JPH0526367A - Unit for vacuum generation - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To provide a vacuum generation unit which can hold a work with a pad for absorbing even though a power failure is generated while the work is conveyed. CONSTITUTION:Since the unit is composed in a double solenoid type by using the first pilot valve 40 and the second piloy valve 42, feeding valves 36 are not converted even though a power failure is generated, a fluid is fed to an executor 18, and a negative pressure is fed to a pad for adsorbing from a vacuum port 70.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、吸着用パッド等の作業
機器に負圧を供給する真空発生用ユニットに関し、一層
詳細には真空発生用ユニットの負圧の供給、遮断を、２
つのソレノイドによって切り換えられる電磁パイロット
弁を用いて行う真空発生用ユニットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum generating unit for supplying a negative pressure to a working device such as a suction pad, and more specifically, for supplying or shutting off the negative pressure of the vacuum generating unit.
The present invention relates to a vacuum generating unit that uses an electromagnetic pilot valve that is switched by two solenoids.

【０００２】[0002]

【従来の技術】例えば、吸着用パッドにおける真空発生
源として真空発生用ユニットが利用されている。真空発
生用ユニットは、一般的に、負圧を発生させるエゼク
タ、あるいは真空ポンプと、負圧を供給、あるいは遮断
する制御弁と、前記制御弁を制御するパイロット弁とを
備える。2. Description of the Related Art For example, a vacuum generating unit is used as a vacuum generating source in a suction pad. The vacuum generating unit generally includes an ejector or a vacuum pump that generates a negative pressure, a control valve that supplies or shuts off the negative pressure, and a pilot valve that controls the control valve.

【０００３】このように構成された真空発生用ユニット
は、パイロット弁の作用下に発生する圧力によって制御
弁を切り換え、それによりエゼクタへの圧力流体の供
給、あるいは遮断を行うことで、吸着用パッド等の作業
機器を制御する。すなわち、真空発生用ユニットに吸着
用パッドを接続して使用している場合、制御弁からエゼ
クタに圧力流体が供給されて負圧が発生し、前記負圧に
より吸着用パッドがワークを吸着する。また、パイロッ
ト弁を切り換えることによりエゼクタへの圧力流体の供
給が遮断され、吸着用パッドよりワークが離脱される。
真空ポンプの場合は、制御弁によって負圧が供給、ある
いは遮断されて同様に制御される。The vacuum generating unit thus constructed switches the control valve according to the pressure generated by the action of the pilot valve, thereby supplying or shutting off the pressure fluid to the ejector, and thereby the adsorption pad. Control working equipment such as. That is, when the suction pad is connected to the vacuum generating unit and used, a pressure fluid is supplied from the control valve to the ejector to generate a negative pressure, and the negative pressure causes the suction pad to suck the workpiece. Further, by switching the pilot valve, the supply of the pressure fluid to the ejector is cut off, and the work is separated from the suction pad.
In the case of a vacuum pump, a negative pressure is supplied or cut off by a control valve and similarly controlled.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の技術において、単一のソレノイドを用いたスプリ
ングオフセット型のパイロット弁で制御弁を駆動制御し
た場合、次のような問題が生じる。However, in the above conventional technique, when the control valve is driven and controlled by the spring offset type pilot valve using a single solenoid, the following problems occur.

【０００５】すなわち、吸着用パッドによってワークを
吸着搬送中に停電状態となると、パイロット弁の作動状
態がオンからオフへ切り換わり、スプリングの作用下に
パイロット弁本体が変位してしまう。したがって、エゼ
クタへの圧力流体、あるいは真空ポンプからの負圧の供
給が遮断され、吸着用パッドの負圧が消滅してワークが
落下するという問題が生じる。That is, if a power failure occurs during suction and transfer of a work by the suction pad, the operating state of the pilot valve is switched from on to off, and the pilot valve body is displaced under the action of the spring. Therefore, the supply of the pressure fluid to the ejector or the negative pressure from the vacuum pump is interrupted, the negative pressure of the suction pad disappears, and the work falls.

【０００６】本発明は、この種の問題を解決するもので
あり、真空発生用ユニットの作動中に停電状態となって
も、作動時の状態を保持可能な真空発生用ユニットを提
供することを目的とする。The present invention solves this type of problem, and provides a vacuum generating unit that can maintain the operating state even if a power failure occurs during the operation of the vacuum generating unit. To aim.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、負圧を供給し、あるいは遮断するため
の制御弁と、第１および第２のソレノイドを有し、前記
第１のソレノイドの駆動作用下に前記制御弁を制御して
負圧を供給する一方、前記第２のソレノイドの駆動作用
下に前記制御弁を制御して負圧の供給を遮断する電磁パ
イロット弁と、を備えることを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention has a control valve for supplying or shutting off a negative pressure, and a first and a second solenoid. An electromagnetic pilot valve that controls the control valve to supply negative pressure under the driving action of the first solenoid while controlling the control valve under the driving action of the second solenoid to cut off the negative pressure supply. , Are provided.

【０００８】[0008]

【作用】本発明に係る真空発生用ユニットでは、第１と
第２のソレノイドによって電磁パイロット弁を駆動し、
これによって制御弁を制御する。この場合、停電状態と
なると、第１および第２ソレノイドがオフとなるのみ
で、パイロット弁そのものの状態は変化しない。したが
って、制御弁も停電前の状態が維持され、例えば、エゼ
クタ、真空ポンプによる負圧状態が維持される。In the vacuum generating unit according to the present invention, the electromagnetic pilot valve is driven by the first and second solenoids,
This controls the control valve. In this case, when a power failure occurs, only the first and second solenoids are turned off, and the state of the pilot valve itself does not change. Therefore, the control valve is also maintained in the state before the power failure, for example, the negative pressure state by the ejector and the vacuum pump is maintained.

【０００９】[0009]

【実施例】本発明に係る真空発生用ユニットについて、
第１の実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳
細に説明する。EXAMPLES Regarding a vacuum generating unit according to the present invention,
A first embodiment will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

【００１０】図１は、本実施例に係る真空発生用ユニッ
ト１０の概略外観図を示し、図２はこの真空発生用ユニ
ット１０の等価回路を示す。FIG. 1 shows a schematic external view of a vacuum generating unit 10 according to this embodiment, and FIG. 2 shows an equivalent circuit of the vacuum generating unit 10.

【００１１】真空発生用ユニット１０は、基本的に電磁
パイロット弁としての電磁弁部１２、前記電磁弁部１２
によって制御される制御弁としての弁機構部１４、マニ
ホールド１６、エゼクタ１８、フィルタ部２０、検出部
２２、真空ポート部２４から構成される。The vacuum generating unit 10 basically includes a solenoid valve portion 12 as a solenoid pilot valve, and the solenoid valve portion 12 described above.
The valve mechanism section 14 as a control valve controlled by the manifold 16, the manifold 16, the ejector 18, the filter section 20, the detection section 22, and the vacuum port section 24.

【００１２】図３および図４において、弁機構部１４の
上部には電磁弁部１２が装着され、前記弁機構部１４の
一側面部にはマニホールド１６の一側面部が当接するよ
うに配設されている。前記弁機構部１４の他側面部に
は、下部より供給ポート２６、パイロット弁供給ポート
２８、真空破壊ポート３０、パイロット弁排気ポート３
２が形成されている。前記弁機構部１４の内部には、２
ポート２位置型の供給弁３６および真空破壊弁３８、さ
らに前記真空破壊弁３８から後述する真空ポート７０に
連通する通路５６の中途に流量調節弁３４が配設される
とともに、前記弁３４、３６、３８、ポート２６、２
８、３０、３２、電磁弁部１２、マニホールド１６を結
ぶ通路が形成されている。パイロット弁供給ポート２８
に連通する通路の両端部にはチェック弁３９ａ、３９ｂ
を備えている。チェック弁３９ａ、３９ｂは、圧縮空気
の供給が停止した場合に、弁体への供給圧力保持時間を
延長させるためのものである。In FIGS. 3 and 4, an electromagnetic valve portion 12 is mounted on an upper portion of the valve mechanism portion 14, and one side surface portion of the valve mechanism portion 14 is arranged so that one side surface portion of the manifold 16 abuts. Has been done. On the other side surface portion of the valve mechanism portion 14, from the bottom, a supply port 26, a pilot valve supply port 28, a vacuum breaking port 30, a pilot valve exhaust port 3
2 is formed. Inside the valve mechanism 14, two
A flow control valve 34 is arranged in the middle of a passage 56 connecting the port 2 position type supply valve 36 and the vacuum break valve 38, and the vacuum break valve 38 to a vacuum port 70 described later. , 38, ports 26, 2
Passages connecting the valves 8, 30, 32, the solenoid valve portion 12, and the manifold 16 are formed. Pilot valve supply port 28
Check valves 39a, 39b at both ends of the passage communicating with
Is equipped with. The check valves 39a and 39b are provided to extend the time period for maintaining the supply pressure to the valve body when the supply of compressed air is stopped.

