JPH03213811A - Microscope and operating method thereof - Google Patents
Microscope and operating method thereofInfo
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- JPH03213811A JPH03213811A JP5615590A JP5615590A JPH03213811A JP H03213811 A JPH03213811 A JP H03213811A JP 5615590 A JP5615590 A JP 5615590A JP 5615590 A JP5615590 A JP 5615590A JP H03213811 A JPH03213811 A JP H03213811A
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Links
- 238000011017 operating method Methods 0.000 title description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 55
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 19
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 18
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 68
- 230000008569 process Effects 0.000 description 47
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複数の対物レンズを保持するレボルバを備え
た顕微鏡及びその操作方法に係り、特にそのレボルバの
回転駆動手段及びその操作方法の改良に関し、工業用顕
微鏡等に利用できる。Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a microscope equipped with a revolver that holds a plurality of objective lenses, and a method of operating the same, and particularly to an improvement of rotational driving means for the revolver and a method of operating the same. It can be used for industrial microscopes, etc.
高集積化される半導体、微細加工が施されているビデオ
ヘッド等の部品は、μｍオーダーの単位で製作されてい
るので、その製作工程毎に精密な検査を行う必要がある
。しかし、肉眼ではその細部か視認不能なため、これら
の部品、すなわち、被測定物を正確に検査する装置とし
て種々の顕微鏡か提案されている。Semiconductors that are highly integrated and components such as video heads that are microfabricated are manufactured on the order of micrometers, so it is necessary to conduct precise inspections during each manufacturing process. However, since the details cannot be seen with the naked eye, various microscopes have been proposed as devices for accurately inspecting these parts, that is, objects to be measured.
ところで、前記被測定物を製作工程毎に検査する場合に
は、当然これらの顕微鏡を生産工場内に設置しなければ
ならず、また、この工場内では作業者によってその検査
が行われることになる。作業者はこの検査を行う前工程
として、例えば、工作機械等により製品等を切削加工す
ることが考えられ、この場合、その切削屑、塵埃等が作
業者の指等に付着し、次工程である顕微鏡を使用しての
部品検査を行うことになる。By the way, if the object to be measured is to be inspected at each manufacturing process, these microscopes must of course be installed in the production factory, and the inspections will be carried out by workers within this factory. . As a pre-process to this inspection, the worker may, for example, use a machine tool to cut the product, etc. In this case, the cutting waste, dust, etc. may adhere to the worker's fingers, etc., and cause damage in the next process. Parts will be inspected using a microscope.
これら生産工場内に設置される顕微鏡は、例えば、被測
定物を載置する載物台と、前記被測定物の倍率を変換す
るための複数の対物レンズと、これらの対物レンズを回
動自在に保持するレボルバとを含んで構成されている。Microscopes installed in these production factories include, for example, a stage on which an object to be measured is placed, a plurality of objective lenses for changing the magnification of the object to be measured, and these objective lenses are rotatable. It consists of a revolver that is held in the
従って、作業者は前記顕微鏡の倍率を変更するためには
、対物レンズを指等で把持してレボルバを回転させる必
要があり、その回転中に指等に付着した切削屑、塵埃等
が被測定物上に落下する虞れがある。Therefore, in order to change the magnification of the microscope, the operator must hold the objective lens with his or her fingers and rotate the revolver. There is a risk of it falling onto objects.
そこで、この種の顕微鏡の中には、複数の対物レンズが
配設されるレボルバを手動で操作しても、前記被測定物
上に指等に付着した塵埃等がなるべく落下しないように
構成される顕微鏡が発表されており、例えば第１３図に
示すようなものがある。Therefore, some microscopes of this type are constructed in such a way that dust attached to fingers or the like does not fall onto the object to be measured even if the revolver, which is equipped with a plurality of objective lenses, is manually operated. Microscopes have been announced, such as the one shown in Figure 13.
すなわち、第１３図において、顕微鏡１は、略コ字状の
本体４を含み、この本体４の略中夫に設けられた支持台
５上には、上下２枚の相対移動可能な板材からなる載物
台６が、水平面内における直交２方向、すなわち、矢印
Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に設けられている。この載
物台６には、被測定物Ｗが載置されるとともに、−側角
部には粗動ピン７Ａ、７Ｂが突出して取着されている。That is, in FIG. 13, the microscope 1 includes a substantially U-shaped main body 4, and on a support stand 5 provided approximately at the center of the main body 4, there is a support plate 5 made of two relatively movable plates, upper and lower. A stage 6 is provided so as to be slidable in two orthogonal directions within a horizontal plane, that is, in the direction of arrows X and Y. The object to be measured W is placed on the stage 6, and coarse movement pins 7A and 7B are attached to the negative side corner so as to protrude.
この粗動ピン７Ａ、７Ｂを把持して矢印Ｘ、Ｙ方向に変
位させると、この変位に伴って載物台６も大きく移動す
る。When the coarse movement pins 7A and 7B are grasped and displaced in the directions of the arrows X and Y, the stage 6 also moves significantly in accordance with this displacement.
また、前記支持台５の下面一端側には、ハンドル８Ａ、
８Ｂが設けられており、このハンドル８Ａ、８Ｂを矢印
Ａ方向に回動させると、図示しないラック、ピニオン等
を介して前記載物台６が小さく矢印Ｘ、Ｙ方向に移動す
るよう構成される。Further, on one end side of the lower surface of the support stand 5, a handle 8A,
8B, and when the handles 8A and 8B are rotated in the direction of the arrow A, the document table 6 is moved slightly in the directions of the arrows X and Y via a rack, pinion, etc. (not shown). .
前記本体４の上部には、反射照明手段９と、前記被測定
物Ｗの表面を視認するための接眼レンズ１０とが配設さ
れ、前記接眼レンズｌＯの直下には矢印Ｂ方向に回転自
在なレボルバ１２が設けられる。このレボルバ１２には
、複数の回転棒１３と、夫々倍率の異なった５つの対物
レンズ１４とが取着される。A reflective illumination means 9 and an eyepiece lens 10 for viewing the surface of the object to be measured W are disposed on the upper part of the main body 4, and a lens rotatable in the direction of arrow B is provided directly below the eyepiece lens IO. A revolver 12 is provided. A plurality of rotating rods 13 and five objective lenses 14 each having a different magnification are attached to this revolver 12.
このように構成された顕微鏡ｌの接眼レンズｌＯ内を目
視することにより、被測定物Ｗの表面を検査している時
に、所望の倍率の対物レンズ１４に変更したい場合には
、前記回転棒１３を矢印Ｂ方向に回転させることにより
、所望倍率の対物レンズ１４を所定の位置に位置決めす
ることができる。When the surface of the object W to be measured is inspected by visually observing the inside of the eyepiece 10 of the microscope 1 configured in this way, if it is desired to change to the objective lens 14 of a desired magnification, the rotary rod 13 By rotating the lens in the direction of arrow B, the objective lens 14 having a desired magnification can be positioned at a predetermined position.
しかしながら、前記従来例において、前記回転棒１３を
長尺に形成すると、指等に付着している塵埃は被測定物
Ｗ上にほとんど落下しないが、長尺なため、他の操作、
例えば、粗動ピン７Ａ、７Ｂによる載物台６の移動等の
邪魔になる場合がある。この場合には、被測定物Ｗの検
査中に、不用意にこの回転棒１３を回転させてしまうと
いう不都合が生じる。However, in the conventional example, if the rotary rod 13 is formed long, the dust attached to fingers etc. will hardly fall onto the object W to be measured, but since it is long, other operations,
For example, it may get in the way of movement of the stage 6 by the coarse movement pins 7A, 7B. In this case, during the inspection of the object W to be measured, there arises an inconvenience in that the rotary rod 13 is inadvertently rotated.
また、他の操作の邪魔にならないように回転棒１３を短
尺に形成すると、指等に付着している塵埃等が被測定物
Ｗ上に落下する虞れがあり、若し、この塵埃等が被測定
物Ｗに付着すると、この被測定物Ｗの表面は、高集積化
された半導体のように凹凸形状を呈しているので、塵埃
等の除去作業が非常に煩雑となる欠点が露呈する。Furthermore, if the rotary rod 13 is made short so as not to interfere with other operations, there is a risk that dust, etc. attached to fingers etc. may fall onto the object W to be measured. If it adheres to the object to be measured W, the surface of the object to be measured W has an uneven shape like a highly integrated semiconductor, so the drawback that removing dust and the like becomes extremely complicated is exposed.
そこで、指等をレボルバ１２に近づけることなく、レボ
ルバ１２を自動的に回転させることにより、塵埃等の付
着を阻止する装置として、特開昭６２−２１８９１５号
にその技術的思想が開示されている。Therefore, Japanese Patent Laid-Open No. 62-218915 discloses the technical idea of a device that prevents dust from adhering to the revolver 12 by automatically rotating the revolver 12 without bringing fingers or the like close to the revolver 12. .
この思想は、第１４図に示すように、顕微鏡１５の本体
１６側に、磁気センサ１７Ａ乃至１７Ｃと、弾性的に支
持される係止法１８と、マイクロスイッチ２０とを設け
ている。一方、複数の対物レンズ（図示せず）が装着さ
れるレボルバ１９側に、■溝２２Ａ乃至２２Ｅと、２進
法符号を形成する磁石２４Ａ乃至２４Ｇとがそれぞれ、
所定位置に取着される。この状態で、例えば、レボルバ
１９が矢印方向に回転した際に、磁気センサ１７Ａ乃至
１７ｃは、磁石２４Ａ乃至２４Ｇの存在する位置を「０
」と読み取り、磁石２４Ａ乃至２４Ｇの存在しない位置
を「１」と読み取るように構成さ４Ｉるので、図の位置
においてはｒｌＯＮすなわち、１０進法で「５」と読み
取るようにされている。This idea is to provide magnetic sensors 17A to 17C, an elastically supported locking method 18, and a microswitch 20 on the main body 16 side of the microscope 15, as shown in FIG. On the other hand, on the side of the revolver 19 to which a plurality of objective lenses (not shown) are mounted, grooves 22A to 22E and magnets 24A to 24G forming binary codes are provided, respectively.
Mounted in place. In this state, for example, when the revolver 19 rotates in the direction of the arrow, the magnetic sensors 17A to 17c detect the positions of the magnets 24A to 24G as "0".
", and the position where the magnets 24A to 24G are not present is read as "1", so the position shown in the figure is read as rlON, that is, "5" in decimal notation.
このように構成されたレボルバ１９等を図示しない回転
手段で矢印方向へ回転させて所望の位置、例えばＮ ０
１Ｊで停止させたい時には、磁気センサ１７Ａ乃至１７
Ｃにｒｌｏｌ」の信号が入力されるまで比較器（図示せ
ず）で判断し、その信号が入力された時に、前記レボル
バ１９の回転を停止させ、■溝２２Ｅに係止法１８を係
合させることにより、位置決めを行っている。The revolver 19 and the like configured in this manner is rotated in the direction of the arrow by a rotating means (not shown) to a desired position, for example, N0.
When you want to stop at 1J, use magnetic sensors 17A to 17.
A comparator (not shown) judges until a signal "rlol" is input to C, and when that signal is input, the rotation of the revolver 19 is stopped, and the locking method 18 is engaged with the groove 22E. Positioning is performed by
しかしながら、この場合、前記レボルバ１９は、対物レ
ンズ（図示せず）を装着しているので、かなりの重量物
となり、このレボルバ１９を回転させる際、その回転に
よる慣性力は比較的大きなものとなる。このため、磁気
センサ１７Ａ乃至１７Ｃが所望の信号を検知してからそ
の回転を停止させたのでは、慣性力によりＶ溝２２Ｅに
係止法１８が係合した位置で停止せず、■溝２２Ｅを通
過した位置でレボルバ１９が停止する虞れがある。However, in this case, since the revolver 19 is equipped with an objective lens (not shown), it becomes quite heavy, and when the revolver 19 is rotated, the inertial force due to the rotation is relatively large. . Therefore, if the magnetic sensors 17A to 17C stop their rotation after detecting the desired signals, they will not stop at the position where the locking method 18 engages with the V groove 22E due to inertia force, and the There is a possibility that the revolver 19 will stop at the position where it passes through.
このような時は、結局、指等でレボルバ１９を所望の位
置に変位させる必要があり、この時、特に指等に付着し
た切削屑、塵埃等が被測定物Ｗ上に落下する虞れがある
。In such a case, it is necessary to displace the revolver 19 to the desired position with a finger or the like, and at this time, there is a risk that cutting chips, dust, etc. attached to the finger or the like may fall onto the object W to be measured. be.
従って、この思想の場合には、自動的にレボルバ１９を
しっかりと所望の位置に位置決めすることが難しくなり
、この結果、被測定物Ｗの精密な検査が困難となる欠点
が露呈する。Therefore, in the case of this concept, it becomes difficult to automatically and firmly position the revolver 19 at a desired position, and as a result, the drawback that precise inspection of the object W to be measured becomes difficult is exposed.
また、前記特開昭６２−２１８９１５号の思想は、レボ
ルバ１９が本体１６に対し、着脱可能でないため、レボ
ルバ１９に既に取付けられている対物レンズと異なる倍
率の対物レンズを必要とするときは、いちいちねじ込み
操作しなければならず、操作が煩雑であるという問題点
もある。更に、レボルバ１９は、着脱可能でないことか
ら、駆動源等のメンテナンスが容易でないという問題点
もある。Furthermore, the idea of JP-A-62-218915 is that since the revolver 19 is not removable from the main body 16, when an objective lens with a different magnification from the objective lens already attached to the revolver 19 is required, There is also the problem that the screws must be screwed in each time, making the operation complicated. Furthermore, since the revolver 19 is not removable, there is also the problem that maintenance of the drive source and the like is not easy.
一方、これらの顕微鏡を用いて温度、湿度とも略一定に
保持された測定室で測定する場合、この測定室内の作業
者の指には塵埃等が付着していない場合が多いので、対
物レンズを指で把持して変位させることが考えられる。On the other hand, when using these microscopes to perform measurements in a measurement chamber where both temperature and humidity are kept approximately constant, the fingers of workers in this measurement chamber are often free of dust, so the objective lens must be It is conceivable to grasp it with your fingers and displace it.
そこで、手動操作しても、レボルバの位置が検出可能な
顕微鏡が要請される。Therefore, there is a need for a microscope that can detect the position of the revolver even when operated manually.
本発明の第１の目的は、レボルバの正確な位置決めが自
動的に可能で、メンテナンスも容易な顕微鏡及びその操
作方法を提供するにある。A first object of the present invention is to provide a microscope and a method of operating the same, in which accurate positioning of a revolver is automatically possible and maintenance is easy.
本発明の第２の目的は、レボルバを自動、手動のどちら
で操作しても、前記レボルバの回転を正確に検出するこ
とが可能となる顕微鏡を提供するにある。A second object of the present invention is to provide a microscope capable of accurately detecting the rotation of the revolver, whether the revolver is operated automatically or manually.
本発明の第１の目的を達成する顕微鏡は、レボルバを回
転可能に支持するレボルバユニットを設けるとともに、
このレボルバユニットを本体に着脱可能に設け、かつ、
レボルバユニットには、レボルバを回転伝達手段を介し
て回転駆動する回転駆動源と、レボルバに取付けられた
対物レンズのそれぞれの位置を検知する回転位置検知手
段を設けたことを特徴とする。A microscope that achieves the first object of the present invention includes a revolver unit that rotatably supports a revolver, and
This revolver unit is removably installed in the main body, and
The revolver unit is characterized by being provided with a rotational drive source that rotationally drives the revolver via a rotation transmission means, and a rotational position detection means that detects the respective positions of the objective lenses attached to the revolver.
また、本発明の第１の目的を達成する操作方法は、レボ
ルバを回転させる回転駆動源を制御して、前記レボルバ
が所定位置まで回転した時に位置回転駆動源の回転速度
を減速させ、レボルバが所定停止位置に位置する直前で
モータを前記と逆方向に微少時間回転させてレボルバの
慣性力を小さくし、更に回転駆動源に一時的にブレーキ
をかけた後に回転駆動源を完全に停止させるようにされ
る方法である。Further, an operating method for achieving the first object of the present invention is to control a rotational drive source for rotating a revolver, and reduce the rotational speed of the position rotational drive source when the revolver has rotated to a predetermined position, so that the revolver is rotated. Immediately before reaching a predetermined stop position, the motor is rotated for a short time in the opposite direction to reduce the inertia of the revolver, and after temporarily applying a brake to the rotary drive source, the rotary drive source is completely stopped. This is how it is done.
更に、本発明の第２の目的を達成する顕微鏡は、レボル
バを回転可能に支持するレボルバユニットと設けるとと
もに、このレボルバユニットを本体に着脱可能に設け、
かつ、レボルバユニットには、レボルバを回転伝達手段
を介して回転駆動する回転駆動源と、通電時に対物レン
ズの位置を検出する初期位置検出手段と、レボルバの手
動あるいは自動回転を検知して対物レンズの位置を検出
する手動回転位置検出手段及び自動回転位置検出手段と
、対物レンズの数に対応してレボルバユニットの支持板
に所定間隔で設けられる磁気センサと、レボルバ内に設
けられた対物レンズの数より１つ少ない永久磁石とが設
けられたことを特徴とする。Furthermore, a microscope that achieves the second object of the present invention is provided with a revolver unit that rotatably supports a revolver, and the revolver unit is detachably attached to the main body,
In addition, the revolver unit includes a rotational drive source that rotationally drives the revolver via a rotation transmission means, an initial position detection means that detects the position of the objective lens when energized, and a rotational drive source that detects the manual or automatic rotation of the revolver and detects the position of the objective lens. manual rotational position detection means and automatic rotational position detection means for detecting the position of the revolver; magnetic sensors provided at predetermined intervals on the support plate of the revolver unit corresponding to the number of objective lenses; It is characterized in that one less permanent magnet than the number of permanent magnets is provided.
（作用〕
前述の構成において、対物レンズの自動的な選択は、モ
ータ等の回転駆動源を駆動し、回転位置検知手段からの
信号でこの回転駆動源の回転を停止させることで行う。(Operation) In the above-described configuration, automatic selection of the objective lens is performed by driving a rotary drive source such as a motor, and stopping the rotation of this rotary drive source in response to a signal from the rotational position detection means.
従って、従来のようにレボルバを指等で回転させること
がなくなるので、指等に付着している切削屑、塵埃等が
被測定物上に落下することがなくなり、この結果、被測
定物の精密な検査が可能となる。Therefore, unlike in the past, the revolver does not have to be rotated by fingers, etc., so cutting chips, dust, etc. attached to fingers etc. do not fall onto the object to be measured, and as a result, precision of the object to be measured is improved. inspection becomes possible.
