口
絞りの絞り量を調整する制御装置と、 を備えたことを特徴とする投影機。1. A projector having an illumination system for irradiating an object to be measured with illumination light, and enlarging and projecting transmitted light or reflected light from the object to be measured onto a screen through a projection lens, comprising: An aperture variable means provided with a variable aperture stop provided on the optical axis and a drive source for varying the aperture amount of the variable aperture stop; an illumination magnification selection means for selecting an illumination magnification corresponding to the magnification of the projection lens; A diaphragm amount adjusting knob for adjusting and commanding the diaphragm amount of the variable aperture diaphragm, and setting the illumination system to the maximum aperture angle according to the illumination magnification selected by the illumination magnification selecting means, and adjusting from the diaphragm amount adjusting knob. A projector that adjusts the diaphragm amount of the variable aperture diaphragm according to a command, and a projector.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6203392A JP2694082B2 (en) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Projector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6203392A JP2694082B2 (en) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Projector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05264217A true JPH05264217A (en) | 1993-10-12 |
| JP2694082B2 JP2694082B2 (en) | 1997-12-24 |
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ID=13188453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6203392A Expired - Fee Related JP2694082B2 (en) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Projector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2694082B2 (en) |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP6203392A patent/JP2694082B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JP2694082B2 (en) | 1997-12-24 |
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