【００１３】前記弁機構部１４の上部に設置される電磁
弁部１２は、前記弁機構部１４を構成する供給弁３６、
および真空破壊弁３８のオン／オフ動作を行う５ポート
２位置型の第１パイロット弁４０、第２パイロット弁４
２、第３パイロット弁４４を有する。パイロット弁４
０、４２、４４の内部構造については後述する。The electromagnetic valve portion 12 installed on the valve mechanism portion 14 includes a supply valve 36, which constitutes the valve mechanism portion 14,
And a 5-port 2-position first pilot valve 40 and second pilot valve 4 for performing on / off operation of the vacuum break valve 38
2 and has a third pilot valve 44. Pilot valve 4
The internal structure of 0, 42 and 44 will be described later.

【００１４】マニホールド１６は、一側面を弁機構部１
４に当接し、他側面をエゼクタ１８に当接している。前
記マニホールド１６の内部には、供給通路４６、パイロ
ット弁供給通路４８、真空破壊通路５０、パイロット弁
排気通路５２が形成されるとともに、供給弁３６とエゼ
クタ１８を連通する通路５４、真空破壊弁３８と後述す
る真空ポート７０を連通する通路５６が形成される。な
お、パイロット弁供給通路４８の両端部には、チェック
弁５７ａ、５７ｂを備えている。チェック弁５７ａ、５
７ｂは圧縮空気の供給が停止した場合に、弁体への供給
圧力保持時間を延長させるためのものである。The manifold 16 has a valve mechanism 1 on one side.
4, and the other side surface is in contact with the ejector 18. Inside the manifold 16, a supply passage 46, a pilot valve supply passage 48, a vacuum break passage 50, and a pilot valve exhaust passage 52 are formed, and a passage 54 that connects the supply valve 36 and the ejector 18 and a vacuum break valve 38 are formed. And a passage 56 communicating with a vacuum port 70 described later is formed. In addition, check valves 57a and 57b are provided at both ends of the pilot valve supply passage 48. Check valve 57a, 5
Reference numeral 7b is for extending the pressure holding time for the valve body when the supply of compressed air is stopped.

【００１５】前記マニホールド１６の側面部には、前記
エゼクタ１８の一側面部が当接するように配設されてい
る。前記エゼクタ１８は矩形体からなり、その内部に所
定の口径のノズル部５８とこのノズル部５８に連接され
るディフューザ部６０を有し、前記ディフューザ部６０
は真空発生部６１に連通している。The side surface of the manifold 16 is arranged so that one side surface of the ejector 18 abuts. The ejector 18 has a rectangular shape, and has a nozzle part 58 having a predetermined diameter and a diffuser part 60 connected to the nozzle part 58 inside the ejector 18, and the diffuser part 60 is provided.
Communicates with the vacuum generator 61.

【００１６】前記エゼクタ１８の一側面部にはマニホー
ルド１６のパイロット弁排気通路５２に連通する開口部
６２を形成する。一方、前記ディフューザ部６０は、一
方側が開口した箱型形状であり、この開口部は等間隔に
形成された複数の円筒形のスリット６３を有する蓋部材
６４で閉塞される。前記開口部６２と蓋部材６４の間に
はサイレンサ６６が装着されている。An opening 62 communicating with the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16 is formed on one side surface of the ejector 18. On the other hand, the diffuser portion 60 has a box shape with one side open, and the opening is closed by a lid member 64 having a plurality of cylindrical slits 63 formed at equal intervals. A silencer 66 is mounted between the opening 62 and the lid member 64.

【００１７】前記エゼクタ１８の他側面部には、検出部
２２および真空ポート部２４が装着されている。前記検
出部２２は箱型形状を呈し、その内部に真空スイッチ６
８が設けられている。この真空スイッチ６８は好ましく
は抵抗型あるいは容量型の半導体圧力センサで構成さ
れ、真空発生部６１で発生する負圧を後述する真空ポー
ト７０に連通する通路７２を介して検出し、作業機器を
制御するための信号を発する。また、検出部２２の内部
にある基板、例えば、フレキシブル基板は、マイクロコ
ンピュータ、若しくはワンチップマイコンを用い、電子
式圧力センサの出力信号を得て、圧力設定、圧力調整、
警報発生・停止、オン／オフ動作、ヒシテリシス除去、
モード切り換え、真空発生用ユニットの内部状態モニタ
の故障予知機能等を備え、真空発生用ユニット全体の作
動状態を含めて制御することが可能である。真空検知ユ
ニット、真空発生用ユニットにドライバを含め、さらに
ファジイ理論を用いて吸着状態の予測制御も可能であ
る。別の制御方法として、予め自動的にプログラムに従
ってプレ動作させ、オン／オフ設定を自動設定し、また
作動後は基圧変動を他のセンサで検知してフィードバッ
クし自動的に設定値を最適な値へ移動させてもよい。例
えば、基圧と検知信号の５０％に設定するとよい。また
上記機能に関して図示しない液晶（カラーＬＣＤ）、発
光ダイオード（ＬＥＤ）等のデジタル表示装置を有する
こともできる。前記検出部２２と真空ポート部２４との
境界面にはフィルタ７４が装着されている。A detector 22 and a vacuum port 24 are mounted on the other side surface of the ejector 18. The detection unit 22 has a box shape, and a vacuum switch 6 is provided inside the detection unit 22.
8 are provided. The vacuum switch 68 is preferably composed of a resistance type or capacitance type semiconductor pressure sensor, and detects a negative pressure generated in the vacuum generating section 61 via a passage 72 communicating with a vacuum port 70 described later to control the working equipment. Emit a signal to do. Further, a substrate inside the detection unit 22, for example, a flexible substrate, uses a microcomputer or a one-chip microcomputer to obtain the output signal of the electronic pressure sensor to set the pressure, adjust the pressure,
Alarm generation / stop, ON / OFF operation, hysteresis removal,
It has a mode switching function, a failure prediction function of the internal state monitor of the vacuum generating unit, and the like, and it is possible to control including the operating state of the entire vacuum generating unit. It is also possible to include a driver in the vacuum detection unit and the vacuum generation unit, and to predict and control the adsorption state using fuzzy theory. As another control method, a pre-operation is automatically performed in advance according to a program, the on / off setting is automatically set, and after the operation, the base pressure fluctuation is detected by another sensor and fed back to automatically optimize the set value. It may be moved to a value. For example, it may be set to 50% of the base pressure and the detection signal. Further, it is possible to have a digital display device such as a liquid crystal (color LCD) or a light emitting diode (LED) which is not shown for the above function. A filter 74 is attached to the boundary surface between the detection unit 22 and the vacuum port unit 24.

【００１８】真空ポート部２４は、矩形体形状で、エゼ
クタ１８側の一側面部から可撓性部材で形成されたチェ
ック弁７６、フィルタ部２０へ連通する通路７８と他側
面部に設けられた真空ポート７０とを有するとともに、
前記真空ポート７０から検出部２２へ指向する通路７２
を有している。The vacuum port portion 24 has a rectangular shape, and is provided on the check valve 76 formed of a flexible member from one side surface portion on the ejector 18 side, the passage 78 communicating with the filter portion 20, and the other side surface portion. With a vacuum port 70,
A passage 72 directed from the vacuum port 70 to the detection unit 22.
have.

【００１９】フィルタ部２０は、真空ポート部２４に対
して固定される。フィルタ部２０の内部には、フィルタ
本体８０が配設されるとともに、このフィルタ部２０は
摘み８４を有したスタッド８２によって真空ポート部２
４に固着されている。したがって、前記摘み８４を螺回
することにより前記フィルタ本体８０を交換することが
可能である。The filter section 20 is fixed to the vacuum port section 24. A filter body 80 is disposed inside the filter portion 20, and the filter portion 20 is provided with a stud 82 having a knob 84 so that the vacuum port portion 2 is provided.
It is fixed to 4. Therefore, the filter main body 80 can be replaced by screwing the knob 84.

【００２０】続いて、パイロット弁４０、４２、４４の
内部構造を説明する。パイロット弁４０、４２、４４
は、弁機構部１４の上部に載置される第１インタフェー
ス８６および第２インタフェース８８によって前記弁機
構部１４の内部に形成された通路と連通している。先
ず、第１パイロット弁４０を図２および図４乃至図６を
参照して説明する。Next, the internal structure of the pilot valves 40, 42 and 44 will be described. Pilot valve 40, 42, 44
Are communicated with a passage formed inside the valve mechanism portion 14 by a first interface 86 and a second interface 88 mounted on the valve mechanism portion 14. First, the first pilot valve 40 will be described with reference to FIGS. 2 and 4 to 6.