また、レボルバユニットを取り外せば、回転駆動源や回
転伝達手段のメンテナンスを容易に行え、かつ、予め用
意した異なる倍率の対物レンズを有するレボルバユニッ
トに交換することで、異なる倍率での被測定物の検査が
容易に行なえる。In addition, by removing the revolver unit, maintenance of the rotation drive source and rotation transmission means can be easily performed, and by replacing it with a revolver unit that has a pre-prepared objective lens with a different magnification, it is possible to easily perform maintenance of the rotation drive source and rotation transmission means. Inspection can be performed easily.
更に、本発明に係る顕微鏡が恒温、恒湿の測定室内等に
設置されており、レボルバを手動回転する場合には、電
源投入時のレボルバの初期位置が、永久磁石及び磁気セ
ンサと初期位置検出手段とにより検出される。Furthermore, if the microscope according to the present invention is installed in a measurement room with constant temperature and humidity, and the revolver is manually rotated, the initial position of the revolver when the power is turned on is determined by the permanent magnet and the magnetic sensor. Detected by means.
次いで、手動でレボルバを回すと、同じく永久磁石及び
磁気センサと手動回転位置検出手段とによって、対物レ
ンズの位置が検出される。これにより、手動時の対物レ
ンズの位置を正確に設定できる。Next, when the revolver is manually rotated, the position of the objective lens is detected by the permanent magnet, the magnetic sensor, and the manual rotation position detection means. This makes it possible to accurately set the position of the objective lens during manual operation.
また、前記測定室内等においても、自動設定は前述と同
様にして行える。Further, automatic setting can be performed in the same manner as described above also in the measurement room or the like.
〔実施例〕
次に、本発明に係る顕微鏡及びその操作方法について好
適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に説
明する。[Embodiments] Next, preferred embodiments of the microscope and its operating method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図において、参照符号３０は本発明の第１実施例に
係る顕微鏡を示し、前記顕微鏡３ｏの近傍には、画像表
示部１６０と、コントロールボックス１７０と、操作ボ
ックス１８０とが配置され、それぞれケーブル１６１及
び１７１で接続されている。In FIG. 1, reference numeral 30 indicates a microscope according to the first embodiment of the present invention, and an image display section 160, a control box 170, and an operation box 180 are arranged near the microscope 3o. They are connected by cables 161 and 171.
先ず、顕微鏡３０について説明する。First, the microscope 30 will be explained.
前記顕微鏡３０は、略コ字状の本体３１を含み、この本
体３１の下端には略台形状の底部３２が形成されている
。この底部３２の上部は、３つの斜面部３２Ａと上面部
３２Ｂとで形成され、１つの斜面部３２Ａには、後述す
る反射用照明手段と透過用照明手段とを切り換える切換
スイッチ３３と、その照度を示す照度表示部３４Ａ、３
４Ｂとが設けられる。The microscope 30 includes a substantially U-shaped main body 31, and a substantially trapezoidal bottom portion 32 is formed at the lower end of the main body 31. The upper part of the bottom part 32 is formed of three slope parts 32A and a top surface part 32B, and one slope part 32A has a changeover switch 33 for switching between reflective illumination means and transmission illumination means, which will be described later, and its illuminance. Illuminance display section 34A, 3 showing
4B is provided.
また、上面部３２Ｂには、透過用照明手段３５が設けら
れている。この透過用照明手段３５は、底部３２内に装
着されて照明光（図示せず）を上方に指向して出力する
透過用光源３６を備えている。また、上面部３２Ｂには
、透過用光源３６からの照明光（図示せず）を上方へ導
く円筒体３７と、この円筒体３７を保護する保護部材３
８とが設けられる。Furthermore, a transmission illumination means 35 is provided on the upper surface portion 32B. The transmission illumination means 35 includes a transmission light source 36 that is mounted in the bottom portion 32 and outputs illumination light (not shown) directed upward. Further, the upper surface portion 32B includes a cylindrical body 37 that guides illumination light (not shown) from the transmission light source 36 upward, and a protection member 3 that protects the cylindrical body 37.
8 is provided.
前記本体３１の下部側面にはモータ３９が取着され、こ
のモータ３９の一端にはコントロールボックス１７０に
接続されるケーブル４１が設けられている。また、本体
３１の前面略中夫には、本体３１に固定された支持台４
２を介して載物台４３が装着されており、この載物台４
３は、前記モータ３９の回転軸（図示せず）を矢印Ｃ方
向に回動させることにより、図示しないラックとピニオ
ンとを介して矢印Ｚ方向に変位するよう構成される。A motor 39 is attached to the lower side surface of the main body 31, and a cable 41 connected to a control box 170 is provided at one end of the motor 39. Further, a support base 4 fixed to the main body 31 is provided on the front surface of the main body 31.
A workpiece stand 43 is attached via 2, and this workpiece stand 4
3 is configured to be displaced in the direction of arrow Z via a rack and pinion (not shown) by rotating the rotating shaft (not shown) of the motor 39 in the direction of arrow C.
前記載物台４３は、下台４３Ａと土台４３Ｂとを含み、
前記下台４３Ａの下面にはハンドル４４Ａ、４４Ｂがそ
れぞれ設けられている。これらの一方のハンドル４４Ａ
を矢印Ａ方向に回動させると、載物台４３の下台４３Ａ
が、支持台４２に設けられた図示しないラックとハンド
ル４４Ａに同軸に設けられた同上く図示しないピニオン
との作用により、矢印Ｙ方向へ移動される。また、他方
のハンドル４４Ｂを矢印Ａ方向へ回動させると、載物台
４３の上台４３Ｂが、上台４３Ｂに設けられたラック（
図示せず）とハンドル４４Ｂと同軸に設けられたピニオ
ン（図示せず）との作用により、矢印Ｘ方向へそれぞれ
変位するようになっている。
−前記下台４３Ａと土台４３Ｂとの一側面
には、粗動ピン４５Ａ、４５Ｂがそれぞれ取着されてお
り、これらの粗動ピン４５Ａ、４５Ｂを指で持って操作
することにより、載物台４３を矢印Ｘ、 Ｙ方向へ大き
く変位させることができる。この際、載物台４３の変位
に伴い、ハンドル４４Ａ、４４Ｂは回転して追従するこ
ととなる。The document stand 43 includes a lower stand 43A and a base 43B,
Handles 44A and 44B are provided on the lower surface of the lower stand 43A, respectively. One of these handles 44A
When rotated in the direction of arrow A, the lower stand 43A of the loading table 43
is moved in the direction of arrow Y by the action of a rack (not shown) provided on the support base 42 and a pinion (not shown) provided coaxially with the handle 44A. Further, when the other handle 44B is rotated in the direction of arrow A, the upper stand 43B of the loading table 43 is moved from the rack (
(not shown) and a pinion (not shown) provided coaxially with the handle 44B, the handle 44B is displaced in the direction of the arrow X.
- Coarse movement pins 45A and 45B are attached to one side of the lower stand 43A and the base 43B, respectively, and by holding and operating these coarse movement pins 45A and 45B with your fingers, the workpiece stand 43 can be largely displaced in the directions of arrows X and Y. At this time, the handles 44A and 44B rotate and follow the displacement of the stage 43.
更に、前記上台４３Ｂにはガラス板４６が固着され、こ
のガ、ラス板４６上に被測定物Ｗが載置される。Further, a glass plate 46 is fixed to the upper stand 43B, and the object W to be measured is placed on the glass plate 46.
前記本体３１の上部一端（後端）には、反射用照明手段
４７が装着され、この反射用照明手段４７内には反射用
光源４８が設けられる。一方、本体３１の上部他端（前
端）には、本体３１に固設される取付部材４９を介して
２つの接眼レンズ５１が配設され、更に、前記取付部材
４９の上部にはＣＣＤカメラ５２が設けられている。こ
のＣＣＤカメラ５２はケーブル５３Ａ、５３Ｂを介して
画像表示部１６０に接続される。A reflection illumination means 47 is attached to one upper end (rear end) of the main body 31, and a reflection light source 48 is provided within the reflection illumination means 47. On the other hand, two eyepiece lenses 51 are disposed at the other end (front end) of the upper part of the main body 31 via a mounting member 49 fixed to the main body 31, and furthermore, a CCD camera 52 is mounted on the upper part of the mounting member 49. is provided. This CCD camera 52 is connected to an image display section 160 via cables 53A and 53B.
また、本体３１の上部側面にはオートフォーカス装置５
４が設けられ、このオートフォーカス装置５４は、ケー
ブル５５を介してコントロールボックス１７０に接続さ
れる。Additionally, an autofocus device 5 is provided on the upper side of the main body 31.
4 is provided, and this autofocus device 54 is connected to a control box 170 via a cable 55.
前記本体３１の上部前端下面には、第２，３図に示す取
着手段６０によってレボルバユニット７０が本体３１に
対して着脱自在に装着される。A revolver unit 70 is detachably attached to the lower surface of the upper front end of the main body 31 by attachment means 60 shown in FIGS. 2 and 3.
第２，３図において、取着手段６０は円柱体６１を含み
、この円柱体６１には、前記レボルバユニット７０の一
部が摺動する蟻溝形の摺動面６２が形成され、更に、レ
ボルバユニット７０が当接した時点て位置決めするスト
ッパ６３が突設される。前記摺動面６２の一部には、摺
動面６２の斜面の形状に対応した係合ピース６４が操作
ねじ６５を介して進退自在に取付けられている。また、
円柱体６Ｉの中央部には、被測定物Ｗの画像を入射させ
る貫通孔６６が形成されている。In FIGS. 2 and 3, the attachment means 60 includes a cylindrical body 61, and the cylindrical body 61 is formed with a dovetail-shaped sliding surface 62 on which a portion of the revolver unit 70 slides, and further includes: A stopper 63 is provided to project when the revolver unit 70 comes into contact with the stopper 63 . An engagement piece 64 corresponding to the shape of the slope of the sliding surface 62 is attached to a portion of the sliding surface 62 via an operating screw 65 so as to be movable forward and backward. Also,
A through hole 66 through which an image of the object W to be measured is incident is formed in the center of the cylindrical body 6I.
前記レボルバユニット７０は、第４，５図に示すように
、孔部７１か穿設されたカバー７２と、このカバー７２
の形状に対応し、かつ、小ねじ７３を介して前記カバー
７２に保持される支持板７４とを含み、この支持板７４
には、レボルバ１００と、このレボルバ１００の一部を
回転させるための回転駆動源としての、例えば、直流コ
アレスモータ１２０と、この直流コアレスモータ１２０
の回転力をレボルバ１００の一部に伝達させる回転伝達
手段１３０と、前記レボルバ１００の回転を磁力によっ
て検知する回転位置検知手段１５０とが゛支持されてお
り、このレボルバユニット７０は、第１図に示すように
、ケーブル１２５を介してコントロールボックス１７０
に接続される。As shown in FIGS. 4 and 5, the revolver unit 70 includes a cover 72 in which a hole 71 is formed, and a cover 72.
and a support plate 74 corresponding to the shape of the cover 72 and held on the cover 72 via machine screws 73.
includes a revolver 100, a DC coreless motor 120 as a rotational drive source for rotating a part of the revolver 100, and the DC coreless motor 120.
The revolver unit 70 is supported by a rotation transmitting means 130 for transmitting the rotational force of the revolver to a part of the revolver 100, and a rotation position detecting means 150 for detecting the rotation of the revolver 100 by magnetic force. control box 170 via cable 125, as shown in FIG.
connected to.
以下、各々の詳細を説明する。The details of each will be explained below.
前記支持板７４は、第５図に示すように、前面７４Ａと
後面７４Ｂとを有し、前記支持板７４の下部の右及び左
には矩形状の孔部７５．７６が穿設されており、一方の
孔部７５の後面７４Ｂ側の一端には、取付板７７か設け
られ、この取付板７７には、前記直流コアレスモータ１
２０がその出力軸１２１を突出された状態で取付けられ
ている。The support plate 74 has a front surface 74A and a rear surface 74B, as shown in FIG. A mounting plate 77 is provided at one end of the rear surface 74B of the one hole 75, and the DC coreless motor 1 is mounted on the mounting plate 77.
20 is attached with its output shaft 121 protruding.
直流コアレスモータ１２０の一部は、前面７４Ａ側に突
出するように取付けられ、かつ、このモータ１２０の出
力軸１２１は矢印り方向に回動自在にされている。A portion of the DC coreless motor 120 is attached so as to protrude toward the front surface 74A, and an output shaft 121 of the motor 120 is rotatable in the direction indicated by the arrow.
また、他方の孔部７６の両端には取付板７８Ａ。Furthermore, mounting plates 78A are provided at both ends of the other hole 76.
７８Ｂが突設されており、これらの取付板７８Ａ。78B is provided protrudingly, and these mounting plates 78A.
７８Ｂには前記回転伝達手段１３０の一部を構成するウ
オーム１３１か矢印り方向に回転自在に支持されている
。このウオーム１３１に一体の回転軸１３２は、カップ
リング１３３を介して前記コアレスモータ１２０の出力
軸１２１に連結されている。A worm 131 constituting a part of the rotation transmitting means 130 is supported by 78B so as to be rotatable in the direction of the arrow. A rotating shaft 132 integrated with the worm 131 is connected to the output shaft 121 of the coreless motor 120 via a coupling 133.
更に、前記左方の孔部７６の上方には、円形の孔部７９
か穿設されている。この孔部７９には、前記ウオーム１
３１に噛合されるウオームホイール１３４に一体の円筒
体１３５が挿入されている。Further, above the left hole 76, a circular hole 79 is provided.
or perforated. The worm 1 is placed in this hole 79.
An integral cylindrical body 135 is inserted into a worm wheel 134 that meshes with the worm wheel 31 .
このウオームホイール１３４は、図示しないベアリング
を介して保持板１３６に矢印Ｂ方向へ回動自在に支持さ
れており、この保持板１３６は、各２本の取付けねじ１
３７及びスペーサ１３８（各１個のみ図示）を介して支
持板７４の後面７４Ｂに取着される。This worm wheel 134 is rotatably supported by a holding plate 136 via a bearing (not shown) in the direction of arrow B, and this holding plate 136 has two mounting screws 1 each.
37 and a spacer 138 (only one of each is shown) is attached to the rear surface 74B of the support plate 74.
前記ウオームホイール１３４の円筒体１３５内には、歯
車１３９に突設される円柱部１４１が圧入固定されてい
る。前記歯車１３９は、ベアリング１４２を介して保持
板１４３に矢印Ｂ方向へ回動自在に支持されている。こ
の保持板１４３は、各２本の取付けねじ１４４及びスペ
ーサ１４５（各１個のみ図示）、並びに支持板７４の前
記孔部７９の両側に形成されたねし孔８１Ａ、８１Ｂに
より、支持板７４の前面７４Ａ側に取着される。A cylindrical portion 141 that protrudes from the gear 139 is press-fitted into the cylindrical body 135 of the worm wheel 134 . The gear 139 is rotatably supported by a holding plate 143 via a bearing 142 in the direction of arrow B. This retaining plate 143 is constructed by two mounting screws 144 and a spacer 145 (only one of each is shown), and threaded holes 81A and 81B formed on both sides of the hole 79 of the supporting plate 74. It is attached to the front surface 74A side.
前記歯車１３９にはベル）１４６が外装され、このベル
ト１４６には前記歯車１３９の形状に対応する複数の歯
１４６Ａか一方の面（内面）に形成されており、このベ
ルト１４６には、前記レボルバ１００の外周に形成され
る歯１０９（第４図参照）にも噛合されることになる。The gear 139 is covered with a bell 146, and the belt 146 has a plurality of teeth 146A formed on one surface (inner surface) corresponding to the shape of the gear 139. It also meshes with teeth 109 (see FIG. 4) formed on the outer periphery of 100.
ここにおいて、ウオーム１３１１カツプリング１３３、
ウオームホイール１３４、歯車１３９、ベルト１４６に
より回転伝達手段１３０が構成されている。Here, a worm 1311 a coupling 133,
A rotation transmitting means 130 is constituted by a worm wheel 134, a gear 139, and a belt 146.
前記支持板７４の円形の孔部７９の上方には逆凸形状の
孔部８２が穿設され、その上下左右方向には４つの固定
孔８３が設けられる。また、孔部８２の外周には、プリ
ント基板８４が固着されている。このプリント基板８４
には、同心円上であって、かつ、等角度（好適には９０
度）の間隔だけ離間する位置に、磁気センサ１５１Ａ乃
至１５ＩＤが取着されている。これらの磁気センサ１５
ＩＡ乃至１５１Ｄは、レボルバ１００の回転を磁力によ
り検知する回転位置検知手段１５０の一部を構成し、か
つ、ホールＩＣ、マグネチックダイオード、リードスイ
ッチ等よりなる。An inverted convex hole 82 is bored above the circular hole 79 of the support plate 74, and four fixing holes 83 are provided in the vertical and horizontal directions thereof. Further, a printed circuit board 84 is fixed to the outer periphery of the hole 82 . This printed circuit board 84
are on concentric circles and at equal angles (preferably 90 degrees
Magnetic sensors 151A to 15ID are attached at positions spaced apart from each other by an interval of 150 degrees. These magnetic sensors 15
IA to 151D constitute a part of the rotational position detection means 150 that detects the rotation of the revolver 100 by magnetic force, and are composed of a Hall IC, a magnetic diode, a reed switch, and the like.
前記レボルバ１００は、主として固定部材１０１と、ノ
ーズピース１０２とで構成され、この固定部材１０１が
、支持板７４の固定孔８３を介して挿入される取付けね
じ１０３により、前面７４Ａ側に固定されている。固定
部材１０１の裏側には、後面７４側に突出形成される略
円筒状の取付部材１０４（第１．４図参照）が固定され
ている。The revolver 100 is mainly composed of a fixing member 101 and a nose piece 102, and the fixing member 101 is fixed to the front surface 74A side by a mounting screw 103 inserted through a fixing hole 83 of the support plate 74. There is. A substantially cylindrical mounting member 104 (see FIG. 1.4), which is formed to protrude toward the rear surface 74, is fixed to the back side of the fixing member 101.
この取付部材１０４は、裏面２箇所に切欠部１０５を有
し、この切欠部１０５が、第２，３図に示される取着手
段６０の蟻溝形の摺動面６２に摺動、係合し、係合ピー
ス６４によって固定されるように構成される。また、取
付部材１０４の中央には、被測定物Ｗからの画像を透過
させる貫孔１０６が形成されている。This attachment member 104 has two notches 105 on the back surface, and these notches 105 slide and engage with the dovetail-shaped sliding surface 62 of the attachment means 60 shown in FIGS. and is configured to be fixed by an engagement piece 64. Furthermore, a through hole 106 is formed in the center of the mounting member 104 to allow the image from the object W to be transmitted through therethrough.