【００２１】第１パイロット弁４０は、第２パイロット
弁４２および第３パイロット弁４４とともにパッキン８
９を挟んで第２インタフェース８８の上部に載置される
（図３および図４参照）。第１パイロット弁４０は、電
磁弁９０ａ、接続部９２ａおよびパイロット切換弁９４
ａとから基本的に構成されており、このパイロット切換
弁９４ａの端部には蓋部材９８が設けられる。パイロッ
ト切換弁９４ａの中央部にはパイロット弁本体９６ａの
挿通する貫通孔１００が形成されており、前記貫通孔１
００の下部には、第１ポート１０２ａ、第２ポート１０
４ａ、第３ポート１０６ａ、第４ポート１０８ａ、第５
ポート１１０ａが連通する。第１ポート１０２ａと第５
ポート１１０ａは、弁機構部１４のパイロット弁排気ポ
ート３２およびマニホールド１６のパイロット弁排気通
路５２に連通している。第２ポート１０４ａは供給弁３
６の第１圧力室１１２に通路１１４で連通している。第
３ポート１０６ａは、弁機構部１４のパイロット弁供給
ポート２８およびマニホールド１６のパイロット弁供給
通路４８に連通している。第４ポート１０８ａは、供給
弁３６の第２圧力室１１６に通路１１８で連通している
（図４参照）。前記貫通孔１００の内面に第１乃至第５
ポート１０２ａ乃至１１０ａに対応するリング状の凹部
が形成されている。前記貫通孔１００の上部には、第３
ポート１０６ａに対応するリング状の凹部に連通して通
路１２０が画成されている。The first pilot valve 40, together with the second pilot valve 42 and the third pilot valve 44, is the packing 8
It is placed on the upper part of the second interface 88 with 9 in between (see FIGS. 3 and 4). The first pilot valve 40 includes a solenoid valve 90a, a connecting portion 92a and a pilot switching valve 94.
The pilot switching valve 94a is provided with a lid member 98 at the end thereof. A through hole 100 through which the pilot valve main body 96a is inserted is formed in the center of the pilot switching valve 94a.
In the lower part of 00, the first port 102a and the second port 10
4a, third port 106a, fourth port 108a, fifth
The port 110a communicates. First port 102a and fifth
The port 110 a communicates with the pilot valve exhaust port 32 of the valve mechanism unit 14 and the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16. The second port 104a is the supply valve 3
The first pressure chamber 112 of No. 6 communicates with a passage 114. The third port 106 a communicates with the pilot valve supply port 28 of the valve mechanism 14 and the pilot valve supply passage 48 of the manifold 16. The fourth port 108a communicates with the second pressure chamber 116 of the supply valve 36 via a passage 118 (see FIG. 4). First to fifth inner surfaces of the through hole 100
Ring-shaped recesses corresponding to the ports 102a to 110a are formed. At the top of the through hole 100, a third
A passage 120 is defined in communication with a ring-shaped recess corresponding to the port 106a.

【００２２】パイロット切換弁９４ａの一端に接続され
る蓋部材９８には、貫通孔１００に連結され、パイロッ
ト弁本体９６ａの一端部が摺動する円筒形の凹部１２２
ａが形成されている。前記凹部１２２ａには、後述する
第２パイロット弁４２の凹部１２４ｂに連通する孔部１
２５が形成される。The lid member 98 connected to one end of the pilot switching valve 94a is connected to the through hole 100 and has a cylindrical recess 122 in which one end of the pilot valve main body 96a slides.
a is formed. In the recess 122a, a hole 1 communicating with a recess 124b of the second pilot valve 42 described later.
25 is formed.

【００２３】パイロット切換弁９４ａの他端に接続され
る接続部９２ａには、貫通孔１００に連絡されパイロッ
ト弁本体９６ａの他端部が摺動する円筒形の凹部１２６
を形成されている。また、この接続部９２ａには穴部１
２８が形成されており、この穴部１２８にはマニュアル
操作用の弁体１３０が挿入されている。弁体１３０は、
ばね１３４によって突出付勢されるとともに、ストッパ
１３８によりその突出量が規制されている。なお、この
弁体１３０は、第１パイロット弁４０が作動不良の場合
に弁体１３０を指で押圧して弁体１３０を下方に変位さ
せ、パイロット切換弁９４ａの通路１２０と、凹部１２
６、穴部１２８間の通路１４０とを連通させてパイロッ
ト弁本体９６ａの作動状態を確認するためのものであ
る。また、穴部１２８は、前記弁体１３０の上下２か所
で電磁弁９０ａに連通する。接続部９２ａの下部には、
電磁弁９０ａとパイロット切換弁９４ａの凹部１４２を
連通する通路１４４が画成されている。The connecting portion 92a connected to the other end of the pilot switching valve 94a is connected to the through hole 100, and the other end of the pilot valve main body 96a slides into a cylindrical recess 126.
Has been formed. Further, the hole portion 1 is formed in the connecting portion 92a.
28 is formed, and a valve element 130 for manual operation is inserted into the hole 128. The valve body 130 is
The spring 134 urges the protrusion, and the stopper 138 regulates the protrusion amount. When the first pilot valve 40 malfunctions, the valve body 130 pushes the valve body 130 with a finger to displace the valve body 130 downward, and thus the passage 120 of the pilot switching valve 94a and the recess 12 are formed.
6, for communicating the passage 140 between the holes 128 to confirm the operating state of the pilot valve main body 96a. The holes 128 communicate with the solenoid valve 90a at two locations above and below the valve body 130. At the bottom of the connecting portion 92a,
A passage 144 that connects the solenoid valve 90a and the recess 142 of the pilot switching valve 94a is defined.

【００２４】接続部９２ａに接続される電磁弁９０ａ
は、上部にコイル１４６および可動鉄心１４８を有す
る。可動鉄心１４８は、パッキン１５０、１５２を備え
る。電磁弁９０ａの接続部９２ａ側には、上部から第１
通路１５４、第２通路１５６、第３通路１５８が形成さ
れている。第１通路１５４の開口部１６０は、可動鉄心
１４８のパッキン１５０によって開閉され、また、第２
通路１５６の開口部１６２は、パッキン１５２によって
開閉されるように構成される（図７参照）。開口部１６
０の開成時には、第１通路１５４は、通路１６４、リン
グ状の空間１６６を介して第３通路１５８に連通する。
一方、開口部１６２の開成時には、第２通路１５６と第
３通路１５８が連通する。Solenoid valve 90a connected to connecting portion 92a
Has a coil 146 and a movable iron core 148 on the top. The movable iron core 148 includes packings 150 and 152. On the side of the connecting portion 92a of the solenoid valve 90a, the first
A passage 154, a second passage 156, and a third passage 158 are formed. The opening 160 of the first passage 154 is opened and closed by the packing 150 of the movable iron core 148.
The opening 162 of the passage 156 is configured to be opened and closed by the packing 152 (see FIG. 7). Opening 16
When 0 is opened, the first passage 154 communicates with the third passage 158 via the passage 164 and the ring-shaped space 166.
On the other hand, when the opening 162 is opened, the second passage 156 and the third passage 158 communicate with each other.

【００２５】第２パイロット弁４２の説明を図８および
図９を参照して行う。第１パイロット弁４０と同一の構
成要素には同一の参照番号を付し、その詳細な説明を省
略する。第２パイロット弁４２は、第１パイロット弁４
０に隣接してパッキン８９および第１、第２インタフェ
ース８６、８８を挟んで弁機構部１４の上部に載置され
る。パイロット切換弁９４ｂの貫通孔１００には固定さ
れたパイロット弁本体９６ｂが挿通されている。パイロ
ット切換弁９４ｂの第２ポート１０４ｂ、第４ポート１
０８ｂは、パッキン８９により弁機構部１４から遮断さ
れ使用されていない。他の構成は、パイロット切換弁９
４ａと略同様である。パイロット切換弁９４ｂの一端部
には、第１パイロット弁４０と同様にして蓋部材９８が
接続される。前記蓋部材９８の孔部１２５を介して、第
１パイロット弁４０と第２パイロット弁４２が連通する
ことになる。The second pilot valve 42 will be described with reference to FIGS. 8 and 9. The same components as those of the first pilot valve 40 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The second pilot valve 42 is the first pilot valve 4
It is placed on the upper part of the valve mechanism portion 14 with the packing 89 and the first and second interfaces 86 and 88 sandwiched between them adjacent to 0. A fixed pilot valve body 96b is inserted through the through hole 100 of the pilot switching valve 94b. Second port 104b and fourth port 1 of pilot switching valve 94b
08b is cut off from the valve mechanism 14 by the packing 89 and is not used. The other configuration is the pilot switching valve 9
It is substantially the same as 4a. A lid member 98 is connected to one end of the pilot switching valve 94b in the same manner as the first pilot valve 40. The first pilot valve 40 and the second pilot valve 42 communicate with each other through the hole 125 of the lid member 98.

【００２６】第３パイロット弁４４の説明を図１０およ
び図１１を参照して行う。第１パイロット弁４０と同一
の構成要素には同一の参照番号を付し、その詳細な説明
を省略する。第３パイロット弁４４は、第１パイロット
弁４０に隣接してパッキン８９および第１、第２インタ
フェース８６、８８を挟んで弁機構部１４の上部に載置
される。パイロット切換弁９４ｃの第２ポート１０４ｃ
は、真空破壊弁３８の第１圧力室１９６に通路１９８を
介して連通している。第４ポート１０８ｃは、真空破壊
弁３８の第２圧力室２００に通路２０２を介して連通し
ている（図４参照）。蓋部材２０４に形成された凹部２
０６には、パイロット弁本体９６ｃが嵌入し、また、こ
の凹部２０６は通路１２０に連通している。The third pilot valve 44 will be described with reference to FIGS. 10 and 11. The same components as those of the first pilot valve 40 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The third pilot valve 44 is placed adjacent to the first pilot valve 40 and above the valve mechanism unit 14 with the packing 89 and the first and second interfaces 86, 88 interposed therebetween. Second port 104c of pilot switching valve 94c
Communicate with the first pressure chamber 196 of the vacuum break valve 38 via a passage 198. The fourth port 108c communicates with the second pressure chamber 200 of the vacuum break valve 38 via a passage 202 (see FIG. 4). Recess 2 formed in lid member 204
The pilot valve main body 96c is fitted in 06, and the recess 206 communicates with the passage 120.

【００２７】次に、上記にように構成される真空発生用
ユニット１０の動作を説明する。Next, the operation of the vacuum generating unit 10 configured as described above will be described.

【００２８】但し、この動作の説明は、マニホールド１
６を用いて真空発生用ユニット１０を複数個連設し、弁
機構部１４のポートを閉塞した場合について行う。した
がって、圧縮空気の供給、パイロット弁を駆動するため
の供給圧力、真空破壊用圧力、パイロット弁４０、４
２、４４、およびエゼクタ１８からの排気については、
この動作説明ではマニホールド１６を介してのみ行う。However, the explanation of this operation is made in the manifold 1
6 is used to connect a plurality of vacuum generating units 10 in series to close the port of the valve mechanism portion 14. Therefore, the supply of compressed air, the supply pressure for driving the pilot valve, the pressure for vacuum breaking, the pilot valves 40, 4
For exhaust from 2, 44, and ejector 18,
In this explanation of the operation, it is performed only through the manifold 16.

【００２９】そこで、真空ポート７０に作業機器、例え
ば、吸着用パッドを連通し、これに負圧をかける場合に
ついて図２に示す等価回路に従って説明する。Therefore, a case where a working device, for example, a suction pad is connected to the vacuum port 70 and a negative pressure is applied thereto will be described with reference to the equivalent circuit shown in FIG.

【００３０】最初に図示しないコンプレッサ等の圧縮空
気供給源が付勢され、圧縮空気はマニホールド１６のパ
イロット弁供給通路４８を通り、弁機構部１４の内部通
路を経て第１パイロット弁４０の第３ポート１０６ａに
達する。電磁弁９０ａが滅勢している状態では、第３ポ
ート１０６ａは、第４ポート１０８ａに連通している
（図５参照）。したがって、圧力流体は第４ポート１０
８ａから通路１１８を経て供給弁３６の第２圧力室１１
６に達し、供給弁３６を閉成している（図４参照）。一
方、圧力流体は、第３ポート１０６ａから通路１２１、
接続部９２ａの穴部１２８を介して電磁弁９０ａの第１
通路１５４に達している。First, a compressed air supply source such as a compressor (not shown) is energized, and the compressed air passes through the pilot valve supply passage 48 of the manifold 16 and the internal passage of the valve mechanism portion 14 to the third pilot valve 40. Reach port 106a. When the electromagnetic valve 90a is deenergized, the third port 106a communicates with the fourth port 108a (see FIG. 5). Therefore, the pressure fluid flows through the fourth port 10
8a through the passage 118 to the second pressure chamber 11 of the supply valve 36.
6, the supply valve 36 is closed (see FIG. 4). On the other hand, the pressure fluid flows from the third port 106a to the passage 121,
The first of the solenoid valve 90a is inserted through the hole 128 of the connecting portion 92a.
It reaches the passage 154.

【００３１】そこで、吸着用パッドによってワークを吸
着搬送する場合には、電磁弁９０ａが付勢される。すな
わち、コイル１４６が励磁されることにより可動鉄心１
４８が上方に変位する。したがって、パッキン１５０が
上方に変位して開口部１６０が開成し、第１通路１５４
は通路１６４、リング状の空間１６６を介して第３通路
１５８に連通する（図６参照）。この結果、圧縮空気は
第３通路１５８に到達し、さらに接続部９２ａの穴部１
２８の下部、通路１４０を経て、凹部１２６に達してパ
イロット弁本体９６ａを図面上左向きに変位させる（図
６参照）。この際、蓋部材９８の凹部１２２ａの空気
は、凹部１２４ａから孔部１２５を介して第２パイロッ
ト弁４２の凹部１２４ｂに達する。さらに前記空気は、
第２パイロット弁４２のパイロット弁本体９６ｂの貫通
孔１９２、接続部９２ｂの通路１４０を経て電磁弁９０
ｂの第３通路１５８に達し、開口部１６２から第２通路
１５６、接続部９２ｂの通路１４４、パイロット切換弁
９４ｂの凹部１４２を介して第５ポート１１０ｂに到達
し、弁機構部１４の内部通路を経てマニホールド１６の
パイロット弁排気通路５２に排出される（図８参照）。Therefore, when the work is sucked and conveyed by the suction pad, the solenoid valve 90a is energized. That is, when the coil 146 is excited, the movable iron core 1
48 is displaced upwards. Therefore, the packing 150 is displaced upward, the opening 160 is opened, and the first passage 154 is opened.
Communicates with the third passage 158 through the passage 164 and the ring-shaped space 166 (see FIG. 6). As a result, the compressed air reaches the third passage 158, and further, the hole portion 1 of the connecting portion 92a.
After reaching the recess 126 through the lower portion of 28 and the passage 140, the pilot valve main body 96a is displaced leftward in the drawing (see FIG. 6). At this time, the air in the recess 122a of the lid member 98 reaches the recess 124b of the second pilot valve 42 from the recess 124a through the hole 125. Further, the air is
The solenoid valve 90 passes through the through hole 192 of the pilot valve main body 96b of the second pilot valve 42 and the passage 140 of the connecting portion 92b.
b, the third passage 158, the second passage 156 from the opening 162, the passage 144 of the connecting portion 92b, the recess 142 of the pilot switching valve 94b, the fifth port 110b, and the internal passage of the valve mechanism portion 14. And is discharged to the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16 (see FIG. 8).

【００３２】以上のようにして第１パイロット弁４０の
パイロット弁本体９６ａが図面上左向きに変位し、第３
ポート１０６ａは、第２ポート１０４ａと連通し、第４
ポート１０８ａは、第５ポート１１０ａと連通する（図
６参照）。したがって、第３ポート１０６ａに供給され
た圧力流体は、第２ポート１０４ａから通路１１４を介
して第１圧力室１１２に達して供給弁３６を図面上左方
向に変位させ、前記供給弁３６を開成する（図４参
照）。その際、第２圧力室１１６の空気は、通路１１８
を介して第４ポート１０８ａに達し、第５ポート１１０
ａからマニホールド１６のパイロット弁排気通路５２に
排出される（図４および図６参照）。As described above, the pilot valve body 96a of the first pilot valve 40 is displaced leftward in the drawing, and the third
The port 106a communicates with the second port 104a, and the fourth port
The port 108a communicates with the fifth port 110a (see FIG. 6). Therefore, the pressure fluid supplied to the third port 106a reaches the first pressure chamber 112 from the second port 104a via the passage 114, displaces the supply valve 36 leftward in the drawing, and opens the supply valve 36. (See FIG. 4). At that time, the air in the second pressure chamber 116 passes through the passage 118.
Reach the fourth port 108a through the fifth port 110
It is discharged from a into the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16 (see FIGS. 4 and 6).

【００３３】このようにして供給弁３６が開成されるた
め、マニホールド１６の供給通路４６とエゼクタ１８が
連通して前記エゼクタ１８に圧縮空気が供給される（図
２参照）。こうしてエゼクタ１８で負圧が発生し、この
負圧により可撓性部材で形成されたチェック弁７６が開
き、吸着用パッドの空気を吸引してワークを吸着する。
すなわち、前記負圧によって、真空ポート７０側の空気
は、塵芥を除去するフィルタ部２０、通路７８、真空発
生部６１を介して、ディフューザ部６０に吸引される。Since the supply valve 36 is opened in this manner, the supply passage 46 of the manifold 16 communicates with the ejector 18, and compressed air is supplied to the ejector 18 (see FIG. 2). In this way, a negative pressure is generated in the ejector 18, and the check valve 76 formed of a flexible member is opened by this negative pressure to suck the air of the suction pad and suck the work.
That is, the negative pressure causes the air on the vacuum port 70 side to be sucked into the diffuser unit 60 via the filter unit 20 for removing dust, the passage 78, and the vacuum generation unit 61.