前記固定部材１０１の取付部材１０４が設けられる側と
は反対側には、前記ノーズピース１０２がその外周部及
び中央部をそれぞれベアリング１０７．１０８を介して
矢印Ｂ方向へ回動自在に装着されることになり、ノーズ
ピース１０２の外周には、ベル）１４６の歯１４６Ａと
噛合する前記歯１０９が形成される。従って、モータ１
’２０の回転軸１２１を矢印り方向に回動させると、前
記ノーズピース１０２はウオーム１３１１ウオームホイ
ール１３４、歯車１３９、ベルト１４６を介して矢印Ｂ
方向に回動することになる。The nose piece 102 is mounted on the opposite side of the fixing member 101 from the side where the mounting member 104 is provided, so that the nose piece 102 is rotatable in the direction of arrow B via bearings 107 and 108, respectively, at its outer peripheral portion and central portion. Therefore, the teeth 109 that mesh with the teeth 146A of the bell 146 are formed on the outer periphery of the nosepiece 102. Therefore, motor 1
When the rotary shaft 121 of '20 is rotated in the direction indicated by the arrow, the nose piece 102 is rotated through the worm 1311, the worm wheel 134, the gear 139, and the belt 146 in the direction indicated by the arrow B.
It will rotate in the direction.
また、ノーズピース１０２の外周には、磁気センサ１５
１Ａ乃至１５１Ｄの数に対応した切欠部１１１Ａ乃至１
１１Ｄが所定角度（好適には９０度）離間した位置に設
けられ、これらのうち切欠部１１１ＡとＩＩＩＢとの間
の略中間位置には、前記ノーズピース１０２を貫通する
ように永久磁石、例えば、円柱状のフェライトマグネッ
ト１５２が取着される。Further, a magnetic sensor 15 is provided on the outer periphery of the nose piece 102.
Notches 111A to 1 corresponding to numbers 1A to 151D
11D are provided at positions separated by a predetermined angle (preferably 90 degrees), and a permanent magnet, e.g. A cylindrical ferrite magnet 152 is attached.
ここで、このフェライトマグネット１５２が磁気センサ
１５１Ａから１５１Ｂまで移動する時間は、本実施例の
場合では、略１秒に設定されている。従って、ノーズピ
ース１０２が一回転する時間は、略４秒となるようにさ
れている。Here, the time it takes for the ferrite magnet 152 to move from the magnetic sensor 151A to the magnetic sensor 151B is set to approximately 1 second in this embodiment. Therefore, the time required for one rotation of the nosepiece 102 is approximately 4 seconds.
更に、前記ノーズピース１０２の各切欠部１１１Ａ乃至
１１１Ｄと対応した位置には、それぞれねし孔１１２Ａ
乃至１１２Ｄが設けられ、これらのねし孔１１２ Ａ乃
至１１２Ｄにそれぞれ倍率の異なる対物レンズ１１５Ａ
乃至１１５Ｄが螺合される。また、これらのねじ孔１１
２Ａ乃至１１２Ｄのいずれか１つ、図面ではねじ孔１１
２Ａに対向され、かつ、前記取付部材１０４の貫孔１０
６に対向する位置において、前記固定部材１０１には、
貫孔１１３が穿設されている。Further, at positions corresponding to the notches 111A to 111D of the nose piece 102, there are screw holes 112A, respectively.
Objective lenses 115A with different magnifications are provided in these holes 112A to 112D, respectively.
115D are screwed together. In addition, these screw holes 11
Any one of 2A to 112D, screw hole 11 in the drawing
2A and the through hole 10 of the mounting member 104
6, the fixing member 101 has a
A through hole 113 is bored.
なお、支持板７４の前面７４Ａ側路中央には、位置決め
手段９０が設けられ、この位置決め手段９０は、前面７
４Ａ側に設けられる略し字状の取付板９１を含み、この
取付板９１の近傍には複雑な形状、すなわち、Ｌ字形に
立上がり、その先端側面に略コ字形のばね受は部９２Ａ
を有する受は板９２が設けられている。取付板９１には
板ばね９３の一端が固定されており、この板ばね９３の
他端は、受は板９２のばね受は部９２Ａに係止されてい
る。Note that a positioning means 90 is provided at the center of the front side 74A of the support plate 74, and this positioning means 90
It includes an abbreviated-shaped mounting plate 91 provided on the 4A side, and near this mounting plate 91 stands up in a complicated shape, that is, in an L-shape, and a substantially U-shaped spring holder is formed on the side surface of the tip of the mounting plate 92A.
A plate 92 is provided on the receiver. One end of a leaf spring 93 is fixed to the mounting plate 91, and the other end of the leaf spring 93 is locked to a spring bearing part 92A of the plate 92.
また、板ばね９３の途中に穿設された孔部９３Ａにはベ
アリング９４が図示しない軸受を介して支持され、更に
、このベアリング９４は前記ノーズピース１０２の切欠
部１１１Ａ乃至１１１Ｄと係合するようになっている。Further, a bearing 94 is supported in a hole 93A formed in the middle of the leaf spring 93 via a bearing (not shown), and furthermore, this bearing 94 is adapted to engage with the notches 111A to 111D of the nose piece 102. It has become.
従って、前記板ばね９３及びベアリング９４と各切欠部
１１１Ａ乃至１１１Ｄとの作用により、所謂クリック（
節度）動作をすることとなる。Therefore, the so-called click (
moderation).
第１図において、前記操作ボックス１８０上には、対物
レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの位置を設定する選択スイ
ッチ１８１Ａ乃至１８１Ｄが並設され、これらの右横に
はシフトスイッチ１８２が設けられる。また、これらの
選択スイッチ１８１Ａ乃至１８１Ｄの下方には、ノーズ
ピース１０２を矢印Ｂ方向のいずれの向きに回動させる
かを指定する回動方向指定スイッチ１８３Ａ、１８３Ｂ
が取着されており、更に、これらの下方には載物台４３
を下降させて測定を開始可能な状態にするスタンバイス
イッチ１８４及び被測定物Ｗの焦点を自動的に合致させ
るオートフォーカススイッチ１８５、並びに、前記シフ
トスイッチ１８２とともに押すことにより、載物台４３
の最上限及び最下限位置を設定する上限スイッチ１８６
Ａ及び下限スイッチ１８６Ｂがそれぞれ設けられる。In FIG. 1, selection switches 181A to 181D for setting the positions of objective lenses 115A to 115D are arranged in parallel on the operation box 180, and a shift switch 182 is provided to the right side of these switches. Further, below these selection switches 181A to 181D, rotation direction designation switches 183A and 183B are provided to designate which direction in the arrow B direction the nosepiece 102 is to be rotated.
are attached, and further below these there is a stage 43.
The standby switch 184 lowers the standby switch 184 to a state where measurement can be started, the autofocus switch 185 automatically focuses the object W, and the shift switch 182.
upper limit switch 186 for setting the upper and lower limit positions of
A and lower limit switches 186B are provided, respectively.
前記上、下限スイッチ１８６Ａ、１８６Ｂの右横には、
回転子１８７が矢印Ａ方向へ回動自在に取着されており
、この回転子１８７を回動させることで、被測定物Ｗの
細部の画像を鮮明に描写できるようになっている。On the right side of the upper and lower limit switches 186A and 186B,
A rotor 187 is attached to be rotatable in the direction of arrow A, and by rotating this rotor 187, a detailed image of the object W to be measured can be clearly depicted.
更に、操作ボックス１８０上の左側には、操作上のエラ
ーを表示するエラー表示部１８８、前記選択スイッチ１
８１Ａ乃至１８１Ｄの選択位置を示す位置表示部１８９
Ａ乃至１８９Ｄが設けられている。Further, on the left side of the operation box 180, there is an error display section 188 for displaying operational errors, and the selection switch 1.
Position display section 189 showing selected positions of 81A to 181D
A to 189D are provided.
本実施例に係る顕微鏡３０等は、以上のように構成され
るものであり、次にその作用について説明する。The microscope 30 and the like according to this embodiment are constructed as described above, and the operation thereof will be explained next.
先ず、操作ボックス１８０のスタンバイスイッチ１８４
を押圧すると、本体３１の側壁に設けられたモータ３９
が矢印Ｃ１方向に回転駆動され、図示しないラックとピ
ニオンを介して載物台４３が矢印Ｚ＋力方向下降し、所
定位置で停止される。First, the standby switch 184 of the operation box 180
When pressed, the motor 39 provided on the side wall of the main body 31
is rotated in the direction of arrow C1, and the stage 43 is lowered in the direction of arrow Z + force via a rack and pinion (not shown), and is stopped at a predetermined position.
次に、被測定物Ｗをガラス板４６上に載置した後、オー
トフォーカススイッチ１８５を押すと、モータ３９が矢
印Ｃ２方向に回転され、ラックとピニオン（図示せず）
を介して載物台４３が矢印Ｚ２方向に変位して所定の位
置でその変位が停止される。Next, after placing the object to be measured W on the glass plate 46, when the autofocus switch 185 is pressed, the motor 39 is rotated in the direction of arrow C2, and the rack and pinion (not shown) are rotated.
The stage 43 is displaced in the direction of arrow Z2 via the arrow Z2, and the displacement is stopped at a predetermined position.
この時、被測定物Ｗの画像は、接眼レンズ５１を目視し
ても確認できるが、画像表示部１６０においても、その
画像を表示することができる。At this time, the image of the object to be measured W can be confirmed visually through the eyepiece lens 51, but the image can also be displayed on the image display section 160.
この画像の詳細部もしくは全体を描写したい時には、選
択スイッチ１８１Ａ乃至１８１Ｄあるいは回動スイッチ
１８６Ａ、１８６Ｂを押して所望の倍率の対物レンズ１
１５Ａ乃至１１５Ｄのいづれか１つに変更する。When you want to depict the details or the entire image, press the selection switches 181A to 181D or the rotation switches 186A and 186B to select the objective lens 1 with the desired magnification.
Change it to one of 15A to 115D.
例えば、第１図においては、レボルバ１００の固定部材
１０１に穿設された貫孔１１３に対向する位置に、被測
定物Ｗの細部拡大画像視認用の対物レンズ１１５Ａが設
定されているが、被測定物Ｗの全体画像を視認するため
に、対物レンズ１１５Ｃに変更したい時には、選択スイ
ッチ１ＢＩＣを押す。これにより、直流コアレスモータ
１２０か駆動されて回転伝達手段１３０を介してノーズ
ピース１０２か矢印Ｂ１方向に回転され、次いで、対物
レンズ１１５ｃか被測定物Ｗの真上に位置した時にその
回転か停止される。For example, in FIG. 1, an objective lens 115A for viewing a detailed enlarged image of the object to be measured W is set at a position opposite to the through hole 113 formed in the fixing member 101 of the revolver 100. When it is desired to change to the objective lens 115C in order to view the entire image of the object W, the selection switch 1BIC is pressed. As a result, the DC coreless motor 120 is driven and the nosepiece 102 is rotated in the direction of arrow B1 via the rotation transmission means 130, and then the rotation is stopped when the objective lens 115c is located directly above the object W to be measured. be done.
ここで、この回転動作の詳細を第６図のフローチャート
に基づいて説明する。Here, the details of this rotational operation will be explained based on the flowchart of FIG. 6.
すなわち、ステップ（以下、ＳＴＰと略すことがある。That is, step (hereinafter sometimes abbreviated as STP).
）ｌにおいて、対物レンズ１１５Ａが被測定物Ｗの上方
に位置している場合には、フェライトマグネット１５２
は磁気センサ１５１Ａの真上に存在することになる。従
って、この位置検出は、前記フェライトマグネット１５
２から出力される磁力が、前記磁気センサ１５１Ａに入
力され、この信号がコントロールボックス１７０内の検
出回路（図示せず）に到達することで行われる。)l, when the objective lens 115A is located above the object to be measured W, the ferrite magnet 152
exists directly above the magnetic sensor 151A. Therefore, this position detection is performed using the ferrite magnet 15.
The magnetic force output from 2 is input to the magnetic sensor 151A, and this signal reaches a detection circuit (not shown) in the control box 170.
そこで、選択スイッチ１８１Ｃを押すと、前記検出回路
から［フェライトマグネット１５２が現在地から２番目
の磁気センサ（すなわち、磁気センサ１５１ｃ）の真上
に位置した時に停止せよ」（ＳＴＰ２）という場所指令
信号が出力されるので、直流コアレスモータ１２０が矢
印Ｄ＋力方向高速で回転される（ＳＴＰ３）。この時、
高速運転を行うため、具体的には前記直流コアレスモー
タ１２０に略９Ｖの電圧が印加される。Then, when the selection switch 181C is pressed, the detection circuit sends a location command signal "Stop when the ferrite magnet 152 is located directly above the second magnetic sensor (i.e., the magnetic sensor 151c) from the current location" (STP2). As a result, the DC coreless motor 120 is rotated at high speed in the direction of arrow D+force (STP3). At this time,
In order to perform high-speed operation, specifically, a voltage of about 9V is applied to the DC coreless motor 120.
前記直流コアレスモータ１２０の回転力は、カップリン
グ１３３を介してウオーム１３１に伝達され、更に、ウ
オーム１３１に噛合するウオームホイール１３４に伝達
されてこのウオームホイール１３４を矢印Ｂ１方向に回
転させる。従って、前記ウオームホイール１３４に固定
される歯車１３９も同方向に回転され、最終的にこの回
転力は、ベルト１４６を介してノーズピース１０２を矢
印Ｂ１方向に回転させることになる。The rotational force of the DC coreless motor 120 is transmitted to the worm 131 via the coupling 133, and further transmitted to the worm wheel 134 meshing with the worm 131, thereby rotating the worm wheel 134 in the direction of arrow B1. Therefore, the gear 139 fixed to the worm wheel 134 is also rotated in the same direction, and this rotational force ultimately rotates the nosepiece 102 in the direction of arrow B1 via the belt 146.
ノーズピース１０２の回転により、切欠部１ＩＩＡがベ
アリング９４から離脱し、更にノーズピース１０２の回
転が進行すると、前記検出回路（図示せず）で所定時間
経過したか否かが判断されて（ＳＴＰ４）、所定時間が
経過した場合にはステップ５において直流コアレスモー
タ１２０が低速回転に切替えられる。この時、前記モー
タ１２０に印加される電圧は、低速回転を得るために略
６Ｖに降下される。一方、所定時間が経過しない場合は
、経過するまでこの判断が繰り返される。Due to the rotation of the nosepiece 102, the notch 1IIA is separated from the bearing 94, and when the rotation of the nosepiece 102 further progresses, the detection circuit (not shown) determines whether a predetermined time has elapsed (STP4). If the predetermined time has elapsed, the DC coreless motor 120 is switched to low speed rotation in step 5. At this time, the voltage applied to the motor 120 is lowered to about 6V to obtain low speed rotation. On the other hand, if the predetermined time has not elapsed, this determination is repeated until the predetermined time elapses.
なお、ノーズピース１０２の回転によりフエライトマグ
ネッｌ−１５２が１つの磁気センサから他の１つの磁気
センサまで移動する時間は、前述のように略１秒になる
ため、本実施例では前記所定時間は、その半分の時間、
すなわち、１７２秒に設定されている。Note that the time it takes for the ferrite magnet l-152 to move from one magnetic sensor to another due to the rotation of the nose piece 102 is approximately 1 second as described above, so in this embodiment, the predetermined time is , half the time,
That is, it is set to 172 seconds.
このようにして、フェライトマグネット１５２が１つ目
の磁気センサ１５１Ｂの真上に位置されると、この場所
が指定された場所か否かがステ、ツブ６で判断されるが
、ステップ２において［２つ目の磁気センサ１５１ｃで
停止せよ」という場所指令信号が出力されているので、
この１つ目の磁気センサ１５１Ｂは通過する（ＳＴＰ７
）。この時、位置決め手段９０のベアリング９４が切欠
部１１ＩＢに係合するので、再び前記モータ１２０が高
速回転すなわち高電圧（９ｖ）印加に切替えられて運転
される（ＳＴＰ３）。In this way, when the ferrite magnet 152 is positioned directly above the first magnetic sensor 151B, step 6 determines whether or not this location is the designated location. The location command signal “Stop at the second magnetic sensor 151c” is being output, so
This first magnetic sensor 151B passes (STP7
). At this time, since the bearing 94 of the positioning means 90 engages with the notch 11IB, the motor 120 is again switched to high speed rotation, that is, application of a high voltage (9V), and is operated (STP3).
この後、切欠部１ｌｌＢがベアリング９４から離脱して
所定時間（略１／２秒）経過してから（ＳＴＰ４）、前
記モータ１２０が低速回転にされる（ＳＴＰ５）。Thereafter, after a predetermined period of time (approximately 1/2 second) has elapsed since the notch portion 111B is detached from the bearing 94 (STP4), the motor 120 is rotated at a low speed (STP5).
更に、ノーズピース１０２が矢印Ｂ＋方向に回動される
と、磁力を出力しながら回転させられるフェライトマグ
ネット１５２は磁気センサ１５１Ｃに接近するので、こ
の磁力が前記磁気センサ１５１Ｃで感知される。この磁
力検知がなされると、ノーズピース１０２の回転による
慣性力（イナーシャ）に打ち克って回転数を小さくする
ために、モータ１２０を逆回転させるための時間を設定
したタイマを作動させる（ＳＴＰ８）。Further, when the nose piece 102 is rotated in the direction of arrow B+, the ferrite magnet 152, which is rotated while outputting magnetic force, approaches the magnetic sensor 151C, and this magnetic force is sensed by the magnetic sensor 151C. When this magnetic force is detected, in order to overcome the inertia caused by the rotation of the nosepiece 102 and reduce the number of rotations, a timer is activated to set a time for reverse rotation of the motor 120 (STP8 ).
その後、ステップ９において、前記タイマに作動指令を
出力してもタイマが実際に作動するまでには時間遅れが
あるため、この時間遅れ内での所定時間、具体的には、
前記逆回転用のタイマが作動してからフェライトマグネ
ット１５２が磁気センサ１５１Ｃの略真上に移動するま
での微少時間が経過したか否かが判断され、所定時間経
過した場合には、ステップ１０において、０．１〜５０
０ｍ５程度まで設定可能なタイマに設定された微少時間
、例えば１０〜２０ｍ Ｓだけ、モータ１２０に逆回転
、すなわち、モータ１２０を矢印り、方向へ回転させる
。この際、このモータ１２０の逆回転を停止させるため
に、ステップ１１において、直流コアレスモータ１２０
の瞬時停止タイマを作動させる。Thereafter, in step 9, even if an activation command is output to the timer, there is a time delay before the timer actually operates, so for a predetermined time within this time delay, specifically,
It is determined whether a small amount of time has elapsed from the activation of the timer for reverse rotation until the ferrite magnet 152 moves substantially directly above the magnetic sensor 151C, and if the predetermined time has elapsed, in step 10 ,0.1~50
The motor 120 is rotated in the reverse direction, that is, the motor 120 is rotated in the direction indicated by the arrow, for a minute period of time, for example, 10 to 20 mS, which is set in a timer that can be set to about 0 m5. At this time, in order to stop the reverse rotation of this motor 120, in step 11, the DC coreless motor 120 is
Activate the instantaneous stop timer.