【００３４】その際、真空ポート７０から検出部２２に
連通している通路７２を介して、検出部２２の真空スイ
ッチ６８は真空ポート７０における負圧を測定し、その
出力信号で作業機器を制御する。At this time, the vacuum switch 68 of the detection unit 22 measures the negative pressure in the vacuum port 70 through the passage 72 communicating from the vacuum port 70 to the detection unit 22, and controls the working equipment by the output signal thereof. To do.

【００３５】一方、ディフューザ部６０に真空ポート７
０より吸引された空気、およびノズル部５８より噴出さ
れた圧縮空気は、前記ディフューザ部６０から蓋部材６
４のスリット６３を経た後、サイレンサ６６、開口部６
２を経てマニホールド１６のパイロット弁排気通路５２
より排出される（図３参照）。On the other hand, the diffuser section 60 has a vacuum port 7
The air sucked from 0 and the compressed air jetted from the nozzle portion 58 are fed from the diffuser portion 60 to the lid member 6.
After passing through the slit 63 of 4, the silencer 66, the opening 6
2 through the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16
Are discharged more (see FIG. 3).

【００３６】次に、搬送後に吸着用パッドからワークを
離脱する場合には、以下に述べるように行う。すなわ
ち、第１パイロット弁４０の電磁弁９０ａを滅勢し、第
２パイロット弁４２の電磁弁９０ｂと第３パイロット弁
４４の電磁弁９０ｃを付勢する。第１パイロット弁４０
の電磁弁９０ａを滅勢するとコイル１４６の励磁状態が
解除され、可動鉄心１４８は下方に変位する。したがっ
て、上部のパッキン１５０が開口部１６０を閉塞し、第
２通路１５６と第３通路１５８とが連通する（図７参
照）。一方、第２パイロット弁４２の電磁弁９０ｂを付
勢すると第１パイロット弁４０の電磁弁９０ａと同様に
してパイロット切換弁９４ｂの第３ポート１０６ｂから
通路１２１、接続部９２ｂを介して電磁弁９０ｂの第１
通路１５４に達した圧縮空気は、開口部１６０から通路
１６４、リング状の空間１６６を経て第３通路１５８に
達する（図９参照）。さらに前記圧縮空気は、接続部９
２ｂの通路１４０を経て、パイロット弁本体９６ｂの貫
通孔１９２を経て蓋部材９８の凹部１２４ｂから孔部１
２５を介して第１パイロット弁４０の蓋部材９８の凹部
１２４ａに到達し、第１パイロット弁４０のパイロット
弁本体９６ａを図面上右方向に変位させる（図５参
照）。この変位に伴い第１パイロット弁４０の接続部９
２ａの凹部１２６の空気は、通路１４０を経て電磁弁９
０ａの第３通路１５８に到達する。前記空気は、第３通
路１５８と第２通路１５６が連通しているため、第２通
路１５６から接続部９２ａの通路１４４を経てパイロッ
ト切換弁９４ａの凹部１４２に達する。上記のようにし
て凹部１４２に達した空気は、パイロット弁本体９６ａ
を右方向に維持するとともに前記パイロット弁本体９６
ａのチェックシール１８２を介して、第５ポート１１０
ａからマニホールド１６のパイロット弁排気通路５２に
排気される（図７参照）。Next, when the work is to be removed from the suction pad after the conveyance, it is performed as described below. That is, the solenoid valve 90a of the first pilot valve 40 is deenergized, and the solenoid valve 90b of the second pilot valve 42 and the solenoid valve 90c of the third pilot valve 44 are energized. First pilot valve 40
When the solenoid valve 90a is deenergized, the excited state of the coil 146 is released, and the movable iron core 148 is displaced downward. Therefore, the upper packing 150 closes the opening 160, and the second passage 156 and the third passage 158 communicate with each other (see FIG. 7). On the other hand, when the solenoid valve 90b of the second pilot valve 42 is energized, the solenoid valve 90b is passed from the third port 106b of the pilot switching valve 94b through the passage 121 and the connecting portion 92b in the same manner as the solenoid valve 90a of the first pilot valve 40. First of
The compressed air that has reached the passage 154 reaches the third passage 158 through the passage 160, the passage 164, and the ring-shaped space 166 (see FIG. 9). Further, the compressed air is connected to the connecting portion 9
2b through the passage 140, through the through hole 192 in the pilot valve body 96b, through the recess 124b of the lid member 98 to the hole 1
25 to reach the recess 124a of the lid member 98 of the first pilot valve 40, and the pilot valve main body 96a of the first pilot valve 40 is displaced rightward in the drawing (see FIG. 5). With this displacement, the connecting portion 9 of the first pilot valve 40
The air in the concave portion 126 of 2a passes through the passage 140 and the solenoid valve 9
The third passage 158 of 0a is reached. Since the third passage 158 and the second passage 156 communicate with each other, the air reaches the recess 142 of the pilot switching valve 94a from the second passage 156 through the passage 144 of the connecting portion 92a. The air that has reached the recess 142 in the above-described manner is used as the pilot valve body 96a.
Is maintained in the right direction and the pilot valve main body 96
5th port 110 through the check seal 182 of a.
The gas is exhausted from a to the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16 (see FIG. 7).

【００３７】以上のようにして第１パイロット弁４０の
パイロット弁本体９６ａが図面上右向きに変位し、第３
ポート１０６ａは第４ポート１０８ａと連通し、第２ポ
ート１０４ａは第１ポート１０２ａと連通する。したが
って、第３ポート１０６ａに供給された圧力流体は、第
４ポート１０８ａから通路１１８を介して第２圧力室１
１６に達して供給弁３６を閉成する（図４参照）。その
際、第１圧力室１１２の空気は、通路１１４を介して第
２ポート１０４ａに達し、第１ポート１０２ａからマニ
ホールド１６のパイロット弁排気通路５２へ達して排出
される。したがって、エゼクタ１８に圧縮空気が供給さ
れず、負圧が吸着用パッドに供給されることはない（図
２参照）。As described above, the pilot valve body 96a of the first pilot valve 40 is displaced rightward in the drawing, and the third
The port 106a communicates with the fourth port 108a, and the second port 104a communicates with the first port 102a. Therefore, the pressure fluid supplied to the third port 106a passes from the fourth port 108a through the passage 118 to the second pressure chamber 1
16 is reached and the supply valve 36 is closed (see FIG. 4). At that time, the air in the first pressure chamber 112 reaches the second port 104a via the passage 114, reaches the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16 from the first port 102a, and is discharged. Therefore, the compressed air is not supplied to the ejector 18, and the negative pressure is not supplied to the suction pad (see FIG. 2).

【００３８】第３パイロット弁４４の電磁弁９０ｃを付
勢すると、第１電磁弁９０ａと同様にしてパイロット切
換弁９４ｃの第３ポート１０６ｃから通路１２１、接続
部９２ｃを介して電磁弁９０ｃの第１通路１５４に達し
た圧縮空気は、通路１６４を経て第３通路１５８に達す
る（図１１参照）。さらに前記圧縮空気は、接続部９２
ｃの通路１４０を経て、凹部１２６に到達する。一方、
第３ポート１０６ｃから供給される圧縮空気は、通路１
２０を介して蓋部材２０４の凹部２０６に達する。上記
のようにしてパイロット弁本体９６ｃの両端に達した圧
縮空気は、前記パイロット弁本体９６ｃの両端部の受圧
面積の差異（接続部９２ｃ側＞蓋部材２０４側）により
押圧力に差が生じ、第３パイロット弁４４のパイロット
弁本体９６ｃを図面上左向きに変位させる（図１１参
照）。When the solenoid valve 90c of the third pilot valve 44 is energized, like the first solenoid valve 90a, the third port 106c of the pilot switching valve 94c is connected to the first solenoid valve 90c via the passage 121 and the connecting portion 92c. The compressed air that has reached the first passage 154 reaches the third passage 158 through the passage 164 (see FIG. 11). Further, the compressed air is connected to the connecting portion 92.
The concave portion 126 is reached via the passage 140 of c. on the other hand,
The compressed air supplied from the third port 106c passes through the passage 1
The concave portion 206 of the lid member 204 is reached via 20. The compressed air reaching both ends of the pilot valve main body 96c as described above has a difference in pressing force due to a difference in pressure receiving area between both ends of the pilot valve main body 96c (connection portion 92c side> cover member 204 side). The pilot valve body 96c of the third pilot valve 44 is displaced leftward in the drawing (see FIG. 11).