次いで、ステップ１２でモータ１２０の逆回転（矢印Ｄ
２方向）動作が所定時間経過したか否かがチエツクされ
、経過した場合には、モータ１２０の図示しないプラス
電極とマイナス電極間とを瞬時的に短絡させることで、
モータ１２０の回転を一時的にブレーキをかけ（ＳＴＰ
１３） 、この後モータ１２０に印加されている電圧
を解除して完全にモータ１２０を停止させる（ＳＴＰ
１４）。Next, in step 12, the motor 120 rotates in the opposite direction (arrow D
It is checked whether or not a predetermined period of time has elapsed since the operation (in two directions) has elapsed, and if it has elapsed, the motor 120 is instantaneously short-circuited between a positive electrode and a negative electrode (not shown).
Temporarily brakes the rotation of the motor 120 (STP
13) After that, the voltage applied to the motor 120 is released to completely stop the motor 120 (STP).
14).
この時、切欠部１ｌｌＣがベアリング９４に係合して対
物レンズ１１５Ｃの位置決めが行われることになる。一
方、ステップ１２で、前記所定時間が経過しない場合は
、時間が経過するまでチエツクが繰り返される。At this time, the notch 1llC engages with the bearing 94, and the objective lens 115C is positioned. On the other hand, in step 12, if the predetermined time has not elapsed, the check is repeated until the time elapses.
以上の説明では、対物レンズ１１５Ａを反対側の対物レ
ンズ１１５ｃに交換する例について述べたので、直流コ
アレスモータ１２０の回転方向はＤｌに限らず、その逆
でも交換に要する時間は同一であるが、現在のポジショ
ンから交換するポジションまでに経路の長短があるとき
は、最短の方向を選んでモータ１２０が回転される。In the above explanation, an example was described in which the objective lens 115A is replaced with the objective lens 115c on the opposite side, so the rotation direction of the DC coreless motor 120 is not limited to Dl, and the time required for replacement is the same even if the direction of rotation is Dl. If there is a long or short path from the current position to the replacement position, the shortest direction is selected and the motor 120 is rotated.
また、前記説明では、自動的に対物レンズ１１５Ｃが選
択される例であったが、交換動作は、作業者が回転方向
指定スイッチ１８３Ａ、１８３Ｂによりその回転方向を
指定し、ステップ送りによって適当な倍率の位置で停止
させてもよい。この際、回転方向指定スイッチ１８３Ａ
、１８３Ｂは、１回の押圧動作で１ポジシヨンづつレボ
ルバ１００が回動されるようにされている。Further, in the above description, the objective lens 115C is automatically selected, but in the replacement operation, the operator specifies the rotation direction using the rotation direction designation switches 183A and 183B, and adjusts the appropriate magnification by step feeding. It may be stopped at the position. At this time, the rotation direction designation switch 183A
, 183B, the revolver 100 is rotated one position at a time with one pressing operation.
前述のような本実施例によれば、次のような効果がある
。According to this embodiment as described above, there are the following effects.
すなわち、ノーズピース１０２を回転させることによっ
て発生する慣性力（イナーシャ）は、前記ノーズピース
１０２を回転させるモータ１２０に所定時間逆回転させ
た後に、−時的にその回転にブレーキをかけることによ
って除去することができる。従って、切欠部１１１Ａ乃
至１１１Ｄ、ベアリング９４等の位置決め手段９０を小
さく設定しても、その位置決めは正確に行われることに
なる。また、切欠部１１１Ａ乃至１１１Ｄがベアリング
９４から容易に離脱できるので、この結果、直流コアレ
スモータ１２０は比較的小さく、かつ、安価なモータを
使用することが可能となり、ひいては、レボルバユニッ
ト７０を小型化できるとともに、顕微鏡３０をも廉価に
提供することが可能となる効果が得られる。That is, the inertia generated by rotating the nose piece 102 is removed by causing the motor 120 that rotates the nose piece 102 to rotate in reverse for a predetermined period of time, and then temporarily applying a brake to its rotation. can do. Therefore, even if the positioning means 90 such as the notches 111A to 111D and the bearing 94 are set small, the positioning will be performed accurately. Furthermore, since the notches 111A to 111D can be easily removed from the bearing 94, it is possible to use a relatively small and inexpensive DC coreless motor 120, which in turn makes the revolver unit 70 more compact. At the same time, it is possible to provide the microscope 30 at a low cost.
更に、ノーズピース１０２の駆動にあたり、高速駆動、
低速駆動、逆回転駆動、ブレーキ付与等の多段階制御を
行うから、ノーズピース１０２に取付けられる対物レン
ズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの間に倍率の差に基づく大幅な
重量差があっても、常に円滑な駆動を行え、この点から
も位置決め動作を確実にすることができる。また、回転
駆動源として直流コアレスモータ１２０を用いているか
ら、前記多段階制御を、印加する電圧等で容易に制御で
き、更には、直流コアレスモータ１２０の回転イナーシ
ャも小さいから、この点からも制御を容易にできる。Furthermore, when driving the nosepiece 102, high-speed driving,
Multi-stage control such as low-speed drive, reverse rotation drive, and brake application is performed, so even if there is a large weight difference between the objective lenses 115A to 115D attached to the nosepiece 102 due to the difference in magnification, the drive is always smooth. From this point of view as well, the positioning operation can be ensured. Further, since the DC coreless motor 120 is used as the rotational drive source, the multi-step control can be easily controlled by applying voltage, etc. Furthermore, since the rotational inertia of the DC coreless motor 120 is small, from this point of view as well. Easy to control.
また、前記モータ１２０の回転力は、回転伝達手段１３
０を介してノーズピース１０２へ確実に伝達されるので
、ノーズピース１０２はすベリ等を惹起することなく、
正確にその回転動作が行われるので、従来のように設定
した位置以外で停止するといった不具合が解消される。Further, the rotational force of the motor 120 is transferred to the rotation transmission means 13.
0 to the nosepiece 102, the nosepiece 102 does not cause any distortion, etc.
Since the rotation operation is performed accurately, the problem of stopping at a position other than the set position as in the conventional case is eliminated.
従って、確実に所定の位置で位置決めができ、これによ
り、対物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの回転移動を正確
、かつ、自動的に行うことができる。このため、指等に
付着している切削屑、塵埃等を被測定物Ｗ上に落下させ
ることがなくなり、この結果、被測定物Ｗの精密な部品
検査を行うことが可能となる効果を奏する。Therefore, the objective lenses 115A to 115D can be reliably positioned at a predetermined position, and the objective lenses 115A to 115D can be rotated accurately and automatically. Therefore, cutting chips, dust, etc. attached to fingers etc. are prevented from falling onto the object W to be measured, and as a result, it is possible to perform precise component inspection of the object W to be measured. .
また、回転伝達手段１３０にウオーム１３１とウオーム
ホイール１３４を用いて、直流コアレスモータ１２０を
、その軸線が支持板７４の面に平行となるように配置し
たから、レボルバユニット７０を偏平小型に製作でき、
ひいては顕微鏡３０そのものも小型化できる。Further, since the worm 131 and the worm wheel 134 are used as the rotation transmission means 130, and the DC coreless motor 120 is arranged so that its axis is parallel to the surface of the support plate 74, the revolver unit 70 can be manufactured into a flat and compact size. ,
Furthermore, the microscope 30 itself can be downsized.
更に、レボルバユニット７０は、本体３１に着脱可能と
されているから、直流コアレスモータ１２０、回転伝達
手段１３０等のメンテナンスを容易に行うことができ、
かつ、現在使用しているレボルバユニット７０とはレン
ズ構成の異なる他のレボルバユニットを用意しておくこ
とで、広いレンジの倍率での測定をレボルバユニット７
０の交換で容易に行なえるという効果もある。Furthermore, since the revolver unit 70 is removably attached to the main body 31, maintenance of the DC coreless motor 120, the rotation transmission means 130, etc. can be easily performed.
In addition, by preparing another revolver unit with a different lens configuration from the revolver unit 70 currently in use, measurements can be made with a wide range of magnifications using the revolver unit 70.
Another advantage is that it can be easily done by exchanging 0's.
次に、本発明に係る顕微鏡及びその操作方法の第２実施
例を第７図乃至第１２図に基づいて説明する。Next, a second embodiment of the microscope and its operating method according to the present invention will be described based on FIGS. 7 to 12.
なお、前記第１実施例と同一の構成要素には同一の参照
符号を付してその詳細な説明を省略する。Note that the same components as in the first embodiment are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
この第２実施例のレボルバ１００Ａには、第７図に示す
ように、３つのフェライトマグネット１５２Ａ乃至１５
２ｃが設けられており、具体的には、対物レンズ１１５
Ｃと対物レンズ１１５Ｄとの間の丁度中央位置にフェラ
イトマグネット１５２Ａが設けられ、また、対物レンズ
１１５Ｄと対物レンズ１１５Ａとの間にフェライトマグ
ネット１５２Ｂが固設され、更に、対物レンズ１１５Ｂ
と対物レンズ１１５Ｃとの間にフェライトマグネット１
５２Ｃが取着される。As shown in FIG. 7, the revolver 100A of the second embodiment includes three ferrite magnets 152A to 15.
2c is provided, specifically, an objective lens 115
A ferrite magnet 152A is provided at the exact center position between C and the objective lens 115D, and a ferrite magnet 152B is fixedly provided between the objective lens 115D and the objective lens 115A.
A ferrite magnet 1 is placed between the and objective lens 115C.
52C is attached.
また、前記フェライトマグネット１５２Ａとフェライト
マグネット１５．２Ｂ、及び、フェライトマグネ・ット
１５２Ａとフェライトマグネット１５２Ｃとは、それぞ
れ同一の所定角度θ（好適にはθ−１００°）だけ離間
した位置に設けられている。従って、フェライトマグネ
ット１５２Ｂ及び１５２Ｃは、必ずしも対物レンズ１１
５Ｄと１１５Ａあるいは対物レンズ１１５Ｂと１１５ｃ
との中央位置に位置するものではない。Further, the ferrite magnet 152A and the ferrite magnet 15.2B, and the ferrite magnet 152A and the ferrite magnet 152C are provided at positions separated by the same predetermined angle θ (preferably θ-100°). ing. Therefore, the ferrite magnets 152B and 152C are not necessarily the same as the objective lens 11.
5D and 115A or objective lenses 115B and 115c
It is not located in the center position.
このため、しっかりと位置決めされた状態、すなわち、
ベアリング９４が９０度間隔で形成された切欠部１１１
Ａ乃至１１１Ｄのいずれかに係合した状態では、フェラ
イトマグネット１５２Ａが、同じく９０度間隔で形成さ
れた磁気センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄの何れかの真上に
位置することになる。一方、このしっかり位置決めされ
た状態では、他のフェライトマグネット１５２Ｂ及び１
５２Ｃは、何れの磁気センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄの真
上にも位置しない。For this reason, a firmly positioned state, i.e.
Notches 111 in which bearings 94 are formed at 90 degree intervals
When engaged with any one of the magnetic sensors A to 111D, the ferrite magnet 152A is located directly above one of the magnetic sensors 151A to 151D, which are also formed at 90 degree intervals. On the other hand, in this securely positioned state, other ferrite magnets 152B and 1
52C is not located directly above any of the magnetic sensors 151A to 151D.
ここで、これらの磁気センサ１５１Ａ乃至１５ＩＤは、
実質的には、レボルバ１００Ａの下方に位置することに
なるが、ここでは図面の錯綜を避けるために、前記磁気
センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄは、レボルバ１００Ａに対
し半径方向に離間した位置に記載されている。Here, these magnetic sensors 151A to 15ID are
Substantially, they are located below the revolver 100A, but in order to avoid confusion in the drawings, the magnetic sensors 151A to 151D are shown at positions spaced apart in the radial direction from the revolver 100A. .
なお、この実施例の場合、対物レンズ１１５Ａが測定位
置にある状態から対物レンズ１１５Ｂを測定位置に移動
させる時間は、前記第１実施例と同様に略１ ｓｅｃと
設定されているので、レボルバ１００Ａが１回転する時
間は、略４ ｓｅｃとなるように構成される。In this embodiment, the time required to move the objective lens 115B from the measurement position to the measurement position is set to approximately 1 sec, as in the first embodiment, so the revolver 100A The configuration is such that the time for one rotation is approximately 4 seconds.
また、この第２実施例では、第８図のフローチャートに
示すように、顕微鏡３０の電気回路に通電した際に、対
物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの何れかが、現在どこに
位置しているかを検出する初期位置検出手段２００と、
レボルバ１００Ａを手動回転させる際、対物レンズ１１
５Ａ乃至１１５Ｄの何れかが、どこに位置しているかを
検出する手動回転位置検出手段３００と、操作ボックス
１８０の所定のキーを入力した際、その位置を検出する
自動回転位置検出手段４００とを備えている。In addition, in this second embodiment, as shown in the flow chart of FIG. position detection means 200;
When manually rotating the revolver 100A, the objective lens 11
5A to 115D is equipped with a manual rotation position detection means 300 that detects where the rotation position detection means 400 detects the position when a predetermined key of the operation box 180 is input. ing.
そこで、これらの概略を説明する。Therefore, an outline of these will be explained.
すなわち、第８図において、先ず、顕微鏡３０の電源を
ＯＮ （ＳＴＰ ｌ ５）すると、初期位置検出手段２
００が作動して現在、レボルバ１００Ａが位置決めされ
ているか否かを操作ボックス１８０を視認することで検
知できる（ＳＴＰ １６）。That is, in FIG. 8, first, when the power of the microscope 30 is turned on (STP l 5), the initial position detection means 2
00 is activated and whether or not the revolver 100A is currently positioned can be detected by visually checking the operation box 180 (STP 16).
そして、作業者の指等によってレボルバ１００Ａを所望
の方向に回動させると、手動位置検出手段３００によっ
てその位置が検出され、操作ボックス１８０によって検
知することができる（ＳＴＰ１７）。Then, when the revolver 100A is rotated in a desired direction by the operator's finger or the like, the position is detected by the manual position detection means 300 and can be detected by the operation box 180 (STP17).
更に、今度はレボルバ１００Ａを自動回転させるために
、操作ボックス１８０の所定のキーを抑圧（ＳＴＰ ｌ
８）すると、自動回転位置検出手段４００によって、
同じくその位置を操作ボックス１’８０から検知するこ
とが可能となる（ＳＴＰＩ９）。Furthermore, in order to automatically rotate the revolver 100A, a predetermined key on the operation box 180 is depressed (STP l).
8) Then, the automatic rotational position detection means 400
Similarly, the position can be detected from the operation box 1'80 (STPI9).
そこで、初期位置検出手段２００及び手動回転位置検出
手段３００並びに自動回転位置検出手段４００の詳細を
、第９図乃至第１２図を参照しながら説明する。Therefore, details of the initial position detection means 200, manual rotational position detection means 300, and automatic rotational position detection means 400 will be explained with reference to FIGS. 9 to 12.
先ず、初期位置検出手段２００について、第９図及び第
１０図を参照して説明する。First, the initial position detection means 200 will be explained with reference to FIGS. 9 and 10.
第１０図においても、第７図と同様に、磁気センサ１５
１Ａ乃至１．５１ Ｄは、レボルバ１００Ａから半径方
向に離間した位置に記載されている。In FIG. 10, similarly to FIG. 7, the magnetic sensor 15
1A to 1.51D are written at positions spaced apart in the radial direction from the revolver 100A.
前記初期位置検出手段２００では、顕微鏡３０の電気回
路に通電したとき、レボルバ１００Ａがしっかりと位置
決めされている状態〔例えば第１Ｏ図（ａ）〕はもちろ
ん検出できるが、位置決めされていない状態〔例えば第
１θ図（ｂ）〕でも検出できるので、以下両方の場合に
ついて説明する。When the electric circuit of the microscope 30 is energized, the initial position detecting means 200 can of course detect a state in which the revolver 100A is firmly positioned (for example, as shown in FIG. 10(a)), but it can detect a state in which it is not positioned [for example, It can also be detected in Figure 1.theta.(b)], so both cases will be described below.
第１θ図（ａｌの状態のときに、顕微鏡３０の電源をＯ
Ｎにすると、フェライトマグネット１５２Ａが斜線で示
す磁気センサ１５１Ｃの真上にあるため、この磁気セン
サ１５１ｃがＯＮ （ＳＴＰ ２０）する。このＯＮ信
号により、モータ１２０に略３Ｖの電圧を印加して所定
時間（好適には０．１ ｓｅｃ ）前記モータ１２０を
低速回転させた後（ＳＴＰ２１）、モータ１２０を停止
させる（ＳＴＰ２２）。Fig. 1θ (When in the state of al, the microscope 30 is turned off.
When set to N, the ferrite magnet 152A is located directly above the magnetic sensor 151C indicated by diagonal lines, so this magnetic sensor 151c is turned ON (STP 20). In response to this ON signal, a voltage of approximately 3V is applied to the motor 120 to rotate the motor 120 at a low speed for a predetermined period of time (preferably 0.1 sec) (STP21), and then the motor 120 is stopped (STP22).
このとき、切欠部１１１Ａにベアリング９４が係合して
いるので、モータ１２０を低速回転させても、レボルバ
１００Ａは回転しないため、フェライトマグネット１５
２Ａも変位せず、磁気センサ１５１ｃはＯＦＦせず、Ｏ
Ｎ状態を維持する（ＳＴＰ２３）。At this time, since the bearing 94 is engaged with the notch 111A, the revolver 100A does not rotate even if the motor 120 is rotated at a low speed, so the ferrite magnet 15
2A is not displaced, the magnetic sensor 151c is not turned off, and O
The N state is maintained (STP23).
従って、前記フェライトマグネット１５２Ａが磁気セン
サ１５１ｃの真上にある状態、すなわち、対物レンズ１
１５Ａが測定位置、すなわち、第４図の貫孔１０６に対
向された状態なので、操作ボックス１８０の位置表示部
１８９Ａが点灯され（ＳＴＰ ３５） 、かつ、モータ
１２０を完全に停止（ＳＴＰ３６）させて、初期位置検
出が終了する。Therefore, the state in which the ferrite magnet 152A is directly above the magnetic sensor 151c, that is, the objective lens 1
15A is at the measurement position, that is, facing the through hole 106 in FIG. , the initial position detection ends.
次に、レボルバ１００Ａが位置決めされていない状態、
例えば、第１θ図（ｂ）の状態にあるときもその位置を
検出することができるので、その場合について説明する
。Next, a state in which the revolver 100A is not positioned,
For example, since the position can be detected even in the state shown in FIG. 1.theta.(b), this case will be explained.
先ず、ステップ２０において、磁気センサ１５ＩＡ乃至
１５１Ｄの何れかのセンサがＯＮしているか否かを判断
している。この場合、ベアリング９４が何れの切欠部１
１１Ａ乃至１１１Ｄにも係合されておらず、レボルバ１
００Ａが位置決めされていないため、フェライトマグネ
ット１５２Ａは、いずれの磁気センサ１５１Ａ乃至１５
１Ｄとも対向されておらず、他のフェライトマグネット
、第１０図ｆｂ）では、フェライトマグネット１５２Ｂ
が斜線で示す磁気センサ１５１Ｄの真上にある。First, in step 20, it is determined whether any of the magnetic sensors 15IA to 151D is ON. In this case, the bearing 94 is located at which notch 1.
11A to 111D, and the revolver 1
Since 00A is not positioned, the ferrite magnet 152A is connected to any of the magnetic sensors 151A to 15.
In the other ferrite magnet (FIG. 10 fb), the ferrite magnet 152B is not opposed to 1D.
is located directly above the magnetic sensor 151D indicated by diagonal lines.
従って、このセンサ１５１ＤがＯＮ状態となるため、ス
テップ２１でモータ１２０を所定時間（０，１ｓｅｃ
）低速回転させた後、停止（ＳＴＰ２２）させる。する
と、この間にレボルバ１００Ａが矢印Ｂ１方向に少し変
位した状態で停止するため、フェライトマグネット１５
２Ｂが磁気センサ１５１Ｄから離間する。これにより、
この磁気センサ１５１ＤｆＪ＜ＯＦＦ （ＳＴＰ２３）
Ｌ、操作ボックス１８０のエラー表示部１８８が点灯す
る（ＳＴＰ２４）。Therefore, since this sensor 151D is in the ON state, the motor 120 is turned on for a predetermined period of time (0.1 sec.
) After rotating at low speed, stop (STP22). Then, during this time, the revolver 100A stops with a slight displacement in the direction of arrow B1, so the ferrite magnet 15
2B is separated from the magnetic sensor 151D. This results in
This magnetic sensor 151DfJ<OFF (STP23)
L, the error display section 188 of the operation box 180 lights up (STP24).
そして、この状態から操作ボックス１８０の所定のキー
、例えば、回動方向指定スイッチ１８３Ａを押圧（ＳＴ
Ｐ２５）すると、モータ１２（Ｎ、：略９Ｖの電圧が印
加されて、このモータ１２０が矢印Ｄ１方向（第５図）
へ微少時間高速回転する（ＳＴＰ２６）。これにより、
レボルバ１００Ａが矢印Ｂ、力方向変位する。この高速
回転後、ステップ２７において、磁気センサ１５１Ａが
ＯＮするまでの間〔実質的には第１θ図（ｂ）から（Ｃ
）までの間〕は、モータ１２０に略６Ｖの電圧を印加し
て中速回転（ＳＴＰ２８）させた後、その時間をカウン
ト（ＳＴＰ２９）させる。Then, from this state, press a predetermined key on the operation box 180, for example, the rotation direction designation switch 183A (ST
P25) Then, a voltage of approximately 9V is applied to the motor 12 (N,: approximately 9V), and the motor 120 moves in the direction of arrow D1 (Fig. 5).
Rotates at high speed for a short period of time (STP26). This results in
The revolver 100A is displaced in the force direction of arrow B. After this high-speed rotation, in step 27, the period from FIG. 1θ(b) to (C
)], a voltage of approximately 6 V is applied to the motor 120 to rotate it at a medium speed (STP28), and then the time is counted (STP29).
その後、レボルバ１００Ａの回転（Ｂ ｒ方向）が進行
してフェライトマグネット１５２Ｃが斜線で示すセンサ
１５１Ａの真上〔第１０図（Ｃ）〕に位置すると、ステ
ップ２７で磁気センサｌ ５１ＡがＯＮとなり、ステッ
プ３０で前記ステップ２９でカウントした時間が所定時
間（好適には０．４ ｓｅｃ ）経過したか否かを判断
する。この場合、タイムカウントした時間は、第１０図
（ｂｌから（ｅ）までの時間となり、この時間は略０，
８ ｓｅｃとなるため、ステップ３１へと進行して、モ
ータ１２０を低速回転にする。その後、低速で、更にレ
ボルバ１００Ａを回転させると、フェライトマグネット
１５２Ｃが磁気センサ１５１Ａから離間するので、この
磁気センサ１５１ＡがＯＦＦ （ＳＴＰ３２）となった
後、今度はフェライトマグネット１５２Ａが斜線で示す
磁気センサ１５１Ｂの真上に位置するので、この磁気セ
ンサ１５１Ｂ７５＜ＯＮ状態（ＳＴＰ３３）となる〔第
１Ｏ図（ｄ）〕。Thereafter, when the rotation of the revolver 100A (Br direction) progresses and the ferrite magnet 152C is located directly above the sensor 151A indicated by diagonal lines [FIG. 10(C)], the magnetic sensor 151A is turned ON in step 27. In step 30, it is determined whether the time counted in step 29 has elapsed for a predetermined period of time (preferably 0.4 sec). In this case, the time counted is the time from bl to (e) in Figure 10, and this time is approximately 0,
8 sec, the process proceeds to step 31 and the motor 120 is rotated at a low speed. After that, when the revolver 100A is further rotated at low speed, the ferrite magnet 152C is separated from the magnetic sensor 151A, so after this magnetic sensor 151A is turned OFF (STP32), the ferrite magnet 152A becomes the magnetic sensor indicated by diagonal lines. Since the magnetic sensor 151B is located directly above the magnetic sensor 151B, the magnetic sensor 151B is in an ON state (STP33) [FIG. 1O(d)].
そして、ステップ３４で、モータ１２０の電極を一時的
に短絡させてブレーキをかけると、回転方向（Ｂ１方向
）に作用するレボルバ１００Ａの慣性力（イナーシャ）
が最小限となり、ベアリング９４が切欠部１１１Ｂに係
合、すなわち、位置決めされた状態となる。従って、操
作ボックス１８０の位置表示部１８９Ｂが点灯して表示
（ＳＴＰ３５）され、かつ、モータ１２０に印加されて
いる電圧を解除して完全にモータ１２０を停止（ＳＴＰ
３６）させる。これにより、レボルバ１００Ａの初期位
置の設定及び検出が終了する。Then, in step 34, when the electrodes of the motor 120 are temporarily short-circuited and the brake is applied, the inertia of the revolver 100A acts in the rotation direction (B1 direction).
is minimized, and the bearing 94 is engaged with the notch 111B, that is, is positioned. Therefore, the position display section 189B of the operation box 180 lights up and is displayed (STP35), and the voltage applied to the motor 120 is released to completely stop the motor 120 (STP35).
36) Let. This completes the setting and detection of the initial position of the revolver 100A.
なお、４つの磁気センサ１１５Ａ乃至１１５Ｄのいずれ
にもフェライトマグネット１５２Ａ乃至１５２Ｃが対向
されておらず、全ての磁気センサ１１５Ａ乃至１１５Ｄ
がＯＦＦのときは、ステップ２０からステップ２４に進
行してエラー表示がなされ、以下ステップ２５のキー人
力以後、前述と同様な手順で進行して初期位置設定及び
初期位置検出がなされる。Note that the ferrite magnets 152A to 152C are not opposed to any of the four magnetic sensors 115A to 115D, and all the magnetic sensors 115A to 115D
When is OFF, the process proceeds from step 20 to step 24, where an error message is displayed, and after the manual input of the key in step 25, the process proceeds in the same manner as described above to perform initial position setting and initial position detection.
次に、手動回転位置検出手段３００について、第１Ｏ図
及び第１１図を参照して説明する。Next, the manual rotational position detection means 300 will be explained with reference to FIG. 1O and FIG. 11.
手動回転位置検出手段３００は、レボルバ１００Ａを手
動で、第１Ｏ図（ａ）乃至（ｄ）まで変位させて対物レ
ンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの１つ分の変位をさせる場合
はもちろん検出できるが、検出が困難と考えられる操作
状態、すなわち、レボルバ１００Ａを（ａ）から（Ｃ）
〔実質的には、フェライトマグネット１５２Ｃが磁気セ
ンサ１１５Ａの位置を通過した（Ｃ）と（ｄ）の間〕ま
で変位させてから、更に今度はレボルバ１００Ａを前記
と逆方向に回転させて再度（ａ）の位置に戻す場合、換
言すると、対物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの１つ分ま
では移動せずに、途中から戻す場合においても、その位
置を検出することができるので、以下、前記２通りの検
出方法について説明する。Of course, the manual rotational position detection means 300 can detect when the revolver 100A is manually displaced as shown in FIGS. Operating conditions that are considered difficult, i.e., operating the revolver 100A from (a) to (C)
[Substantially, the ferrite magnet 152C passes the position of the magnetic sensor 115A between (C) and (d)] After that, the revolver 100A is rotated in the opposite direction to the above position again ( When returning to position a), in other words, even when returning from the middle without moving one objective lens 115A to 115D, the position can be detected. The detection method will be explained.
先ず、第１θ図（ａ）の状態、すなわち、位置決め停止
され、電源がＯＮされた状態では、初期位置の状態なの
で、図示しない演算手段に入力するための位置情報Ｐが
０と設定されるとともに、磁気センサ１５１Ｃが、新位
置（初期位置）、すなわち、新たに何れかのフェライト
マグネット１５２Ａ乃至１５２Ｄに向い合った磁気セン
サであると、図示しない記憶手段に記憶される。First, in the state shown in Fig. 1θ (a), that is, in the state where the positioning is stopped and the power is turned on, the position is in the initial position, so the position information P to be input to the calculation means (not shown) is set to 0. , the magnetic sensor 151C is stored in a storage means (not shown) in a new position (initial position), that is, as a magnetic sensor newly facing any of the ferrite magnets 152A to 152D.
そして、この状態から、前記レボルバ１００Ａを手動で
矢印Ｂ１方向に回転させると、第１θ図（ｂ）の状態と
なり、フェライトマグネット１５２Ｂが磁気センサ１５
１Ｄの真上にくるので、このセンサ１５１ＤがＯＮ （
ＳＴＰ３７）Ｌ、ステップ３８でこのセンサ１５１Ｄの
信号が新しい位置として入力される。従って、センサ１
５１Ｃの位置は旧位置とされる。From this state, when the revolver 100A is manually rotated in the direction of arrow B1, the state shown in FIG.
Since it is directly above 1D, this sensor 151D is ON (
STP37)L, in step 38, the signal of this sensor 151D is input as the new position. Therefore, sensor 1
The position 51C is considered to be the old position.
次いで、ステップ３９に進行し、新位置、すなわちセン
サ１５１Ｄの位置と、旧位置、すなわちセンサ１５１Ａ
の位置とを比較するが、この場合、新位置と旧位置とは
別の位置なので、ステップ４０へと進行する。このステ
ップ４０では、連続して入力される前記旧位置（センサ
１５１Ｃ）と新位置（センサ１５１Ｄ）とから、この時
のレボルバ１００Ａの回転方向を判断し、矢印Ｂ１方向
を検出する。Next, the process proceeds to step 39, where the new position, that is, the position of the sensor 151D, and the old position, that is, the position of the sensor 151A are
However, in this case, since the new position and the old position are different positions, the process advances to step 40. In this step 40, the rotational direction of the revolver 100A at this time is determined from the old position (sensor 151C) and new position (sensor 151D) that are continuously input, and the direction of arrow B1 is detected.
次に、ステップ４１ではこの方向（Ｂ１方向）が順方向
か否かを判断する。Next, in step 41, it is determined whether this direction (B1 direction) is the forward direction.
このとき、順方向とは、位置決めされた状態から、最初
に回転させた方向を順方向と設定されるので、この場合
Ｂ＋方向は、順方向と判断されてステップ４７へと進行
する。ここでは、前記新位置（センサ１５１Ｄ）を旧位
置として設定してから、位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴ
Ｐ４８）してＰ＝１とする。ここで、位置情報Ｐは、０
，１゜２．３の４つの数字で表されるが、位置情報Ｐが
３になると基本的に３つのセンサがＯＮした状態を経過
し、再びフェライトマグネット１５２Ａが何れかのセン
サに向い合った状態、すなわち、位置決めされた状態と
なるので、自動的に位置情報Ｐが０にリセットされるよ
う構成される（ＳＴＰ５０参照）。そして、今度はステ
ップ４９へと進行して位置情報Ｐが３であるか否かを判
断するが、この場合、Ｐ＝１なので操作ボックス１８０
のエラー表示部１８８を点灯させる（ＳＴＰ４６）。At this time, the forward direction is defined as the direction in which the object is rotated for the first time from the positioned state, so in this case, the B+ direction is determined to be the forward direction and the process proceeds to step 47. Here, after setting the new position (sensor 151D) as the old position, the position information P is increased by one (ST
P48) and set P=1. Here, the position information P is 0
, 1゜2.3, but when the position information P reaches 3, basically three sensors are turned on, and the ferrite magnet 152A faces one of the sensors again. In other words, the position information P is automatically reset to 0 (see STP 50). Next, the process advances to step 49 and it is determined whether or not the position information P is 3. In this case, since P=1, the operation box 180
The error display section 188 of is turned on (STP46).
更に、手動でレボルバ１００Ａを矢印Ｂ＋方向に回転さ
せると、今度はフェライトマグネット１５２Ｃがセンサ
１５１Ａの真上に位置〔第１θ図（Ｃ）〕するので、こ
のセンサ１５１ＡがＯＮ状態となる。このセンサ１５１
ＡのＯＮ状態が再びステップ３７で判断され、このセン
サ１５１Ａが今度の新位置として入力（ＳＴＰ ３８）
され、ステップ３９でこの新位置（センサ１５１Ａ）と
旧位置（センサｔｓｌＤ）とが比較される。この場合、
当然、新位置と旧位置とが異なるので、この時の回転方
向（Ｂ１方向）が検出（ＳＴＰ４０）された後、ステッ
プ４１で順方向か否かが判断される。Further, when the revolver 100A is manually rotated in the direction of the arrow B+, the ferrite magnet 152C is positioned directly above the sensor 151A [FIG. 1θ (C)], so that the sensor 151A is turned on. This sensor 151
The ON state of A is determined again in step 37, and this sensor 151A is input as the new position (STP 38).
Then, in step 39, this new position (sensor 151A) and the old position (sensor tslD) are compared. in this case,
Naturally, the new position and the old position are different, so after the rotation direction (B1 direction) at this time is detected (STP40), it is determined in step 41 whether or not it is the forward direction.
この場合、矢印Ｂ＋方向は、前記と同様に順方向なので
、ステップ４７へと進み、新位置、すなわち、センサ１
５１Ａの位置が旧位置に設定されて、位置情報Ｐを１つ
プラス（ＳＴＰ４８）してＰ＝２とする。そして、この
情報を基にステップ４９へと進行するが、今、Ｐ＝２な
ので、エラー表示部１８８は点灯（ＳＴＰ４６）された
ままとなる。In this case, since the arrow B+ direction is the forward direction as described above, the process proceeds to step 47 and the new position, that is, the sensor 1
The position of 51A is set to the old position, and the position information P is incremented by one (STP48) to make P=2. Then, the process proceeds to step 49 based on this information, but since P=2 now, the error display section 188 remains lit (STP46).
そして、更にレボルバ１００Ａを手動でＢ＋方向に回転
させると、今度は、フェライトマグネット１５２Ａがセ
ンサ１５１Ｂの真上に位置〔第１Ｏ図（ｄ）〕するので
、このセンサ１５１ＢがＯＮ状態（ＳＴＰ ３７）とな
り、このセンサ１５１Ｂの位置を新位置として入力（Ｓ
ＴＰ３８）する。その後、ステップ３９へと進み、新位
置（センサ１５１Ｂ）と旧位置（センサ１５１Ａ）とを
比較するが、当然同一ではないので、この時の回転方向
をＢ１方向と検出（ＳＴＰ４０）してから、ステップ４
１へと進行して、この方向は順方向（Ｂ＋方向）なので
、更に位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴＰ４８）してＰ＝
３としてからステップ４９へと進む。Then, when the revolver 100A is further manually rotated in the B+ direction, the ferrite magnet 152A is positioned directly above the sensor 151B [Fig. 1O (d)], so this sensor 151B is in the ON state (STP 37). Then, input the position of this sensor 151B as a new position (S
TP38). After that, the process proceeds to step 39, where the new position (sensor 151B) and the old position (sensor 151A) are compared, but of course they are not the same, so the rotation direction at this time is detected as the B1 direction (STP40), and then Step 4
1, and since this direction is the forward direction (B+ direction), the position information P is further added by one (STP48), and P=
3 and then proceeds to step 49.
ここでは、前記ステップ４８でＰ＝３とされたので、ス
テップ４９ではＹＥＳと判断されるため、ステップ５０
へと進み、位置情報Ｐを０にリセットするとともに、Ｂ
、方向を順方向としたことも解除する。そして、ステッ
プ５１へと進み、正しい位置、すなわち、対物レンズ１
１５Ｂが測定位置にあるので、操作ボックス１８０の位
置表示部１８９Ｂを点灯させて手動回転位置の検出が終
了する。Here, since P=3 was set in step 48, YES is determined in step 49, so step 50
, reset the location information P to 0, and press B.
, also cancels the direction set to forward. Then, the process proceeds to step 51, and the objective lens 1 is placed in the correct position.
15B is at the measurement position, the position display section 189B of the operation box 180 is turned on and manual rotation position detection is completed.
次に、手動でレボルバ１００Ａを第１０図（ａｌの状態
から（ｂ）、 （ｅ）と回転させて、（Ｃ）と（ｄ）の
間、すなわち、フェライトマグネット１５２Ｃがセンサ
１５１Ａを通過した位置まで変位させた後、今度はレボ
ルバ１００Ａを前記と逆方向に変位させて最終的に（ａ
ｌの位置に戻す場合も位置検出できるので、以下、その
検出方法を説明する。Next, manually rotate the revolver 100A from the state shown in FIG. After displacing the revolver 100A to a
Since the position can also be detected when returning to the position l, the detection method will be explained below.
先ず、レボルバ１００Ａを（ａ）の状態から（ｂ）の状
態まで矢印Ｂ１方向に回転させると、フェライトマグネ
ット１５２Ｂの作用によりセンサ１５１ＤがＯＮ （Ｓ
ＴＰ３７）するので、このセンサ１５ＩＤの位置を新位
置として入力（ＳＴＰａ８）する。次いで、この新位置
（センサ１５１Ｄ）と旧位置（センサ１５１ｃ）とは当
然異なるので（ＳＴＰ３９）、その時の回転方向、すな
わち、矢印Ｂ１方向をステップ４０で検出する。First, when the revolver 100A is rotated in the direction of arrow B1 from the state (a) to the state (b), the sensor 151D is turned ON (S
TP37), the position of this sensor 15ID is input as a new position (STPa8). Next, since the new position (sensor 151D) and the old position (sensor 151c) are naturally different (STP39), the rotation direction at that time, that is, the direction of arrow B1, is detected in step 40.