【００３９】以上のようにして第１パイロット弁４０の
パイロット弁本体９６ｃが図面上左向きに変位し、第３
ポート１０６ｃは第２ポート１０４ｃと連通し、第４ポ
ート１０８ｃは第５ポート１１０ｃと連通する。したが
って、第３ポート１０６ｃに供給された圧力流体は、第
２ポート１０４ｃから通路１９８を介して第１圧力室１
９６に達して真空破壊弁３８を開成する（図４参照）。
その際、第２圧力室２００の空気は、通路２０２を介し
て第４ポート１０８ｃに達し、第５ポート１１０ｃから
マニホールド１６のパイロット弁排気通路５２へ達して
排出される。したがって、圧縮空気は、マニホールド１
６の真空破壊通路５０から真空破壊弁３８、通路５６を
介して真空ポート７０に達し、吸着用パッドの負圧状態
を素早く解除してワークを離脱させる（図２参照）。ま
た、サイレンサ６６とパイロット弁排気通路５２間ある
いはエゼクタ１８とチェック弁７６間に切換弁を設け、
真空発生中は切換弁を開とし、真空破壊中は切換弁を閉
とすることにより、ワークの離脱をより一層確実に行う
ことができる。As described above, the pilot valve body 96c of the first pilot valve 40 is displaced leftward in the drawing, and the third
The port 106c communicates with the second port 104c, and the fourth port 108c communicates with the fifth port 110c. Therefore, the pressure fluid supplied to the third port 106c passes from the second port 104c through the passage 198 to the first pressure chamber 1
At 96, the vacuum break valve 38 is opened (see FIG. 4).
At this time, the air in the second pressure chamber 200 reaches the fourth port 108c through the passage 202, reaches the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16 through the fifth port 110c, and is discharged. Therefore, the compressed air is
The vacuum breaking passage 50 of 6 reaches the vacuum port 70 through the vacuum breaking valve 38 and the passage 56 to quickly release the negative pressure state of the suction pad to separate the work (see FIG. 2). Further, a switching valve is provided between the silencer 66 and the pilot valve exhaust passage 52 or between the ejector 18 and the check valve 76.
By opening the switching valve during the vacuum generation and closing the switching valve during the vacuum break, the workpiece can be more reliably removed.

【００４０】吸着用パッドがワークを離脱した後、吸着
用パッドが再びワークを吸着するまでの間は、第３パイ
ロット弁４４の電磁弁９０ｃを滅勢する。電磁弁９０ａ
と同様にして電磁弁９０ｃのコイル１４６は励磁状態を
解除され、可動鉄心１４８は下方に変位する（図１０参
照）。これにより、上部のパッキン１５０が開口部１６
０を閉塞し、第１通路１５４と通路１６４とが遮断され
る。また、下部のパッキン１５２も下方に変位するた
め、第２通路１５６と第３通路１５８とが連通される。
したがって、第３通路１５８から接続部９２ｃの通路１
４０を経て凹部１２６に供給される圧縮空気はなく、パ
イロット切換弁９４ｃの第３ポート１０６ｃから通路１
２０を経て蓋部材２０４の凹部２０６に達する圧縮空気
により、パイロット弁本体９６ｃは図面上右向きに変位
する（図１０参照）。The electromagnetic valve 90c of the third pilot valve 44 is deenergized until the suction pad re-sucks the work after the suction pad releases the work. Solenoid valve 90a
Similarly, the coil 146 of the solenoid valve 90c is released from the excited state, and the movable iron core 148 is displaced downward (see FIG. 10). As a result, the packing 150 on the upper side is
0 is closed, and the first passage 154 and the passage 164 are blocked. Further, since the lower packing 152 is also displaced downward, the second passage 156 and the third passage 158 communicate with each other.
Therefore, from the third passage 158 to the passage 1 of the connecting portion 92c.
There is no compressed air supplied to the concave portion 126 via 40, and the passage 1 from the third port 106c of the pilot switching valve 94c.
The pilot valve body 96c is displaced rightward in the drawing by the compressed air passing through 20 and reaching the recess 206 of the lid member 204 (see FIG. 10).

【００４１】以上のようにして第１パイロット弁４０の
パイロット弁本体９６ｃが図面上右向きに変位し、第３
ポート１０６ｃは第４ポート１０８ｃと連通し、第２ポ
ート１０４ｃは第１ポート１０２ｃと連通する。したが
って、第３ポート１０６ｃに供給された圧力流体は、第
４ポート１０８ｃから通路２０２を介して第２圧力室２
００に達して真空破壊弁３８を右方向に変位させて、真
空破壊弁３８を閉成する（図４参照）。その際、第１圧
力室１９６の空気は、通路１９８を介して第２ポート１
０４ｃに達し、第１ポート１０２ｃからマニホールド１
６のパイロット弁排気通路５２に達して排出される。真
空破壊弁３８が閉成しているため圧縮空気がマニホール
ド１６の真空破壊通路５０から真空ポート７０に達する
ことはない（図２参照）。こうすることにより、例えば
吸着用パッドがワークを離脱した後に再びワークを吸着
するまでの間に圧縮空気を無駄に使うことを阻止でき
る。As described above, the pilot valve body 96c of the first pilot valve 40 is displaced rightward in the drawing, and the third
The port 106c communicates with the fourth port 108c, and the second port 104c communicates with the first port 102c. Therefore, the pressure fluid supplied to the third port 106c passes from the fourth port 108c through the passage 202 to the second pressure chamber 2
00, the vacuum break valve 38 is displaced to the right to close the vacuum break valve 38 (see FIG. 4). At that time, the air in the first pressure chamber 196 passes through the passage 198 to the second port 1
04c, from the first port 102c to the manifold 1
No. 6 pilot valve exhaust passage 52 is reached and discharged. Since the vacuum break valve 38 is closed, compressed air does not reach the vacuum port 70 from the vacuum break passage 50 of the manifold 16 (see FIG. 2). By doing so, for example, it is possible to prevent waste of compressed air until the suction pad resorbs the work after the work is separated from the work.

【００４２】この一連の動作を繰り返すことにより吸着
用パッドの搬送動作を行う。次に、ワーク搬送中に停電
の事態が生じた場合について説明する。ワーク搬送中
は、第１パイロット弁４０の電磁弁９０ａのみ付勢さ
れ、他の電磁弁９０ｂ、９０ｃは滅勢され、供給弁３６
が開成され、真空破壊弁３８は閉成されている。この場
合の第１乃至第３パイロット弁４０、４２、４４の状態
を図２に示す。この状態で停電が生ずると第１パイロッ
ト弁４０の電磁弁９０ａが滅勢される。したがって、電
磁弁９０ａの第１通路１５４と第３通路１５８が遮断さ
れ、第２通路１５６と第３通路１５８が連通される（図
５参照）。そのため、第３通路１５８から通路１４０を
経て凹部１２６に圧縮空気が供給されることはない。し
かしながら、第２パイロット弁４２の電磁弁９０ｂも滅
勢されているため、前記電磁弁９０ｂの第１通路１５４
と第３通路１５８も遮断されている（図８参照）。その
ため、電磁弁９０ｂの第３通路１５８から接続部９２ｂ
の通路１４０、パイロット弁本体９６ｂの貫通孔１９２
を経て蓋部材９８の凹部１２４ｂに圧縮空気が供給され
ない。すなわち、蓋部材９８の凹部１２４ｂから孔部１
２５を介して凹部１２４ａに圧縮空気が供給されること
はない。したがって、第１パイロット弁４０において、
パイロット弁本体９６ａの両端に対していずれの側にも
押圧力が作用することはなく、パイロット弁本体９６ａ
は変位しない。このため、停電となっても供給弁３６は
開成した状態を保持し、マニホールド１６の供給通路４
６からエゼクタ１８に圧縮空気を供給して負圧を生じさ
せ、吸着用パッドの吸着状態を保持する。流体回路図で
説明すれば、図２の状態を保持する。By repeating this series of operations, the suction pad transfer operation is performed. Next, a case where a power failure occurs during the work transfer will be described. During the work transfer, only the solenoid valve 90a of the first pilot valve 40 is energized, the other solenoid valves 90b, 90c are deenergized, and the supply valve 36
Is opened and the vacuum break valve 38 is closed. The states of the first to third pilot valves 40, 42, 44 in this case are shown in FIG. When a power failure occurs in this state, the solenoid valve 90a of the first pilot valve 40 is deenergized. Therefore, the first passage 154 and the third passage 158 of the solenoid valve 90a are blocked, and the second passage 156 and the third passage 158 are connected (see FIG. 5). Therefore, the compressed air is not supplied from the third passage 158 to the recess 126 via the passage 140. However, since the solenoid valve 90b of the second pilot valve 42 is also deenergized, the first passage 154 of the solenoid valve 90b is
The third passage 158 is also blocked (see FIG. 8). Therefore, from the third passage 158 of the solenoid valve 90b to the connecting portion 92b.
Passage 140, through hole 192 of pilot valve body 96b
After that, the compressed air is not supplied to the concave portion 124b of the lid member 98. That is, from the recess 124b of the lid member 98 to the hole 1
Compressed air is not supplied to the concave portion 124 a via 25. Therefore, in the first pilot valve 40,
No pressing force acts on either side of the pilot valve main body 96a, and the pilot valve main body 96a
Does not displace. Therefore, even if a power failure occurs, the supply valve 36 maintains the open state, and the supply passage 4 of the manifold 16 is closed.
Compressed air is supplied from 6 to the ejector 18 to generate a negative pressure, and the suction state of the suction pad is maintained. Explaining with a fluid circuit diagram, the state of FIG. 2 is maintained.