次に、この方向（Ｂ ＋方向）は、最初に回転させた方
向なので、ステップ４１では順方向と判断される。ステ
ップ４７では、新位置（センサ１５ＩＤ）を旧位置の代
りに設定した後、位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴＰ４８
）してＰ＝１としてから、ステップ４９でＰ＝３か否か
を判断する。今、Ｐ＝１なのでステップ４６へと進み、
エラー表示部１８８を点灯させる。Next, this direction (B+ direction) is determined to be the forward direction in step 41 since it is the direction in which the rotation was first made. In step 47, after setting the new position (sensor 15 ID) in place of the old position, the position information P is increased by one (STP48
) to set P=1, and then in step 49 it is determined whether P=3. Now, since P=1, proceed to step 46,
The error display section 188 is turned on.
そして、レボルバ１００Ａを更に矢印Ｂ１方向に回転さ
せて、第１０図（Ｃ）の状態にすると、フェライトマグ
ネット１５２Ｃの磁力作用によりセンサ１５１ＡがＯＮ
（ＳＴＰ３７）Ｌ、この信号を新位置として入力（Ｓ
ＴＰ３８）した後、新位置（センサ１５１Ａ）と旧位置
（センサ１５１Ｄ）とを比較（ＳＴＰ３９）するが、値
は、当然異なるので、この時の回転方向（Ｂ１方向）を
検出（ＳＴＰ４０）する。Then, when the revolver 100A is further rotated in the direction of arrow B1 to the state shown in FIG. 10(C), the sensor 151A is turned on by the magnetic force of the ferrite magnet 152C.
(STP37) L, input this signal as the new position (STP37)
After TP38), the new position (sensor 151A) and the old position (sensor 151D) are compared (STP39), but since the values are naturally different, the rotation direction (B1 direction) at this time is detected (STP40).
その後、この方向（Ｂ、方向）は順方向（ＳＴＰ４１）
なので、新位置（センサ１５１Ａ）を旧位置の代りに設
定（ＳＴＰ４７）してから、位置情報Ｐを１つプラス（
ＳＴＰ４８）Ｌ、Ｐ：＝２としてからステップ４９でＰ
＝３か否かを判断する。After that, this direction (B, direction) is the forward direction (STP41)
Therefore, after setting the new position (sensor 151A) in place of the old position (STP47), add the position information P by one (
STP48) Set L, P:=2, then set P in step 49.
=3.
今、Ｐ＝２なのでステップ４６へと進み、エラー表示部
１８８を点灯させておく。Since P=2 now, the process advances to step 46 and the error display section 188 is left lit.
そして、今度はフェライトマグネット１５２ｃがセンサ
１５１Ａを通過するまでレボルバ１００Ａを手動で８１
方向に回転させ、フェライトマグネット１５２Ｃがセン
サ１５１Ａを通過したら、−旦しポルバ１００Ａの回転
を停止させた後、今度はレボルバ１００Ａを矢印Ｂ２方
向へ回転させる。Then, manually rotate the revolver 100A until the ferrite magnet 152c passes the sensor 151A.
When the ferrite magnet 152C passes the sensor 151A, the rotation of the revolver 100A is temporarily stopped, and then the revolver 100A is rotated in the direction of arrow B2.
すると、フェライトマグネット１５２ｃが再度センサ１
５１Ａの真上に位置するので、このセンサ１５１ＡがＯ
Ｎ （ＳＴＰ３７）状態となり、センサ１５１Ａを新位
置として入力（ＳＴＰ３８）してから、ステップ３９へ
と進行する。ここで、新位置（センサ１５１Ａ）と旧位
置（センサ１５ＩＡ）とは同一のため、回転方向を検出
する必要がないのでステップ４１へと進行し、ここで順
方向か否かを判断されるが、矢印Ｂ１方向ではないので
、ステップ４２へと進む。ここで、順方向（Ｂ、方向）
に対して逆方向か否がを判断するが、金入力されている
情報は、新位置、旧位置ともにセンサ１５１Ａのため、
逆方向とは判断されず、この場合、位置変更なしく５Ｔ
Ｐ５２）とされてステップ４５へと進行する。Then, the ferrite magnet 152c is connected to the sensor 1 again.
Since it is located directly above sensor 51A, this sensor 151A is
After entering the N (STP37) state and inputting the sensor 151A as a new position (STP38), the process proceeds to step 39. Here, since the new position (sensor 151A) and the old position (sensor 15IA) are the same, there is no need to detect the rotation direction, so the process advances to step 41, where it is determined whether or not the rotation direction is forward. , is not in the direction of arrow B1, so the process advances to step 42. Here, forward direction (B, direction)
It is determined whether or not it is in the opposite direction, but since the information inputted is the sensor 151A for both the new position and the old position,
It is not determined that the direction is in the opposite direction, and in this case, the position is changed to 5T without changing the position.
P52) and the process proceeds to step 45.
ここで、前記位置情報Ｐ＝２なので、Ｐは０ではないと
判断されて、エラー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ４６）
させておく。Here, since the position information P=2, it is determined that P is not 0, and the error display section 188 is lit (STP46).
I'll let you.
そして、更にレボルバ１００Ａを矢印Ｂ２方向に回転さ
せて、第１Ｏ図ｆｂ）の状態にすると、フェライトマグ
ネット１５２Ｂの作用にょリセンサ１５１ＤがＯＮ （
ＳＴＰ３７）するので、この位置を新位置として入力（
ＳＴＰ３８）した後、ステップ３９で新位置（センサ１
５１Ｄ）と旧位置（センサ１５１Ａ）とを比較するが、
当然具なるので、ステップ４０へと進行する。ここでは
、この時の回転方向、すなわち、矢印Ｂ２方向が検出さ
れてステップ４１へと進行する。Then, when the revolver 100A is further rotated in the direction of arrow B2 to the state shown in Fig. 1O fb), the action of the ferrite magnet 152B turns on the sensor 151D (
STP37), enter this position as the new position (
STP38), the new position (sensor 1
51D) and the old position (sensor 151A),
Naturally, the process proceeds to step 40. Here, the rotation direction at this time, that is, the direction of arrow B2 is detected, and the process proceeds to step 41.
すると、ここでは、矢印Ｂ２方向は、順方向ではないと
判断されるので、ステップ４２へと進む。Then, since it is determined that the direction of arrow B2 is not the forward direction, the process proceeds to step 42.
ここで、Ｂ２方向は逆方向と判断されて、新位置（セン
サ１５１Ｄ）を旧位置に設定（ＳＴＰ ４３）してから
、位置情報Ｐを１つマイナス（ＳＴＰ４４）してＰ＝１
とする。そして、ステップ４５ではＰ＝Ｏか否かを判断
するが、今Ｐ＝１なので、エラー表示部１８８を点灯（
ＳＴＰ４６）させたまま、更に、レボルバ１００Ａを手
動で矢印Ｂ。Here, the B2 direction is determined to be the opposite direction, and after setting the new position (sensor 151D) to the old position (STP 43), the position information P is decremented by one (STP 44), and P=1.
shall be. Then, in step 45, it is determined whether P=O or not, but since P=1 now, the error display section 188 is turned on (
While holding STP46), manually move the revolver 100A to arrow B.
方向に回転させると、今度はフエライトマグネッ）１５
２Ａがセンサ１５１Ｃの真上に位置〔第１Ｏ［Ｈａ）’
ｌ ｔル１７）テ、このセンサ１５１ｃが０Ｎ（ＳＴＰ
３７）状態となり、センサ１５１ｃ（７）位置を新位置
として入力（ＳＴＰ３８）する。If you rotate it in the direction, it will turn into a ferrite magnet) 15
2A is located directly above the sensor 151C [1st O[Ha)'
17) This sensor 151c is 0N (STP)
37) state, and the sensor 151c(7) position is input as a new position (STP38).
その後、新位置（センサ１５１Ｃ）と旧位置（センサ１
５１Ｄ）とは異なる（ＳＴＰ３９） ので、この時の回
転方向を矢印Ｂ２方向と検出（ＳＴＰ４０）してから、
ステップ４１で順方向（Ｂ。After that, the new position (sensor 151C) and the old position (sensor 1
51D) is different (STP39), so after detecting the rotation direction at this time as the direction of arrow B2 (STP40),
In step 41, the forward direction (B.
方向）か否かを判断するが、この方向はＢ２方向なので
ステップ４２に進み、ここで逆方向（Ｂ。However, since this direction is the B2 direction, the process proceeds to step 42, where the reverse direction (B) is determined.
方向）と判断されて、新位置（センサ１５１Ｃ）を旧位
置に設定（ＳＴＰ４３）する。direction), and the new position (sensor 151C) is set to the old position (STP43).
そして、ステップ４４では位置情報Ｐから１つマイナス
してＰ＝Ｏとして、ステップ４５へと進行し、ここでＰ
が０か否かが判断されるが、今Ｐ二〇、すなわち、対物
レンズ１１５Ａが正しい位置（測定位置）にあると判断
されるので、操作ボックス１８０の位置表示部１８９Ａ
を点灯させて、手動回転位置の検出が終了する。Then, in step 44, one is subtracted from the position information P to set P=O, and the process proceeds to step 45, where P
It is determined whether or not P20 is now 0, that is, it is determined that the objective lens 115A is at the correct position (measurement position), so the position display section 189A of the operation box 180
lights up and manual rotation position detection is completed.
このようにして、自動でなく手動回転によっても、各磁
気センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄ及びフェライトマグネッ
ト１５２Ａ乃至１５２Ｃの作用を受けて、所定の対物レ
ンズが測定位置に正しく設定されたか否かが、検出され
、操作ボックス１８０で視認できることとなる。In this way, it is detected whether or not a predetermined objective lens is correctly set at the measurement position by the action of each magnetic sensor 151A to 151D and ferrite magnet 152A to 152C, even if the rotation is not automatic but manual. This can be visually confirmed on the operation box 180.
次に、自動回転位置検出手段４００について説明する。Next, automatic rotational position detection means 400 will be explained.
この自動回転位置検出手段４００は、位置決めされた状
態〔例えば第１０図（ａ）〕からは勿論検出できるが、
位置決めされていない場合〔例えば第１Ｏ図（ｂ）〕で
もその位置を検出して所望の位置に位置決めできるので
、以下、両方の場合について第１２図のフローチャート
を中心とし、この他に、第１１図及び第１０図並びに第
９図等をも参照しながら詳細に説明する。This automatic rotational position detecting means 400 can of course detect from a positioned state (for example, FIG. 10(a)), but
Even if the position has not been determined [for example, in Figure 1O (b)], the position can be detected and positioned at the desired position. This will be described in detail with reference to FIGS. 10, 9, and the like.
先ず、しっかりと位置決めされた状態、例えば、対物レ
ンズ１１５Ａが測定位置にある状態〔第１θ図（ａ）〕
から、操作ボックス１８０の所定のキー例えば、回動方
向指定スイッチ１８３Ａを押圧して、隣接して配置され
た対物レンズ１１５Ｂを測定位置〔第１Ｏ図（ｄ）〕ま
で回転する場合について説明する。First, a state in which the objective lens 115A is firmly positioned, for example, in the measurement position [Fig. 1θ (a)]
Now, a case will be described in which a predetermined key on the operation box 180, for example, the rotation direction specifying switch 183A, is pressed to rotate the objective lens 115B disposed adjacent to the measurement position [FIG. 1O(d)].
この時、第１０図（ａｌの状態からＢ＋方向に９０度移
動した（ｄ）の状態まで回転する時間を、略１ ｓｅｃ
となるよう設定しであるので、レボルバ１００Ａが１回
転（３６０度回転）する時間は、略４ ｓｅｃとなる。At this time, the time it takes to rotate from the state shown in FIG. 10 (al) to the state shown in FIG.
Therefore, the time it takes for the revolver 100A to make one rotation (rotation 360 degrees) is approximately 4 seconds.
先ず、第８図のステップ１８で所望のキー、例えば、操
作ボックス１８０の回動方向指定スイッチ１８３Ａを押
圧すると、キー人力したと判断されるので、ステップ１
９の自動回転位置検出手段４００に進行する。First, in step 18 of FIG. 8, when a desired key, for example, the rotation direction specifying switch 183A of the operation box 180 is pressed, it is determined that the key was pressed manually, so step 1
The process proceeds to the automatic rotational position detection means 400 of 9.
そして、この自動回転位置検出手段４００では、第１２
図に示すように、先ず、ステップ５３でセンサ１５１Ａ
乃至１５１Ｄの何れかが、ＯＮＬでいるか否かが判断さ
れる。この場合、フェライトマグネット１５２Ａが磁気
センサ１５１ｃの真上にあるので、このセンサ１５１Ｃ
がＯＮしているため、モータ１２０を高速回転（ＳＴＰ
５４）させる。これにより、レボルバ１００Ａが矢印Ｂ
＋方向に回転して、切欠部１１１Ａがベアリング９４か
ら離脱する。In this automatic rotational position detection means 400, the twelfth
As shown in the figure, first, in step 53, the sensor 151A
It is determined whether any of 151D to 151D is ONL. In this case, since the ferrite magnet 152A is located directly above the magnetic sensor 151c, this sensor 151C
is ON, the motor 120 rotates at high speed (STP).
54) Let. As a result, the revolver 100A moves to arrow B.
Rotating in the + direction, the notch 111A is separated from the bearing 94.
次に、ステップ６０に進行するが、ここでは、モータ１
２０が誤作動して回転し続けることを阻止するために、
通常のモータ１２０の駆動設定時間（本実施例では１
ｓｅｃ ）より長い所定時間（２〜３ｓｅｃ）を設定し
てあり、一方、その時間以上、モータ１２０が回転する
ようであれば、このモータ１２０を強制的に停止（ＳＴ
Ｐ６１）させてエラー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ８４
）させた後、第８図のステップ１８へと進行するよう構
成されている。前記所定時間（２〜３ｓｅｃ）は設定自
在であり、本実施例の場合は２ ｓｅｃとしている。Next, the process proceeds to step 60, where motor 1
In order to prevent 20 from malfunctioning and continuing to rotate,
Normal drive setting time of the motor 120 (in this example, 1
A predetermined time (2 to 3 seconds) is set that is longer than ST.
P61) and lights up the error display section 188 (STP84).
), the process proceeds to step 18 in FIG. The predetermined time (2 to 3 seconds) can be set freely, and in this embodiment, it is set to 2 seconds.
この場合、経過時間は１ ｓｅｃ以下なので、ステップ
６２へと進み、レボルバ１００Ａの回転が更に進行する
と、フェライトマグネット１５２Ｂの磁力作用により、
センサ１５１ＤがＯＮＣ第１０図（ｂ） ）するので、
ステップ６３へと進行して、このセンサ１５１Ｄの位置
を新位置として入力する。In this case, since the elapsed time is 1 sec or less, the process proceeds to step 62, and as the rotation of the revolver 100A further progresses, due to the magnetic force of the ferrite magnet 152B,
Since the sensor 151D performs ONC (Fig. 10(b)),
Proceeding to step 63, the position of this sensor 151D is input as a new position.
そして、ステップ６４へと進み、このステップ６４では
最初に回転させた方向（Ｂ１方向）を順方向とするため
、当然順方向と判断されてステップ７３へと進行する。Then, the process proceeds to step 64, and since the first rotated direction (B1 direction) is determined to be the forward direction in step 64, it is naturally determined that the direction is the forward direction, and the process proceeds to step 73.
ここで、新位置（センサ１５ＩＤ）を旧位置の代りに設
定するとともに、位置情報Ｐに１つプラスしてＰ＝１と
する。Here, a new position (sensor 15 ID) is set in place of the old position, and one is added to the position information P to set P=1.
その後、ステップ７４に進行して、Ｐが１か否かを判断
するが、前記ステップ７３でＰ＝１とされているので、
モータ１２０を中速回転（ＳＴＰ７５）させる。すると
、再度ステップ６０に進行して所定時間（好適には２ｓ
ｅｃ）経過しているか否かを判断するが、この時、実際
の経過時間はやはり１ ｓｅｃ以下のため、ステップ６
２へと進む。After that, the process proceeds to step 74, where it is determined whether P is 1 or not, but since P=1 in step 73,
The motor 120 is rotated at medium speed (STP75). Then, the process goes to step 60 again and the process is continued for a predetermined period of time (preferably 2 seconds).
ec) Determine whether or not the elapsed time has elapsed, but at this time, the actual elapsed time is still less than 1 sec, so step 6
Proceed to 2.
そして、更にレボルバ１００Ａの回転（Ｂ１方向）が進
行すると、フェライトマグネット１５２Ｃの磁力作用に
より、センサ１５１ＡがＯＮ（第１θ図（Ｃ）〕するの
で、ここではセンサＯＮと判断されて、このセンサ１５
１Ａの位置を新位置として入力（ＳＴＰ６３）する。Then, as the rotation of the revolver 100A further progresses (in the B1 direction), the sensor 151A turns ON (Fig. 1 (C)) due to the magnetic force of the ferrite magnet 152C.
The position of 1A is input as the new position (STP63).
その後、ステップ６４でこの回転方向（矢印ＢＩ）は順
方向と判断されてステップ７３に進み、ここで新位置（
センサ１５１Ａ）を旧位置に設定するとともに、位置情
報Ｐを１つプラスしてＰ＝２とする。このため、ステッ
プ７４ではＰ＝１ではないと判断されるので、ステップ
７６へと進行し、ここでＰ＝２と判断されてモータ１２
０を低速回転（ＳＴＰ７７）させる。Thereafter, in step 64, this rotation direction (arrow BI) is determined to be the forward direction, and the process proceeds to step 73, where the new position (
The sensor 151A) is set to the old position, and the position information P is added by one to make P=2. Therefore, in step 74, it is determined that P=1 is not established, so the process proceeds to step 76, where it is determined that P=2, and the motor 12
0 at low speed (STP77).
そして、再度ステップ６０に進行するが、この場合でも
経過時間はやはり１ ｓｅｃ以下のため、ステップ６２
へと進む。レボルバ１００Ａの回転が更に進行して第１
θ図（ｄｌの状態になると、フェライトマグネット１５
２Ａの磁力作用によりセンサ１５１ＢがＯＮするので、
このステップ６２でセンサＯＮと判断される。その後、
このセンサ１５ＩＢの位置を新位置として入力（ＳＴＰ
６３）した後、この回転方向が順方向と判断（ＳＴＰ６
４）されてから、ステップ７３に進行する。このステッ
プ７３では、位置情報Ｐを１つプラスしてＰ＝３とし、
ステップ７４．７６と進行するが、これらのステップ７
４．７６では、何れもＰ＝３のためＮｏと判断されて、
ステップ７８へと進み、ここで現在３となっている位置
情報Ｐを０にリセットするとともに、Ｂ１方向を順方向
と設定したことを解除する。The process then proceeds to step 60 again, but since the elapsed time is still less than 1 sec in this case, step 62
Proceed to. The rotation of the revolver 100A further progresses and the first
θ diagram (When the state of dl is reached, the ferrite magnet 15
Since the sensor 151B turns on due to the magnetic force of 2A,
At this step 62, it is determined that the sensor is ON. after that,
Input the position of this sensor 15IB as the new position (STP
63), this rotation direction is determined to be the forward direction (STP6).
4) After that, proceed to step 73. In this step 73, the position information P is added by one to set P=3,
Proceed with steps 74 and 76, but these steps 7
In 4.76, it is judged as No because P=3 in both cases,
The process advances to step 78, where the position information P, which is currently 3, is reset to 0, and the setting of the B1 direction as the forward direction is canceled.
そして、操作ボックス１８０の位置表示部１８９Ｂを点
灯（ＳＴＰ８０）させて、モータ１２０の電極を一時的
に短絡させ、このモータ１２０にブレーキ（ＳＴＰ８１
）をかけることで、レポルバ１００Ａの矢印Ｂ１方向に
作用する慣性力（イナーシャ）を最小限にさせる。その
後、ステップ８３へ進み、モータ１２０に印加されてい
る電圧を解除して、このモータ１２０を完全に停止させ
る。このようにして、レボルバ１００Ａをしっかりと位
置決めさせる〔第１０図（ｄ）〕 ことで、自自回転の
位置検出が終了する。Then, the position display section 189B of the operation box 180 is turned on (STP80), the electrodes of the motor 120 are temporarily short-circuited, and the motor 120 is braked (STP81).
), the inertia acting on the reportr 100A in the direction of arrow B1 is minimized. Thereafter, the process proceeds to step 83, where the voltage applied to the motor 120 is released to completely stop the motor 120. In this way, by firmly positioning the revolver 100A [FIG. 10(d)], the self-rotation position detection is completed.
次に、本実施例に係る顕微鏡３０の他の使用状態につい
て説明する。Next, other usage conditions of the microscope 30 according to this embodiment will be explained.
すなわち、顕微鏡３０を、対物レンズ交換等の理由で、
第１０図（ａｌの状態からレボルバ１００Ａを矢印Ｂ１
方向に手動回転させ、フェライトマグネット１５２Ｃが
センサ１５１Ａを通過した後〔第１Ｏ図（Ｃ１と（ｄｌ
の間〕、−旦その回転を停止させて現在螺合されている
対物レンズを任意の対物レンズと交換してから、操作ボ
ックス１８０の所定のキー、例えば、回動方向指定スイ
ッチ１８３Ｂを押圧して、レボルバ１００Ａを前記と逆
方向（Ｂ２方向）に回転させて、再び所定の位置〔第１
Ｏ図（ａ）〕に位置決めされるような使用法もあり、以
下、この場合について説明する。That is, if the microscope 30 is to be replaced for reasons such as replacing the objective lens,
Fig. 10 (From the state of al, move the revolver 100A to arrow B1.
After the ferrite magnet 152C passes the sensor 151A [Fig. 1O (C1 and (dl
[during], - first stop the rotation and replace the currently screwed objective lens with an arbitrary objective lens, and then press a predetermined key on the operation box 180, for example, the rotation direction designation switch 183B. Then, rotate the revolver 100A in the opposite direction (direction B2) to the predetermined position [first
There is also a usage in which the positioning is performed as shown in Fig. O (a), and this case will be explained below.
先ず、第１０図（ａ）の状態から手動でレボルバ１００
Ａを矢印Ｂ１方向に回転させると、第１Ｏ図（ｂ）に示
すように、フェライトマグネット１５２Ｂの磁力作用に
よりセンサ１５１ＤがＯＮする（第１１図５ＴＰ３７）
ので、このセンサ１５１Ｄの位置を新位置として入力（
ＳＴＰ３８）した後、この新位置（センサ１５１Ｄ）と
旧位置（センサ１５１Ｃ）とが、同一か否かを比較（Ｓ
ＴＰ３９）する。この場合、同一ではないので、この時
の回転方向を矢印Ｂ、と検出（ＳＴＰ４０）してから、
ステップ４１へと進む。First, from the state shown in FIG. 10(a), manually rotate the revolver 100.
When A is rotated in the direction of arrow B1, the sensor 151D is turned on due to the magnetic force of the ferrite magnet 152B, as shown in FIG. 1O (b) (FIG. 11, 5TP37).
Therefore, input the position of this sensor 151D as the new position (
STP38), compare whether this new position (sensor 151D) and old position (sensor 151C) are the same or not (STP38).
TP39). In this case, since they are not the same, the rotation direction at this time is detected as arrow B (STP40), and then
Proceed to step 41.
ステップ４１では、前記ステップ４０で検出された方向
が順方向か否かを判断するが、この場合、最初に回転さ
せた方向は矢印Ｂ１方向なので、当然順方向と判断し、
新位置（センサ１５１Ｄ）を旧位置に設定（ＳＴＰ４７
）してから、位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴＰ４８）し
てＰ＝１とする。In step 41, it is determined whether or not the direction detected in step 40 is the forward direction. In this case, since the first direction of rotation is the direction of arrow B1, it is naturally determined that the direction is the forward direction.
Set new position (sensor 151D) to old position (STP47
), then add one to the position information P (STP48) to set P=1.
その後、ステップ４９では位置情報Ｐが３か否かを判断
するが、ここではＰ＝１のため、操作ボックス１８０の
エラー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ４６）させる。Thereafter, in step 49, it is determined whether the position information P is 3 or not, but since P=1 here, the error display section 188 of the operation box 180 is turned on (STP46).
そして、更にレボルバ１００Ａを回転（Ｂ１方向）させ
ると、第１θ図（Ｃ）の状態、すなわち、フェライトマ
グネット１５２ｃの磁力作用によりセンサ１５１Ａが０
Ｎ（ＳＴＰ３７）する。このため、このセンサ１５１Ａ
の位置を新位置として入力（ＳＴＰ３８）してから、新
位置（センサ１５ＩＡ）と旧位置（センサ１５１Ｄ）と
が同一か否かを比較（ＳＴＰ３９）する。この場合、こ
れら２つは異なるので、この時の回転方向を矢印Ｂ１方
向と検出（ＳＴＰ４０）する。すると、ステップ４１で
は、この方向は矢印Ｂ１方向、すなわち、順方向と判断
されるので、新位置（センサ１５１Ａ）を旧位置の代り
に設定（ＳＴＰ４７）した後、位置情報Ｐを１つプラス
（ＳＴＰ４８）してＰ＝２とする。Then, when the revolver 100A is further rotated (in the B1 direction), the state shown in FIG.
N (STP37). Therefore, this sensor 151A
After inputting the position as the new position (STP38), the new position (sensor 15IA) and the old position (sensor 151D) are compared to see if they are the same (STP39). In this case, since these two directions are different, the rotation direction at this time is detected as the direction of arrow B1 (STP40). Then, in step 41, this direction is determined to be the arrow B1 direction, that is, the forward direction, so after setting the new position (sensor 151A) in place of the old position (STP47), the position information P is increased by one ( STP48) and set P=2.
その後、ステップ４９で位置情報Ｐが３か否かを判断さ
れるが、前記ステップ４８でＰ＝２とされたので、エラ
ー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ４６）させたままにして
おく。Thereafter, in step 49 it is determined whether the position information P is 3 or not, but since P=2 in step 48, the error display section 188 is left lit (STP46).
そして、更にレボルバ１００ＡをＢ、方向に少し回転さ
せて、フェライトマグネット１５２Ｃがセンサ１５１Ａ
を通過した後に、その回転を停止させる〔実際は第１Ｏ
図（ｅ）とＣｄ）の間で停止させる〕。Then, by further rotating the revolver 100A a little in the direction B, the ferrite magnet 152C is connected to the sensor 151A.
The rotation is stopped after passing through the 1st O.
Stop between figure (e) and Cd)].
次いで、操作ボックス１８０の所定のキー、例えば、回
動方向指定スイッチ１８３Ｂを押圧（第８図ＳＴＰ ｌ
８）すると、ステップ１９へと進行し、自動位置検出
手段４００が作動する。Next, press a predetermined key on the operation box 180, for example, the rotation direction designation switch 183B (see FIG. 8).
8) Then, the process advances to step 19, and the automatic position detection means 400 is activated.
前記回動方向指定スイッチ１８３Ｂを押圧すると、第１
２図のステップ５３に進み、センサがＯＮしているか否
かを判断するが、今、エラー表示部１８８が点灯してい
るため、当然ＮＯと判断されて、ステップ５５へと進む
。ここでは、第１１図のステップ４０で最後に検出した
方向、すなわち、いずれかのフェライトマグネット１５
２Ａ乃至１５２Ｃ（第１０図ではマグネット１５２Ｂと
１５２Ｃ）によるセンサ１５１ＤのＯＮ状態がらセンサ
１５１ＡのＯＮ状態に回転する方向（矢印Ｂ＋）に対し
て、逆回転か否かを判断している。When the rotation direction designation switch 183B is pressed, the first
The process proceeds to step 53 in FIG. 2, where it is determined whether the sensor is ON or not. However, since the error display section 188 is currently lit, the result is of course NO, and the process proceeds to step 55. Here, the direction detected last in step 40 of FIG.
It is determined whether or not the rotation is in the opposite direction (arrow B+) in which the sensor 151D is rotated from the ON state to the ON state of the sensor 151A by the magnets 2A to 152C (magnets 152B and 152C in FIG. 10).
今、レボルバ１００Ａをフェライトマグネット１５２Ｃ
がセンサ１５１Ｄからセンサ１５１Ａへと向かう方向（
矢印Ｂ２）に回転させようとしているので、この方向（
矢印Ｂ２）は逆回転と判断されて、ステップ５８に進行
し、Ｐ＝０か否かを判断するが、この場合、第１３図の
ステップ４８でＰ＝２と設定されているので、モータ１
２０を中速回転（ＳｒＦ５７）させて、レボルバ１００
Ａを矢印Ｂ２方向に回転させる。Now, I am using a revolver 100A with a ferrite magnet 152C.
is the direction from sensor 151D to sensor 151A (
Since you are trying to rotate it in the direction of arrow B2), turn it in this direction (
Arrow B2) is determined to be rotating in the opposite direction, and the process proceeds to step 58, where it is determined whether P=0 or not. In this case, since P=2 was set in step 48 of FIG.
20 at medium speed (SrF57), revolver 100
Rotate A in the direction of arrow B2.
この後、所定時間（好適には２ｓｅｃ）が経過したか否
かを、ステップ６０で判断する。この場合、所定のキー
を入力（第８図５ＴＰ１８）してから現在までの経過時
間、すなわち、ｌ ｓｅｃ以下なので、ＮＯと判断され
る。Thereafter, it is determined in step 60 whether a predetermined period of time (preferably 2 seconds) has elapsed. In this case, since the elapsed time from the input of a predetermined key (FIG. 8, 5TP18) to the present time, that is, less than l sec, is determined to be NO.
そして、レボルバ１００Ａが更に矢印Ｂ２方向に回転す
ると、第１Ｏ図（Ｃ）に示すようにフェライト、 ネッ
ト１５２Ｃの磁力作用によりセンサ１５１ＡがＯＮ （
ＳｒＦ２２）するので、このセンサ１５１Ａの位置を折
位置として入力（ＳｒＦ６３）して、ステップ６４に進
む。Then, when the revolver 100A further rotates in the direction of arrow B2, the sensor 151A is turned ON (
SrF22), the position of this sensor 151A is input as the folding position (SrF63), and the process proceeds to step 64.
ここでは、旧位置がセンサ１５１Ａで、折位置もセンサ
１５１Ａとなるので、順方向ではないと判断されて、ス
テップ６５へと進むが、ここでも折位置と旧位置とが同
一のため、逆方向ではないと判断されて、ステップ６０
へと進行する。Here, since the old position is the sensor 151A and the folding position is also the sensor 151A, it is determined that the direction is not the forward direction, and the process proceeds to step 65. However, since the folding position and the old position are also the same here, the direction is the reverse direction. If it is determined that the
progress to.
そして、レボルバ１００Ａが更に矢印Ｂ２方向に回転す
ると、第１０図ｆｂ）に示すように、今度はフェライト
マグネット１５２Ｂの作用下にセンサ１５１ＤがＯＮ
（ＳｒＦ２２）するので、このセンサ１５１Ｄの位置を
折位置として入力（ＳｒＦ６３）すると、旧位置が１５
１Ａで、折位置１５１Ｄとなるので、回転方向が矢印Ｂ
２方向と設定される。ステップ６４では、この方向（Ｂ
、）が順方向（Ｂ１）であるか否かを判断するが、ここ
では順方向ではないので、ステップ６５へと進行する。Then, when the revolver 100A further rotates in the direction of arrow B2, the sensor 151D is turned ON under the action of the ferrite magnet 152B, as shown in FIG.
(SrF22), so if the position of this sensor 151D is input as the folding position (SrF63), the old position is 15
1A, the folding position is 151D, so the rotation direction is arrow B.
It is set as 2 directions. In step 64, this direction (B
, ) is in the forward direction (B1), but since it is not in the forward direction here, the process proceeds to step 65.
そして、ここで、この方向（Ｂ２）は逆方向と判断され
、折位置（センサ１５１Ｄ）を旧位置に設定（ＳｒＦ６
８）した後、位置情報Ｐから１つマイナス（ＳｒＦ６９
）してＰ＝１とされる。Here, this direction (B2) is determined to be the opposite direction, and the folding position (sensor 151D) is set to the old position (SrF6
8) After that, subtract one from the position information P (SrF69
) and P=1.
すると、ステップ７０でＰ＝１か否かが判断されるが、
前記ステップ６９でＰ＝１とされたのでステップ７２へ
と進み、ここでモータ１２０を低速回転にする。その後
、再度ステップ６０で所定時間（２ｓｅｃ）経過したか
否かを判断するが、ここでもやはり、経過時間は１ ｓ
ｅｃ以下なのでＮｏと判断される。Then, in step 70, it is determined whether P=1 or not.
Since P=1 in step 69, the process proceeds to step 72, where the motor 120 is rotated at a low speed. After that, it is determined again in step 60 whether a predetermined time (2 seconds) has elapsed, but here again, the elapsed time is 1 s.
Since it is less than ec, it is judged as No.
そして、レボルバ１００ＡのＢｚ力方向回転が更に進行
すると、第１Ｏ図（ａ）に示すように、フェライトマグ
ネット１５２Ａの作用下により、センサ１５１ｃが０Ｎ
（ＳｒＦ６２）するので、このセンサ１５１ｃの位置を
折位置として入力（ＳｒＦ６３）した後、この方向（Ｂ
２）は逆方向なのでステップ６４ではＮＯとなり、ステ
・ツブ６５ではＹＥＳとなって、この折位置（センサ１
５１Ｃ）を旧位置に設定（ＳｒＦ６８）してから、位置
情報Ｐから１つマイナス（ＳｒＦ６９）してＰ＝０とす
る。When the rotation of the revolver 100A in the Bz force direction further progresses, the sensor 151c becomes 0N due to the action of the ferrite magnet 152A, as shown in FIG.
(SrF62), so after inputting the position of this sensor 151c as the folding position (SrF63), this direction (B
2) is in the opposite direction, so the answer at step 64 is NO, the answer at step 65 is YES, and this folding position (sensor 1
51C) to the old position (SrF68), and then subtract one from the position information P (SrF69) to set P=0.
すると、ステップ７０ではＮｏと判断されるのでステッ
プ７１へと進み、ここでＹＥＳと判断されて、ステップ
８０へと進み、Ｐ＝０とされたので操作ボックス１８０
の位置表示部１８９Ａを点灯させる。次いで、ステップ
８１に進み、モータ１２０にブレーキをかけてレボルバ
１００Ａに作用する慣性力（イナーシャ）を最小限にし
てから、ステップ８３でモータ１２０を完全に停止させ
る。Then, in step 70, it is determined No, so the process goes to step 71. Here, it is determined YES, so the process goes to step 80, and since P=0, the operation box 180 is
The position display section 189A of is turned on. Next, in step 81, the motor 120 is braked to minimize the inertia acting on the revolver 100A, and then in step 83, the motor 120 is completely stopped.
このようにして、レボルバ１００Ａがしっかりと位置決
めされ、自動回転位置の検出が終了する。In this way, the revolver 100A is firmly positioned, and automatic rotation position detection is completed.
この場合、本実施例によれば、フェライトマグネットを
３つ設けることにより、特に、手動回転の位置を容易に
検出することができ、これにより、自動回転と手動回転
とを併用してレボルバ１００Ａを回動させることができ
るので、この結果、その操作性を飛躍的に向上させるこ
とが可能となる効果が得られる。In this case, according to this embodiment, by providing three ferrite magnets, it is possible to easily detect the position of manual rotation, and thereby, the revolver 100A can be operated using both automatic rotation and manual rotation. Since it can be rotated, it is possible to dramatically improve its operability.
また、初期位置検出手段２００を設けているので、当該
顕微鏡３０の電源をＯＮさせれば、その時点の４つの対
物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの位置は、操作ボックス
１８０を視認するだけで正確に検出することができる。Further, since the initial position detection means 200 is provided, when the power of the microscope 30 is turned on, the positions of the four objective lenses 115A to 115D at that time can be accurately detected simply by visually checking the operation box 180. be able to.
従って、位置決めされていないのに、位置表示部１８９
Ａ乃至１８９Ｄが点灯するという誤表示を阻止すること
ができる。Therefore, even though the position is not determined, the position display section 189
It is possible to prevent an erroneous display in which A to 189D are lit.
更に、本実施例では、手動回転位置検出手段３００及び
自動回転位置検出手段４００を設けているので、対物レ
ンズの交換作業等のためにレボルバ１００Ａを所望の位
置に手で回動させても、その位置を正確に検出すること
ができるので、その後、キー人力して自動回転させても
前記レボルバ１００Ａを所定の位置で位置決めすること
ができる。この結果、常に正確な位置にレボルバ１００
Ａを位置決めすることが可能となる効果が得られる。Furthermore, in this embodiment, since the manual rotation position detection means 300 and the automatic rotation position detection means 400 are provided, even if the revolver 100A is manually rotated to a desired position for exchanging the objective lens, etc. Since the position can be detected accurately, the revolver 100A can be positioned at a predetermined position even if the key is then manually rotated automatically. As a result, the revolver 100 is always in the correct position.
The effect of making it possible to position A is obtained.
また、自動回転位置検出手段４００には、モータ１２０
が所定時間（２〜３ｓｅｃ）以上回転すると、このモー
タ１２０の回転を自動的に停止させる手段があるので、
モータ１２０が誤作動した場合でも、所定時間経過すれ
ば、速やかにその回転を停止させることができる。この
結果、モータ１２０の無駄な回転を防止でき、ひいては
、焼き付き、破損等を未然に阻止することが可能となる
。The automatic rotational position detection means 400 also includes a motor 120.
Since there is a means to automatically stop the rotation of this motor 120 when the motor 120 rotates for a predetermined period of time (2 to 3 seconds) or more,
Even if the motor 120 malfunctions, its rotation can be quickly stopped after a predetermined period of time has elapsed. As a result, it is possible to prevent unnecessary rotation of the motor 120, which in turn makes it possible to prevent seizure, damage, etc.
また、本実施例において、第１実施例と同一の構成要素
に対しては、同一の効果を奏することは勿論である。Further, in this embodiment, it goes without saying that the same components as in the first embodiment have the same effects.