【００４３】ここでは、エゼクタ１８を使用した例につ
いて説明してきたが、真空ポンプを使用することも可能
である。その場合には、本実施例において、エゼクタ１
８を除いてマニホールド１６に検出部２２と真空ポート
部２４を直接接続し、真空発生用ユニット１０を構成す
る（図１２参照）。その際、弁機構部１４の供給ポート
２６、あるいはマニホールド１６の供給通路４６には、
真空ポンプ（図示せず）が接続される。Although the example using the ejector 18 has been described here, a vacuum pump can also be used. In that case, in this embodiment, the ejector 1
The detection unit 22 and the vacuum port unit 24 are directly connected to the manifold 16 except for 8, and the vacuum generating unit 10 is configured (see FIG. 12). At that time, in the supply port 26 of the valve mechanism portion 14 or the supply passage 46 of the manifold 16,
A vacuum pump (not shown) is connected.

【００４４】エゼクタ１８を使用した例と同様に、マニ
ホールド１６の通路４６、４８、５０、５２を使用し、
弁機構部１４のポート２６、２８、３０、３２をねじで
閉塞した場合について、図１３を参照して簡単に動作説
明を行う。Similar to the example using the ejector 18, the passages 46, 48, 50, 52 of the manifold 16 are used,
A case where the ports 26, 28, 30, 32 of the valve mechanism portion 14 are closed with screws will be briefly described with reference to FIG.

【００４５】真空ポンプから供給される負圧は、マニホ
ールド１６の供給通路４６から弁機構部１４の供給弁３
６を経て真空ポート７０から吸着用パッド等に供給され
る。この際、第１、第２パイロット弁４０、４２は、エ
ゼクタ１８を使用した場合と同様に作動して、吸着用パ
ッドがワークを吸着搬送中に停電となってもワークを保
持可能である。The negative pressure supplied from the vacuum pump is supplied from the supply passage 46 of the manifold 16 to the supply valve 3 of the valve mechanism section 14.
It is supplied to the suction pad or the like from the vacuum port 70 via 6. At this time, the first and second pilot valves 40 and 42 operate in the same manner as when the ejector 18 is used, and the suction pad can hold the work even if a power failure occurs during suction transfer of the work.

【００４６】第１の実施例では第１パイロット弁４０と
第２パイロット弁４２を蓋部材９８の孔部１２５によっ
て連通することによりダブルソレノイド型の電磁パイロ
ット弁として構成し、吸着用パッドがワークを搬送中に
停電が発生しても第１パイロット弁４０が切り換わらな
いため負圧が供給され続け、吸着用パッドはワークを保
持できる。なお、パイロット弁４０、４２、４４の電磁
弁９０ａ、９０ｂ、９０ｃ、接続部９２ａ乃至９２ｃを
同一部材とし、ダブルソレノイドを構成する場合は蓋部
材９８を使用し、一方に変位自在なパイロット弁本体９
６ａ、他方に変位不可能なパイロット弁本体９６ｂを挿
入する。また、シングルソレノイドを構成する場合には
蓋部材２０４を使用し、変位自在なパイロット弁本体９
６ｃを挿入する。すなわち、シングルソレノイド用の既
存の部品を使用して一部交換するだけでダブルソレノイ
ドに構成することが可能である。In the first embodiment, the first pilot valve 40 and the second pilot valve 42 are connected as a double solenoid type electromagnetic pilot valve by connecting the holes 125 of the lid member 98 to each other, and the suction pad is used for the work. Even if a power failure occurs during transportation, the first pilot valve 40 does not switch, so negative pressure continues to be supplied, and the suction pad can hold the work. The solenoid valves 90a, 90b, 90c of the pilot valves 40, 42, 44 and the connecting portions 92a to 92c are the same member, and a lid member 98 is used when a double solenoid is configured, and the pilot valve main body is displaceable on one side. 9
6a and the non-displaceable pilot valve body 96b are inserted into the other. When a single solenoid is constructed, the lid member 204 is used to displace the pilot valve body 9
Insert 6c. That is, it is possible to configure the double solenoid by using the existing components for the single solenoid and only partially replacing them.

【００４７】次に第２の実施例について説明する。第１
の実施例と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、
その詳細な説明を省略する。Next, the second embodiment will be described. First
The same components as those of the embodiment of
Detailed description thereof will be omitted.

【００４８】第２の実施例は、電磁弁部１２を第１パイ
ロット弁４０および第２パイロット弁４２のみからなる
ダブルソレノイド型の電磁パイロット弁で構成してい
る。In the second embodiment, the solenoid valve portion 12 is composed of a double solenoid type solenoid pilot valve consisting of only the first pilot valve 40 and the second pilot valve 42.

【００４９】第１パイロット弁４０の第２ポート１０４
ａは、通路１１４を介して供給弁３６の第１圧力室１１
２に連通するとともに通路２０２を介して真空破壊弁３
８の第２圧力室２００に連通している。第１パイロット
弁４０の第４ポート１０８ａは、通路１１８を介して供
給弁３６の第２圧力室１１６に連通するとともに通路１
９８を介して真空破壊弁３８の第１圧力室１９６に連通
している（図４参照）。Second port 104 of first pilot valve 40
a is the first pressure chamber 11 of the supply valve 36 via the passage 114.
2 and a vacuum break valve 3 through a passage 202.
8 to the second pressure chamber 200. The fourth port 108 a of the first pilot valve 40 communicates with the second pressure chamber 116 of the supply valve 36 via the passage 118 and the passage 1
It communicates with the first pressure chamber 196 of the vacuum break valve 38 via 98 (see FIG. 4).

【００５０】このように構成された真空発生用ユニット
１０において、吸着用パッドでワークを吸着搬送するた
めには、まず第１パイロット弁４０の電磁弁９０ａを付
勢し、第２パイロット弁４２の電磁弁９０ｂを滅勢す
る。第１の実施例と同様に第１パイロット弁４０のパイ
ロット弁本体９６ａが図面上左に変位し、第３ポート１
０６ａと第２ポート１０４ａおよび第４ポート１０８ａ
と第５ポート１１０ａが連通する（図６参照）。したが
って、圧縮空気が第３ポート１０６ａから第２ポート１
０４ａ、通路１１４を介して供給弁３６の第１圧力室１
１２に到達するとともに通路２０２を介して真空破壊弁
３８の第２圧力室２００に到達する（図４参照）。すな
わち、供給弁３６を開成し、真空破壊弁３８を閉成す
る。一方、供給弁３６の第２圧力室１１６の空気および
真空破壊弁３８の第１圧力室１９６の空気は、第４ポー
ト１０８ａから第５ポート１１０ａに達してマニホール
ド１６のパイロット弁排気通路５２から排出される。上
記のようにしてマニホールド１６の供給通路４６から供
給弁３６を介してエゼクタ１８に圧縮空気を供給し、吸
着用パッドに負圧を供給してワークを吸着搬送する（図
１４参照）。In the vacuum generating unit 10 thus constructed, in order to suck and convey the work by the suction pad, first, the electromagnetic valve 90a of the first pilot valve 40 is energized and the second pilot valve 42 is moved. The solenoid valve 90b is deenergized. Similar to the first embodiment, the pilot valve body 96a of the first pilot valve 40 is displaced left in the drawing, and the third port 1
06a and the second port 104a and the fourth port 108a
And the fifth port 110a communicate with each other (see FIG. 6). Therefore, compressed air flows from the third port 106a to the second port 1
04a, the first pressure chamber 1 of the supply valve 36 via the passage 114
12 and also reaches the second pressure chamber 200 of the vacuum break valve 38 via the passage 202 (see FIG. 4). That is, the supply valve 36 is opened and the vacuum break valve 38 is closed. On the other hand, the air in the second pressure chamber 116 of the supply valve 36 and the air in the first pressure chamber 196 of the vacuum break valve 38 reach the fifth port 110a from the fourth port 108a and are discharged from the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16. To be done. As described above, the compressed air is supplied from the supply passage 46 of the manifold 16 to the ejector 18 via the supply valve 36, and the negative pressure is supplied to the suction pad to suck and convey the work (see FIG. 14).