以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設
計の変更が可能なことは勿論である。Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments, the present invention is not limited to these embodiments, and various improvements and changes in design can be made without departing from the gist of the present invention. Of course.
例えば、フェライトマグネット１５２Ａとフェライトマ
グネット１５２Ｂ、フェライトマグネット１５２Ａとフ
ェライトマグネット１５２Ｃとの角度θをそれぞれ１０
０度に設定したが、この角度は１００度に限らず、９０
度を越え１８０度未満なら何度でもよい。但し、９０度
と１３５度付近では検出が困難となるので、この２つは
除外する。その理由として、θ＝９０°とすると、全て
のフェライトマグネットが３つのセンサの上に位置する
ことになるので、検出困難となり、また、θ−１３５°
にすると２つのフェライトマグネットが同時に２つのセ
ンサの真上に位置することが考えられるので、この場合
も検出困難となるからである。For example, the angle θ between the ferrite magnet 152A and the ferrite magnet 152B, and the angle θ between the ferrite magnet 152A and the ferrite magnet 152C is 10, respectively.
Although it is set to 0 degrees, this angle is not limited to 100 degrees, but can also be set to 90 degrees.
As long as it is more than 180 degrees, you can do it as many times as you want. However, since detection is difficult near 90 degrees and 135 degrees, these two are excluded. The reason for this is that if θ = 90°, all ferrite magnets would be located above the three sensors, making detection difficult;
This is because two ferrite magnets may be located directly above two sensors at the same time, making detection difficult in this case as well.
また、第２実施例では、モータ１２０に略９Ｖ。Further, in the second embodiment, approximately 9V is applied to the motor 120.
６Ｖ、３Ｖの電圧を印加してそれぞれ高速、中速、低速
としたが、これはレボルバ１００Ａの重量等によって勿
論変更することは、可能である。この場合、モータ１２
０の速度を変更するのに、電圧を変化させるものに限ら
ず、減速機の減速比を変える等、他の手段によってもよ
い。しかし、電圧を変化させるのが簡易である。Although voltages of 6V and 3V were applied to achieve high speed, medium speed, and low speed, respectively, it is of course possible to change this depending on the weight of the revolver 100A, etc. In this case, motor 12
In order to change the zero speed, other means such as changing the reduction ratio of a reduction gear may be used instead of changing the voltage. However, it is easy to change the voltage.
更に、第１実施例の変形例としてフェライトマクネット
１５２の両側にそれぞれ１個づつ予備のフェライトマグ
ネットを設けることもでき、この場合、これらの予備フ
ェライトマグネットの一方が磁気センサ上に位置した時
に、モータ１２０を低１中回転にして、前記フェライト
マグネット１５２が則記磁気センサ上に位置した時にモ
ータ１２０を逆回転させた後、停止させることもできる
。Furthermore, as a modification of the first embodiment, one spare ferrite magnet can be provided on each side of the ferrite magnet 152. In this case, when one of these spare ferrite magnets is positioned on the magnetic sensor, It is also possible to rotate the motor 120 at low and medium speeds, rotate the motor 120 in the opposite direction when the ferrite magnet 152 is positioned above the magnetic sensor, and then stop the motor 120.
また、モータ１２０の回転制御をティーチングによって
行うこともできる。このようにティーチング機能付きと
すれば、経時変化による位置決め精度の狂いが生じない
という効果を付加できる。Further, the rotation of the motor 120 can also be controlled by teaching. By providing the teaching function in this way, it is possible to add the effect that positioning accuracy will not be distorted due to changes over time.
更に、ウオーム１３１とウオームホイール１３４とに代
替して一対のまがり歯かさ歯車を使用することもでき、
更には、ベルト１４６に代わって、断面が円形状の丸ベ
ルトやＶベルト等を使用することもできる。要するに、
直流コアレスモータ１２０の回転力を、すべり等を惹起
させずに確実にノーズピース１０２に伝達できるもので
あればよい。Furthermore, a pair of spiral bevel gears may be used instead of the worm 131 and the worm wheel 134.
Furthermore, instead of the belt 146, a round belt, a V-belt, or the like having a circular cross section may be used. in short,
Any material may be used as long as it can reliably transmit the rotational force of the DC coreless motor 120 to the nosepiece 102 without causing slippage or the like.
また、前記実施例では対物レンズが４つ螺合されたノー
ズピース１０２を用いたが、この他に、２．３若しくは
５以上の対物レンズを螺合可能なノーズピースを使用で
きることは勿論である。この場合、対物レンズの数をＮ
個（Ｎ＝２．３，４゜・・・・・・）とすると磁気セン
サの数はＮ個、フェライトマグネットの数は（Ｎ−１）
ｆＷとする。Further, in the above embodiment, the nose piece 102 to which four objective lenses are screwed together is used, but it is of course possible to use a nose piece to which 2.3 or 5 or more objective lenses can be screwed together. . In this case, the number of objective lenses is N
(N = 2.3, 4°...), the number of magnetic sensors is N, and the number of ferrite magnets is (N-1).
Let it be fW.
更に、反射用照明手段４７は、本体３１と別個に設けて
もよい。Furthermore, the reflective illumination means 47 may be provided separately from the main body 31.
また、回転位置検知手段１５０は、磁気により検知する
ものに限らず、光等を用いて検知するものでもよい。こ
の際、磁気により検知する場合、磁石はフェライトマグ
ネット１５２に限らず、アルニコマグネット、希土類マ
グネット等、他のタイプのマグネットでもよいが、フェ
ライトマグネット１５２とすれば安価で、磁性劣化が少
ないという利点がある。Further, the rotational position detection means 150 is not limited to one that detects by magnetism, but may be one that detects by using light or the like. At this time, when detecting by magnetism, the magnet is not limited to the ferrite magnet 152, but other types of magnets such as alnico magnets and rare earth magnets may also be used. However, the ferrite magnet 152 has the advantage of being inexpensive and having little magnetic deterioration. be.
更に、コントロールボックス１７０や操作ボックス１８
０は、前記実施例のように各々独立に設けるものに限ら
ず、結合して設けてもよく、更には顕微鏡３０の本体３
１に一体に組み込んでもよい。Furthermore, the control box 170 and the operation box 18
0 are not limited to being provided independently as in the above embodiment, but may be provided in combination, and furthermore, they may be provided in the main body 3 of the microscope 30.
It may be integrated into 1.
また、回転駆動源としては、直流コアレスモータ１２０
に限らず、他の形式のモータ等でもよいが、直流コアレ
スモータ１２０とすれば前述のような参り点がある。In addition, as a rotational drive source, a DC coreless motor 120
However, if the DC coreless motor 120 is used, the above-mentioned problems will occur.
更に、前記実施例では、モータ逆転用タイマあるいはモ
ータの一時ブレーキ用タイマの動作指令信号と実際動作
との遅れを、磁気センサ１５１でチエツクしてモータ逆
回転動作あるいはモータの一時ブレーキ動作を行わせた
が、前記遅れを無視し、あるいは、予めコントロールボ
ックス１７０内でコンピュータ処理して、各タイマへの
動作指令信号で直ちに逆回転動作あるいは一時ブレーキ
動作が行われるものとして取り扱ってもよい。Furthermore, in the embodiment described above, the magnetic sensor 151 checks the delay between the operation command signal of the motor reversal timer or the motor temporary braking timer and the actual operation, and performs the motor reverse rotation operation or the motor temporary braking operation. However, the delay may be ignored, or it may be processed by the computer in the control box 170 in advance so that it is assumed that the reverse rotation operation or temporary braking operation will be performed immediately upon the operation command signal to each timer.
前述のような本発明によれば、レボルバの正確な位置決
めを自動的に行うことができ、かつ、メンテナンスも容
易であるという効果がある。According to the present invention as described above, there is an effect that accurate positioning of the revolver can be automatically performed and maintenance is also easy.
また、自動操作のみならず、手動操作時にも、レボルバ
の正確な位置決めが可能になるという効果がある。Further, there is an effect that accurate positioning of the revolver becomes possible not only during automatic operation but also during manual operation.
第１図乃至第６図は本発明の第１実施例を示すもので、
第１図は全体構成を示す斜視図、第２図はその本体に設
けられた取着手段を示す正面図、第３図は第２図の底面
図、第４図はレボルバユニットの断面図、第５図はレボ
ルバユニットの分解斜視図、第６図は動作を示すフロー
チャート、第７図乃至第１２図は本発明の第２実施例を
示すもので、第７図はレボルバと磁気センサとの位置関
係の説明図、第８図は第２実施例の全体の動作を示すフ
ローチャート、第９図は第２実施例における初期位置検
出手段を示すフローチャート、第１０図はレボルバと磁
気センサとの動作説明図、第１１図及び第１２図は第２
実施例における手動回転位置検出手段及び自動回転位置
検出手段を示すフローチャート、第１３図は従来の一例
を示す全体図、第１４図は従来の他の例を示す要部の断
面図である。
Ｗ・・・被測定物、３０・・・顕微鏡、３１・・・本体
、３５・・・透過用照明手段、４３・・・載物台、４７
・・・反射用照明手段、５１・・・接眼レンズ、６０・
・・取着手段、７０・・・レボルバユニット、７４・・
・支持板、８４・・・プリント基板、９０・・・位置決
め手段、９３・・・板ばね、９４・・・ベアリング、１
００．１００Ａ・・・レボルバ、１０１・・・固定部材
、１０２・・・ノーズピース、１１１Ａ、ＩＩＩＢ、ｌ
ｌＩｃ、ｌｌＩＤ・・・切欠部、１１５Ａ、１１５Ｂ、
１１５ｃ、１１５Ｄ・・・対物レンズ、１２０・・・回
転駆動源としての直流コアレスモータ、１３０・・・回
転伝達手段、１３１・・・ウオーム、１３４・・・ウオ
ームホイール、１３９・・・歯車、１４６・・・ベルト
、１５０・・・回転位置検知手段、１５１Ａ、１５１Ｂ
、１５１ｃ、１５１Ｄ・・・磁気センサ、１５２，１５
２Ａ、１５２Ｂ、１５２Ｃ・・・磁石としてのフェライ
トマグネット、２００・・・初期位置検出手段、３００
・・・手動回転位置検出手段、４００・・・自動回転位
置検出手段。1 to 6 show a first embodiment of the present invention,
Fig. 1 is a perspective view showing the overall configuration, Fig. 2 is a front view showing attachment means provided on the main body, Fig. 3 is a bottom view of Fig. 2, Fig. 4 is a sectional view of the revolver unit, Fig. 5 is an exploded perspective view of the revolver unit, Fig. 6 is a flowchart showing the operation, Figs. An explanatory diagram of the positional relationship, FIG. 8 is a flowchart showing the overall operation of the second embodiment, FIG. 9 is a flowchart showing the initial position detection means in the second embodiment, and FIG. 10 is the operation of the revolver and the magnetic sensor. Explanatory drawings, Figures 11 and 12 are
A flowchart showing the manual rotational position detection means and automatic rotational position detection means in the embodiment, FIG. 13 is an overall view showing one conventional example, and FIG. 14 is a sectional view of main parts showing another conventional example. W... Object to be measured, 30... Microscope, 31... Main body, 35... Transmission illumination means, 43... Stage, 47
...Reflection illumination means, 51... Eyepiece, 60.
... Attachment means, 70... Revolver unit, 74...
- Support plate, 84... Printed circuit board, 90... Positioning means, 93... Leaf spring, 94... Bearing, 1
00.100A... revolver, 101... fixing member, 102... nosepiece, 111A, IIIB, l
lIc, lID...notch, 115A, 115B,
115c, 115D... Objective lens, 120... DC coreless motor as rotational drive source, 130... Rotation transmission means, 131... Worm, 134... Worm wheel, 139... Gear, 146 ...Belt, 150...Rotational position detection means, 151A, 151B
, 151c, 151D... magnetic sensor, 152, 15
2A, 152B, 152C... Ferrite magnet as a magnet, 200... Initial position detection means, 300
...Manual rotational position detection means, 400...Automatic rotational position detection means.
Claims (6)
の方向へ変位自在に支持する本体と、前記被測定物に照
明光を照射する照明手段と、前記照明光が照射された被
測定物の画像を入射させる複数の対物レンズを保持する
とともに前記本体に対して回転可能にされたレボルバと
を有する顕微鏡において、前記レボルバを回転可能に支
持するレボルバユニットを設けるとともに、このレボル
バユニットを前記本体に着脱可能にし、かつ、レボルバ
ユニットは、前記レボルバを回動させるための回転駆動
源と、この回転駆動源の回転力を前記レボルバに伝達す
る回転伝達手段と、前記レボルバの回転を検知してそれ
ぞれの対物レンズの位置を検知する回転位置検知手段と
を備えて構成されることを特徴とする顕微鏡。(1) A workpiece stand on which the object to be measured is placed, a main body that supports the workpiece stand so as to be able to move freely in a desired direction, an illumination means for irradiating illumination light onto the object to be measured, and an illumination means for illuminating the object to be measured; A microscope having a revolver that holds a plurality of objective lenses through which images of an irradiated object are incident and is rotatable with respect to the main body, further comprising: a revolver unit that rotatably supports the revolver; The revolver unit is removably attached to the main body, and the revolver unit includes a rotational drive source for rotating the revolver, rotation transmission means for transmitting the rotational force of the rotational drive source to the revolver, and 1. A microscope characterized in that it is comprised of rotational position detection means for detecting the rotation of the objective lens and detecting the position of each objective lens.
源は、直流コアレスモータを用いることを特徴とする顕
微鏡。(2) The microscope according to claim 1, wherein the rotational drive source uses a DC coreless motor.
て、回転伝達手段は、回転駆動源と一体的に取着される
ウォームと、このウォームに噛合されるとともにウォー
ムの回転をその軸線方向と略直交する方向に変換するウ
ォームホィールと、このウォームホィールの回転をレボ
ルバに伝達するとともに前記ウォームホィールとその軸
線が一致して固定される歯車と、この歯車の形状に対応
する歯がその一方の面に形成されるベルトとを備えて構
成されることを特徴とする顕微鏡。(3) In the microscope according to claim 1 or 2, the rotation transmission means includes a worm that is integrally attached to the rotational drive source, and is engaged with the worm and directs the rotation of the worm along its axis. A worm wheel that converts the direction substantially perpendicular to the direction of the worm wheel, a gear that transmits the rotation of the worm wheel to the revolver and is fixed so that its axis coincides with the worm wheel, and teeth that correspond to the shape of the gear are arranged on the worm wheel. A microscope characterized by comprising: a belt formed on one surface.
鏡において、回転位置検知手段は、対物レンズの数に対
応し、かつ、レボルバユニットに設けられた支持板上の
所定間隔離間する位置に取着される磁気センサと、前記
レボルバ内に取着される少なくとも１つの永久磁石とを
備えて構成されることを特徴とする顕微鏡。(4) In the microscope according to any one of claims 1 to 3, the rotational position detection means corresponds to the number of objective lenses and is spaced apart by a predetermined distance on the support plate provided on the revolver unit. A microscope comprising: a magnetic sensor mounted at a position; and at least one permanent magnet mounted within the revolver.
の方向へ変位自在に支持する本体と、前記被測定物に照
明光を照射する照明手段と、前記照明光が照射された被
測定物の画像を入射させる複数の対物レンズを保持する
とともに前記本体に対して回転可能にされたレボルバと
を有する顕微鏡において、前記レボルバを回転可能に支
持するレボルバユニットを設けるとともに、このレボル
バユニットを前記本体に着脱可能にし、かつ、レボルバ
ユニットは、前記レボルバを回動させるための回転駆動
源と、この回転駆動源の回転力を前記レボルバに伝達す
る回転伝達手段と、通電時に前記対物レンズの位置を検
出する初期位置検出手段と、前記レボルバの手動回転を
検知して対物レンズの位置を検出する手動回転位置検出
手段と、前記レボルバの自動回転を検知して対物レンズ
の位置を検出する自動回転位置検出手段と、前記対物レ
ンズの数に対応し、かつ、レボルバユニットに設けられ
た支持板上の所定間隔離間する位置に取着される磁気セ
ンサと、前記レボルバ内に設けられるとともに対物レン
ズの数より１つ少ない数の永久磁石とを備えて構成され
ることを特徴とする顕微鏡。(5) A workpiece stand on which the object to be measured is placed, a main body that supports the workpiece stand so as to be freely displaceable in a desired direction, an illumination means for irradiating illumination light onto the object to be measured, and an illumination means for illuminating the object to be measured; A microscope having a revolver that holds a plurality of objective lenses through which images of an irradiated object are incident and is rotatable with respect to the main body, further comprising: a revolver unit that rotatably supports the revolver; The revolver unit is removably attached to the main body, and the revolver unit includes a rotational drive source for rotating the revolver, a rotation transmission means for transmitting the rotational force of the rotational drive source to the revolver, and when energized, initial position detection means for detecting the position of the objective lens; manual rotation position detection means for detecting the manual rotation of the revolver to detect the position of the objective lens; and manual rotation position detection means for detecting the automatic rotation of the revolver and detecting the position of the objective lens. automatic rotational position detection means for detecting the rotation position; magnetic sensors corresponding to the number of objective lenses and mounted at predetermined spacing positions on a support plate provided in the revolver unit; and a permanent magnet whose number is one less than the number of objective lenses.
ズを所定位置に変位させて被測定物の精密検査を行う顕
微鏡の操作方法において、先ず、回転駆動源を高速回転
させてこの回転を回転伝達手段を介してレボルバに伝達
し、次いで所定時間経過および／または所定場所に位置
してから前記回転駆動源を低速回転させた後、この回転
駆動源の回転方向を頭初の回転方向と逆方向に所定時間
回転させ、更に、前記回転駆動源の回転に一時的にブレ
ーキをかけてから、前記回転駆動源を完全に停止させ、
これにより、対物レンズを所定位置に位置決めすること
を特徴とする顕微鏡の操作方法。(6) In a method of operating a microscope in which a desired objective lens is displaced to a predetermined position by rotating a revolver to perform a detailed inspection of an object to be measured, first, the rotational drive source is rotated at high speed and this rotation is transferred to the rotation transmission means. and then after a predetermined period of time has elapsed and/or has been located at a predetermined location, the rotary drive source is rotated at a low speed, and the rotation direction of the rotary drive source is reversed to the initial rotation direction of the head. Rotate for a predetermined time, further temporarily brake the rotation of the rotary drive source, and then completely stop the rotary drive source,
A method of operating a microscope characterized by positioning an objective lens at a predetermined position.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1-175365 | 1989-07-05 | ||
| JP17536589 | 1989-07-05 |
Publications (2)
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| JPH03213811A true JPH03213811A (en) | 1991-09-19 |
| JPH0816736B2 JPH0816736B2 (en) | 1996-02-21 |
Family
ID=15994814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2056155A Expired - Fee Related JPH0816736B2 (en) | 1989-07-05 | 1990-03-06 | Microscope and its operating method |
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