【００５１】吸着用パッドからワークを離脱するには、
真空発生用ユニット１０において第２パイロット弁４２
の電磁弁９０ｂを付勢し、第１パイロット弁４０の電磁
弁９０ａを滅勢する。第１の実施例と同様に第１パイロ
ット弁４０のパイロット弁本体９６ａが図面上右に変位
し、第３ポート１０６ａと第４ポート１０８ａおよび第
１ポート１０２ａと第２ポート１０４ａが連通する（図
５参照）。したがって、圧縮空気が第３ポート１０６ａ
から通路１１８を介して供給弁３６の第２圧力室１１６
と通路１９８を介して真空破壊弁３８の第１圧力室１９
６に到達する（図４参照）。すなわち、真空破壊弁３８
を開成し、供給弁３６を閉成する。一方、供給弁３６の
第１圧力室１１２の空気および真空破壊弁３８の第２圧
力室２００の空気は、第２ポート１０４ａから第１ポー
ト１０２ａに達してマニホールド１６のパイロット弁排
気通路５２から排出される（図５参照）。上記のように
してマニホールド１６の真空破壊通路５０から真空破壊
弁３８を介して真空ポート７０に圧縮空気を供給し、吸
着用パッドに圧縮空気を供給してワークを離脱する（図
１４参照）。To release the work from the suction pad,
In the vacuum generating unit 10, the second pilot valve 42
The solenoid valve 90b of the first pilot valve 40 is deenergized and the solenoid valve 90a of the first pilot valve 40 is deenergized. Similar to the first embodiment, the pilot valve body 96a of the first pilot valve 40 is displaced to the right in the drawing, and the third port 106a and the fourth port 108a and the first port 102a and the second port 104a communicate with each other (Fig. 5). Therefore, the compressed air flows through the third port 106a.
Through the passage 118 from the second pressure chamber 116 of the supply valve 36.
And the first pressure chamber 19 of the vacuum breaking valve 38 via the passage 198.
6 is reached (see FIG. 4). That is, the vacuum break valve 38
Is closed and the supply valve 36 is closed. On the other hand, the air in the first pressure chamber 112 of the supply valve 36 and the air in the second pressure chamber 200 of the vacuum break valve 38 reach the first port 102a from the second port 104a and are discharged from the pilot valve exhaust passage 52 of the manifold 16. (See FIG. 5). As described above, the compressed air is supplied from the vacuum break passage 50 of the manifold 16 to the vacuum port 70 through the vacuum break valve 38, and the compressed air is supplied to the suction pad to separate the work (see FIG. 14).

【００５２】この両者の状態を繰り返すことによりワー
クの吸着搬送を行う。また、停電になった際にも、第１
の実施例の場合と同様に、ワークを吸着状態、真空破壊
状態のいずれの場合もその状態を保持する。By repeating these two states, the work is sucked and conveyed. Also, in the event of a power failure, the first
As in the case of the above embodiment, the work is held in either the suction state or the vacuum break state.

【００５３】この場合も弁機構部１４の供給ポート２
６、あるいはマニホールド１６の供給通路４６に真空ポ
ンプを接続して、第１の実施例と同様にエゼクタ１８を
取り外して真空ポンプ仕様とすることができる（図１５
参照）。Also in this case, the supply port 2 of the valve mechanism unit 14
6, or a vacuum pump is connected to the supply passage 46 of the manifold 16, and the ejector 18 can be removed to provide a vacuum pump specification as in the first embodiment (FIG. 15).
reference).

【００５４】第２の実施例も第１の実施例と同様の効果
がある。また、本実施例では、第１パイロット弁４０と
第２パイロット弁４２だけで構成できるとともに、吸着
状態、真空破壊状態のいずれの場合もその状態を保持可
能となる。The second embodiment also has the same effect as the first embodiment. Further, in this embodiment, the first pilot valve 40 and the second pilot valve 42 can be used alone, and the state can be maintained in both the adsorption state and the vacuum breaking state.

【００５５】[0055]

【発明の効果】本発明に係る真空発生用ユニットによれ
ば、以下の効果が得られる。According to the vacuum generating unit of the present invention, the following effects can be obtained.

【００５６】制御弁を駆動する電磁パイロット弁を、第
１および第２のソレノイドによって２位置のいずれかに
設定し、しかも、その状態を維持可能なため、停電等に
よって前記電磁パイロット弁の制御が不能となった場合
であっても、状態が保持される。例えば、この電磁パイ
ロット弁を用いて吸着用パッドを操作してワークを搬送
するような場合、搬送中のワークが落下することを阻止
できる。Since the electromagnetic pilot valve for driving the control valve can be set to either of two positions by the first and second solenoids and the state thereof can be maintained, the electromagnetic pilot valve can be controlled by a power failure or the like. The state is retained even if it becomes impossible. For example, when the suction pad is operated by using this electromagnetic pilot valve to convey a work, it is possible to prevent the work being conveyed from dropping.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明に係る第１実施例のエゼクタ仕様の真空
発生用ユニットの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an ejector specification vacuum generating unit according to a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明に係る第１実施例のエゼクタ仕様の真空
発生用ユニットの流体回路説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a fluid circuit of a vacuum generating unit of an ejector specification according to the first embodiment of the present invention.

【図３】本発明に係る第１実施例のエゼクタ仕様の真空
発生用ユニットの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the ejector specification vacuum generating unit according to the first embodiment of the present invention.

【図４】本発明に係る第１実施例の真空発生用ユニット
の弁機構部の一部断面図である。FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the valve mechanism portion of the vacuum generating unit according to the first embodiment of the present invention.

【図５】本発明に係る第１および第２実施例の第１パイ
ロット弁の電磁弁滅勢時の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the first pilot valve of the first and second embodiments according to the present invention when the solenoid valve is deenergized.

【図６】本発明に係る第１および第２実施例の第１パイ
ロット弁の電磁弁付勢時の断面図である。FIG. 6 is a sectional view of the first pilot valve according to the first and second embodiments of the present invention when the solenoid valve is energized.

【図７】本発明に係る第１実施例の第１パイロット弁の
一部拡大断面図である。FIG. 7 is a partially enlarged sectional view of a first pilot valve of the first embodiment according to the present invention.

【図８】本発明に係る第１および第２実施例の第２パイ
ロット弁の電磁弁滅勢時の断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of the second pilot valve of the first and second embodiments according to the present invention when the solenoid valve is deenergized.

【図９】本発明に係る第１および第２実施例の第２パイ
ロット弁の電磁弁付勢時の断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of the second pilot valve of the first and second embodiments according to the present invention when the solenoid valve is energized.

【図１０】本発明に係る第１実施例の第３パイロット弁
の電磁弁滅勢時の断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of the third pilot valve of the first embodiment according to the present invention when the solenoid valve is deenergized.

【図１１】本発明に係る第１実施例の第３パイロット弁
の電磁弁付勢時の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of the third pilot valve of the first embodiment according to the present invention when the solenoid valve is energized.

【図１２】本発明に係る第１実施例の真空ポンプ仕様の
真空発生用ユニットの断面図である。FIG. 12 is a sectional view of a vacuum generating unit of a vacuum pump type according to the first embodiment of the present invention.

【図１３】本発明に係る第１実施例の真空ポンプ仕様の
真空発生用ユニットの流体回路説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram of a fluid circuit of the vacuum generating unit of the vacuum pump type according to the first embodiment of the present invention.

【図１４】本発明に係る第２実施例のエゼクタ仕様の真
空発生用ユニットの流体回路説明図である。FIG. 14 is a fluid circuit explanatory diagram of an ejector specification vacuum generating unit according to a second embodiment of the present invention.

【図１５】本発明に係る第２実施例の真空ポンプ仕様の
真空発生用ユニットの流体回路説明図である。FIG. 15 is an explanatory diagram of a fluid circuit of a vacuum generating unit having a vacuum pump according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０…真空発生用ユニット １２…電磁弁部 １４…弁機構部 １６…マニホールド １８…エゼクタ ２０…フィルタ部 ２２…検出部 ２４…真空ポート部 ４０…第１パイロット弁 ４２…第２パイロット弁 ４４…第３パイロット弁 ９０ａ〜９０ｃ…電磁弁 ９２ａ〜９２ｃ…接続部 ９４ａ〜９４ｃ…パイロット切換弁 ９６ａ〜９６ｃ…パイロット弁本体 ９８、２０４…蓋部材 10 ... Vacuum generation unit 12 ... Solenoid valve 14 ... Valve mechanism 16 ... Manifold 18 ... Ejector 20 ... Filter section 22 ... Detection unit 24 ... Vacuum port 40 ... First pilot valve 42 ... Second pilot valve 44 ... Third pilot valve 90a-90c ... Solenoid valve 92a-92c ... Connection part 94a-94c ... Pilot switching valve 96a to 96c ... Pilot valve body 98, 204 ... Lid member

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】負圧を供給し、あるいは遮断するための制
御弁と、 第１および第２のソレノイドを有し、前記第１のソレノ
イドの駆動作用下に前記制御弁を制御して負圧を供給す
る一方、前記第２のソレノイドの駆動作用下に前記制御
弁を制御して負圧の供給を遮断する電磁パイロット弁
と、 を備えることを特徴とする真空発生用ユニット。1. A control valve for supplying or shutting off a negative pressure, and a first and a second solenoid, wherein the control valve is controlled under the driving action of the first solenoid to control the negative pressure. And a solenoid pilot valve that controls the control valve under the driving action of the second solenoid to shut off the supply of negative pressure. 【請求項２】請求項１記載の真空発生用ユニットにおい
て、 負圧供給源は、エゼクタであることを特徴とする真空発
生用ユニット。2. The vacuum generating unit according to claim 1, wherein the negative pressure supply source is an ejector. 【請求項３】請求項１記載の真空発生用ユニットにおい
て、 負圧供給源は、真空ポンプであることを特徴とする真空
発生用ユニット。3. The vacuum generating unit according to claim 1, wherein the negative pressure source is a vacuum pump.